KR100885248B1 - 진공 클리닝 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는, 보다 상세하게는 프로세스 챔버의 하부에 구비된 터보 펌프와, 상기 터보 펌프의 양측에 형성된 컷오프 밸브와, 상기 컷오프 밸브의 양측 하단부에 구비되며 다수개의 플랜지 이음으로 체결되는 배출 배관을 포함하는 커스터머 장비와, 상기 배출 배관에 연결되는 집합 배관과, 상기 집합 배관의 하단에 연결되는 벨로우즈와, 상기 벨로우즈의 하단에 연결되는 배기 배관이 구비된 진공 펌프로 구성된 진공 클리닝 장치에 있어서, 상기 집합 배관의 하단 둘레에 연결 가능하며 포집기에 연결되는 집진공; 및 상기 집진공에 대응되게 구비되고 세정수단이 삽입 가능하며 세관기에 연결되는 세관공이 형성되어 있는 지그로 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명은 진공 클리닝 장치에 관한 것으로서, 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정 및 화학공장 등에서 배출되는 배기가스나 이물질 등이 배출 배관 또는 집합 배관 내부 둘레에 고착된 것을 청소하기 위하여 주기적으로 정비하는 기간에 배출 배관이나 집합 배관을 분리하여 세정수단을 통해 내부 둘레에 증착된 이물질을 제거할 수 있는 진공 클리닝 장치에 관한 것이다.
커스터머 장비 , 세정수단 , 지그 , 브러쉬

Description

진공 클리닝 장치{VACUUM CLEANING DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치를 도시한 분해 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치를 개략적으로 도시한 그림.
도 3은 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 세정수단을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 있어서 직관용 브러쉬를 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 곡관용 브러쉬를 도시한 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
100 : 커스터머 장비
111 : 프로세스 챔버 , 112 : 터보 펌프
113 : 컷오프 밸브 , 114 : 배출 배관
200 : 집합 배관
300 : 벨로우즈
400 : 진공 펌프
410 : 배기 배관
500 : 지그
510 : 집진공 , 511 : 포집기
520 : 세관공 , 521 : 세관기
600 : 세정수단
610 : 전동 모터 , 611 : 회전축 , 612 : 풀리
613 : 벨트 , 620 : 샤프트 , 630 : 샤프트 코어
640 : 와이어 플렉시블 , 650 : 브러쉬
700 : 직관용 브러쉬
800 : 곡관용 브러쉬
900 : 산업용 내시경 모니터 , 910 : 산업용 내시경 카메라
920 : 질소 공급밸브
본 발명은 진공 클리닝 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정 및 화학공장 등에서 배출되는 배기가스나 이물질 등이 배출 배관 또는 집합 배관 내부 둘레에 고착된 것을 청소하기 위하여 주기적으로 정비하는 기간에 배출 배관이나 집합 배관을 분리하여 세정수단을 통해 내부 둘레에 증착된 이물질을 제거할 수 있는 진공 클리닝 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정 및 화학공장 등에서는 프로세스 가스와 클리닝 가스를 포함하여, 여러 종류의 가스를 사용하게 되는데, 제조공정 후 발생되는 프로세스 배기가스나 클리닝 배기가스 또는 미반응 배기가스 등의 배기가스는 독성이 강하여 외부로 배출시키기 이전에 진공 펌프를 통해 배기가스 처리장치로 이동시켜 정화처리하게 된다.
그러나, 이들 배기가스에는 반응 생성물의 분해에 의해 생성되는 미립자가 다량 함유되어 있어, 배기가스나 진공펌프 또는 배기가스 처리장치로 이동되는 과정에서 배관의 내부에 침적되거나 고착되게 된다. 특히, 프로세스 가스에 사용되는 화합물 중 일부는 배기되는 과정에서 온도의 저하 등과 같은 외부 변화에 의해 빠르게 파우더 화되면서 배관의 내부 둘레에 침적되거나 고착되게 된다.
이와 같이 배기가스의 이동 과정에서 침적 또는 고착되는 물질의 량이 많아지면 배기가스의 흐름이 원활하지 못하여 생산 공정에 차질을 줄 수 있다는 문제점이 있으며, 심한 경우 배관이 막히는 현상이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해서는 주기적으로 장비를 정비하는 기간에 클리닝을 하는데 배관을 교체하거나 분리를 하여 배관 내부 청소를 해야 됨으로 모든 장비에 배관을 교체하는 시기에 많은 비용 상승 및 보관 장소를 확보되어야 하며, 또, 청소를 할 때에 배관을 분해하여 대행업체에 맡겨야 함으로 생산성의 저하를 유발시키는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여 컷오프 밸브의 일부분만을 히팅 코일을 감아주고, 배관 전체에 히팅 코일을 적용하면 좋으나 히팅 코일을 설치할 때 발생되는 설치비 및 유지비용 등이 크다는 단점이 있기 때문에 실시되지 못하고 있다.
따라서, 이러한 방법을 지속적으로 히팅 코일을 이용하여 컷오프 밸브를 가열해 주어야 함으로 에너지 손실이 크고, 배기가스에 함유된 반응물 등이 고착이나 침적 방지에는 큰 효과를 얻을 수 없으며, 파우더 고착 방지의 효율 또한 크게 개선되지 못하여 주기적으로 장비를 정비하는 기간에 배관을 교체해주거나 배관의 내 부를 청소해주어야 하는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 집합 배관의 하단에 지그를 고정하여 세정수단을 통해 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 제거함으로써, 집합 배관이나 배출 배관을 통해 외부로 배출되는 배기가스의 배기 능력을 향상시킬 수 있음은 물론 각각의 배출 배관과 집합 배관을 분리해서 세정하는 장소로 가져가서 클리닝하여 다시 조립하기 때문에 시간 절약 및 산업상 효율성을 향상시킬 수 있는 진공 클리닝 장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 집합 배관이나 배출 배관 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 확인하기 위해 산업용 내시경 카메라에 연결된 산업용 내시경 모니터가 구비됨으로써, 사람이 육안으로 집합 배관과 배관에 증착된 파우더가 제거된 것을 확인할 수 있는 목적도 있다.
또, 집합 배관이나 배출 배관의 형상에 따라 직관용 브러쉬 또는 곡관용 브러쉬를 사용함으로써, 집합 배관과 배관 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 깨끗이 청소할 수 있는 목적도 있다.
또, 집합 배관이나 배출 배관의 양측 둘레에 질소 공급밸브를 고정하여 질소 플러쉬를 공급함으로써, 배관의 내부 둘레에서 브러쉬가 회전됨에 따라 발생되는 마찰으로 의한 폭발 및 인체에 나쁜 영향을 주는 배기가스 등을 제거할 수 있는 목적도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는, 프로세스 챔버의 하부에 구비된 터보 펌프와, 상기 터보 펌프의 양측에 형성된 컷오프 밸브와, 상기 컷오프 밸브의 양측 하단부에 구비되며 다수개의 플랜지 이음으로 체결되는 배출 배관을 포함하는 커스터머 장비와, 상기 배출 배관에 연결되는 집합 배관과, 상기 집합 배관의 하단에 연결되는 벨로우즈와, 상기 벨로우즈의 하단에 연결되는 배기 배관이 구비된 진공 펌프로 구성된 진공 클리닝 장치에 있어서, 상기 집합 배관의 하단 둘레에 연결 가능하며 포집기에 연결되는 집진공; 및 상기 집진공에 대응되게 구비되고 세정수단이 삽입 가능하며 세관기에 연결되는 세관공이 형성되어 있는 지그로 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 예시 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치를 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치를 개략적으로 도시한 그림이다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는, 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정 및 화학 공장 등의 구조 장치에 연결되어 있는 각각의 배관을 분리하여 세정하는 장소로 가져가 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레에 고착된 파우더 등을 청소하는 것이다.
본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는, 프로세스 챔버(111)의 하부에 구비된 터보 펌프(112)와, 상기 터보 펌프(112)의 양측에 형성된 컷오프 밸브(113)와, 상기 컷오프 밸브(113)의 양측 하단부에 구비되며 다수개의 플랜지 이음으로 체결되는 배출 배관(114)을 포함하는 커스터머 장비(100)와, 상기 배출 배관(114)에 연결되는 집합 배관(200)과, 상기 집합 배관(200)의 하단에 연결되는 벨로우즈(300)와, 상기 벨로우즈(300)의 하단에 연결되는 배기 배관(410)이 구비된 진공 펌프(400)로 구성된다.
상기 집합 배관(200)의 하단 둘레에 연결 가능하며 포집기(511)에 연결되는 집진공(510)과, 상기 집진공(510)에 대응되게 구비되고 세정수단(600)이 삽입 가능하며 세관기(521)에 연결되는 세관공(520)이 형성되어 있는 지그(500)로 구성된다.
그리고, 상기 프로세스 챔버(111)는 반도체 장비나 LCD 장비 또는 화학 공장 등에서 제품을 제조하는 공정에서 발생되는 배기가스 및 세정액 등을 외부로 배출하는 과정을 진행하는 공간이고, 또 패턴을 정체할 수 있는 역할을 하는 것이다.
아울러, 상기 터보 펌프(112)는 프로세스 챔버(111)의 양측 하부에 연결되어 있고, 상기 프로세스 챔버(111)에 저장된 배기가스 및 세정액 등을 터보 펌프(112)의 구동에 의해 강제적으로 컷오프 밸브(113)로 공급할 수 있는 역할을 한다.
또한, 상기 컷오프 밸브(113)는 터보 펌프(112)의 양측에 구비되어 배기가스나 세정액 등이 후술하게 될, 배출 배관(114)에 배출되거나 차단을 할 수 있다. 이러한 컷오프 밸브(113)는 터보 펌프(112)의 출구측 압력이 설정 압력에 가깝게 되었을 때 가변 토출량을 제어할 수 있어 배출량을 감소시킬 수 있다. 일반적으로 컷오프 밸브(113)는 진공 상태를 유지해야 하는 터보 펌프(112)의 양측에 형성되며, 상기 터보 펌프(112)를 진공 상태를 변환시켜서 유지시키거나 진공 상태의 터보 펌프(112)의 내부를 대기압의 상태로 변환 시킬 때에 온(ON)/오프(OFF) 동작을 하게 된다. 상기 컷오프 밸브(113)의 종류로는 벨로스(bellows)형 밸브와 피스톤(piston)형 밸브 등이 사용되고 있다.
상기 배출 배관(114)은 커스터머 장비(100)의 구성인 컷오프 밸브(113)의 하단부에 연결되고, 다수개의 배출 배관(114)을 플랜지 이음 사이에 오링(미도시) 등을 밀착한 상태에서 볼트 결합 등으로 체결함으로써, 배기가스나 세정액 등이 대기로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 이러한 배출 배관(114)은 반도체 장비, LCD 장비, 화학 공장 등의 산업 현장에서 다양하게 사용되고 있는 실정이다.
그리고, 상기 집합 배관(200)은 배출 배관(114)의 사이에 연결되어 있고, 이 집합 배관(200)의 형태는 기억자 형상이다. 이러한 집합 배관(200)은 커스터머 장비(100)에서 배출되는 배기가스나 세정액 등이 배출 배관(114)을 통해 공급되고, 배출 배관(114)에 연결된 집합 배관(200)으로 배기가스나 세정액 등이 배출하는 통로 역할을 하는 것이다.
또한, 상기 벨로우즈(300)는 집합 배관(200)의 하단 둘레와, 후술하게 될 진공 펌프(400)의 배기 배관(410)의 상부 둘레 사이에 연결되거나 분리 가능하며, 상기 벨로우즈(300)는 플렉시블하고 신축력이 좋은 재질로 제작되어 진다.
상기 진공 펌프(400)는 상기 벨로우즈(300)의 하단에 연결된 배기 배관(410)을 포함한 것으로서, 상기 집합 배관(200)에 공급된 배기가스 등을 진공 펌프(400)의 구동에 의해 배기 배관(410)을 통해 내부 공간에 배기가스 등을 흡입하는 역할을 한다. 이러한 진공 펌프(400)의 내부 공간에 유입된 배기가스나 이물질 등을 진공 펌프(400)의 작동에 의해 이에 연결된 세관기(521)에 강제적으로 배출할 수 있 는 것이다.
한편, 본 발명의 실시예에 있어서, 상기 지그(500)는 집합 배관(200)의 하단에 연결되며, 포집기(511)에 연결되는 집진공(510)과, 상기 집진공(510)에 대응되게 구비되며 세정수단(600)이 삽입 가능하며 세관기(521)에 연결되는 세관공(520)이 형성된다.
상기 지그(500)는 집합 배관(200)의 하단 둘레에 연결되어 있는 벨로우즈(300)를 분리한 후, 상기 지그(500)를 집합 배관(200)에 고정할 수 있도록 구비된다. 이러한 지그(500)의 구성인 세관공(520)에 세정수단(600)의 구성인 다수개의 브러쉬(650)가 형성되어 있는 와이어 플렉시블(640)을 삽입하여 전동 모터(610)의 구동에 의해 집합 배관(200)이나 배출 배관(114)의 내부 둘레에 증착된 이물질 등을 청소를 진행 하면, 이와 동시에 상기 세관공(520)과 대치 되도록 형성된 집진공(510) 쪽으로 이물질이나 배기가스 등이 배출되어 포집기(511) 쪽으로 이동하고, 간단한 청소 과정을 거침에 따라 반도체 제조공정이나 LCD 제조공정 및 화학 공장 등에서 발생되는 배기가스나 이물질 등을 포집기(511) 쪽으로 배출할 수 있음에 따라 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 청소 시간을 단축할 수 있는 이점이 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는 상기 집합 배관(200)이나 배출 배관(114)의 내부 둘레에 증착된 파우더를 확인하기 위해 산업용 내시경 카메라(910)에 연결된 산업용 내시경 모니터(900)가 더 구비된다.
즉, 세정수단(600)을 통해 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레 에 증착된 파우더 등이 제거된 것을 확인하기 위하여 산업용 내시경 카메라(910)를 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)에 삽입한 다음 이에 전송된 신호가 산업용 내시경 모니터(900)에 화면이 보이면 작업자가 육안으로 파우더가 제거된 것을 확인할 수 있다. 또한, 산업용 내시경 모니터(900)에 저장된 데이터 값을 고객의 요청에 따라 사진이나 동영상 자료를 제공할 수 있는 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는 상기 집합 배관(200)이나 배출 배관(114)의 외측 둘레에 고정하여 질소 플러쉬를 공급하는 질소 공급밸브(920)가 더 구비된다.
즉, 집합 배관(200)의 하부 둘레에 지그(500)를 장착한 후 상기 지그(500)의 구성된 세관공(520)에 와이어 플렉시블(640)에 형성된 브러쉬(650)를 삽입하고, 이에 회전력을 전달하는 전동 모터(610)의 구동에 의해 동시에 회전된다. 그리고, 상기 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 외측 둘레에 질소 공급밸브(920)를 삽입 고정한 다음, 질소 공급밸브(920)에 질소 플러쉬를 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)에 공급함으로써, 마찰에 의한 열을 식힘은 물론 배기가스가 지그(500)의 집진공(510)을 따라 포집기(511)로 이동함에 따라 폭발을 방지할 수 있으며 인체에 영향을 주는 유독한 배기가스 등을 제거할 수 있는 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 세정수단을 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 세정수단(600)은 상부로 돌출된 회전축(611)이 구비되고 상기 회전축(611) 둘레에 형성된 풀리(612)를 포함하는 전동 모터(610)와, 상기 풀리(612)에 연결된 벨트(613)의 회전에 의해 구동되는 샤프트(620)와, 상기 샤프트(620)의 상부에 구비된 샤프트 코어(630)와, 상기 샤프트 코어(630)의 상부 중앙에 고정 가능한 와이어 플렉시블(640)과, 상기 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 다수개로 형성되어 있는 브러쉬(650)로 구성된다.
상기 전동 모터(610)는 진공 클리닝 장치에 적용하기 위하여 특수 설계하여 제작되어 지고, 이 전동 모터(610)의 상부 중앙에 돌출되게 회전축(611)이 구비되며, 이 회전축(611)의 둘레에 풀리(612)가 형성된다. 이러한 전동 모터(610)의 구동에 의해 회전축(611)이 회전되면, 이와 동시에 회전축(611)의 둘레에 구비된 풀리(612)가 회전되면서 후술하게 될 샤프트(620)에 회전력을 전달하는 것이다.
그리고, 상기 샤프트(620)는 전동 모터(610)의 구동을 전달하는 풀리(612)의 둘레에 고정된 벨트(613)의 회전에 의해 샤프트(620)가 동시에 구동되고 후술하게 될, 브러쉬(650)가 회전되면서 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레 부분에 고착된 파우더 등을 청소할 수 있다.
또한, 상기 샤프트 코어(630)는 샤프트(620)의 상부에 구비되어 있고, 샤프트 코어(630)의 상부에는 와이어 플렉시블(640)이 연결되어 회전 가능하도록 하는 연결체 역할을 하는 것이다.
아울러, 상기 와이어 플렉시블(640)은 샤프트 코어(630)의 상부 중앙에 고정 가능하게 구비된 것으로서, 전동 모터(610)의 구동에 의해 동시에 회전되고, 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 청소할 수 있다.
상기 브러쉬(650)는 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 다수개로 구비된 것으로 서, 전동 모터(610)의 구동에 의해 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 제거할 수 있으며, 종래에는 주기적으로 장비를 정비하는 기간에 집합 배관(200)을 교체하거나 배출 배관(114)의 내부를 청소해야 하는 번거로움 등을 해소할 수 있음에 따라 작업자가 시간을 단축할 수 있어 경제적으로 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 있어서 직관용 브러쉬를 도시한 도면이다.
도 3과 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 있어서, 상기 브러쉬(650)는, 일직선으로 형성된 집합 배관(200)이나 배출 배관(114) 내부를 청소할 수 있는 직관용 브러쉬(700)가 더 구비된다.
즉, 상기 직관용 브러쉬(700)는 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 다수개로 형성된 것으로서, 샤프트 코어(630)에 연결된 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 직관용 브러쉬(700)가 전동 모터(610)의 구동에 의해 동시에 회전되면서 일직선으로 형성되어 있는 배출 배관(114)이나 집합 배관(200) 둘레에 직관용 브러쉬(700)를 삽입하여 그 내부 둘레에 고착된 파우더 등을 깨끗이 제거할 수 있는 것이다.
이러한 직관용 브러쉬(700)는 배출 배관(114)이나 집합 배관(200) 내부 표면에서 파우더만이 브러싱 되게 하는 특수 소재로 제작됨으로써 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)은 SUS재질의 표면에는 손상을 주지 않는 이점이 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 곡관용 브러쉬를 도시한 도면이다.
도 3과 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 있어서, 상기 브러쉬(650)는, 곡선으로 형성된 집합 배관(200)이나 배출 배관(114) 내부를 청소할 수 있는 곡관용 브러쉬(800)가 더 구비된다.
즉, 상기 곡관용 브러쉬(800)는 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 다수개로 구비된 것으로서, 샤프트 코어(630)에 연결된 와이어 플렉시블(640)의 둘레에 곡관용 브러쉬(800)가 전동 모터(610)의 구동에 의해 회전되면서 곡선 형상으로 제작 되어진 배출 배관(114)이나 집합 배관(200)의 내부 둘레에 곡관용 브러쉬(800)가 삽입되어 그 내부 둘레에 점착된 파우더 등을 깨끗이 제거할 수 있는 것이다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 사용 과정을 설명하면 다음과 같다.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 사용 과정을 설명하면, 먼저 집합 배관(200)의 하단에 연결된 벨로우즈(300)를 분리한 후, 상기 벨로우즈(300)의 하단에 연결된 배기 배관(410)을 포함하는 진공 펌프(400)를 분리한다.
그리고, 배출 배관(114) 사이에 연결되어 있는 집합 배관(200)을 분리한 다음 세정하는 장소로 이동하고, 상기 집합 배관(200)의 양측에 질소 공급밸브(920)를 고정한 후 집합 배관(200) 내부 둘레에 브러쉬(650)의 회전에 의해 집합 배관(200)의 마찰에 의한 폭발과 인체에 영향을 미치는 배기가스 등을 제거하기 위해 질소 공급밸브(920)에 질소 플러쉬를 공급한다.
그런 다음, 상기 집합 배관(200)의 하단 둘레에 지그(500)를 연결한 후, 상기 지그(500)에 형성된 집진공(510)은 관을 통해 포집기(511)에 연결하고, 상기 집진공(510)과 대치되는 세관공(520)에 세정수단(600)의 구성인 브러쉬(650)가 형성 된 와이어 플렉시블(640)을 삽입한다.
이와 같은 과정에서 세정수단(600)의 구성인 전동 모터(610)에 전원을 인가하면 이 전동 모터(610)의 회전축(611)의 둘레에 형성된 풀리(612)의 둘레에 감겨진 벨트(613)가 회전되면서, 상기 벨트(613)에 연결된 샤프트(620)가 동시에 회전되면서 샤프트 코어(630) 및 와이어 플렉시블(640)이 회전된다.
따라서, 와이어 플렉시블(640)에 형성된 브러쉬(650)가 회전되면서 집합 배관(200)의 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 깨끗이 청소하고, 상기 지그(500)에 형성된 집진공(510)을 따라 포집기(511)에 배기가스 및 파우더 등이 배출되는 것이다.
한편, 배출 배관(114)을 청소할 경우에 세정하는 장소로 가져간 후, 상기와 같은 동일한 과정을 통해 배출 배관(114)을 청소하기 때문에 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 진공 클리닝 장치의 청소 과정이 끝난 후 집합 배관(200)이나 배출 배관(114) 내부 둘레를 확인하는 과정을 설명하면, 집합 배관(200)의 하부 둘레에 고정된 지그(500)를 분리한 후 집합 배관(200) 및 배출 배관(114)에 산업용 내시경 카메라(910)를 넣은 상태에서 집합 배관(200) 및 배출 배관(114) 내부에 고착된 파우더 등을 확인하기 위하여 산업용 내시경 카메라(910)에 연결된 전선을 통해 신호를 산업용 내시경 모니터(900)에 전달된다.
다음, 사람의 육안으로 산업용 내시경 모니터(900)의 화면을 볼 때 집합 배관(200) 및 배출 배관(114)의 내부 둘레의 상태를 확인하여 파우더 등이 잘 제거된 것을 확인할 수 있다.
그런 다음, 집합 배관(200)이나 배출 배관(114)을 원래 상태로 조립하면 완료가 되는 것이다.
한편, 집합 배관(200)이나 배출 배관(114)의 내부 둘레에 파우더 등이 잘 제거되지 않은 경우에는 세정수단(600)을 통해 집합 배관(200) 및 배출 배관(114) 내부 둘레를 재 청소할 수 있다.
따라서, 산업용 내시경 모니터(900)에 확인된 배출 배관(114) 및 집합 배관(200)의 내부 둘레에 파우더 등이 제거된 경우에 산업용 내시경 모니터(900)에 저장된 데이타 기록 내지 사진 또는 동영상을 고객에게 제공할 수 있다.
그러므로, 배출 배관(114) 및 집합 배관(200) 내부 둘레에 고착된 파우더 등을 세정수단(600)을 사용하여 편리하게 청소할 수 있는 이점이 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형의 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 특허 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 진공 클리닝 장치는, 집합 배관의 하단에 지그를 고정하여 세정수단을 통해 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 제거함으로써, 집합 배관이나 배출 배관을 통해 외부로 배출되는 배기가스의 배기 능력을 향상시킬 수 있음은 물론 각각의 배출 배관과 집합 배관을 분리해서 세정하는 장소로 가져가서 클리닝하여 다시 조립하기 때문에 시간 절약 및 산업상 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 집합 배관이나 배출 배관 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 확인하기 위해 산업용 내시경 카메라에 연결된 산업용 내시경 모니터가 구비됨으로써 사람이 육안으로 집합 배관과 배관에 증착된 파우더가 제거된 것을 확인할 수 있는 효과도 있다.
또, 집합 배관이나 배출 배관의 형상에 따라 직관용 브러쉬 또는 곡관용 브러쉬를 사용함으로써, 집합 배관과 배관 내부 둘레에 증착된 파우더 등을 깨끗이 청소할 수 있는 효과도 있다.
또, 집합 배관이나 배출 배관의 양측 둘레에 질소 공급밸브를 고정하여 질소플쉬를 공급함으로써, 배관의 내부 둘레에서 브러쉬가 회전됨에 따라 발생되는 마찰으로 의한 폭발 및 인체에 나쁜 영향을 주는 배기가스 등을 제거할 수 있는 효과도 있다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 프로세스 챔버의 하부에 구비된 터보 펌프와, 상기 터보 펌프의 양측에 형성된 컷오프 밸브와, 상기 컷오프 밸브의 양측 하단부에 구비되며 다수개의 플랜지 이음으로 체결되는 배출 배관을 포함하는 커스터머 장비와, 상기 배출 배관에 연결되는 집합 배관과, 상기 집합 배관의 하단에 연결되는 벨로우즈와, 상기 벨로우즈의 하단에 연결되는 배기 배관이 구비된 진공 펌프로 구성된 진공 클리닝 장치에 있어서,
    상기 집합 배관의 하단 둘레에 연결 가능하며 포집기에 연결되는 집진공; 및
    상기 집진공에 대응되게 구비되고, 상부로 돌출된 회전축이 구비되고 상기 회전축 둘레에 형성된 풀리를 포함하는 전동 모터와, 상기 풀리에 연결된 벨트의 회전에 의해 구동되는 샤프트와, 상기 샤프트의 상부에 구비된 샤프트 코어와, 상기 샤프트 코어의 상부 중앙에 고정 가능한 와이어 플렉시블과, 상기 와이어 플렉시블의 둘레에 다수개로 형성되어 있는 브러쉬로 구성된 세정수단이 삽입 가능하며 세관기에 연결되는 세관공이 형성되어 있는 지그로 구성됨을 특징으로 하는 진공 클리닝 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 브러쉬는,
    일직선으로 형성된 집합 배관이나 배출 배관 내부를 청소할 수 있는 직관용 브러쉬가 더 구비됨을 특징으로 하는 진공 클리닝 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 브러쉬는,
    곡선으로 형성된 집합 배관이나 배출 배관 내부를 청소할 수 있는 곡관용 브러쉬가 더 구비됨을 특징으로 하는 진공 클리닝 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 집합 배관이나 배출 배관의 내부 둘레에 증착된 파우더를 확인하기 위해 산업용 내시경 카메라에 연결된 산업용 내시경 모니터가 더 구비됨을 특징으로 하는 진공 클리닝 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 집합 배관이나 배출 배관의 외측 둘레에 고정하여 질소 플러쉬를 공급하는 질소 공급밸브가 더 구비됨을 특징으로 하는 진공 클리닝 장치.
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