KR100869645B1 - Tilt Device of Rransfer Stage - Google Patents

Tilt Device of Rransfer Stage Download PDF

Info

Publication number
KR100869645B1
KR100869645B1 KR1020030100588A KR20030100588A KR100869645B1 KR 100869645 B1 KR100869645 B1 KR 100869645B1 KR 1020030100588 A KR1020030100588 A KR 1020030100588A KR 20030100588 A KR20030100588 A KR 20030100588A KR 100869645 B1 KR100869645 B1 KR 100869645B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support plate
substrate
moving stage
fixed
stage
Prior art date
Application number
KR1020030100588A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050068779A (en
Inventor
서진혁
Original Assignee
동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부일렉트로닉스 주식회사 filed Critical 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority to KR1020030100588A priority Critical patent/KR100869645B1/en
Publication of KR20050068779A publication Critical patent/KR20050068779A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100869645B1 publication Critical patent/KR100869645B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like

Abstract

본 발명은 이동 스테이지의 틸트장치에 관한 것으로, 이동 스테이지로부터 기판이 돌출되는 상태를 감지하고, 상기 돌출된 기판을 자동으로 밀어 넣게 됨으로써, 수작업으로 인한 작업자의 불편함과 번거로움이 해소되도록 한 것이다. 이에 따라 공정을 수행하는 작업자의 시간손실을 방지하여 생산성을 높일 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a tilting apparatus of a moving stage, by detecting a state that the substrate protrudes from the moving stage and automatically pushing the protruding substrate, thereby eliminating the inconvenience and inconvenience of the operator due to manual labor. . Accordingly, it is possible to increase productivity by preventing time loss of the worker performing the process.

본 발명은 지지플레이트 후미의 일측에는 고정브라켓에 의하여 고정축을 구비한 구동모터가 설치 고정되어 있으며, 이 구동모터에 구비된 고정축은 지지플레이트와 연동하도록 결합되어져서, 상기 구동모터의 구동에 의하여 지지플레이트가 경사를 이루며 회동하여 기판을 밀어 넣도록 하는 이동 스테이지의 틸트장치가 제공된다.
According to the present invention, a drive motor having a fixed shaft is fixed to one side of the rear end of the support plate by a fixed bracket, and the fixed shaft provided in the drive motor is coupled to interlock with the support plate, thereby being supported by the drive of the drive motor. There is provided a tilting device of a moving stage for rotating the plate in an oblique manner to push the substrate.

기판, 웨이퍼, 돌출, 자동, 이동, 스테이지Board, Wafer, Extrude, Auto, Move, Stage

Description

이동 스테이지의 틸트장치{Tilt Device of Rransfer Stage} Tilt Device of Rransfer Stage             

도 1은 일반적으로 사용되는이동 스테이지를 도시한 평면도1 is a plan view showing a commonly used moving stage

도 2는 도 1을 도시한 측면도FIG. 2 is a side view of FIG. 1

도 3은 이동스테이지에 본 발명의 틸트장치가 설치된 상태를 도시한 평면도Figure 3 is a plan view showing a state in which the tilt device of the present invention is installed on the moving stage

도 4는 본 발명에 대한 틸트장치의 동작 상태를 도시한 측단면도
Figure 4 is a side cross-sectional view showing an operating state of the tilt device according to the present invention

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 이동 스테이지 12 : 고정봉10: moving stage 12: fixed rod

14 : 연결부재 16 : 지지플레이트14 connection member 16 support plate

18 : 기판 20 : 캐리어 18: substrate 20: carrier

22 : 고정부재 24 : 지지봉22: fixing member 24: support rod

26 : 센서 30 : 가이드부재26 sensor 30 guide member

32 : 고정축 36 : 고정므라켓32: fixed shaft 36: fixed racket

34 : 구동모터
34: drive motor

본 발명은 이동 스테이지의 틸트장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이동 스테이지로부터 돌출되는 기판을 자동으로 삽입시킴으로써, 수작업 처리에 따른 작업자의 불편함과 번거로움을 해소하고, 아울러 공정수행에 대한 작업자의 시간손실을 방지하도록 한 것이다.
The present invention relates to a tilting device of a moving stage, and more particularly, by automatically inserting a substrate protruding from the moving stage, thereby eliminating the inconvenience and inconvenience of the operator due to manual processing, and at the same time, This is to prevent time loss.

일반적으로, 반도체 공정설비에 사용되는 이동 스테이지는 예시도면 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 이동 스테이지(10)의 사각 모서리부분에는 소정길이를 갖는 고정봉(12)이 수직으로 설치되어 있고, 이 고정봉(12)에는 연결부재(14)가 수직으로 소정 간격을 이루며 설치되어 있다.In general, as shown in FIGS. 1 and 2, the movable stage used in the semiconductor processing equipment includes a fixing rod 12 having a predetermined length vertically at a square corner of the movable stage 10. The fixing member 12 is provided with connecting members 14 at a predetermined interval vertically.

그리고, 상기 연결부재(14)의 상면에는 지지플레이트(16)가 놓여져 있으며, 이 지지플레이트(16)에는 기판(18)이 놓여지도록 캐리어(20)가 위치 고정되는 상태로 구비되어 있다.In addition, a support plate 16 is placed on an upper surface of the connecting member 14, and the support plate 16 is provided in a state in which the carrier 20 is positioned so that the substrate 18 is placed thereon.

또한, 상기 이동 스테이지(10)의 상단 정면에는 고정부재(22)가 양편의 지지봉(24)에 의해 지지되는 상태로 고정되어 있고, 이 고정부재(22)의 정면 중앙에는 기판(18)의 돌출 상태를 감지하는 센서(26)가 설치되어 있다.In addition, the fixing member 22 is fixed to the front surface of the upper end of the movable stage 10 by the supporting rods 24 on both sides, and the front surface of the fixing member 22 protrudes from the substrate 18. The sensor 26 which detects a state is provided.

따라서, 도시되지 아니한 이송부재가 업/다운 되면서 기판(18)을 이동 스테이지(10)의 캐리어(20) 상면에 놓여지게 된다. 그런데, 상기 기판(18)이 캐리어(20)에 놓여지게 될 때, 이 기판(18)이 캐리어(20)로부터 일부 돌출되는 경 우가 발생된다.Accordingly, the substrate 18 is placed on the upper surface of the carrier 20 of the moving stage 10 while the transfer member (not shown) is up / down. However, when the substrate 18 is placed on the carrier 20, the substrate 18 may partially protrude from the carrier 20.

이와 같이 상기 캐리어(20)로부터 기판(18)이 돌출되면, 이를 감지하는 이동 스테이지(10)의 센서(26)가 감지하여 알람이 발생되고, 그와 동시에 이송부재가 정지하게 된다. 상기와 같이 기판(18)의 돌출로 인해 알람이 발생되면, 작업자가 돌출된 기판(18)을 수직업으로 밀어넣게 됨으로써, 수작업 처리에 따른 작업자의 불편함과 번거로움이 발생되고, 이에 따라 작업자의 시간손실로 공정처리에 대한 지연이 발생되는 문제점이 있다.
As described above, when the substrate 18 protrudes from the carrier 20, the sensor 26 of the moving stage 10 that detects the detected sensor 26 generates an alarm, and at the same time, the transfer member stops. When the alarm is generated due to the protruding of the substrate 18 as described above, the operator pushes the protruding substrate 18 to the vertical up, thereby causing the inconvenience and inconvenience of the operator according to the manual processing, thereby There is a problem that a delay in processing occurs due to a loss of time.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 발명된 것으로, 이동 스테이지의 캐리어로부터 돌출되는 기판을 감지하고, 그와 동시에 기판을 자동으로 삽입시킴으로써, 수작업에 의한 불편함과 번거로움을 해소하도록 하는 점에 목적이 있다.
The present invention has been invented to solve the above problems, by detecting the substrate protruding from the carrier of the moving stage, and at the same time automatically inserting the substrate, to solve the inconvenience and troublesome by manual work There is a purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 지지플레이트 후미의 일측에는 고정브라켓에 의하여 고정축을 구비한 구동모터가 설치 고정되어 있으며, 이 구동모터에 구비된 고정축은 지지플레이트와 연동하도록 결합되어져서, 상기 구동모터의 구동에 의하여 지지플레이트가 경사를 이루게 되어 돌출된 기판을 밀어 넣도록 하는 이동 스테이지의 틸트장치에 기술적 특징이 있다. The present invention for achieving the above object is fixed to one side of the support plate rear drive motor having a fixed shaft by a fixed bracket, the fixed shaft provided in the drive motor is coupled to interlock with the support plate, There is a technical feature of the tilting device of the moving stage to the support plate is inclined by the drive of the drive motor to push the protruding substrate.                     

이하 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 설명하기로 한다. 첨부된 예시도면 도 3은 이동스테이지에 본 발명의 틸트장치가 설치된 상태를 도시한 평면도이고, 도 4는 틸트장치의 동작 상태를 도시한 측단면도이다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Figure 3 is a plan view showing a state in which the tilt device of the present invention is installed on the moving stage, Figure 4 is a side cross-sectional view showing an operating state of the tilt device.

도면을 참조하면, 이동 스테이지(10)의 내부에는 지지플레이트(16)가 수직으로 서로 간격을 가지며 설치되어 있고 상기 지지플레이트(16)의 상면에는 기판(18)이 놓여지도록 캐리어(20)가 위치 고정되어 있다. Referring to the drawings, the support plates 16 are vertically spaced apart from each other in the moving stage 10, and the carrier 20 is positioned so that the substrate 18 is placed on the upper surface of the support plate 16. It is fixed.

여기서 본 발명은, 상기 지지플레이트(16)의 후미부분에는 적재된 기판(18)이 후방으로 이탈되지 않도록 가이드부재(30)가 소정의 경사를 이루며 설치되어 있다.Here, in the present invention, the guide member 30 is provided at a rear end of the support plate 16 in a predetermined inclination such that the loaded substrate 18 is not separated backward.

그리고, 상기 지지플레이트(16) 후미의 일측에는 고정브라켓(36)에 의하여 구동모터(34)가 설치 고정되어 있으며, 이 구동모터(34)에 구비된 고정축(32)은 지지플레이트(16)와 연동하도록 결합되어 있다. In addition, a driving motor 34 is fixed to one side of the rear end of the support plate 16 by a fixing bracket 36, and the fixed shaft 32 provided in the driving motor 34 is a support plate 16. It is combined to work with.

따라서, 도시되지 아니한 이송부재가 업,다운되면서 이동스테이지(10)의 캐리어(20)로부터 기판(18)이 돌출되면, 종래와 마찬가지로 이를 감지하는 센서(26)가 감지하게 되고, 감지된 신호에 의하여 구동모터(34)가 구동되어 고정축(32)을 일방향으로 회전시킨다.Therefore, when the substrate 18 protrudes from the carrier 20 of the moving stage 10 while the conveying member (not shown) is up and down, the sensor 26 detecting the same as in the prior art senses the detected signal. As a result, the driving motor 34 is driven to rotate the fixed shaft 32 in one direction.

이때, 상기 고정축(32)은 지지플레이트(16)와 연동하도로 결합되어 있어서, 결국 지지플레이트(16)의 정면부분이 들어올려지면서 소정의 각도로 경사를 이루게 된다.At this time, the fixed shaft 32 is coupled to the support plate 16 interlocked, so that the front portion of the support plate 16 is lifted up to form an inclination at a predetermined angle.

이에 따라 돌출된 기판(18)은, 슬라이딩 되면서 후방으로 이동하여 가이드 부재(30)에 밀착되어 캐이어(20)의 정위치에 위치하게 된다. 상기와 같이 돌출된 기판(18)이 캐리어(20)의 정위치에 위치하게 되면, 상기 구동모터(34)의 고정축(32)이 역회전하게 되고, 이에 따라 상기 지지플레이트(16)가 연결부재(14)의 상면에 놓여지면서 동작이 완료된다. As a result, the protruding substrate 18 moves backward while sliding and is in close contact with the guide member 30 so as to be positioned at the correct position of the carrier 20. When the protruding substrate 18 is positioned at the correct position of the carrier 20, the fixed shaft 32 of the driving motor 34 is reversely rotated, and thus the support plate 16 is connected. The operation is completed while being placed on the upper surface of the member 14.

따라서, 종래에는 이동 스테이지(10)의 캐리어(20)로부터 기판(18)이 돌출되면, 작업자가 돌출된 기판(18)을 캐리어(20)의 내부로 밀어넣게 되어 번거로움과 불편함이 야기되었으나, 본 발명은 지지플레이트(16)가 상부로 들어올려지면서 돌출된 기판(18)을 캐리어(20)로 밀어 넣게 되어 작업자의 번거로움과 불편함이 해소된다.
Therefore, in the related art, when the substrate 18 protrudes from the carrier 20 of the moving stage 10, the operator pushes the protruded substrate 18 into the carrier 20, causing inconvenience and inconvenience. In the present invention, as the support plate 16 is lifted to the upper side, the protruding substrate 18 is pushed into the carrier 20, thereby eliminating the inconvenience and inconvenience of the operator.

본 발명은 지지플레이트의 일측부분이 상부로 들어올려짐으로써, 이동스테이지의 캐리어로부터 돌출된 기판을 자동으로 삽입시켜 수작업의 처리에 따른 불편함과 번거로움이 해소되는 효과가 있다.According to the present invention, one side portion of the support plate is lifted upward, thereby automatically inserting the substrate protruding from the carrier of the moving stage, thereby eliminating inconvenience and hassle caused by manual processing.

또한, 상기 돌출된 기판을 자동으로 밀어 넣게 되면, 작업자의 수작업 처리에 대한 시간 손실이 제거되고, 이에 따라 작업자의 공정수행에 대한 시간손실이 방지되어 생산성을 높일 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, if the protruding substrate is automatically pushed in, the time loss for the manual processing of the worker is eliminated, thereby preventing the time loss for the process of the operator can be expected to increase the productivity.

Claims (2)

이동 스테이지의 사각 모서리부분에 수직으로 설치된 고정봉;A fixed rod vertically installed at a square corner of the moving stage; 상기 고정봉에 수직하게 관통되어 형성되고, 일정 간격을 두어 다수개로 설치된 연결부재;A plurality of connecting members formed to penetrate the fixing rods vertically and at regular intervals; 상기 연결부재의 상면에 결합되고 캐리어를 구비한 지지플레이트;A support plate coupled to an upper surface of the connection member and having a carrier; 상기 지지플레이트 외부로 돌출된 기판을 감지하는 센서;A sensor for sensing a substrate protruding out of the support plate; 상기 연결부재에 설치된 고정브라켓;A fixing bracket installed on the connection member; 상기 고정브라켓에 설치되고 고정축을 구비하여 상기 지지플레이트 후미의 일측과 결합되며, 상기 센서의 감지신호가 전달되면 상기 지지플레이트가 경사를 이루도록 회동시키는 구동모터;A driving motor installed on the fixed bracket and having a fixed shaft, coupled to one side of the rear end of the support plate, and rotating the support plate to incline when a detection signal of the sensor is transmitted; 상기 지지플레이트 후미 부분에 형성되고, 상기 지지플레이트의 경사에 의하여 내부로 이동된 기판의 위치를 정렬시키는 가이드부재를 포함하는 이동 스테이지의 틸트장치.And a guide member formed at a rear portion of the support plate and aligning a position of the substrate moved inward by the inclination of the support plate. 삭제delete
KR1020030100588A 2003-12-30 2003-12-30 Tilt Device of Rransfer Stage KR100869645B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030100588A KR100869645B1 (en) 2003-12-30 2003-12-30 Tilt Device of Rransfer Stage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030100588A KR100869645B1 (en) 2003-12-30 2003-12-30 Tilt Device of Rransfer Stage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050068779A KR20050068779A (en) 2005-07-05
KR100869645B1 true KR100869645B1 (en) 2008-11-21

Family

ID=37259300

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030100588A KR100869645B1 (en) 2003-12-30 2003-12-30 Tilt Device of Rransfer Stage

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100869645B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101234343B1 (en) 2012-05-22 2013-03-15 주식회사 재원 Tilt stage

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200163637Y1 (en) * 1996-06-13 2000-01-15 윤종용 Transfer stage for semiconductor wafer
KR20030094660A (en) * 2002-06-07 2003-12-18 삼성전자주식회사 cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200163637Y1 (en) * 1996-06-13 2000-01-15 윤종용 Transfer stage for semiconductor wafer
KR20030094660A (en) * 2002-06-07 2003-12-18 삼성전자주식회사 cassette loader equipment of semiconductor device manufacturing equipment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101234343B1 (en) 2012-05-22 2013-03-15 주식회사 재원 Tilt stage

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050068779A (en) 2005-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101374405B (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP2009214194A (en) Stacking device, and stacking method
KR100869645B1 (en) Tilt Device of Rransfer Stage
KR100930651B1 (en) Measuring device having improved conviences
KR960039106A (en) Board alignment apparatus and substrate alignment method
JP4781936B2 (en) Pallet centrifugal dehydrator
KR100697661B1 (en) Notch aligner and method for aligning the notch
JPH06211320A (en) Wafer carrying-in and out device
JP4331316B2 (en) Load transfer position detection device in automatic warehouse
JP2011003695A (en) Substrate transfer apparatus
JPH05114641A (en) Semiconductor wafer cassette carrier
KR20090121799A (en) Align unit for wafer
JP2882746B2 (en) Substrate transfer device
JP4072040B2 (en) Ring take-out device
JP2008007219A (en) Container positioning mechanism and control method using the same
CN220456373U (en) Wafer pusher jig for preventing wafer from being inserted obliquely
US20210147149A1 (en) Article Support Device And Article Loading And Unloading System
CN114654290B (en) Material overturning device and control method thereof
JP2916223B2 (en) Positioning device for welding
KR0110484Y1 (en) Wafer sensing apparatus of wafer roading machine
JPH0719827B2 (en) Wafer transfer device
CN108389819B (en) Quick rotating device of basket of flowers
EP3636515A1 (en) Carriage for loading and unloading pieces and method for loading pieces on a carriage
KR20070003396A (en) Wafer transfer apparatus
KR102122513B1 (en) Automatic docking device of MGV

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee