KR100882596B1 - Plating apparatus having a fixing mean using magnetic force - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도금장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 피도금물을 고정하기 위해 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plating apparatus, and more particularly to a plating apparatus having a magnetic fixing part that does not need to apply an excessive external force to fix the plated object.

본 발명은 도금액이 저장된 도금조와, 도금공정의 대상인 피도금물을 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치로, 침강수단에는 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위한 자력고정부가 구비되는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a plating apparatus including a plating tank in which a plating solution is stored, and a settling means for settling a plated object, which is a target of a plating process, in a plating tank. It is characterized by.

본 발명에 따르면 자력을 통해 피도금물을 고정할 수 있도록 함으로써, 지그를 사용하던 종래의 기술과 달리 피도금물에 무리한 외력을 가할 필요가 없으므로 외력에 의해 피도금물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, by allowing the plated object to be fixed by magnetic force, unlike the conventional technique of using a jig, it is not necessary to apply an excessive force to the plated object, thereby preventing the plated object from being damaged by the external force. have.

또한, 피도금물에 전기를 인가하기 위하여 부드러운 소재인 금속화이버를 이용함으로써 피도금물의 표면에 긁힘과 같은 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent damage such as scratches on the surface of the plated object by using a metal material of a soft material to apply electricity to the plated object.

도금, 고정, 자력, 웨이퍼 Plated, fixed, magnetic, wafer

Description

자력고정부를 구비한 도금장치{Plating apparatus having a fixing mean using magnetic force}Plating apparatus having a fixing mean using magnetic force}

도 1은 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더를 도시한 구성도,1 is a block diagram showing a wafer holder of the plating apparatus according to the prior art,

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치의 구성도,2 is a block diagram of a plating apparatus having a magnetic fixing part according to an embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치의 구성도,3 is a block diagram of a plating apparatus having a magnetic fixing part according to another embodiment of the present invention;

도 4a 및 4b는 도 2 또는 도 3에 도시된 자력고정부에 대한 세부구성도이다.4A and 4B are detailed configuration diagrams of the magnetic fixing unit shown in FIG. 2 or 3.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

210 : 도금조 211 : 도금액210: plating bath 211: plating solution

220 : 침강수단 211 : 자력고정부220: sedimentation means 211: self-government

222 : 단자 223 : 후크222: terminal 223: hook

224 : 금속화이버 225 : 요홈224 metal fiber 225 groove

230 : 공이 240 : 컨베이어벨트230: ball 240: conveyor belt

본 발명은 도금장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 피도금물을 고정하기 위해 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plating apparatus, and more particularly to a plating apparatus having a magnetic fixing part that does not need to apply an excessive external force to fix the plated object.

도 1에는 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더가 도시되어 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 종래의 기술에 따른 도금장치의 웨이퍼홀더(100)는 상부지그(110) 및 하부지그(120)를 포함하며, 상부지그(110) 및 하부지그(120)는 스크류(130)가 회전함에 따라 상하로 수직이동하게 된다.1 shows a wafer holder of a plating apparatus according to the prior art. As shown in FIG. 1, the wafer holder 100 of the plating apparatus according to the related art includes an upper jig 110 and a lower jig 120, and the upper jig 110 and the lower jig 120 may include a screw ( As the 130 is rotated, vertical movement is performed.

또한, 상부지그(110)와 하부지그(120)의 양단에는 상부지그(110)와 하부지그(120)의 사이에 고정되는 피도금물(10)에 전기를 공급하기 위한 단자(112,122)가 구비된다.In addition, both ends of the upper jig 110 and the lower jig 120 are provided with terminals 112 and 122 for supplying electricity to the plated object 10 fixed between the upper jig 110 and the lower jig 120. do.

종래의 기술에 따른 도금장치는 위에서 살펴본 바와 같은 구성을 통해 피도금물(10)을 고정하는데, 이때 신뢰성있는 고정을 위해 무리하게 상부지그(110)와 하부지그(120)로 피도금물(10)에 외력을 가할 경우 피도금물(10)이 이러한 외력을 견디지 못하고 파손되는 경우가 비일비재하였다.The plating apparatus according to the related art is fixed to the plated object 10 through the configuration as described above, wherein the plated object 10 to the upper jig 110 and the lower jig 120 forcibly for reliable fixing. When the external force is applied to), the plated material 10 is not able to withstand such external force and is damaged.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로, 자력을 통해 피도금물을 고정함으로써 무리한 외력을 가할 필요가 없는 자력고정부를 구비한 도금장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a plating apparatus having a magnetic fixing part that does not need to apply excessive external force by fixing a plated object through magnetic force.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도금액이 저장된 도금조와, 도 금공정의 대상인 피도금물을 상기 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치로, 상기 침강수단에는 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위한 자력고정부가 구비되는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a plating apparatus including a plating tank in which a plating solution is stored, and a settling means for settling the plated object, which is a target of a plating process, in the plating tank, wherein the settling means has a magnetic force. It is characterized in that the magnetic fixing for fixing the plating.

여기서, 상기 자력고정부는 일측에 전기를 상기 피도금물의 도금을 위한 전기를 인가받기 위한 단자가 구비되며, 자력이 발생되며 내측에 요홈이 형성된 막대형상으로 서로 마주보게 구성되는 것이 바람직하다.Here, the magnetic fixing part is provided with a terminal for receiving electricity for plating the object to be plated with electricity on one side, it is preferable that the magnetic force is formed to face each other in the shape of a bar formed with a groove on the inside.

또한, 상기 자력고정부는 영구자석으로 이루어진 것일 수 있다.In addition, the magnetic fixing part may be made of a permanent magnet.

또는, 상기 자력고정부는 상기 피도금물과 접촉하는 부위에 영구자석을 구비하는 것일 수도 있다.Alternatively, the magnetic fixing part may be provided with a permanent magnet in a portion in contact with the plated object.

나아가, 상기 자력고정부는 소정 부위에 영구자석을 구비하며, 강자성체 또는 반강자성체로 이루어진 것일 수도 있다.Further, the magnetic fixing part may have a permanent magnet at a predetermined portion, and may be made of a ferromagnetic or anti-ferromagnetic material.

한편, 본 발명에서는 상기 영구자석의 내측표면에 상기 단자를 통해 인가받은 전기를 상기 피도금물의 표면으로 통전시키기 위한 금속화이버가 구비되는 것이 바람직하다.On the other hand, in the present invention, the inner surface of the permanent magnet is preferably provided with a metal fiber for energizing the electricity applied through the terminal to the surface of the plated object.

덧붙여, 상기 자력고정부에서 발생되는 자력의 세기는, 3900 내지 4100 가우스 사이인 것이 더욱 바람직하다.In addition, the strength of the magnetic force generated in the magnetic fixing portion is more preferably between 3900 and 4100 gauss.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구 범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙 에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to the common or dictionary meanings, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to explain their invention in the best way. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

이하에서는 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치를 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to Figure 2 will be described a plating apparatus having a magnetic fixing part according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(100)의 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 일 실시에에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(100)는 도금조(210) 및 침강장치(220a)를 포함한다.2 is a block diagram of a plating apparatus 100 having a magnetic fixing part according to a preferred embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the plating apparatus 100 having the magnetic fixing part according to the exemplary embodiment of the present invention includes a plating bath 210 and a settling apparatus 220a.

도금조(210)는 피도금물(10)이 일정시간 침강되어 전기가 가해짐으로써 전해도금을 이룰 수 있도록 도금액(211)을 수용하는 구성으로, 여기서 상기 일정시간, 도금액의 성분 또는 전기의 량과 같은 구성요소는 당업자의 의도에 따라 얼마든지 변경가능함은 물론이다.The plating bath 210 is configured to accommodate the plating solution 211 so that the plated material 10 is settled for a predetermined time to achieve electroplating by applying electricity, wherein the predetermined time, the component of the plating solution or the amount of electricity Of course, the components such as can be changed as many as the intention of those skilled in the art.

다만, 도금조(210)는 피도금물(10) 전체가 도금액(211)에 담을 수 있도록 피도금물(10) 보다 큰 부피를 갖도록 제작되는 것이 바람직하다.However, the plating bath 210 may be manufactured to have a volume larger than that of the plated object 10 so that the entire plated object 10 may be contained in the plating solution 211.

침강장치(220)는 피도금물(10)을 도금액에 침강시키기 위한 것으로, 본 발명에서는 특히 이러한 침강수단(220)의 일측에 자력을 이용하여 피도금물을 고정시키 기 위한 자력고정부(221)가 구비된다.The sedimentation device 220 is for sedimenting the plated object 10 in the plating liquid, and in the present invention, in particular, a magnetic fixing part 221 for fixing the plated object by using magnetic force on one side of the sedimentation means 220. ) Is provided.

도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에서의 침강장치(220a)를 설명하면, 자력고정부(221)가 피도금물(10)의 양측에서 자력을 통해 피도금물(10)을 고정시키게 되며, 또한, 자력고정부(221)의 상측에는 후크(223)가 구비되어 사용자가 공이(230)와 같은 수단을 통해 피도금물(10)이 고정된 자력고정부(221)를 도금액(211)에 침강시키게 된다.Referring to the sedimentation apparatus 220a in the preferred embodiment of the present invention with reference to FIG. 2, the magnetic fixing part 221 fixes the plated object 10 through magnetic force on both sides of the plated object 10. In addition, the hook 223 is provided on the upper side of the magnetic fixing part 221 so that the user may deposit the magnetic fixing part 221 in which the plated object 10 is fixed by means such as the ball 230. 211).

이때 자력고정부(221)의 일측에 피도금물(10)의 표면에 전기를 인가하기 위한 단자(222)가 구비되는 것은 물론이다.At this time, of course, the terminal 222 for applying electricity to the surface of the plated object 10 is provided on one side of the magnetic fixing part 221.

위에서 살펴본 바와 같은 본 발명의 자력고정부의 자세한 구성 및 동작에 관해서는 이후에 좀 더 설명하기로 한다.Detailed configuration and operation of the self-fixing section of the present invention as described above will be described later.

한편, 이하에서는 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치를 설명하기로 한다. 설명에 있어서 도 2와 동일한 참조 부호는 동일한 기능을 수행하는 동일한 부재를 지칭한다.On the other hand, with reference to Figure 3 will be described a plating apparatus having a magnetic fixing part according to another embodiment of the present invention. In the description, the same reference numerals as in FIG. 2 refer to the same member performing the same function.

도 3은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(300)의 구성도이다.3 is a block diagram of a plating apparatus 300 having a magnetic fixing part according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 자력고정부를 구비한 도금장치(300)는 침강장치로 컨베이어벨트(220b)를 이용한다.As shown in FIG. 3, the plating apparatus 300 having the magnetic fixing member according to another exemplary embodiment of the present invention uses the conveyor belt 220b as a sedimentation apparatus.

이러한 컨베이어벨트(220b)는 일단이 도금액(211) 내에 잠기도록 구비되고 일면에 자력고정부(221)가 하나 이상 구비되어 컨베이어벨트(220b)가 회전함에 따라 자력고정부(221)가 도금액에 침강되었다가 다시 상승하게 된다.One end of the conveyor belt 220b is locked in the plating solution 211 and one or more magnetic fixing parts 221 are provided on one surface thereof, so that the magnetic fixing parts 221 settle in the plating solution as the conveyor belt 220b rotates. Then rise again.

이때, 컨베이어벨트(220b)의 회전속도가 사용자의 의도에 의해 변경될 수 있음은 물론이다.At this time, the rotational speed of the conveyor belt 220b may be changed by the user's intention.

이와 같은 구성을 통해 본 발명은 좀 더 용이하게 대량의 피도금물(10)을 도금할 수 있다.Through such a configuration, the present invention can plate a large amount of the plated object 10 more easily.

이하에서는 도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부의 자세한 구성과 동작을 설명하도록 한다. 설명에 있어서 도 2 또는 도 3과 동일한 참조부호는 동일한 기능을 수행하는 동일한 구성을 지칭한다.Hereinafter, with reference to Figures 4a and 4b will be described in detail the configuration and operation of the magnetic fixing according to an embodiment of the present invention. In the description, the same reference numerals as FIG. 2 or FIG. 3 refer to the same configuration that performs the same function.

도 4a와 도 4b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부(221)의 세부구성도이다.4A and 4B are detailed configuration diagrams of the magnetic fixing part 221 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a에 도시된 것과 같이 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 자력고정부(221)는 우측부재(221a)와 좌측부재(221b)가 결합되어 이루어지는데, 이때 우측부재(221a)와 좌측부재(221b)는 서로 완벽히 접촉되는 것이 아니라 도 4b에 도시된 바와 같이 피도금물(10)에 거치될 수 있는 요홈(225)이 내측에 형성될 수 있도록 결합되는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 4A, the magnetic fixing part 221 according to the preferred embodiment of the present invention is formed by combining the right member 221a and the left member 221b, wherein the right member 221a and the left member ( 221b is not in perfect contact with each other, as shown in Figure 4b is preferably coupled so that the groove 225 that can be mounted on the plated object 10 can be formed inside.

이때, 요홈(225)은 피도금물의 두께에 따라 다르게 설정될 수 있다.In this case, the groove 225 may be set differently according to the thickness of the plated object.

또한, 자력고정부(221)는 피도금물과 접촉하는 부위, 즉 고정단(225)에 영구자석을 구비하는 것이 바람직하다.In addition, the magnetic fixing part 221 is preferably provided with a permanent magnet in the portion in contact with the plated object, that is, the fixed end 225.

본 발명은 이뿐만 아니라, 자력고정부(221) 전체가 영구자석으로 이루어지도록 구성될 수도 있으며, 나아가 피도금물과 접촉하지 않는 부위에 영구자석을 구비되고 자력고정부(221)가 강자성체 또는 반강자성체로 이루어져 자성을 띄도록 구성 될 수도 있다.In addition to the above, the present invention may be configured such that the entire magnetic fixing part 221 may be made of permanent magnets. Furthermore, the magnetic fixing part 221 may be provided with a permanent magnet at a part which does not come into contact with the plated object. It may be composed of ferromagnetic materials to show magnetic properties.

본 발명은 이와 같은 구성을 통해 피도금물(10)을 고정함으로써 무리한 외압을 가해 고정하던 종래의 기술에 비해 피도금물(10)의 파손될 우려가 거의 없는 장점이 있다.The present invention has the advantage that there is little risk of damage to the plated object 10 compared to the conventional technique of fixing by applying an excessive external pressure by fixing the plated object 10 through such a configuration.

덧붙여서, 본 발명에서는 자력고정부(221)에서 발생되는 자력의 세기가 3900 내지 4100 가우스 사이(더욱 바람직하게는 4000가우스)인 것이 바람직한데, 이와 같은 범위 내의 자력이 피도금물(10)에 공급될 경우에, 사용자가 큰 어려움없이 피도금물(10)을 탈부착할 수 있으며 도금공정에 별다른 영향을 미치지 않는다.In addition, in the present invention, it is preferable that the strength of the magnetic force generated by the magnetic fixing part 221 is between 3900 and 4100 gauss (more preferably, 4000 gauss), and magnetic force within such a range is supplied to the plated object 10. In this case, the user can attach and detach the plated object 10 without great difficulty and does not affect the plating process.

한편, 본 발명의 자력고정부(221)에는 도 4a에 도시된 바와 같이 내측에 금속화이버(224)가 구비되는데, 이러한 금속화이버는 단자(222)를 통해 인가받은 전기가 피도금물(10)의 표면에 공급되도록 하기 위한 것으로, 피도금물(10)에 긁힘이나 기타 손상을 가하지 않고도 피도금물(10)의 표면으로 전기를 공급할 수 있는 장점이 있다.On the other hand, the magnetic fixing part 221 of the present invention is provided with a metal fiber 224 on the inside as shown in Figure 4a, the metal fiber is applied to the electrical material to be applied through the terminal 222 (10) To be supplied to the surface of the, there is an advantage that can supply electricity to the surface of the plated object 10 without applying scratches or other damage to the plated object (10).

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As mentioned above, although this invention was demonstrated by the limited embodiment and drawing, this invention is not limited by this, The person of ordinary skill in the art to which this invention belongs, Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

본 발명에 따르면 자력을 통해 피도금물을 고정할 수 있도록 함으로써, 지그를 사용하던 종래의 기술과 달리 피도금물에 무리한 외력을 가할 필요가 없으므로 외력에 의해 피도금물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, by allowing the plated object to be fixed by magnetic force, unlike the conventional technique of using a jig, it is not necessary to apply an excessive force to the plated object, thereby preventing the plated object from being damaged by the external force. have.

또한, 피도금물에 전기를 인가하기 위하여 부드러운 소재인 금속화이버를 이용함으로써 피도금물의 표면에 긁힘과 같은 손상이 일어나는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent damage such as scratches on the surface of the plated object by using a metal material of a soft material to apply electricity to the plated object.

Claims (7)

삭제delete 도금공정의 대상인 피도금물을 도금조에 침강시키기 위한 침강수단을 포함하는 도금장치에 있어서,In a plating apparatus comprising a settling means for settling the plated object to be plated in the plating bath, 상기 침강수단은 자력을 통해 상기 피도금물을 고정시키기 위하여 상기 피도금물을 중심으로 좌우측에 설치되는 한 쌍의 자력고정부를 포함하고, The sedimentation means includes a pair of magnetic fixing parts which are installed on the left and right sides of the plated object to fix the plated object through magnetic force, 상기 한 쌍의 자력고정부 각각은, 일측에 전기를 상기 피도금물의 도금을 위한 전기를 인가받기 위한 단자를 포함하고, 자력이 발생되며 내측에 길이방향으로 요홈이 형성될 수 있도록 막대형상의 좌측 및 우측 부재가 서로 마주보게 결합되어 형성되며,Each of the pair of magnetic fixing parts includes a terminal for receiving electricity on one side and receiving electricity for plating the object to be plated, and has a rod shape such that magnetic force is generated and grooves are formed in the longitudinal direction on the inside thereof. The left and right members are formed to be coupled to face each other, 상기 자력고정부의 내측 표면에는 상기 단자를 통해 인가받은 전기를 상기 피도금물의 표면으로 통전시키기 위한 금속화이버가 상기 자력고정부의 길이방향에 걸쳐서 구비된 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.The inner surface of the magnetic fixing means is provided with a metal fiber for supplying electricity applied through the terminal to the surface of the plated object over the longitudinal direction of the magnetic fixing device, characterized in that the magnetic fixing device Plating equipment. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,The method of claim 2, wherein the magnetic fixing part, 영구자석으로 이루어진 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.Plating device having a magnetic fixing part, characterized in that consisting of a permanent magnet. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,The method of claim 2, wherein the magnetic fixing part, 상기 피도금물과 접촉하는 부위에 영구자석을 구비하는 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.Plating apparatus having a magnetic fixing portion, characterized in that the permanent magnet is provided in a portion in contact with the plated object. 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부는,The method of claim 2, wherein the magnetic fixing part, 소정 부위에 영구자석을 구비하며,The permanent magnet is provided at a predetermined site, 강자성체 또는 반강자성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.Plating apparatus having a magnetic fixing part characterized in that the ferromagnetic or anti-ferromagnetic material. 삭제delete 제 2항에 있어서, 상기 자력고정부에서 발생되는 자력의 세기는,According to claim 2, The strength of the magnetic force generated in the magnetic fixing, 3900 내지 4100 가우스 사이인 것을 특징으로 하는 자력고정부를 구비한 도금장치.Plating apparatus having a magnetic fixing part, characterized in that between 3900 to 4100 gauss.
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