KR100837740B1 - Clean booth of a rotation type - Google Patents
Clean booth of a rotation type Download PDFInfo
- Publication number
- KR100837740B1 KR100837740B1 KR1020060090573A KR20060090573A KR100837740B1 KR 100837740 B1 KR100837740 B1 KR 100837740B1 KR 1020060090573 A KR1020060090573 A KR 1020060090573A KR 20060090573 A KR20060090573 A KR 20060090573A KR 100837740 B1 KR100837740 B1 KR 100837740B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- clean
- duct
- booth
- air
- rotary
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
- B08B15/023—Fume cabinets or cupboards, e.g. for laboratories
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
본 발명은 전산실, 반도체 부품 생산공장, 연구실, 통신실, 광학계측기 생산현장, 병원의 수술실, 주사제 조제실, 정밀기계 조립장치, 반도체 조립장 등에 마련된 크린룸내에서 고도의 청정도가 필요로 하는 작업공간을 제공하는 크린부스에 관한 것이다.The present invention provides a work space requiring a high degree of cleanliness in a clean room provided in a computer room, a semiconductor component manufacturing plant, a laboratory, a communication room, an optical measuring instrument production site, a hospital operating room, an injection preparation room, a precision machine assembly device, a semiconductor assembly room, and the like. It is about clean booth to offer.
이 같은 본 발명은, 청정 작업대 및 토출덕트의 위치 변경은 물론, 작업자의 작업위치 변경이 자유로운 회전형의 크린부스를 구성함으로써, 크린룸내에서 고청정이 필요로 하는 공간에서의 작업 효율성을 높임은 물론, 하나의 크린부스를 통해 다중 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 등 그 사용상의 편의성을 향상시키는 회전형 크린부스를 제공한다.The present invention, as well as changing the position of the clean work table and discharge duct, as well as the rotational clean booth free to change the working position of the operator, thereby improving the work efficiency in the space that requires high clean in the clean room Of course, it provides a rotary clean booth to improve the ease of use, such as to facilitate the multi-task through one clean booth.
회전형 크린부스, 크린벤치, 청정작업대, 국부청정장치, 청정실험장치 Rotary Clean Booth, Clean Bench, Clean Work Table, Local Cleaner, Clean Lab
Description
도 1은 본 발명의 일실시예로 회전형 크린부스의 구조를 보인 결합사시도.1 is a perspective view showing a structure of a rotary clean booth as an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일실시예로 부스본체와 청정 작업대의 분해도.Figure 2 is an exploded view of the booth body and clean workbench in one embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 일실시예로 회전형 크린부스의 구조를 보인 개략적인 단면도.Figure 3 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a rotary clean booth in one embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일실시예로 급기덕트의 회전상태를 보인 개략적인 정면도.Figure 4 is a schematic front view showing a rotation state of the air supply duct in one embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 일실시예로 급기덕트의 회전상태를 보인 개략적인 평면도.Figure 5 is a schematic plan view showing a rotation state of the air supply duct in one embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 다른실시예로 분기형 급기덕트와 복수개의 청정 작업대가 적용된 회전형 크린부스의 개략적인 정면도.6 is a schematic front view of a rotary clean booth to which a branched air supply duct and a plurality of clean work platforms are applied in another embodiment of the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
10; 부스본체 11; 송풍팬10; Booth
12; 제어패널 13; 순환흡입구12;
14; 제 1 플랜지 15; 탄력돌기14;
20; 토출덕트 21; 고정덕트20;
22; 회전덕트 23; 제 1 베어링22;
24,24'; 에어챔버 24a; 헤파필터24,24 ';
24b; 가이드베인 25,25'; 제 2 베어링24b;
26; 제 1 덕트 27a,27b; 제 2,3 덕트26;
28; 자외선램프 29; 조명램프28;
30,30'; 커튼부 40,40'; 청정 작업대30,30 '; Curtain
41; 제 2 플랜지 42; 다중 통기공41;
43; 외기흡입구 100; 캐스터43;
본 발명은 전산실, 반도체 부품 생산공장, 연구실, 통신실, 광학계측기 생산현장, 병원의 수술실, 주사제 조제실, 정밀기계 조립장치, 반도체 조립장 등에 마련된 크린룸(Clean Room)내에서 고도의 청정도가 필요로 하는 작업공간을 제공하는 크린부스(또는 크린벤치)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 크린룸내의 특정공간을 고도로 청정(Class 10~100)하기 위해 마련된 이동형 또는 고정형의 크린부스에 청정 작업대를 결합시킴은 물론, 그 청정 작업대와 토출덕트의 위치를 자유롭게 변경시켜 사용할 수 있도록 하는 회전형 크린부스에 관한 것이다.The present invention requires a high degree of cleanliness in a clean room provided in a computer room, a semiconductor component manufacturing plant, a laboratory, a communication room, an optical measuring instrument production site, an operating room of a hospital, an injection preparation room, a precision machine assembly device, a semiconductor assembly room, and the like. It relates to a clean booth (or clean bench) that provides a working space, and more specifically, to combine a clean workbench with a movable or fixed clean booth provided for highly clean (
최근의 첨단소재 발달에 기인하여 전산실, 반도체 부품 생산공장, 연구실, 통신실, 광학계측기 생산현장, 병원의 수술실, 주사제 조제실, 정밀기계 조립장치, 반도체 조립장의 공간으로 활용되는 크린룸에서 요구되는 온도 및 습도와 압력은 물론, 청정도는 제품에 대한 품질은 물론 공정에 지대한 영향을 주고 있다.Due to the recent development of high-tech materials, the temperature required in the clean room used as a space for computer room, semiconductor parts manufacturing plant, laboratory, communication room, optical measuring instrument production site, operating room of hospital, injection preparation room, precision instrument assembly device, semiconductor assembly room Humidity and pressure, as well as cleanliness, have a profound effect on the quality of the product as well as the process.
따라서 크린룸을 제대로 관리하기 위해서는 모든 오염원이 조절 되어야 하고, 그 오염의 원인은 각기 다르며, 이를 조절하기 위해서는 특별한 과정이 필요로 한다.Therefore, in order to properly manage the clean room, all sources of pollution must be controlled, and the causes of the pollution are different, and special processes are required to control them.
상기 크린룸의 벽, 바닥, 천장은 모두 먼지가 없는 재료로 만들어져 부드러운 표면을 가져야 하며, 방음판은 공극이 없는 물질로 표면이 커버되야 하는 기본적인 원칙하에 준비되어야 한다.The walls, floors, and ceilings of the cleanroom should all be made of dust-free material and have a smooth surface, and sound insulation panels should be prepared under the basic principle that the surface should be covered with void-free material.
이러한 크린 영역을 확보하는 방법도 여러 가지 유형으로 나누어 볼 수 있으며, 그 대표적인 예로 개방형(Open Bay Type), FFU, CTM형이 있으나, 크린룸내에서 국부적인 영역(Area)을 청정화시키는 방법으로는 크린벤치(Clean Bench)라 불리는 크린부스가 널리 사용된다.The method of securing such a clean area can be divided into various types. Representative examples include open bay type, FFU, and CTM type, but the clean area in the clean room is a clean method. Clean booths called clean benches are widely used.
즉, 상기 크린부스는 부품 교체 또는 재설비 등과 같이 고청정의 작업이 필요로 할 때 크린룸내의 특정영역에 설치되어 사용되는 것으로, 이는 크린룸내에서 작업자의 국부적인 신체부위(예; 손)만을 외부와 격리시켜 작업이 이루어지도록 하는 공간을 마련하는 것이며, 고정형과 이동형으로 구분된다.That is, the clean booth is installed and used in a specific area of the clean room when high clean work is required, such as replacement of parts or refurbishment. It is to provide a space for work to be isolated from and separated into fixed and mobile.
그러나, 종래 고정형 또는 이동형의 크린부스는 대부분 하나의 부스본체내에 송풍팬과 필터를 설치함은 물론, 하나의 고정형 청정 작업대와 토출덕트가 마련된 구조인 바, 하나의 크린부스를 통해 다중 작업을 동시에 진행시킬 수 없었으며, 만약 다중 작업을 하고자 하는 경우에는 크린룸내에 여러대의 크린부스를 설치해야 하는 불편함이 있고, 이 경우 여러대의 크린부스를 구입하는데 따른 비용이 과다하게 소요되는 단점이 있다.However, the conventional fixed or mobile clean booth is a structure in which a blower fan and a filter are installed in one booth body, as well as a fixed clean workbench and a discharge duct, so that multiple tasks can be performed simultaneously through one clean booth. If it is not possible to proceed with the multi-tasking, there are inconveniences of installing several clean booths in the clean room, and in this case, there is a disadvantage in that the cost of purchasing several clean booths is excessive.
또한, 종래의 국부 청정을 위한 크린부스는 그 작업공간이 한 방향에서만 작업이 가능한 구조인 바, 청정 작업대가 고정된 상태에서 작업자가 작업위치를 전혀 변경시키지 못하는 등 그 사용상의 불편함이 많았다.In addition, the conventional clean booth for local cleanliness is a structure in which the work space is only workable in one direction, there is a lot of inconvenience in use, such as the operator does not change the working position at all in the fixed working table is fixed.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 본 발명은, 청정 작업대 및 토출덕트의 위치 변경은 물론, 작업자의 작업위치 변경이 자유로운 회전형의 크린부스를 구성함으로써, 크린룸내에서 고청정이 필요로 하는 공간에서의 작업 효율성을 높임은 물론, 하나의 크린부스를 통해 다중 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 등 그 사용상의 편의성을 향상시키는 회전형 크린부스를 제공하려는데 주된 목적이 있는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, the present invention, as well as changing the position of the clean work table and the discharge duct, as well as the configuration of the rotating clean booth free to change the working position of the operator, clean room It is intended to provide a rotary clean booth that improves the convenience of use, such as improving work efficiency in a space requiring high cleanliness, as well as facilitating multiple tasks through one clean booth. There is a purpose.
상기 목적 달성을 위한 본 발명 회전형 크린부스는,Rotational clean booth of the present invention for achieving the above object,
내,외측에 각각 송풍팬과 제어패널이 마련되고, 양측면으로 순환흡입구를 형성한 부스본체;A booth body provided with a blower fan and a control panel on the inside and the outside, respectively, and having circulation suction ports on both sides thereof;
상기 송풍팬의 구동으로 흡입되는 외기를 청정한 후 토출하도록 상기 부스본체의 일단에 위치 가변이 가능하게 결합되는 회전형의 토출덕트;A rotary discharge duct coupled to one end of the booth main body so as to clean and discharge external air sucked by the driving fan;
상기 토출덕트의 일측 끝단에 중첩되게 마련되어 청정공기에 대한 차폐벽을 형성하고, 작업자의 신체 특정부위는 통과시키는 커튼부; 및,A curtain part disposed to overlap one end of the discharge duct to form a shielding wall for clean air, and a body part of the operator to pass through; And,
상기 커튼부에 의해 만들어진 작업공간내에 위치하면서, 상기 부스본체의 양측면에 마련된 순환흡입구에 각각 선택적으로 결합되는 청정 작업대; 를 포함하여 구성함을 특징으로 한다.Located in the work space made by the curtain portion, clean workbench selectively coupled to each of the circulation suction ports provided on both sides of the booth body; Characterized in that comprises a configuration.
다른 일면에 따라, 상기 순환흡입구는,According to another aspect, the circulation inlet,
상기 청정 작업대의 끼움에 의한 원터치 결합이 가능하도록 제 1 플랜지를 연장 구성하고,Extend the first flange to enable one-touch coupling by fitting the clean work table,
상기 제 1 플랜지의 일면에는 끼움 결합되는 청정 작업대를 견고하게 잡아주는 다수의 탄력돌기를 형성함을 특징으로 한다.One surface of the first flange is characterized in that it forms a plurality of resilient projections to firmly hold the clean workbench fitted.
또 다른 일면에 따라, 상기 순환흡입구에는, 공기 정화용 프리필터(Pre-Filter)를 구성함을 특징으로 한다.According to yet another aspect, the circulation inlet is characterized in that the pre-filter for air purification (Pre-Filter) is configured.
또 다른 일면에 따라, 상기 청정 작업대의 선택적인 끼움 결합으로 사용되지 않은 순환흡입구에는 탈부착이 가능한 제 1 덮개에 의해 밀폐되도록 구성함을 특징으로 한다.According to yet another aspect, characterized in that configured to be closed by a first cover that can be detachable to the circulation suction inlet not used as the selective fitting of the clean worktable.
또 다른 일면에 따라,According to another aspect,
상기 부스본체의 내부 바닥면에는 무게 중심을 잡아주기 위한 스틸플레이트(steel plate)를 형성하고,On the inner bottom surface of the booth body to form a steel plate (steel plate) for holding the center of gravity,
상기 부스본체의 전후면에는 개구부를 마련하되, 상기 개구부는 부스본체내의 구성부품들에 대한 수리 및 교체가 용이하게 이루어지도록 탈부착이 가능한 제 2 덮개(acces door)를 결합 구성함을 특징으로 한다.An opening is provided on the front and rear surfaces of the booth body, and the opening is coupled to and detachable a second cover to facilitate the repair and replacement of components in the booth body.
또 다른 일면에 따라, 상기 청정 작업대는,According to another aspect, the clean work surface,
일측면에 상기 순환흡입구로의 끼움 결합을 위한 제 2 플랜지를 형성하고,Forming a second flange on one side for fitting to the circulation suction inlet;
평면에 토출덕트를 통해 작업공간으로 흡입된 청정 공기를 부스본체로 재순 환시키는 다중 통기공을 형성하며,Forms multiple vents to recycle clean air sucked into the work space through the discharge duct to the booth body,
타측면에는 송풍팬의 구동시 순환흡입구를 통해 외기의 흡입을 가능하게 하는 외기흡입구를 형성함을 특징으로 한다.The other side is characterized in that the external air inlet is formed to enable the suction of the outside air through the circulation inlet when the blower fan is driven.
또 다른 일면에 따라, 상기 청정작업대는,According to yet another aspect, the clean work platform,
외부의 진공펌프와 에어콤프레셔의 연결을 위한 니플(nipple)을 저면에 마련하고,A nipple is provided on the bottom for connecting the external vacuum pump and the air compressor.
상기 니플에는 다중 통기공이 마련된 평면으로 연장 구성되는 제 1,2 배관을 연결하며,The nipples are connected to the first and second pipes extending in a plane provided with multiple ventilation holes,
상기 다중 통기공이 마련된 평면에 위치하는 제 1,2 배관에는 작업공간을 진공상태로 만들기 위한 에어 흡입이나 에어 공급의 작업을 선택하도록 개폐되는 제 1,2 밸브를 각각 구성함을 특징으로 한다.The first and second pipes located in the plane provided with the multiple vent holes may be configured to respectively open and close the first and second valves to select an air suction or air supply operation to make the working space into a vacuum state.
또 다른 일면에 따라, 상기 부스본체와 청정 작업대는, 이동을 위한 캐스터가 저면에 각각 결합 구성됨을 특징으로 한다.According to yet another aspect, the booth body and the clean workbench are characterized in that the casters for movement are respectively configured to be coupled to the bottom.
또 다른 일면에 따라, 상기 토출덕트는,According to another aspect, the discharge duct,
상기 부스본체의 상측에 결합되는 고정덕트,Fixed duct coupled to the upper side of the booth body,
상기 고정덕트에 회전 가능하게 결합되는 회전덕트,Rotating duct rotatably coupled to the fixed duct,
상기 고정덕트와 회전덕트의 연결부위에 마련되는 제 1 베어링,A first bearing provided at a connection portion of the fixed duct and the rotating duct;
상기 회전덕트에 회전 가능하게 결합되고 내부에는 헤파필터와 가이드 베인(guide vane)이 마련된 에어챔버 및,An air chamber rotatably coupled to the rotation duct and provided with a hepa filter and a guide vane therein;
상기 회전덕트와 에어챔버의 연결부위에 마련되는 제 2 베어링을 포함하여 구성함을 특징으로 한다.And a second bearing provided at a connection portion of the rotary duct and the air chamber.
또 다른 일면에 따라, 상기 회전덕트는, 하나의 흡입구와 두 개의 토출구를 가진 다단의 분기형 덕트로 구성함을 특징으로 한다.According to another aspect, the rotary duct is characterized in that it consists of a multi-stage branched duct having one inlet and two outlets.
또 다른 일면에 따라, 상기 다단 분기형의 덕트는,According to yet another aspect, the multi-stage branched duct,
고정덕트와 제 1 베어링을 통해 연결되는 제 1 덕트와,A first duct connected through the fixed duct and the first bearing,
상기 제 1 덕트로부터 분기되면서 제 2 베어링을 통해 에어챔버가 각각 독립적으로 연결되는 제 2,3 덕트로 구성함을 특징으로 한다.Branching from the first duct is characterized in that it consists of second and third ducts are independently connected to the air chamber through the second bearing.
또 다른 일면에 따라, 상기 제 1 덕트는,According to yet another aspect, the first duct is
작업이 이루어지는 청정작업대에만 공기를 토출하거나 또는 제 2,3 덕트를 통한 공기의 토출량을 조절하도록, 상기 제 2,3 덕트에 근접되는 위치에 개폐형의 제 1,2 볼륨댐퍼를 결합 구성함을 특징으로 한다.The first and second volume dampers of the opening and closing type are coupled to a position close to the second and third ducts so as to discharge air only to a clean work table where the work is performed or to adjust the discharge amount of air through the second and third ducts. It is done.
또 다른 일면에 따라, 상기 에어챔버는,According to yet another aspect, the air chamber,
출구방향에 작업공간내의 살균처리를 위한 자외선램프, 작업공간내의 조명을 위한 조명램프 및, 작업공간으로 토출되는 에어의 토출압력을 체크하는 압력게이지가 구성됨을 특징으로 한다.An ultraviolet lamp for sterilization treatment in the workspace, an illumination lamp for illumination in the workspace, and a pressure gauge for checking the discharge pressure of air discharged to the workspace in the exit direction.
또 다른 일면에 따라, 상기 커튼부는, 정전기 방지를 위한 무정전 비닐로 구성함을 특징으로 한다.According to another aspect, the curtain portion, characterized in that composed of uninterruptible vinyl for antistatic.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일실시예로 회전형 크린부스의 구조를 보인 결합사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예로 부스본체와 청정 작업대의 분해도이며, 도 3은 본 발명의 회전형 크린부스의 구조를 보인 개략적인 단면도 이다.1 is a perspective view showing a structure of a rotary clean booth as an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded view of the booth body and a clean workbench as an embodiment of the present invention, Figure 3 is a rotary clean of the present invention It is a schematic cross-sectional view showing the structure of the booth.
도 4는 본 발명의 일실시예로 토출덕트의 회전상태를 보인 개략적인 정면도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예로 토출덕트의 회전상태를 보인 개략적인 평면도 이다.4 is a schematic front view showing a rotation state of the discharge duct as an embodiment of the present invention, Figure 5 is a schematic plan view showing a rotation state of the discharge duct as an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예인 회전형 크린부스는 부스본체(10), 토출덕트(20), 커튼부(30), 청정작업대(40)를 포함한다.1 to 5, the rotary clean booth according to one embodiment of the present invention includes a
상기 부스본체(10)는 크린룸내에서 그 이동이 자유롭게 이루어지도록 저면에 캐스터(100)가 마련된 구조로, 송풍팬(11)과 제어패널(12) 및 순환흡입구(13)를 포함한다.The
상기 송풍팬(11)은 상기 부스본체(10)의 내부에 마련되며, 상기 커튼부(30)에 의해 차폐벽이 마련되는 작업공간에서 토출덕트(20)에 의해 순환이 이루어지는 내부공기와 크린룸내의 외기를 흡입을 일으키는 구성요소이다.The
상기 제어패널(12)은 상기 부스본체(10)의 외부에 마련되며, 상기 송풍팬(11)은 물론, 후술하는 자외선램프(28a)와 조명램프(28b)를 온/오프시키기 위한 스위치(도면에는 표시하지 않음)를 구비한다.The
상기 순환흡입구(13)는 상기 부스본체(10)의 양측면에서 상기 청정작업대(40)의 끼움 결합은 물론, 송풍팬(11)의 구동시 흡입되는 외기와 토출덕트(20)로부터 토출된 고청정의 공기를 정화시켜 재순환시키도록 프리필터(13a)가 마련되며, 그 내측부위에는 상기 청정 작업대(40)의 끼움에 의한 원터치 결합이 가능하도록 제 1 플랜지(14)가 연장 구성되고, 상기 제 1 플랜지(14)에는 끼움 결합되는 청정 작업대(40)를 견고하게 잡아주는 다수의 탄력돌기(15)가 구성된다.The
또한, 상기 순환흡입구(13)는 상기 청정 작업대(40)의 선택적인 끼움 결합으로부터 그 사용이 이루어지지 않도록 탈부착이 가능한 제 1 덮개(16)에 의해 밀폐되는 구조로 구성된다.In addition, the
또한, 상기 부스본체(10)의 내부 바닥면에는 무게 중심을 잡아주기 위한 스틸플레이트(17)가 형성되고, 상기 부스본체(10)의 전후면에는 도면에 도시하지 않았지만 구성부품들에 대한 수리 및 교체가 용이하게 이루어지도록 개구부가 마련되고, 상기 개구부는 또한 부스본체(10)에 대한 밀폐성을 제공하도록 탈부착이 가능한 제 2 덮개(18)가 결합되는 구조로 구성된다.In addition, a
상기 토출덕트(20)는 상기 부스본체(10)의 일단에 위치 가변이 가능하게 결합되어 송풍팬(11)의 구동으로 흡입되는 외기를 청정한 후 토출하는 것으로, 고정덕트(21), 회전덕트(22), 제 1 베어링(23), 에어챔버(24), 제 2 베어링(25)을 포함한다.The
상기 제 1 고정덕트(21)는 상기 부스본체(10)의 상측에 고정 결합되는 구조이고, 상기 회전덕트(22)는 상기 청정 작업대(40)의 위치 변경시 상기 청정 작업대(40)를 따라 위치 변경이 가능하도록 상기 제 1 베어링(23)을 통해 상기 고정덕트(21)에 회전 가능하게 결합되는 구조를 이룬다.The first fixing
상기 제 1 베어링(23)은 상기 고정덕트(21)와 회전덕트(22)의 연결부위에 마련되는 것으로, 상기 회전덕트(22)의 회전이 가능하도록 구성된다.The
상기 에어챔버(24)는 상기 청정작업대(40)의 위치 변경이 대응하도록 상기 제 2 베어링(25)을 통해 상기 회전덕트(22)에 회전 가능하게 결합되는 구조를 이루며, 그 내부에는 헤파필터(Hepa Filter)(24a)와 가이드베인(24b)이 구성된다.The
상기 헤파필터(24a)는 상기 에어챔버(24)의 출구측에 마련되며, 이는 회전덕트(22)로부터 토출되는 오염공기를 정화하기 위한 것이고, 상기 가이드베인(24b)은 상기 회전덕트(22)로부터 토출되는 오염공기의 흐름을 헤파필터(24a)로 고르게 분포시키기 위한 것이다.The
상기 제 2 베어링(25)은 상기 회전덕트(22)와 에어챔버(24)의 연결부위에 마련되는 것으로, 상기 에어챔버(24)이 회전이 가능하도록 구성된다.The
그리고, 본 발명의 일실시예인 에어챔버(24)의 출구방향에는 자외선램프(28a)와 조명램프(28b)는 물론 압력게이지(29)가 구성되는데, 상기 자외선램프(28a)는 커튼부(30)에 의해 형성된 차폐벽에 의해 마련된 작업공간의 내부를 살균처리하도록 구성되고, 상기 조명램프(28b)는 작업공간내의 조명을 제공하기 위한 것으로, 이는 앞서의 설명에서와 같이 제어패널(12)에 구비된 스위치에 의해 그 온/오프가 결정된다.In addition, an
이때, 상기 압력게이지(29)는 상기 에어챔버(24)를 통해 작업공간으로 토출되는 고청정의 공기에 대한 토출압력을 체크하도록 구성된다.At this time, the
상기 커튼부(30)는 상기 토출덕트(20)의 일측 끝단에 중첩되게 마련되어 청정공기에 대한 차폐벽을 이루는 것이지만, 작업자의 신체 특정부위(예; 손)는 통과가 가능하도록 구성되며, 정전기 방지를 위한 무정전 비닐을 사용한다.The
즉, 상기 커튼부(30)는 외부를 차단하는 차폐벽을 형성하면서 송풍팬(11)에 의해 에어챔버(24)에서 작업공간으로 청정되어 토출되는 공기가 외부로 빠져 나오지 못하도록 상호 밀착된 구조인 반면, 작업공간에서 작업자의 작업이 이루어지도록 그 벌어짐은 작업자에 의해 쉽게 이루어지도록 설계된 것이다.That is, the
상기 청정 작업대(40)는 상기 커튼부(30)에 의해 만들어진 작업공간내에 위치하도록, 상기 부스본체(10)에 마련된 순환흡입구(13)에 선택적으로 끼움 결합되는 구조로서, 제 2 플랜지(41), 다중통기공(42), 외기흡입구(43), 캐스터(100), 니플(44), 제 1,2 배관(45a)(45b), 제 1,2 밸브(46a)(46b)를 포함한다.The clean work table 40 is a structure that is selectively fitted to the
상기 제 2 플랜지(41)는 상기 청정작업대(40)의 일측면에 마련되며, 이는 상기 순환흡입구(13)로 끼움 결합되어, 상기 순환흡입구(13)에 마련된 제 1 플랜지(14)의 탄력돌기(15)에 의해 그 움직임이 제한된다.The
상기 다중 통기공(42)은 상기 토출덕트(20)를 통해 작업공간으로 토출되는 청정공기의 흐름을 부스본체(10)로 재순환시키기 위한 것으로, 상기 청정작업대(40)의 평면에 마련된다.The multiple vent holes 42 are for recycling the flow of clean air discharged into the work space through the
상기 외기흡입구부(43)는 상기 송풍팬(11)의 구동으로 크린룸내의 외기를 흡입할 때 그 흡입경로를 안내하도록 상기 청정작업대(40)의 타측면에 마련된다.The outside
상기 니플(44)은 도면에 도시하지 않았지만 외부의 진공펌프와 에어콤프레셔가 연결되기 위해 상기 청정작업대(40)의 저면에 구성된다.Although not shown in the figure, the
상기 제 1,2 배관(45a)(45b)는 상기 니플(44)에 일단이 연결되고 타단은 상기 다중통기공(42)이 마련된 청정작업대(40)의 평면으로 연장 구성되며, 상기 제 1 배관(45a)의 타단에 결합되는 상기 제 1 밸브(46a)는 상기 청정작업대(40)의 작업 공간을 진공상태로 만들기 위해 진공펌프의 구동시 작업공간내의 에어를 외부로 토출시키도록 작업자에 의해 수동 개폐되는 것이고, 상기 제 2 배관(45b)의 타단에 결합되는 상기 제 2 밸브(46b)는 상기 청정작업대(40)의 작업공간으로 소정압력의 에어를 공급하도록 에어콤프레셔의 구동시 상기 작업공간내에 소정압력의 에어를 공급하도록 작업자에 의해 수동 개폐되는 것이다.One end of the first and
한편, 도 6은 상기 회전덕트(22)에 대한 다른 실시예를 도시한 것으로, 도 6을 참조하면, 상기 회전덕트(22)는 하나의 흡입구와 두 개의 토출구를 가진 다단의 분기형 덕트로서 제 1,2,3 덕트(26)(27a)(27b)로 구성된다.6 illustrates another embodiment of the
상기 제 1 덕트(26)는 고정덕트(21)와 제 1 베어링(23)을 통해 연결되는 구조이고, 상기 제 2,3 덕트(27a)(27b)는 상기 제 1 덕트(26)로부터 분기되는 구조로서, 상기 제 1,2,3 덕트(26)(27a)(27b)는 일체형이다.The
이때, 상기 제 2,3 덕트(27a)(27b)에는 각각 제 2 베어링(25)(25')을 통해 토출덕트(24)가 독립적으로 연결되며, 이는 부스본체(10)의 양측면에 마련된 순환흡입구(13)로 각각 청정작업대(40)(40')가 동시에 끼움 결합될 때, 상기 청정작업대(40)(40')가 위치하는 작업공간의 내부를 동시에 청정시키기 위함이다.At this time, the
또한, 상기 제 1 덕트(26)에는 수동 개폐형의 제 1,2 볼륨댐퍼(26a)(26b)가 결합되며, 이는 작업이 이루어지는 청정작업대(40)(40')에만 공기를 토출하거나 또는 제 2,3 덕트(27a)(27b)를 통한 공기의 토출량을 조절하도록, 상기 제 2,3 덕트(27a)(27b)에 근접되는 위치에 구성된다.In addition, the
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 작용을 첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.The operation according to the embodiment of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 1 to 6.
먼저, 크린룸내에 캐스터(100)를 가진 부스본체(10)를 위치시킨 상태에서, 상기 부스본체(10)의 양측면에 마련된 순환흡입구(13) 중 어느 하나에 캐스터(100)를 가진 청정작업대(40)를 끼움 결합시킨다.First, in a state where the booth
즉, 상기 순환흡입구(13)에는 프리필터(13a)는 물론, 탄력돌기(15)가 형성된 제 1 플랜지(14)가 마련되어 있고, 상기 청정작업대(40)의 일측면에는 제 2 플랜지(41)가 마련되어 있는 바, 상기 제 2 플랜지(41)를 제 1 플랜지(14)로 끼움 결합시키면, 상기 제 2 플랜지(41)는 탄력돌기(15)에 의해 제 1 플랜지(14)와의 밀착력이 강화되면서 그 움직임이 제한된다.That is, the
여기서, 사용하지 않는 순환흡입구(13)는 제 1 덮개(16)를 통해 밀폐하여 공기의 외부 누수를 차단하도록 하였다.Here, the unused
이후, 상기 부스본체(10)에 마련된 제어패널(12)을 통해 송풍팬(11)을 구동시키는 한편, 토출덕트(20)에 포함된 에어챔버(24)에 마련된 자외선램프(28a)와 조명램프(28b)를 온 시킨다.Subsequently, the
그러면, 상기 송풍팬(11)은 최초 구동시 크린룸내의 외기를 청정작업대(40)에 마련된 외기흡입구(43)를 통해 흡입하고, 상기 흡입된 외기는 프리필터(13a)를 통해 1차 정화된다.Then, the
그리고, 상기 1차 정화된 공기는 고정덕트(21)와 회전덕트(22) 및 에어챔버(24)의 결합구조로 이루어진 토출덕트(20)를 통해 고도의 청정도가 필요로 하는 작업공간으로 토출되는 한편, 상기 작업공간으로부터 토출되는 공기를 흡입한 후 이를 다시 토출덕트(20)를 통해 작업공간으로 재토출하는 동작을 반복하게 된다.The primary purified air is discharged to a work space requiring high cleanliness through a
이때, 상기 에어챔버(24)에는 헤파필터(24a)가 마련되어 있는 바, 상기 헤파필터(24a)는 순환이 이루어지는 공기를 2차 정화시킨 후 그 2차 정화된 공기를 작업공간으로 토출시키고, 상기 정화되어 토출되는 공기는 다시 청정작업대(40)의 평면상에 마련된 다중 통기공(42)을 통해 다시 부스본체(10)로 그 흡입이 이루어질 수 있게 되는 것이다.In this case, the
여기서, 상기 헤파필터(24a)를 통해 2차 정화가 이루어진 고청정의 공기가 작업공간으로 토출될 때 그 압력은 에어챔버(24)에 마련된 압력게이지(29)에 의해 체크되도록 하였으며, 상기 압력게이지(29)로부터 체크되는 결과에 따라 송풍팬(11)의 구동력을 적절히 제어하도록 하였다.Here, when the high-purity air, which has been secondaryly purified through the
따라서, 상기와 같이 공기의 재순환이 이루어질 때, 상기 토출덕트(20)의 하단에 결합된 커튼부(30)에 의해 만들어진 청정작업대(40) 위의 작업공간은 크린룸내의 청정도보다 높은 고도의 청정도를 유지할 수 있게 되고, 이에따라 작업자는 팔을 커튼부(30)로 이루어진 차폐벽을 관통시킨 상태에서 원하는 작업 즉, 부품 교체 또는 재설비 등과 같이 고도의 청정도가 유지되어야만 실시할 수 있는 작업을 수행할 수 있게 되는 것이다.Therefore, when the air is recycled as described above, the work space on the
한편, 상기와 같은 작업이 수행되고 있는 상태에서, 작업자가 작업위치를 변경할 필요가 있을 경우, 먼저 부스본체(10)의 일단에 결합된 청정 작업대(40)를 이탈시킨 후 이를 상기 부스본체(10)의 타단에 마련된 또 다른 순환흡입구(13)에 끼움 결합시킨다.On the other hand, in the state in which the work is being performed, when the worker needs to change the working position, first leaving the clean work table 40 coupled to one end of the
이후, 상기 토출덕트(20)의 고정덕트(21)에 제 1 베어링(23)을 통해 연결된 회전덕트(22)를 위치 변경이 이루어진 청정 작업대(40)의 방향으로 회전시킨 후, 상기 회전덕트(22)에 제 2 베어링(25)을 통해 연결된 에어챔버(24)를 미세 회전시키면서 상기 청정 작업대(40)의 위에 정확하게 에어챔버(24)를 위치시킨다.Thereafter, the
그러면, 상기 에어챔버(24)에 의해 결합된 커튼부(30)로부터 앞서의 설명과 같이 청정 작업대(40)의 위에는 커튼부(30)에 의해 차폐되는 작업공간이 마련되고, 그 작업공간은 다시 송풍팬(11)의 구동으로부터 고도의 청정도를 유지할 수 있게 되면서, 작업자는 청정 작업대(40)의 위치 변경이 이루어진 곳에서 또 다른 작업을 수행할 수 있게 되는 것이다.Then, a work space shielded by the
여기서, 상기의 설명에서는 한 명의 작업자가 청정 작업대(40)의 위치를 변경시키면서 이종의 작업을 실시하는 동작상태를 설명하였지만, 복수의 작업자가 서로 중복되지 않은 상태에서 수시로 청정 작업대(40)의 위치를 변경시키면서 서로 다른 작업을 실시할 수도 있다.Here, in the above description, the operation state in which one worker performs heterogeneous work while changing the position of the
한편, 도 6에서와 같은 본 발명의 다른실시예는 부스본체(10)의 양측면에 마련된 순환흡입구(13)에 각각 독립적으로 청정 작업대(40)(40')를 끼움 결합한 후, 상기 청정 작업대(40)(40')의 위로 회전덕트(22)의 또 다른 실시예인 분기형의 덕트를 위치시켜, 복수의 작업자가 동시에 고도의 청정도를 필요로 하는 작업을 동시에 수행할 수 있도록 하였다.On the other hand, in another embodiment of the present invention as shown in Figure 6, after fitting the
즉, 부스본체(10)의 양측에 마련된 순환흡입구(13)로부터 각각 제 2 덮개(16)를 제거한 후, 상기 순환흡입구(13)에 각각 청정작업대(40)(40')를 결합한 다.That is, after removing the
그리고, 상기 부스본체(10)의 상단에 마련된 고정덕트(21)의 위에 분기형의 덕트로서 제 2,3 덕트(27a)(27b)가 분기되는 제 1 덕트(26)를 제 1 베어링(23)을 통해 결합시킨 후, 상기 제 2,3 덕트(27a)(27b)에 각각 제 2 베어링(25)(25')을 통해 에어챔버(24)(24')를 연결하고, 상기 에어챔버(24)(24')의 하단부로 각각 커튼부(30)(30')를 이용하여 차폐벽을 형성하는 한편, 상기 제 1 덕트(26)에는 제 1,2 볼륨댐퍼(26a)(26b)를 마련한다.In addition, the
그러면, 상기 복수의 청정작업대(40)(40')의 위로는 각각 동일한 작업공간이 마련되는 바, 상기 제 1,2 볼륨댐퍼(26a)(26b)를 모두 오픈시킨 상태에서 송풍팬(11)을 구동시키면, 상기 복수개로 마련된 작업공간은 에어챔버(24)(24')의 헤파필터(24a)를 통해 2차 정화가 이루어지는 공기를 통해 고도의 청정도를 유지할 수 있게 되는 것이다.Then, the same working space is provided above the plurality of
따라서, 상기와 같이 부스본체(10)의 양측면에 각각 마련된 작업공간을 통해 복수의 작업자는 서로 다른 작업을 동시에 실시할 수 있게 되는 것이다.Therefore, as described above, a plurality of workers can perform different tasks at the same time through the working spaces provided on both sides of the
여기서, 상기 부스본체(10)의 양측으로 복수의 청정작업대(40)(40')가 결합되어 있는 상태에서, 상기 청작작업대(40)(40') 중 어느 하나를 사용하지 않거나 또는 공기의 토출량을 서로 다르게 하고자 하는 경우, 작업자는 상기 제 1 덕트(26)에 마련된 제 1,2 볼륨댐퍼(26a)(26b) 중 어느 하나를 닫거나 또는 열림각도를 조절한다.Here, in a state in which a plurality of
그러면, 상기 제 1 또는 제 2 볼륨댐퍼(26a)(26b)의 열림량 또는 닫힘상태로 부터 사용되지 않은 청정작업대(40)(40')로는 공기의 토출이 미세하게 이루어지거나 또는 전혀 이루어지지 않게 되는 것이다.Then, the air is not discharged to the
이상에서 설명한 바와같이 본 발명은 청정 작업대 및 토출덕트의 위치 변경은 물론, 작업자의 작업위치 변경이 자유로운 회전형의 크린부스를 통해, 크린룸내에서 고청정이 필요로 하는 공간에서의 작업 효율성을 높임은 물론, 하나의 크린부스를 통해 다중 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 등 그 사용상의 편의성을 향상시키는 효과가 있다.As described above, the present invention improves the work efficiency in a space requiring high cleanness in a clean room through a rotating clean booth where the position of the clean work bench and the discharge duct can be changed as well as the work position of the operator can be freely changed. Of course, there is an effect of improving the ease of use, such as to facilitate the multi-task through one clean booth.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.
Claims (14)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060090573A KR100837740B1 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | Clean booth of a rotation type |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060090573A KR100837740B1 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | Clean booth of a rotation type |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR20-2005-0019693U Division KR200397537Y1 (en) | 2005-07-06 | 2005-07-06 | Clean booth of a rotation type |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070005530A KR20070005530A (en) | 2007-01-10 |
KR100837740B1 true KR100837740B1 (en) | 2008-06-23 |
Family
ID=37871116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060090573A KR100837740B1 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | Clean booth of a rotation type |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100837740B1 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100854292B1 (en) * | 2007-03-09 | 2008-08-26 | 조영호 | Clean booth |
KR102087887B1 (en) * | 2018-02-19 | 2020-03-12 | 엔텍메디칼(주) | Clean dispensing counter for parenteral injection |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050013929A (en) * | 2003-07-29 | 2005-02-05 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | Clean bench |
KR200375445Y1 (en) * | 2004-11-23 | 2005-03-11 | 성국현 | Clean bench |
KR200395099Y1 (en) | 2005-06-14 | 2005-09-07 | 주식회사 그린퓨어텍 | Bio safety exhaust type crean bench |
-
2006
- 2006-09-19 KR KR1020060090573A patent/KR100837740B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050013929A (en) * | 2003-07-29 | 2005-02-05 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | Clean bench |
KR200375445Y1 (en) * | 2004-11-23 | 2005-03-11 | 성국현 | Clean bench |
KR200395099Y1 (en) | 2005-06-14 | 2005-09-07 | 주식회사 그린퓨어텍 | Bio safety exhaust type crean bench |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070005530A (en) | 2007-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8371912B2 (en) | Unit type clean room | |
EP2014365A2 (en) | Air curtain-isolated biosafety cabinet | |
JP5802855B1 (en) | Block-type suction unit, block-type air supply unit, and environment control device using them | |
JPS6314257B2 (en) | ||
KR20170129484A (en) | Ventilation system using ventilation fan for bathroom | |
JP6978291B2 (en) | Clean booth | |
US20100267321A1 (en) | Air curtain-isolated biosafety cabinet | |
KR100837740B1 (en) | Clean booth of a rotation type | |
KR200397537Y1 (en) | Clean booth of a rotation type | |
JP2011231989A (en) | Clean booth | |
JP6652902B2 (en) | Clean room | |
JP3410389B2 (en) | Clean room | |
JP7039123B2 (en) | Clean booth | |
JP2014070748A (en) | Section method of clean room, and clean room | |
JP2005326093A (en) | Simplified bioclean room | |
KR20190129168A (en) | Air cleaning apparatus | |
JP2006043521A (en) | Safety cabinet | |
JPH0611064Y2 (en) | Fan filter unit for clean room | |
JP3533649B2 (en) | Safety cabinet | |
JP2018004211A (en) | Air blower | |
CN207364825U (en) | Purify the lamps and lanterns of air | |
KR20210073016A (en) | Filter apparatus for air management apparatus | |
JP5308236B2 (en) | Air shower device | |
KR101762764B1 (en) | Duct structure having a cleaning function | |
JPS62182541A (en) | Clean room |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A108 | Dual application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |