KR100851243B1 - 반도체 제조용 오븐장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 오븐장치에 관한 것으로, 가열실 내부에 엘리베이터식으로 승강되는 메가진을 설치하여 기판 공급장치를 통해 가열실 내로 공급되는 기판이 승강되는 메가진에 순차적으로 인라인 탑재되어 기판의 본딩 및 몰딩부분이 경화되도록 함과 함께 상기 경화과정을 거친 여러개의 기판중 특정 기판을 메가진에서 선택적으로 인라인 배출하도록 함에 따라 많은 갯수의 기판을 한꺼번에 필요한 시간 동안 가열실에 머물게 할 수 있어 사용이 편리하면서도 작업능률이 향상되도록 한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 전면으로 도어(2)가 설치된 프레임 본체(1)와, 상기 프레임 본체 내부에 고정되어 열풍기에 의해 고온의 열이 내부로 공급되는 가열실(3)과, 상기 프레임 본체(1)와 가열실(3)의 일측을 수평상태로 잇도록 형성되어 본딩 또는 몰딩과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 내로 들어가도록 공급 통로역할을 하는 입구부(4)와, 상기 프레임 본체(1)와 가열실(3)의 타측을 수평상태로 잇도록 입구부(4)와 동일한 수평선상에 형성되어 가열실(3)에서 가열과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 외부로 빠져나가도록 배출 통로역할을 하는 출구부(5)와, 상기 프레임 본체(1)에 고정되어 전원을 공급받아 정,역구동력을 발생시키는 모터(6)와, 상기 프레임 본체(1)의 일측에 위치되도록 모터(6)에 축결합되어 모터의 구동방향에 따라 정,역회전하는 구동풀리(7)와, 상기 프레임 본체(1)의 일측에 위치되도록 구동풀리(7)와 이격되게 출결합되어 구동풀리의 회전력을 벨트(8)를 통해 전달받아 회전하는 종동풀리(9)와, 상기 가열실(3) 내에 수직상태로 고정된 지지대(20)와, 상기 지지대의 후면 외측 상부에 위치되도록 종동풀리(9)의 축과 이어진 상태로 회전가능하게 설치된 상부스프라켓(10)과, 상기 지지대(20)의 후면의 외측 하부에 회전가능하게 설치되어 상부스프라켓(10)의 회전력을 받아 회전할 수 있도록 상기 상부스프라켓과 연결체인(11)에 의해 연결된 하부스프라켓(12)과, 상기 지지대(20)의 전면에 일부가 연결체인(11)과 고정된 상태로 승강가능하게 설치되어 상기 연결체인의 회전방향에 따라 승강하는 승강부재(13)와, 상기 지지대(20)에 형성되어 연결체인(11)의 회전방향에 따라 승강부재(13)가 승강할 때 상기 승강부재와 연결체인(11)의 고정부분이 지지대(20)에 간섭됨이 없도록 하는 피난공(14)과, 서로 마주보는 면에 복수개의 탑재홈(17a)을 층층으로 가지며 상부고정브라켓(15) 및 하부고정브라켓(16)으로서 상기 승강부재(13)에 고정되어 상기 승강부재와 함께 승강되면서 입구부(4)를 통해 가열실(3) 내부로 인입되는 기판(리드프레임 또는 PCB기판)을 탑재하는 메거진(17)으로 구성된 것이다.
반도체, 반도체 제조, 오븐, 기판, 메가진

Description

반도체 제조용 오븐장치{oven apparatus for manufacturing a semiconductor}
도 1은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 외관을 일측면에서 본 사시도
도 2는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 외관을 타측면에서 본 사시도
도 3은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 내부 일부분을 보인 사시도
도 4는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 요부 구성을 확대하여 배면을 보인 사시도
도 5는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 구성요소인 가이드 절곡편 및 가이드 롤러의 결합구성을 보이기 위해 요부를 절단하여 나타낸 배면사시도이다.
도 6은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치를 나타낸 횡단면도
도 7a는 도 6의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도로서, 메가진이 하강한 상태도
도 7b는 도 6의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도로서, 메가진이 상승한 상태도
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1. 본체 프레임 2. 도어
3. 가열실 4. 입구부
5. 출구부 6. 모터
7. 구동풀리 8. 벨트
9. 종동풀리 10. 상부스프로켓
11. 연결체인 12. 하부스프로켓
13. 승강부재 14. 피난공
15. 상부고정브라켓 16. 하부고정브라켓
17. 메가진 17a. 탑재홈
18. 가이드 절곡편 19. 가이드 롤러
20. 지지대
본 발명은 반도체 제조 고정에서 각종 본딩 및 몰딩 직후 그 본딩 및 몰딩부분이 고온에 의해 경화되도록 하는 반도체 제조용 오븐분야에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 본딩 및 몰딩과정을 거친 반도체 리드프레임이나 PCB기판(이하 "기판"이라 한다)을 메가진에 탑재한 상태에서 한꺼번에 장시간 가열하여 줄 수 있도록 한 반도체 제조용 오븐장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조라인에서는 기판에 다이본딩, 와이어본딩, 패키지몰딩 등을 수행하게 되는데, 이때마다 상기 본딩 및 몰딩부분을 고온으로 가열하여 경화시켜 주도록 하여야 하고, 상기 본딩 및 몰딩부분을 고온에서 구워 경화시켜 주기 위한 장치가 바로 오븐장치이다.
상기 오븐장치는 제조하고자 하는 반도체에 따라 짧게는 수초에서 길게는 수 시간 동안 고온을 유지시켜 주어야 하므로 그에 맞는 오븐장치를 필요로 한다.
지금까지 알려진 종래의 오븐장치는 두가지 타입이 있는데, 그중 하나는 기판이 벨트에 탑재된 상태에서 상기 벨트의 회전으로 인해 기판이 인라인 형태로 가열실을 통과하는 동안 상기 가열실 내부로 고온의 열을 공급하므로서 기판의 본딩부분 및 몰딩부분이 경화되도록 하는 것이고, 다른 하나는 가열실 내부에 여러개의 기판이 탑재된 메거진을 넣고 상기 가열실 내부로 고온의 열을 공급하므로서 기판의 본딩 및 몰딩부분이 경화되도록 하는 것이다.
상기 두가지 타입중 첫번째 하나의 타입은, 본딩 및 몰딩 과정을 거친 기판을 인라인으로 계속해서 가열실을 통과시킴에 따라 짧은 시간동안 많은 갯수의 기판을 가열 처리할 수 있어 작업능률이 향상되는 장점은 있지만 기판을 오랜 시간동안 가열실에 머물게 할 수 없기 때문에 경화과정을 장시간 수행하는 경우에는 사용할 수 없는 단점도 있다.
또한 두번째인 다른 하나의 타입은, 본딩 및 몰딩 과정을 거친 많은 갯수의 기판을 메가진에 탑재시킨 다음 가열실에 인위적으로 집어 넣어 가열시키므로 오랜시간 동안(작업자가 원하는 시간 동안) 기판을 가열 처리할 수 있는 장점은 있지만 작업자가 외부에서 수동으로 메가진에 여러개의 기판을 탑재시킨 다음 상기 기판이 탑재된 메가진 또한 작업자가 직접 손으로 들고 가열실에 집어 넣어야 하므로 사용이 매우 불편하게 되는 단점도 있다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 가열실 내부에 엘리베이터식으로 승강되는 메거진을 설치하여 기판 공급장치를 통해 가열실 내로 수평 공급되는 기판이 승강되는 메거진에 순차적으로 탑재되도록 함에 따라 많은 갯수의 기판을 한꺼번에 필요한 시간 동안 가열실에 머물게할 수 있어 사용이 편리하면서도 작업능률도 향상되도록 하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적은, 전면으로 도어가 설치된 프레임 본체와, 상기 프레임 본체 내부에 고정되어 열풍기에 의해 고온의 열이 내부로 공급되는 가열실과, 상기 프레임 본체와 가열실의 일측을 수평상태로 잇도록 형성되어 본딩 또는 몰딩과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 내로 들어가도록 공급 통로역할을 하는 입구부와, 상기 프레임 본체와 가열실의 타측을 수평상태로 잇도록 입구부와 동일한 수평선상에 형성되어 가열실에서 가열과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 외부로 빠져나가도록 배출 통로역할을 하는 출구부와, 상기 프레임 본체에 고정되어 전원을 공급받아 정,역구동력을 발생시키는 모터와, 상기 프레임 본체의 일측에 위치되도록 모터에 축결합되어 모터의 구동방향에 따라 정,역회전하는 구동풀리와, 상기 프레임 본체의 일측에 위치되도록 구동풀리와 이격되게 출결합되어 구동풀리의 회전력을 벨트를 통해 전달받아 회전하는 종동풀리와, 상기 가열실 내에 수직상태로 고정된 지지대와, 상기 지지대의 후면 외측 상부에 위치되도록 종동풀리의 축과 이어진 상태로 회전가능하게 설치된 상부스프라켓과, 상기 지지대의 후면의 외측 하부에 회전가능하게 설치되어 상부스프라켓의 회전력을 받아 회전할 수 있도록 상기 상부스프라켓과 연결체인에 의해 연결된 하부스프라켓과, 상기 지지대 전면에 일부가 연결체인과 고정된 상태로 승강가능하게 설치되어 상기 연결체인의 회전방향에 따라 승강하는 승강부재와, 상기 지지대에 형성되어 연결체인의 회전방향에 따라 승강부재가 승강할 때 상기 승강부재와 연결체인의 고정부분이 지지대에 간섭됨이 없도록 하는 피난공과, 서로 마주보는 면에 복수개의 탑재홈을 층층으로 가지며 상부고정브라켓 및 하부고정브라켓으로서 상기 승강부재에 고정되어 상기 승강부재와 함께 승강되면서 입구부를 통해 가열실 내부로 인입되는 기판(리드프레임 또는 PCB기판)을 탑재하는 메거진으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 오븐장치를 제공함에 의해 달성될 수 있다.
이하 본 발명을 실시예로 도시한 첨부된 도 1 내지 도 7를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부된 도 1은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 외관을 일측면에서 본 사시도이고, 도 2는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 외관을 타측면에서 본 사시도이며, 도 3은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 내부 일부분을 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 요부 구성을 확대하여 배면을 보인 사시도이며, 도 5는 본 발명 반도체 제조용 오븐장치의 구성요소인 가이드 절곡편 및 가이드 롤러의 결합구성을 보이기 위해 요부를 절단하여 나타낸 배면사시도이고, 도 6은 본 발명 반도체 제조용 오븐장치를 나타낸 횡단면도이며, 도 7a 및 7b는 도 6의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.
본 발명은 전면으로 도어(2)를 가지며 여러개의 구성요소를 지지하는 프레임 본체(1)가 구비되고, 상기 프레임 본체 내부에는 열풍기에 의해 고온의 열이 내부로 공급되는 가열실(3)이 고정되며, 상기 프레임 본체(1)와 가열실(3)의 일측에는 본딩 또는 몰딩과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실(3) 내로 들어가도록 공급 통로역할을 하는 입구부(4)가 수평으로 이어지게 형성되고, 상기 프레임 본체(1)와 가열실(3)의 타측에는 입구부(4)와 동일한 수평선상에 위치되면서 가열실(3)에서 가열과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실(3) 외부로 빠져나가도록 배출 통로역할을 하는 출구부(5)가 수평으로 이어지게 형성된다.
상기 프레임 본체(1)에는 전원을 공급받아 정,역구동력을 발생시키는 모터(6)가 고정되고, 상기 프레임 본체(1)의 일측에는 모터(6)에 축결합된 상태에서 상기 모터의 구동방향에 따라 정,역회전하도록 구동풀리(7)가 설치되며, 상기 프레임 본체(1)의 일측에는 구동풀리(7)와 이격된 상태에서 구동풀리의 회전력을 벨트(8)를 통해 전달받아 회전하도록 종동풀리(9)가 설치되고,
상기 가열실 내에는 수직상태로 지지대(20)가 고정되고, 상기 지지대의 후면의 외측 상부에는 종동풀리(9)의 축과 이어진 상태로 회전가능하게 상부스프라켓(10)이 설치되며, 상기 지지대(20)의 후면의 외측 하부에는 상부스프라켓(10)의 회전력을 받아 회전할 수 있도록 상기 상부스프라켓(10)과 연결체인(11)에 의해 연결된 상태로 하부스프라켓(12)이 설치되고, 상기 지지대(20)의 전면에는 일부가 연결체인(11)과 고정된 상태에서 상기 연결체인의 회전방향에 따라 승강하도록 승강부재(13)가 설치된다.
상기 지지대(20)의 후면에는 연결체인(11)의 회전방향에 따라 승강부재(13)가 승강할 때 상기 승강부재와 연결체인(11)의 고정부분이 지지대(20)에 간섭됨이 없도록 피난공(14)이 형성되고, 상기 상부고정브라켓(15) 및 하부고정브라켓(16)으로서 상기 승강부재(13)에 고정되어 상기 승강부재와 함께 승강되면서 입구부(4)를 통해 가열실(3) 내부로 인입되는 리드프레임이나 PCB기판(이하 "기판"이라 한다)을 탑재하도록 서로 마주보는 면에 복수개의 탑재홈(17a)을 층층으로 갖는 메가진(17)으로 구성된다.
또한 상기 지지대(20)의 후면 내측과 측면 내측에는 각각 가이드 절곡편(18)이 고정되고, 승강부재(13)의 상,하부에는 각 가이드 절곡편(18)에 끼워진 상태로 가이드 롤러(19)가 회전가능하게 설치되어 상기 승강부재(13)의 승강시 각 가이드 롤러(19)가 가이드 절곡편(18)에 안내되면서 접촉에 의한 회전운동을 함에 따라 승강부재(13)의 승강이 안정적으로 수행되도록 한다.
이상의 구성에서 상부스프라켓(10) 대신 상부풀리를 사용하고, 하부스프라켓(12) 대신 상부풀리를 사용하며, 연결체인(11) 대신 연결벨트를 사용하여도 된다.
한편 모터(6)에 축결합된 상태로 프레임 본체(1)의 일측에 설치된 구동풀리(7)와 상기 구동풀리와 이격된 상태로 프레임 본체(1)의 일측에 설치된 종동풀리(9) 그리고 상기 구동풀리(7)의 회전력을 종동풀리(9)로 전달하여 주는 벨트(8)는 작업 과정에서 안전사고의 위험성이 있으므로 상기 프레임 본체(1)의 일측 외부에 안전커버를 고정하여 상기 안전커버에 의해 구동풀리(7)와 종동풀리(9) 그리고 벨트(8)가 동시에 보호되도록 함이 바람직하다.
이와 같이 구성된 본 발명 반도체 제조용 오븐장치에 의해 본딩 또는 몰딩과정을 거친 기판을 고온으로 가열시켜 상기 본딩 또는 몰딩부분이 경화되도록 하는 과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
다이본딩, 와이어본딩, 패키지몰딩 등의 수행과정을 거친 기판을 도시하지 않은 기판 이동장치를 이용하여 본 발명 구성요소중 하나인 프레임 본체(1)의 일측 입구부(4)로 하나씩 공급시켜 주는데, 이때 프레임 본체(1) 내의 가열실(3)에 위치된 메거진(17)은 완전하게 하강되어 있고, 이 경우 상기 메거진(17)의 서로 마주보는 면에 층층으로 형성된 각 탑재홈(17a)중 가장 상부의 탑재홈이 상기 입구부(4)와 동일한 수평선상을 유지하고 있으므로 상기 입구부(4)를 통해 공급되는 한장의 기판은 메거진(17)의 가장 상부에 형성된 탑재홈에 탑재된다.
상기와 같이 한장의 기판이 메거진(17)의 가장 상부에 있는 탑재홈(17a)에 탑재되고 나면, 프레임 본체(1)에 고정되어 있는 모터(6)가 콘트롤러(도시는 생략됨)의 제어신호에 따라 일정시간 동안 정구동하므로 상기 모터에 축결합된 구동풀리(7)는 모터(6)의 정구동력에 일방향으로 회전하고, 상기 구동풀리(7)의 일방향 회전력은 벨트(8)를 통해 역시 프레임 본체(1)에 축결합되어 있는 종동풀리(9)로 전달되므로 상기 종동풀리로 구동풀리(7)와 동일한 일방향으로 회전하며, 상기 종동풀리(9)의 회전시에는 종동풀리의 축과 이어진 상태로 지지대(20)의 후면 외측 상부에는 회전가능하게 설치되어 있는 상부스프라켓(10)이 일방향으로 회전되고, 상기 상부스프라켓의 회전시에는 상기 지지대(20)의 후면 외측 하부에 회전가능하 게 설치되어 상부스프라켓(10)과 연결체인(11)에 의해 연결되어 있는 하부스프라켓(12)도 일방향으로 회전한다.
따라서 상부스프라켓(10)과 하부스프라켓(12)을 연결하고 있는 연결체인(11)은 도 7a와 같은 상태에서 도면상 시계방향으로 회전하므로 상기 연결체인(11)에는 지지대(20)에 승강가능하게 설치된 승강부재(13)의 일부분이 고정되어 있고, 상기 승강부재에는 상,하부고정브라켓(15)(16)에 의해 메가진(17)이 고정되어 있음에 따라 상기 하나의 기판이 탑재된 상기 메가진(17)은 도 7b와 같이 상승하는데, 이때 모터(6)의 정구동은 콘트롤러의 제어신호에 따라 상기 메가진(17)에 형성된 탑재홈(17a)중 첫번째로 기판이 탑재되어 있는 바로 아래의 탑재홈이 입구부(4)와 동일 수평선상이 위치될 때까지 이루어지다가 정지되므로 이러한 동작이 반복될 경우 기판 이동장치에 의해 입구부(4)로 계속 공급되는 기판은 메가진(17)에 형성되어 있는 탑재홈(17a)중 가장 상부의 탑재홈에서 부터 차례대로 층층이 탑재될 것임은 이해 가능하다.
상기에서 연결체인(11)에 승강부재(13)의 일부가 고정된 상태에서 상기 승강부재가 연결체인(11)의 회전으로 인해 상승할 때 상기 연결체인(11)과 승강부재(13)의 고정부분이 지지대(20)에 간섭될 것이라 생각하겠지만 상기 지지대(20)의 후면에는 피난공(14)이 형성되어 있으므로 상기 승강부재(13)가 상승하거나 아니면 후술하는 작용에서 하강할 때 실제로 연결체인(11)과 승강부재(13)의 고정부분이 지지대(20)에 간섭되는 일은 절대로 없게 된다.
한편 상기한 과정을 거쳐 입구부(4)로 공급되는 기판이 메거진(17)에 모두 탑재되고 나면 상기 매거진이 내부에 위치되어 있는 가열실(3)은 완전히 밀폐됨과 동시에 도시하지 않은 열풍기가 작동하여 고온의 열을 가열실(3)로 공급시켜 주므로 상기 메거진(17)에 탑재된 기판의 본딩 또는 몰딩부분이 고온의 열에 의해 필요한 시간동안 경화과정을 거치게 되는데, 상기 경화과정에서 모터(6)를 필요한 시간 만큼 반복적으로 정,역구동시킬 경우 가열실(3) 내부에서 메가진(17)의 상승 및 하강이 수회 반복됨에 따라 상기 기판의 본딩 및 몰딩부분 경화는 전부분에 걸쳐 신속하면서도 완벽하게 이루어질 것이다.
상기 기판의 본딩 및 볼딩부분 경화가 완료된 이후에는 가열실(3) 내의 메가진(17)에 탑재된 상기 기판을 외부로 빼내는 배출과정을 거쳐야 하는데, 이하에서 기판의 배출과정을 설명하면 다음과 같다.
작업자가 프레임 본체(1)에 구비된 콘트롤러의 조작에 의해 가열실(3) 내에서 메가진(17)에 탑재된 다수의 기판중 특정기판의 배출을 선택하거나 아니면 순서적으로 모든 기판의 배출을 선택하면 그 선택에 따라 모터(6)의 구동방향 및 그 구동량이 결정되므로 상기 가열실(3) 내에서 메가진(17)이 승강부재(13)와 함께 상승 또는 하강하여 탑재된 각 기판중 선택된 기판이 출구부(5)와 동일 수평선상에 위치되도록 하고, 이후 기판 이동장치가 작동하여 상기 출구부와 동일 수평선상에 위치되어 있는 기판을 상기 출구부(5) 쪽으로 밀어주므로 결국 기판은 출구부를 통해 외부로 빠져나오게 되는 것이다.
참고로 본 발명에서 프레임 본체(1)의 일측 외부에 고정되어 구동풀리(7)와 종동풀리(9) 그리고 벨트(8)를 보호하는 안전커버(20)는 작업 과정에서 안전사고를 방지하기 위한 필요한 것이지 그 이외의 다른 목적을 위해 필요한 것은 아니다.
그러므로 본 발명은 다음과 같은 여러가지 효과가 있다.
첫째, 본딩 또는 몰딩된 여러개의 기판을 인라인형태로 자동으로 메가진(17)에 탑재시킬 수 있음은 물론 메가진에 탑재되어 가열 작업이 완료된 여러개의 기판중 필요한 특정 기판을 선택하여 다시 인라인형태로 자동으로 배출시킬 수 있으므로 작업성의 향상으로 인해 생산성이 향상된다.
둘째, 메가진에 탑재된 여러개의 기판을 가열실 내에서 한꺼번에 필요한 시간 동안 선택 가열시켜 본딩 또는 몰딩부분을 경화시켜 주므로 경화시간이 다른 여러 타임의 기판도 하나의 장치로서 사용이 가능함에 따라 사용자의 선택폭이 넓어짐에 따라 오븐장치의 구입에 따른 사용자의 경제적 부담을 덜어주게 된다.

Claims (2)

  1. 전면으로 도어가 설치된 프레임 본체와,
    상기 프레임 본체 내부에 고정되어 열풍기에 의해 고온의 열이 내부로 공급되는 가열실과,
    상기 프레임 본체와 가열실의 일측을 수평상태로 잇도록 형성되어 본딩 또는 몰딩과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 내로 들어가도록 공급 통로역할을 하는 입구부와,
    상기 프레임 본체와 가열실의 타측을 수평상태로 잇도록 입구부와 동일한 수평선상에 형성되어 가열실에서 가열과정을 거친 기판이 기판 이동장치에 의해 가열실 외부로 빠져나가도록 배출 통로역할을 하는 출구부와,
    상기 프레임 본체에 고정되어 전원을 공급받아 정,역구동력을 발생시키는 모터와,
    상기 프레임 본체의 일측에 위치되도록 모터에 축결합되어 모터의 구동방향에 따라 정,역회전하는 구동풀리와,
    상기 프레임 본체의 일측에 위치되도록 구동풀리와 이격되게 출결합되어 구동풀리의 회전력을 벨트를 통해 전달받아 회전하는 종동풀리와,
    상기 가열실 내에 수직상태로 고정된 지지대와,
    상기 지지대의 후면 외측 상부에 위치되도록 종동풀리의 축과 이어진 상태로 회전가능하게 설치된 상부스프라켓과,
    상기 지지대의 후면의 외측 하부에 회전가능하게 설치되어 상부스프라켓의 회전력을 받아 회전할 수 있도록 상기 상부스프라켓과 연결체인에 의해 연결된 하부스프라켓과,
    상기 지지대 전면에 일부가 연결체인과 고정된 상태로 승강가능하게 설치되어 상기 연결체인의 회전방향에 따라 승강하는 승강부재와,
    상기 지지대에 형성되어 연결체인의 회전방향에 따라 승강부재가 승강할 때 상기 승강부재와 연결체인의 고정부분이 지지대에 간섭됨이 없도록 하는 피난공과,
    서로 마주보는 면에 복수개의 탑재홈을 층층으로 가지며 상부고정브라켓 및 하부고정브라켓으로서 상기 승강부재에 고정되어 상기 승강부재와 함께 승강되면서 입구부를 통해 가열실 내부로 인입되는 기판(리드프레임 또는 PCB기판)을 탑재하는 메거진으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 오븐장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대의 후면 내측과 측면 내측에는 각각 가이드 절곡편이 고정되고, 승강부재의 상,하부에는 각 가이드 절곡편에 끼워진 상태로 가이드 롤러가 회전가능하게 설치되어 상기 승강부재의 승강시 각 가이드 롤러가 가이드 절곡편에 안내되면서 접촉에 의한 회전운동을 함에 따라 승강부재의 승강이 안정적으로 수행되도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 오븐장치.
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