KR100852295B1 - Inorganic Particle-containing Composition, Transfer Film and Plasma Display Panel Production Process - Google Patents

Inorganic Particle-containing Composition, Transfer Film and Plasma Display Panel Production Process Download PDF

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Abstract

본 발명은 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소 (예를 들면 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스)를 효율적으로 형성할 수 있고, 구성 요소의 위치 정밀도가 높은 PDP를 효율적으로 형성할 수 있어, 막 두께가 크고 막 두께의 균일성 및 표면의 평활성이 우수한 유전체층을 구비한 PDP를 효율적으로 제조할 수 있는, 무기 입자 함유 조성물, 전사 필름 및 이것을 사용한 PDP의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention can efficiently form components (for example, partitions, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices) of PDPs having excellent surface smoothness, and efficiently form PDPs having high positional accuracy of components. The present invention relates to an inorganic particle-containing composition, a transfer film, and a method for producing a PDP using the same, which can be formed to efficiently produce a PDP having a dielectric layer having a large film thickness and excellent film uniformity and surface smoothness. .

또한, 본 발명은 [A] 무기입자, [B] 결착 수지, 및 [C] 글리세린-1,2-디아세틸-3-모노라우레이트로 대표되는 특정 구조의 가소제를 함유하는 것을 특징으로 하는 무기 입자 함유 조성물에 관한 것이다.Moreover, this invention contains the plasticizer of the specific structure represented by [A] inorganic particle, [B] binder resin, and [C] glycerin-1, 2-diacetyl-3- monolaurate. It relates to a particle-containing composition.

무기 입자 함유 조성물, 전사 필름, PDP, 표면 평활성, 위치 정밀도, 유전체층, 격벽, 전극, 저항체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 무기 입자, 결착 수지, 가소제, 글리세린-1,2-디아세틸-3-모노라우레이트Inorganic particle-containing composition, transfer film, PDP, surface smoothness, positional accuracy, dielectric layer, partition, electrode, resistor, color filter, black matrix, inorganic particles, binder resin, plasticizer, glycerin-1,2-diacetyl-3-mono Laurate

Description

무기 입자 함유 조성물, 전사 필름 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 {Inorganic Particle-containing Composition, Transfer Film and Plasma Display Panel Production Process}Inorganic Particle-containing Composition, Transfer Film and Plasma Display Panel Production Process

도 1은 교류형의 플라즈마 디스플레이 패널의 단면 형상을 표시하는 모식도. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the cross-sectional shape of an AC plasma display panel.

도 2(가)는 본 발명의 전사 필름을 표시하는 개략 단면도이고, 도 2(나)는 해당 전사 필름의 층 구성을 표시하는 단면도. Fig. 2A is a schematic cross-sectional view showing the transfer film of the present invention, and Fig. 2B is a cross-sectional view showing the layer structure of the transfer film.

도 3은 본 발명의 제조 방법에 있어서의 격벽의 형성 공정 (전사 공정ㆍ레지스트막의 형성 공정ㆍ노광 공정)의 일례를 표시하는 개략 단면도. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a partition formation step (transfer step, formation step of a resist film, exposure step) in the manufacturing method of the present invention.

도 4는 본 발명의 제조 방법에 있어서의 격벽의 형성 공정 (현상 공정ㆍ에칭 공정, 소성 공정)의 일례를 표시하는 개략 단면도. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of a partition formation step (development step, etching step, firing step) in the manufacturing method of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간략한 설명> <Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

1, 2, 11 유리 기판 1, 2, 11 glass substrate

3, 40 격벽 3, 40 bulkhead

4 투명 전극 4 transparent electrodes

5 버스 전극5 bus electrode

6 어드레스 전극6 address electrode

7 형광 물질 7 fluorescent material                 

8, 9, 13 유전체층 8, 9, 13 dielectric layers

10 보호층 10 protective layer

F1, 22 지지 필름 F1, 22 support film

F2, 21 막 형성 재료층F2, 21 film-forming material layer

F3 커버 필름F3 cover film

12 전극 12 electrodes

20 전사 필름20 transfer film

25 격벽 패턴층25 bulkhead pattern layer

25A 재료층 잔류부25A material layer residue

25B 재료층 제거부25B material layer removal

31 레지스트막31 resist film

35 레지스트 패턴35 resist pattern

35A 레지스트 잔류부35A resist residue

35B 레지스트 제거부35B resist removal

50 패널 재료 50 panel material

M 노광용 마스크 M Exposure Mask

MA 광 투과부MA light transmission

MB 차광부 MB shading

본 발명은 무기 입자 함유 조성물, 전사 필름 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD This invention relates to the manufacturing method of an inorganic particle containing composition, a transfer film, and a plasma display panel.

최근, 평판상의 형광 표시체로서 플라즈마 디스플레이가 주목받고 있다. 도 1은 교류형의 플라즈마 디스플레이 패널 (이하, 「PDP」라 함)의 단면 형상을 나타내는 모식도이다. 도 1에 있어서, 1 및 2는 대향 배치된 유리 기판, 3은 격벽이고, 유리 기판 (1), 유리 기판 (2) 및 격벽 (3)에 의해 셀이 구획 형성되어 있다. 4는 유리 기판 (1)에 고정된 투명 전극, 5는 투명 전극 (4)의 저항을 저하시킬 목적으로, 해당 투명 전극 (4) 상에 형성된 버스 전극, 6은 유리 기판 (2)에 고정된 어드레스 전극, 7은 셀 내에 유지된 형광 물질, 8은 투명 전극 (4) 및 버스 전극 (5)를 피복하도록 유리 기판 (1)의 표면에 형성된 유전체층, 9는 어드레스 전극 (6)을 피복하도록 유리 기판 (2)의 표면에 형성된 유전체층, 10은 예를 들면 산화마그네슘으로 이루어지는 보호막이다. In recent years, a plasma display attracts attention as a flat fluorescent display. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional shape of an AC plasma display panel (hereinafter referred to as "PDP"). In FIG. 1, 1 and 2 are glass substrates arrange | positioned opposingly, 3 is a partition, and the cell is partitioned by the glass substrate 1, the glass substrate 2, and the partition 3. 4 is a transparent electrode fixed to the glass substrate 1, 5 is a bus electrode formed on the transparent electrode 4 for the purpose of lowering the resistance of the transparent electrode 4, 6 is fixed to the glass substrate 2 Address electrode, 7 is a fluorescent material retained in the cell, 8 is a dielectric layer formed on the surface of the glass substrate 1 to cover the transparent electrode 4 and the bus electrode 5, 9 is glass to cover the address electrode 6 The dielectric layer 10 formed on the surface of the substrate 2 is a protective film made of, for example, magnesium oxide.

또한, 컬러 PDP에 있어서는 콘트라스트가 높은 화상을 얻기 위해서, 유리 기판과 유전체층 사이에 컬러 필터 (적색ㆍ녹색ㆍ청색)나 블랙 매트릭스 등을 설치할 수 있다. Further, in a color PDP, a color filter (red, green, blue), a black matrix, or the like can be provided between the glass substrate and the dielectric layer in order to obtain a high contrast image.

이들 PDP의 유전체, 격벽, 전극, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 스트라이프 (매트릭스)의 제조 방법으로서는, (1) 비감광성의 무기 입자 함유 페이스트를 기판 상에 스크린 인쇄하여 패턴을 얻고, 이것을 소성하는 스크린 인쇄법, (2) 감광성의 무기 입자 함유 수지층을 기판 상에 형성하고, 이 막에 포토 마스크를 통해 자외선 을 조사한 뒤에 현상함으로써 기판 상에 패턴을 잔존시키고, 이것을 소성하는 포토 리소그래피법 등이 알려져 있다. As a method for producing dielectrics, barrier ribs, electrodes, phosphors, color filters, and black stripes (matrix) of these PDPs, (1) screen printing is performed by screen-printing a non-photosensitive inorganic particle-containing paste on a substrate to obtain a pattern and firing it. The photolithographic method which forms a pattern on a board | substrate by forming the method, (2) photosensitive inorganic particle containing resin layer on a board | substrate, and develops after irradiating an ultraviolet-ray to this film | membrane through a photomask, etc. are known. .

그러나, 상기 스크린 인쇄법은 패널의 대형화 및 고정밀화에 따른 패턴 정밀도의 요구가 매우 엄해지고, 통상의 인쇄로서는 대응할 수 없다는 문제가 있었다.However, the screen printing method has a problem that the demand for pattern precision due to the enlargement and high precision of the panel is very severe, and that it is not possible to cope with normal printing.

이에 대하여, 상기 포토리소그래피법은 원리적으로 패턴 정밀도가 우수하고, 특히 전사 필름을 사용하는 방법에 있어서는 막 두께의 균일성 및 표면의 균일성이 우수한 패턴을 형성할 수 있다. 그러나, 아크릴 수지를 함유하는 무기 입자 함유 조성물을 지지 필름 상에 도포하여 형성되는 막 형성 재료층은 충분한 가요성을 갖는 것이 아니었다. 또한, 얻어지는 패널 재료에 유자피라 불리는 표면의 거칠기가 확인된다는 문제가 있었다. In contrast, the photolithography method is excellent in principle in pattern accuracy, and particularly in the method of using a transfer film, it is possible to form a pattern excellent in uniformity of film thickness and uniformity of surface. However, the film formation material layer formed by apply | coating the inorganic particle containing composition containing acrylic resin on a support film did not have sufficient flexibility. Moreover, there existed a problem that the roughness of the surface called citron skin is confirmed by the obtained panel material.

본 발명은 이상과 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이다. This invention is made | formed in view of the above circumstances.

본 발명의 제1의 목적은 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소 (예를 들면, 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스)를 적합하게 형성할 수 있는 무기 입자 함유 조성물을 제공하는 것에 있다. A first object of the present invention is to provide an inorganic particle-containing composition capable of suitably forming components (eg, partition walls, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, black matrices) of PDP having excellent surface smoothness. It is in doing it.

본 발명의 제2의 목적은 높은 광 투과율을 갖는 유리 소결체 (예를 들면, PDP를 구성하는 유전체층)을 형성할 수 있는 무기 입자 함유 조성물을 제공하는 것에 있다. The 2nd object of this invention is to provide the inorganic particle containing composition which can form the glass sintered compact (for example, the dielectric layer which comprises PDP) which has a high light transmittance.

본 발명의 제3의 목적은 막 형성 재료층의 가요성이 우수한 전사 필름을 제조할 수 있는 무기 입자 함유 조성물을 제공하는 것에 있다. A third object of the present invention is to provide an inorganic particle-containing composition capable of producing a transfer film excellent in flexibility of the film forming material layer.                         

본 발명의 제4의 목적은 막 형성 재료층의 전사성 (기판에 대한 가열 접착성)이 우수한 전사 필름을 제조할 수 있는 무기 입자 함유 조성물을 제공하는 것에 있다. It is a fourth object of the present invention to provide an inorganic particle-containing composition capable of producing a transfer film excellent in transferability (heat adhesion to a substrate) of a film forming material layer.

본 발명의 제5의 목적은 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소를 효율적으로 형성할 수 있는 전사 필름을 제공하는 것에 있다. A fifth object of the present invention is to provide a transfer film capable of efficiently forming a component of a PDP having excellent surface smoothness.

본 발명의 제6의 목적은 막 형성 재료층의 가요성이 우수한 전사 필름을 제공하는 것에 있다. A sixth object of the present invention is to provide a transfer film excellent in flexibility of the film forming material layer.

본 발명의 제7의 목적은 막 형성 재료층의 전사성 (기판에 대한 가열 접착성)이 우수한 전사 필름을 제공하는 것에 있다. A seventh object of the present invention is to provide a transfer film excellent in transferability (heat adhesion to a substrate) of a film forming material layer.

본 발명의 제8의 목적은 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소를 효율적으로 형성할 수 있는 PDP의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. An eighth object of the present invention is to provide a method for producing a PDP that can efficiently form components of the PDP having excellent surface smoothness.

본 발명의 제9의 목적은 구성 요소의 위치 정밀도가 높은 PDP를 효율적으로 형성할 수 있는 PDP의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. A ninth object of the present invention is to provide a PDP manufacturing method capable of efficiently forming a PDP with high positional accuracy of components.

본 발명의 제10의 목적은 막 두께가 큰 유전체층을 효율적으로 형성할 수 있는 PDP의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. A tenth object of the present invention is to provide a PDP manufacturing method capable of forming a dielectric layer having a large film thickness efficiently.

본 발명의 제11의 목적은 대형 패널에 요구되는 유전체층을 효율적으로 형성할 수 있는 PDP의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. An eleventh object of the present invention is to provide a PDP manufacturing method capable of efficiently forming a dielectric layer required for a large panel.

본 발명의 제12의 목적은 막 두께의 균일성이 우수한 유전체층을 갖는 PDP의 제조 방법을 제공하는 것에 있다. A twelfth object of the present invention is to provide a method for producing a PDP having a dielectric layer having excellent uniformity in film thickness.

본 발명의 제13의 목적은 표면의 평활성이 우수한 유전체층을 갖는 PDP의 제 조 방법을 제공하는 것에 있다. A thirteenth object of the present invention is to provide a method for producing a PDP having a dielectric layer having excellent surface smoothness.

본 발명의 무기 입자 함유 조성물은 [A] 무기 입자, [B] 결착 수지, 및 [C]하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 한다. The inorganic particle containing composition of this invention contains [A] inorganic particle, [B] binder resin, and [C] the compound represented by following formula (1), It is characterized by the above-mentioned.

Figure 112002030508923-pat00001
Figure 112002030508923-pat00001

식 중, R1, R2 및 R3 중 하나는 -CO-A (단, A는 탄소수 5 내지 20의 알킬기를 나타냄)로 표시되는 기를 나타내고, 그외의 둘은 각각 독립적으로 수소 원자, 아세틸기 또는 프로파노일기를 나타낸다. In the formula, one of R 1 , R 2 and R 3 represents a group represented by -CO-A (where A represents an alkyl group having 5 to 20 carbon atoms), and the other two are each independently a hydrogen atom or an acetyl group. Or propanoyl group.

본 발명의 전사 필름은 상기 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성재료층을 갖는 것을 특징으로 한다. The transfer film of this invention has a film formation material layer obtained from the said inorganic particle containing composition, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명의 PDP의 제조 방법은 상기 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층을 기판 상에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층을 소성함으로써, 상기 기판 상에 유전체층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. The method for producing a PDP of the present invention includes a step of transferring a film forming material layer obtained from the inorganic particle-containing composition onto a substrate and baking the transferred film forming material layer to form a dielectric layer on the substrate. It is done.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법은 상기 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층을 기판 상에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층 상에 레지스트막을 형성하고, 해당 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하 고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트 패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써, 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, in the method for producing a PDP of the present invention, a film forming material layer obtained from the inorganic particle-containing composition is transferred onto a substrate, a resist film is formed on the transferred film forming material layer, and the resist film is subjected to exposure treatment to obtain a resist pattern. The latent image is formed, the resist film is developed to render the resist pattern present, the film forming material layer is etched to form a pattern layer corresponding to the resist pattern, and the pattern layer is subjected to baking to form a partition wall and an electrode. And forming a component selected from resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices.

또한, 본 발명의 PDP의 제조 방법은 레지스트막과, 상기 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층과의 적층막을 지지 필름 상에 형성하고, 지지막상에 형성된 적층막을 기판상에 전사하고, 해당 적층막을 구성하는 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트 패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.Moreover, the manufacturing method of the PDP of this invention forms the laminated film of a resist film and the film formation material layer obtained from the said inorganic particle containing composition on a support film, transfers the laminated film formed on the support film on a board | substrate, and laminates this. Exposing the resist film constituting the film to form a latent image of the resist pattern; developing the resist film to present the resist pattern; etching the film forming material layer to form a pattern layer corresponding to the resist pattern; And calcining the pattern layer to form a component selected from a partition, an electrode, a resistor, a dielectric layer, a phosphor, a color filter, and a black matrix.

이하, 본 발명의 무기 입자 함유 조성물 (이하, 단순히 「조성물」이라고 함)에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, the inorganic particle containing composition (henceforth simply a "composition") of this invention is demonstrated in detail.

본 발명의 조성물은 무기 입자, 결착 수지, 및 특정한 화학식으로 표시되는 가소제를 필수 성분으로서 함유한다. The composition of this invention contains an inorganic particle, a binder resin, and the plasticizer represented by a specific chemical formula as essential components.

<무기 입자> <Inorganic particles>

본 발명의 조성물을 구성하는 무기 입자를 구성하는 무기 물질로서는 특별히 한정되는 것은 아니고, 해당 조성물에 의해 형성되는 소결체의 용도 (PDP의 구성 요소의 종류)에 따라서 적절하게 선택할 수 있다. It does not specifically limit as an inorganic substance which comprises the inorganic particle which comprises the composition of this invention, It can select suitably according to the use (type of component of PDP) of the sintered compact formed with this composition.

여기에, PDP를 구성하는 「유전체층」 또는 「격벽」을 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기 입자로서는 연화점이 400 내지 600 ℃의 범위 내에 있는 유리분말을 들 수 있다. 유리 분말의 연화점이 400 ℃ 미만인 경우에는 해당 조성물에 의한 막 형성 재료층의 소성 공정에 있어서, 결착 수지 등의 유기 물질이 완전히 분해 제거되지 않은 단계에서 유리 분말이 용융되어 버리기 때문에 형성되는 유전체층 중에 유기 물질의 일부가 잔류하고, 이 결과 유전체층이 착색되어, 그의 광 투과율이 저하되는 경향이 있다. 한편, 유리 분말의 연화점이 600 ℃를 초과할 경우에는 600 ℃보다 고온으로 소성할 필요가 있기 때문에, 유리 기판에 왜곡 등이 발생하기 쉽다. Here, the glass powder which has a softening point in the range of 400-600 degreeC as an inorganic particle contained in the composition for forming the "dielectric layer" or the "partition wall" which comprises a PDP is mentioned. If the softening point of the glass powder is less than 400 ° C, the organic powder is formed in the dielectric layer formed because the glass powder melts in a step in which the organic material such as the binder resin is not completely decomposed and removed in the baking step of the film-forming material layer by the composition. Some of the material remains, and as a result, the dielectric layer is colored, and its light transmittance tends to be lowered. On the other hand, when the softening point of glass powder exceeds 600 degreeC, since it needs to bake at higher temperature than 600 degreeC, distortion etc. are easy to generate | occur | produce in a glass substrate.

적합한 유리 분말의 구체적인 예로서는 (1) 산화 납, 산화 붕소, 산화 규소 (PbO-B2O3-SiO2계)의 혼합물, (2) 산화 아연, 산화 붕소, 산화 규소 (ZnO-B 2O3-SiO2계)의 혼합물, (3) 산화 납, 산화 붕소, 산화 규소, 산화 알루미늄 (PbO-B2O3-SiO 2-Al2O3계)의 혼합물, (4) 산화 납, 산화 아연, 산화 붕소, 산화 규소 (PbO-ZnO-B2 O3-SiO2계)의 혼합물 등을 예시할 수 있다. Specific examples of suitable glass powders include (1) lead oxide, boron oxide, a mixture of silicon oxide (PbO-B 2 O 3 -SiO 2 based), (2) zinc oxide, boron oxide, silicon oxide (ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 based), (3) lead oxide, boron oxide, silicon oxide, mixture of aluminum oxide (PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 based), (4) lead oxide, zinc oxide , A mixture of boron oxide, silicon oxide (PbO-ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 system), and the like.

이들 유리 분말은 유전체층 및 격벽 이외의 구성 요소 (예를 들면, 전극ㆍ저항체ㆍ형광체ㆍ컬러 필터ㆍ블랙 매트릭스)를 형성하기 위한 조성물 중에 함유 (병용)시킬 수 있다. 이러한 패널 재료를 얻기 위한 무기 분말 함유 수지 조성물에 있어서의 유리 프릿의 함유량은 무기 분말 전량에 대하여 통상 90 중량% 이하, 바 람직하게는 50 내지 90 중량%이다.These glass powders can be contained (combined) in a composition for forming components other than the dielectric layer and the partition wall (for example, an electrode, a resistor, a phosphor, a color filter, and a black matrix). Content of the glass frit in the inorganic powder containing resin composition for obtaining such a panel material is 90 weight% or less normally with respect to inorganic powder whole quantity, Preferably it is 50 to 90 weight%.

PDP를 구성하는 「전극」을 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기 입자로서는 Ag, Au, Al, Ni, Ag-Pd 합금, Cu 및 Cr 등으로 이루어지는 금속 입자를 들 수 있다. Examples of the inorganic particles contained in the composition for forming the “electrode” constituting the PDP include metal particles made of Ag, Au, Al, Ni, Ag-Pd alloys, Cu, Cr, and the like.

이들 금속 입자는 유전체층을 형성하기 위한 조성물 중에 유리 분말과 병용하는 형태로 함유될 수 있다. 유전체층 형성용 조성물에 있어서의 금속 입자의 함유량은 무기 분말 전량에 대하여 통상 10 중량% 이하, 바람직하게는 0.1 내지 5 중량%이다. These metal particles may be contained in the form used together with glass powder in the composition for forming a dielectric layer. The content of the metal particles in the dielectric layer-forming composition is usually 10% by weight or less, preferably 0.1 to 5% by weight based on the total amount of the inorganic powder.

PDP를 구성하는 「저항체」를 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기 입자로서는 RuO2 등으로 이루어지는 입자를 들 수 있다. The inorganic particles contained in the composition for forming a "resistor" to configure the PDP may be mentioned particles composed of RuO 2 and the like.

PDP을 구성하는 「형광체」를 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기 입자로서는 Y2O3: Eu3+, Y2SiO5: Eu3+, Y3 Al5O12: Eu3+, YVO4: Eu3+, (Y, Gd) BO3 : Eu3+, Zn3(PO4)2: Mn 등의 적색용 형광 물질; Zn2SiO4: Mn, BaAl12O19: Mn, BaMgAl14O23: Mn, LaPO4: (Ce, Tb), Y3(Al, Ga)5O12: Tb 등의 녹색용 형광 물질; Y2SiO5: Ce, BaMgAl10O 17: Eu2+, BaMgAl14O23: Eu2+, (Ca, Sr, Ba)10 (PO4)6Cl2: Eu2+, (Zn, Cd)S: Ag 등의 청색용 형광 물질 등으로 이루어지는 입자를 들 수 있다.Examples of the inorganic particles contained in the composition for forming the "phosphor" constituting the PDP include Y 2 O 3 : Eu 3+ , Y 2 SiO 5 : Eu 3+ , Y 3 Al 5 O 12 : Eu 3+ , and YVO 4 : Red fluorescent substances such as Eu 3+ , (Y, Gd) BO 3 : Eu 3+ , Zn 3 (PO 4 ) 2 : Mn; Green phosphors such as Zn 2 SiO 4 : Mn, BaAl 12 O 19 : Mn, BaMgAl 14 O 23 : Mn, LaPO 4 : (Ce, Tb), Y 3 (Al, Ga) 5 O 12 : Tb; Y 2 SiO 5 : Ce, BaMgAl 10 O 17: Eu 2+ , BaMgAl 14 O 23 : Eu 2+ , (Ca, Sr, Ba) 10 (PO 4 ) 6 Cl 2 : Eu 2+ , (Zn, Cd) And particles made of a blue fluorescent substance such as S: Ag.

PDP를 구성하는 「컬러 필터」를 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기 입 자로서는 Fe2O3, Pb3O4 등의 적색용 물질, Cr2O 3 등의 녹색용 물질, 2(Al2Na2Si3O10)ㆍNa2S4 등의 청색용 물질 등으로 이루어지는 입자를 들 수 있다. The inorganic particles contained in the composition for forming the "color filter" constituting the PDP include red substances such as Fe 2 O 3 and Pb 3 O 4 , green substances such as Cr 2 O 3 , and 2 (Al 2 Na And particles made of a blue substance such as 2 Si 3 O 10 ) and Na 2 S 4 .

PDP을 구성하는 「블랙 매트릭스」를 형성하기 위한 조성물에 함유되는 무기입자로서는 Mn, Fe, Cr 등으로 이루어지는 입자를 들 수 있다. As an inorganic particle contained in the composition for forming the "black matrix" which comprises a PDP, the particle | grains which consist of Mn, Fe, Cr, etc. are mentioned.

<결착 수지> <Binder Resin>

본 발명의 조성물을 구성하는 결착 수지는 아크릴 수지인 것이 바람직하다.It is preferable that the binder resin which comprises the composition of this invention is an acrylic resin.

결착 수지로서 아크릴 수지가 함유되어 있으므로 형성되는 막 형성 재료층은 기판에 대한 우수한 (가열) 접착성을 발휘한다. 따라서, 본 발명의 조성물을 지지 필름 상에 도포하여 전사 필름을 제조할 경우에 있어서, 얻어지는 전사 필름은 막 형성 재료층의 전사성 (기판으로의 가열 접착성)이 우수한 것이 된다.Since the acrylic resin is contained as the binder resin, the film forming material layer formed exhibits excellent (heating) adhesion to the substrate. Therefore, in the case of applying the composition of the present invention on a support film to produce a transfer film, the resulting transfer film is excellent in transferability (heat adhesion to a substrate) of the film forming material layer.

본 발명의 조성물을 구성하는 아크릴 수지는 적절한 점착성을 가져서 무기 입자를 결착시킬 수 있고, 막 형성 재료의 소성 처리 (400 ℃ 내지 600 ℃)에 의해 완전히 산화 제거되는 (공)중합체 중에서 선택된다. The acrylic resin constituting the composition of the present invention is selected from (co) polymers which have appropriate tackiness to bind inorganic particles and which are completely oxidized and removed by firing treatment (400 ° C. to 600 ° C.) of the film forming material.

이러한 아크릴 수지로서는 하기 화학식 2로 표시되는 (메트)아크릴레이트 화합물의 단독 중합체, 하기 화학식 2로 표시되는 (메트)아크릴레이트 화합물의 2종 이상의 공중합체, 및 하기 화학식 2로 표시되는 (메트)아크릴레이트 화합물과 공중합성 단량체와의 공중합체가 포함된다. As such an acrylic resin, the homopolymer of the (meth) acrylate compound represented by following formula (2), the 2 or more types of copolymer of the (meth) acrylate compound represented by following formula (2), and the (meth) acryl represented by following formula (2) Copolymers of late compounds with copolymerizable monomers are included.                     

Figure 112002030508923-pat00002
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식 중, R4는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, R5는 1가의 유기기를 나타낸다. In the formula, R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 5 represents a monovalent organic group.

상기 화학식 2로 표시되는 (메트)아크릴레이트 화합물의 구체적인 예로서는 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, 이소프로필(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 이소부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 펜틸(메트)아크릴레이트, 아밀(메트)아크릴레이트, 이소아밀(메트)아크릴레이트, 헥실(메트)아크릴레이트, 헵틸(메트)아크릴레이트, 옥틸(메트)아크릴레이트, 이소옥틸(메트)아크릴레이트, 에틸헥실(메트)아크릴레이트, 노닐(메트)아크릴레이트, 데실(메트)아크릴레이트, 이소데실(메트)아크릴레이트, 운데실(메트)아크릴레이트, 도데실(메트)아크릴레이트, 라우릴(메트)아크릴레이트, 스테아릴(메트)아크릴레이트, 이소스테아릴(메트)아크릴레이트 등의 알킬(메트)아크릴레이트; Specific examples of the (meth) acrylate compound represented by Formula 2 include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and butyl (meth) acrylate. , Isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth ) Acrylate, octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, undecylenate Alkyl (meth) acrylates such as sil (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, and isostearyl (meth) acrylate;

히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 3-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트 등의 히드록시알킬(메트)아크릴레이트; Hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) Hydroxyalkyl (meth) acrylates such as acrylate and 4-hydroxybutyl (meth) acrylate;                     

페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트 등의 페녹시알킬(메트)아크릴레이트; Phenoxyalkyl (meth) acrylates such as phenoxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate;

2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-에톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-프로폭시에틸(메트)아크릴레이트, 2-부톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-메톡시부틸(메트)아크릴레이트 등의 알콕시알킬(메트)아크릴레이트; 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, 2-propoxyethyl (meth) acrylate, 2-butoxyethyl (meth) acrylate, 2-methoxybutyl ( Alkoxyalkyl (meth) acrylates such as meth) acrylate;

폴리에틸렌글리콜모노(메트)아크릴레이트, 에톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 페녹시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 노닐페녹시폴리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜모노(메트)아크릴레이트, 메톡시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 에톡시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 노닐페녹시폴리프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트 등의 폴리알킬렌글리콜(메트)아크릴레이트; Polyethylene glycol mono (meth) acrylate, ethoxy diethylene glycol (meth) acrylate, methoxy polyethylene glycol (meth) acrylate, phenoxy polyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol (meth) acrylate, Polyalkylene glycols such as polypropylene glycol mono (meth) acrylate, methoxy polypropylene glycol (meth) acrylate, ethoxy polypropylene glycol (meth) acrylate, and nonylphenoxy polypropylene glycol (meth) acrylate ( Meth) acrylates;

시클로헥실(메트)아크릴레이트, 4-부틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디시클로펜타디에닐(메트)아크릴레이트, 보르닐(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 트리시클로데카닐(메트)아크릴레이트 등의 시클로알킬(메트)아크릴레이트; Cyclohexyl (meth) acrylate, 4-butylcyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentadienyl (meth) acrylate, bor Cycloalkyl (meth) acrylates such as niel (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate and tricyclodecanyl (meth) acrylate;

벤질(메트)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. Benzyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, etc. are mentioned.

이들 중, 상기 화학식 2의 R5로 알킬기 또는 옥시알킬렌기를 함유하는 기인 것이 바람직하고, 특히 바람직한 (메트)아크릴레이트 화합물로서 부틸(메트)아크릴 레이트, 에틸헥실(메트)아크릴레이트, 라우릴(메트)아크릴레이트, 이소데실(메트)아크릴레이트 및 2-에톡시에틸(메트)아크릴레이트를 들 수 있다. Of these, R 5 in the general formula (2) is preferably a group containing an alkyl group or an oxyalkylene group, and particularly preferred (meth) acrylate compound is butyl (meth) acrylate, ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl ( Meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, and 2-ethoxyethyl (meth) acrylate.

다른 공중합성 단량체로서는 상기(메트)아크릴레이트 화합물과 공중합 가능한 화합물이면 특별히 제한은 없지만, 예를 들면 (메트)아크릴산, 비닐벤조산, 말레산, 비닐프탈산 등의 불포화 카르복실산류; 비닐벤질메틸에테르, 비닐글리시딜에테르, 스티렌, α-메틸스티렌, 부타디엔, 이소프렌 등의 비닐기 함유 라디칼 중합성 화합물을 들 수 있다. There is no restriction | limiting in particular if it is a compound copolymerizable with the said (meth) acrylate compound as another copolymerizable monomer, For example, Unsaturated carboxylic acids, such as (meth) acrylic acid, vinylbenzoic acid, maleic acid, vinylphthalic acid; And vinyl group-containing radically polymerizable compounds such as vinyl benzyl methyl ether, vinyl glycidyl ether, styrene, α-methyl styrene, butadiene and isoprene.

본 발명의 조성물을 구성하는 아크릴 수지에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 (메트)아크릴레이트 화합물 유래의 공중합 성분은 통상 70 중량% 이상, 바람직하게는 9O 중량% 이상이다. In the acrylic resin which comprises the composition of this invention, the copolymerization component derived from the (meth) acrylate compound represented by the said General formula (2) is 70 weight% or more normally, Preferably it is 90 weight% or more.

여기서, 바람직한 아크릴 수지의 구체적인 예로서는 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리부틸메타크릴레이트, 메틸메타크릴레이트-부틸메타크릴레이트 공중합체 등을 예시할 수 있다. Here, as a specific example of a preferable acrylic resin, polymethyl methacrylate, polybutyl methacrylate, a methyl methacrylate- butyl methacrylate copolymer, etc. can be illustrated.

또한, 후술하는 포토레지스트법을 이용한 PDP의 구성 요소의 형성에 있어서, 막 형성 재료층의 에칭 처리에 알칼리 가용성이 필요한 경우에는, 상기 다른 공중합성 단량체 (공중합 성분)으로서 불포화 카르복실산류가 함유되는 것이 바람직하다. Moreover, in formation of the component of PDP using the photoresist method mentioned later, when alkali solubility is needed for the etching process of a film formation material layer, unsaturated carboxylic acid is contained as said other copolymerizable monomer (copolymerization component). It is preferable.

본 발명의 조성물을 구성하는 아크릴 수지의 분자량으로서는 GPC에 의한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 (이하, 단순히 「중량 평균 분자량」이라고 함)으로서 4,000 내지 300,000인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 10,000 내지 200,000이다. As the molecular weight of the acrylic resin which comprises the composition of this invention, it is preferable that it is 4,000-300,000 as a weight average molecular weight (henceforth simply a "weight average molecular weight") of polystyrene conversion by GPC, More preferably, it is 10,000-200,000. .

본 발명의 조성물에 있어서의 결착 수지의 함유 비율로서는 무기 입자 100 중량부에 대하여 5 내지 80 중량부인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 10 내지 50 중량부이다. 결착 수지의 비율이 과소한 경우에는 무기 입자를 확실하게 결착 유지할 수가 없고, 한편 이 비율이 과대한 경우에는 소성 공정에 긴 시간을 요하거나 형성되는 소결체 (예를 들면, 유전체층)이 충분한 강도나 막 두께를 갖지 못할 수도 있다.As content rate of the binder resin in the composition of this invention, it is preferable that it is 5-80 weight part with respect to 100 weight part of inorganic particles, More preferably, it is 10-50 weight part. When the ratio of the binder resin is too small, the inorganic particles cannot be reliably bound and maintained. On the other hand, when the ratio is excessive, the sintered body (for example, the dielectric layer) that requires a long time or is formed in the firing process has a sufficient strength or film. It may not have a thickness.

<가소제> <Plasticizer>

상기 화학식 1로 표시되는 화합물은 가소제 (이하, 「특정 가소제」라고 한다.)로서 사용된다. 특정 가소제가 함유되어 이루어지는 본 발명의 조성물에 의하면 형성되는 막 형성 재료층의 유자피 발생을 방지하고, 우수한 표면 평활성을 발현시킬 수 있다. 또한, 얻어지는 전사 필름은 구부려도 해당 막 형성 재료층의 표면에 미소한 균열 (금이 감)이 발생하는 것과 같은 일이 없고, 또한 해당 전사 필름은 유연성이 우수해져 롤상으로 쉽게 권취할 수도 있다. The compound represented by the said Formula (1) is used as a plasticizer (henceforth a "specific plasticizer."). According to the composition of the present invention in which a specific plasticizer is contained, it is possible to prevent the occurrence of citron skin in the film forming material layer to be formed and to express excellent surface smoothness. In addition, even if the transfer film obtained is bent, a small crack (cracking) occurs on the surface of the film-forming material layer, and the transfer film is excellent in flexibility and can be easily wound into a roll.

또한, 해당 특정 가소제는 열에 의해 쉽게 분해 제거되기 때문에, 해당 막 형성 재료층을 소성하여 얻어지는 유전체층의 광 투과율을 저하시키지 않는다.In addition, since the specific plasticizer is easily decomposed and removed by heat, the light transmittance of the dielectric layer obtained by firing the film forming material layer is not reduced.

특정 가소제를 나타내는 상기 화학식 1에 있어서, R1, R2 및 R3 중 하나는 -CO-A (단, A는 탄소수 5 내지 20의 알킬기를 나타냄)로 표시되는 기를 나타내고, 그외의 둘은 각각 독립적으로 수소 원자, 아세틸기 또는 프로파노일기를 나타낸다. In Chemical Formula 1, which represents a specific plasticizer, one of R 1 , R 2 and R 3 represents a group represented by -CO-A (wherein A represents an alkyl group having 5 to 20 carbon atoms), and the other two are each Independently, a hydrogen atom, an acetyl group, or a propanoyl group is represented.

A로 표시되는 알킬기의 탄소수는 5 내지 20이고, 바람직하게는 10 내지 18이다. 해당 알킬기의 탄소수가 5 미만인 경우는 가소제로서의 기능이 불충분할 경우가 있다. 또한, 20을 초과할 경우에는 무기 입자 함유 조성물을 구성하는 용제에 대한 가소제의 용해성이 저하되어 양호한 가요성이 얻어지지 않는 경우가 있다.Carbon number of the alkyl group represented by A is 5-20, Preferably it is 10-18. When carbon number of this alkyl group is less than 5, the function as a plasticizer may be inadequate. Moreover, when it exceeds 20, the solubility of the plasticizer with respect to the solvent which comprises an inorganic particle containing composition may fall, and favorable flexibility may not be obtained.

구체적인 알킬기로서는 n-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, n-노닐기, n-데실기, n-운데실기, n-도데실기 (라우릴기), n-펜타데실기, n-헥사데실기, n-헵타데실기, n-옥타데실기 (스테아릴기), n-노나데실기, n-에이코실기 등을 들 수 있다. 이 중에서도 특히 n-도데실기가 바람직하다.As a specific alkyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl group, n-octyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-dodecyl group (lauryl group), n- Pentadecyl group, n-hexadecyl group, n-heptadecyl group, n-octadecyl group (stearyl group), n-nonadecyl group, n-eicosyl group, etc. are mentioned. Among these, n-dodecyl group is especially preferable.

R1, R2 및 R3 중 어느 하나가 -CO-A로 표시되는 기를 나타내지만, 특히 R1또는 R3이 -CO-A로 표시되는 기를 나타내는 것이 바람직하다. 또한, 그외의 둘은 각각 독립적으로 수소 원자, 아세틸기 또는 n-프로파노일기를 나타내지만, 이들 중에서 수소 원자 및 아세틸기가 바람직하고, 하나 이상의 아세틸기를 포함하는 것이 특히 바람직하다. Although any one of R <1> , R <2> and R <3> represents the group represented by -CO-A, it is especially preferable that R <1> or R <3> represents the group represented by -CO-A. In addition, the other two each independently represent a hydrogen atom, an acetyl group or an n-propanoyl group, but among these, a hydrogen atom and an acetyl group are preferable, and it is especially preferable to include one or more acetyl groups.

상기 화학식 1로 표시되는 화합물의 구체적인 예로서는 글리세린-1-아세틸-3-라우레이트, 글리세린-2-아세틸-1-라우레이트, 글리세린-1,2-디아세틸-3-라우레이트, 글리세린-1-아세틸-3-모노올레에이트, 글리세린-2-아세틸-1-모노올레에이트, 글리세린-1,2-디아세틸-3-모노올레에이트, 글리세린-1-아세틸-3-스테아레이트, 글리세린-2-아세틸-1-스테아레이트, 글리세린-1,2-디아세틸-3-스테아레이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서 글리세린-1,2-디아세틸-3-라우레이트, 글리세린-1,2-디아세 틸-3-스테아레이트 등이 특히 바람직하다.Specific examples of the compound represented by Formula 1 include glycerin-1-acetyl-3-laurate, glycerin-2-acetyl-1-laurate, glycerin-1,2-diacetyl-3-laurate, and glycerin-1- Acetyl-3-monooleate, glycerin-2-acetyl-1-monooleate, glycerin-1,2-diacetyl-3-monooleate, glycerin-1-acetyl-3-stearate, glycerin-2- Acetyl-1-stearate, glycerin-1,2-diacetyl-3-stearate, and the like. Among these, glycerin-1,2-diacetyl-3-laurate, glycerin-1,2-dimethylacetyl-3-stearate, and the like are particularly preferable.

본 발명의 조성물에 있어서 특정 가소제의 함유 비율은 무기 입자 100 중량부에 대하여 0.1 내지 20 중량부인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.5 내지 10 중량부이다. 특정 가소제의 비율이 과소한 경우에는 얻어지는 조성물을 사용하여 형성되는 막 형성 재료층의 표면 평활성 및 가소성을 충분히 향상시킬 수 없다. 한편, 이 비율이 과대한 경우에는 얻어지는 조성물을 사용하여 형성되는 막 형성 재료층의 점착성 (태크)가 과대해지고, 이와 같은 막 형성 재료층을 구비한 전사 필름의 취급성이 떨어지는 경우가 있다.In the composition of this invention, it is preferable that the content rate of a specific plasticizer is 0.1-20 weight part with respect to 100 weight part of inorganic particles, More preferably, it is 0.5-10 weight part. When the ratio of a specific plasticizer is too small, the surface smoothness and plasticity of the film formation material layer formed using the composition obtained cannot fully be improved. On the other hand, when this ratio is excessive, the adhesiveness (tag) of the film formation material layer formed using the composition obtained may become excessive, and the handleability of the transfer film provided with such a film formation material layer may be inferior.

<용제> <Solvent>

본 발명의 조성물에는 통상적으로 용제가 함유된다. 상기 용제로서는 무기 입자와의 친화성, 결착 수지의 용해성이 양호하고, 얻어지는 조성물에 적절한 점성을 부여할 수 있고, 건조시키므로써 쉽게 증발 제거할 수 있는 것이 바람직하다.The composition of the present invention usually contains a solvent. As said solvent, it is preferable that affinity with an inorganic particle and the solubility of binder resin are favorable, it is possible to provide suitable viscosity to the composition obtained, and to be able to evaporate easily by drying.

이러한 용제의 구체적인 예로는 디에틸케톤, 메틸부틸케톤, 디프로필케톤, 시클로헥사논 등의 케톤류; n-펜탄올, 4-메틸-2-펜탄올, 시클로헥산올, 디아세톤알코올 등의 알코올류; 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 에테르계 알코올류; 아세트산-n-부틸, 아세트산아밀 등의 포화 지방족 모노카르복실산 알킬 에스테르류; 락트산에틸, 락트산-n-부틸 등의 락트산에스테르류; 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸-3-에톡시프로피오네이트 등의 에테르계 에스테르류 등 을 예시할 수 있고, 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. Specific examples of such a solvent include ketones such as diethyl ketone, methyl butyl ketone, dipropyl ketone, and cyclohexanone; alcohols such as n-pentanol, 4-methyl-2-pentanol, cyclohexanol and diacetone alcohol; Ether alcohols such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monoethyl ether; Saturated aliphatic monocarboxylic acid alkyl esters such as acetic acid-n-butyl and amyl acetate; Lactic acid esters such as ethyl lactate and n-butyl lactate; Ether esters such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and ethyl-3-ethoxypropionate, and the like can be exemplified, and these can be used alone or in combination of two or more thereof. Can be used.

본 발명의 조성물에 있어서의 용제의 함유 비율은 조성물의 점도를 적절한 범위로 유지하는 관점에서 무기 입자 100 중량부에 대하여, 40 중량부 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 5 내지 30 중량부이다. It is preferable that it is 40 weight part or less with respect to 100 weight part of inorganic particles from a viewpoint of maintaining the viscosity of a composition in an appropriate range, and, as for the content rate of the solvent in the composition of this invention, More preferably, it is 5-30 weight part.

본 발명의 조성물에는 상기 필수 성분 이외에, 분산제, 점착성 부여제, 표면 장력 조정제, 안정제, 소포제 등의 각종 첨가제가 임의 성분으로서 함유될 수 있다. 특히, 무기 입자의 분산 안정성 향상의 목적으로, 실릴기 함유 화합물이 함유될 수 있다. 해당 실릴기 함유 화합물로서는 하기 화학식 3으로 표시되는 실릴기 함유 화합물 (포화 알킬기 함유 (알킬)알콕시실란)이 바람직하다. The composition of the present invention may contain, in addition to the above essential components, various additives such as dispersants, tackifiers, surface tension modifiers, stabilizers, antifoaming agents, and the like as optional components. In particular, a silyl group-containing compound may be contained for the purpose of improving the dispersion stability of the inorganic particles. As this silyl group containing compound, the silyl group containing compound (saturated alkyl group containing (alkyl) alkoxysilane) represented by following formula (3) is preferable.

Figure 112002030508923-pat00003
Figure 112002030508923-pat00003

식 중, p는 3 내지 20의 정수, m은 1 내지 3의 정수, n은 1 내지 3의 정수, 그리고 a는 1 내지 3의 정수이다.In formula, p is an integer of 3-20, m is an integer of 1-3, n is an integer of 1-3, and a is an integer of 1-3.

상기 화학식 3에 있어서, 포화 알킬기의 탄소수를 나타내는 p는 3 내지 20의 정수이고, 바람직하게는 4 내지 16의 정수이다. In the said Formula (3), p which shows the carbon number of a saturated alkyl group is an integer of 3-20, Preferably it is an integer of 4-16.

p가 3미만인 포화 알킬기 함유 (알킬)알콕시실란을 함유할 경우, 얻어지는 형막 형성 재료층에 있어서 충분한 가요성이 발현되지 않을 경우가 있다. 한편, p의 값이 20을 초과하는 포화 알킬기 함유 (알킬)알콕시실란은 분해 온도가 높고, 본 발명의 플라즈마 디스플레이의 제조 방법에 의한 소성 공정에 있어서, 유기 물 질 (상기 실란 유도체)가 완전히 분해 제거되지 않은 상태에서 형성되는 유전체층 등의 무기층 중에 유기 물질의 일부가 잔류되고, 이 결과 유전체층의 경우에 있어서는 광 투과율이 저하되는 경우가 있다. When p contains a saturated alkyl group containing (alkyl) alkoxysilane of less than 3, sufficient flexibility may not be expressed in the obtained film formation material layer. On the other hand, a saturated alkyl group-containing (alkyl) alkoxysilane having a p value of more than 20 has a high decomposition temperature, and in the firing step by the method for producing a plasma display of the present invention, the organic material (the silane derivative) is completely decomposed. A part of organic substance remains in inorganic layers, such as a dielectric layer formed in the state which is not removed, and as a result, light transmittance may fall in the case of a dielectric layer.

상기 화학식 3으로 표시되는 실릴기 함유 화합물의 구체적인 예로서는 n-프로필디메틸메톡시실란, n-부틸디메틸메톡시실란, n-데실디메틸메톡시실란, n-헥사데실디메틸메톡시실란, n-에이코실디메틸메톡시실란 등의 포화 알킬디메틸메톡시실란류 (a=1, m=1, n=1); Specific examples of the silyl group-containing compound represented by the general formula (3) include n-propyldimethylmethoxysilane, n-butyldimethylmethoxysilane, n-decyldimethylmethoxysilane, n-hexadecyldimethylmethoxysilane, n-ecosil Saturated alkyl dimethyl methoxysilanes such as dimethyl methoxysilane (a = 1, m = 1, n = 1);

n-프로필디에틸메톡시실란, n-부틸디에틸메톡시실란, n-데실디에틸메톡시실란, n-헥사데실디에틸메톡시실란, n-에이코실디에틸메톡시실란 등의 포화 알킬디에틸메톡시실란류 (a=1, m=1, n=2); saturated alkyl di such as n-propyldiethylmethoxysilane, n-butyldiethylmethoxysilane, n-decyldiethylmethoxysilane, n-hexadecyldiethylmethoxysilane, n-ecosyldiethylmethoxysilane Ethyl methoxysilanes (a = 1, m = 1, n = 2);

n-부틸디프로필메톡시실란, n-데실디프로필메톡시실란, n-헥사데실디프로필메톡시실란, n-에이코실디프로필메톡시실란 등의 포화 알킬디프로필메톡시실란류 (a=1, m=1, n=3); saturated alkyldipropyl methoxysilanes such as n-butyldipropylmethoxysilane, n-decyldipropylmethoxysilane, n-hexadecyldipropylmethoxysilane and n-ecosyldipropylmethoxysilane (a = 1 , m = 1, n = 3);

n-프로필디메틸에톡시실란, n-부틸디메틸에톡시실란, n-데실디메틸에톡시실란, n-헥사데실디메틸에톡시실란, n-에이코실디메틸에톡시실란 등의 포화 알킬디메틸에톡시실란류 (a=1, m=2, n=1); Saturated alkyl dimethyl ethoxy silanes, such as n-propyl dimethyl ethoxysilane, n-butyl dimethyl ethoxy silane, n-decyl dimethyl ethoxy silane, n-hexadecyl dimethyl ethoxy silane, n-eicosyl dimethyl ethoxy silane, etc. (a = 1, m = 2, n = 1);

n-프로필디에틸에톡시실란, n-부틸디에틸에톡시실란, n-데실디에틸에톡시실란, n-헥사데실디에틸에톡시실란, n-에이코실디에틸에톡시실란 등의 포화 알킬디에틸에톡시실란류 (a=1, m=2, n=2); Saturated alkyl di, such as n-propyldiethylethoxysilane, n-butyldiethylethoxysilane, n-decyldiethylethoxysilane, n-hexadecyldiethylethoxysilane, and n-eicosyldiethylethoxysilane Ethyl ethoxysilanes (a = 1, m = 2, n = 2);

n-부틸디프로필에톡시실란, n-데실디프로필에톡시실란, n-헥사데실디프로필 에톡시실란, n-에이코실디프로필에톡시실란 등의 포화 알킬디프로필에톡시실란류 (a=1, m=2, n=3): saturated alkyldipropylethoxysilanes such as n-butyldipropylethoxysilane, n-decyldipropylethoxysilane, n-hexadecyldipropyl ethoxysilane and n-ecosyldipropylethoxysilane (a = 1 , m = 2, n = 3):

n-프로필디메틸프로폭시실란, n-부틸디메틸프로폭시실란, n-데실디메틸프로폭시실란, n-헥사데실디메틸프로폭시실란, n-에이코실디메틸프로폭시실란 등의 포화 알킬디메틸프로폭시실란류 (a=1, m=3, n=1); Saturated alkyl dimethyl propoxy silanes, such as n-propyl dimethyl propoxy silane, n-butyl dimethyl propoxy silane, n-decyl dimethyl propoxy silane, n-hexadecyl dimethyl propoxy silane, n-eicosyl dimethyl propoxy silane, etc. (a = 1, m = 3, n = 1);

n-프로필디에틸프로폭시실란, n-부틸디에틸프로폭시실란, n-데실디에틸프로폭시실란, n-헥사데실디에틸프로폭시실란, n-에이코실디에틸프로폭시실란 등의 포화 알킬디에틸프로폭시실란류 (a=1, m=3, n=2): Saturated alkyl di, such as n-propyl diethyl propoxy silane, n-butyl diethyl propoxy silane, n-decyl diethyl propoxy silane, n-hexadecyl diethyl propoxy silane, and n-ecosyl diethyl propoxy silane Ethylpropoxysilanes (a = 1, m = 3, n = 2):

n-부틸디프로필프로폭시실란, n-데실디프로필프로폭시실란, n-헥사데실디프로필프로폭시실란, n-에이코실디프로필프로폭시실란 등의 포화 알킬디프로필프로폭시실란류 (a=1, m=3, n=3); Saturated alkyl dipropyl propoxy silanes, such as n-butyl dipropyl propoxy silane, n-decyl dipropyl propoxy silane, n-hexadecyl dipropyl propoxy silane, and n-eicosyl dipropyl propoxy silane (a = 1 , m = 3, n = 3);

n-프로필메틸디메톡시실란, n-부틸메틸디메톡시실란, n-데실메틸디메톡시실란, n-헥사데실메틸디메톡시실란, n-에이코실메틸디메톡시실란 등의 포화 알킬메틸디메톡시실란류 (a=2, m=1, n=1); Saturated alkyl methyl dimethoxy silanes, such as n-propylmethyldimethoxysilane, n-butylmethyldimethoxysilane, n-decylmethyldimethoxysilane, n-hexadecylmethyldimethoxysilane, and n-eicosylmethyldimethoxysilane (a = 2, m = 1, n = 1);

n-프로필에틸디메톡시실란, n-부틸에틸디메톡시실란, n-데실에틸디메톡시실란, n-헥사데실에틸디메톡시실란, n-에이코실에틸디메톡시실란 등의 포화 알킬에틸디메톡시실란 (a=2, m=1, n=2); saturated alkylethyldimethoxysilanes such as n-propylethyldimethoxysilane, n-butylethyldimethoxysilane, n-decylethyldimethoxysilane, n-hexadecylethyldimethoxysilane, and n-ecosylethyldimethoxysilane ( a = 2, m = 1, n = 2);

n-부틸프로필디메톡시실란, n-데실프로필디메톡시실란, n-헥사데실프로필디메톡시실란, n-에이코실프로필디메톡시실란 등의 포화 알킬프로필디메톡시실란류 (a=2, m=1, n=3) Saturated alkyl propyl dimethoxy silanes, such as n-butyl propyl dimethoxy silane, n-decyl propyl dimethoxy silane, n-hexadecyl propyl dimethoxy silane, and n-eicosyl propyl dimethoxy silane (a = 2, m = 1). , n = 3)                     

n-프로필메틸디에톡시실란, n-부틸메틸디에톡시실란, n-데실메틸디에톡시실란, n-헥사데실메틸디에톡시실란, n-에이코실메틸디에톡시실란 등의 포화 알킬메틸디에톡시실란류 (a=2, m=2, n=1): Saturated alkylmethyl diethoxysilanes, such as n-propylmethyl diethoxysilane, n-butylmethyl diethoxysilane, n-decylmethyl diethoxysilane, n-hexadecylmethyl diethoxysilane, and n-eicosylmethyl diethoxysilane (a = 2, m = 2, n = 1):

n-프로필에틸디에톡시실란, n-부틸에틸디에톡시실란, n-데실에틸디에톡시실란, n-헥사데실에틸디에톡시실란, n-에이코실에틸디에톡시실란 등의 포화 알킬에틸디에톡시실란류 (a=2, m=2, n=2); Saturated alkyl ethyl diethoxysilanes, such as n-propyl ethyl diethoxy silane, n-butyl ethyl diethoxy silane, n-decyl ethyl diethoxy silane, n-hexadecyl ethyl diethoxy silane, and n-eicosyl ethyl diethoxy silane. (a = 2, m = 2, n = 2);

n-부틸프로필디에톡시실란, n-데실프로필디에톡시실란, n-헥사데실프로필디에톡시실란, n-에이코실프로필디에톡시실란 등의 포화 알킬프로필디에톡시실란류 (a=2, m=2, n=3); Saturated alkyl propyl diethoxysilanes, such as n-butyl propyl diethoxysilane, n-decyl propyl diethoxy silane, n-hexadecyl propyl diethoxy silane, and n- ethoxy propyl diethoxy silane (a = 2, m = 2) , n = 3);

n-프로필메틸디프로폭시실란, n-부틸메틸디프로폭시실란, n-데실메틸디프로폭시실란, n-헥사데실메틸디프로폭시실란, n-에이코실메틸디프로폭시실란 등의 포화 알킬메틸디프로폭시실란류 (a=2, m=3, n=1); saturated alkyls such as n-propylmethyldipropoxysilane, n-butylmethyldipropoxysilane, n-decylmethyldipropoxysilane, n-hexadecylmethyldipropoxysilane, n-ecosylmethyldipropoxysilane Methyldipropoxysilanes (a = 2, m = 3, n = 1);

n-프로필에틸디프로폭시실란, n-부틸에틸디프로폭시실란, n-데실에틸디프로폭시실란, n-헥사데실에틸디프로폭시실란, n-에이코실에틸디프로폭시실란 등의 포화 알킬에틸디프로폭시실란류 (a=2, m=3, n=2); saturated alkyls such as n-propylethyldipropoxysilane, n-butylethyldipropoxysilane, n-decylethyldipropoxysilane, n-hexadecylethyldipropoxysilane, n-ecosylethyldipropoxysilane Ethyldipropoxysilanes (a = 2, m = 3, n = 2);

n-부틸프로필디프로폭시실란, n-데실프로필디프로폭시실란, n-헥사데실프로필디프로폭시실란, n-에이코실프로필디프로폭시실란 등의 포화 알킬프로필디프로폭시실란류 (a=2, m=3, n=3); Saturated alkyl propyl dipropoxy silanes, such as n-butyl propyl dipropoxy silane, n-decyl propyl dipropoxy silane, n-hexadecyl propyl dipropoxy silane, and n- ecoxy propyl dipropoxy silane (a = 2, m = 3, n = 3);

n-프로필트리메톡시실란, n-부틸트리메톡시실란, n-데실트리메톡시실란, n-헥사데실트리메톡시실란, n-에이코실트리메톡시실란 등의 포화 알킬트리메톡시실란 류 (a=3, m=1); Saturated alkyl trimethoxysilanes, such as n-propyl trimethoxysilane, n-butyl trimethoxysilane, n-decyl trimethoxysilane, n-hexadecyl trimethoxysilane, and n-eicosyl trimethoxysilane (a = 3, m = 1);

n-프로필트리에톡시실란, n-부틸트리에톡시실란, n-데실트리에톡시실란, n-헥사데실트리에톡시실란, n-에이코실트리에톡시실란 등의 포화 알킬트리에톡시실란류 (a=3, m=2); Saturated alkyl triethoxysilanes, such as n-propyl triethoxysilane, n-butyl triethoxysilane, n-decyl triethoxysilane, n-hexadecyl triethoxysilane, and n-eicosyl triethoxysilane (a = 3, m = 2);

n-프로필트리프로폭시실란, n-부틸트리프로폭시실란, n-데실트리프로폭시실란, n-헥사데실트리프로폭시실란, n-에이코실트리프로폭시실란 등의 포화 알킬트리프로폭시실란류 (a=3, m=3) 등을 들 수 있고, 이들은 단독으로 또는 2종 이상 조합하여 사용할 수 있다. Saturated alkyl tripropoxy silanes, such as n-propyl tripropoxy silane, n-butyl tripropoxy silane, n-decyl tripropoxy silane, n-hexadecyl tripropoxy silane, and n-eicosyl tripropoxy silane (a = 3, m = 3), etc. These can be used individually or in combination of 2 or more types.

이들 중, n-부틸트리메톡시실란, n-데실트리메톡시실란, n-헥사데실트리메톡시실란, n-데실디메틸메톡시실란, n-헥사데실디메틸메톡시실란, n-부틸트리에톡시실란, n-데실트리에톡시실란, n-헥사데실트리에톡시실란, n-데실에틸디에톡시실란, n-헥사데실에틸디에톡시실란, n-부틸트리프로폭시실란, n-데실트리프로폭시실란, n-헥사데실트리프로폭시실란 등이 특히 바람직하다. Among them, n-butyltrimethoxysilane, n-decyltrimethoxysilane, n-hexadecyltrimethoxysilane, n-decyldimethylmethoxysilane, n-hexadecyldimethylmethoxysilane, n-butyltrie Oxysilane, n-decyltriethoxysilane, n-hexadecyltriethoxysilane, n-decylethyl diethoxysilane, n-hexadecylethyl diethoxysilane, n-butyl tripropoxysilane, n-decyl triprop Foxysilane, n-hexadecyl tripropoxysilane, etc. are especially preferable.

실릴기 함유 화합물의 함유 비율로서는 무기 입자 100 질량부에 대하여 5 질량부 이하인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 3 질량부 이하이다. 실릴기 함유 화합물의 비율이 과대한 경우에는, 얻어지는 무기 입자 함유 조성물을 보존할 때에 점도가 경시적으로 상승하거나, 실릴기 함유 화합물 끼리 반응이 발생하여 소성 후에 유기 물질이 잔류하는 원인이 되기도 하는 경우가 있다. As a content rate of a silyl group containing compound, it is preferable that it is 5 mass parts or less with respect to 100 mass parts of inorganic particles, More preferably, it is 3 mass parts or less. When the proportion of the silyl group-containing compound is excessive, when preserving the inorganic particle-containing composition obtained, the viscosity increases over time, or when the silyl group-containing compounds react, which may cause organic substances to remain after firing. There is.

무기 입자 함유 조성물의 일례로서 바람직한 유전체층 형성용의 조성물의 예를 들면, 무기 입자 (유리 분말)로서 산화 납 50 내지 80 중량%, 산화 붕소 5 내 지 20 중량%, 산화 규소 10 내지 30 중량%로 이루어지는 혼합물 100 중량부와, 결착 수지로서 폴리부틸메타크릴레이트 10 내지 30 중량부와, 특정 가소제 0.1 내지 10 중량부와, 용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르 10 내지 50 중량부를 필수 성분으로서 함유하는 조성물을 들 수 있다. Examples of the composition for forming the dielectric layer, which is preferable as an example of the inorganic particle-containing composition, include inorganic particles (glass powder) at 50 to 80 wt% of lead oxide, 5 to 20 wt% of boron oxide, and 10 to 30 wt% of silicon oxide. A composition containing 100 parts by weight of the mixture, 10 to 30 parts by weight of polybutyl methacrylate as a binder resin, 0.1 to 10 parts by weight of a specific plasticizer, and 10 to 50 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether as a solvent as essential components. Can be mentioned.

본 발명의 조성물은 상기 무기 입자, 결착 수지, 특정 가소제 및 용제 및 임의 성분을 롤 혼련기, 믹서, 호모 믹서 등의 혼련기를 이용하여 혼련함으로써 제조할 수 있다. The composition of this invention can be manufactured by kneading the said inorganic particle, binder resin, a specific plasticizer and a solvent, and arbitrary components using kneading machines, such as a roll kneader, a mixer, and a homo mixer.

상기한 바와 같이 제조되는 본 발명의 조성물은 도포에 알맞은 유동성을 갖는 페이스트상의 조성물이고, 그 점도는 통상 1,000 내지 30,000 cp이고, 바람직하게는 3,000 내지 10,000 cp 이다. The composition of the present invention prepared as described above is a paste-like composition having fluidity suitable for application, and its viscosity is usually 1,000 to 30,000 cp, preferably 3,000 to 10,000 cp.

본 발명의 조성물은 이하에 상술하는 전사 필름 (본 발명의 전사 필름)을 제조하기 위해서 특히 적절하게 사용할 수 있다. The composition of this invention can be used especially suitably in order to manufacture the transfer film (transfer film of this invention) mentioned below.

또한, 본 발명의 조성물은 종래에 공지된 막 형성 재료층의 형성 방법, 즉 스크린 인쇄법 등에 의해서 해당 조성물을 기판의 표면에 직접 도포하고, 도포막을 건조함으로써 막 형성 재료층을 형성하는 방법에도 적합하게 사용할 수 있다. The composition of the present invention is also suitable for a method of forming a film forming material layer by applying the composition directly to the surface of a substrate by a method of forming a film forming material layer known in the art, that is, a screen printing method or the like, and drying the coating film. Can be used.

<전사 필름> <Transfer film>

본 발명의 전사 필름은 PDP의 구성 요소의 형성 공정, 특히 유전체층의 형성 공정에 적합하게 사용되는 복합 필름으로서, 본 발명의 조성물을 지지 필름 상에 도포하고, 도포막을 건조시키므로써 형성되는 막 형성 재료층을 구비하여 이루어진다. The transfer film of the present invention is a composite film suitably used in the process of forming a component of a PDP, in particular, the process of forming a dielectric layer, and is a film forming material formed by applying the composition of the present invention onto a support film and drying the coating film. Made of layers.                     

즉, 본 발명의 전사 필름은 무기 입자, 결착 수지 및 특정 가소제를 함유하는 막 형성 재료층이 지지 필름 상에 형성되어 이루어져 있다.That is, in the transfer film of the present invention, a film forming material layer containing inorganic particles, a binder resin, and a specific plasticizer is formed on a support film.

또한, 본 발명의 전사 필름은 후술하는 레지스트막을 지지 필름 상에 형성하고, 그 위에 본 발명의 조성물을 도포하고, 건조하여 이루어지는 것 (적층막)일 수 있다. The transfer film of the present invention may be a laminate (laminated film) formed by forming a resist film to be described later on a support film, applying the composition of the present invention thereon, and drying the film.

(1) 전사 필름의 구성: (1) Composition of the transfer film:

도 2(가)는 롤상으로 권취된 본 발명의 전사 필름을 나타내는 개략 단면도이고, 도 2(나)는 해당 전사 필름의 층 구성을 나타내는 단면도 [(가)의 부분 상세도]이다. Fig. 2 (a) is a schematic sectional view which shows the transfer film of this invention wound up in roll shape, and Fig. 2 (b) is sectional drawing (partial detail drawing of (a)] which shows the laminated constitution of this transfer film.

도 2에 나타내는 전사 필름은 본 발명의 전사 필름의 일례로서, PDP를 구성하는 유전체층을 형성하기 위해서 사용되는 복합 필름이고, 통상 지지 필름 (F1)과, 이 지지 필름 (F1)의 표면에 박리 가능하게 형성된 막 형성 재료층 (F2)와, 이 막 형성 재료층 (F2)의 표면에 박리하기 쉽게 설치된 커버 필름 (F3)으로 구성되어 있다. 커버 필름 (F3)은 막 형성 재료층 (F2)의 성질에 따라서는 사용되지 않는 경우도 있다. The transfer film shown in FIG. 2 is a composite film used in order to form the dielectric layer which comprises a PDP as an example of the transfer film of this invention, and can peel normally on the support film F1 and the surface of this support film F1. It is comprised by the film formation material layer F2 formed easily, and the cover film F3 provided in the surface of this film formation material layer F2 so that peeling is easy. The cover film F3 may not be used depending on the property of the film forming material layer F2.

전사 필름을 구성하는 지지 필름 (F1)은 내열성 및 내용제성을 가짐과 동시에 가요성을 갖는 수지 필름인 것이 바람직하다. 지지 필름 (F1)이 가요성을 가지므로써 롤 코팅기, 블레이드 코팅기 등을 사용하여 페이스트상의 조성물 (본 발명의 조성물)을 도포할 수 있고, 이에 따라 막 두께가 균일한 막 형성 재료층을 형성할 수 있음과 동시에 형성된 막 형성 재료층을 롤상으로 권회한 상태로 보존하여 공급할 수 있다. It is preferable that the support film (F1) which comprises a transfer film is a resin film which has heat resistance and solvent resistance, and has flexibility. Since the support film F1 is flexible, a paste-like composition (composition of the present invention) can be applied using a roll coater, a blade coater, or the like, thereby forming a film forming material layer with a uniform film thickness. At the same time, the formed film forming material layer can be stored and supplied in a rolled state.

지지 필름 (F1)을 형성하는 수지로서는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에스테르, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리스티렌, 폴리이미드, 폴리비닐알코올, 폴리염화비닐, 폴리플루오로에틸렌 등의 불소 수지, 나일론, 셀룰로오스 등을 들 수 있다. 지지 필름 (F1)의 두께는, 예를 들면 20 내지 100 ㎛이다.As the resin forming the supporting film (F1), for example, fluorine resins such as polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyfluoroethylene, nylon, Cellulose, and the like. The thickness of the support film F1 is 20-100 micrometers, for example.

전사 필름을 구성하는 막 형성 재료층 (F2)는 소성됨으로써 유리 소결체 (유전체층)이 되는 층이고, 유리 분말 (무기 입자), 결착 수지 및 특정 가소제가 필수 성분으로서 함유되어 있다. The film formation material layer (F2) which comprises a transfer film is a layer which becomes a glass sintered compact (dielectric layer) by baking, and contains glass powder (inorganic particle), binder resin, and a specific plasticizer as essential components.

막 형성 재료층 (F2)의 두께는 유리 분말의 함유율, 패널의 종류나 크기등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 5 내지 200 ㎛이고, 바람직하게는 10 내지 100㎛이다. 이 두께가 5 ㎛ 미만인 경우에는 최종적으로 형성되는 유전체층의 막 두께가 과소한 것이 되고, 소기의 유전 특성을 확보할 수 없는 경우가 있다. 통상 이 두께가 10 내지 100 ㎛이면, 대형 패널에 요구되는 유전체층의 막 두께를 충분히 확보할 수 있다. The thickness of the film forming material layer (F2) also varies depending on the content of the glass powder, the type and size of the panel, and the like, for example, 5 to 200 µm, preferably 10 to 100 µm. When the thickness is less than 5 µm, the film thickness of the finally formed dielectric layer becomes too small, and desired dielectric properties may not be secured. Usually, when this thickness is 10-100 micrometers, the film thickness of the dielectric layer calculated | required for a large panel can fully be ensured.

전사 필름을 구성하는 커버 필름 (F3)은 막 형성 재료층 (F2)의 표면 (유리 기판과의 접촉면)을 보호하기 위한 필름이다. 이 커버 필름 (F3)도 가요성을 갖는 수지필름인 것이 바람직하다. 커버 필름 (F3)을 형성하는 수지로서는 지지 필름 (F1)을 형성하는 것으로서 예시한 수지를 들 수 있다. 커버 필름 (F3)의 두께는, 예를 들면 20 내지 100 ㎛이다. The cover film F3 which comprises a transfer film is a film for protecting the surface (contact surface with a glass substrate) of the film formation material layer F2. It is preferable that this cover film (F3) is also a resin film which has flexibility. As resin which forms cover film F3, resin illustrated as forming support film F1 is mentioned. The thickness of cover film F3 is 20-100 micrometers, for example.

(2) 전사 필름의 제조 방법: (2) Manufacturing Method of Transfer Film:                     

본 발명의 전사 필름은 지지 필름 (F1) 상에 막 형성 재료층 (F2)을 형성하고, 해당 막 형성 재료층 (F2) 상에 커버 필름 (F3)을 설치 (압착)하므로써 제조할 수 있다. The transfer film of this invention can be manufactured by forming a film forming material layer F2 on the support film F1, and providing (pressing) the cover film F3 on the said film forming material layer F2.

막 형성 재료층의 형성 방법으로서는 무기 입자, 결착 수지, 특정 가소제 및 용제를 함유하는 본 발명의 조성물을 지지 필름 상에 도포하고 도포막을 건조하여 상기 용제의 일부 또는 전부를 제거하는 방법을 들 수 있다. As a formation method of a film formation material layer, the method of apply | coating the composition of this invention containing an inorganic particle, binder resin, a specific plasticizer, and a solvent on a support film, drying a coating film, and removing part or all of the said solvent is mentioned. .

본 발명의 조성물을 지지 필름 상에 도포하는 방법으로서는, 막 두께가 크고 예를 들면, 20 ㎛ 이상), 막 두께의 균일성이 우수한 도포막을 효율적으로 형성할 수 있다는 관점에서, 롤 코팅기에 의한 도포 방법, 닥터 블레이드 등의 블레이드 코팅기에 의한 도포 방법, 커튼 코팅기에 의한 도포 방법, 와이어 코팅기에 의한 도포 방법등을 바람직한 것으로 들 수 있다. As a method of apply | coating the composition of this invention on a support film, it is apply | coated by a roll coater from a viewpoint that a film thickness is large and it can form efficiently the coating film excellent in the uniformity of film thickness, for example. The method, the coating method by blade coaters, such as a doctor blade, the coating method by a curtain coater, the coating method by a wire coater, etc. are mentioned as a preferable thing.

또한, 본 발명의 조성물이 도포되는 지지 필름의 표면에는 이형 처리가 실시되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 막 형성 재료층을 전사한 후에, 해당 막 형성 재료층으로부터 지지 필름을 쉽게 박리할 수 있다. Moreover, it is preferable that the mold release process is given to the surface of the support film to which the composition of this invention is apply | coated. Thereby, after transferring a film forming material layer, a support film can be peeled easily from this film forming material layer.

지지 필름 상에 형성된 본 발명의 조성물에 의한 도포막은 건조됨으로써 용제의 일부 또는 전부가 제거되고, 전사 필름을 구성하는 막 형성 재료층이 된다. 본 발명의 조성물에 의한 도포막의 건조 조건으로서는, 예를 들면 40 내지 150 ℃에서 0.1 내지 30 분간 정도가 된다. 건조 후에 있어서의 용제의 잔존 비율 (막 형성 재료층 중의 용제의 함유 비율)은, 통상 10 중량% 이하가 되고, 기판에 대한 점착성 및 적절한 형상 유지성을 막 형성 재료층에 발휘시키는 관점에서 1 내지 5 중량%인 것이 바람직하다. The coating film by the composition of this invention formed on the support film is dried, and one part or all part of a solvent is removed, and it becomes a film formation material layer which comprises a transfer film. As drying conditions of the coating film by the composition of this invention, it becomes about 0.1 to 30 minutes at 40-150 degreeC, for example. The residual ratio of the solvent (the content ratio of the solvent in the film forming material layer) after drying is usually 10% by weight or less, and is 1 to 5 from the viewpoint of exhibiting the adhesiveness to the substrate and the appropriate shape retention to the film forming material layer. It is preferable that it is weight%.

상기한 바와 같이 형성된 막 형성 재료층 상에 설치되는 (통상, 열 압착되는) 커버 필름의 표면에도 이형 처리가 실시되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, 막 형성 재료층을 전사하기 전에, 해당 막 형성 재료층으로부터 커버 필름을 쉽게 박리할 수 있다. It is preferable that the mold release process is performed also on the surface of the cover film (usually thermocompression-bonded) provided on the film formation material layer formed as mentioned above. Thereby, the cover film can be easily peeled from the film forming material layer before the film forming material layer is transferred.

(3) 막 형성 재료층의 전사 (전사 필름의 사용 방법): (3) Transfer of Film Forming Material Layer (Use Method of Transfer Film):

지지 필름 상의 막 형성 재료층은 기판의 표면에 일괄 전사된다. 본 발명의 전사 필름에 의하면 이러한 간단한 조작에 의해서 막 형성 재료층을 유리 기판 상에 확실하게 형성할 수 있기 때문에, 유전체층 등의 PDP의 구성 요소의 형성 공정에서의 공정 개선 (고효율화)를 도모할 수 있음과 동시에, 형성되는 구성 요소의 품질의 향상 (예를 들면, 유전체층에 있어서의 안정된 유전성의 발현)을 도모할 수 있다. The film forming material layer on the support film is collectively transferred to the surface of the substrate. According to the transfer film of the present invention, since the film forming material layer can be reliably formed on the glass substrate by such a simple operation, the process improvement (high efficiency) can be achieved in the process of forming components of the PDP such as the dielectric layer. At the same time, it is possible to improve the quality of the components to be formed (for example, to develop stable dielectric properties in the dielectric layer).

<PDP의 제조 방법 (유전체층의 형성)> <Production Method of PDP (Formation of Dielectric Layer)>

본 발명의 제조 방법은 본 발명의 전사 필름을 구성하는 막 형성 재료층을 기판의 표면에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층을 소성함으로써 상기 기판의 표면에 유전체층을 형성하는 공정을 포함한다. The manufacturing method of the present invention includes a step of transferring a film forming material layer constituting the transfer film of the present invention to the surface of a substrate and forming a dielectric layer on the surface of the substrate by firing the transferred film forming material layer.

도 2에 나타낸 바와 같은 구성의 전사 필름에 의한 막 형성 재료층의 전사 공정의 일례를 표시하면 이하와 같다. An example of the transfer process of the film formation material layer by the transfer film of the structure as shown in FIG. 2 is shown as follows.

(1) 롤상으로 권회된 상태의 전사 필름을 기판의 면적에 따른 크기로 재단한다. (1) The transfer film of the state wound in roll shape is cut out to the magnitude | size according to the area of a board | substrate.                     

(2) 재단한 전사 필름에 있어서의 막 형성 재료층 (F2)의 표면에서 커버 필름 (F3)을 박리한 후, 기판의 표면에 막 형성 재료층 (F2)의 표면이 접촉하도록 전사 필름을 중첩시킨다. (2) After peeling off the cover film F3 from the surface of the film formation material layer F2 in the cut transfer film, the transfer film is superposed so that the surface of the film formation material layer F2 may contact the surface of a board | substrate. Let's do it.

(3) 기판에 중첩된 전사 필름 상에 가열 롤러를 이동시켜 열압착시킨다. (3) The heat roller is moved and thermocompressed on the transfer film superimposed on the substrate.

(4) 열압착에 의해 기판에 고정된 막 형성 재료층 (F2)으로부터 지지 필름 (F1)을 박리 제거한다. (4) The support film F1 is peeled off from the film formation material layer F2 fixed to the board | substrate by thermocompression bonding.

상기와 같은 조작에 의해, 지지 필름 (F1) 상의 막 형성 재료층 (F2)이 기판 상에 전사된다. 여기서, 전사 조건은, 예를 들면 가열 롤러의 표면 온도가 60 내지 12O ℃, 가열 롤러에 의한 롤압이 1 내지 5 kg/cm2, 가열 롤러의 이동 속도가 0.2 내지 10.0 m/분이다. 이러한 조작 (전사 공정)은 적층 장치에 의해 행할 수 있다. 또한, 기판은 예열될 수 있고 예열 온도는, 예를 들면 40 내지 100 ℃로 할 수 있다. By the above operation, the film forming material layer F2 on the support film F1 is transferred onto the substrate. Here, as for transfer conditions, the surface temperature of a heating roller is 60-12 degreeC, the roll pressure by a heating roller is 1-5 kg / cm <2> , and the moving speed of a heating roller is 0.2-10.0 m / min. Such an operation (transfer step) can be performed by a lamination device. In addition, the substrate may be preheated and the preheating temperature may be, for example, 40 to 100 ° C.

기판의 표면에 전사 형성된 막 형성 재료층 (F2)은 소성되어 무기 소결체 (유전체층)이 된다. 여기서, 소성 방법은 막 형성 재료층(F2)이 전사 형성된 기판을 고온분위기하에 배치하는 방법을 들 수 있다. 이에 따라, 막 형성 재료층 (F2)에 함유되어 있는 유기 물질 (예를 들면, 결착 수지, 잔류 용제, 특정 가소제, 각종 첨가제)가 분해 제거되고, 무기 입자가 용융 소결된다. 여기서, 소성 온도는 기판의 용융 온도, 막 형성 재료층 중의 구성 물질 등에 따라 다르지만, 예를 들면 300 내지 800 ℃가 되고, 더욱 바람직하게는 400 내지 600 ℃이다. The film-forming material layer F2 formed on the surface of the substrate is baked to form an inorganic sintered body (dielectric layer). Here, the baking method is a method of arranging the substrate on which the film-forming material layer F2 is transferred, under a high temperature atmosphere. Thereby, the organic substance (for example, binder resin, residual solvent, a specific plasticizer, and various additives) contained in the film formation material layer F2 is decomposed and removed, and an inorganic particle is melt-sintered. Here, the firing temperature varies depending on the melting temperature of the substrate, the constituent material in the film forming material layer, and the like, but is, for example, 300 to 800 ° C, more preferably 400 to 600 ° C.                     

<PDP의 제조 방법 (포토레지스트법을 이용한 구성 요소의 형성)> <Production Method of PDP (Formation of Components Using Photoresist Method)>

본 발명의 제조 방법은 본 발명의 전사 필름을 구성하는 막 형성 재료층을 기판 상에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층 상에 레지스트막을 형성하고, 해당 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트 패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함한다. In the production method of the present invention, a film forming material layer constituting the transfer film of the present invention is transferred onto a substrate, a resist film is formed on the transferred film forming material layer, and the resist film is exposed to light to form a latent image of the resist pattern. The resist film is developed to present a resist pattern, the film forming material layer is etched to form a pattern layer corresponding to the resist pattern, and the pattern layer is fired to form a barrier rib, an electrode, a resistor, a dielectric layer, Forming a component selected from phosphors, color filters and black matrices.

또는, 레지스트막과, 본 발명의 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층과의 적층막을 지지 필름 상에 형성하고, 지지 필름 상에 형성된 적층막을 기판 상에 전사하고, 해당 적층막을 구성하는 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함한다. Or a laminated film of a resist film and the film forming material layer obtained from the inorganic particle containing composition of this invention is formed on a support film, the laminated film formed on the support film is transferred onto a board | substrate, and the resist film which comprises this laminated film is The exposure process forms a latent image of the resist pattern, the resist film is developed to render the resist pattern present, the film forming material layer is etched to form a pattern layer corresponding to the resist pattern, and the pattern layer is calcined. Thereby forming a component selected from partitions, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices.

이하, PDP의 구성 요소인 「격벽」을 배면 기판 상의 표면에 형성하는 방법에 대해서 설명한다. 이 방법에 있어서는 [1] 막 형성 재료층의 전사 공정, [2] 레지스트막의 형성 공정, [3] 레지스트막의 노광 공정, [4] 레지스트막의 현상 공정, [5] 막 형성 재료층의 에칭 공정, [6] 격벽 패턴의 소성 공정에 의해, 기판의 표면에 격벽이 형성된다. Hereinafter, the method of forming the "bump" which is a component of a PDP in the surface on a back substrate is demonstrated. In this method, [1] the film forming material layer transfer step, the [2] resist film forming step, the [3] resist film exposing step, the [4] resist film developing step, the [5] film forming material layer etching step, [6] The partition wall is formed on the surface of the substrate by the baking step of the partition pattern.

도 3 및 도 4는 격벽을 형성하기 위한 일련의 공정을 나타내는 개략 단면도이다. 도 3 및 도 4에 있어서, 11은 유리 기판이고, 이 유리 기판 상에는 플라즈마를 발생시키기 위한 전극 (12)이 등간격에 배열되고, 전극 (12)를 피복하도록, 유리 기판 (11)의 표면에 유전체층 (13)이 형성되어 있다. 3 and 4 are schematic cross-sectional views showing a series of processes for forming the partition wall. 3 and 4, 11 is a glass substrate, and on this glass substrate, electrodes 12 for generating plasma are arranged at equal intervals, and on the surface of the glass substrate 11 so as to cover the electrodes 12. The dielectric layer 13 is formed.

또한, 본 발명에 있어서, 「막 형성 재료층을 기판 상에 전사하는」 양태로서는 상기 유리 기판 (11)의 표면에 전사하는 것과 같은 양태 이외에, 상기 유전체층 (13)의 표면에 전사하는 것과 같은 양태도 포함되는 것으로 한다. In addition, in this invention, as an aspect which "transfers a film forming material layer on a board | substrate", in addition to the aspect which transfers to the surface of the said glass substrate 11, the aspect which transfers to the surface of the said dielectric layer 13 It shall also be included.

(1) 막 형성 재료층의 전사 공정: (1) Transfer process of film forming material layer:

막 형성 재료층의 전사 공정의 일례는 이하와 같다. An example of the transfer process of a film forming material layer is as follows.

전사 필름의 커버 필름 (도시 생략)을 박리한 후, 도 3(나)에 도시한 바와 같이, 유전체층 (13)의 표면에 막 형성 재료층 (21)의 표면이 접촉되도록 전사 필름 (20)을 중첩시키고, 이 전사 필름 (20)을 가열 롤러 등에 의해 열 압착한 후, 막 형성 재료층 (21)에서 지지 필름 (22)을 박리 제거한다. 이에 따라, 도 3(다)에 도시한 바와 같이, 유전체층 (13)의 표면에 막 형성 재료층 (21)이 전사되어 밀착한 상태가 된다. 여기서, 전사 조건은, 예를 들면 가열 롤러의 표면 온도가 80 내지 140 ℃, 가열 롤러에 의한 롤 압이 1 내지 5 kg/cm2, 가열 롤러의 이동 속도가 O.1 내지 1O.O m/분을 나타낼 수 있다. 또한, 유리 기판 (11)은 예열될 수 있고, 예열 온도로서는, 예를 들면 40 내지 100 ℃로 할 수 있다. After peeling off the cover film (not shown) of the transfer film, as shown in FIG. 3 (b), the transfer film 20 is brought into contact with the surface of the film forming material layer 21 on the surface of the dielectric layer 13. After overlapping and thermocompression-bonding this transfer film 20 with a heating roller etc., the support film 22 is peeled off from the film formation material layer 21. FIG. As a result, as shown in FIG. 3 (c), the film forming material layer 21 is transferred to and adhered to the surface of the dielectric layer 13. Here, the transfer conditions are, for example, the surface temperature of the heating roller is 80 to 140 ° C, the roll pressure by the heating roller is 1 to 5 kg / cm 2 , the moving speed of the heating roller is from 0.1 to 0.1 m / Can represent minutes. In addition, the glass substrate 11 can be preheated, and can be 40-100 degreeC as a preheating temperature, for example.

(2) 레지스트막의 형성 공정; (2) forming a resist film;

이 공정에서는 도 3(라)에 도시한 바와 같이, 전사된 막 형성 재료층 (21)의 표면에 레지스트막 (31)을 형성한다. 이 레지스트막 (31)을 구성하는 레지스트로서는 포지티브형 레지스트 및 네가티브형 레지스트 중의 하나일 수 있다. In this step, as shown in FIG. 3 (d), a resist film 31 is formed on the surface of the transferred film forming material layer 21. The resist constituting the resist film 31 may be one of a positive resist and a negative resist.

레지스트막 (31)은 스크린 인쇄법, 롤 도포법, 회전 도포법, 유연 도포법 등 여러가지 방법에 따라 레지스트를 도포한 후, 도포막을 건조함으로써 형성할 수 있다. 여기서, 도포막의 건조 온도는 통상 60 내지 130 ℃ 정도이다. The resist film 31 can be formed by applying a resist in accordance with various methods such as a screen printing method, a roll coating method, a rotary coating method, a flexible coating method, and then drying the coating film. Here, the drying temperature of a coating film is about 60-130 degreeC normally.

또한, 지지 필름 상에 형성된 레지스트막을 막 형성 재료층 (21)의 표면에 전사함으로써 형성할 수 있다. 이러한 형성 방법에 의하면 레지스트막의 형성 공정수를 줄일 수 있음과 동시에 얻어지는 레지스트막의 막 두께 균일성이 우수한 것으로 되기 때문에, 해당 레지스트막의 현상 처리 및 막 형성 재료층의 에칭 처리가 균일하게 행해지고, 형성되는 격벽의 높이 및 형상이 균일한 것이 된다. Furthermore, it can form by transferring the resist film formed on the support film to the surface of the film formation material layer 21. According to this forming method, the number of steps of forming the resist film can be reduced, and the film thickness uniformity of the resulting resist film is excellent. Therefore, the development process of the resist film and the etching process of the film forming material layer are performed uniformly, and the partition wall formed. The height and shape of are uniform.

레지스트막 (31)의 막 두께는 통상 0.1 내지 40 ㎛이고, 바람직하게는 0.5 내지 20 ㎛이다.The film thickness of the resist film 31 is 0.1-40 micrometers normally, Preferably it is 0.5-20 micrometers.

(3) 레지스트막의 노광 공정:(3) Exposure process of resist film:

이 공정에서는 도 3(마)에 도시한 바와 같이, 막 형성 재료층 (21) 상에 형성된 레지스트막 (31)의 표면에 노광용 마스크 (M)을 통해 자외선 등의 방사선을 선택적으로 조사 (노광)하여, 레지스트 패턴의 잠상을 형성한다. 도 3(마)에 있어서 MA 및 MB는 각각 노광용 마스크 (M)에서의 광 투과부 및 차광부이다. In this step, as shown in FIG. 3 (E), radiation of ultraviolet rays or the like is selectively irradiated to the surface of the resist film 31 formed on the film forming material layer 21 through an exposure mask M (exposure). The latent image of a resist pattern is formed. In FIG. 3E, MA and MB are light transmitting portions and light blocking portions in the exposure mask M, respectively.

여기서, 방사선 조사 장치로서는 상기 포토 리소그래피법에서 사용되고 있는 자외선 조사 장치, 반도체 및 액정 표시 장치를 제조할 때에 사용되고 있는 노광 장치 등 특별히 한정되는 것은 아니다. Here, as a radiation irradiation apparatus, it does not specifically limit, for example, the ultraviolet irradiation apparatus used by the said photolithographic method, the exposure apparatus used when manufacturing a semiconductor, and a liquid crystal display device.

(4) 레지스트막의 현상 공정: (4) Developing process of resist film:

이 공정에서는 노광된 레지스트막을 현상 처리함으로써 레지스트 패턴 (잠상)을 현재화시킨다. In this step, the exposed resist film is developed to present the resist pattern (latent image).

여기서, 현상 처리 조건으로서는 레지스트막 (31)의 종류 등에 따라, 현상액의 종류ㆍ조성ㆍ농도, 현상 시간, 현상 온도, 현상 방법 (예를 들면, 침지법, 요동법, 샤워법, 스프레이법, 퍼들법), 현상 장치 등을 적절하게 선택할 수 있다. Here, as the development treatment conditions, depending on the kind of the resist film 31 and the like, the type, composition, and concentration of the developing solution, the developing time, the developing temperature, the developing method (for example, the dipping method, the shaking method, the shower method, the spray method, the puddle) Method), a developing apparatus, etc. can be selected suitably.

이 현상 공정에 의해, 도 4(바)에 도시한 바와 같이, 레지스트 잔류부 (35A)와, 레지스트 제거부 (35B)로 구성되는 레지스트 패턴 (35) (노광용 마스크 (M)에 대응하는 패턴)이 형성된다. By this developing step, as shown in Fig. 4 (bar), the resist pattern 35 (pattern corresponding to the exposure mask M) composed of the resist remaining portion 35A and the resist removing portion 35B. Is formed.

이 레지스트 패턴 (35)은 다음 공정 (에칭 공정)에 있어서의 에칭 마스크로서 작용하는 것이고, 레지스트 잔류부 (35A)의 구성 재료 (광경화된 레지스트)는 막 형성 재료층 (21)의 구성 재료보다도 에칭액에 대한 용해 속도가 작은 것이 필요하다. This resist pattern 35 acts as an etching mask in the next step (etching step), and the constituent material (photocured resist) of the resist remaining portion 35A is formed more than the constituent material of the film forming material layer 21. It is necessary that the dissolution rate to the etching solution is small.

(5) 막 형성 재료층의 에칭 공정; (5) an etching step of the film forming material layer;

이 공정에서는 막 형성 재료층을 에칭 처리하고, 레지스트 패턴에 대응하는 격벽 패턴층을 형성한다.In this step, the film forming material layer is etched to form a partition pattern layer corresponding to the resist pattern.

즉, 도 4(사)에 도시한 바와 같이, 막 형성 재료층 (21) 중, 레지스트 패턴 (35)의 레지스트 제거부 (35B)에 대응하는 부분이 에칭액에 용해되어 선택적으로 제거된다. 도 4(사)는 에칭 처리 중의 상태를 나타낸다. That is, as shown in Fig. 4 (g), the portion of the film forming material layer 21 corresponding to the resist removing portion 35B of the resist pattern 35 is dissolved in the etching solution and selectively removed. 4 (G) shows the state during the etching process.

그리고, 또한 에칭 처리를 계속하면, 도 4(아)에 도시한 바와 같이, 막 형성 재료층 (21)에 있어서의 소정의 부분이 완전히 제거되어 유전체층 (13)이 노출된다. 이에 따라, 재료층 잔류부 (25A)와 재료층 제거부 (25B)로 구성되는 격벽 패턴층 (25)이 형성된다. Further, if the etching process is continued, as shown in Fig. 4A, a predetermined portion of the film forming material layer 21 is completely removed to expose the dielectric layer 13. As a result, the partition pattern layer 25 including the material layer remaining portion 25A and the material layer removing portion 25B is formed.

여기서, 에칭 처리 조건으로서는 막 형성 재료층 (21)의 종류 등에 따라, 에칭액의 종류ㆍ조성ㆍ농도, 처리 시간, 처리 온도, 처리 방법 (예를 들면, 침지법, 요동법, 샤워법, 스프레이법, 퍼들법), 처리 장치 등을 적절하게 선택할 수 있다. Here, as the etching treatment conditions, the type, composition, and concentration of the etching liquid, the treatment time, the treatment temperature, and the treatment method (for example, the dipping method, the shaking method, the shower method, and the spray method, depending on the kind of the film forming material layer 21, etc.). , Puddle method), a processing apparatus, etc. can be selected suitably.

또한, 에칭액으로서 현상 공정에서 사용한 현상액과 동일한 용액을 사용할 수 있도록 레지스트막 (31) 및 막 형성 재료층 (21)의 종류를 선택함으로써 현상 공정과 에칭 공정을 연속적으로 실시할 수 있게 되고, 공정의 간략화에 의한 제조 효율의 향상을 도모할 수 있다. Further, by selecting the types of the resist film 31 and the film forming material layer 21 so that the same solution as that used in the developing step can be used as the etching solution, the developing step and the etching step can be performed continuously. The improvement of the manufacturing efficiency by the simplification can be aimed at.

여기서, 레지스트 패턴 (35)을 구성하는 레지스트 잔류부 (35A)가 에칭 처리시에 서서히 용해되고, 격벽 패턴층 (25)이 형성된 단계 (에칭 처리의 종료 시간)에서 완전히 제거되는 것이 바람직하다. Here, it is preferable that the resist remaining portion 35A constituting the resist pattern 35 is gradually dissolved during the etching process and completely removed in the step (end time of etching process) in which the partition pattern layer 25 is formed.

또한, 에칭 처리 후에 레지스트 잔류부 (35A)의 일부 또는 전부가 잔류되어도, 해당 레지스트 잔류부 (35A)는 다음 소성 공정에서 제거된다. In addition, even if part or all of the resist residual part 35A remains after the etching process, the resist residual part 35A is removed in the next baking step.

(6) 격벽 패턴층의 소성 공정: (6) The firing process of the partition pattern layer:

이 공정에서는 격벽 패턴층 (25)을 소성 처리하여 격벽을 형성한다. 이에 따라, 재료층 잔류부 (25A) 중의 유기 물질이 소실되어 격벽이 형성되고, 도 4(자) 에 도시한 바와 같은, 유전체층 (13)의 표면에 격벽 (40)이 형성되어 이루어지는 패널 재료 (50)을 얻을 수 있다. 그리고, 이 패널 재료 (50)에 있어서, 격벽 (40)에 의해 구획되는 공간 (재료층 제거부 25B에 유래하는 공간)은 플라즈마 작용 공간이 된다. In this step, the partition pattern layer 25 is baked to form partition walls. As a result, a panel material is formed in which the organic material in the material layer remaining portion 25A is lost to form a partition wall, and the partition wall 40 is formed on the surface of the dielectric layer 13 as shown in FIG. 50) can be obtained. In this panel material 50, the space partitioned by the partition wall 40 (space derived from the material layer removal part 25B) becomes a plasma working space.

여기서, 소성 처리 온도는 재료층 잔류부 (25A) 중의 유기 물질이 소실되는 온도일 필요가 있고, 통상 400 내지 600 ℃이다. 또한, 소성 시간은 통상 10 내지 90 분간이다. Here, the baking treatment temperature needs to be a temperature at which the organic substance in the material layer remaining portion 25A disappears, and is usually 400 to 600 ° C. In addition, baking time is 10 to 90 minutes normally.

<포토 레지스트법을 이용한 바람직한 실시 양태>Preferred Embodiments Using Photoresist Method

본 발명의 PDP의 형성 방법은 도 3 및 도 4에 나타낸 것과 같은 방법으로 한정되는 것은 아니다. The formation method of the PDP of this invention is not limited to the method as shown in FIG. 3 and FIG.

여기서, PDP의 구성 요소를 형성하기 위한 다른 바람직한 방법으로서 하기 (1) 내지 (3)의 공정에 의한 형성 방법을 들 수 있다. Here, the formation method by the process of following (1)-(3) is mentioned as another preferable method for forming the component of a PDP.

(1) 지지 필름 상에 레지스트막을 형성한 후, 해당 레지스트막 상에 본 발명의 무기 입자 함유 조성물을 도포, 건조함으로써 막 형성 재료층을 적층 형성한다. 여기서, 레지스트막 및 막 형성 재료층을 형성할 때는 롤 코팅기 등을 사용할 수 있고, 이에 따라 막 두께의 균일성이 우수한 적층막을 지지 필름 상에 형성할 수가 있다. (1) After forming a resist film on a support film, the film formation material layer is laminated | stacked and formed by apply | coating and drying the inorganic particle containing composition of this invention on this resist film. Here, when forming a resist film and a film forming material layer, a roll coater etc. can be used and a laminated film excellent in the uniformity of a film thickness can be formed on a support film by this.

(2) 지지 필름 상에 형성된 레지스트막과 막 형성 재료층과의 적층막을 기판상에 전사한다. 전사 조건으로서는 상기 『막 형성 재료층의 전사 공정』에서의 조건과 동일할 수 있다. (2) The laminated film of the resist film formed on the support film and the film forming material layer is transferred onto the substrate. The transfer conditions may be the same as those in the "transfer process of the film forming material layer".                     

(3) 상기 『레지스트막의 노광 공정』, 『레지스트막의 현상 공정』,『막 형성 재료층의 에칭 공정』 및 『격벽 패턴층의 소성 공정』과 마찬가지의 조작을 한다. 그 때, 먼저 기재한 것과 같이 레지스트막의 현상액과 막 형성 재료층의 에칭액을 동일한 용액으로 하고 『레지스트막의 현상 공정』과 『막 형성 재료층의 에칭 공정』을 연속적으로 실시하는 것이 바람직하다. (3) Operations similar to those of the above-described "exposure process of resist film", "development process of resist film", "etching process of film forming material layer" and "calcination process of partition pattern layer" are performed. In that case, it is preferable to perform the "development process of a resist film" and the "etching process of a film formation material layer" continuously, using the developing solution of a resist film and the etching liquid of a film formation material layer as the same solution as previously described.

이상과 같은 방법에 의하면 막 형성 재료층과 레지스트막이 기판 상에 일괄전사되기 때문에, 공정의 간략화에 따라 제조 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. According to the above-described method, since the film forming material layer and the resist film are transferred onto the substrate collectively, the production efficiency can be further improved by simplifying the process.

이상으로 PDP의 구성 요소로서 「격벽」을 형성하는 방법에 관해서 설명하였지만, 이 방법에 준하여 PDP를 구성하는 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스 등을 형성할 수 있다. As described above, a method of forming a "partition wall" as a component of the PDP has been described, but according to this method, an electrode, a resistor, a dielectric layer, a phosphor, a color filter, a black matrix and the like constituting the PDP can be formed.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 설명하지만, 본 발명은 이들에 의해 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 있어서 「부」는 「중량부」를 나타낸다. Hereinafter, although the Example of this invention is described, this invention is not limited by these. In addition, "part" shows a "weight part" below.

<실시예 1> <Example 1>

(1) 유리 페이스트 조성물 (무기 입자 함유 조성물)의 제조: (1) Preparation of Glass Paste Composition (Inorganic Particle Containing Composition):

유리 분말 (무기 입자)로서, 산화 납 70 중량%, 산화 붕소 10 중량%, 산화 규소 20 중량%의 조성을 갖는 PbO-B2O3-SiO2계의 혼합물 (연화점 500 ℃) 100 부, 결착 수지로서 부틸메타크릴레이트/2-에틸헥실메타크릴레이트/히드록시프로필메타크릴레이트 공중합체 (중량비 30/60/10, 중량 평균 분자량: 100,000) 17 부, 특정가소제로서 글리세린-1,2-디아세틸-3-모노라우레이트 4 부, 실릴기 함유 화합물로 서 n-데실트리메톡시실란 0.5 부, 용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르 34.3 부를 분산기를 사용하여 혼련함으로써 점도가 3000 cp인 본 발명의 조성물을 제조하였다. As a glass powder (inorganic particles), 70% by weight of lead oxide, 10% by weight boron oxide, 100 parts of the mixture (softening point 500 ℃) of PbO-B 2 O 3 -SiO 2 system having the silicon oxide 20% by weight of the composition, the binder resin 17 parts of butyl methacrylate / 2-ethylhexyl methacrylate / hydroxypropyl methacrylate copolymer (weight ratio 30/60/10, weight average molecular weight: 100,000), glycerin-1,2-diacetyl as a specific plasticizer 4 parts of -3-monolaurate, 0.5 parts of n-decyltrimethoxysilane as a silyl group-containing compound, and 34.3 parts of propylene glycol monomethyl ether as a solvent were kneaded using a disperser to obtain a composition of the present invention having a viscosity of 3000 cps. Prepared.

(2) 전사 필름의 제조 및 평가 (가요성ㆍ취급성): (2) Preparation and Evaluation of Transfer Film (Flexibility and Handleability):

상기 (1)에서 제조한 본 발명의 조성물을 미리 이형 처리한 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET)로 이루어진 지지 필름 (폭 400 mm, 길이 30 m, 두께 38 ㎛) 상에 블레이드 코팅기를 이용하여 도포하고, 형성된 도포막을 100 ℃에서 5 분간 건조함으로써 용제를 제거하고, 이에 따라 두께 50 ㎛의 막 형성 재료층을 지지 필름 상에 형성하였다. 계속해서 해당 막 형성 재료층 상에 미리 이형 처리한 PET로 이루어진 커버 필름 (폭 400 mm, 길이 30 m, 두께 25 ㎛)를 접착함으로써 도 2에 나타내는 것과 같은 구성을 갖는 본 발명의 전사 필름을 제조하였다. The composition of the present invention prepared in the above (1) was applied on a support film (400 mm wide, 30 m long, 38 μm thick) made of polyethylene terephthalate (PET) pre-release treated, using a blade coater, and formed The solvent was removed by drying the coating film at 100 ° C. for 5 minutes, whereby a film forming material layer having a thickness of 50 μm was formed on the supporting film. Subsequently, the transfer film of the present invention having the configuration as shown in Fig. 2 was produced by adhering a cover film (400 mm wide, 30 m long, 25 μm thick) made of PET previously released on the film forming material layer. It was.

얻어진 전사 필름은 유연성을 갖고 있고, 롤상으로 권취하는 조작을 쉽게 행할 수 있었다. 또한, 이 전사 필름을 구부려도 막 형성 재료층의 표면에 금이 가는 (굴곡 균열) 일이 생기지 않고, 해당 막 형성 재료층은 우수한 가요성을 갖는 것이었다. The obtained transfer film had flexibility, and the operation to wind up in roll shape could be performed easily. Further, bending of the transfer film did not cause cracking (bending cracking) on the surface of the film forming material layer, and the film forming material layer had excellent flexibility.

또한, 이 전사 필름으로부터 커버 필름을 박리하여, 막 형성 재료층의 표면이 유리 기판의 표면에 접촉되도록 해당 전사 필름 (지지 필름과 막 형성 재료층과의 적층체)를 가압하는 일 없이 중합시키고, 계속해서 해당 전사 필름을 유리 기판의 표면에서 박리하였더니 해당 막 형성 재료층은 유리 기판에 대하여 적절한 점착성을 나타내고, 또한 해당 막 형성 재료층에 응집 파괴를 일으키는 일 없이 전사 필름을 박리할 수 있어, 전사 필름으로서의 취급성 (핸들링성)은 양호한 것이었다. Moreover, the cover film is peeled from this transfer film, and it superpose | polymerizes without pressing the said transfer film (laminated body of a support film and a film formation material layer) so that the surface of a film formation material layer may contact the surface of a glass substrate, Subsequently, when the said transfer film was peeled off from the surface of a glass substrate, the said film formation material layer showed a moderate adhesiveness with respect to a glass substrate, and can also peel a transfer film without causing cohesive failure to the said film formation material layer, The handleability (handling property) as a transfer film was good.

(3) 막 형성 재료층의 전사: (3) transfer of the film forming material layer:

상기 (2)에 의해 얻어진 전사 필름으로부터 커버 필름을 박리한 후, 20 인치패널용의 유리 기판의 표면 (버스 전극의 고정면)에 막 형성 재료층의 표면이 당접되도록 해당 전사 필름 (지지 필름과 막 형성 재료층과의 적층체)를 중첩시키고, 이 전사 필름을 가열 롤에 의해 열 압착하였다. 여기서, 압착 조건으로서는 가열 롤의 표면 온도를 110 ℃, 롤압을 3 kg/cm, 가열 롤의 이동 속도를 1 m/분으로 하였다.After peeling a cover film from the transfer film obtained by said (2), the said transfer film (support film and a so that the surface of a film formation material layer may contact the surface (fixed surface of a bus electrode) of the glass substrate for 20-inch panels). Laminated body with a film formation material layer), and this transfer film was thermocompression-bonded by the heating roll. Here, as crimping | compression-bonding conditions, the surface temperature of the heating roll was 110 degreeC, the roll pressure was 3 kg / cm, and the moving speed of the heating roll was 1 m / min.

열 압착 처리의 종료 후, 유리 기판의 표면에 고정 (가열 접착)된 막 형성 재료층으로부터 지지 필름을 박리 제거하고, 해당 막 형성 재료층의 전사를 완료하였다.After completion of the thermocompression treatment, the support film was peeled off from the film forming material layer fixed (heat-bonded) to the surface of the glass substrate, and transfer of the film forming material layer was completed.

이 전사 공정에서, 지지 필름을 박리할 때에, 막 형성 재료층이 응집 파괴를 일으키는 일은 없고, 해당 막 형성 재료층은 충분히 큰 막 강도를 갖는 것이었다. 또한, 전사된 막 형성 재료층은 유리 기판의 표면에 대하여 양호한 접착성을 갖는 것이었다. In this transfer process, when peeling a support film, the film forming material layer did not cause cohesive failure, and the film forming material layer had sufficiently large film strength. In addition, the transferred film forming material layer had good adhesion to the surface of the glass substrate.

(4) 막 형성 재료층의 소성 (유전체층의 형성): (4) Firing of Film Forming Material Layer (Formation of Dielectric Layer):

상기 (3)에 의해 막 형성 재료층을 전사 형성한 유리 기판을 소성로 내에 배치하고, 로 내의 온도를 상온으로부터 10 ℃/분의 승온 속도로 590 ℃까지 승온하여, 590 ℃의 온도 분위기하에 30 분간에 걸쳐 소성 처리함으로써, 유리 기판의 표면에 유리 소결체로 이루어진 무색 투명의 유전체층을 형성하였다. The glass substrate which transfer-formed the film formation material layer by said (3) is arrange | positioned in a baking furnace, the temperature in a furnace is heated up to 590 degreeC with the temperature increase rate of 10 degree-C / min from normal temperature, and it is 30 minutes in 590 degreeC temperature atmosphere. By baking over, the colorless transparent dielectric layer which consists of glass sintered compact was formed on the surface of a glass substrate.                     

이 유전체층의 막 두께 (평균막 두께 및 공차)를 측정하였더니 30 ㎛±0.4 ㎛의 범위이고, 막 두께의 균일성이 우수한 것이었다. When the film thickness (average film thickness and tolerance) of this dielectric layer was measured, it was the range of 30 micrometers + -0.4 micrometers, and was excellent in the uniformity of film thickness.

또한, 얻어진 유전체층의 표면에 대하여 비접촉 막 두께 측정계 (료코사 제조, NH-3)를 사용하여 3 차원 측정을 실시하고, JIS 규격 (B O601)에 준하여 표면 조도 (Ra, Rb, Rc)를 구하였더니 Ra=0.23 ㎛, Rb=0.90 ㎛, Rc=O.55 ㎛이고, 표면 평활성이 우수한 것이었다. Ra=O.5 ㎛ 이하, Rb=1.5 ㎛ 이하, Rc=1.0 ㎛ 이하의 모두를 만족하는 것을 표면 평활성 양호로 하였다.In addition, three-dimensional measurement was performed on the surface of the obtained dielectric layer using a non-contact film thickness meter (NH-3, manufactured by Ryoko Corporation), and surface roughness (Ra, Rb, Rc) was determined according to JIS standard (B O601). Moreover, Ra = 0.23 micrometer, Rb = 0.90 micrometer, Rc = O55 micrometer, and it was excellent in surface smoothness. Surface smoothness which satisfies all Ra = 0.5 micrometer or less, Rb = 1.5 micrometers or less, and Rc = 1.0 micrometer or less was made favorable.

또한, 이렇게 하여, 유전체층을 갖는 유리 기판으로 이루어지는 패널 재료를 5 대분 제작하고, 형성된 유전체층의 광 투과율 (측정 파장 600 nm)을 측정하였더니 89 %이고, 양호한 투명성을 갖는 것이 확인되었다. In this way, five panel materials made of a glass substrate having a dielectric layer were produced, and the light transmittance (measurement wavelength 600 nm) of the formed dielectric layer was measured. As a result, it was confirmed that it was 89% and had good transparency.

<실시예 2> <Example 2>

유리 분말 중에 크롬 분말을 2 중량% 포함하는 것 이외는, 실시예 1과 동 조성, 동일한 방법으로 유리 페이스트 조성물을 제조하였다. 그 후, 실시예 1과 동일하게 하여 전사 필름을 제조하고, 실시예 1과 동일하게 하여 유전체층을 형성하였다. The glass paste composition was manufactured by the same composition and the same method as Example 1 except having contained 2 weight% of chromium powder in glass powder. Thereafter, a transfer film was produced in the same manner as in Example 1, and a dielectric layer was formed in the same manner as in Example 1.

이 유전체층의 막 두께 (평균 막 두께 및 공차)를 측정하였더니 30 ㎛±0.5 ㎛의 범위이고, 막 두께의 균일성이 우수한 것이었다. When the film thickness (average film thickness and tolerance) of this dielectric layer was measured, it was 30 micrometers +/- 0.5 micrometer, and was excellent in the uniformity of film thickness.

또한, 얻어진 유전체층의 표면에 대해서 실시예 1과 동일하게 하여 표면 조도 (Ra, Rb, Rc)를 구하였더니 Ra=0.25 ㎛, Rb=0.94 ㎛, Rc=0.57 ㎛이고, 표면 평활성이 우수한 것이었다. Further, the surface roughness (Ra, Rb, Rc) was determined in the same manner as in Example 1 with respect to the surface of the obtained dielectric layer, and Ra = 0.25 µm, Rb = 0.94 µm and Rc = 0.57 µm, and the surface smoothness was excellent.                     

또한, 이렇게 하여, 유전체층을 갖는 유리 기판으로 이루어지는 패널 재료를 5 대분 제작하고 형성된 유전체층의 광 투과율 (측정 파장 600 nm)을 측정하였더니 89 %이고, 양호한 투명성을 갖는 것이 확인되었다. In addition, in this way, five panel materials made of a glass substrate having a dielectric layer were produced, and the light transmittance (measurement wavelength 600 nm) of the formed dielectric layer was measured, and it was confirmed that it was 89% and had good transparency.

본 발명의 조성물에 의하면 하기와 같은 효과가 발휘된다. According to the composition of this invention, the following effects are exhibited.

(1) 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소 (예를 들면, 격벽ㆍ전극ㆍ저항체ㆍ유전체층ㆍ형광체ㆍ컬러 필터ㆍ블랙 매트릭스)를 적합하게 형성할 수 있다.(1) Components of the PDP (eg, partition walls, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices) having excellent surface smoothness can be formed suitably.

(2) 높은 광 투과율을 갖는 유리 소결체 (예를 들면, PDP를 구성하는 유전체층ㆍ격벽)를 적합하게 형성할 수 있다. (2) A glass sintered body having a high light transmittance (for example, dielectric layers and partition walls constituting PDP) can be suitably formed.

(3) 막 형성 재료층의 가요성이 우수한 전사 필름을 제조할 수 있다. (3) The transfer film excellent in the flexibility of the film forming material layer can be manufactured.

(4) 막 형성 재료층의 전사성 (기판에 대한 가열 접착성)이 우수한 전사 필름을 제조할 수 있다. (4) A transfer film excellent in transferability (heat adhesion to a substrate) of the film forming material layer can be produced.

본 발명의 전사 필름에 의하면 하기와 같은 효과가 발휘된다. According to the transfer film of this invention, the following effects are exhibited.

(1) 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소 (특히 유전체층)을 효율적으로 형성할 수 있다. (1) The component (especially dielectric layer) of PDP which is excellent in surface smoothness can be formed efficiently.

(2) 막 형성 재료층의 가요성이 우수하고 해당 막 형성 재료층의 표면에 굴곡 균열 (금이 감)이 생기는 일은 없다.(2) The flexibility of the film forming material layer is excellent, and bending cracks (cracking) do not occur on the surface of the film forming material layer.

(3) 유연성이 우수하고, 롤상으로 권취하는 조작을 쉽게 행할 수 있다. (3) It is excellent in flexibility, and the operation to wind up in roll shape can be performed easily.

(4) 막 형성 재료층이 적합한 점착성을 나타낸고, 취급성 (핸들링성)도 양호하다. (4) The film-forming material layer exhibited suitable adhesion, and its handleability (handling property) was also good.                     

(5) 막 형성 재료층의 전사성 (기판에 대한 가열 접착성)이 우수하다.(5) The transfer property (heat adhesion to the substrate) of the film forming material layer is excellent.

본 발명의 제조 방법에 의하면 하기와 같은 효과가 발휘된다. According to the manufacturing method of this invention, the following effects are exhibited.

(1) 표면 평활성이 우수한 PDP의 구성 요소 (예를 들면, 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스)를 효과적으로 형성할 수 있다. (1) Components of the PDP (eg, partition walls, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices) having excellent surface smoothness can be effectively formed.

(2) 구성 요소의 위치 정밀도가 높은 PDP를 효율적으로 형성할 수 있다. (2) PDPs with high positional accuracy of components can be efficiently formed.

(4) 막 두께가 큰 유전체층을 효율적으로 형성할 수 있다. (4) A dielectric layer having a large film thickness can be efficiently formed.

(5) 대형 패널에 요구되는 유전체층을 효율적으로 형성할 수 있다. (5) A dielectric layer required for a large panel can be efficiently formed.

(6) 막 두께의 균일성 및 표면의 평활성이 우수한 유전체층을 구비한 PDP를 효율적으로 제조할 수 있다. (6) A PDP having a dielectric layer excellent in film uniformity and surface smoothness can be efficiently produced.

Claims (5)

[A] 무기 입자,[A] inorganic particles, [B] 아크릴 수지, 및[B] an acrylic resin, and [C] 하기 화학식 1로 표시되는 화합물[C] a compound represented by Chemical Formula 1 을 함유하고, [A] 무기 입자 100 중량부에 대하여 [B] 아크릴 수지가 5 내지 80 중량부, [C] 하기 화학식 1로 표시되는 화합물이 0.1 내지 20 중량부인 것을 특징으로 하는 무기 입자 함유 조성물.And an inorganic particle containing 5 to 80 parts by weight of the [B] acrylic resin and 0.1 to 20 parts by weight of the compound represented by the following [C]: . <화학식 1><Formula 1>
Figure 112008030397914-pat00009
Figure 112008030397914-pat00009
식 중, R1, R2 및 R3 중 하나는 -CO-A (단, A는 탄소수 5 내지 20의 알킬기를 나타냄)로 표시되는 기를 나타내고, 그외의 둘은 각각 독립적으로, 수소 원자, 아세틸기 또는 프로파노일기를 나타낸다.Wherein one of R 1 , R 2 and R 3 represents a group represented by -CO-A (wherein A represents an alkyl group having 5 to 20 carbon atoms), and the other two are each independently a hydrogen atom, acetyl Group or propanoyl group.
제1항에 기재된 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층을 포함하는 것을 특징으로 하는 전사 필름. The film forming material layer obtained from the inorganic particle containing composition of Claim 1 is included, The transfer film characterized by the above-mentioned. 제1항에 기재된 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층을 기판 상에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층을 소성함으로써, 상기 기판 상에 유전체층을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법. A process for forming a dielectric layer on the substrate by transferring the film forming material layer obtained from the inorganic particle-containing composition according to claim 1 onto a substrate and firing the transferred film forming material layer. Method of manufacturing the panel. 제1항에 기재된 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층을 기판 상에 전사하고, 전사된 막 형성 재료층 상에 레지스트막을 형성하고, 해당 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트 패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법. The film forming material layer obtained from the inorganic particle-containing composition according to claim 1 is transferred onto a substrate, a resist film is formed on the transferred film forming material layer, and the resist film is exposed to light to form a latent image of the resist pattern. The resist film is developed to present a resist pattern, the film forming material layer is etched to form a pattern layer corresponding to the resist pattern, and the pattern layer is fired to form a partition wall, an electrode, a resistor, a dielectric layer, a phosphor, and a color. A method of manufacturing a plasma display panel, comprising the step of forming a component selected from a filter and a black matrix. 레지스트막과, 제1항에 기재된 무기 입자 함유 조성물로부터 얻어지는 막 형성 재료층과의 적층막을 지지 필름 상에 형성하고, 지지 필름 상에 형성된 적층막을 기판 상에 전사하고, 해당 적층막을 구성하는 레지스트막을 노광 처리하여 레지스트 패턴의 잠상을 형성하고, 해당 레지스트막을 현상 처리하여 레지스트 패턴을 현재화시키고, 해당 막 형성 재료층을 에칭 처리하여 레지스트 패턴에 대응하는 패턴층을 형성하며, 해당 패턴층을 소성 처리함으로써, 격벽, 전극, 저항체, 유전체층, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스로부터 선택되는 구성 요소를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.A laminated film of a resist film and a film forming material layer obtained from the inorganic particle-containing composition according to claim 1 is formed on a supporting film, the laminated film formed on the supporting film is transferred onto a substrate, and the resist film constituting the laminated film is formed. The exposure process forms a latent image of the resist pattern, the resist film is developed to render the resist pattern present, the film forming material layer is etched to form a pattern layer corresponding to the resist pattern, and the pattern layer is calcined. Thereby forming a component selected from partitions, electrodes, resistors, dielectric layers, phosphors, color filters, and black matrices.
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