KR100840315B1 - 색 필터 기판, 그의 제조 방법 및 액정 표시 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 색 필터 기판, 그의 제조 방법 및 액정 표시 장치에 관한 것으로, 블랙 매트릭스를 형성시키지 않고서도 흑백 대비비를 향상시키기 위하여, 액정 표시 장치의 하부 기판에서의 빛이 새는 영역에 서로 이웃하는 두 색 필터를 부분적으로 중첩시킨다. 본 발명에 따른 색 필터 기판은, 절연 기판 위에 중앙부 및 중앙부의 양측면에서 연장되어 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부로 이루어지고, 가장자리부끼리 서로 중첩하는 적, 녹, 청의 색 필터가 형성되어 있다. 그리고, 이러한 공통 전극이 적, 녹, 청의 색 필터를 덮고 있다. 이러한 색 필터 기판에서 각각의 색 필터는 부분적으로 서로 다른 투과율을 가지는 광마스크를 사용하여 형성한다.

색 필터, 중앙부, 가장자리부, 블랙 매트릭스, 흑백 대비비

Description

색 필터 기판, 그의 제조 방법 및 액정 표시 장치 {COLOR FILTER PLATE, METHOD FOR FABRICATING THE PLATE AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고,

도 2는 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고,

도 4는 도 3의 절단선 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,

도 5 내지 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 색 필터 기판의 제조 공정 단면도를 순차적으로 나타낸 것이다.

본 발명은 색 필터 기판, 그의 제조 방법 및 액정 표시 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 상부 및 하부 기판과 그 사이에 주입되어 있는 액정 물질로 구성되어 있다. 이러한 액정 표시 장치는 두 기판 사이에 주입되어 있는 액정 물질에 전극을 이용하여 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 화상을 표시한다.

이러한 액정 표시 장치에서 휘도를 향상시키기 위하여, 블랙 매트릭스를 제 거하는 방법이 이용되고 있다. 그러나, 이 경우, 백색 휘도 뿐만 아니라, 블랙 휘도 역시 함께 상승하기 때문에 궁극적으로 흑백 대비비에 이득이 없다. 따라서, 액정 표시 장치에서 블랙 매트릭스를 제거하고자 하는 경우에는 블랙 매트릭스를 대신하여 블랙 휘도를 감소시킬 수 있는 수단이 필요하다.

본 발명은 블랙 매트릭스를 형성시키지 않고서도 흑백 대비비를 향상시킬 수 있는 액정 표시 장치를 제공하고자 한다.

본 발명은 이러한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 하부 기판에서의 빛이 새는 영역에 서로 이웃하는 두 색 필터를 부분적으로 중첩시킨다.

구체적으로 본 발명에 따른 색 필터 기판은, 절연 기판 위에 중앙부 및 중앙부의 양측면에서 연장되어 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부로 이루어지고, 가장자리부끼리 서로 중첩하는 적, 녹, 청의 색 필터가 형성되어 있다. 그리고, 이러한 공통 전극이 적, 녹, 청의 색 필터를 덮고 있다.

이 때, 적, 녹, 청의 색 필터는 기판 전면에 걸쳐 평탄하게 형성될 수 있다.

본 발명은 이러한 색 필터 기판을 제조하기 위하여, 우선, 절연 기판 위에 중앙부 및 중앙부의 양측면에서 연장되어 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부로 이루어지는 제1 색 필터를 형성한다. 이어, 절연 기판 위에 중앙부 및 중앙부의 양측면에서 연장되어 중앙부보다 얇은 두께의 제1 및 제2 가장자리부로 이루어지며, 제1 가장자리부가 제1 색 필터의 제1 가장자리부와 중첩하는 제2 색 필터를 형성한다. 이어, 절연 기판 위에 중앙부 및 중앙부의 양측면에서 연장되어 중앙부보다 얇은 두께의 제1 및 제2 가장자리부로 이루어지며, 제1 가장자리부가 제2 색 필터의 제2 가장자리부에 중첩하고 제2 가장자리부가 제1 색 필터의 제2 가장자리부에 중첩하는 제3 색 필터를 형성한다. 이어, 제1, 제2 및 제3 색 필터를 덮는 공통 전극을 형성한다.

여기서, 제1, 제2 및 제3 색 필터는 서로 다른 투과율을 가지는 광마스크를 사용하여 형성할 수 있다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치는 상술한 색 필터 기판을 가지고 있으며, 색 필터 기판의 제1 절연 기판에 제2 절연 기판이 대향되어 있다. 제2 절연 기판 위에 게이트선이 형성되어 있고, 데이터선에 게이트선이 절연되게 교차하고 있다. 게이트선과 데이터선에는 박막 트랜지스터가 전기적으로 연결되어 있고, 보호막이 이러한 박막 트랜지스터 및 데이터선을 덮고 있다. 보호막에는 드레인 전극을 드러내는 접촉 구멍이 형성되어 있고, 화소 전극이 접촉 구멍을 통하여 드레인 전극에 연결되어 있다.

여기서, 색 필터의 가장자리부가 중첩하는 부분이 데이터선을 따라 데이터선의 주변부를 덮을 수 있고, 더불어, 박막 트랜지스터의 주변부도 함께 덮을 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고, 도 2는 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

우선, 액정 표시 장치의 "하부 기판"의 구조에 대하여 설명한다.

제1 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 길게 뻗어 있는 게이트선(22) 및 게이트선(22)으로부터 돌출되어 있는 게이트 전극(26)을 포함하는 게이트 배선(22, 26)이 형성되어 있다.

게이트 배선(22, 26)은 대면적 액정 표시 장치에 적용하기 위하여, 저저항 금속 물질로 형성되는 것이 유리하다. 또한, 게이트 배선(22, 26)은 단일층 구조로 형성되거나, 이중층 이상의 구조로 형성될 수 있다. 게이트 배선(22, 26)이 단일층 구조로 형성되는 경우에는 크롬 또는 크롬 합금, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금, 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 또는, 은 또는 은 합금이 사용된다. 한편, 게이트 배선(22, 26)이 이중층 구조로 형성되는 경우에는 두 층 중 적어도 한 층은 저저항 금속 물질로 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 제1 절연 기판(10) 위에는 질화 규소 등으로 이루어진 게이트 절연막 (30)이 게이트 배선(22, 26)을 덮고 있다.

게이트 절연막(30) 상부에는 게이트 전극(26)에 대응하여 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체 패턴(42)이 형성되어 있으며, 반도체 패턴(42)의 상부에는 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 비정질 규소 등으로 이루어진 저항성 접촉 패턴(55, 56)이 각각 형성되어 있다.

또한, 게이트 절연막(30) 위에는 게이트선(22)에 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터선(62), 데이터선(62)에 연장되어 하나의 저항성 접촉층(55)에 접촉되어 있는 소스 전극(65) 및 소스 전극(65)에 대응하여 다른 하나의 저항성 접촉층 (56)에 접촉되어 있는 드레인 전극(66)을 포함하는 데이터 배선(62, 65, 66)이 형성되어 있다.

데이터 배선(62, 65, 66)은 대면적 액정 표시 장치에 적용하기 위하여, 저저항 금속 물질로 형성되는 것이 유리하다. 또한, 데이터 배선(62, 65, 66)도 게이트 배선(22, 26)과 동일하게 단일층 구조로 형성되거나, 이중층 이상의 구조로 형성될 수 있다. 데이터 배선(62, 65, 66)이 단일층 구조로 형성되는 경우에는 크롬 또는 크롬 합금, 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금, 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 또는, 은 또는 은 합금이 사용된다. 데이터 배선(62, 65, 66)이 이중층 구조로 형성되는 경우에는 두 층 중 적어도 한 층은 저저항 금속 물질로 형성하는 것이 바람직하다.

여기서, 게이트 전극(26), 반도체 패턴(42), 소스 전극(65) 및 드레인 전극 (66)은 박막 트랜지스터(TFT)를 구성한다.

이러한 데이터 배선(62, 65, 66) 및 박막 트랜지스터(TFT)를 요철 패턴용 유기막(70)이 덮고 있다. 요철 패턴용 유기막(70)은 감광성 유기막의 상부에 요부와 철부가 패터닝되어 있는 표면을 가지고 있다. 이러한 요철 패턴용 유기막(70)은 후술되는 반사 전극(82)의 반사 특성을 높이기 위해 마련된다.

요철 패턴용 유기막(70)에는 드레인 전극(66)을 드러내는 접촉 구멍(72)이 형성되어 있다.

요철 패턴용 유기막(70) 위에는 접촉 구멍(72)을 통하여 드레인 전극(66)과 전기적으로 연결되는 반사 전극(82)이 형성되어 있다. 반사 전극(82)은 게이트선 (22)과 데이터선(62)에 의하여 정의된 화소 영역에 형성되어 있다. 이 때, 반사 전극(82)은 게이트선(22)과 데이터선(62)의 일부와 중첩할 수 있다.

반사 전극(82)은 요철 패턴용 유기막(70)의 표면에 패터닝된 요철 형상에 따라 그의 표면이 요철 형상을 가진다. 반사 전극(82)은 반사 특성이 우수한 금속 물질 예를 들어, 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 혹은 은 또는 은 합금으로 형성될 수 있다.

이러한 구조를 가지는 액정 표시 장치용 "하부 기판"에 대향하고 있는 액정 표시 장치용 "상부 기판"의 구조에 대하여 설명한다.

제2 절연 기판(100) 위에 스트라이프 형상의 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)가 순차적으로 배열되어 있다. 색 필터(R, G, B) 각각은, 이웃하는 색 필터에 중첩하지 않은 중앙부(r, g, b)와 중앙부(r, g, b)의 양 측면에 중앙부(r, g, b)보다 얇은 두께를 가지는 제1 가장자리부(r1, g1, b1) 및 제2 가장자리부(r2, g2, b2)를 가지고 있다. 여기서, 색 필터(R, G, B)의 중앙부(r, g, b)의 두께를 1∼1.5 ㎛정도로 설정할 수 있다.

이 때, 제1, 제2 가장자리부(r1, r2, g1, g2, b1, b2)는 중앙부(r, g, b)의 측면 상부 혹은 측면 하부에 연결된다. 여기서, 각각의 색 필터(R, G, B)의 가장자리부(r1, r2, g1, g2, b1, b2)는 이웃하는 색 필터(R, G, B)의 가장자리부(r1, r2, g1, g2, b1, b2)와 서로 중첩하고 있다. 예를 들어, 녹색 필터(G)에서, 그의 제1 가장자리부(g1)는 이웃하는 적색 필터(R)의 제2 가장자리부(r2)에 중첩하고 있으며, 그의 제2 가장자리부(g2)는 이웃하는 청색 필터(B)의 제1 가장자리부(b1)에 중첩하고 있다.

적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B) 각각에서, 가장자리부(r1, r2, g1, g2, b1, b2)의 두께는 중앙부(r, g, b)의 두께의 1/2 정도로 설정할 수 있으나, 공정 조건에 따라 다른 비율로 설정할 수 있다. 다만, 이웃하는 색 필터가 중첩하는 부분에서 가장자리부의 중첩 두께가 색 필터의 중앙부의 두께와 차이가 나지 않도록, 바람직하게는, 동일하게 되도록 설정하는 것이 유리하다. 이 경우, 색 필터(R,G, B)가 존재하는 층 전체가 평탄화되기 때문에 색 필터를 덮는 후속막의 스텝 커버리지(step coverage) 특성을 양호하게 할 수 있고, 기판의 평탄화를 도모함으로써 액정의 오배열을 방지할 수 있다.

여기서, 이웃하는 색 필터의 두 가장자리부가 중첩하고 있는 부분에는 두 가지의 색이 서로 중첩하기 때문에 블랙 상태에서 이 부분을 통하여 빛이 새는 것을 적절히 차단시킬 수 있어서 광차단막으로서의 기능을 할 수 잇는 장점이 있다. 따라서, 흑백 대비비를 향상시킬 수 있다.

이 실시예에서는 액정 표시 장치의 "하부 기판"에서의 데이터선(62) 주변의 빛 새는 영역에 대응하는 부분에 이웃하는 두 색 필터의 가장자리부를 중첩시키기 때문에 이 부분을 통하여 빛이 새는 것을 효과적으로 차단할 수 있다.

이러한 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)를 공통 전극(120)이 평평하게 덮고 있다.

도면에서 도시하지 않았지만, 이러한 상부 기판과 하부 기판의 사이에는 액정층이 개재되어 있다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이고, 도 4는 도 3의 절단선 Ⅳ-Ⅳ'에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.

우선, 액정 표시 장치의 "하부 기판"의 구조에 대하여 설명한다.

이 실시예에서의 "하부 기판"은 게이트 배선(22, 26), 게이트 절연막(30), 반도체층(42), 저항성 접촉층(55, 56), 데이터 배선(62, 65, 66)의 패턴은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 "하부 기판"에서와 동일하다.

이 실시예에서는 데이터 배선(62, 65, 66) 및 박막 트랜지스터(TFT)를 질화 규소 또는 산화 규소 등으로 이루어진 보호막(90)이 덮고 있다. 보호막(90)에는 드레인 전극(66)을 드러내는 접촉 구멍(92)이 형성되어 있다.

보호막(90) 위에는 접촉 구멍(92)을 통하여 드레인 전극(66)과 전기적으로 연결되는 화소 전극(102)이 형성되어 있다. 여기서, 화소 전극(102)은 ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전 물질로 형성될 수 있다.

이러한 구조를 가지는 액정 표시 장치용 "하부 기판"에 대향하고 있는 액정 표시 장치용 "상부 기판"의 구조는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 "상부 기판"과 거의 유사하다.

즉, 제2 절연 기판(100) 위에 스트라이프 형상의 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)가 순차적으로 배열되어 있으며, 이웃하는 색 필터끼리 그의 가장자리부(r1, r2, g1, g2, g3)가 서로 중첩하고 있다. 그리고, 이러한 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)를 공통 전극(120)이 평평하게 덮고 있다.

다만, 색 필터의 가장자리부가 중첩하는 부분이, 본 발명의 제1 실시예에 따 른 액정 표시 장치에서는 데이터선(62)을 따라 데이터선(62)의 주변부을 덮고 있는 반면에, 이 실시예에서는 데이터선(62)의 주변부 뿐만 아니라, 박막 트랜지스터 (TFT) 주변부에 대응하는 부분도 덮고 있다. 따라서, 데이터선 주변부 및 박막 트랜지스터 주변부에서 빛이 새는 것을 효과적으로 차단할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치에서는 두 색 필터의 중첩 부분을 이용하여 빛이 새는 것을 적절한 정도로 차단하기 때문에 블랙 매트릭스를 형성하지 않아도 된다.

그러면, 이러한 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 상부 기판인 색 필터 기판의 제조 방법을 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다.

우선, 도 5에 도시한 바와 같이, 절연 기판(10) 위에 적색 필터 형성용 적색 감광성 유기막을 도포한다.

이어, 적색 감광성 유기막에 선택 노광 및 현상을 진행하여, 중앙부(r) 및 중앙부(r)의 양측면에서 연장되어 중앙부(r)보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부(r1, r2)로 이루어지는 적색 필터(R)를 형성한다. 이 때, 중앙부(r)에 대한 가장자리부(r1, r2)의 두께의 비는 제조 공정 조건에 따라 다양하게 설정할 수 있다.

이러한 적색 필터(R)는 부분적으로 다른 투과율을 가지는 하나의 마스크(M)를 사용하여 형성한다. 이 마스크(M)는 빛 투과량을 조절하기 위하여 주로 슬릿(slit)이나 격자 형태의 패턴, 혹은 반투명막이 있는 마스크를 사용한다. 이때, 슬릿 사이에 위치한 패턴의 선 폭이나 패턴 사이의 간격, 즉 슬릿의 폭은 노광 시 사용하는 노광기의 분해능보다 작은 것이 바람직하며, 반투명막을 이용하는 경우에는 마스크를 제작할 때 투과율을 조절하기 위하여 다른 투과율을 가지는 박막을 이용하거나 두께가 다른 박막을 이용할 수 있다.

이와 같은 마스크를 통하여 적색의 감광성 유기막에 빛을 조사하면 빛에 직접 노출되는 부분(C)에서는 감광성 유기막을 이루는 고분자들이 완전히 분해되며, 슬릿 패턴이나 반투명막에 대응되는 부분(B)에서는 빛의 조사량이 적으므로 감광성 유기막을 이루는 고분자들은 완전 분해되지 않은 상태이며, 차광막으로 가려진 부분(A)에서는 감광성 유기막을 이루는 고분자가 거의 분해되지 않는다. 이때, 노광 시간을 지나치게 길게 하면 슬릿 패턴 또는 반투명막에 대응되는 부분(B)의 감광막을 이루는 분자들이 모두 분해되므로 그렇게 되지 않도록 해야 한다.

이러한 마스크(M)를 사용하여 선택 노광된 적색의 감광성 유기막을 현상하면, 빛이 많이 조사된 중앙 부분의 고분자는 남아 있고, 빛이 적게 조사된 가장자리부분은 약간 남고, 빛이 전혀 조사되지 않은 부분은 감광성 유기막이 전혀 남지 않는다.

이렇게 하여 도 5에 도시한 바와 같은 부분적으로 서로 다른 두께를 가지는 적색 필터(R)를 형성할 수 있다.

다음, 도 6에 도시한 바와 같이, 적색 필터(R)가 형성된 기판 전면에 녹색의 감광성 유기막을 도포한다.

이어, 적색 필터(R)를 형성하는 과정에서 사용했던 마스크(M)를 사용하여 녹색의 감광성 유기막을 선택적으로 노광 및 현상하여, 중앙부(g) 및 중앙부(g)의 양 측면에서 연장되어 중앙부(g)보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부(g1, g2)로 이루어지는 녹색 필터(G)를 형성한다.

이 때, 녹색 필터(G)의 제2 가장자리부(g2)가 이웃하는 적색 필터(R)의 제1 가장자리부(r1)에 중첩하도록 형성한다. 여기서, 적색 필터(R)의 제1 가장자리부(r1)와 녹색 필터(G)의 제2 가장자리부(g2)가 중첩하는 부분의 중첩 두께는 적색 필터(G) 혹은 녹색 필터(G)의 중앙부(r, g)의 두께와 동일하게 하는 것이 기판 평탄화에 있어서 유리하다.

다음, 도 7에 도시한 바와 같이, 적색 필터(R) 및 녹색 필터(G)가 형성된 기판 전면에 청색의 감광성 유기막을 도포한다.

이어, 적색 필터(R)를 형성하는 과정에서 사용했던 마스크(M)를 사용하여 녹색의 감광성 유기막을 선택적으로 노광 및 현상하여, 중앙부(b) 및 중앙부(b)의 양측면에서 연장되어 중앙부(b)보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부(b1, b2)로 이루어지는 청색 필터(B)를 형성한다.

이 때, 청색 필터(B)를 그의 제1 및 제2 가장자리부(b1, b2)가 이웃하는 적색 필터(R) 및 녹색 필터(G)의 가장자리부(r2, g1)에 중첩하도록 형성한다. 도 7에 도시한 바와 같이, 청색 필터(B)는 그의 제1 가장자리부(b1)가 적색 필터(R)의 제2 가장자리부(r2)에 중첩하고, 그의 제2 가장자리부(b2)가 녹색 필터(G)의 제1 가장자리부(g1)에 중첩한다.

여기서, 청색 필터(B)의 제1 가장자리부(b1)와 적색 필터(R)의 제2 가장자리부(r2)가 중첩하는 부분 및 청색 필터(B)의 제2 가장자리부(b2)와 녹색 필터(G)의 제1 가장자리부(g1)가 중첩하는 부분의 각각의 중첩 두께는 적색 필터(G), 녹색 필터(G) 혹은, 청색 필터(B)의 중앙부(r, g, b)의 두께와 동일하게 하는 것이 기판 평탄화에 있어서 유리하다.

다음, 도 8에 도시한 바와 같이, 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)가 형성된 기판 전면에 ITO 또는 IZO와 같은 투명 도전 물질층을 증착하여 공통 전극(120)을 형성한다.

여기서, 공통 전극(120) 형성용 투명 도전 물질층을 증착하기 전에 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B) 위에 절연 물질로 이루어진 오버 코트막을 전면에 걸쳐 평탄하게 도포할 수 있다. 그러나, 적, 녹, 청의 색 필터(R, G, B)만으로도 기판의 평탄화를 이룰 수 있으며, 오버 코트막의 형성을 생략할 수 있다.

본 발명에서는 색 필터의 중첩을 통하여, 블랙 매트릭스를 형성하지 않고서도 빛이 새는 것을 방지함으로써, 액정 표시 장치의 흑백 대비비를 향상시킬 수 있다. 또한, 색 필터층 전체를 평탄할 경우에는 오버 코트막을 형성하지 않아도 되기 때문에 공정을 단순화할 수 있다.

Claims (7)

1. 절연 기판,

   상기 절연 기판 위에 형성되어 있고, 중앙부 및 상기 중앙부의 양측면에서 연장되어 상기 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부를 포함하고, 이웃하는 가장자리부끼리 서로 중첩하는 적, 녹, 청의 색 필터, 그리고

   상기 적, 녹, 청의 색 필터를 덮는 공통 전극

   을 포함하는 색 필터 기판.
2. 제1항에서,

   상기 적, 녹, 청의 색 필터는 상기 기판 전면에 걸쳐 평탄하게 형성되어 있는 색 필터 기판.
3. 절연 기판 위에 서로 이웃하는 제1 색 필터, 제2 색 필터 및 제3 색 필터를 형성하는 단계, 그리고

   상기 제1, 제2 및 제3 색 필터 위에 공통 전극을 형성하는 단계

   를 포함하며,

   상기 제1 색 필터를 형성하는 단계는

   상기 제1 색 필터의 중앙부 및 상기 제1 색 필터의 중앙부의 양측면에서 연장되고 상기 제1 색 필터의 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부를 형성하는 단계를 포함하고,

   상기 제2 색 필터를 형성하는 단계는

   상기 제2 색 필터의 중앙부 및 상기 제2 색 필터의 중앙부의 양측면에서 연장되고 상기 제2 색 필터의 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제3 및 제4 가장자리부를 형성하는 단계를 포함하고,

   상기 제3 색 필터를 형성하는 단계는

   상기 제3 색 필터의 중앙부 및 상기 제3 색 필터의 중앙부의 양측면에서 연장되고 상기 제3 색 필터의 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제5 및 제6 가장자리부를 형성하는 단계를 포함하고,

   상기 제1 가장자리부와 상기 제3 가장자리부는 중첩하고, 상기 제5 가장자리부와 상기 제4 가장자리부는 중첩하고, 상기 제6 가장자리부와 상기 제2 가장자리부는 중첩하는

   색 필터 기판의 제조 방법.
4. 제3항에서,

   상기 제1, 제2 및 제3 색 필터를 형성하는 단계는 각각 투과율이 다른 부분을 가지는 광마스크를 사용하여 형성하는 색 필터 기판의 제조 방법.
5. 제1 절연 기판,

   상기 제1 절연 기판 위에 형성되어 있고 중앙부 및 상기 중앙부의 양측면에서 연장되어 상기 중앙부보다 얇은 두께를 가지는 제1 및 제2 가장자리부를 포함하고 이웃하는 가장자리부끼리 서로 중첩하는 적, 녹, 청의 색 필터,

   상기 적, 녹, 청의 색 필터를 덮는 공통 전극,

   상기 제1 절연 기판에 대향되어 있는 제2 절연 기판,

   상기 제2 절연 기판 위에 형성되는 게이트선,

   상기 게이트선에 절연되게 교차하는 데이터선,

   상기 게이트선과 상기 데이터선에 전기적으로 연결되는 박막 트랜지스터,

   상기 박막 트랜지스터 및 상기 데이터선을 덮는 보호막,

   상기 보호막에 상기 박막 트랜지스터의 일부를 드러내는 접촉 구멍, 그리고

   상기 접촉 구멍을 통하여 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 화소 전극

   을 포함하는 액정 표시 장치.
6. 제5항에서,

   상기 색 필터의 가장자리부가 중첩하는 부분이 상기 데이터선을 따라 상기 데이터선의 주변부를 덮고 있는 액정 표시 장치.
7. 제6항에서,

   상기 색 필터의 가장자리부가 중첩하는 부분이 상기 박막 트랜지스터의 주변부를 덮고 있는 액정 표시 장치.

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