KR100806917B1 - 플라즈마 반응장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반응챔버의 내부로 연소에 필요한 공기만을 공급하고 공급되는 공기량과 압력을 일정하게 함으로써 불완전 연소를 방지할 수 있도록 하는 플라즈마 반응장치에 관한 것으로, 하부가 절연부로 막혀있는 원통형의 반응챔버와, 상기 절연부의 상부에 구비되고 상부 둘레에 다수의 혼합연료 분사노즐이 구비된 내부 혼합공간을 포함하는 전극과, 절연부의 중앙에 관통 구비되어 공기와 연료를 상기 혼합공간에 공급하는 연료 공급부와, 절연부의 측부에 관통 구비되어 상기 전극에 고전압을 공급하는 고전압 공급부와, 절연부의 둘레에 반응챔버의 내부와 연통되게 구비된 다수의 공기 공급홀과, 절연부의 하부에 구비되어 유입된 공기를 취합한 후 상기 각 공기 공급홀로 공기를 균일하게 공급하는 공기 공급수단를 포함하는 플라즈마 반응장치를 특징으로 한다.

플라즈마, 반응, 공기 취합공간, 공기탱크

Description

플라즈마 반응장치{Plasma Reactor}

도 1은 본 발명의 플라즈마 반응기의 전체 구성을 나타낸 단면도.

도 2는 본 발명에 따른 요부를 확대 도시한 단면도.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 반응장치의 작동관계를 나타낸 단면도.

도 4는 종래의 플라즈마 반응장치의 전체 구성을 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 반응챔버

11 : 둘레 경사면

2 : 절연부

21 : 공기 공급홀

3 : 전극

31 : 혼합공간

32 : 혼합연료 분사노즐

4 : 연료 공급부

41 : 수직 공급관

411 : 연료 공급관

42 : 혼합공기 공급부

421 : 혼합공기 공급관, 422 : 공기 공급유로,

423 : 하부관

5 : 고전압 공급부

6 : 공기 공급수단

61 : 공기탱크

611 : 공기 취합공간, 612 : 둘레 경사면,

613 : 공기 공급관

10 : 배기가스관

본 발명은 플라즈마 반응장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 반응챔버의 내부로 연소에 필요한 공기만을 공급하고 공급되는 공기량과 압력을 일정하게 함으로써 불완전 연소를 방지할 수 있도록 하는 플라즈마 반응장치에 관한 것이다.

일반적으로 플라즈마 반응장치라 함은, 공장의 배기가스에 포함되어 있는 지구 온난화 및 오존층 파괴물질인 휘발성 유기화합물(VOC), 과불화물(PFC), 염화불화탄소(CFC) 등을 처리하거나, 자동차 배기가스에 포함되어 있는 입자상물질(PM)을 처리하는데 사용되는 것이다.

즉 통상적으로 알려진 플라즈마 반응장치는 섭씨 3000도 이상의 고온의 열을 이용하여 배기가스에 포함된 휘발성 유기화합물, 과불화물, 염화불화탄소, 입자상 물질 등(이하, 편의상 총칭하여 "대기오염물질"이라 칭함)을 연소시켜 처리하는 장치이다.

이에, 본 발명은 종래의 플라즈마 반응장치를 개량한 것으로, 먼저 종래의 플라즈마 반응장치를 설명하면 다음과 같다.

도 4는 종래의 플라즈마 반응장치의 전체 구성을 나타낸 단면도로서, 종래의 플라즈마 반응장치는 배기가스 배출관(10 ; 이하, "배기가스관"이라 칭함)에 장착되어 배기가스에 포함되는 대기오염물질을 연소시키는데 사용되는 것이다.

즉 종래의 플라즈마 반응장치는, 하부가 절연부(200)로 막혀있는 원통형의 반응챔버(100)와, 상기 절연부의 상부인 반응챔버(100)의 내부 중앙에 구비되고 내부 혼합공간(301)과 상부 둘레에 형성되어 상부로 혼합연료를 분사하는 다수의 상부 경사노즐(302)을 포함하는 전극(300)과, 상기 절연부(200)의 중앙을 관통하여 혼합공기와 연료를 함께 투입하는 혼합연료 투입부(400)와, 상기 반응챔버(100)의 측벽과 절연부(200)의 내부를 통과하여 유입된 혼합공기와 상기 혼합공간(301)의 혼합연료를 혼합시킨 혼합연료를 상기 반응챔버(100)의 내부 하부로 공급하는 혼합연료 공급부(500)와, 상기 절연부(200)에 수직으로 관통 구비되어 전극(300)으로 고전압을 공급하는 점화플러그(600)으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 혼합연료 공급부(500)는 반응챔버(100)의 측벽과 절연부(200)의 내부를 통과하여 반응챔버(100) 내부의 하부로 혼합공기를 투입하는 공기 투입부(501)와, 상기 공기 투입부(501)와 상기 혼합공간(31)을 연통시키는 연통홀(502)로 구성되는 것이다.

또한 상기 전극(300)은 중간이 외측으로 돌출되어 있는 항아리 형태로 구성되고, 상,하로 분리되어 체결을 통해 일체로 구성되어 있는 것이다.

따라서, 상기 혼합연료 투입부(400)와 혼합연료 공급부(500)를 통해 혼합연료를 전극(300)의 혼합공간(301)과 반응챔버(100)의 내부로 공급하고, 점화 플러그(600)를 통해 전극(300)으로 고전압을 공급하게 되면, 전극(300)의 중간 둘레와 반응챔버(100)의 사이에서 플라즈마 방전이 일어남으로써, 반응챔버(100)의 내부 하부에서 상부로 공급되는 혼합연료가 착화된 후 전극(300)으로부터 분사되는 혼합연료가 착화되어 연소되는 작동을 통해 화염을 생성하는 것이다.

그러므로 상기와 같이 생성된 화염을 통해 배기가스관(10)을 통과하는 배기가스의 대기오염물질을 연소 제거할 수 있는 것이다.

그런데, 상기와 같이 구성된 플라즈마 반응장치는 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 반응챔버의 내부로 공급되는 혼합연료와 혼합된 공기의 양이 불규칙함으로써, 화염의 생성 후 리프팅 또는 역화 등의 불완전 연소가 발생되는 문제점을 가지고 있었다.

즉 반응챔버의 내부로 혼합연료와 공기가 재 혼합되어 공급되는데, 반응챔버로 공급되는 혼합연료의 유입량이 과다하게 되면 화염이 전극의 하부에 위치됨에 따라 역화가 발생되고, 반대로 반응챔버로 공급되는 공기량이 많게 되면 화염이 전극의 상부에서 지나치게 들뜨는 리프팅 현상이 발생된다.

또한, 전극의 혼합공간으로 투입되는 혼합연료와 반응챔버의 내부로 공급되 는 공기의 양을 정밀하게 제어하지 않으면 플라즈마 반응에 의한 초기 착화시 불량이 발생된다.

즉 반응챔버의 내부로 유입되는 혼합연료는 외부에서 유입되는 공기와 상기 혼합공간에서 유입되는 혼합연료가 혼합되는 연료로써, 외부에서 유입되는 공기의 양이 많아지고 상기 혼합공간에서 유입되는 혼합연료의 양이 적어지게 되면, 반응챔버 내부의 하부로 공급되는 혼합연료의 연료량이 적어지게 됨에 따라 초기착화의 불량이 발생되는 문제점을 가지고 있었다.

또 전극이 항아리 형태로 구성됨으로써, 전극을 상,하로 분리 제작한 다음 일체로 체결 조립하는 과정을 통해 제작함에 따라 전극의 제작에 많은 비용이 들게 되는 문제점도 가지고 있었다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해서 발명된 것으로, 전극과 반응챔버의 사이로 연소에 필요한 공기만을 공급하고 이때 공급되는 공기를 일정한 압력으로 균일하게 공급함으로써, 화염의 불완전 연소를 사전에 방지할 수 있도록 하는 플라즈마 반응기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한 반응챔버의 측벽 내부에 형성된 혼합실에서 혼합연료를 전극의 외측으로 수평 분사시켜 일부의 혼합 연료가 하부까지 확산되게 함으로써, 혼합공간에 유입되는 공기량과 연료량을 정밀하게 제어하지 않더라도 초기 착화의 불량을 예방할 수 있도록 하는 다른 목적도 있다.

또 전극과 반응챔버의 사이로 공급되는 공기가 1차적으로 취합되는 공기탱크 에 반응챔버의 열이 직접적으로 전도되게 함으로써, 연소에 필요한 2차 공기의 예열 효과를 최대로 향상시킬 수 있도록 하는 다른 목적도 있다.

또 공기가 유입되는 하부공간이 좁고 상부로 갈수록 점차적으로 확장되는 공기 취합부를 포함하는 공기탱크를 제공함으로써, 전극과 반응챔버의 사이로 공급되는 공기의 흐름 저항을 최소로 줄일 수 있도록 하는 또 다른 목적도 있다.

또 전극을 조립 없이 일체형으로 구성하여 제작을 용이하게 할 수 있도록 하는 목적도 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 하부가 절연부로 막혀있는 원통형의 반응챔버와, 상기 절연부의 상부에 구비되고 상부 둘레에 다수의 혼합연료 분사노즐이 구비된 내부 혼합공간을 포함하는 전극과, 절연부의 중앙에 관통 구비되어 공기와 연료를 상기 혼합공간에 공급하는 연료 공급부와, 절연부의 측부에 관통 구비되어 상기 전극에 고전압을 공급하는 고전압 공급부와, 절연부의 둘레에 반응챔버의 내부와 연통되게 구비된 다수의 공기 공급홀과, 절연부의 하부에 구비되어 유입된 공기를 취합한 후 상기 각 공기 공급홀로 공기를 균일하게 공급하는 공기 공급수단를 포함하는 플라즈마 반응장치를 특징으로 한다.

또한 상기 공기 공급수단은, 상기 절연부의 둘레와 하부를 감싸며 구비되고 절연부의 하부에는 공기 취합공간이 구비된 공기탱크와, 상기 공기탱크의 하부에 구비되는 공기 공급관으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 공기 취합공간은, 상기 공기 공급관이 구비된 하부 공간이 좁고 상 부로 갈수록 공간이 확장되도록 둘레 경사면을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 상기 공기탱크의 둘레 상부는, 상기 반응챔버의 외측에 밀착되게 구비되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 전극은 하부가 원통형으로 형성되고 상부는 하광상협의 형상으로 형성되어 일체형으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 반응챔버 측벽의 내측 하부에는, 내부의 하부 공간이 넓어지게 둘레에 둘레 경사면이 테이퍼지게 형성되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 연료 공급부는, 상기 절연부를 수직으로 관통하며 연료 공급관과 연결된 수직 공급관과, 수직 공급관의 외측 둘레에 구비되어 혼합공기가 공급되는 혼합공기 공급부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 혼합공기 공급부는, 상기 수직 공급관의 둘레인 절연부에 형성된 공기 공급유로와, 상기 수직 공급관의 하부 둘레를 감싸며 수직 공급관을 절연부에 고정하고 혼합공기 공급관을 통해 공급된 공기를 상기 공기 공급유로로 공급하는 하부관으로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또 상기 혼합연료 분사노즐은, 수평으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 플라즈마 반응기의 전체 구성을 나타낸 단면도이다.

이에 본 발명에 따른 플라즈마 반응장치는, 하부가 절연부(2)로 막혀있는 원통형의 반응챔버(1)와, 상기 절연부(2)의 상부에 구비되고 상부 둘레에 다수의 혼 합연료 분사노즐(32)이 구비된 내부 혼합공간(31)을 포함하는 전극(3)과, 절연부(2)의 중앙에 관통 구비되어 공기와 연료를 상기 혼합공간(31)에 공급하는 연료 공급부(4)와, 절연부(2)의 측부에 관통 구비되어 상기 전극에 고전압을 공급하는 고전압 공급부(5)와, 절연부(2)의 둘레에 반응챔버(1)의 내부와 연통되게 구비된 다수의 공기 공급홀(21)과, 절연부의 하부에 구비되어 유입된 공기를 취합한 후 상기 각 공기 공급홀(21)로 공기를 균일하게 공급하는 공기 공급수단(6)으로 구성된다.

즉 상기 반응챔버(1)는 배기가스가 배출되는 배기가스관(10)에 수직으로 관통 장착되어 배기가스에 포함된 대기오염물질을 연소 제거시키는 것이다.

그리고 상기 공기 공급수단(6)은, 상기 절연부(2)의 둘레와 하부를 감싸며 구비되고 절연부(2)의 하부에는 공기 취합공간(611)이 구비된 공기탱크(61)와, 상기 공기탱크(61)의 하부에 구비되는 공기 공급관(613)으로 구성되는 것이다.

도 2는 본 발명에 따른 요부를 확대 도시한 단면도로서, 상기 공기 공급수단(6)을 구성하는 공기 취합공간(611)은, 상기 공기 공급관(613)이 구비된 하부 공간이 좁고 상부로 갈수록 공간이 확장되도록 둘레 경사면(612)을 포함하는 것이다.

그리고 상기 공기탱크(61)의 둘레 상부는, 상기 반응챔버(1)의 외측에 밀착되게 고정됨으로써 공기탱크에 반응챔버의 열이 직접적으로 전도되는 것이다. 따라서 연소에 필요한 2차공기의 예열 효과를 최대로 향상시킬 수 있도록 하는 다른 목적도 있다.

한편, 상기 연료 공급부(4)는, 상기 절연부(2)를 수직으로 관통하며 연료 공 급관(411)과 연결된 수직 공급관(41)과, 연료 공급관(411)의 외측 둘레에 구비되어 혼합공기가 공급되는 혼합공기 공급부(42)로 구성되는 것이다.

또한 상기 혼합공기 공급부(42)는, 상기 연료 공급관(411)의 둘레인 절연부(2)에 형성된 공기 공급유로(422)와, 상기 연료 공급관(411)의 하부 둘레를 감싸며 수직 공급관(41)을 절연부(2)에 고정하고 혼합공기 공급관(421)을 통해 공급된 공기를 상기 공기 공급유로(422)로 공급하는 하부관(423)으로 구성되는 것이다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 플라즈마 반응기의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 반응장치의 작동관계를 나타낸 것으로, 먼저 연료 공급부(4)와 공기 공급수단(6)을 통해 전극의 혼합공간(31)으로 연료와 공기를 공급하고 반응챔버(1)의 내부로 연소에 필요한 2차 공기를 공급한다.

그리고 고전압 공급부(5)의 작동을 통해 전극에 고전압을 공급함으로써, 전극(3)의 중간 둘레와 반응챔버(1)의 사이에서 플라즈마 방전이 일어나게 함에 따라, 상기 전극(3)의 둘레에서 확산된 혼합연료가 착화되어 전극(3)의 상단에서 화염이 형성되게 하는 것이다.

즉, 상기 공기 공급수단(6)을 작동시켜 연소에 필요한 공기를 반응챔버(1)와 전극(3) 사이로 공급하는 과정을 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와같이, 본 발명의 플라즈마 반응기는 반응챔버(1)와 전극(3)의 사이로 연소에 필요한 공기만을 공급하는 것을 특징으로 한다.

따라서 공기 공급수단(6)을 구성하는 공기 공급관(613)으로 공기가 공기탱 크(61)내에 형성된 공기 취합공간(611)으로 유입되게 되면, 유입된 공기는 공기 취합공간(611)에 1차적으로 취합 저장되는 과정을 통해 압력이 균일하게 된다.

그리고 공기 취합공간(611)에 채워진 공기는 절연부(2)의 둘레에 다수로 형성된 공기 공급홀(21)을 통과하여 반응챔버(1)와 전극(3)의 사이공간으로 유입 되게 되는데, 이때 상기 공기 취합공간(611)에 채워진 공기는 압력분포가 균일하게 됨에 따라서 각 공기 공급홀(21)로 공급되는 공기의 양이 동일하게 된다.

그러므로 전극(3)과 반응챔버(1)의 사이로 공급되는 공기를 일정한 압력으로 균일하게 공급함으로써, 2차 공기의 편중 공급으로 인하여 발생되는 화염의 불완전 연소를 예방할 수 있는 안정성이 뛰어난 플라즈마 반응장치를 제공할 수 있는 것이다.

아울러, 상기 공기 취합공간(611)은, 공기가 유입되는 하부공간이 좁고 상부로 갈수록 점차적으로 확장되게 형성됨으로써, 전극과 반응챔버의 사이로 공급되는 공기의 흐름 저항을 최소로 줄일 수 있는 것이다.

즉 상기 공기 취합공간(611)으로 유입되는 공기는 좁은 공간의 하부로부터 상부로 확산되게 상승됨에 따라 공기가 원활하게 확산됨으로써, 전극과 반응챔버 사이로 유입되는 공기의 양을 충분하게 하여 공급 공기의 부족으로 인하여 발생되는 초기착화 불량이나 화염의 불완전 연소를 사전에 방지할 수도 있는 것이다.

또한, 공기 취합공간(611)이 형성된 공기탱크(61)의 둘레 상부를 반응챔버(1)의 외측에 밀착되게 구성함으로써, 반응챔버의 열이 직접적으로 공기탱크에 전도되게 하여 연소에 필요한 2차공기의 예열 효과를 최대로 향상시킬 수도 있는 것이다.

또, 상기 전극(3)의 혼합공간(31)에서 공기가 혼합된 혼합연료를 수평 분사시켜 일부의 혼합 연료가 하부까지 확산되게 함으로써, 연료 공급부(4)를 통해 공급되는 연료량과 공기량을 정밀하게 제어하지 않더라도 혼합공간(31)에서 초기 착화에 필요한 연료가 반응챔버(1)의 내부로 충분히 확산 분사됨에 따라 초기 착화의 불량을 방지할 수 있는 것이다.

이하, 본 발명을 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 혼합연료 분사노즐은, 수평으로 형성되어 있고 서로 마주보는 위치에 두 쌍 이상으로 형성됨으로써, 혼합연료의 충돌 확산효과를 향상시킬 수 있는 것이다.

또 상기 전극은 하부가 원통형으로 형성되고 상부는 하광 상협의 형상으로 형성되어 일체형으로 구성되어 있는 것이다. 그리고 상기 원통형부의 내측 하부둘레에는 나선부가 형성되어 있고 상기 절연부(2)의 상부 중앙에는 상기 전극(3)이 체결되는 돌출부가 형성되어 있는 것이다.

따라서 상기 전극(3)을 가공 공정만으로 일체형으로 구성함으로써 전극을 용이하게 제작할 수도 있는 것이다.

또한, 상기 반응챔버(1) 측벽의 내측 하부에는 내부의 하부 공간이 넓어지게 둘레에 둘레 경사면(11)이 테이퍼지게 형성됨으로써, 반응챔버(1)의 내부로 유입되는 2차공기의 유입을 원활하게 하여 화염 성능을 좀더 향상시키는 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명은, 전극과 반응챔버의 사이로 연소에 필요한 공기만을 공급하고 이때 공급되는 공기를 균일하게 공급함으로써, 화염의 불완전 연소를 방지할 수 있도록 하는 안정성이 뛰어난 플라즈마 반응장치를 제공하는 효과가 있다.

또한 전극의 혼합공간으로 공급되는 공기량과 연료량을 정밀하게 제어하지 않더라도 초기 착화의 불량을 예방할 수 있도록 함으로써, 정밀제어가 필요없는 플라즈마 반응장치를 제공하는 다른 효과도 있다.

또 연소에 필요한 2차공기의 예열 효과를 최대로 향상시켜 화염의 불완전 연소시 발생되는 대기오염 물질의 생성을 사전에 예방할 수 또 다른 효과도 있다.

또 공기 취합부에서 전극과 반응챔버의 사이로 공급되는 공기의 흐름 저항을 최소로 줄임으로써, 전극과 반응챔버의 사이로 공급되는 공기의 부족으로 인하여 발생되는 초기착화 불량이나 화염의 불완전 연소를 방지할 수 있도록 하는 또 다른 효과도 있다.

또 상기 전극을 일체형으로 구성함으로써 가공을 용이하게 함에 따라 전극의 제작비용을 최소로 줄일 수 있는 또 다른 효과도 있다.

Claims (9)

1. 하부가 절연부(2)로 막혀있는 원통형의 반응챔버(1)와,

   상기 절연부(2)의 상부에 구비되고 상부 둘레에 다수의 혼합연료 분사노즐(32)이 구비된 내부 혼합공간(31)을 포함하는 전극(3)과,

   절연부(2)의 중앙에 관통 구비되어 공기와 연료를 상기 혼합공간(31)에 공급하는 연료 공급부(4)와,

   절연부(2)의 측부에 관통 구비되어 상기 전극(3)에 고전압을 공급하는 고전압 공급부(5)와,

   절연부(2)의 둘레에 반응챔버(1)의 내부와 연통되게 구비된 다수의 공기 공급홀(21)과,

   절연부의 하부에 구비되어 유입된 공기를 취합한 후 상기 각 공기 공급홀(21)로 공기를 균일하게 공급하는 공기 공급수단(6),

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 공기 공급수단(6)은,

   상기 절연부(2)의 둘레와 하부를 감싸며 구비되고 절연부(2)의 하부에는 공기 취합공간(611)이 구비된 공기탱크(61)와,

   상기 공기탱크(61)의 하부에 구비되는 공기 공급관(613)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 공기 취합공간(611)은,

   상기 공기 공급관(613)이 구비된 하부 공간이 좁고 상부로 갈수록 공간이 확장되도록 둘레 경사면(612)을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
4. 제 2항에 있어서, 상기 공기탱크(61)의 둘레 상부는,

   상기 반응챔버(1)의 외측에 밀착되게 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 전극(3)은 하부가 원통형으로 형성되고 상부는 하광상협의 형상으로 형성되어 일체형으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
6. 제 5항에 있어서, 상기 반응챔버(1) 측벽의 내측 하부에는,

   내부의 하부 공간이 넓어지게 둘레에 둘레 경사면(11)이 테이퍼지게 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 연료 공급부(4)는,

   상기 절연부(2)를 수직으로 관통하며 연료 공급관(411)과 연결된 수직 공급관(41)과,

   수직 공급관(41)의 외측 둘레에 구비되어 혼합공기가 공급되는 혼합공기 공급부(42)로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
8. 제 7항에 있어서, 상기 혼합공기 공급부(42)는,

   상기 수직 공급관(41)의 둘레인 절연부(2)에 형성된 공기 공급유로(422)와,

   상기 수직 공급관(41)의 하부 둘레를 감싸며 수직 공급관(41)을 절연부(2)에 고정하고 혼합공기 공급관(421)을 통해 공급된 공기를 상기 공기 공급유로(422)로 공급하는 하부관(423)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.
9. 제 1항에 있어서, 상기 혼합연료 분사노즐(32)은,

   수평으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 반응장치.

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