KR100880900B1 - 무성방전식 오존발생기의 전극셀 및 그 제조방법 - Google Patents

무성방전식 오존발생기의 전극셀 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 무성방전식 오존 발생기의 전극셀에 관한 것으로, 무성방전식 오존 발생기의 전극부에서 발생되는 문제점을 해결하기 위한 것이다
이를 위하여 본 발명은 도전성 물질로 된 원형 또는 판형의 제1전극 표면에 세라믹 절연체를 플라즈마 용사 코팅하여 유전체층을 형성하고, 상기 세라믹 절연체로 용사 코팅된 유전체층의 표면에 도전성 물질을 재코팅하여, 상기 제1전극과 절연체가 일체로 된 제2전극을 형성한 일체형 전극셀 및 그 제조방법을 제공하여, 안전하면서도 고효율로 오존을 발생시킬 수 있게 한다.
무성방전, 오존발생, 전극부, 유전체, 일체형 전극셀

Description

무성방전식 오존발생기의 전극셀 및 그 제조방법{Electrode cell of ozone supplier in the form of slient discharge and manufacturing method of the cell}
본 발명은 각종 산업현장에서 필요로 하는 오존을 효율적으로 발생시키는 무성방전식 오존발생기의 전극셀 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오존을 효율적으로 발생시키기 위해 가장 많이 활용되고 있는 무성방전식 오존 발생기의 전극 셀을 도체와 절연체 사이의 간격이 없이 도체와 절연체가 일체형인 고효율의 일체형 세라믹 셀로 형성함으로써, 전극배치시 발생될 수 있는 문제점을 보완할 수 있도록 한 무성방전식 오존발생기의 전극 셀 및 그 제조방법에 관한 것이다.
3개의 산소원자가 공명구조로 존재하는 오존은 상수처리, 오/폐수처리, 제지의 표백, 반도체 산업, 살균, 악취 및 휘발성 유기화합물의 제거 등 각종 산업시설에서 이용되고 있으며, 일반적으로 무성방전법, 전해법, 광화학반응법, 방사선 조사법 등을 이용하여 대기중의 산소 또는 순산소에 물리ㆍ화학적인 에너지를 가해 발생시키고 있다. 이러한 오존 발생방법 중에서 무성방전법은 오존발생 효율이 높 고 안정성, 조작 및 편리성 등이 있어 가장 많이 활용되고 있다.
상기 무성방전법에 의하여 오존을 발생시키는 오존발생장치는 1~3[mm] 정도 간격을 유지하는 두 전극 사이에 유전율이 큰 유리나 세라믹 등의 절연체가 1개 이상 배치되어 있으며, 상기 두 전극에 6~15[kV] 정도의 교류 전압을 인가하면서 공기나 산소를 통과시키게 되면 두 전극 사이의 공간에서는 무성방전에 의해 아래와 같은 반응으로 오존이 생성 및 분해된다.
O2 + e- -----> 2Oㆍ + e- (식 1)
Oㆍ + O2 + O2 -----> O3 + O2 (식 2)
0ㆍ + O3 -----> 2O2 (식 3)
O2 + e- -----> O2 + Oㆍ + e- (식 4)
위의 식 1) 과 2)에 의해 산소분자가 해리되어 생성된 산소원자 라디칼은 다른 산소분자와 결합하여 오존을 발생하고, 이렇게 발생된 오존은 식 3)과 4)에 의해 방전영역에서 오존 생성시간인 3[㎲]보다 체류시간이 길게 되면 분해가 일어난다. 즉, 이와 같은 방전영역에서 오존 생성양을 최대로 유지하면서 분해가 이루어지지 않도록 하기 위해서는 방전영역에서의 체류시간을 3[㎲]보다 짧게 유지하는 것이 필요하다.
그러나, 전극 간의 간격이 1~3[mm] 사이에서 체류시간을 짧게 유지하기 위해서는 공기가 통과하는 오존발생기의 길이가 짧아져야 되므로 대용량의 오존을 발생 시키기에는 문제점이 있었다.
한편, 상기 무성방전에 의한 오존발생장치는 탄소, 스테인레스, 알루미늄, 니켈, 구리와 같은 도체 위에 유전율이 높은 납유리, 파이렉스(Pyrex), 경질유리 및 금속산화물의 세라믹 등의 절연체를 설치하고, 다시 1~3[mm] 간격을 두고 스테인레스 등과 같은 도체를 설치하여 전극 셀을 구성한다.
일반적으로 많이 사용되고 있는 전극 셀의 구조는 도체(스테인레스) - 절연체(세라믹) - 1~3[mm] 공간 - 도체(스테인레스)로 되어 있으며, 이러한 구조에서 발생된 오존이 외부로 유출되는 것을 방지하기 위하여 상기 전극 셀의 양 끝에는 테프론을 가공한 케이블 컨넥터를 연결한다.
그러나 이와 같은 무성방전에 의한 오존발생장치에서는 테프론을 가공한 케이블 컨넥터를 사용하기 때문에 연결부위가 완벽하게 밀봉되지 못하는 경우 오존이 외부로 유출되는 문제점이 있으며, 또한 테프론 가공에 따른 비용상승이 초래되었다.
또한 상기 전극 셀의 구조에서는 그 내부에서 1~3[mm]범위의 일정한 공간유지가 안될 경우, 내부 공간이 짧은 쪽에서 우선적으로 무성방전이 이루어지게 되므로, 오존발생기의 고장의 원인이 되거나 수명 단축의 원인이 되었다.
또한 상기 무성방전에 의한 오존발생장치에서는 오존 생성율을 높이기 위해 6~15[kV]의 고전압과 고주파 전원을 사용하기 때문에 이와 같이 고전압과 고주파 전원은 안전상의 문제점이 있으며, 유전체 및 전극 셀 등에서 발열되면서 방전영역의 온도상승을 일으켜 오존생성율을 감소시킬 수 있는 문제점도 있었다.
따라서 본 발명은 상기의 무성방전에 의한 오존 발생기의 전극셀에서 초래될 수 있는 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로서, 본 고안은 안전하면서도 고효율로 오존을 발생시킬 수 있도록 한 일체형 전극 셀 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 무성방전식 오존발생기의 전극셀 제조방법에 있어서, (a) 도전성 물질로 된 원형 또는 판형의 제1전극 표면에 세라믹 절연체를 플라즈마 용사 코팅하여 유전체층을 형성하는 단계; (b) 상기 세라믹 절연체로 용사 코팅된 유전체층의 표면에 도전성 물질을 재코팅하여, 상기 제1전극과 절연체가 일체로 된 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하는 무성방전식 오존발생기의 전극셀 제조방법이다.
상기 본 발명에 의한 전극셀 제조방법은, 상기 (a) 단계 이전에 상기 제1전극의 표면을 그리트 블라스팅(Grit blasting)에 의해 전처리하여 표면처리층을 형성하는 단계를 더 포함하여, 다른 실시예를 구성할 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징은, 무성방전형 오존발생기의 전극부를 구성하는 전극 셀에 있어서, 일측이 배관을 통해 흡인펌프에 연결되고 다른 측에 오존 배출구가 형성되어 흡인펌프를 통해 유입된 외부 공기 또는 순 산소를 배플을 통해 분산시키도록 구성된 전극부에 다수 개의 일체형 전극셀이 채 워지며, 상기 각각의 일체형 전극셀이 두 개의 전극과 유전체가 일체형으로 구성되어 상기 배플을 통해 분산된 공기와 접촉할 수 있도록 상기 전극부의 배플 후단에 다수 개 중첩되어 설치되되, 공기 유통방향에 대하여 수직 배열되는 특징의 무성방전형 오존발생기의 전극셀이다.
상기 본 발명에 의한 일체형 전극셀은, 도전성 물질로 이루어지는 원형 또는 판형의 제1전극; 상기 제1전극의 표면에 고유전율을 갖는 세라믹 물질에 의해 코팅되어 형성된 유전체층; 상기 유전체층의 표면에 도전성 물질에 의해 재코팅되어 금속막 또는 금속망으로 형성되며, 유전체층을 사이에 두고 상기 제1전극과 일체로 형성된 제2전극으로 구성된다.
상기 제1전극은, 탄소, 스테인레스, 알루미늄, 니켈, 구리 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성될 수 있으며, 상기 유전체층은, 이산화티탄, 알루미나, 지르코니아, 스트론튬옥사이드, 이리듐옥사이드, 실리카, 바륨옥사이드, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄-알루미나 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성될 수 있고, 상기 제2전극은, 알루미늄, 구리, 철, 텅스턴, 금, 은, 몰리브덴, 크롬, 스테인레스, 또는 그들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성될 수 있다.
또한 상기 제 1전극은 그리트 블라스팅(Grit blasting) 방법에 의해 전처리된 표면 처리층을 더 가질 수 있으며, 이 경우 상기 유전체층은, 상기 그리트 블라스팅 처리된 제1전극의 표면 처리층 위에 세라믹 절연체에 의해 플라즈마 용사 코팅되는 방법으로 형성될 수 있다.
이상에서 상술한 바와 같이 본 발명은 무성방전식 오존발생기에 절연체와 도체가 일체형인 도체-절연체-도체의 일체형 전극셀을 제공할 수 있게 되므로, 무성방전식 오존발생기의 조작이 보다 안전하고 용이하게 이루어질 수 있게 되는 이점이 있다.
또한 본 발명에 의하면, 무성방전식 오존 발생기의 가격 경쟁력을 높여 적은 비용으로 다량의 오존을 효율적으로 발생시킬 수 있어 재정적인 부담을 줄일 수 있으며, 또한 이와 같은 이유로 오존을 사용하는 많은 산업에 저비용으로 적용할 수 있어 산업발전에 이바지할 수 있게 되는 등의 이점이 있다.
상기 본 발명의 이들 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구성 및 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 의한 일체형 전극셀이 무성방전식 오존발생기의 전극부에 적용된 상태의 구성을 도시한 개략도로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 무성방전형 오존발생기(10)는 외부 케이싱(11), 외부의 공기(12) 또는 순 산소를 무성방전형 오존발생기로 흡입하는 흡인펌프(13), 상기 흡인펌프에 의해 유입되는 외부 공기 또는 순 산소를 오존발생기(10)의 전극부(20)로 유입시키는 배관(14), 상기 다수개의 일체형 전극셀(22)이 중첩 배열되어 구성되며 상기 배관(14)에서 유입되는 공기 또는 산소로부터 오존을 발생시켜 오존 배출구(16)를 통해 배출하는 전극부(20), 상기 배관과 오존 배출구에 연통되며 상기 전극부(20)의 다수의 전극셀(22)을 둘러 감싸는 전극부 케이싱(21), 전극부(20) 내부의 선단에 배치되어 외부 공기를 분산시키는 배플(15)을 포함하여 구성된다. 이때 상기 외부 케이싱(11), 배관(14), 전극부 케이싱(21) 및 배플(15)은 오존에 의한 부식을 방지하기 위하여 스테인레스 재질을 사용하는 것이 바람직하다.
도 2는 상기 도 1의 전극부(20)(도 1의 A부)에 설치된 일체형 전극셀(22)을 발췌하여 확대 도시한 단면도로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명 제조방법의 일 실시예에 의해 제조되는 일체형 전극셀(22)은, 도전성 물질로 이루어지는 원형 또는 판형의 제1전극(221), 상기 제1전극의 표면에 고유전율을 갖는 세라믹 물질에 의해 코팅되어 형성된 유전체층(222), 상기 유전체층의 표면에 도전성 물질에 의해 재코팅되어 상기 제1전극과 절연체가 일체로 형성된, 코팅층 또는 금속망으로 된 제2전극(223)으로 구성된다.
한편, 도 2의 상세도에 도시된 바와 같이, 본 발명 제조방법의 다른 실시예에 의해 제조되는 일체형 전극셀(22)은, 도전성 물질로 이루어지는 원형 또는 판형의 도체 표면을 그리트 블라스팅(Grit blasting)에 의해 전처리하여 표면처리층(221a)이 형성된 제 1전극(221), 상기 표면처리층(221a)이 형성된 제1전극(221)의 표면에 고유전율을 갖는 세라믹 물질로 코팅되어 형성된 유전체층(222), 상기 유전체층의 표면에 도전성 물질에 의해 재코팅되어 상기 제1전극과 절연체가 일체로 형성된, 코팅층 또는 금속망으로 된 제2전극(223)으로 구성된다.
여기서 상기 제1전극(221)은 탄소, 스테인레스, 알루미늄, 니켈, 구리 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성되는 원형 또는 판 형상의 도체, 또는 사용하는 목적에 따라 필요로 하는 형상으로 그 형태를 다르게 형성한 도체로 구성할 수 있으며, 특히 상기 제 1전극(221)은 표면이 매끄러울 경우 이후 공정에서 실시될 절연체 코팅층의 박리가 발생될 수 있으므로 이후의 절연체 코팅을 용이하게 하기 위하여, 그리트 블라스팅(Grit blasting) 방법에 의한 전처리공정을 거쳐 표면처리층(221a)을 형성함으로서, 절연체 박리를 방지할 수 있도록 한다.
상기 유전체층(222)은, 이산화티탄, 알루미나, 지르코니아, 스트론튬옥사이드, 이리듐옥사이드, 실리카, 바륨옥사이드, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄-알루미나 중에서 선택되는 어 느 하나의 물질로 플라즈마 용사 코팅에 의해 상기 제1전극(221)의 표면에 직접 형성되거나, 또는 상기 제1전극에 사용되는 물질에 따라서 상기 그리트 블라스팅 처리된 제1전극의 표면 처리층(221a) 위에 형성된다.
상기 그리트 블라스팅(Grit blasting)된 제1전극(221) 위에 플라즈마 용사 코팅하여 유전체층(222)을 형성할 수 있는 절연체로서는 이산화티탄, 알루미나, 지르코니아, 스트론튬옥사이드, 이리듐옥사이드, 실리카, 바륨옥사이드, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄-알루미나 등의 화합물을 사용할 수 있다. 이와 같이 많은 플라즈마 용사 코팅 재료로 사용할 수 있으나 효율적인 오존발생을 위해서는 이산화티탄, 알루미나, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄- 알루미나를 사용하는 것이 바람직하다. 이산화티탄, 알루미나, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄-알루미나로 제 1전극(221) 위에 플라즈마 용사 코팅에 의해 형성되는 유전체층(222)의 두께는 50~1,000[㎛]이나, 바람직하게는 100~700[㎛]가 적당하다. 만약, 플라즈마 용사 코팅된 유전체층(222)의 두께가 100[㎛] 이하일 경우에는, 절연체로 코팅된 제1전극(221)의 전 부분에서 일정하게 방전이 일어나 오존이 발생되어야 하나, 두께가 얇은 쪽에서 우선 방전되므로 효율적인 오존발생이 이루어지지 않을 뿐 아니라 일체형 전극셀의 수명이 낮아진다. 또한 플라즈마 용사 코팅된 유전체층의 두께가 700[㎛] 이상일 경우에는 전원장치의 전압이 고전압이어야 되므로 안전상 문제점이 있고, 코팅된 세라믹 층이 떨어질 수 있으므로 오존발생효율이 감소될 수 있다.
상기 제2전극(223)은 알루미늄, 구리, 철, 텅스턴, 금, 은, 몰리브덴, 크롬, 스테인레스, 또는 그들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 된 도전성 물질에 의해 상기 유전체층(222)의 표면에 재코팅되어 코팅층으로 형성되거나 또는 금속망으로 형성된다.
이때 상기와 같이 100 ~ 700 [㎛] 두께의 절연체로 플라즈마 용사 코팅된 유전체층(222)의 표면 위에 제2전극(223)을 형성하기 위해 재코팅 가능한 도체로서는 알루미늄, 구리, 철, 텅스턴, 금, 은, 몰리브덴, 크롬, 스테인레스, 합금 등의 모든 금속을 이용할 수 있으며, 또는 위의 금속으로 된 망을 이용할 수 있다. 그러나 오존 발생효율, 안전성 및 비용 등을 고려하면 알루미늄, 스테인레스 및 합금 등의 금속 망이나 재코팅이 바람직하다. 상기 제2전극(223)으로 금속망을 이용할 경우, 금속 망의 체 규격은 0.1~10[mm]의 크기를 이용할 수 있으나, 오존발생효율 등을 감안하면 0.5~5[mm]가 적당하다. 그리고 절연체로 플라즈마 용사 코팅된 유전체층(222)의 표면과 제2전극(223)을 구성하는 금속 망의 사이가 떨어져 있을 경우에는 효율적인 오존발생이 이루어 질 수 없으므로 가능한 서로 밀착시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 플라즈마 용사 코팅된 절연체 위에 제2전극(223)을 재코팅할 경우에는 재코팅할 금속이 플라즈마 용사 코팅된 유전체층(222)의 표면 위에 일정하게 코팅되어야 한다. 이때 재코팅하는 금속 입자는 서로 연결되어야 하고, 코팅 금속이 너무 많게 코팅되거나 적게 코팅될 경우에는 공기접촉이 원할하지 않기 때문에 오존발생량이 감소하게 된다.
상기 각 도면에 예시된 바와 같이 구성된 무성방전형 오존발생기의 전극셀에 의한 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 도 1에 도시된 바와 같이 외부 케이싱(11)에 의해 오존 발생기 구성 부품의 전체를 둘러 감싸는 형태로 오존 발생기(10)를 구성한 상태에서, 오존 발생기를 동작시켜 흡인펌프(13)가 작동되면, 외부의 공기(12) 또는 순 산소가 흡인펌프(13)에 의해 오존발생기(10)의 내부로 유입되고, 유입된 공기는 오존발생기의 전극부 케이싱(21)에 연결된 배관(14)을 통해 전극부(20)로 유입된다. 이때 전극부 케이싱(21) 내부에 유입된 공기는 배플(15)에 의해 공기 흐름이 분산되면서 전극부(20)를 구성하는 일체형 전극셀(22)과 접촉하여 오존을 발생시킬 수 있게 되며, 이렇게 발생된 오존은 배출구(16)를 통해 방출된다.
상기 일체형 전극셀(22)은 도 2에 도시된 바와 같이, 도체로 구성된 제1전극(221)과 제2전극(223), 및 상기 두 전극 사이에 개재되는 유전체층(222)이 분리되지 않고 일체형으로 형성되어 있게 되므로 설치 공간을 많이 필요로 하지 않게 되며, 따라서 전극부(20) 내에 여러 개의 일체형 전극 셀(22)을 삽입할 수 있기 때문에 고효율의 오존 발생이 가능하게 된다.
또한 상기와 같은 본 발명의 일체형 전극셀(22)은 상기 제 1전극(221)을 구성하는 원형 또는 판형, 또는 필요에 따라 특정 형상으로 가공된 형태의 도체의 표면을 절연체 코팅의 용이성을 위해 그리트 블라스팅(Grit blasting)을 실시하여 상기 도체의 표면에 도 2의 상세도면에 표시된 바와 같은 표면 처리층(221a)을 형성하고, 그 표면 처리층(221a)을 기반으로 하여 세라믹 절연체로 제1전극(221)의 표면을 코팅하여 유전체층(222)을 형성하게 되므로, 상기 제 1전극(221)을 구성하는 도체의 표면이 매끄러운 도전성 물질에 의해 형성되어 있더라도 그 위에 코팅된 유전체층(222)이 상기 제 1전극으로부터 박리되지 않게 된다.
따라서, 원형 또는 판형, 또는 필요에 따라 특정 형상으로 가공된 형태의 세라믹 코팅된 일체형 전극셀(22)이 다수 개 중첩되어 채워져 있는 본 발명에 의한 전극부(20)는 오존발생 농도에 따라 일정한 간격을 두고 다수 개의 일체형 전극셀을 위치 지정할 수 있기 때문에, 필요로 하는 오존농도 조절이 간단하여 안전하면서도 편리하게 사용이 가능하게 된다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에만 국한되는 것은 아니며, 본 발명이 속하 는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다음의 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경실시할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 일체형 전극셀이 무성방전식 오존발생기의 전극부에 적용된 상태의 구성을 도시한 개략도,
도 2는 도 1의 전극부(A부)에 설치된 일체형 전극셀을 발췌하여 확대 도시한 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
10 : 오존발생기 11 : 외부 케이싱 12 : 외부공기
13 : 흡인 펌프 14 : 배관 15 : 배플
16 : 오존 배출구 20 : 전극부 21 : 전극부 케이싱
22 : 일체형 전극셀 221 : 제1전극 221a : 표면처리층
222 : 유전체층 223 : 제2전극

Claims (10)

  1. 무성방전식 오존발생기의 전극셀 제조방법에 있어서,
    (a) 도전성 물질로 된 원형 또는 판형의 제1전극 표면에 세라믹 절연체를 플라즈마 용사 코팅하여 유전체층을 형성하는 단계;
    (b) 상기 세라믹 절연체로 용사 코팅된 유전체층의 표면에 도전성 물질을 재코팅하여, 제1전극과 절연체가 일체로 된 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 무성방전식 오존발생기의 전극셀 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 (a) 단계 이전에 상기 제1전극의 표면을 그리트 블라스팅(Grit blasting)에 의해 전처리하여 표면처리층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무성방전식 오존발생기의 전극셀 제조방법.
  3. 무성방전형 오존발생기의 전극부를 구성하는 전극셀에 있어서,
    일측이 배관을 통해 흡인펌프에 연결되고 다른 측에 오존 배출구가 형성되어 흡인펌프를 통해 유입된 외부 공기 또는 순 산소를 배플을 통해 분산시키도록 구성된 전극부에 다수개의 전극셀이 채워지며, 상기 각각의 전극셀이 두 개의 전극과 유전체가 일체형으로 구성되어 상기 배플을 통해 분산된 공기와 접촉할 수 있도록 상기 전극부의 배플 후단에 다수 개 중첩되어 설치되되, 공기 유통방향에 대하여 수직 배열된 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 전극 셀은,
    도전성 물질로 이루어지는 원형 또는 판형의 제1전극;
    상기 제1전극의 표면에 고유전율을 갖는 세라믹 물질에 의해 코팅되어 형성된 유전체층;
    상기 유전체층의 표면에 도전성 물질에 의해 재코팅되어 유전체층을 사이에 두고 상기 제1전극과 일체로 형성된 제2전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제1전극은,
    그리트 블라스팅(Grit blasting) 방법에 의해 전처리된 표면처리층을 갖는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 제1전극은,
    탄소, 스테인레스, 알루미늄, 니켈, 구리 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 유전체층은,
    상기 그리트 블라스팅 처리된 제1전극의 표면 처리층 위에 세라믹 절연체에 의해 플라즈마 용사 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 유전체층은,
    이산화티탄, 알루미나, 지르코니아, 스트론튬옥사이드, 이리듐옥사이드, 실리카, 바륨옥사이드, 이산화티탄-바륨옥사이드, 알루미나-바륨옥사이드, 지르코니아-바륨옥사이드, 이산화티탄-알루미나 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  9. 제 4항에 있어서, 상기 제2전극은,
    금속망으로 구성되는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
  10. 제 4항에 있어서, 상기 제2전극은,
    알루미늄, 구리, 철, 텅스턴, 금, 은, 몰리브덴, 크롬, 스테인레스, 또는 그들의 합금 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 무성방전형 오존발생기의 전극셀.
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