KR102389362B1 - 대용량 플라즈마 열산화기 - Google Patents

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Abstract

대용량 플라즈마 열산화기가 개시된다. 상기 대용량 플라즈마 열산화기는 원통의 하부에 하부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제1 곡면부, 원통의 상부에 상부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제2 곡면부 및 상기 제2 곡면부 상부에 위치하는 정화가스 배출구를 포함하는 가스분해 반응기; 및 상기 제1 곡면부 및 상기 제2 곡면부에 원통의 접선 방향으로 연결되고, 피처리가스를 플라즈마 화염과 접촉시키면서 상기 가스분해 반응기 내부로 주입시키는 플라즈마 버너 모듈을 포함할 수 있다.

Description

대용량 플라즈마 열산화기{LARGE CAPACITY PLASMA THERMAL OXIDIZER}
본 발명은 대용량 플라즈마 열산화기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 폐가스를 효율적으로 정화시키는 대용량 플라즈마 열산화기에 관한 것이다.
VOCs, PFCs, NF3, SF6 등의 난분해성 폐가스는 대기온난화 등 대기오염의 주원으로 평가된다.
종래에는 이러한 난분해성 폐가스를 정화시키기 위해 탄화수소 연료를 연소시켜 제거하는 방식이 이용되었으나, 정화 처리 용량에 한계가 있었으며, 처리비용이 매우 고가이기 때문에 고효율의 대유량 난분해성 폐가스 처리장치가 필요하였다.
이를 해결하기 위해, 공개특허 10-2013-0136227호 "석탄 가스화 복합발전용 플라즈마 가스화 장치"와 같은 폐가스 처리장치가 개발되었다.
이 특허는, 폐가스를 처리하는 과정에서 플라즈마를 이용하고, 플라즈마 화염 및 폐가스가 반응하여 폐가스가 플라즈마 및 고온에 의해 분해되는 원통 형상의 공간을 제공하여 폐가스의 정화가 이루어지도록 구성되며, 폐가스의 정화를 위한 공간에 주입되는 폐가스는 공간 내에서 선회하도록 구성된다.
그런데 이러한 폐가스 처리장치는 원통 형상의 공간에서의 폐가스의 선회 모습을 고려하지 않고 플라즈마 버너를 단순히 원통 형상의 공간의 상부 및 하부에 위치시킴에 따라 원통 형상의 공간의 상부 및/또는 하부에 폐가스의 선회가 집중되어 플라즈마 화염 및 폐가스 간의 효율적인 반응이 어려워지는 문제가 있었다.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 플라즈마 화염 및 고온과의 반응 효율이 개선되어 피처리가스의 효율적인 정화가 이루어질 수 있도록 한 대용량 플라즈마 열산화기를 제공하는데 있다.
또한, 플라즈마 화염이 토출될 때 플라즈마 화염 및 피처리가스 간의 간섭이 차단되어 플라즈마 화염이 흔들림 없이 안정적으로 형성 및 토출될 수 있도록 한 대용량 플라즈마 열산화기를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기는 원통의 하부에 하부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제1 곡면부, 원통의 상부에 상부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제2 곡면부 및 상기 제2 곡면부 상부에 위치하는 정화가스 배출구를 포함하는 가스분해 반응기; 및 상기 제1 곡면부 및 상기 제2 곡면부에 원통의 접선 방향으로 연결되고, 피처리가스를 플라즈마 화염과 접촉시키면서 상기 가스분해 반응기 내부로 주입시키는 플라즈마 버너 모듈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 플라즈마 버너 모듈은 상기 제1 곡면부에는 적어도 하나, 상기 제2 곡면부에는 두 개 이상 연결될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 플라즈마 버너 모듈은, 제1 방향으로 연장되는 피처리가스 유입부 및 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 피처리가스 배출부를 포함하는 피처리가스 공급덕트; 및 상기 피처리가스 유입부 및 상기 피처리가스 배출부 간의 교차지점에서 토출부가 상기 피처리가스 배출부 내부로 관통되게 설치되어 상기 토출부로부터 상기 제2 방향에 평행하게 플라즈마 화염을 토출하는 플라즈마 버너를 포함하고, 상기 피처리가스 배출부가 상기 가스분해 반응기에 원통의 접선 방향으로 연결되되 상기 가스분해 반응기 내부로 관통될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 피처리가스 공급덕트 내부에서 상기 피처리가스 유입부에 대향하게 배치되어 상기 피처리가스 유입부에 대해 상기 플라즈마 화염을 커버하는 화염보호커버부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 화염보호커버부는 반원통 형상이고, 반원통의 외면이 상기 피처리가스 유입부에 대향할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 플라즈마 버너는 상기 토출부의 내면의 둘레 방향을 따라 배열되는 세장형의 복수의 화염 토출 가이드홈을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 플라즈마 버너는 전자파 플라즈마 토치일 수 있다.
본 발명에 따른 대용량 플라즈마 열산화기에 의하면, 플라즈마 화염 및 고온과의 반응 효율이 개선되어 피처리가스의 효율적인 정화가 이루어질 수 있고, 플라즈마 화염이 토출될 때 플라즈마 화염이 피처리가스와의 간섭이 차단되므로 플라즈마 화염이 흔들림 없이 안정적으로 형성 및 토출될 수 있고, 플라즈마 화염이 긴 화염으로 토출될 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 플라즈마 버너 모듈을 확대 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 플라즈마 버너 및 화염보호커버부를 확대 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 플라즈마 버너의 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시된 플라즈마 버너의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기의 가스분해 반응기 내에서의 피처리가스의 선회 모습 및 배출 속도를 확인하기 위한 비교예 1, 비교예 2 및 실시예 1 각각의 구조적인 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 비교예 1, 비교예 2 및 실시예 1의 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기의 구성을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기는 가스분해 반응기(100) 및 플라즈마 버너 모듈(200)을 포함할 수 있다.
가스분해 반응기(100)는 대용량의 폐가스를 수용하여 정화하기 위한 내부공간을 갖는 원통 형상으로 형성되되, 항아리 형상으로 구비될 수 있다. 즉, 가스분해 반응기(100)는 원통의 하부에 하부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제1 곡면부(110) 및 원통의 상부에 상부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제2 곡면부(120)를 형성하여 항아리 형상으로 구비될 수 있고, 제2 곡면부(120)의 상부에 위치하는 정화가스 배출구(130)를 포함할 수 있다.
플라즈마 버너 모듈(200)은 외부로부터 피처리가스 및 플라즈마 화염의 생성을 위한 연료가 공급되고, 공급되는 피처리가스를 가스분해 반응기(100)의 내부공간으로 주입하며, 연료에 의한 플라즈마 화염을 토출할 수 있다. 이를 위해, 플라즈마 버너 모듈(200)은 피처리가스 공급덕트(210) 및 플라즈마 버너(220)를 포함할 수 있다.
피처리가스 공급덕트(210)는 피처리가스 유입부(211) 및 피처리가스 배출부(212)를 포함할 수 있다. 피처리가스 유입부(211)는 외부로부터 피처리가스가 유입되는 통로로서 제1 방향으로 연장되고, 피처리가스 배출부(212)는 피처리가스 유입부(211)로 유입되는 피처리가스를 피처리가스 공급덕트(210)의 외부로 배출하는 통로로서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되게 구성될 수 있다. 즉, 피처리가스 유입부(211) 및 피처리가스 배출부(212)는 서로 직각으로 배치될 수 있다. 이러한 피처리가스 유입부(211) 및 피처리가스 배출부(212) 간의 배치에 따라, 피처리가스 유입부(211)로 공급되는 피처리가스는 피처리가스 배출부(212)에 도달하면 직각으로 방향 전환되어 피처리가스 배출부(212)를 따라 이동할 수 있다. 일 예로, 피처리가스 유입부(211) 및 피처리가스 배출부(212)는 원통 형상일 수 있다.
플라즈마 버너(220)는 피처리가스 공급덕트(210)의 내부에서 플라즈마 화염을 피처리가스 배출 방향으로 토출할 수 있다. 이를 위해, 플라즈마 버너(220)는 피처리가스 유입부(211) 및 피처리가스 배출부(212) 간의 교차지점에서 토출부(221)가 피처리가스 배출부(212) 내부로 관통되게 설치되어 토출부(221)로부터 상기 제2 방향, 즉 피처리가스 배출부(212)의 길이방향으로 플라즈마 화염을 토출하도록 구성될 수 있다. 플라즈마 화염의 발화를 위해 연료가 주입될 수 있다. 토출되는 플라즈마 화염은 피처리가스 배출부(212)를 통해 배출되는 피처리가스와 반응하여 피처리가스를 1차적으로 정화시킬 수 있다.
플라즈마 버너(220)는 플라즈마의 생성을 위해 플라즈마 방전 또는 플라즈마 점화가 이루어지는 형태로 구성될 수 있다. 일 예로, 플라즈마 버너(220)는 전자파 플라즈마 토치로 구성될 수 있다. 이러한 경우, 플라즈마 버너(220)는 마그네트론으로부터 전자파가 공급되는 도파관(10)을 관통하는 방전관일 수 있고, 상기 토출부(221)는 방전관의 말단일 수 있다. 또한, 연료의 주입을 위해 토출부(221)의 후방, 예를 들어, 방전관의 측면 방향에서 연료의 주입이 이루어지도록 구성될 수 있다.
이러한 플라즈마 버너 모듈(200)은 피처리가스를 가스분해 반응기(100)의 내부공간으로 주입하기 위해 피처리가스 공급덕트(210)가 가스분해 반응기(100)에 연결될 수 있다. 이때, 피처리가스 공급덕트(210)의 피처리가스 배출부(212)가 가스분해 반응기(100)에 원통의 접선 방향으로 연결되되 가스분해 반응기(100) 내부로 관통될 수 있다. 따라서, 플라즈마 버너 모듈(200)을 통해 가스분해 반응기(100) 내부로 주입되는 피처리가스는 가스분해 반응기(100)의 내부에서 선회하며 와류될 수 있다.
이와 같이 플라즈마 버너 모듈(200)이 가스분해 반응기(100)에 연결될 때, 복수의 플라즈마 버너 모듈(200)이 가스분해 반응기(100)의 하부 및 상부에 배치되어 연결될 수 있다. 이때, 플라즈마 버너 모듈(200)은 가스분해 반응기(100)의 하부의 제1 곡면부(110)에 적어도 하나, 가스분해 반응기(100)의 상부의 제2 곡면부(120)에 두 개 이상 연결될 수 있다. 예를 들어, 플라즈마 버너 모듈(200)은 제1 곡면부(110)에 1개, 제2 곡면부(120)에 2개 연결될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기는 화염보호커버부(300)를 더 포함할 수 있다.
화염보호커버부(300)는 피처리가스 공급덕트(210) 내부에서 피처리가스 유입부(211)에 대향하게 배치되어 피처리가스 유입부(211)에 대해 플라즈마 화염을 커버할 수 있다.
일 예로, 화염보호커버부(300)는 반원통 형상일 수 있고, 길이방향이 플라즈마 화염의 토출 방향과 평행하며, 반원통의 외면이 피처리가스 공급덕트(210)의 피처리가스 유입부(211)에 대향할 수 있다. 예를 들어, 화염보호커버부(300)는 플라즈마 버너(220)의 토출부(221)로부터 피처리가스 공급덕트(210)의 피처리가스 배출부(212)와 평행하게 연장되며, 토출부(221)에서 피처리가스 공급덕트(210)의 피처리가스 유입부(211) 방향에 배치되어 플라즈마 화염을 커버할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기의 플라즈마 버너(220)는 토출부(221)의 내면의 둘레 방향을 따라 배열되는 세장형의 복수의 화염 토출 가이드홈(222)을 포함할 수 있다. 상기 세장형의 화염 토출 가이드홈(222)의 길이방향은 플라즈마 버너(220)의 길이방향에 평행할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기를 통해 피처리가스가 정화되는 과정을 설명한다.
먼저, 피처리가스 및 연료가 가스분해 반응기(100)의 상부 및 하부 각각에 연결된 플라즈마 버너 모듈(200)의 피처리가스 공급덕트(210)의 피처리가스 유입부(211) 내부로 공급된다. 일 예로, 상기 피처리가스는 VOCs, PFCs, NF3, SF6 등의 난분해성 폐가스 또는 NH3, H2S 등의 악취가스일 수 있고, 상기 연료는 가솔린, 등유 및 경유 등의 액체연료, LNG 및 LPG 등의 기체연료, 석탄 등의 고체 연료 중 어느 하나일 수 있다.
피처리가스 유입부(211)로 공급되는 피처리가스 및 연료가 피처리가스 배출부(212)에 도달하면 피처리가스 및 연료는 방향 전환되어 피처리가스 배출부(212)를 따라 이동한다. 이때, 플라즈마 버너(220)는, 예를 들어, 전자파에 의해 생성되는 플라즈마로 상기 연료를 연소시켜서 플라즈마 화염이 점화될 수 있고, 플라즈마 화염은 토출부(221)를 통해 토출될 수 있다. 토출되는 화염은 피처리가스 배출부(212)와 평행하게 토출된다. 이때, 플라즈마 화염은 세장형의 복수의 화염 토출 가이드홈(222)을 따라 토출되어 긴 화염으로 토출될 수 있다.
또한, 플라즈마 화염은 화염보호커버부(300)를 통해 피처리가스 유입부(211)와 차단되어 있으므로 피처리가스 유입부(211)를 따라 플라즈마 버너(220) 방향으로 진행하는 피처리가스는 화염보호커버부(300)에 충돌 및 가이드되어 피처리가스 배출부(212) 방향으로 방향 전환되어 진행할 수 있다. 이에 의해, 플라즈마 화염은 피처리가스가 플라즈마 화염을 향해 진행하는 것에 의한 흔들림 없이 안정적으로 토출될 수 있다.
이어서, 피처리가스가 화염보호커버부(300)를 지난 후 피처리가스 배출부(212)를 따라 이동할 때 피처리가스 배출부(212)를 따라 토출되는 플라즈마 화염과 반응하게 되고, 플라즈마 화염에 의해 1차적으로 정화될 수 있다.
또한, 플라즈마 화염은 피처리가스 배출부(212)를 따라 가스분해 반응기(100)의 내부공간까지 토출될 수 있고, 이에 의해 가스분해 반응기(100)의 내부공간은 가열되어 고온으로 유지될 수 있고, 피처리가스는 플라즈마 화염과 반응하면서 가스분해 반응기(100) 내부로 관통된 피처리가스 배출부(212)의 말단으로부터 가스분해 반응기(100)의 내부공간으로 주입된다.
주입된 피처리가스는 가스분해 반응기(100)의 내면의 원주 방향을 따라 선회하며 와류될 수 있고, 가스분해 반응기(100)의 제1 곡면부(110)에서 주입되는 피처리가스는 제1 곡면부(110)의 내면을 따라 선회하면서 정화가스 배출구(130)를 향해 상승하며, 제2 곡면부(120)에서 주입되는 피처리가스는 제2 곡면부(120)의 내면을 따라 선회하면서 정화가스 배출구(130)를 향해 상승한다.
이와 같이 피처리가스는 가스분해 반응기(100) 내에서 선회하여 와류되어 상승하는 시간 동안 가스분해 반응기(100) 내에 체류하면서 플라즈마 화염 및 가스분해 반응기(100) 내에 유지되는 고온에 의해 피처리가스 내의 유해성분, 예를 들어, 난분해성 물질 및 악취 등이 분해되어 정화될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기의 가스분해 반응기 내에서의 피처리가스의 선회 모습 및 배출 속도를 확인하기 위한 비교예 1, 비교예 2 및 실시예 1 각각의 구조적인 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 비교예 1, 비교예 2 및 실시예 1의 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
도 6에서 (a)는 비교예 1의 모습을 나타내며, (b)는 비교예 2의 모습을 나타내며, (c)는 실시예 1로서 본 발명의 대용량 플라즈마 열산화기의 모습을 나타낸다. 여기서, 비교예 1 및 비교예 2는 가스분해 반응기(100) 하부에서 플라즈마 버너 모듈(200)이 가스분해 반응기(100)의 제1 곡면부(110)에 위치하지 않으며, 비교예 2는 정화가스 배출구(130)로부터 아래로 연장되는 굴뚝(Chimney)을 구비하도록 구성하였다.
도 7의 (a)는 비교예 1의 시뮬레이션 결과 모습을 나타내고, (b)는 비교예 2의 시뮬레이션 결과를 나타내고, (c)는 실시예 1의 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
도 7에 나타난 바와 같이, 비교예 1 및 비교예 2에 비해 본 발명의 대용량 플라즈마 열산화기에 해당하는 실시예 1의 반응기에서 피처리가스는 균일하고 안정적으로 선회하는 모습을 나타내었고, 피처리가스의 배출 속도도 빨라지는 것을 확인할 수 있었다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 대용량 플라즈마 열산화기를 이용하면, 가스분해 반응기(100) 내부공간으로 주입되는 피처리가스가 균일하고 안정적으로 선회하여 와류되어 플라즈마 화염 및 고온과의 반응 효율이 개선되어 피처리가스의 효율적인 정화가 이루어질 수 있는 이점이 있다.
또한, 플라즈마 화염이 토출될 때 플라즈마 화염이 피처리가스와의 간섭이 차단되므로 플라즈마 화염이 흔들림 없이 안정적으로 형성 및 토출될 수 있는 이점이 있다.
또한, 플라즈마 화염을 토출하는 플라즈마 버너(220)의 토출부에 세장형의 다수의 화염 토출 가이드홈(222)이 구비되므로 플라즈마 화염이 긴 화염으로 토출될 수 있는 이점이 있다.
제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 발명은 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 원통의 하부에 하부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제1 곡면부(110), 원통의 상부에 상부 방향으로 직경이 점차 감소하여 형성되는 제2 곡면부(120) 및 상기 제2 곡면부 상부에 위치하는 정화가스 배출구(130)를 포함하는 가스분해 반응기(100); 및
    상기 제1 곡면부(110) 및 상기 제2 곡면부(120)에 원통의 접선 방향으로 연결되고, 피처리가스를 플라즈마 화염과 접촉시키면서 상기 가스분해 반응기(100) 내부로 주입시키는 플라즈마 버너 모듈(200)을 포함하고,
    상기 플라즈마 버너 모듈(200)은,
    제1 방향으로 연장되는 피처리가스 유입부(211) 및 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 피처리가스 배출부(212)를 포함하는 피처리가스 공급덕트(210); 및
    상기 피처리가스 유입부(211) 및 상기 피처리가스 배출부(212) 간의 교차지점에서 토출부(221)가 상기 피처리가스 배출부(212) 내부로 관통되게 설치되어 상기 토출부(221)로부터 상기 제2 방향에 평행하게 플라즈마 화염을 토출하는 플라즈마 버너(220)를 포함하고,
    상기 피처리가스 배출부(212)가 상기 가스분해 반응기(100)에 원통의 접선 방향으로 연결되되 상기 가스분해 반응기(100) 내부로 관통되는 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너 모듈(200)은 상기 제1 곡면부(110)에는 적어도 하나, 상기 제2 곡면부(120)에는 두 개 이상 연결되는 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너 모듈(200)은,
    상기 피처리가스 공급덕트(210) 내부에서 상기 피처리가스 유입부(211)에 대향하게 배치되어 상기 피처리가스 유입부(211)에 대해 상기 플라즈마 화염을 커버하는 화염보호커버부(300)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 화염보호커버부(300)는 반원통 형상이고, 반원통의 외면이 상기 피처리가스 유입부(211)에 대향하는 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너(220)는 상기 토출부(221)의 내면의 둘레 방향을 따라 배열되는 세장형의 복수의 화염 토출 가이드홈(222)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너(220)는 전자파 플라즈마 토치인 것을 특징으로 하는,
    대용량 플라즈마 열산화기.
  8. 제1 방향으로 연장되는 피처리가스 유입부(211) 및 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 연장되는 피처리가스 배출부(212)를 포함하는 피처리가스 공급덕트(210); 및
    상기 피처리가스 유입부(211) 및 상기 피처리가스 배출부(212) 간의 교차지점에서 토출부(221)가 상기 피처리가스 배출부(212) 내부로 관통되게 설치되어 상기 토출부(221)로부터 상기 제2 방향에 평행하게 플라즈마 화염을 토출하는 플라즈마 버너(220)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
    플라즈마 버너 모듈.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너 모듈(200)은,
    상기 피처리가스 공급덕트(210) 내부에서 상기 피처리가스 유입부(211)에 대향하게 배치되어 상기 피처리가스 유입부(211)에 대해 상기 플라즈마 화염을 커버하는 화염보호커버부(300)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,
    플라즈마 버너 모듈.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 화염보호커버부(300)는 반원통 형상이고, 반원통의 외면이 상기 피처리가스 유입부(211)에 대향하는 것을 특징으로 하는,
    플라즈마 버너 모듈.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너(220)는 상기 토출부(221)의 내면의 둘레 방향을 따라 배열되는 세장형의 복수의 화염 토출 가이드홈(222)을 포함하는 것을 특징으로 하는,
    플라즈마 버너 모듈.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 플라즈마 버너(220)는 전자파 플라즈마 토치인 것을 특징으로 하는,
    플라즈마 버너 모듈.
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