KR100880079B1 - 전자 디바이스용 기판, 액정패널 및 전자기기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 알코올을 무기 산화물막의 표면뿐만 아니라, 이것이 갖는 세공의 내면에도 확실히 화학결합시킬 수 있는 무기 산화물막의 처리방법, 예컨대 액정분자 등의 배향성이 시간의 경과에 따라 저하되기 어려운 전자 디바이스용 기판, 이러한 전자 디바이스용 기판을 제조할 수 있는 전자 디바이스용 기판의 제조방법, 신뢰성이 높은 액정패널 및 전자기기를 제공하는 것이다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법은 기판(9)의 한쪽 면측에 사방 증착법에 의해 복수의 세공(30)을 갖는 무기 산화물막(31)을 형성하는 제 1 공정; 무기 산화물막(31)이 형성된 기판(9)을, 알코올을 함유하는 처리액 중에 침지하는 제 2 공정; 처리액이 설치된 공간을 감압함으로써 무기 산화물막(31)의 세공(30)내에 처리액을 침투시키는 제 3 공정; 및 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 알코올을 화학결합시켜 배향막(3A)을 얻는 제 4 공정을 갖는다.
Description
본 발명은 무기 산화물막의 처리방법, 전자 디바이스용 기판, 전자 디바이스용 기판의 제조방법, 액정패널 및 전자기기에 관한 것이다.
최근, 수직 배향 타입의 액정 표시 소자는 액정 텔레비전(직시형(直視型) 표시장치), 액정 프로젝터(투사형 표시장치) 등으로 실용화되고 있다. 이들 수직 배향 타입의 액정 표시 소자에 사용되는 수직 배향막으로서는, 예컨대 액정 텔레비전에는 폴리이미드 등의 유기 배향막이 사용되고, 액정 프로젝터에는 SiO2 등의 사방 증착막(斜方 蒸着膜)(무기 배향막)이 다수 사용되고 있다.
무기 산화물의 사방 증착막은 복수의 세공(細孔)을 갖고, 그 표면 및 세공의 내면에는 분극된 하이드록실기가 다수 존재하고 있다. 이 하이드록실기는 브뢴스테드산점으로서 활성이 있고, 액정분자나 액정 표시 소자에 포함되는 불순물, 특히 극성기를 갖는 화합물을 흡착하거나 반응하기 쉽다. 여기서, 불순물로는 시일제 중의 불순물 및 미반응 성분, 액정층 중의 불순물 및 수분, 제조과정에서 부착된 오염 등이 포함된다.
사방 증착막 표면에 불순물이 흡착하거나 반응하는 경우에, 표면의 형상이나 극성이 변화되어 수직 정착력(anchoring force)이 저하되고, 액정분자가 배향 이상을 일으키는 것으로 알려져 있다. 또한, 직접 액정분자가 하이드록실기와 화학반응을 일으키는 것도 알려져 있다. 그래서, 사방 증착막(무기 산화물막)의 표면 개질법으로서, 무기 배향막의 표면의 하이드록실기를 고급 알코올 또는 실레인 커플링제로 처리하는 방법이 제안되어 있다(예컨대, 일본 특허공개 제1999-160711호 공보 및 일본 특허공개 제1993-203958호 공보 참조).
일본 특허공개 제1999-160711호 공보에 기재된 방법에서는, SiO2의 사방 증착막을 고급 알코올 증기에 노출시켜 실시한다. 그런데, 이 방법에서는, 처리온도가 낮기 때문에 고급 알코올이 사방 증착막의 표면에 물리적으로 흡착하는 것에 그치고, 결합력이 매우 약하다. 이 때문에, 액정분자와 접촉하는 것에 의해, 고급 알코올이 사방 증착막의 표면에서 쉽게 탈리하고, 초기적으로 안정한 수직 배향력이 얻어지지 않는다고 하는 문제가 있다.
또한, 일본 특허공개 제1993-203958호 공보에 기재된 방법에서는, 이온 빔으로 보조하면서 증착된 SiO2의 사방 증착막에 수직 배향제로서 실레인 커플링제인 옥타데실다이메틸(3-(트라이메톡시실릴)프로필)암모늄클로라이드를 도포한(접촉시킨) 후, 110℃에서 1시간 소성하는 것이 실시된다. 그러나, 사방 증착막의 세공(빈 구멍) 직경은 작고, 사방 증착막에 실레인 커플링제를 단지 접촉시키는 것만으로는 표면에 있는 하이드록실기밖에 화학결합을 할 수 없다. 즉, 빈 구멍내에 존재하는 하이드록실기에는 실레인 커플링제를 화학결합할 수 없다. 이 때문에, 일본 특허공개 제1993-203958호 공보에 기재된 방법에서는, 사방 증착막의 세공내에 존재하는 하이드록실기의 영향에 의해 액정분자의 배향성이 비교적 단시간에 저하된다고 하는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 알코올을 무기 산화물막의 표면뿐만 아니라, 이것이 갖는 세공의 내면에도 확실히 화학결합시킬 수 있는 무기 산화물막의 처리방법, 예컨대 액정분자 등의 배향성이 시간의 경과에 따라 저하되기 어려운 전자 디바이스용 기판, 이러한 전자 디바이스용 기판을 제조할 수 있는 전자 디바이스용 기판의 제조방법, 신뢰성이 높은 액정패널 및 전자기기를 제공하는 데 있다.
이러한 목적은, 하기의 본 발명에 의해 달성된다. 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법은 사방 증착법에 의해 형성되고 복수의 세공을 갖는 무기 산화물막을, 알코올을 함유하는 처리액 중에 침지하는 공정; 상기 처리액이 설치된 공간을 감압함으로써 상기 무기 산화물막의 세공내에 상기 처리액을 침투시키는 공정; 및 상기 무기 산화물막의 표면 및 세공의 내면에 상기 알코올을 화학결합시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 알코올을 무기 산화물막의 표면뿐만 아니라, 이것이 갖는 세공의 내면에도 확실히 화학결합시킬 수 있다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판은 기판, 및 상기 기판의 한쪽 면에 설치된 배향막을 갖는 전자 디바이스용 기판으로서, 상기 배향막이 사방 증착법에 의해 형성되고, 복수의 세공을 갖는 무기 산화물막의 표면 및 세공의 내면에 알코올을 화학결합시켜 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 예컨대 액정분자 등의 배 향성이 시간의 경과에 따라 저하되기 어려운 전자 디바이스용 기판이 얻어진다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법은 기판, 및 상기 기판의 한쪽 면에 설치된 배향막을 갖는 전자 디바이스용 기판을 제조하는 방법으로서, 상기 기판의 한쪽 면에 사방 증착법에 의해 복수의 세공을 갖는 무기 산화물막을 형성하는 제 1 공정; 상기 무기 산화물막이 형성된 기판을, 알코올을 함유하는 처리액 중에 침지하는 제 2 공정; 상기 처리액이 설치된 공간을 감압함으로써 상기 무기 산화물막의 세공내에 상기 처리액을 침투시키는 제 3 공정; 및 상기 무기 산화물막의 표면 및 세공의 내면에 상기 알코올을 화학결합시켜 상기 배향막을 얻는 제 4 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 알코올을 무기 산화물막의 표면뿐만 아니라, 이것이 갖는 세공의 내면에도 확실히 화학결합시킨 배향막을 갖는 전자 디바이스용 기판을 얻을 수 있다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 상기 알코올이 2 내지 30의 탄소수를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 탄소수의 알코올은 상온에서 액상이거나, 또는 반고형상(고형상)이라도 비교적 저온에서 액상으로 될 수 있다. 이 때문에, 처리액에 의해 무기 산화물막을 처리할 때의 취급이 용이하다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 상기 알코올이 지방족 알코올 또는 그의 불소 치환체인 것이 바람직하다. 지방족 알코올 또는 그의 불소 치환체는 그 분자 구조가 직선상에 가깝기 때문에 무기 산화물막의 세공의 심부까지 보다 확실히 침투시킬 수 있다. 본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에 서는, 상기 제 3 공정에 있어서, 상기 공간의 진공도가 10-4 내지 104 Pa 인 것이 바람직하다. 이에 의해, 무기 산화물막의 세공내에서 충분히 공기가 제거되고, 세공내에 처리액을 충분히 침투시킬 수 있다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 상기 제 4 공정이 상기 기판을 가열하는 것에 의해 실시하는 것이 바람직하다. 가열에 의한 방법을 이용하는 것에 의해, 무기 산화물막의 표면 및 세공의 내면에 존재하는 하이드록실기와의 반응을 비교적 용이하고 또한 확실히 할 수 있다. 본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 상기 기판의 가열 온도가 80 내지 250℃ 인 것이 바람직하다. 이에 의해, 알코올의 종류나 무기 산화물의 종류 등에 의하지 않고, 무기 산화물막에 알코올을 충분히 화학결합시킬 수 있다.
본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 상기 기판의 가열 시간이 20 내지 180분인 것이 바람직하다. 이에 의해, 가열 온도 등의 다른 조건에 의하지 않고, 무기 산화물막에 알코올을 충분히 화학결합시킬 수 있다. 본 발명의 액정패널은 본 발명의 전자 디바이스용 기판과, 상기 배향막의 상기 기판 반대측에 설치된 액정층을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 신뢰성이 높은 액정패널이 얻어진다.
본 발명의 액정패널은 본 발명의 전자 디바이스용 기판을 한 쌍 구비하고, 한 쌍의 상기 전자 디바이스용 기판의 상기 배향막들 사이에 액정층을 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 신뢰성이 높은 액정패널이 얻어진다. 본 발명의 전자 기기는 본 발명의 액정패널을 갖는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 신뢰성이 높은 전자기기가 얻어진다.
본 발명의 무기 산화물막의 처리방법 및 전자 디바이스용 기판의 제조방법은 알코올을 무기 산화물막의 표면 뿐만 아니라 세공의 내면에도 확실히 화학결합시킬 수 있고, 이러한 처리방법을 이용하여 얻어지는 전자 디바이스용 기판은 액정분자 등의 배향성이 시간의 경과에 따라 저하되기 어려우며, 이러한 기판을 사용함으로써 신뢰성이 높은 액정패널 및 전자기기가 얻어진다.
이하, 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법, 전자 디바이스용 기판, 전자 디바이스용 기판의 제조방법, 액정패널 및 전자기기에 대하여 첨부도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 우선, 본 발명의 액정패널에 대하여 설명한다.
<제 1 실시 형태>
우선, 본 발명의 액정패널의 제 1 실시 형태에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 액정패널의 제 1 실시 형태를 모식적으로 나타내는 종단면도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 액정패널을 구비하는 배향막의 구성을 모식적으로 나타내는 종단면도이다. 한편, 도 1에서는 시일재, 배선 등의 기재는 생략했다. 또한, 이하의 설명에서는 도 1 및 도 2 중의 상측을 「상」, 하측을 「하」라고 말 한다.
도 1에 나타낸 액정패널(1A)은 액정층(2), 배향막(3A,4A), 투명 도전막(5,6), 편광막(7A,8A) 및 기판(9,10)을 갖는다.
이러한 구성에 있어서, 기판(9), 투명 도전막(5)(전극) 및 배향막(3A)에 의해, 또한, 기판(10), 투명 도전막(6)(전극) 및 배향막(4A)에 의해, 각각, 본 발명의 전자 디바이스용 기판이 구성되어 있다.
한편, 도시한 구성에서는 투명 도전막(5,6)은 어느 것이나 분할되어 있지 않지만, 보통, 이들 중 하나 이상은 분할되어, 개별 전극(화소전극)을 구성하고 있다. 액정층(2)은 액정분자(액정재료)를 함유하고 있다. 액정분자로서는 예컨대, 페닐사이클로헥세인 유도체, 바이페닐 유도체, 바이페닐사이클로헥세인 유도체, 터페닐 유도체, 페닐에테르 유도체, 페닐에스터 유도체, 바이사이클로헥세인 유도체, 아조메타인 유도체, 아족시 유도체, 피리미딘 유도체, 다이옥세인 유도체, 큐밤 유도체, 또한, 이들 유도체에 플루오로기, 트라이플루오로메틸기, 트라이플루오로메톡시기, 다이플루오로메톡시기 등의 불소계 치환기를 도입한 것 등을 들 수 있다. 한편, 후술하는 바와 같이, 배향막(3A,4A)을 이용한 경우, 액정분자는 수직 배향하기 쉽게 되지만, 수직 배향에 적합한 액정분자로서는 예컨대, 하기 화학식 1 내지 화학식 3으로 표시되는 화합물 등을 들 수 있다.
상기 식들에서,
환 A 내지 I는 각각 독립적으로, 사이클로헥세인환 또는 벤젠환을 나타내고,
R1 내지 R6은 각각 독립적으로, 알킬기, 알콕시기 또는 불소원자 중 어느 하나를 나타내고,
X1 내지 X10은 각각 독립적으로, 수소원자 또는 불소원자를 나타낸다.
액정층(2)의 양면에는 배향막(3A,4A)이 배치되어 있다. 또한, 배향막(3A)은 투명 도전막(5)과 기판(9)으로 이루어지는 기재(100)상에 형성되어 있고, 배향막(4A)은 투명 도전막(6)과 기판(10)으로 이루어지는 기재(101)상에 형성되어 있 다. 배향막(수직 배향막)(3A,4A)은 액정층(2)을 구성하는 액정분자의(전압 무인가시에 있어서) 배향 상태를 규제하는 기능을 갖고 있다.
한편, 배향막(3A,4A)은 어느 것이나 같은 구성이기 때문에, 이하에서는 배향막(3A)을 대표로 하여 설명한다. 배향막(3A)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 사방 증착법에 의해 형성된 무기 산화물막(31)과, 이 무기 산화물막(31)에 후술하는 방법에 의해 처리를 하는 것에 의해 형성된 피막(32)으로 구성되어 있다.
무기 산화물막(31)은 사방 증착법에 의해 형성되기 때문에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 세공(30)을 갖는 구조를 하고, 각 세공(30)의 축은 기재(100)의 표면(배향막(3A)이 형성되는 면)에 대하여, 경사 상태로 1축 배향하고 있다. 여기서, 각 세공(30)의 축이 1축 배향하고 있다는 것은 대다수 세공(30)의 축이 거의 같은 방향을 향하고 있는 것(세공(30) 축의 평균적인 방향이 제어되어 있는 것)을 말하고, 복수의 세공(30) 중에는 축의 방향이 대다수의 것과 다른 방향을 향한 세공(30)이 포함되어 있을 수 있다.
이와 같이, 각 세공(30)이 규칙적으로 배열하고 있는 것에 의해, 무기 산화물막(31)(배향막(3A))은 높은 구조 규칙성을 갖는다. 이러한 구성에 의해, 액정층(2)이 함유하는 액정분자는 수직 배향(homeotropic alignment) 하기 쉽게 된다. 따라서, 이러한 구성의 배향막(3A)은 VA(Vertical Alignment)형의 액정패널의 구축에 유용하다.
또한, 배향막(3A)이 높은 구조 규칙성을 갖기 때문에, 액정분자의 배향 방향 또한 보다 정확히 일정 방향(수직방향)으로 정렬된다. 그 결과, 액정패널(1A)의 성능(특성)의 향상을 도모할 수 있다. 한편, 세공(30)과 기재(100)의 상면과의 각도(도 2중 각도θ)는, 특히 한정되지 않지만, 30° 내지 70° 정도인 것이 바람직하고, 40° 내지 60° 정도인 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 액정분자를 보다 확실히 수직 배향시킬 수 있다. 무기 산화물막(31)은 무기 산화물을 주재료로 하여 구성된 막이다. 일반적으로, 무기재료는 유기재료에 비해, 우수한 화학적 안정성(광 안정성)을 갖고 있다. 이 때문에, 무기 산화물막(31)(배향막(3A))은 유기재료로 구성된 배향막에 비해, 특히 우수한 내광성을 갖는다.
또한, 무기 산화물막(31)을 구성하는 무기 산화물은 그 유전율이 비교적 낮은 것이 바람직하다. 이에 의해, 액정패널(1A)에서 화상의 인화 등을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 이러한 무기 산화물로서는 예컨대, SiO2, SiO와 같은 실리콘 산화물, Al2O3, MgO, TiO, TiO2, In2O3, Sb2O3, Ta2O5, Y2O3, CeO2, WO3, CrO3, GaO3, HfO2, Ti3O5, NiO, ZnO, Nb2O5, ZrO2, Ta2O5 등의 금속 산화물을 들 수 있고, 이들 중 1종 또는 2종 이상을 조합시켜 이용할 수 있지만, 특히, SiO2를 주성분으로 하는 것이 바람직하다. SiO2는 유전율이 특히 낮고, 또한, 높은 광 안정성을 갖는다.
이러한 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면을 따라 피막(32)이 형성되어 있다. 이 피막(32)은 후술하는 처리액을 이용하여 무기 산화물막(31)을 처리하는 것에 의해 형성된 막, 즉, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 존재하는 활성인 하이드록실기와 알코올을 갖는 하이드록실기가 화학반응(에테르화 반응)하여 형성된 막이고, 알코올의 주 골격부분을 주로 하는 막이다.
이용하는 알코올로서는 그 탄소수가 2 내지 30인 것이 바람직하고, 3 내지 18인 것이 보다 바람직하다. 이러한 탄소수의 알코올은 상온에서 액상이거나, 또는 반고형상(고형상)이라도 비교적 저온에서 액상으로 할 수 있다. 이 때문에, 후술하는 처리액에 의해 무기 산화물막(31)을 처리할 때의 취급이 용이하다. 또한, 이러한 탄소수의 알코올은, 분자 크기가 비교적 작기 때문에, 세공(30)의 심부까지 침투할 수 있다. 이에 의해, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 존재하는 활성인 하이드록실기의 수를 보다 감소시킬 수 있고, 무기 산화물막(31)에 대하여 각종 불순물이 부착하는 것 또는 무기 산화물막(31)이 액정분자와 반응하는 것 등을 방지할 수 있다. 이 때문에, 예컨대, 배향막(3A)의 액정분자에 대한 수직 정착의 저하 등을 방지할 수 있고, 그 결과, 액정분자에 배향 이상이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이 알코올로서는, 지방족 알코올, 방향족 알코올, 지환 알코올, 헤테로환 알코올, 다가 알코올 또는 이들의 할로젠 치환체(특히, 불소 치환체)를 들 수 있지만, 이들 중에서도, 지방족 알코올 또는 그 불소 치환체(플루오로 알코올)가 바람직하다. 지방족 알코올 또는 그 불소 치환체는 그 분자 구조가 직선에 근사하기 때문에, 세공(30)의 심부까지 보다 확실히 침투시킬 수 있다. 이에 의해, 상기 효과를 보다 향상시킬 수 있다.
또한, 지방족 알코올 또는 그 불소 치환체를 이용하는 것에 의해, 지방족 알코올 또는 그 불소 치환체는 무기 산화물막(31)의 표면에서, 주 골격부분인 탄화수 소 부분 또는 그 불화탄소 부분을 액정층(2)측으로 향해, 무기 산화물막(31)에 화학결합하게 된다. 이에 의해, 액정분자에 대한 수직 정착력이 보다 증대하여, 액정분자를 보다 확실히 수직 배향시킬 수 있다. 이러한 것을 고려하는 경우, 알코올로서는, 프로판올, 뷰탄올, 펜탄올, 헥산올, 헵탄올, 옥탄올, 노난올, 데칸올, 운데칸올, 도데칸올, 트라이데칸올, 테트라데칸올, 펜타데칸올, 헥사데칸올, 헵타데칸올, 옥타데칸올이 적합하다.
한편, 지방족 알코올 또는 그 불소 치환체는, 그 탄화수소 부분 또는 불화탄소 부분(주 골격부분)이 직쇄상인 것, 분지상인 것 중에서 어느 것이라도 좋다. 기타, 알코올로서는, 예컨대, 에탄올, 아이코산올, 헨아이코산올, 도코산올, 트라이코산올, 테트라코산올, 트라이아콘탄올 등의 지방족 알코올, 페놀, 벤질알코올, p-클로로-벤질알코올 등의 방향족 알코올, 사이클로헥산올, 4-메틸-사이클로헥산올, 사이클로펜탄올, 콜레스테롤, 에피콜레스테롤, 콜레스탄올, 에피콜레스탄올, 에르고스탄올, 에피에르고스탄올, 코프로스탄올, 에피코프로스탄올, α-에르고스테롤, β-시드스테롤, 스티그마스테롤, 캄페스테롤 등의 지환 알코올, 퍼푸릴 알코올 등의 헤테로환 알코올, 에틸렌글라이콜, 글리세린 등의 다가 알코올 또는 이들의 불소 치환체를 이용할 수 있다.
한편, 액정분자에는, 불소화된 것이 많기 때문에, 불소 치환체를 이용하는 것에 의해, 액정분자와의 친화성을 향상시키고, 액정분자를 수직 배향시키는 효과가 보다 높아진다.
이러한 배향막(3A)의 평균두께는, 특히 한정되지 않지만, 20 내지 300 nm 정 도인 것이 바람직하고, 20 내지 150 nm 정도인 것이 보다 바람직하고, 20 내지 80 nm 정도인 것이 가장 바람직하다. 배향막(3A)의 두께가 지나치게 얇으면, 액정분자가 직접 투명 도전막(5,6)에 접촉하여 단락되는 것을 충분히 방지할 수 없다. 한편, 배향막(3A)의 두께가 지나치게 두꺼우면, 액정패널(1A)의 구동전압이 높아져 소비전력이 커질 가능성이 있다.
배향막(3A)의 외표면(도 1중 상면) 측에는 투명 도전막(5)이 배치되어 있다. 같은 방식으로, 배향막(4A)의 외표면(도 1중 하면) 측에는 투명 도전막(6)이 배치되어 있다. 투명 도전막(5,6)은 이들 사이에서 충방전(充放電)을 하는 것에 의해, 액정층(2)이 함유하는 액정분자의 배향을 변화시키는 기능을 갖는다. 투명 도전막(5,6)사이에서 충방전의 제어는, 투명 도전막(5,6)에 접속된 제어회로(도시하지 않음)로부터 공급하는 전류를 제어하는 것에 의해 실시된다. 투명 도전막(5,6)은 도전성을 갖고, 예컨대, 산화인듐주석(ITO), 산화인듐(IO), 산화주석(SnO2) 등으로 구성되어 있다. 투명 도전막(5)의 외표면(도 1중 상면) 측에는 기판(9)이 배치되어 있다. 같은 방식으로, 투명 도전막(6)의 외표면(도 1중 하면) 측에는 기판(10)이 배치되어 있다.
기판(9,10)은 상술한 액정층(2), 배향막(3A,4A), 투명 도전막(5,6) 및 후술하는 편광막(7A,8A)을 지지하는 기능을 갖고 있다. 기판(9,10)의 구성재료로서는 예컨대, 석영유리 등의 각종 유리재료, 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 각종 플라스틱재료 등을 들 수 있지만, 이들 중에서도, 특히, 각종 유리재료가 바람직하다. 이에 의해, 휨, 굴곡 등이 생기기 어렵고, 보다 안정성이 우수한 액정패널(1A)을 얻을 수 있다. 기판(9)의 외표면(도 1중 상면) 측에는 편광막(편광판, 편광필름)(7A)이 배치되어 있다. 같은 방식으로, 기판(10)의 외표면(도 1중 하면) 측에는 편광막(편광판, 편광필름)(8A)이 배치되어 있다.
편광막(7A,8A)의 구성재료로서는, 예컨대, 폴리바이닐알코올(PVA) 등을 들 수 있다. 또한, 편광막으로서는, 상기 재료에 요오드를 도핑한 것 등을 사용할 수 있다. 편광막으로서는, 예컨대, 상기 재료로 구성된 막을 1축 방향으로 연신한 것을 이용할 수 있다. 이러한 편광막(7A,8A)을 배치함으로써 통전량(通電量)의 조절에 의한 빛의 투과율의 제어를 보다 확실히 할 수 있다.
편광막(7A,8A)의 편광축의 방향은, 보통, 배향막(3A,4A)의 배향 방향(본 실시 형태에서는 전압 인가시)에 따라 결정된다.
다음으로, 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법을 적용한 전자 디바이스용 기판의 제조방법에 대하여 설명한다. 본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법은, [1] 무기 산화물막 형성 공정, [2] 침지 공정, [3] 침투 공정 및 [4] 반응 공정을 갖는다. 한편, 공정 [2] 내지 [4]에서는, 예컨대, 도 3에 나타낸 바와 같은 처리장치(900)가 사용된다.
도 3에 나타낸 처리장치(900)는 챔버(910), 챔버(910)내에 설치된 스테이지(950), 스테이지(950)상에 배치된 용기(920), 용기(920)내에 처리액(S)을 공급하는 급액 수단(960), 용기(920)내의 처리액(S)을 배액(排液)하는 배액 수단(940) 및 챔버(910)내의 배기를 수행하는 배기 수단(930)을 갖는다. 또한, 스테이지(950)에 는 예컨대, 히터 등의 가열수단(도시하지 않음)이 설치되어 있다.
배기 수단(930)은 펌프(932), 펌프(932)와 챔버(910)를 연통하는 배기라인(931) 및 배기라인(931)의 도중에 설치된 밸브(933)로 구성되어 있다. 또한, 배액 수단(940)은 처리액(S)을 회수하는 회수탱크(944), 회수탱크(944)와 용기(920)를 연통하는 배액라인(941), 배액라인(941)의 도중에 설치된 펌프(942) 및 밸브(943)로 구성되어 있다.
또한, 급액 수단(960)은 처리액(S)을 저유하는 저유탱크(964), 저유탱크(964)로부터 처리액(S)을 용기(920)로 유도하는 급액라인(961), 급액라인(961)의 도중에 설치된 펌프(962) 및 밸브(963)로 구성되어 있다. 또한, 배액 수단(940) 및 급액 수단(960)에는 각각, 도시하지 않은 가열 수단(예컨대, 히터 등)이 설치되고, 처리액(S)을 가열할 수 있도록 구성되어 있다
이하, 각 공정에 대하여, 순차로 설명한다.
[1] 무기 산화물막 형성 공정(제 1 공정)
우선, 기재(100)상(기판(9)의 한쪽 면)에 사방 증착법에 의해 무기 산화물막(31)을 형성한다. 사방 증착법을 이용하는 것에 의해, 복수의 세공(30)을 갖는 무기 산화물막(31)이 얻어진다.
여기서, 증발원에서 기화한 무기 산화물이 기재(100)의 표면에 도달하는 각도를 적절히 설정함으로써 세공(30)의 기재(100)의 상면에 대한 각도를 조정할 수 있다. 또한, 기재(100)와 증발원은 가능한 한 이격되어 있는 것이 바람직하다. 기재(100)와 증발원이 충분히 이격됨으로써 증발원에서 기화한 무기 산화물이 거의 같은 방향에서 기재(100)의 표면에 도달하게 된다. 이에 의해, 보다 배향성이 높은 무기 산화물막(31)이 형성된다.
[2] 침지 공정(제 2 공정)
다음으로, 무기 산화물막(31)이 형성된 기재(100)를 상술한 바와 같은 알코올을 함유하는 처리액(S)에 침지한다. 구체적으로는, 챔버(910)를 개방하여, 무기 산화물막(31)이 형성된 기재(100)를 반입하고, 용기(920)내에 설치한다.
다음으로, 챔버(910)를 밀폐 상태로 하여, 펌프(962)를 작동하고, 이 상태로 밸브(963)를 여는 것에 의해, 급액 라인(961)을 통해 처리액(S)을 저유탱크(964)로부터 용기(920)내로 공급한다. 그리고, 용기(920)내에 소정량의 처리액(S), 즉, 기재(100)가 완전히 잠기는 양의 처리액을 공급하면, 펌프(962)를 정지함과 동시에 밸브(963)를 닫는다.
여기서, 알코올로서는 상온에서 액상인 것이나, 상온에서 고형상 또는 반고형상인 것이라도 좋다. 상온에서 액상의 알코올을 이용하는 경우, 처리액(S)에는, 이 알코올 자체(알코올의 함유량이 거의 100%인 것)를 이용할 수 있고, 적당한 용매에 알코올을 혼합하여 이용할 수 있다.
또한, 상온에서 고형상 또는 반고형상의 알코올을 이용하는 경우, 처리액(S)으로는, 이 알코올을 가열에 의해 액상으로 한 것을 이용할 수 있고, 적당한 용매에 알코올을 용해하여 이용할 수 있다. 알코올을 용매에 혼합 또는 용해하는 경우, 용매로는, 알코올을 혼합 또는 용해가능하고, 또한, 알코올보다 극성이 낮은 것이 선택된다. 이에 의해, 용매가 후공정[4]에 있어서의 무기 산화물막(31)의 하 이드록실기와 알코올과의 반응을 방해하는 것을 방지할 수 있고, 화학반응을 확실히 일으킬 수 있다.
[3] 침투 공정(제 3 공정)
다음으로, 챔버(910)내(처리액(S)이 설치된 공간)를 감압함으로써 무기 산화물막(31)의 세공(30)내에 처리액(S)을 침투시킨다. 구체적으로는, 펌프(932)를 작동시키고, 이 상태로, 밸브(933)를 여는 것에 의해, 배기 라인(931)을 통해 챔버(910)내의 기체를 처리장치(900) 밖으로 배출한다.
챔버(910)내의 압력이 서서히 저하됨으로써 처리액(S) 중 및 무기 산화물막(31)의 세공(30)내의 기체(예컨대 공기 등)가 제거되고, 세공(30)내에 처리액(S)이 침투한다. 그리고, 챔버(910)내가 소정의 압력이 되면, 펌프(932)를 정지함과 동시에 밸브(933)를 닫는다.
이 챔버(910)내(공간)의 소정의 압력, 즉, 챔버(910)내의 진공도는 10-4 내지 104 Pa 정도인 것이 바람직하고, 10-2 내지 103 Pa 정도인 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 무기 산화물막(31)의 세공(30)내에서 충분히 공기가 제거되고, 세공(30)내에 처리액(S)을 충분히 침투시킬 수 있다. 다음으로, 펌프(942)를 작동시키고, 이 상태로, 밸브(943)를 여는 것에 의해, 용기(920)내의 잉여 처리액(S)을 배액 라인(941)을 통해서 회수탱크(944)로 회수한다. 그리고, 용기(920)내에서 처리액(S)의 거의 모두가 회수되면, 펌프(942)를 정지함과 동시에 밸브(943)를 닫는다.
[4] 반응 공정(제 4 공정)
다음으로, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 알코올을 화학결합(에터결합)시킨다. 구체적으로는, 스테이지(950)에 설치된 가열 수단을 작동시키는 것에 의해, 무기 산화물막(31)이 형성된 기재(100)를 가열한다. 이에 의해, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 존재하는 하이드록실기와 알코올을 갖는 하이드록실기와의 사이에 에테르화 반응이 발생하여, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 알코올이 화학결합한다.
그 결과, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면을 따라, 알코올의 주 골격부분을 주로 하는 피막(32)이 형성되어 배향막(3A)이 얻어진다. 한편, 가열을 수행하기에 앞서, 필요에 따라, 재차, 챔버(910)내를 감압하도록 할 수도 있다. 기재(100)의 가열온도는, 특별히 한정되지 않지만, 80 내지 250℃ 정도인 것이 바람직하고, 100 내지 200℃ 정도인 것이 보다 바람직하다. 가열온도가 너무 낮으면, 알코올의 종류나, 무기 산화물의 종류 등에 따라서는 무기 산화물막(31)에 알코올을 충분히 화학결합시킬 수 없을 우려가 있고, 한편, 가열온도를 상기 상한치를 초과하여 높이더라도, 그 이상의 효과의 증대는 기대할 수 없다.
또한, 기재(100)의 가열시간도, 특히 한정되지는 않지만, 20 내지 180분 정도인 것이 바람직하고, 40 내지 100분 정도인 것이 보다 바람직하다. 가열시간이 지나치게 짧으면, 가열온도 등의 다른 조건에 따라서는, 무기 산화물막(31)에 알코올을 충분히 화학결합시킬 수 없는 우려가 있고, 한편, 가열시간을 상기 상한치를 초과하여 길게 하더라도, 그 이상의 효과의 증대는 기대할 수 없다.
이상과 같이, 무기 산화물막(31)의 표면 및 세공(30)의 내면에 존재하는 하이드록실기와 알코올을 반응시키는 방법으로, 가열에 의한 방법을 이용하는 것에 의해, 상기 반응을 비교적 용이하고 또한 확실히 할 수 있다. 한편, 상기 반응은 가열에 의한 방법에 한정되지 않고, 예컨대, 자외선의 조사, 적외선의 조사 등에 의해 할 수 있다. 이들의 경우, 각 처리를 하는 데 필요한 기구(수단)가 처리장치(900)에 설치된다. 이상, 배향막(3A)을 형성하는 경우에 대하여 설명했지만, 배향막(4A)을 형성하는 경우에 대해서도 같은 방식이다.
<제 2 실시 형태>
다음으로, 본 발명의 액정패널의 제 2 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 액정패널의 제 2 실시 형태를 모식적으로 나타내는 종단면도이다. 한편, 도 4에서는 시일재, 배선 등의 기재는 생략했다. 또한, 이하의 설명에서는, 도 4 중의 상측을 「상」, 하측을 「하」라고 말한다.
이하, 제 2 실시 형태에 대하여, 상기 제 1 실시 형태와의 상위점을 중심으로 설명하고, 같은 사항에 관해서는 그 설명을 생략한다. 도 4에 나타낸 액정패널(TFT 액정패널)(lB)은 TFT 기판(액정구동기판)(17), TFT 기판(17)에 접합된 배향막(3B), 액정패널용 대향기판(12), 액정패널용 대향기판(12)에 접합된 배향막(4B), 배향막(3B)과 배향막(4B)의 공극에 봉입된 액정분자를 함유하는 액정층(2), TFT 기판(액정구동기판)(17)의 외표면(상면)측에 접합된 편광막(7B) 및 액정패널용 대향기판(12)의 외표면(하면)측에 접합된 편광막(8B)을 갖는다. 이러한 구성에 있어서, TFT 기판(17)과 배향막(3B) 에 의해, 또한, 액정패널용 대향기판(12)과 배향 막(4B)에 의해, 각각, 본 발명의 전자 디바이스용 기판이 구성된다.
한편, 배향막(3B,4B)은 상기 제 1 실시 형태에서 설명한 배향막(3A,4A)과 같은 구성의 것이고, 편광막(7B,8B)은 상기 제 1 실시 형태에서 설명한 편광막(7A,8A)과 같은 구성의 것이다. 액정패널용 대향기판(12)은 마이크로렌즈 기판(11)과, 이러한 마이크로렌즈 기판(11)의 표층(114) 상에 설치되고, 개구(131)가 형성된 블랙 매트릭스(13)와, 표층(114) 상에 블랙 매트릭스(13)를 덮도록 설치된 투명 도전막(공통전극)(14)을 갖는다.
마이크로렌즈 기판(11)은 요곡면을 갖는 복수(다수)의 오목부(마이크로렌즈용 오목부)(112)가 설치된 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)과, 이러한 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)의 오목부(112)가 설치된 면에 수지층(접착제층)(115)을 통해서 접합된 표층(114)을 갖는다. 또한, 수지층(115)에는 오목부(112)내에 충전된 수지에 의해 마이크로 렌즈(113)가 형성되어 있다.
마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)은 평판상의 모재(투명기판)에 의해 제조되고, 그 표면에는 복수(다수)의 오목부(112)가 형성되어 있다. 오목부(112)는 예컨대, 마스크를 이용한 드라이 에칭법, 웨트 에칭법 등에 의해 형성할 수 있다. 이 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)은 예컨대, 유리 등으로 구성되어 있다.
상기 모재의 열팽창 계수는 유리기판(171)의 열팽창 계수와 거의 같은 것(예컨대 두개의 열팽창 계수의 비가 1/10 내지 10 정도)이 바람직하다. 이에 의해, 얻어지는 액정패널(1B)에서는 온도가 변화되었을 때에 두개의 열팽창 계수가 다름 으로 인해 생기는 휨, 굴곡, 박리 등이 방지된다. 이러한 관점에서는, 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)과 유리기판(171)은 같은 종류의 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 온도 변화시의 열팽창 계수의 차이에 의한 휨, 굴곡, 박리 등이 효과적으로 방지된다.
특히, 마이크로렌즈 기판(11)을 고온 폴리실리콘의 TFT 액정패널에 이용하는 경우에는, 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)은 석영유리로 구성되어 있는 것이 바람직하다. TFT 액정패널은 액정구동 기판으로서 TFT 기판을 갖고 있다. 이러한 TFT 기판에는, 제조시의 환경에 의해 특성이 변화되기 어려운 석영유리가 바람직하게 사용된다. 이 때문에, 이것에 대응시켜, 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)을 석영유리로 구성함으로써, 휨, 굴곡 등이 생기기 어렵고, 안정성이 우수한 TFT 액정패널(1B)을 얻을 수 있다.
마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)의 상면에는 오목부(112)를 덮는 수지층(접착제층)(115)이 설치되어 있다. 오목부(112)내에는 수지층(115)의 구성재료가 충전되는 것에 의해, 마이크로 렌즈(113)가 형성되어 있다. 수지층(115)은 예컨대, 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)의 구성재료의 굴절률보다 높은 굴절률의 수지(접착제)로 구성될 수 있고, 예컨대, 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 아크릴에폭시계와 같은 자외선 경화수지 등으로 적합하게 구성될 수 있다. 수지층(115)의 상면에는, 평판상의 표층(114)이 설치되어 있다.
표층(유리층)(114)은 예컨대, 유리로 구성될 수 있다. 이 경우, 표층(114)의 열팽창 계수는 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)의 열팽창 계수와 거의 같 은 것(예컨대 두개의 열팽창 계수의 비가 1/10 내지 10 정도)으로 하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)과 표층(114)의 열팽창 계수의 차이에 의해 생기는 휨, 굴곡, 박리 등이 방지된다. 이러한 효과는 마이크로렌즈용 오목부 부착 기판(111)과 표층(114)을 같은 종류의 재료로 구성하면 보다 효과적으로 얻어진다.
표층(114)의 평균두께는 마이크로렌즈 기판(11)이 액정패널에 사용되는 경우, 필요한 광학특성을 얻는 관점에서, 보통, 5 내지 1000 μm 정도이고, 보다 바람직하게는 10 내지 150 μm 정도이다.
한편, 표층(배리어층)(114)은 예컨대, 세라믹으로 구성될 수도 있다. 한편, 세라믹으로서는 예컨대, AlN, SiN, TiN, BN 등의 질화물계 세라믹, Al2O3, TiO2 등의 산화물계 세라믹, WC, TiC, ZrC, TaC 등의 탄화물계 세라믹 등을 들 수 있다.
표층(114)을 세라믹으로 구성하는 경우, 표층(114)의 평균두께는, 특히 한정되지 않지만, 20 nm 내지 20 μm 정도로 하는 것이 바람직하고, 40 nm 내지 1 μm 정도로 하는 것이 보다 바람직하다. 한편, 이러한 표층(114)은 필요에 따라 생략할 수 있다. 블랙 매트릭스(13)는 차광기능을 갖고, 예컨대, Cr, Al, Al 합금, Ni, Zn, Ti 등의 금속, 카본 또는 타이타늄 등을 분산시킨 수지 등으로 구성되어 있다.
투명 도전막(14)은 도전성을 갖고, 예컨대, 산화인듐주석(ITO), 산화인듐(IO), 산화주석(SnO2) 등으로 구성되어 있다. TFT 기판(17)은 액정층(2)이 함유 하는 액정분자를 구동(배향 제어)하는 기판이고, 유리기판(171)과, 이러한 유리기판(171)상에 설치되고, 매트릭스 형상(행렬상)으로 설치된 복수(다수)의 화소전극(172)과, 각 화소전극(172)에 대응하는 복수(다수)의 박막 트랜지스터(TFT)(173)를 갖는다.
유리기판(171)은 상술한 바와 같은 이유로부터, 석영유리로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 화소전극(172)은 투명 도전막(공통전극)(14)과의 사이에서 충방전을 하는 것에 의해, 액정층(2)의 액정분자를 구동한다. 이 화소전극(172)은 예컨대, 상술한 투명 도전막(14)과 같은 재료로 구성되어 있다.
박막 트랜지스터(173)는 근방의 대응하는 화소전극(172)에 접속되어 있다. 또한, 박막 트랜지스터(173)는 도시하지 않는 제어회로에 접속되어, 화소전극(172)에 공급하는 전류를 제어한다. 이에 의해, 화소전극(172)의 충방전이 제어되는 배향막(3B)은 TFT 기판(17)의 화소전극(172)과 접합하고, 배향막(4B)은 액정패널용 대향기판(12)의 투명 도전막(14)과 접합하게 된다.
액정층(2)은 액정분자(액정재료)를 함유하고 있고, 화소전극(172)의 충방전에 대응하여, 이러한 액정분자의 배향이 변화된다. 이러한 액정패널(1B)에서는, 보통, 1개의 마이크로 렌즈(113)와, 이러한 마이크로 렌즈(113)의 광축(Q)에 대응한 블랙 매트릭스(13)의 1개의 개구(131)와, 1개의 화소전극(172)과, 이러한 화소전극(172)에 접속된 1개의 박막 트랜지스터(173)가 1화소에 대응하고 있다.
액정패널용 대향기판(12)측에서 입사한 입사광(L)은 마이크로 렌즈용 오목부 부착 기판(111)을 통해 마이크로 렌즈(113)를 통과할 때 집광되고, 수지층(115), 표층(114), 블랙 매트릭스(13)의 개구(131), 투명 도전막(14), 액정층(2), 화소전극(172), 유리기판(171)을 투과한다. 이 때, 마이크로 렌즈 기판(11)의 입사측에 편광막(8B)이 설치되어 있기 때문에, 입사광(L)이 액정층(2)을 투과할 때 입사광(L)은 직선 편광으로 된다.
그 때, 이 입사광(L)의 편광방향은 액정층(2)의 액정분자의 배향 상태에 대응하여 제어된다. 따라서, 액정패널(1B)을 투과한 입사광(L)을 편광막(7B)에 투과시키는 것에 의해, 출사광의 휘도를 제어할 수 있다. 이와 같이, 액정패널(1B)은 마이크로 렌즈(113)를 갖고 있고, 더구나, 마이크로 렌즈(113)를 통과한 입사광(L)은 집광되어 블랙 매트릭스(13)의 개구(131)를 통과한다.
한편, 블랙 매트릭스(13)의 개구(131)가 형성되어 있지 않은 부분에서는 입사광(L)이 차광된다. 따라서, 액정패널(1B)에서는 화소 이외의 부분으로부터 불필요한 광이 누설되는 것을 방지하고, 또한, 화소부분에서의 입사광(L)의 감쇠가 억제된다. 이 때문에, 액정패널(1B)은 화소부에서 높은 광 투과율을 갖는다. 이 액정패널(1B)은 예컨대, 다음과 같이 하여 제조할 수 있다.
우선, 공지된 방법에 의해 제조된 TFT 기판(17)과 액정패널용 대향기판(12)을 준비한다. 다음으로, 이들을 이용하여, 본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에 의해, 각각, 배향막(3B,4B)을 형성하여, 본 발명의 전자 디바이스용 기판을 얻는다. 다음으로, 시일재(도시하지 않음)를 통해서 양자를 접합하여, 이것에 의해 형성된 공극부의 봉입구멍(도시하지 않음)으로부터 액정을 공극부내에 주입한 후, 이러한 봉입구멍을 막는다.
한편, 상기 액정패널(1B)에서는, 액정구동 기판으로서 TFT 기판을 이용했지만, 액정구동 기판에 TFT 기판이외의 다른 액정구동 기판, 예컨대, TFD 기판, STN 기판 등을 사용할 수 있다. 다음으로, 상술한 바와 같은 액정패널(1A)을 갖는 본 발명의 전자기기(액정표시장치)에 대하여, 도 5 내지 도 7에 나타낸 실시 형태에 근거하여 구체적으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 전자기기를 적용한 모바일형(또는 노트북형)의 퍼스널 컴퓨터의 구성을 나타내는 사시도이다.
이 도면에 있어서, 퍼스널 컴퓨터(1100)는 키보드(1102)를 갖춘 본체부(1104) 및 표시유닛(1106)으로 구성되고, 표시유닛(1106)은 본체부(1104)에 대하여 힌지 구조부를 통해서 회동가능하게 지지되어 있다. 이 퍼스널 컴퓨터(1100)에 있어서는, 표시유닛(1106)은 전술한 액정패널(1A) 및 도시하지 않은 백라이트를 구비하고 있다. 백라이트로부터의 빛을 액정패널(1A)에 투과시키는 것에 의해 화상(정보)을 표시할 수 있는 것이다.
도 6은 본 발명의 전자기기를 적용한 휴대전화기(PHS도 포함한다)의 구성을 나타내는 사시도이다. 이 도면에 있어서, 휴대전화기(1200)는 복수의 조작 버튼(1202), 수화구(1204) 및 송화구(1206)와 더불어, 전술한 액정패널(1A)과 도시하지 않은 백라이트를 구비하고 있다.
도 7은 본 발명의 전자기기를 적용한 디지털 스틸 카메라의 구성을 나타내는 사시도이다. 한편, 이 도면에는, 외부기기와의 접속에 관해서도 간이적으로 나타내고 있다. 여기서, 보통의 카메라는 피사체의 광상(光像)에 의해 은염(銀鹽) 사 진필름을 감광하는 데 비해, 디지털 스틸 카메라(1300)는 피사체의 광상을 CCD(Charge Coupled Device) 등의 촬상 소자에 의해 광전 변환하여 촬상 신호(화상 신호)를 생성한다.
디지털 스틸 카메라(1300)에 있어서의 케이스(바디)(1302)의 배면에는 전술한 액정패널(1A)과, 도시하지 않은 백라이트가 설치되고, CCD에 의한 촬상 신호에 따라 표시를 하는 구성으로 되어 있고, 액정패널(1A)은 피사체를 전자화상으로 표시하는 파인더로서 기능한다. 케이스의 내부에는 회로 기판(1308)이 설치되어 있다. 이 회로 기판(1308)에는 촬상 신호를 격납(格納)(기억)할 수 있는 메모리가 설치되어 있다.
또한, 케이스(1302)의 정면측(도시한 구성에서는 이면측)에는 광학 렌즈(촬상 광학계)나 CCD 등을 포함하는 수광 유닛(1304)이 설치되어 있다. 촬영자가 액정패널(1A)에 표시된 피사체 상을 확인하여, 셔터 버튼(1306)을 누르면, 그 시점에서의 CCD의 촬상 신호가 회로 기판(1308)의 메모리에 전송·격납된다.
또한, 이 디지털 스틸 카메라(1300)에 있어서는, 케이스(1302)의 측면에 비디오 신호 출력단자(1312)와 데이터 통신용의 입출력단자(1314)가 설치되어 있다. 그리고, 도시한 바와 같이, 비디오 신호 출력단자(1312)에는 텔레비전 모니터(1430)가, 데이터 통신용의 입출력단자(1314)에는 퍼스널 컴퓨터(1440)가, 각각 필요에 따라 접속된다. 또한, 소정의 조작에 의해, 회로 기판(1308)의 메모리에 격납된 촬상 신호가 텔레비전 모니터(1430) 또는 퍼스널 컴퓨터(1440)에 출력되는 구성으로 되어 있다.
다음으로, 본 발명의 전자기기의 일례로서, 상기 액정패널(1B)을 이용한 전자기기(액정프로젝터)에 대하여 설명한다. 도 8은 본 발명의 전자기기(투사형 표시장치)의 광학계를 모식적으로 나타내는 도면이다. 도면에 나타낸 바와 같이, 투사형 표시장치(300)는 광원(301), 복수의 인테그레이터 렌즈를 갖춘 조명 광학계, 복수의 2색성 거울 등을 갖춘 색 분리 광학계(도광 광학계), 적색에 대응한(적색용) 액정 라이트 밸브(액정광 셔터 어레이)(24), 녹색에 대응한(녹색용) 액정 라이트 밸브(액정광 셔터 어레이)(25), 청색에 대응한(청색용) 액정 라이트 밸브(액정광 셔터 어레이)(26), 적색광만을 반사하는 2색성 거울면(211) 및 청색광만을 반사하는 2색성 거울면(212)이 형성된 2색성 프리즘(색합성 광학계)(21), 및 투사렌즈(투사 광학계)(22)를 갖고 있다.
또한, 조명 광학계는 인테그레이터 렌즈(302 및 303)를 갖고 있다. 색분리 광학계는 거울(304, 306, 309), 청색광 및 녹색광을 반사하는(적색광만을 투과한다) 2색성 거울(305), 녹색광만을 반사하는 2색성 거울(307), 청색광만을 반사하는 2색성 거울(또는 청색광을 반사하는 거울)(308), 집광 렌즈(310, 311, 312, 313 및 314)를 갖고 있다.
액정 라이트 밸브(25)는 상술한 액정패널(1B)을 구비하고 있다. 액정 라이트 밸브(24 및 26)도 액정 라이트 밸브(25)와 같은 구성으로 되어 있다. 이들 액정 라이트 밸브(24,25 및 26)가 구비되어 있는 액정패널(1B)은 도시하지 않은 구동회로에 각각 접속되어 있다. 한편, 투사형 표시장치(300)에서는 2색성 프리즘(21)과 투사 렌즈(22)에 의해 광학 블록(20)이 구성되어 있다. 또한, 이 광학 블록(20)과 2색성 프리즘(21)에 대하여 고정적으로 설치된 액정 라이트 밸브(24,25 및 26)에 의해 표시 유닛(23)이 구성되어 있다.
이하, 투사형 표시장치(300)의 작용을 설명한다. 광원(301)으로부터 출사된 백색광(백색광속)은 인테그레이터 렌즈(302 및 303)를 투과한다. 이 백색광의 광 강도(휘도분포)는 인테그레이터 렌즈(302 및 303)에 의해 균일하게 된다. 광원(301)으로부터 출사된 백색광은 그 광 강도가 비교적 큰 것이 바람직하다. 이에 의해, 스크린(320)상에 형성되는 화상을 보다 선명하게 할 수 있다. 또한, 투사형 표시장치(300)로서는 내광성이 우수한 액정패널(1B)을 이용하기 때문에, 광원(301)으로부터 출사된 광의 강도가 큰 경우라도 우수한 장기 안정성이 얻어진다.
인테그레이터 렌즈(302 및 303)를 투과한 백색광은 거울(304)에서 도 8 중 좌측으로 반사하고, 그 반사광중의 청색광(B) 및 녹색광(G)은 각각 2색성 거울(305)에서 도 8 중 하측으로 반사하고, 적색광(R)은 2색성 거울(305)을 투과한다. 2색성 거울(305)을 투과한 적색광은 거울(306)에서 도 8 중 하측으로 반사하고, 그 반사광은 집광렌즈(310)에 의해 정형되고, 적색용의 액정 라이트 밸브(24)로 입사한다.
2색성 거울(305)에서 반사한 청색광 및 녹색광 중의 녹색광은 2색성 거울(307)에서 도 8 중 좌측으로 반사하고, 청색광은 2색성 거울(307)을 투과한다. 2색성 거울(307)에서 반사한 녹색광은 집광렌즈(311)에 의해 정형되고, 녹색용의 액정 라이트 밸브(25)로 입사한다.
또한, 2색성 거울(307)을 투과한 청색광은 2색성 거울(또는 거울)(308)에서 도 8 중 좌측으로 반사하고, 그 반사광은, 거울(309)에서 도 8 중 상측으로 반사한다. 상기 청색광은 집광렌즈(312, 313 및 314)에 의해 정형되고, 청색용의 액정 라이트 밸브(26)으로 입사한다. 이와 같이, 광원(301)으로부터 출사한 백색광은 색분리 광학계에 의해, 적색, 녹색 및 청색의 삼원색으로 색분리되고, 각각, 대응하는 액정 라이트 밸브로 도입되어 입사한다. 이 때, 액정 라이트 밸브(24)를 갖는 액정패널(1B)의 각 화소(박막 트랜지스터(173)와 이에 접속된 화소전극(172))은 적색용의 화상신호에 따라 작동하는 구동회로(구동수단)에 의해, 스위칭 제어(on/off), 즉 변조된다.
같은 방식으로, 녹색광 및 청색광은 각각, 액정 라이트 밸브(25 및 26)로 입사하고, 각각의 액정패널(1B)에서 변조되어, 이에 의해 녹색용의 화상 및 청색용의 화상이 형성된다. 이 때, 액정 라이트 밸브(25)를 갖는 액정패널(1B)의 각 화소는 녹색용의 화상신호에 따라 작동하는 구동회로에 의해 스위칭 제어되고, 액정 라이트 밸브(26)를 갖는 액정패널(1B)의 각 화소는, 청색용의 화상신호에 따라 작동하는 구동회로에 의해 스위칭 제어된다. 이에 의해 적색광, 녹색광 및 청색광은 각각, 액정 라이트 밸브(24, 25 및 26)로 변조되어, 적색용의 화상, 녹색용의 화상 및 청색용의 화상이 각각 형성된다.
상기 액정 라이트 밸브(24)에 의해 형성된 적색용의 화상, 즉 액정 라이트 밸브(24)로부터의 적색광은 면(213)으로부터 2색성 프리즘(21)으로 입사하여, 2색성 거울면(211)에서 도 8 중 좌측으로 반사하고, 2색성 거울면(212)을 투과하여, 출사면(216)으로부터 출사된다. 또한, 상기 액정 라이트 밸브(25)에 의해 형성된 녹색용의 화상, 즉 액정 라이트 밸브(25)로부터의 녹색광은 면(214)으로부터 2색성 프리즘(21)으로 입사하여, 2색성 거울면(211 및 212)을 각각 투과하고, 출사면(216)으로부터 출사된다.
또한, 상기 액정 라이트 밸브(26)에 의해 형성된 청색용의 화상, 즉 액정 라이트 밸브(26)로부터의 청색광은, 면(215)으로부터 2색성 프리즘(21)으로 입사하고, 2색성 거울면(212)에서 도 8 중 좌측으로 반사하여, 2색성 거울면(211)을 투과하고, 출사면(216)으로부터 출사된다. 이와 같이, 상기 액정 라이트 밸브(24, 25 및 26)로부터의 각 색의 광, 즉 액정 라이트 밸브(24, 25 및 26)에 의해 형성된 각 화상은 2색성 프리즘(21)에 의해 합성되고, 이에 의해 컬러의 화상이 형성된다. 이 화상은 투사렌즈(22)에 의해, 소정의 위치에 설치되어 있는 스크린(320)상에 투영(확대 투사)된다.
본 실시 형태의 투사형 표시장치(300)는 3개의 액정패널을 갖고, 이들 전체에 액정패널(1B)을 적용한 것에 대하여 설명했지만, 이들 중 적어도 하나는 액정패널(1B)일 수 있다. 이 경우, 적어도 청색용의 액정 라이트 밸브에 액정패널(1B)을 적용하는 것이 바람직하다. 한편, 본 발명의 전자기기는 도 5의 퍼스널 컴퓨터(모바일형 퍼스널 컴퓨터), 도 6의 휴대전화기, 도 7의 디지털 스틸 카메라, 도 8의 투사형 표시장치 외에도, 예컨대, 텔레비전, 비디오 카메라, 뷰 파인더형, 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 차량 내비게이션 장치, 무선 호출기, 전자수첩(통신 기능 부가한 전자수첩도 포함), 전자사전, 전자계산기, 전자게임기기, 워드 프로세서, 워크스테이션, 화상 전화기, 방범용 텔레비전 모니터, 전자쌍안경, POS 단 말, 터치 패널을 갖춘 기기(예컨대, 금융기관의 캐쉬 디스펜서, 자동권 발매기), 의료기기(예컨대, 전자체온계, 혈압계, 혈당계, 심전표시장치, 초음파 진단장치, 내시경용 표시장치), 어군탐지기, 각종 측정기기, 계기류(예컨대, 차량, 항공기, 선박의 계기류), 비행 시뮬레이터 등을 들 수 있다. 그리고, 이들 각종 전자기기의 표시부, 모니터부로서 상술한 본 발명의 액정패널이 적용가능한 것은 말할 필요도 없다.
이상, 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법, 전자 디바이스용 기판, 전자 디바이스용 기판의 제조방법, 액정패널 및 전자기기를, 도시한 실시 형태에 따라 설명했지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법 및 전자 디바이스용 기판의 제조방법에서는, 임의의 원하는 공정이 1 또는 2 이상 추가될 수 있다.
또한, 본 발명의 무기 산화물막의 처리방법은 각종 용도의 무기 산화물막의 처리에 적용할 수 있다. 또한, 예컨대, 본 발명의 전자 디바이스용 기판, 액정패널 및 전자기기에서 각 부의 구성은 같은 기능을 발휘하는 임의의 구성으로 대체할 수 있고, 또한, 임의의 구성을 부가할 수도 있다.
또한, 본 발명의 전자 디바이스용 기판은 상기 실시 형태에서 설명한 구성의 액정패널에의 적용에 한정되지 않고, 예컨대, 동일 기판상에 액정층으로 전압을 인가하는 한 쌍의 전극을 설치한 구성의 액정패널에 적용할 수 있다. 또한, 본 발명의 전자 디바이스용 기판은 액정패널에의 적용에 한정되지 않고, 예컨대, 유기 트랜지스터 등에 적용할 수도 있다. 이 경우, 이러한 전자 디바이스용 기판을 이용 하는 것에 의해, 유기 반도체층의 배향 방향을 규제하여 캐리어 이동도의 향상을 도모할 수 있다.
실시예
다음으로, 본 발명의 구체적 실시예에 대하여 설명한다.
1. 전자
디바이스용
기판의 제조
샘플
No
.1
<1> 우선, 유리기판(2.5 cm × 2.5 cm의 정방형)을 준비하고, 진공증착장치에 기판면을 증착원에 대하여 70°가 되도록 설정했다. 그리고, 증착장치내를 감압(10-4 Pa)하고, SiO2를 사방증착하여, 사방 증착막(무기 산화물막) 부착 기판을 제작했다. 한편, 수득된 사방 증착막은, 그 세공의 유리기판의 표면에 대한 각도가 약 50° 였다.
<2> 다음으로 사방 증착막 부착 기판을 청결한 오븐 중, 200℃ × 90분간 가열하고, 가열종료직후, 건조 질소분위기 중으로 이동하여, 그대로 방치했다.
<3> 다음으로, 2-프로판올을 준비하고, 여과필터를 이용하여 이온성불순물을 제거한 후, 질소 기포에 의해 미량함유 수분을 제거하여 처리액을 조정했다.
<4> 다음으로, 도 3에 나타내는 처리장치내에, 사방 증착막 부착 기판을 반입하여, 용기(폴리테트라플루오로에틸렌제)안에 사방증착막을 위로 하여 설치했다. 그리고, 챔버를 밀폐한 후, 준비한 처리액을 용기내에 공급하여, 사방 증착막 부착 기판을 처리액에 침지시켰다.
<5> 다음으로, 상기 공정 <4>의 상태로, 챔버내를 100 Pa로 감압했다. 이것에 의해, 사방 증착막의 세공내의 기체를 처리액으로 대체했다. 즉, 세공내에 처리액을 침투시켰다.
<6> 다음으로, 잉여 처리액을 용기로부터 배출한 후, 재차, 챔버내를 100 Pa로 감압하여, 기판을 150℃ × 1시간으로 가열했다.
이것에 의해, 사방 증착막의 표면 및 세공의 내면에, 2-프로판올을 화학결합시켰다.
<7> 가열종료후, 감압상태를 유지하면서, 냉각했다. 이상과 같이, 전자 디바이스용 기판을 수득했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
샘플
No
.2
2-프로판올 대신에, 1-펜탄올을 이용한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
샘플
No
.3
2-프로판올 대신에, 1-헥산올을 이용한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
샘플
No
.4
2-프로판올 대신에, 1-데칸올을 이용한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 48 nm였다.
샘플
No
.5
2-프로판올 대신에, 1-옥타데칸올을 이용한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 1-옥타데칸올은 상온에서 반고형상이기 때문에, 60℃로 가열하여 액상으로 하고, 이 상태로 상기 공정 <3> 및 <4>를 실시했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 48 nm였다.
샘플
No
.6
SiO2 대신에, Al2O3를 사방 증착하여, 사방 증착막(무기 산화물막) 부착 기판을 제작한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
샘플
No
.7
상기 공정 <5>에 있어서 감압을 생략하고, 또한, 상기 공정 <6>을 생략한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 40 nm였다.
샘플
No
.8
상기 공정 <5>에 있어서 감압을 생략한 것 이외에는, 상기 샘플 No.1과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
샘플
No
.9
상기 공정 <5>에 있어서 감압을 생략하고, 또한, 상기 공정 <6>을 생략한 것 이외에는, 상기 샘플 No.6과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 40 nm였다.
샘플
No
.10
상기 공정 <5>에 있어서 감압을 생략한 것 이외에는, 상기 샘플 No.6과 같이 하여, 전자 디바이스용 기판을 제조했다. 한편, 수득된 배향막은 그 평균두께가 45 nm였다.
2. 2-
프로판올
결합량의 평가
샘플 No.1, 샘플 No.6 내지 10의 전자 디바이스용 기판을 각각, 200℃로 가열하고, 발생한 가스를 GC-MS(주식회사 시마즈제작소 제품, 「GC-MS QP5050A」)로 분석했다. 그리고, 수득된 GC-MS의 챠트로부터, 프로필렌에 연유되는 피크의 면적을 시간 적산하고, 각 샘플 번호의 전자 디바이스용 기판에 있어서 발생한 프로필렌의 양을 구했다. 한편, 발생한 프로필렌의 양은 사방 증착막에 화학결합한 2-프로판올의 양에 비례한다. 이 결과를 하기 표 1에 나타낸다.
한편, 표 1에는, 샘플 No.8의 전자 디바이스용 기판에서 발생한 프로필렌의 양을 「1.0」으로 하여, 샘플 No.1 및 7의 전자 디바이스용 기판에서 발생한 프로필렌의 양을 각각 상대치로 나타내었다. 또한, 샘플 No.10의 전자 디바이스용 기판에서 발생한 프로필렌의 양을 「1.0」으로 하여, 샘플 No.6 및 9의 전자 디바이스용 기판에서 발생한 프로필렌의 양을 각각 상대치로 나타내었다.
표 1에 나타낸 바와 같이, 사방 증착막을 처리액에 단지 침지하는 것(샘플 No.7 및 9)에 비하여, 열처리를 하는 것(샘플 No.8 및 10)에 의해, 사방 증착막에 화학결합한 알코올의 양을 증대시킬 수 있는 것이 분명하였다. 또한, 사방 증착막을 알코올에 침지할 때에 감압하는 것(샘플 No.1 및 6)에 의해, 사방 증착막에 화학결합한 알코올의 양을 보다 증대시킬 수 있는 것이 분명하였다. 이것은, 감압에 의해 사방 증착막의 세공의 심부까지 알코올이 침투하여, 사방 증착막의 세공의 내면에 화학결합한 알코올의 양이 증대하는 것을 시사하는 결과이다.
3. 액정패널의 제조
실시예
1
우선, 샘플 No.1과 같이 하여 제조한 전자 디바이스용 기판을 2장 준비했다. 다음으로, 한 쪽의 전자 디바이스용 기판에 대하여, 배향막을 형성한 면의 외주부에 따라, 액정 주입구로 되는 부분을 남기고, 열경화형 접착제(니혼카야쿠사 제품, 「ML3804P」)를 인쇄하여, 80℃ × 10분간 가열하여 용매를 제거했다.
한편, 열경화형 접착제는 직경 약 3 μm의 실리카 구를 혼합한 에폭시 수지이다. 다음으로, 다른 쪽의 전자 디바이스용 기판의 배향막을 형성한 면을 내측으로 하여, 2장의 기판을 압착하면서, 140℃ × 1시간으로 가열함으로써 접합했다. 한편, 2장의 전자 디바이스용 기판은 배향막의 배향이 서로 180°가 되도록 배치했다. 다음으로, 2장의 기판을 접합하여 형성된 내측의 공간에, 액정 주입구로부터 불소계의 음의 유전이방성 액정(메르크사 제품, 「MLC-6610」)을 진공주입법에 의해 주입했다. 다음으로, 액정 주입구를 아크릴계의 UV 접착제(헨켈 제팬사 제품, 「LPD-204」)를 이용하여, 파장 365 nm의 UV를 3000 mJ/cm2 조사하여 경화하고, 액정 주입구를 밀봉했다. 이상과 같이, 액정패널을 제조했다.
실시예
2
샘플 No.2의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
실시예
3
샘플 No.3의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
실시예
4
샘플 No.4의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
실시예
5
샘플 No.5의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
실시예
6
샘플 No.6의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
비교예
1
샘플 No.7의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
비교예
2
샘플 No.8의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
비교예
3
샘플 No.9의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
비교예
4
샘플 No.10의 전자 디바이스용 기판을 이용한 것 이외에는, 상기 실시예 1과 같이 하여, 액정패널을 제조했다.
4. 액정패널의
내광성시험
각 실시예 및 각 비교예에서 제조한 액정패널을, 각각, 도 8에 나타내는 투사형 표시장치의 청색용의 액정 라이트 밸브로서 설정하고, 액정패널의 표면온도를 70℃로 유지하면서, 광원을 연속 점등하여, 표시 이상이 발생하기까지의 시간을 측정하였다. 한편, 광원으로는 130WUHP 램프(필립스사 제품)를 이용했다. 이 결과를 하기 표 2에 나타낸다.
한편, 표 2에는, 비교예 2의 액정패널에 있어서 표시 이상이 발생하기까지의 시간을 「1.0」으로 하여, 실시예 1 내지 5 및 비교예 1의 액정패널에 있어서 표시 이상이 발생하기까지의 시간을 각각 상대치로 나타내었다. 또한, 비교예 4의 액정패널에 있어서 표시 이상이 발생하기까지의 시간을 「1.0」으로 하여, 실시예 6 및 비교예 3의 액정패널에 있어서 표시 이상이 발생하기까지의 시간을 각각 상대치로 나타내었다.
표 2에 나타낸 바와 같이, 각 실시예의 액정패널은 어느 것이나, 각 비교예의 액정패널에 대하여 표시 이상이 발생하기까지의 시간이 길게 되는 것이 분명하였다. 또한, 알코올로서, 그 탄소수가 3 내지 5의 것을 이용하는 것에 의해, 표시 이상이 발생하기까지의 시간이 길어지는 경향을 나타내었다. 이것은, 알코올의 탄소수가 적어지는 것에 의해, 사방 증착막의 세공의 심부까지 알코올이 침투하여, 사방 증착막의 세공의 내면에 화학결합한 알코올의 양이 증대한 것을 시사하는 결과이다. 또한, 알코올로서, 상술한 바와 같은 각종 알코올의 불소 치환체를 이용하여, 상기와 같은 전자 디바이스용 기판 및 액정패널을 제조하여, 상기와 같이 평가를 한 바, 같은 결과가 얻어졌다.
도 1은 본 발명의 액정패널의 제 1 실시 형태를 모식적으로 나타내는 종단면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 액정패널이 구비하는 배향막의 구성을 모식적으로 나타내는 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 전자 디바이스용 기판의 제조방법에 이용하는 처리장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 액정패널의 제 2 실시 형태를 모식적으로 나타내는 종단면도이다.
도 5는 본 발명의 전자기기를 적용한 모바일형(또는 노트북형)의 퍼스널 컴퓨터의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 전자기기를 적용한 휴대전화기(PHS도 포함한다)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 전자기기를 적용한 디지털 스틸 카메라의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 전자기기를 적용한 투사형 표시장치의 광학계를 모식적으로 나타내는 도면이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1A,1B: 액정패널 2: 액정층
3A,3B: 배향막 30: 세공
31: 무기 산화물막 32: 피막
4A,4B: 배향막 5: 투명 도전막
6: 투명 도전막 7A,7B: 편광막
8A,8B: 편광막 9: 기판
10: 기판 100: 기재
101: 기재 11: 마이크로렌즈 기판
111: 마이크로 렌즈용 오목부 부착 기판 112: 오목부
113: 마이크로 렌즈 114: 표층
115: 수지층 12: 액정패널용 대향기판
13: 블랙 매트릭스 131: 개구
14: 투명 도전막 17: TFT 기판
171: 유리기판 172: 화소전극
173: 박막 트랜지스터 900: 처리장치
910: 챔버 920: 용기
930: 배기수단 931: 배기라인
932: 펌프 933: 밸브
940: 배액수단 941: 배액 라인
942: 펌프 943: 밸브
944: 회수탱크 950: 스테이지
960: 급액수단 961: 급액라인
962: 펌프 963: 밸브
964: 저류탱크 S: 처리액
1100: 퍼스널 컴퓨터 1102: 키보드
1104: 본체부 1106: 표시유닛
1200: 휴대전화기 1202: 조작 버튼
1204: 수화구 1206: 송화구
1300: 디지털 스틸 카메라 1302: 케이스(body)
1304: 수광유닛 1306: 셔터버튼
1308: 회로 기판 1312: 비디오 신호 출력단자
1314: 데이터 통신용의 입출력단자 1430: 텔레비전 모니터
1440: 퍼스널 컴퓨터 300: 투사형 표시장치
301: 광원 302,303: 인테그레이터 렌즈
304,306,309: 거울 305,307,308: 2색성 거울
310 내지 314: 집광렌즈 320: 스크린
20: 광학블록 21: 2색성 프리즘
211,212: 2색성 거울면 213 내지 215: 면
216: 출사면 22: 투사렌즈
23: 표시유닛 24 내지 26: 액정 라이트 밸브
Claims (4)
- 기판, 및 상기 기판의 한쪽 면에 형성된 배향막을 포함하는 전자 디바이스용 기판으로서,상기 배향막은, 복수의 세공을 갖는 무기 산화물막이고,불소 치환된 지방족 알코올을 상기 배향막의 표면 및 상기 세공의 내면에 화학 결합시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스용 기판.
- 기판, 및 상기 기판의 한쪽 면에 형성된 배향막을 포함하는 전자 디바이스용 기판으로서,상기 배향막은, 복수의 세공을 갖는 무기 산화물막이고,탄소수가 3 내지 5인 알코올을 상기 배향막의 표면 및 상기 세공의 내면에 화학 결합시켜 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스용 기판.
- 한 쌍의 기판 사이에 액정층을 협지한 액정 패널로서, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽이 제 1 항 또는 제 2 항에 따른 전자 디바이스용 기판인 것을 특징으로 하는 액정 패널.
- 제 3 항에 따른 액정 패널을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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