KR100873001B1

KR100873001B1 - 리니어 모터 및 그 제조방법 그리고 이 리니어 모터를이용한 스테이지장치

Info

Publication number: KR100873001B1
Application number: KR1020077016470A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 시노히라; 도타로 우스이
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2005-01-27
Filing date: 2005-12-28
Publication date: 2008-12-09
Also published as: WO2006080176A1; US20070252445A1; TWI301688B; JP4558524B2; KR20070091022A; TW200629695A; CN101103512A; JP2006211817A; CN100596004C

Abstract

코일부(60)는, 2열(列)의 코일(66)을 몰드(수지재)(76)에 의하여 일체화한 것이 커버부재(78)로 덮여 있다. 몰드(76)의 표면에는, 유리막(80)이 형성되어 있다. 유리막(80)은, 무기재(無機材)이므로, 절연성을 가지고 있다. 그리고, 커버부재(78)의 내벽과 유리막(80) 표면의 간극에는, 냉각수가 흐르는 냉각수 유로(74)가 형성되어 있다. 이 유리막(80)은, 액체 유리를 코팅함으로써 균일한 두께(수 미크론)로 형성된다.

Description

리니어 모터 및 그 제조방법 그리고 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치{Linear motor and production method therefor and stage device using this linear motor}

본 발명은 코일의 주위에 냉각수를 공급하여 리니어 모터의 발열을 억제하도록 구성된 리니어 모터 및 그 제조방법 그리고 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치의 개량에 관한 것이다.

예컨대, 반도체 제조장치나 액정 제조장치 등에 이용되는 정밀 위치결정장치에서는, 기판 등의 피가공물이 탑재된 스테이지를 구동하는 구동수단으로서 리니어 모터를 이용하고 있으며, 스테이지의 양단(兩端)을 한 쌍의 리니어 모터에 의하여 병진(竝進) 구동 제어하고 있다.

이 종류의 리니어 모터에서는, 복수의 코일이 일렬로 설치된 코일부와, 코일 열(列)에 대향하도록 배치된 복수의 영구자석이 일렬로 설치된 마그넷 요크부로 구성되어 있다. 그리고, 코일부에 통전(通電)되어서 전자(電磁)력이 발생함으로써, 영구자석에 대하여 추력(推力)(구동력)이 발생한다.

또한, 리니어 모터의 구성으로서는, 마그넷 요크부가 고정(固定)측이고 코일부가 가동(可動)측이 되는 무빙 코일 방식과, 코일부가 고정측이고 마그넷 요크부가 가동측이 되는 무빙 마그넷 방식이 있다.

상기 두 방식 중의 어느 방식에 있어서도 코일로부터의 발열에 의한 온도상승이 발생하면, 코일 자체의 저항값이 상승되므로, 구동전류가 저하하게 된다. 리니어 모터에서는, 추력이 구동전류에 비례하기 때문에, 구동전류가 저하되면, 추력도 저하된다.

또한, 코일로부터 발생한 열이 외부 환경에 영향을 준다. 그 때문에, 리니어 모터에서는, 코일로부터의 발열에 의한 영향을 줄이기 위하여, 코일부를 냉각하는 냉각수단을 설치하고 있다. 이 냉각수단으로서는, 예컨대, 코일부에 냉각배관을 설치하여, 냉각배관에 냉매(冷媒) 또는 순수(純水)를 공급하여 코일의 열을 냉각하고 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 또한, 리니어 모터에 있어서는, 코일의 냉각 효율을 높일 것이 요구되고 있어서, 예컨대, 복수의 코일을 홀더 및 몰드라고 불리우는 수지재에 의하여 덮고, 또한, 그 주위를 스테인리스 등의 금속이나 카본 섬유에 의하여 강화된 CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics) 등의 수지재, 혹은 세라믹스 등으로 이루어지는 커버부재로 덮어서 상기 수지재와 커버부재의 사이에 냉각용 유로를 형성한 것이 있다. 그리고, 이 냉각구조에서는, 냉각용 유로에 불활성 냉매(불소계 불활성 액체)를 흐르게 하여 코일의 열을 불활성 냉매와의 열교환에 의하여 회수하도록 구성되어 있다. 이 불활성 냉매는, 리니어 모터 자체의 기능을 손상할 우려가 없고, 코일의 절연성에도 영향을 주지 않는 성질을 가지고 있지만, 비교 적 비열(比熱)이 낮으므로, 냉각 효율을 높이는 것이 어렵다.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2003-224961호 공보

[발명의 개시]

[발명이 해결하고자 하는 과제]

그러나, 리니어 모터에서는, 코일열(列)에 전류를 흐르게 함으로써 추력(구동력)을 발생시키는 구성이므로, 보다 큰 추력을 얻는 경우, 혹은 가동부의 이동 속도를 높여서 고속이동시키는 경우에는, 코일의 발열량이 증대되므로, 리니어 모터 자체의 성능이 저하될 뿐만 아니라, 정밀하게 위치결정을 행하는 장치, 예컨대, 반도체 제조장치 등에서는 레이저 간섭계 등의 계측기기가 영향을 받거나, 가동부를 지지하는 구조부재가 온도변화에 의하여 변형된다고 하는 현상이 발생하여 정밀한 위치결정의 장해가 되고 있다.

이와 같은 코일의 발열량이 증대되는 것에 대하여, 냉각 효율을 보다 높일 것이 요구되고 있으며, 예컨대, 상기 코일의 냉각구조에 있어서, 불활성 냉매보다도 비열이 높은 물을 냉각액으로서 이용하는 것이 검토되고 있다.

그런데, 상기 수지재와 커버부재의 사이에 형성된 냉각용 유로에 물을 공급하여 냉각 효율을 높이는 경우, 코일을 덮는 수지재에 물이 침투하여 절연 파괴를 일으키거나, 수지와 코일의 사이에 침입한 수분이 발열에 의하여 기화(氣化) 팽창하여, 단면(端面)에 집중된 응력이 수지강도를 넘어서 수지에 크랙을 발생시키거나, 수지성분이나 금속 이온이 녹아나온다고 하는 문제가 발생한다.

그래서, 본 발명은 상기 문제를 해결한 리니어 모터 및 리니어 모터의 코일 제조방법 및 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 이하와 같은 특징을 가진다.

본 발명은, 복수의 코일이 병설(竝設)된 코일부와, 복수의 영구자석이 상기 코일부에 대향하도록 병설된 마그넷 요크부와, 상기 코일부를 덮는 커버부재와, 상기 커버부재의 내측에 형성되고, 냉각수의 공급에 의하여 상기 코일부를 냉각하는 코일 냉각부를 구비하며, 상기 코일부는, 상기 복수의 코일의 주위에 수지재(材)(resin material)를 형성하고, 상기 수지재의 표면에 유리막을 형성한 것으로 함으로써, 상기 과제를 해결한다.

또한, 본 발명은, 상기 커버부재의 내면에 유리막을 형성함으로써, 상기 과제를 해결한다.

또한, 상기 코일부는, 상기 복수의 코일의 주위에 제1 유리막을 형성하고, 상기 제1 유리막의 표면에 수지재를 형성하며, 상기 수지재의 표면에 제2 유리막을 형성함으로써, 상기 과제를 해결한다.

또한, 상기 코일부는, 상기 복수의 코일로부터 인출된 리드선을 상기 커버부재의 외부로 가이드하는 리드선 통로를 가지고, 이 리드선 통로의 외주에 유리막을 형성함으로써, 상기 과제를 해결한다.

또한, 상기 냉각수는, 순수(純水)로 함으로써, 상기 과제를 해결한다.

또한, 본 발명은, 복수의 코일을 병설하는 제1 공정과, 상기 복수의 코일의 주위에 수지재를 형성하는 제2 공정과, 상기 수지재의 표면에 유리막을 형성하는 제3 공정과, 냉각수가 공급되는 냉각수 유로를 형성하는 커버부재로 상기 유리막의 주위를 덮는 제4 공정과, 상기 코일로부터 인출된 리드선을 인출하는 리드선 통로를 상기 커버부재의 단부(端部) 내측에 설치하는 제5 공정과, 복수의 영구자석을 가지는 마그넷 요크부가 상기 코일부에 대향하도록 상기 마그넷 요크부를 설치하는 제6 공정을 가짐으로써, 상기 과제를 해결한다.

본 발명은, 상기 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 스테이지장치로써, 상기 과제를 해결한다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 복수의 코일의 주위에 수지재를 형성하고, 수지재의 표면에 유리막을 형성하였으므로, 냉각수의 공급에 의하여 코일의 열을 효율좋게 냉각하는 것이 가능하게 됨과 함께, 유리막에 의하여 코일 및 수지재에 냉각수가 침투하는 것을 방지할 수 있어서, 냉각수에 의한 절연 파괴나 크랙의 발생을 막을 수 있다. 또한, 코일 표면의 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 커버부재의 내면에 유리막을 형성하였으므로, 냉각수에 의하여 커버부재로부터 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 복수의 코일의 주위에 제1 유리막을 형성하고, 제1 유리막의 표면에 수지재를 형성하고, 수지재의 표면에 제2 유리막을 형성하였으므로, 이중(二重) 유리막에 의하여 냉각수가 침투하는 것을 방지할 수 있어서, 냉각수에 의하여 코일 표면의 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 복수의 코일로부터 인출된 리드선을 커버부재의 외부로 가이드하는 리드선 통로를 가지고, 리드선 통로의 외주에 유리막을 형성하였으므로, 리드선에 냉각수가 침투하는 것을 방지할 수 있어서, 냉각수에 의하여 리드선으로부터 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

도 1은, 본 발명이 되는 리니어 모터의 일실시예가 적용된 스테이지장치의 평면도이다.

도 2는, 리니어 모터(20)의 구성을 나타낸 사시도이다.

도 3a는, 코일부(60)의 내부구조를 나타낸 도면이며, 코일부(60)의 종단면도이다.

도 3b는, 코일부(60)의 내부구조를 나타낸 도면이며, A부(部)를 확대하여 나타낸 확대 단면도이다.

도 4는, 2열(列)의 코일(66)을 병설(竝設)한 상태를 나타낸 사시도이다.

도 5는, 코일부(60)의 우측면도이다.

도 6a는, 코일부(60)의 내부를 나타낸 도면이며, 도 5 중 Ⅴ-Ⅴ선을 따른 종단면도이다.

도 6b는, 코일부(60)의 내부를 나타낸 도면이며, B부를 확대하여 나타낸 확대 단면도이다.

도 7은, 변형예 1의 A부를 확대하여 나타낸 종단면도이다.

도 8은, 변형예 2의 A부를 확대하여 나타낸 종단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 스테이지장치

14 : 베이스

18 : 슬라이더

20 : 리니어 모터

24 : Y 슬라이더

60 : 코일부

62 : 마그넷 요크부

66 : 코일

68 : 영구자석

70 : 냉각수 공급구

72 : 냉각수 배출구

74 : 냉각수 유로

76 : 몰드

78 : 커버부재

80, 89, 90 : 유리막

82, 84 : 블럭

86 : 리드선

88 : 리드선 가이드부재

92 : 제1 유리막

94 : 제2 유리막

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태(실시예)에 대하여 설명한다.

[실시예 1]

도 1은 본 발명에 의한 리니어 모터의 일실시예가 적용된 스테이지장치의 평면도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 스테이지장치(10)는, XY스테이지이며, 콘크리트제(製)의 기초(基礎) 상에 고정된 베이스(14)와, 베이스(14) 상을 이동하는 가동부(16)와, 가동부(16)의 양단부(兩端部)를 Y방향으로 구동하는 한 쌍의 리니어 모터(20)를 가진다.

가동부(16)는, 리니어 모터(20)에 의하여 구동되는 슬라이더(18)와, 슬라이더(18) 사이를 연결하도록 이동방향과 직교하는 X방향에 가로로 걸쳐진(橫架) Y 슬 라이더(24)와, Y 슬라이더(24) 상을 X방향으로 이동하는 X 슬라이더(26)를 가진다.

슬라이더(18)는, Y방향으로 뻗어 있는 가이드부(30)에 가이드 되어서 Y방향으로 슬라이딩 가능하게 지지되고 있으며, 또한 구동수단으로서의 리니어 모터(20)로부터의 추력(구동력)에 의하여 Y방향의 이동이 제어된다.

가동부(16)는, 좌우 양단에 설치된 슬라이더(18)가 가이드부(30)에 의하여 가이드 되면서 리니어 모터(20)의 구동력에 의하여 Y방향으로 구동된다. 또한, 각 리니어 모터(20)는, 가동부(16)의 양단에 배치된 한 쌍의 슬라이더(18)를 병진(竝進)시키도록 동일한 구동력을 동시에 발생시키도록 제어된다.

여기서, 리니어 모터(20)의 구성에 대하여 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 리니어 모터(20)는, 무빙 마그넷형(MM형)이며, 베이스(14) 상에 고정되는 코일부(60)와, 코일부(60)의 뻗어 있는 방향으로 이동하는 마그넷 요크부(62)로 구성되어 있다. 코일부(60)는, 후술하는 복수의 코일(66)(도 4 참조)이 병설(竝設)되어 있고, 마그넷 요크부(62)는, 코일(66)에 대향하도록 배치된 영구자석(68)을 가진다.

또한, 코일부(60)의 코일(66)은, 영구자석(68)에 대향하도록 배치되어 있고, 구동전압의 인가에 의하여 영구자석(68)에 대한 Y방향의 추력(구동력)을 발생시킨다.

따라서, 리니어 모터(20)는, 영구자석(68)에 대한 로렌츠 힘을 코일부(60)로부터 발생시킴으로써 Y방향의 구동력을 슬라이더(18)에 부여하도록 구성되어 있어서, 코일부(60)의 코일(66)에 인가되는 전압을 제어함으로써 슬라이더(18)를 Y방향 으로 일정 속도로 주행시키도록 구동력을 발생시킬 수 있다.

코일부(60)는, 전단(前端) 상부에 코일(66)을 냉각하기 위한 냉각수가 공급되는 냉각수 공급구(70)가 설치되고, 후단(後端) 하부에 냉각수를 배출하는 냉각수 배출구(72)가 설치되어 있다. 따라서, 냉각수 공급구(70)로부터 공급된 냉각수는, 후향 방향(Y방향)으로 흐르면서 하측으로의 흐름이 되어, 냉각수 배출구(72)로부터 배출된다.

또한, 코일부(60)의 내부에는, 후술하는 냉각수 유로(74)가 형성되어 있어서, 냉각수 공급구(70)로부터 공급된 냉각수는, 냉각수 유로(74)의 전역(全域)에 충전된 냉각수를 후향 방향(Y방향)으로 흘러감과 함께, 흐르는 과정에서 열교환을 행하여 각 코일(66)의 열을 회수한다.

본 실시예에서는, 냉각수로서 염소를 포함한 수돗물을 이용하여도 좋고, 혹은 불순물을 제거한 순수(純水)를 이용하여도 좋다. 또한, 냉각수는, 불활성 냉매보다도 비열(比熱)이 높으므로, 냉각 효율이 좋아서, 코일(66)로부터의 발열을 충분하게 냉각할 수 있다. 그 때문에, 리니어 모터(20)의 추력(구동력)을 증대시키는 경우, 혹은 슬라이더(18)를 고속 이동시키는 경우에 코일(66)로부터의 발열량이 증대되는 것을 생각할 수 있지만, 냉각수 유로(74)에 냉각수를 공급함으로써, 종래 이용하던 불활성 냉매보다도 효율좋게 냉각하는 것이 가능하게 된다.

도 3a는 코일부(60)의 내부구조를 나타낸 종단면도, 도 3b는 A부를 확대하여 나타낸 확대 단면도이다. 도 3a, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 코일부(60)는, 2열의 코일(66)을 몰드(수지재; resin material)(76)에 의하여 일체화한 것이 커버부 재(78)에 덮여 있다. 몰드(76)의 표면에는, 유리막(80)이 형성되어 있다. 유리막(80)은, 무기재(無機材)이므로, 절연성을 가지고 있고, 물이 침투하는 것을 방지할 수 있다.

그리고, 커버부재(78)의 내벽과 유리막(80)의 표면의 간극에는, 냉각수가 흐르는 냉각수 유로(74)가 형성되어 있다. 다만, 커버부재(78)는, 스테인리스재(材) 또는 수지재 또는 세라믹스에 의하여 형성되어 있다.

이 유리막(80)은, 예컨대, 액체 유리라고 불리는 액상화(液狀化)된 유리재를 코팅함으로써 균일한 두께(수 미크론)로 형성된다. 또한, 유리코팅제라고 불리는 액상의 코팅제를 이용함으로써 상온(常溫)에서의 코팅이 가능하게 되어, 용이하게 유리막(80)을 형성할 수 있다. 이와 같이, 코일(66)의 표면 전체를 유리막(80)에 의하여 덮음으로써, 냉각수 유로(74)를 흐르는 냉각수가 코일(66) 측에 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 냉각수에 의하여 절연 파괴를 일으키거나, 코일 표면의 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

여기서, 유리막(80)으로서는, 석영 유리를 이용하는 것이 바람직하다. 또한, 유리코팅제는, 실리카 피막(皮膜)과는 전혀 다른 강고(强固)한 유리 피막도 비교적 저온에서 형성하는 것이 가능하므로, 제법(製法)적으로도 용이하여, 낮은 코스트로 강도(强度)적으로 충분한 유리막(80)을 몰드(76)의 표면 전체에 코팅할 수 있다.

도 4는 2열의 코일(66)을 병설한 상태를 나타낸 사시도이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 코일부(60)는, 양측이 90도 구부러진 ㄷ자 형상의 코일(66)이 진행방향(Y방향)으로 병설된 2개의 코일열(列)(60A, 60B)이 각각 180도 다른 방향으로 대 향 배치되어 있고, 제1 코일열(60A)의 코일(66)과 제2 코일열(60B)의 코일(66)이 번갈아 끼워맞추도록 조합되어 있다.

따라서, 제1 코일열(60A)의 코일(66)의 직선부(66A)가 제2 코일열(60B)의 코일(66)의 오목부(66C)에 끼워맞춰지고, 제2 코일열(60B)의 코일(66)의 직선부(66A)가 제1 코일열(60A)의 코일(66)의 오목부(66C)에 끼워맞춰지며, 제1 코일열(60A)의 코일(66)의 직선부(66A)와 제2 코일열(60B)의 코일(66)의 직선부(66A)가 서로 겹치도록 번갈아 조합되어 있다. 그리고, 복수의 코일(66)은, U상(相), V상, W상의 3상으로 나뉘어 제어되므로, 각 상으로부터 리드선이 2개씩 인출된다.

도 5는 코일부(60)의 우측면도이다. 도 6a는 도 5 중 Ⅴ-Ⅴ선을 따른 종단면도, 도 6b는 B부를 확대하여 나타낸 확대 단면도이다. 도 5 및 도 6a, 도 6b에 나타낸 바와 같이, 코일부(60)는, 복수의 코일(66)이 수납된 커버부재(78)의 양단에는, 직사각 형상의 블럭(82, 84)이 끼워맞춤 고정되어 있다. 한편, 커버부재(78) 및 블럭(82, 84)이 스테인리스 등의 금속재에 의하여 형성되어 있는 경우에는, 끼워맞춤 부분을 용접에 의하여 접합하여 기밀(氣密)구조로 한다.

일방(一方)의 블럭(82)에는, 냉각수 공급구(70)가 관통되고, 타방(他方)의 블럭(84)에는, 냉각수 배출구(72)가 관통되어 있다. 그리고, 냉각수 공급구(70) 및 냉각수 배출구(72)는, 금속파이프로 이루어지며, 그 외주(外周)는, 전체 둘레가 용접에 의하여 블럭(82, 84)에 접합되어 있어, 기밀구조로 되어 있다.

또한, 각 코일(66)의 리드선(86)(6개)은, 리드선 가이드부재(88)에 삽입 관통되어 외부로 인출되어 있다. 리드선 가이드부재(88)는, 스테인리스 등의 금속파 이프로 이루어지며, 일단(一端)이 코일(66)측에 삽입되고, 타단(他端)이 블럭(84)에 관통되어 있다. 또한, 내부에 리드선 통로를 가지는 리드선 가이드부재(88)의 외주에도 액체 유리가 코팅되어 있어, 리드선 가이드부재(88)의 외주 전체에 유리막(89)이 형성되어 있다. 그 때문에, 냉각수는, 유리막(89)에 의하여 리드선 가이드부재(88)에 침투하는 것이 방지된다. 따라서, 리드선(86)이 냉각수에 의하여 절연 파괴를 일으키거나, 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것이 방지된다.

여기서, 리니어 모터(20)의 제조방법의 순서에 대하여 설명한다.

[순서 1] 복수의 코일(66)을 병설한다(도 4 참조).

[순서 2] 코일(66)로부터 인출된 리드선(86)을 리드선 가이드부재(88)에 삽입한다.

[순서 3] 복수의 코일(66)의 주위에 몰드(76)를 형성한다(도 3a, 도 3b 참조).

[순서 4] 몰드(76)의 표면에 액체 유리를 코팅하여 유리막(80)을 형성한다(도 3a, 도 3b 참조).

[순서 5] 냉각수가 공급되는 냉각수 유로(74)를 형성하는 커버부재(78)에 의하여 유리막(80)의 주위를 덮는다(도 3a, 도 3b 참조).

[순서 6] 리드선(86)이 삽입된 리드선 가이드부재(88)를 커버부재(78)의 단부 내측에 설치한다(도 6a, 도 6b 참조).

[순서 7] 커버부재(78)의 양단에 용접에 의하여 블럭(82, 84)을 접합한다.

[순서 8] 복수의 영구자석(68)을 가지는 마그넷 요크부(62)가 코일부(60)에 대향하도록, 마그넷 요크부(62)를 코일부(60)에 설치한다(도 2 참조).

도 7은 변형예 1의 A부를 확대하여 나타낸 종단면도이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 변형예 1에서는, 커버부재(78)의 내면에도 유리막(90)이 코팅되어 있다. 따라서, 냉각수에 의하여 커버부재(78)로부터 금속 이온이 녹아나오는 것을 방지할 수 있다.

도 8은 변형예 2의 A부를 확대하여 나타낸 종단면도이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 변형예 2에서는, 복수의 코일(66)의 주위에 제1 유리막(92)을 코팅하고, 제1 유리막(92)의 표면에 수지재(76)를 몰드하여, 수지재(76)의 표면에 제2 유리막(94)을 코팅하고 있다. 따라서, 변형예 2에서는, 이중(二重) 유리막(92, 94)에 의하여 냉각수가 침투하는 것을 방지할 수 있으므로, 냉각수에 의한 절연 파괴나 크랙의 발생을 막을 수 있어서, 코일 표면의 절연재나 금속 이온이 녹아나오는 것을 확실하게 방지할 수 있어, 내구성이 향상되어 있다.

본 국제출원은, 2005년 1월 27일에 출원한 일본국 특허출원 2005-020217호에 근거하는 우선권을 주장하는 것이며, 2005-020217호의 전체 내용을 본 국제출원에 원용한다.

상기 실시예에서는, 스테이지장치에 이용되는 리니어 모터를 일례로서 들었지만, 이에 한정되지 않고, 다른 장치의 구동수단으로서 이용되는 리니어 모터에도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 물론이다.

또한, 상기 실시예에서는, 무빙 마그넷형(MM형) 리니어 모터에 대하여 설명하였지만, 본 발명은, 무빙 코일형(MC형) 리니어 모터에도 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

Claims

복수의 코일이 병설(竝設)된 코일부와,

복수의 영구자석이 상기 코일부에 대향하도록 병설된 마그넷 요크부와,

상기 코일부를 덮는 커버부재와,

상기 커버부재의 내측에 형성되고, 냉각수의 공급에 의하여 상기 코일부를 냉각하는 코일 냉각부를 구비하며,

상기 코일부는, 상기 복수의 코일의 주위에 수지재(材)(resin material)를 형성하고, 상기 수지재의 표면에 유리막을 형성한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
청구항 1에 있어서,

상기 커버부재의 내면에 유리막을 형성한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
청구항 1에 있어서,

상기 코일부는, 상기 복수의 코일의 주위에 제1 유리막을 형성하고, 상기 제1 유리막의 표면에 수지재를 형성하며, 상기 수지재의 표면에 제2 유리막을 형성한 것을 특징으로 리니어 모터.
청구항 1에 있어서,

상기 코일부는, 상기 복수의 코일로부터 인출된 리드선을 상기 커버부재의 외부로 가이드하는 리드선 통로를 가지고, 이 리드선 통로의 외주에 유리막을 형성한 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
청구항 1에 있어서,

상기 냉각수는, 순수(純水)인 것을 특징으로 하는 리니어 모터.
복수의 코일을 병설하는 제1 공정과,

상기 복수의 코일의 주위에 수지재를 형성하는 제2 공정과,

상기 수지재의 표면에 유리막을 형성하는 제3 공정과,

냉각수가 공급되는 냉각수 유로(流路)를 형성하는 커버부재로 상기 유리막의 주위를 덮는 제4 공정과,

상기 코일로부터 인출된 리드선을 인출하는 리드선 통로를 상기 커버부재의 단부(端部) 내측에 설치하는 제5 공정과,

복수의 영구자석을 가지는 마그넷 요크부가 상기 코일부에 대향하도록 상기 마그넷 요크부를 설치하는 제6 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 리니어 모터의 제조방법.
청구항 1에 기재된 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
청구항 2에 기재된 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
청구항 3에 기재된 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
청구항 4에 기재된 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 것을 특징으로 하는 스테이지장치.
청구항 5에 기재된 리니어 모터를 구동수단으로 이용한 것을 특징으로 하는 스테이지장치.