KR100861876B1 - Ｌｃｄ 대면적 글라스 식각장치 및 식각방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 TFT LCD용 글라스 식각장치에 사용되는 글라스 카세트는 4개의 측면이 개방형이 아닌 폐쇄형 구조의 측면벽(240)으로 이루어지고, 측부에서 카세트 본체에 고정되어 다수의 글라스(300)를 삽입 고정하도록 다수의 Ｃ자 홈(211)이 일정간격으로 형성된 측부지지대(210)가 좌우 측부에 1쌍 이상 설치되고, 인접한 글라스(300)간의 충돌을 방지하기 위하여 상부의 측부지지대(210)의 상기 Ｃ자 홈 사이에 다수의 충돌방지부재(230)가 일정한 간격으로 설치되고, 하중의 증가로 인한 글라스의 파손을 방지하기 위하여 본체 하부 내부에 완충부재(222)가 구비된 하부지지대(220)가 설치되는 것을 그 특징으로 한다. 또한 본 발명의 식각장치는 상기 글라스 카세트를 이용하고 식각 배스 또는 린스 배스의 하부에 버블생성장치(400)가 설치되고, 그 버블생성장치 위에 다공판(500)이 설치된다.

TFT LCD, 식각장치, 글라스 카세트, 완충부재, 버블생성장치, 다공판

Description

ＬＣＤ 대면적 글라스 식각장치 및 식각방법{Etching System for LCD Large Scale Glass and Method of Etching the Glass}

제1도는 식각 장치에 사용되는 종래의 글라스 카세트(glass cassette)의 개략적인 사시도이다.

제2도는 종래의 글라스 카세트에 사용되는 한 부품으로 좌우의 측부에서 글라스를 지지하기 위한 측부지지대(110)의 개략적인 사시도이다.

제3도는 식각장치에 사용되는 본 발명에 따른 글라스 카세트의 개략적인 사시도이다.

제4도는 본 발명에 따른 글라스 카세트에 사용되는 한 부품으로 좌우의 측부에서 글라스를 지지하기 위한 측부지지대(210)의 개략적인 사시도이다.

제5도는 본 발명에 따른 측부지지대(210)와 충돌방지부재(230)가 설치된 글라스 카세트의 개략적인 평면도이다.

제6도는 본 발명에 따른 글라스 카세트의 하부에 설치되는 하부지지대(220)의 두 구체예를 도시한 사시도이다.

제7도는 본 발명의 글라스 카세트(200)가 배스(900) 내에 위치하고, 그 하부에 버블(bubble) 생성장치(400)와 미세한 버블을 생성하기 위한 다공판(500)이 설 치된 개략적인 단면도이다.

제8도는 본 발명에 따른 버블생성장치(400)의 세 구체예를 도시한 평면도이다.

제9도는 본 발명에 따른 미세버블생성 다공판(500)의 구체예를 도시한 평면도이다.

제10도는 본 발명에 따른 식각장치에서 버블 및 식각액의 흐름을 개략적으로 도시한 도면이다.

* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *

100, 200: 글라스 카세트 110, 210: 측부지지대

120, 220: 하부지지대 111: V자 홈

150: 관통영역 211: Ｃ자 홈

221: 합성수지 바(bar) 222: 완충부재

230: 충돌방지부재 240: 측면벽

300: 글라스 400: 버블생성장치

401: 파이프(pipe) 402, 501: 홀(hole)

500: 다공판 900: 배스(bath)

발명의 분야

본 발명은 TFT LCD용 글라스를 식각하기 위한 식각장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 식각장치의 식각 배스(etching bath), 린스 배스(rinse bath) 및 건조 배스를 포함하고 그 내부에 위치하여 다수의 글라스가 장착되는 글라스 카세트를 포함하는 식각장치에 관한 것이다.

발명의 배경

TFT LCD용 글라스를 식각하기 위한 식각(에칭: etching) 장치는 본 출원인이 이미 개발하여 특허받은 기술이다(대한민국 특허 제10-218724호: 1996. 10. 30출원).

상기 특허는 불화수소(HF) 용액을 이용하여 글라스를 식각하기 위하여 HF 식각 배스, 린스(QDR: Quick Dump Rinse) 배스, 및 건조 배스로 이루어지는 식각 장치에 관한 것으로, 식각 배스의 하부에 질소기체 버블(bubble)을 균일하게 생성할 수 있는 다공성의 버블판이 설치된다. 또한 각 배스 내에는 다수의 글라스가 삽입되어 지지되는 글라스 카세트가 구비된다. 즉 다수의 글라스를 카세트에 수직방향으로 일정한 간격을 유지하면서 삽입하고, 글라스가 삽입된 카세트를 각 배스에 삽입시켜 소정의 식각 공정을 행하게 된다.

그런데 TFT LCD용 글라스의 기술이 발전함에 따라 글라스의 크기가 계속하여 증가하고 있다. 즉 1세대 글라스부터 시작하여 현재 5.5세대에 이를 만큼 글라스의 크기가 증가하고 있다.

종래의 식각장치로는 4세대의 한 예인 600×720 ㎜ 크기의 글라스를 처리하는데 큰 어려움이 없었다. 그러나 5세대 글라스의 한 예인 1100×1250 ㎜ 크기의 글라스에 접어들면서 상기와 같은 식각장치는 여러 가지 문제점이 발생하기 시작하였다. 물론 글라스의 크기가 커지면서 식각장치의 규모가 그에 비례하여 커져왔다. 특히 식각장치의 규모가 커지면서 글라스를 지지하는 카세트의 크기도 커지고 있다. 그런데 종래의 카세트로는 큰 사이즈의 글라스를 식각하기에 많은 문제점을 야기시켰다.

글라스를 식각하는 작업은 글라스를 얼마만큼 균일하게 식각하고 그리고 글라스를 파손시키지 않고 식각하는 것이 중요하다. 즉 글라스의 크기가 커지면서 균일한 식각의 어려움, 작업 중에 발생하는 글라스의 휨 현상, 인접한 글라스 간의 충돌로 인한 파손 결함, 글라스 하중의 증가로 인한 파손 등이 중요한 문제로 등장한 것이다.

본 발명자는 글라스의 크기가 커짐으로써 야기되는 상기와 같은 문제점을 해결하고자 우선 글라스 카세트의 구조를 개선하고 식각액이나 린스액을 균일하게 순환시켜 넓은 면적의 글라스를 균일하게 식각할 수 있는 버블생성장치를 포함한 배스의 구조를 개선하여 본 발명의 식각장치를 개발하기에 이른 것이다.

본 발명의 목적은 5세대 이상의 넓은 면적의 글라스를 식각하기 위한 글라스 카세트를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 다른 목적은 작업 중에 글라스가 휨으로써 발생하는 불균일한 식각을 예방할 수 있는 식각장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 인접한 글라스 간의 충돌로 인한 글라스의 파손을 예방할 수 있는 식각장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 글라스 하중의 증가로 인한 글라스의 파손을 예방할 수 있는 식각장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 본 발명에 따른 글라스 카세트를 포함하여 처리 용액을 균일하게 순환시켜 글라스를 균일하게 식각할 수 있는 버블생성장치를 구비한 식각장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 대면적 글라스를 안전하고 균일하게 식각할 수 있는 글라스 식각방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 모두 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명의 TFT LCD용 글라스 식각장치에 사용되는 글라스 카세트는 4개의 측면이 개방형이 아닌 폐쇄형 구조의 측면벽(240)으로 이루어지고, 측부에서 카세트 본체에 고정되어 다수의 글라스(300)를 삽입 고정하도록 다수의 Ｃ자 홈(211)이 일정간격으로 형성된 측부지지대(210)가 좌우 측부에 1쌍 이상 설치되고, 인접한 글 라스(300)간의 충돌을 방지하기 위하여 상부의 측부지지대(210)의 상기 Ｃ자 홈 사이에 다수의 충돌방지부재(230)가 일정한 간격으로 설치되고, 하중의 증가로 인한 글라스의 파손을 방지하기 위하여 본체 하부 내부에 완충부재(222)가 구비된 하부지지대(220)가 설치되는 것을 그 특징으로 한다.

또한 본 발명의 식각장치는 상기 글라스 카세트를 이용하고 식각 배스 또는 린스 배스의 하부에 버블생성장치(400)가 설치되고, 그 버블생성장치 위에 다공판(500)이 설치된다.

상기 버블생성장치는 배스(900)의 바닥면에 설치하지 않고 바닥면으로부터 일정한 간격(약 5㎝ 이상)을 유지시켜 카세트 내외부에서의 처리액과 버블의 흐름을 원활하게 하여 글라스를 균일하게 식각할 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명

본 발명은 LCD 글라스를 삽입하는 카세트와, 카세트에 삽입 수용된 글라스를 식각하는 식각배스, 식각된 글라스를 세정하는 린스배스, 세정한 글라스를 건조시키는 건조배스로 구성된 LCD 글라스 식각장치에 있어서, 상기 카세트는 글라스를 삽입하여 고정하는 글라스 고정수단, 삽입된 글라스 사이에서 글라스를 이격시키는 글라스 충돌방지수단, 및 상기 식각배스 및 린스배스에는 카세트의 하부에서 버블을 생성하여 공급하는 버블공급수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치에 관한 것이다.

상기 글라스 고정수단은 C자형 홈에 글라스의 측부가 삽입하여 고정되도록 하는 측부 지지수단인 것을 그 특징으로 한다. 상기 글라스 충돌방지수단은 상기 글라스 고정수단에 설치된다. 상기 카세트의 하부에는 글라스의 하부를 지지하고 충격을 완화하는 글라스 완충수단이 구비된다. 상기 글라스 완충수단은 실리콘 또는 고무 재질인 것이 바람직하다.

본 발명의 카세트에는 상기 버블 공급수단을 통해 카세트 하부에서 공급된 버블이 카세트 내부에서만 상부로 원활하게 유동, 공급되도록 하는 버블 안정화 수단이 구비된다. 상기 버블 안정화 수단은 카세트의 상하부가 개방형이고 4개의 측면벽이 폐쇄형인 것이 바람직하다.

상기 식각배스에는 식각중인 글라스의 두께를 실시간 측정할 수 있는 비접촉식 자동 두께측정수단(도시되지 않음)을 구비함을 특징으로 한다. 비접촉식 자동 두께측정수단은 초음파측정기가 바람직하다. 상기 카세트에는 식각배스, 린스배스의 하부에 구비된 버블 공급수단과 일정간격 이상으로 이격시켜 버블이 원활하게 상승토록 하는 카세트 이격수단을 구비한다.

상기 버블 공급수단은 통공이 다수 형성된 다공판 또는 버블 파이프인 것이 바람직하다. 상기 다공판은 중앙에서 외곽으로 갈수록 통공의 크기가 축소되고, 상기 버블 안정화 수단은 다공판에 있어 중앙에서 외곽으로 갈수록 통공의 크기가 축소되는 형상인 것이 바람직하다. 상기 다공판 또는 버블 파이프에는 통공을 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 상호 위치가 대각선 방향으로 교차하도록 배열한다. 상기 버블 안정화 수단도 다공판 또는 버블 파이프에 있어 통공을 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 상호 위치가 대각선 방향으로 교차하도록 배열한다. 상기 다공판 또는 버블파이프는 버블이 발출되는 통공간의 간격을 2종류 이상으로 하여 규칙적으로 배열하는 것이 바람직하다. 상기 버블 안정화 수단도 상기 다공판 또는 버블파이프에서 버블이 방출되는 통공간의 간격을 2종류 이상으로 하여 규칙적으로 배열한다.

본 발명의 린스배스에는 린스액의 온도를 식각배스에서 보다 높게 설정하여 유지시키는 항온장치(도시되지 않음)가 설치된다.

본 발명에 따른 식각방법은 원액공급장치를 통해 식각원액이 혼합장치로 공급되고 혼합장치에서 식각원액이 초순수와 혼합하여 농도컨트롤러에 의해 적정 농도의 식각액을 제조하는 식각액 제조 공정, 식각중 농도관리 컨트롤러에 의해 식각액의 농도를 실시간 모니터링하고 보정하는 식각액 농도관리 공정, 글라스가 삽입된 카세트를 버블공급수단이 구비된 식각배스 내에서 버블 및 식각액을 유동시켜 글라스를 식각하는 글라스 식각공정, 식각중에 비접촉식 두께측정수단을 통해 글라스의 두께를 측정하는 글라스 두께 측정 공정, 식각된 글라스를 린스배스에서 상기 식각배스보다 높은 온도로 가열된 초순수로 글라스를 세정하는 항온 세정 공정, 및 글라스를 건조시키는 공정으로 이루어진다.

상기 글라스 식각 공정에는 공급된 버블이 카세트 내부에서만 또한 하부에서 상부로 원활히 유동하도록 하고 버블의 카세트 외부로의 유출 및 버블의 뭉침을 방지하는 버블 안정화 공정을 포함한다.

제1도는 식각 장치에 사용되는 종래의 글라스 카세트(glass cassette)의 개 략적인 사시도이고, 제2도는 종래의 글라스 카세트에 사용되는 한 부품으로 좌우의 측부에서 글라스를 지지하기 위한 측부지지대(110)의 개략적인 사시도이다.

제1도에 도시된 바와 같이, 글라스 카세트(100)는 상부에서 하부쪽으로 다수의 글라스를 한 장씩 삽입하여 고정할 수 있도록 측부에 최소한 한 쌍의 측부지지대(110)가 조립된다. 제1도에는 상부에 한 쌍의 측부지지대가 조립된 카세트를 도시하고 있지만 그 하부쪽으로 한 쌍 이상의 측부지지대가 더 조립된다. 카세트에 삽입된 글라스는 하부에 설치된 복수개의 하부지지대(120)에 의하여 그 하중이 지지된다.

종래의 글라스 카세트는 측부지지대(110)가 다수의 글라스를 일정간격으로 지지하기 위하여 다수의 V자홈(111)이 일정간격으로 형성된다. 즉 하나의 V자홈에 한 장의 글라스가 수직방향으로 삽입되어 고정된다. 그런데 이 V자홈에 글라스의 단부가 삽입되면 삽입되는 단부 부분에서 균일하지 못한 식각이 일어난다. 본 발명에서는 이러한 결점을 해결하기 위하여 글라스의 양쪽 단부가 삽입되는 측부지지대의 홈을 개선하였다.

또한 종래의 글라스 카세트는 4면의 측면벽이 모두 다수의 관통영역(150)을 갖는 개방형으로 이루어져 있다. 이러한 개방형 측면벽은 4세대 이하의 소형 글라스를 처리하는 데에는 큰 문제가 없었다. 하지만 5세대 이상의 대형 글라스를 처리하는 경우에는 식각액과 같은 유체의 흐름를 원활하게 하지 못하였고, 그 결과 식각의 불균일을 초래하였던 것이다. 본 발명에서는 4면의 측면벽을 종래의 개방형에서 폐쇄형으로 제작함으로써 카세트 내부에서는 유체가 상승하고 외부에서는 유체 가 하강하도록 하여 유체의 흐름을 원활하게 하였다.

종래의 글라스 카세트는 소형이기 때문에 글라스가 휘는 현상이 심각하지 않았으나 대형 글라스로 발전하면서 휨 현상은 심각한 문제를 야기시켰다. 즉 글라스가 휨으로써 인접한 글라스가 서로 충돌하는 현상이 발생하고, 그럼으로써 글라스가 파괴되거나 식각이 균일하지 못한 결과를 초래한 것이다. 본 발명에서는 이러한 충돌 현상도 방지할 수 있도록 고안되었다.

종래의 글라스 카세트는 하부에 복수개의 하부지지대(120)가 설치되어 하부에서 글라스를 지지해주는 역할을 하여 왔다. 하부지지대는 본체와 같이 고강도 플라스틱으로 제작되어 왔다. 그런데 글라스가 대형화하면서 글라스의 하단부가 하부지지대 위에 놓여질 때 글라스의 하중에 의하여 글라스의 하단부 모서리가 파손되는 경우가 발생하고 있다. 본 발명에서는 이러한 결점도 해결할 수 있도록 고안되었다.

제3도는 식각장치에 사용되는 본 발명에 따른 글라스 카세트의 개략적인 사시도이다. 제4도는 본 발명에 따른 글라스 카세트에 사용되는 한 부품으로 좌우의 측부에서 글라스를 지지하기 위한 측부지지대(210)의 개략적인 사시도이다. 측부지지대(210)의 홈이 종래의 V자홈에서 Ｃ자홈(211)으로 고안된 것이다. 본 발명의 Ｃ자홈은 글라스의 모서리가 삽입되는 입구를 좁게 하고, 홈의 안쪽을 넓게 설계함으로써 식각액의 흐름 저항을 최소화하도록 한 것이다. 식각액의 흐름저항을 최소화함으로써 모서리 부에서 나타나는 식각의 불균일 문제를 해소한 것이다.

제3도에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 4면의 측면벽을 종래의 개방형에 서 폐쇄형으로 제작함으로써 카세트 내부에서는 유체가 상승하고 외부에서는 유체가 하강하도록 하여 유체의 흐름을 원활하게 하였다. 식각액과 같은 유체의 흐름을 원활하게 함으로써 유체의 흐름으로 인한 식각의 불균일 문제를 해소할 수 있다.

대형 글라스로 발전하면서 카세트 내에서 휨 현상이 발생하고, 글라스가 휨으로써 인접한 글라스가 서로 충돌하는 현상이 발생하고, 그럼으로써 글라스가 파괴되거나 식각이 균일하지 못한 결과를 초래하였는데, 본 발명에서는 이러한 충돌 현상도 방지할 수 있도록 카세트 상부에 다수의 충돌방지부재(230)를 일정한 간격으로 설치하였다. 제5도는 본 발명에 따른 측부지지대(210)와 충돌방지부재(230)가 설치된 글라스 카세트의 개략적인 평면도이다.

제5도에 도시된 바와 같이, 각각의 Ｃ자홈(211)에 한 장의 글라스가 삽입되고 그 사이에 인접하는 글라스가 서로 충돌하지 않도록 충돌방지부재(230)를 일정간격으로 설치한다. 충돌방지부재는 카세트 본체와 같은 또는 다른 재질의 플라스틱으로 제작될 수 있으며, 각각의 충돌방지무재는 나사(도시되지 않음)로써 측부지지대(210)에 조립된다.

종래의 하부지지대(120) 본체와 같이 고강도 플라스틱으로 제작되어 왔는데 글라스가 대형화하면서 글라스의 하단부가 하부지지대 위에 놓여질 때 글라스의 하중에 의하여 글라스의 하단부 모서리가 파손되는 경우가 발생하고 있다. 이 결점을 해결하기 위하여 본 발명에서는 하부지지대가 완충성을 갖도록 고안되었다. 제6도는 본 발명에 따른 글라스 카세트의 하부에 설치되는 하부지지대(220)의 두 구체예를 도시한 사시도이다.

제6(A)도는 종래의 고강도 플라스틱으로 제작된 합성수지 바(bar)(221)의 상단부 즉 글라스의 모서리가 닿는 부위에 탄성을 갖는 완충부재(222)가 결합된 하부지지대(220)를 도시한다. 완충부재는 탄성을 갖는 고무부재가 바람직하게 사용될 수 있는 것으로 이는 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의하여 용이하게 실시될 수 있다. 제6(B)도는 종래의 고강도 플라스틱으로 제작된 합성수지 바(bar)(221)의 외부 전체에 탄성을 갖는 완충부재(222) 층을 코팅한 구조의 하부지지대(220)를 도시한다.

제7도는 본 발명의 글라스 카세트(200)가 배스(900) 내에 위치하고, 그 하부에 버블(bubble) 생성장치(400)와 미세한 버블을 생성하기 위한 다공판(500)이 설치된 개략적인 단면도이다. 배스(900) 내에서 버블(bubble) 생성장치(400)에 의하여 버블을 생성시키고, 글라스의 균일한 식각을 위하여 이 버블을 다시 미세한 버블로 만들기 위한 다공판(500)이 설치된다.

제8도는 본 발명에 따른 버블생성장치(400)의 세 구체예를 도시한 평면도이다. 버블생성장치는 제8도에 도시된 바와 같이 버블을 배출하기 위한 다수의 홀(hole)(402)이 형성된 파이프(401)가 일정간격으로 다수 배열되는 구조로 이루어진다. 전체 식각배스의 균일한 버블생성을 위하여 버블생성장치에 각각의 독립된 버블블록 다기관(manifold) 방식이 채용될 수도 있고, 균일한 버블을 위한 버블 파이프의 홀(402) 간격을 제8도와 같이 상이하게 설계할 수도 있다.

제9도는 본 발명에 따른 미세버블생성 다공판(500)의 세 구체예를 도시한 평면도이다. 제9도에 도시된 바와 같이, 다공판(500)의 홀(501) 배열을 상이하게 하 거나 홀 사이즈를 변형하여 미세버블을 생성할 수 있도록 하였다. 즉 상기 다공판은 중앙부에서 외곽부로 갈수록 통공의 크기가 축소되도록 배열하거나, 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 서로 위치가 대각선 방향으로 교차되도록 배열할 수 있다. 또한 상기 버블파이프도 버블이 방출되는 통공간의 간격을 2 종류 이상으로 하여 규칙적으로 배열하거나, 상기 버블파이프의 통공을 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 서로 위치가 대각선 방향으로 교차되도록 배열할 수 있다.

제10도는 본 발명에 따른 식각장치에서 버블 및 식각액의 흐름을 개략적으로 도시한 개략적인 모형도로서, 4면의 측면벽을 종래의 개방형에서 폐쇄형으로 제작함으로써 카세트 내부에서는 유체가 상승하고 외부에서는 유체가 하강하도록 하여 유체의 흐름을 원활하게 하였다. 또한 버블생성장치를 배스(900)의 바닥면에 설치하지 않고 바닥면으로부터 일정한 간격(약 5㎝ 이상)을 유지하도록 설치함으로써 카세트 내부에서는 유체가 상승하고 외부에서는 유체가 하강하도록 하여 유체의 흐름을 원활하게 하고, 그 결과 글라스를 균일하게 식각할 수 있도록 하였다.

본 발명은 5세대 이상의 넓은 면적의 글라스를 식각하고, 작업 중에 글라스가 휨으로써 발생하는 식각의 불균일을 예방할 수 있으며, 인접한 글라스 간의 충돌로 인한 글라스의 파손을 예방할 수 있고, 글라스 하중의 증가로 인한 글라스의 파손을 예방할 수 있는 식각장치를 제공하는 발명의 효과를 갖는다. 또한 본 발명은 본 발명에 따른 글라스 카세트를 포함하여 처리 용액을 균일하게 순환시켜 대형 화된 글라스를 균일하게 식각할 수 있는 버블생성장치를 구비한 식각장치를 제공하는 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims (21)

1. LCD 글라스를 삽입하는 카세트와, 카세트에 삽입 수용된 글라스를 식각하는 식각배스, 식각된 글라스를 세정하는 린스배스, 세정한 글라스를 건조시키는 건조배스로 구성된 LCD 글라스 식각장치에 있어서,

   상기 카세트는 글라스를 삽입하여 고정하는 글라스 고정수단;

   삽입된 글라스 사이에서 글라스를 이격시키는 글라스 충돌방지수단; 및

   상기 식각배스 및 린스배스에는 카세트의 하부에서 버블을 생성하여 공급하는 버블공급수단;

   을 구비하고, 상기 글라스 고정수단은 C자형 홈에 글라스의 측부가 삽입, 고정되도록 하는 측부 지지 수단인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 글라스 충돌방지수단은 상기 글라스 고정수단에 설치 되는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 카세트의 하부에는 글라스의 하부를 지지하고 충격을 완화하는 글라스 완충수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 글라스 완충수단은 실리콘 또는 고무 재질인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 카세트에는 상기 버블 공급수단을 통해 카세트 하부에서 공급된 버블이 카세트 내부에서만 상부로 유동, 공급되도록 하는 버블 안정화 수단이 구비됨을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 버블 안정화 수단은 카세트의 상하부가 개방형이고 4개의 측면벽이 폐쇄형인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
7. 제1항에 있어서, 상기 식각배스에는 식각중인 글라스의 두께를 실시간 측정할 수 있는 비접촉식 자동 두께측정수단을 구비함을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 비접촉식 자동 두께측정수단은 초음파측정기임을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
9. 제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서, 상기 카세트에는 식각배스, 린스배스의 하부에 구비된 버블 공급수단과 이격시켜 버블이 상승토록 하는 카세트 이격수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
10. 제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서, 상기 버블 공급수단은 통공이 다수 형성된 다공판 또는 버블 파이프이고, 상기 다공판은 중앙에서 외곽으로 갈수록 통공의 크기가 축소되는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
11. 제5항에 있어서, 상기 버블 안정화 수단은 다공판에 있어 중앙에서 외곽으로 갈수록 통공의 크기가 축소되는 형상인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
12. 제10항에 있어서, 상기 다공판 또는 버블 파이프에는 통공을 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 상호 위치가 대각선 방향으로 교차하도록 배열하는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
13. 제5항에 있어서, 상기 버블 안정화 수단은 다공판 또는 버블 파이프에 있어 통공을 행과 열을 맞추어 정렬하지 않고 상호 위치가 대각선 방향으로 교차하도록 배열한 형상인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
14. 제10항에 있어서, 상기 다공판 또는 버블파이프는 버블이 발출되는 통공간의 간격을 2종류 이상으로 하여 규칙적으로 배열하는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
15. 제5항에 있어서, 상기 버블 안정화 수단은 다공판 또는 버블파이프에서 버블이 방출되는 통공간의 간격을 2종류 이상으로 하여 규칙적으로 배열한 형상인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
16. 제1항 내지 제7항의 어느 한 항에 있어서, 상기 린스배스에는 항온장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스 식각장치.
17. 원액공급장치를 통해 식각원액이 혼합장치로 공급되고 농도컨트롤러가 부착된 혼합장치에서 식각원액과 초순수가 혼합된 식각액을 제조하는 식각액 제조 공정;

    식각중 농도관리 컨트롤러에 의해 식각액의 농도를 실시간 모니터링하고 보정하는 식각액 농도관리 공정;

    글라스가 삽입된 카세트를 버블공급수단이 구비된 식각배스 내에서 버블 및 식각액을 유동시켜 글라스를 식각하는 글라스 식각공정;

    식각중에 비접촉식 두께측정수단을 통해 글라스의 두께를 측정하는 글라스 두께 측정 공정;

    식각된 글라스를 린스배스에서 초순수로 글라스를 세정하는 항온 세정 공정; 및

    글라스를 건조시키는 공정;

    으로 이루어지는 LCD 대면적 글라스의 식각 방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 글라스 두께측정공정의 비접촉식 두께측정수단은 초음파 측정기인 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스의 식각 방법.
19. 제17항에 있어서, 상기 글라스 식각 공정에는 공급된 버블이 카세트 내부에서만 또한 하부에서 상부로 유동하도록 하고 버블의 카세트 외부로의 유출 및 버블의 뭉침을 방지하는 버블 안정화 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 대면적 글라스의 식각 방법.
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