KR100886872B1 - 플라즈마 버너 - Google Patents
플라즈마 버너 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100886872B1 KR100886872B1 KR1020070061327A KR20070061327A KR100886872B1 KR 100886872 B1 KR100886872 B1 KR 100886872B1 KR 1020070061327 A KR1020070061327 A KR 1020070061327A KR 20070061327 A KR20070061327 A KR 20070061327A KR 100886872 B1 KR100886872 B1 KR 100886872B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- plasma
- plasma burner
- gas
- cylindrical electrode
- electrode
- Prior art date
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000446 fuel Substances 0.000 abstract description 20
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 6
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 66
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000001157 Fourier transform infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003916 acid precipitation Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3431—Coaxial cylindrical electrodes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23D—BURNERS
- F23D91/00—Burners specially adapted for specific applications, not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3468—Vortex generators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
Abstract
본 발명은 플라즈마 버너에 관한 것으로, 음극으로 작용하는 내부 전극과 양극 또는 접지 전극으로 작용하는 원통형 전극과의 전압차로 방전이 유도되고, 스월 발생기로부터 두 전극사이로 스월공기를 주입하여 빠르게 회전유동하는 플라즈마를 형성시키고, 상기 스월공기와 기체연료를 혼합 또는 상기 음극 내부로 기체연료를 주입하여 방전 공간에서 스월공기와 혼합되어 플라즈마 화염을 발생시킬 수 있으며, 추가 공기주입 수단 및 화염 분할 수단을 단독 또는 병행 설치하여 기체연료의 사용효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 질소산화물의 발생을 최대한 억제할 수 있는 플라즈마 버너에 관한 것이다.
방전, 플라즈마 버너, 기체연료, 저녹스
Description
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너의 종단면도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너의 횡단면도,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예의 변형 가능한 예를 나타낸 플라즈마 버너의 횡단면도,
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 종단면도,
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 횡단면도,
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너 화염을 촬영한 사진,
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 FTIR 스펙트럼,
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너를 다발로 연결하여 구성한 대용량 번들형 플라즈마 버너의 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10: 내부전극 16: 기체연료 분사공
20: 원통형 전극 30: 스월 발생기
32: 스월 공기 40: 차단판
42: 3차 공기 분사공 52: 화염 분할공
100: 플라즈마 버너 200: 대용량 플라즈마 버너
S1: 방전공간
본 발명은 플라즈마 버너에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 음극으로 작용하는 내부 전극과 양극 또는 접지 전극으로 작용하는 원통형 전극과의 전압차로 방전이 유도되고, 스월 발생기(Swirl Generator)로부터 두 전극사이로 스월공기를 주입하여 빠르게 회전유동하는 플라즈마를 형성시키고, 상기 스월공기와 기체연료를 혼합 또는 상기 음극 내부로 기체연료를 주입하여 방전 공간에서 스월공기와 혼합되어 플라즈마 화염을 발생시킬 수 있으며, 추가 공기주입 수단 및 화염 분할 수단을 단독 또는 병행 설치하여 기체연료의 사용효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 질소산화물의 발생을 최대한 억제함과 동시에 불완전 연소에 의한 탄소 및 타르 등의 이물질이 생성되지 않도록 한 플라즈마 버너에 관한 것이다.
전통적으로 전기 방전 시스템들은 그것들의 이온화 메카니즘과 온도범위에 따라 크게 열(Thermal)과 비열(Nonthermal) 방전으로 분류된다. 또한 플라즈마의 발생 압력에 따라 응용처가 달라지며 저압에서는 플라즈마를 안정적으로 발생시킬 수 있기 때문에 반도체 부품의 세정과 식각, 증착에 이용되며 대기압 상태의 플라즈마는 표면 세정, 환경 오염물질 처리와 신소재 합성 등 다양한 분야에 사용된다.
일반적으로 순수한 탄화수소 연료의 완전 연소 공정은 물과 이산화탄소로의 분자전환에 의해 달성되며 탄소 결합을 효율적으로 분리하는 자유 라디칼의 생성과 연속적 반응에 의해 연소효율이 결정되므로 탄화수소 연료의 연소를 촉진할 수 있는 방법이 요구된다. 예를 들어, Y. C. Hong 등에 의해 Physics of Plasmas(Vol. 13, No. 11, pp. 113501-113508)의 학술지에 소개된 내용에 따르면 다량의 산소원자를 생성하는 플라즈마 연소에 의한 메탄 플라즈마 버너가 플라즈마가 없는 메탄 버너보다 10배 이상 많은 OH 자유 라디칼들을 생성하며 이로 인해 메탄 플라즈마 버너가 섭씨 500도 더 높은 버너 화염을 달성할 수 있다고 하였다. 따라서 플라즈마로부터 생성되는 다양한 자유 라디칼들은 탄화수소 연료의 연소를 촉진할 수 있는 효율적인 대안이 될 수 있다.
보통 NOx로 참조되는 질소산화물의 방출은 인체건강과 환경에 유해하기 때문에 그 배출규제를 국내외적으로 강화하고 있다. 현재 지구상의 모든 연소시스템은 공기 중의 산소를 이용하기 때문에 질소 분자의 해리에 의한 산화물, 즉 NOx의 생성은 필연적이라 할 수 있으며 NOx는 산성비, 광화학적 스모그, 오존 생성, 오존층의 파괴에 관여한다. 일반적으로 화염으로부터 생성되는 NOx이 90% 이상이 NO로 존재하며 나머지 10%가 NO2이다. 그러나 결국 NO는 화염 밖 대기 중에서 NO2로 변환되기 때문에 모든 규제는 NOx를 NO2로 간주하고 있다. 종래의 산업용 가스버너는 1차 공기가 가스노즐에서 분사되는 연료와의 급격한 혼합에 의한 연소로 화염온도가 급격하게 상승하여 NOx 생성이 증가하는 문제가 있다. 이에 따라 NOx의 생성을 억제하기 위하여 버너의 공기와 연료의 주입 방법 및 주입구의 배열이 중요하다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 음극으로 작용하는 내부 전극과 양극 또는 접지 전극으로 작용하는 원통형 전극과의 전압차로 방전이 유도되고, 스월 발생기로부터 두 전극사이로 스월공기를 주입하여 빠르게 회전 유동하는 플라즈마를 형성시키고, 상기 스월공기와 기체연료를 혼합 또는 상기 음극 내부로 기체연료를 주입하여 방전 공간에서 스월공기와 혼합되어 플라즈마 화염을 발생시킬 수 있으며, 추가 공기주입 수단 및 화염 분할 수단을 단독 또는 병행 설치하여 기체연료의 사용효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 질소산화물의 발생을 최대한 억제할 수 있는 플라즈마 버너를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 버너는 원통형 전극; 상기 원통형 전극과 일정간격을 두고 방전공간을 형성하도록 상기 원통형 전극 중심에 설치된 내부전극; 상기 원통형 전극 내부로 가스를 주입시키되 주입된 가스가 와류를 형성하여 플라즈마가 빠르게 회전 유동하도록 유도하는 스월 발생기; 상기 내부전극 또는 상기 스월 발생기 주입구에 설치되어 방전공간으로 연료가스를 공급하는 연료가스 공급부; 및 상기 원통형 전극의 단부로부터 플라즈마 배기가스가 배출되도록 배출구; 를 포함하여 구성된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
실시예
1
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너의 종단면도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너의 횡단면도이며, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예의 변형 가능한 예를 나타낸 플라즈마 버너의 횡단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 연료가스 공급부(미도시)로부터 연료가스(14)가 유입되는 유입로(12)와 상기 연료가스(14)가 분출될 수 있도록 다수개의 연료가스공(16)이 설치된 내부전극(10)은 동공의 원통 전극(20)의 중심에 설치되며 상기 연료가스(14)는 상기 내부전극(10)과 상기 동공의 원통형 전극(20)이 만들어내는 방전공간(S1)으로 분출된다. 상기 연료가스공(16)은 화염출구(70) 방향으로 경사지게 설치될 수 있다. 상기 내부 전극(10)은 상기 원료가스(14)가 주입되는 부분은 원통형의 모양을 가지고 있으며 원통형의 끝부분과 연장되는 부분은 상향방향으로 점점 넓어지는 원추모양을 하다가 다시 좁아지는 모양으로 구성된다.
또한 상기 내부전극(10)의 모든 모서리 부분은 부드러운 곡면으로 형성되어지며 상기 내부전극(10)을 통해 주입되는 연료가스(14)는 내부전극(10)과 원통형 전극(20) 사이에 설치된 가스분배기(80)에 의해 1차공기와 혼합되어 주입된다. 플라즈마는 내부전극(10)과 원통형 전극(20) 사이의 상기 방전공간(S1)에서 높은 전압차에 의하여 발생되며 상기 가스분배기(80)는 2차 공기를 스월발생기(30)로 전달하여 상기 내부전극(10)과 원통형 전극(20) 사이에 스월공기(32)를 발생시킨다.
상기 스월공기(32)는 플라즈마를 상기 방전공간(S1)에서 빠르게 회전유동을 일으켜 상기 연료가스공(16)으로부터 분출되는 연료가스(14)와 혼합되어 플라즈마 버너 화염을 발생시키며 개방된 형태의 화염출구(70)를 통해 배출된다. 연료가 스(14)는 내부전극(10)을 통하여 주입되지 않고 2차 공기(32)와 혼합하여 주입될 수 있음은 물론이다.
또한 상기 내부전극(10)의 구조와 회전유동하는 플라즈마는 방전공간으로 유입되는 공기와 원료가스 간의 혼합이 잘 이루어지는 기회를 제공하여 연료의 전환율을 높인다. 한편 상기 화염출구(70)는 상기 원통형 전극(20)과 같은 내경을 가지도록 하며 보다 긴 플라즈마 반응시간을 제공하도록 배출구의 내경을 작게 형성시킬 수 있다. 또한 연료 전환율의 증가, 화염 형상의 제어 및 화염 온도를 제어하기 위하여 상기 가스분배기(80)로부터 3차 공기(22)는 상기 원통형 전극(20)의 유입로(24)를 통해 배출된다. 상기 원통형 전극(20)의 단부는 경사진 개방된 형태일 수 있으며 다수개의 다공(26)을 가지도록 형성될 수 있으며 상기 다공(26)은 내부전극(10)을 향하도록 경사지게 구비될 수 있다. 또한, 상기 원통형 전극(20)의 단부는 일정간격으로 설치된 다수개의 차단판(40)과 다수개의 공기 분사공(42)을 가지도록 설치될 수 있음은 물론이다. 또한 3차 공기(22)는 유입로(24) 내에서 와류를 형성하도록 주입될 수 있다. 상기와 같은 구성과 특징을 구비하는 본 발명의 플라즈마 버너(100)를 제공하게 된다.
실시예
2
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 종단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 횡단면도이며, 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너 화염을 촬영한 사진이며, 도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 FTIR 스펙트럼이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예는 제 1 실시예의 원통형 전극(50)과 다른 형태를 가지는데 즉, 제 2 실시예의 원통형 전극(50)의 단부에는 반원 모양의 다수개 화염 분할공(52)을 가진 화염 분할기(54)가 설치되어 플라즈마 버너 화염을 분할할 수 있도록 구성된다. 더욱 상세히 설명하면, 플라즈마는 내부전극(10)과 원통형 전극(20) 사이의 방전공간(S1)에서 높은 전압차에 의하여 발생되며 가스분배기(80)는 공기를 스월발생기(30)로 전달하여 상기 내부전극(10)과 원통형 전극(20) 사이에 스월공기(32)를 발생시킨다.
상기 스월공기(32)는 플라즈마를 상기 방전공간(S1)에서 빠르게 회전유동을 일으켜 연료가스공(16)으로부터 분출되는 연료가스(14)와 혼합되어 플라즈마 버너 화염을 발생시킨다. 또한 상기 연료가스(14)는 내부전극(10)을 통하여 주입되지 않고 스월 공기(32)와 혼합하여 주입될 수 있음은 물론이다.
상기 플라즈마 버너 화염은 다수개 화염 분할공(52)을 가진 화염 분할기(54)로 들어가 회전유동하는 화염이 직진성을 가지도록하여 상기 분할공(52)에 의해 화염이 분할된다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따라 화염 분할공(52)이 형성된 플라즈마 버너(200)로부터 발생된 메탄 플라즈마 버너의 화염을 보여주고 있다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라즈마 버너의 메탄 연소전후의 연소효율과 연소시 배출되는 가스종들을 확인하기 위한 FTIR(Fourier Transform Infra-red) 스펙트럼이다. 즉, 플라즈마 버너 연소 후 메탄은 완전 연소되었으며 1600 cm-1 영역대에서 검출되는 NOx는 거의 검출되지 않았음을 확인할 수 있다.
실시예
3
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 버너를 다발로 연결하여 구성한 대용량 번들형 플라즈마 버너의 단면도이다.
도 8에 나타난 바와 같이, 플라즈마 버너(100)를 다수개로 구성하여 대용량의 번들형 플라즈마 버너(300)를 제공할 수 있다. 즉, 개개의 플라즈마 버너(100)는 제 1프레임(60)과 연결된 제 2프레임(62) 내에 설치되며 각각의 플라즈마 버너(100)에는 3차 공기(22)가 주입되어 화염온도, 화염형상, 추가공기 공급뿐만 아니라, 여러 개의 플라즈마 버너 화염을 분리할 수 있는 역할과 함께 플라즈마 버너(100)의 과열을 방지한다. 또한 본 발명의 또 다른 플라즈마 버너(200)를 상기 번들형 플라즈마 버너(300)와 같이 다수개로 구성하여 대용량의 번들형 플라즈마 버너를 제공할 수 있음은 당연하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 플라즈마 버너는 내부 전극과 원통형 전극 사이에서 빠르게 회전유동하는 플라즈마에 의해 연료의 전환율을 극대화할 수 있으며 추가 공기주입 수단 및 화염 분할 수단을 단독 또는 병행 설치하여 기체연료의 사용효율을 높일 수 있을 뿐만 아니라, 질소산화물의 발생을 최대한 억제할 수 있는 플라즈마 버너를 제공하는 효과가 있다.
또한 본 발명은 플라즈마 버너를 다발로 연결하여 대용량의 플라즈마 버너를 제공하는 효과도 있다.
Claims (10)
- 원통형 전극;상기 원통형 전극과 일정간격을 두고 방전공간을 형성하도록 상기 원통형 전극 중심에 설치된 내부전극;상기 원통형 전극 내부로 가스를 주입시키되 주입된 가스가 와류를 형성하여 플라즈마가 빠르게 회전 유동하도록 유도하는 스월 발생기;상기 내부전극 또는 상기 스월 발생기 주입구에 설치되어 방전공간으로 연료가스를 공급하는 연료가스 공급부; 및상기 원통형 전극의 단부로부터 플라즈마 배기가스가 배출되도록 배출구; 를 포함하며,상기 내부 전극은 상기 방전공간으로 가스를 분출할 수 있도록 내부에 가스 유입로와 다수개의 연료가스공이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 1 항에 있어서,상기 내부 전극은 하부는 원통형의 모양을 하고 원통의 단부와 연장되는 부분은 부드러운 곡면을 형성하면서 상향방향으로 그 둘레가 상기 원통보다 점점 넓어지다가 다시 점점 좁아지게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 원통형 전극은 추가 공기가 주입되도록 내부에 가스 유입로가 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 4 항에 있어서,상기 원통형 전극의 단부는 다수개의 다공이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 4 항에 있어서,상기 원통형 전극의 단부는 일정간격으로 다수개의 차단판과 다수개의 공기 분사공이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 1 항에 있어서,상기 원통형의 전극의 단부에는 반원 모양의 다수개의 화염 분할공을 가진 화염 분할기가 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 1 항, 제 2항 및 제4항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 내부전극의 가스 유입로, 상기 스월 발생기 또는 상기 원통형 전극의 가스 유입로로 공기를 분배하여 주입시키는 가스분배기가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 8 항에 있어서,상기 플라즈마 버너가 두개 이상 구비하는 번들형으로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
- 제 1 항, 제 2항 및 제4항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마 버너가 두개 이상 구비하는 번들형으로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 버너.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070061327A KR100886872B1 (ko) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 플라즈마 버너 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020070061327A KR100886872B1 (ko) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 플라즈마 버너 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20080112655A KR20080112655A (ko) | 2008-12-26 |
| KR100886872B1 true KR100886872B1 (ko) | 2009-03-06 |
Family
ID=40370356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020070061327A KR100886872B1 (ko) | 2007-06-22 | 2007-06-22 | 플라즈마 버너 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100886872B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101453856B1 (ko) | 2013-03-04 | 2014-10-22 | 한국기계연구원 | 곡면 형상의 구동 전극을 구비한 분사형 플라즈마 발생기 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102162644B (zh) * | 2010-02-24 | 2012-09-05 | 中国科学院工程热物理研究所 | 介质阻挡放电等离子体旋流装置 |
| CN104425289B (zh) | 2013-09-11 | 2017-12-15 | 先进科技新加坡有限公司 | 利用激发的混合气体的晶粒安装装置和方法 |
| CN105783031B (zh) * | 2016-04-18 | 2018-07-10 | 中国科学院工程热物理研究所 | 一种集成等离子激励器、喷嘴阵列和燃烧器 |
| KR102274454B1 (ko) * | 2019-04-17 | 2021-07-07 | 한국핵융합에너지연구원 | 플라즈마를 이용한 악취 제거 장치 |
| KR102253706B1 (ko) * | 2021-02-09 | 2021-05-18 | 주식회사 코비플라텍 | 회전형 벌크 플라즈마 발생장치 |
| CN114413645A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-04-29 | 合肥中科远望环保科技有限公司 | 一种等离子体燃烧器、陶瓷炉窑及使用方法 |
| WO2024020521A1 (en) * | 2022-07-22 | 2024-01-25 | Academia Sinica | Plasma apparatus and methods for cracking a gas |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5206481A (en) | 1990-07-11 | 1993-04-27 | Fried. Krupp Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Plasma burner for transferred electric arc |
| JPH10132220A (ja) | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Teruo Arai | バーナー |
| KR100522168B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2005-10-18 | 한국기계연구원 | 가열수단을 구비하는 플라즈마 반응장치 |
-
2007
- 2007-06-22 KR KR1020070061327A patent/KR100886872B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5206481A (en) | 1990-07-11 | 1993-04-27 | Fried. Krupp Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Plasma burner for transferred electric arc |
| JPH10132220A (ja) | 1996-10-28 | 1998-05-22 | Teruo Arai | バーナー |
| KR100522168B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2005-10-18 | 한국기계연구원 | 가열수단을 구비하는 플라즈마 반응장치 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101453856B1 (ko) | 2013-03-04 | 2014-10-22 | 한국기계연구원 | 곡면 형상의 구동 전극을 구비한 분사형 플라즈마 발생기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20080112655A (ko) | 2008-12-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100886872B1 (ko) | 플라즈마 버너 | |
| JP5989980B2 (ja) | ガスタービンシステムの燃料ノズル組立体 | |
| KR101284290B1 (ko) | 연소장치 | |
| WO2001033141A1 (fr) | Appareil de combustion pour le traitement de gaz d'emission | |
| CN104074766A (zh) | 带有除害功能的真空泵 | |
| US20060193759A1 (en) | Nonthermal plasma processor utilizing additive-gas injection and/or gas extraction | |
| US20140290919A1 (en) | Vacuum pump with abatement function | |
| KR101699614B1 (ko) | 버너 시스템 | |
| KR101196307B1 (ko) | 듀얼인젝션을 구비한 버너장치 조립체 | |
| KR100767011B1 (ko) | 플라즈마 반응장치 | |
| KR20150131866A (ko) | 플라즈마를 이용한 디젤엔진의 질소산화물과 피엠 동시 저감 시스템 | |
| KR20120131959A (ko) | 플라즈마와 유해가스의 대향류를 이용한 유해가스 처리장치 및 처리방법 | |
| KR20180107913A (ko) | 연소기용 노즐 | |
| KR100767010B1 (ko) | 플라즈마 반응장치 | |
| KR101768920B1 (ko) | 스크러버용 버너 | |
| KR100806917B1 (ko) | 플라즈마 반응장치 | |
| JP4772881B2 (ja) | バーナ装置および二段燃焼式バーナ装置 | |
| KR100335737B1 (ko) | 유해개스 처리를 위한 플라즈마 처리 시스템 | |
| KR102389362B1 (ko) | 대용량 플라즈마 열산화기 | |
| KR101323720B1 (ko) | 폐가스 처리용 화염 회전 연소 버너 | |
| KR101905839B1 (ko) | 플라즈마 버너를 이용한 요소수 기화기 | |
| KR20210009870A (ko) | 질소산화물 저감을 위한 반도체 공정용 스크러버 장치 및 스크러버 시스템 | |
| KR101019725B1 (ko) | 플라즈마를 이용한 연료 개질기능이 구비된 플라즈마 버너장치 | |
| KR101895379B1 (ko) | 연소가스의 오염물질을 저감시키는 고압 증기 발생 장치 | |
| KR200337058Y1 (ko) | 화염통로를 갖는 반도체 폐가스 처리장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120224 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130228 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |