KR100850073B1

KR100850073B1 - 세정장치의 노즐 구조

Info

Publication number: KR100850073B1
Application number: KR1020060135934A
Authority: KR
Inventors: 이수형
Original assignee: 동부일렉트로닉스 주식회사
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2008-08-04
Also published as: KR20080061437A

Abstract

본 발명의 세정장치 노즐 구조는 브라켓(30)이 린스 노즐아암(20)의 가로축에 대해 아암 지지대(50)에 의해 수평으로 설치되며, 그 양단부에 린스노즐(18)이 각각 대략 수직으로 설치된다. 린스노즐(18)에는 한 쌍의 린스 노즐라인(12)이 너트(40)를 이용하여 서로 소정의 간격을 두고 대략 수직으로 설치되어 고정되며, 브라켓(30)에 고정된 한 쌍의 린스 노즐라인(18)에 가해지는 응력을 감소하도록 너트(40)는 그 하부 내부에 형성된 나사부(42)와 상부 내부에 형성된 30∼45°의 경사부(44)로 구성된다.

본 발명에 의하면, 하나의 수평 브라켓에 한쌍의 린스 노즐라인이 너트에 의해 고정되므로, 린스 노즐사이에 일정한 간격이 유지되어 린스 노즐라인들의 간섭을 방지하고, 또한 너트에는 응력감소수단으로서 상부의 내부가 소정의 각이져 있는 경사부로 구성되므로, 린스 노즐라인에 가해지는 응력을 감소하여 현상불량을 방지하는 효과를 가진다.

포토 공정, 패턴 현상, 린즈, 노즐, 라인 간섭

Description

세정장치의 노즐 구조{NOZZLE STRUCTURE FOR A CLEANING DEVICE}

도 1은 종래의 세정장치의 노즐 구조를 나타내는 개략도이고,

도 2는 세정장치의 린스 노즐아암의 이동을 설명하기 위한 작동도이고,

도 3는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 세정장치의 노즐 구조를 나타내는 개략도이고,

도 4는 도 3의 린스 노즐라인과 너트와의 결합을 나타내는 도 3의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

20 : 노즐 린스아암 30 : 브라켓

40 : 너트 42 : 경사부

44 : 나사부 50 : 아암 지지대

52 : 수평 아암부 54 : 수직 지지부

본 발명은 초순수를 사용하여 웨이퍼를 세정하는 노즐 구조에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 현상공정에서 라지(large) 이물질(particle)이 발생하지 않도 록 세정액 공급라인의 간섭이 일어나지 않는 세정장치의 노즐 구조에 관한 것이다.

최근 반도체 소자가 고직접화되면서 웨이퍼 상에 구현해야 하는 회로의 패턴이 작아짐으로 인해 웨이퍼상의 패턴은 미세한 파티클(paticle)에 의해서도 반도체 소자의 불량을 발생시키게 되므로 세정 공정이 더욱 중요해지고 있다.

세정방법으로서, 종래에는 포토레지스트가 도포된 웨이퍼에 노광 장비를 이용하여 패턴을 노광한 후, 트랙 장비의 현상설비에서 현상 공정을 진행할 때 초순수로서 세정을 진행하는 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 린스 노즐 아암(10)은 수직으로 설치되어 린스노즐(18)과, 이 린스노즐(18)에 너트(19)를 이용하여 결합되는 한 쌍의 린스 노즐라인(12)과, 린스노즐(18)의 각각을 각각 고정시키는 브라켓(14)과, 브라켓(14)을 고정하는 아암 지지대(16)와, 초순수 공급라인(도시하지 않음)으로 구성된다.

이와같이 구성된 린스 노즐 아암(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, ▲표시의 홈(home)의 위치에서 웨이퍼의 센터까지 좌우(센터이동), 상하(업/다운 이동) 운동을 하며 움직이게 되는데, 홈의 위치에서 업(up)동작(1∼2번)을 취하고 웨이퍼의 센터로 이동(3번)하는 과정을 거쳐 웨이퍼의 센터에서는 다운(down)동작(4번)을 수행하여 초순수를 노즐(18)을 통해 토출을 행한 후, 다시 업(5번)하고, 홈쪽으로 이동(6번)하여 다운(7번)하는 반대동작을 수행하여 홈의 위치로 돌아오게 된다..

하지만, 린스 노즐라인(12)이 브라켓(14)에 장시간 고정된 채로 구동하기 때문에, 통상 테프론(teflon) 튜브로 구성된 린스 노즐라인(12)에 스트레스가 가해져서 너트 고정부분이 어느 순간에 절단되는 문제가 있다. 특히 린스 노즐 아암(10) 이 홈의 위치에서 센터의 위치로 이동한 상태는 린스 노즐라인(12)이 도1에 도시된 바와 같이 길게 굴곡된 상태에서 일직선의 상태로 펴지게 되면서 너트로 고정된 부분이 스트레스를 받게되면서 훼손된다. 또한, 린스 노즐아암(10)이 업/다운시 린스 노즐라인(120이 브라켓(14)에 부딪치면서 이물질이 발생하게되고, 린스 노즐라인(12)끼리 서로 간섭으로 인하여 라지 파티클이 발생함으로 기인하여 공정 불량과 리워크가 발생하게 되어 생산성이 떨어지는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 포토 공정에서 패턴 현상 이후의 초순수 세정공정시, 린즈 노즐라인의 간섭을 방지하여 라지 이물질이 발생하지 않도록 한 세정장치의 노즐 구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 세정장치의 노즐 구조는 너트에 의해 한 쌍의 린스 노즐라인의 각각이 결합되는 한 쌍의 린스노즐과, 상기 한 쌍의 린스노즐이 소정의 간격을 두고 각각 수직으로 설치되도록 상기 린스 노즐아암의 가로축에 대해 수평으로 설치되는 브라켓과, 상기 브라켓을 고정하되, 상기 한쌍의 린스 노즐라인들이 서로 간섭하지 않는 길이로 형성된 아암 지지대와, 상기 한 쌍의 린스 노즐라인에 가해지는 응력을 감소하도록 상기 너트에 형성된 응력감소수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 하나의 수평 브라켓에 한쌍의 린스 노즐라인이 너트에 의해 고정되므로, 린스 노즐사이에 일정한 간격이 유지되어 린스 노즐라인들의 간섭을 방지하고, 또한 너트에는 응력감소수단으로서 상부의 내부가 소정의 각이져 있 는 경사부로 구성되므로, 린스 노즐라인에 가해지는 응력을 감소하여 현상불량을 방지하는 효과를 가진다.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 의한 세정장치의 노즐 구조를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. 도면 중 종래와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 이용하였고, 그 상세한 설명은 생략하였다.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 세정장치의 노즐 구조를 나타내며, 도 4은 린스 노즐라인과 너트와의 결합을 상세히 나타내고 있다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 세정장치의 노즐 결합구조는 종래와 마찬가지로 린스 노즐아암(20)이 홈(home)의 위치에서 웨이퍼의 센터까지 좌우(센터이동), 상하(업/다운 이동) 운동을 하며 움직이게 되는데, 홈의 위치에서 업(up)동작을 취하고 웨이퍼의 센터로 이동하는 과정을 거쳐 웨이퍼의 센터에서는 다운(down)동작을 수행하여 초순수를 노즐(18)을 통해 토출을 행한 후, 다시 업하고, 홈쪽으로 이동하여 다운하는 반대동작을 수행하여 홈의 위치로 돌아오도록 작동한다.

하지만, 본 발명의 핵심적 구성으로서, 브라켓(30)은 린스 노즐아암(20)의 가로축에 대해 수평으로 설치되며, 그 양단부에 린스노즐(18)이 각각 대략 수직으로 설치된다. 린스노즐(18)에는 한 쌍의 린스 노즐라인(12)이 너트(40)를 이용하여 서로 소정의 간격을 두고 대략 수직으로 설치되어 고정된다. 이와 같이 수평으로 설치된 브라켓(30)을 고정하는 아암 지지대(50)는 수평 아암부(52)와, 수직 지지부(54)로 구성되어, 수직 지지부(54)에 브라켓(30)의 일단부가 수평으로 부착된다. 아암 지지대(50)의 수평 아암부(52)는 상기 한쌍의 린스 노즐라인(18)들이 서로 간섭하지 않는 길이로 형성된다. 도 1과 대비할 때, 아암 지지대(50)가 종래에 비해 현저하게 짧아졌음을 알 수 있다.

또한, 브라켓(30)에 고정된 한 쌍의 린스 노즐라인(18)에 가해지는 응력을 감소하도록 너트(40)에는 응력감소수단이 형성된다.

예를 들어, 본 실시예에서는 응력감소수단으로서, 도 4에 도시된 바와 같이, 너트(40)의 하부 내부에 형성된 나사부(42)와 상부 내부에 형성된 30∼45°의 경사부(44)로 구성되는 것이 바람직하다.

이상과 같이 구성된 본 발명의 세정장치의 노즐 구조는 다음과 같이 결합된다.

브라켓(30)의 양단부에 각각 린스노즐(18)이 부착된다. 이어서 린스 노즐라인(12)의 각각을 너트(40)에 삽입하고, 린스노즐(18)에 삽입한 후, 너트(40)를 체결함으로서 린스 노즐라인(12)은 브라켓(30)의 길이만큼 간격을 두고 형성된다.

이에 린스 노즐아암(20)이 상하좌우로 이동되더라도, 린스 노즐라인(12)들끼리 서로 간섭되는 일이 없고, 더구나, 아암 지지대(50)의 수평 아암부(52)의 길이 또한, 린스 노즐라인(12)에 부딪치지 않도록 짧게 되어 있어, 린스 노즐라인(12)들끼리 서로 간섭되지 않는다.

또한, 린스 노즐라인(12)은 너트(40)에 삽입된 후, 린스노즐(18)과 결합됨에 따라, 너트(40) 하부의 나사부(44)는 린스노즐(18)의 외측의 나사부(17)와 나사결합되므로, 린스 노즐라인(12)을 견고하게 체결하게되지만, 너트(40) 상부의 경사 부(42)는 30∼45°의 경사로 인하여 여유공간이 생기게 되므로, 린스 노즐라인(12)에 가해지는 응력을 감소하게 되어 장시간 사용하더라도 파손되지 않게 된다.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 세정장치의 노즐 구조는 다음과 같은 효과가 있다.

하나의 수평 브라켓에 한쌍의 린스 노즐라인이 너트에 의해 고정되므로, 린스 노즐사이에 일정한 간격이 유지되어 린스 노즐라인들의 간섭을 방지하고, 또한 너트에는 응력감소수단으로서 상부의 내부가 소정의 각이져 있는 경사부로 구성되므로, 린스 노즐라인에 가해지는 응력을 감소하여 현상불량을 방지하는 효과를 가진다.

Claims

세정장치의 노즐 구조에 있어서,

너트에 의해 한 쌍의 린스 노즐라인의 각각이 결합되는 한쌍의 린스노즐과,

상기 한쌍의 린스노즐이 소정의 간격을 두고 수직으로 설치되도록 린스 노즐아암의 가로축에 대해 수평으로 고정되는 브라켓과,

상기 브라켓을 고정하되, 상기 한쌍의 린스 노즐라인들이 서로 간섭하지 않도록 형성된 아암 지지대와,

상기 브라켓에 고정된 한쌍의 린스 노즐라인에 가해지는 응력을 감소하도록 상기 너트에 형성된 응력감소수단을 포함하는 것을 특징으로 하는

세정장치의 노즐 구조.
제 1 항에 있어서, 상기 응력감소수단은 상기 너트의 상부 내측을 30∼45°의 경사부와 하부 내측을 나사부로 구성하는 것을 특징으로 하는

세정장치의 노즐 구조.