KR100829413B1 - Printer - Google Patents
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Abstract
인쇄장치가 개시된다. 본 발명의 인쇄장치는, 판면에 기판을 부상시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사공이 형성되어 있는 워크 테이블(work table); 및 복수의 공기분사공에 각각 결합되어 기판을 향한 공기를 통과시키는 다공성 공기안내부재를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 종래보다 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판을 부상시킬 수 있음은 물론 와류의 발생 소지를 감소시켜 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 예방할 수 있다.A printing apparatus is disclosed. The printing apparatus of the present invention comprises: a work table in which a plurality of air injection holes through which air for causing a substrate to float on a plate surface is formed; And a porous air guide member coupled to each of the plurality of air injection holes to pass air toward the substrate. According to the present invention, it is possible to float the substrate more effectively even with a smaller amount of air than in the prior art, and to reduce the occurrence of vortices, thereby preventing particle problems caused by vortices.
인쇄장치, 워크 테이블, 워크 스테이지, 다공성 공기안내부재, 기판, 부상 Printing device, work table, work stage, porous air guide member, substrate, floating
Description
도 1a 및 도 1b는 각각 R, G, B 패턴이 인쇄된 칼라필터층에 대한 2 종류의 구조를 나타낸 도면들이다.1A and 1B are diagrams showing two types of structures of color filter layers printed with R, G, and B patterns, respectively.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄장치의 개략적인 구조도이다.2 is a schematic structural diagram of a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2에 도시된 워크 테이블의 사시도이다.3 is a perspective view of the work table shown in FIG. 2.
도 4는 도 3의 횡방향 절단 배면 사시도이다.4 is a lateral cut back perspective view of FIG. 3.
도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ 선에 따른 부분 단면도이다.FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 3.
도 6은 도 2에 도시된 워크 스테이지의 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view of the work stage shown in FIG. 2. FIG.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 선에 따른 부분 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 그라비아 롤 10a : 요홈부10:
12 : 지지부 20 : 닥터 블레이드12: support 20: doctor blade
22 : 나이프 30 : 디스펜서22: knife 30: dispenser
40 : 블랭킷 롤 50 : 워크 스테이지40: blanket roll 50: work stage
60 : 하부베이스 70 : 워크 테이블60: lower base 70: work table
71 : 상부 플레이트 72 : 하부 플레이트71: upper plate 72: lower plate
73 : 공기분사공 74 : 구획부73: air sprayer 74: compartment
75 : 공기공급라인 76 : 다공성 공기안내부재75: air supply line 76: porous air guide member
77 : 공기배기공 78 : 그루브77: air exhaust hole 78: groove
본 발명은, 인쇄장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래보다 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판을 부상시킬 수 있음은 물론 와류의 발생 소지를 감소시켜 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 예방할 수 있는 인쇄장치에 관한 것이다.The present invention relates to a printing apparatus, and more particularly, it is possible to float the substrate more effectively even with a smaller amount of air than in the past, as well as to reduce the occurrence of vortices and to prevent particle problems due to vortex generation. Relates to a device.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다. 평판디스플레이는 TV나 컴퓨터의 모니터, 혹은 핸드폰(mobile phone), PDA, 디지털 카메라 등과 같은 기기의 표시장치로 많이 사용된다. 평판디스플레이의 종류에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Recently, as the electronic display industry has developed rapidly among the semiconductor industry, flat panel displays (FPDs) have started to appear. Flat panel displays are commonly used as monitors for TVs or computers, or as display devices for devices such as mobile phones, PDAs, and digital cameras. Types of flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).
평판디스플레이에는 통상적으로 칼라(color) 구현을 위한 칼라필터층이 형성되어 있는데, 화상표시 영역 이외의 영역으로 광이 누설되어 표시장치의 화질이 저하되는 것을 방지하기 위한 블랙매트릭스가 형성되어 있는 칼라필터가 구비된다.A flat panel display typically has a color filter layer for realizing color. A color filter having a black matrix for preventing light from leaking to areas other than the image display area and degrading the image quality of the display device is formed. It is provided.
이러한 칼라필터를 갖는 대표적인 평판디스플레이가 전술한 LCD이다. LCD는 박막트랜지스터가 형성된 박막트랜지스터 기판과, 칼라필터층이 형성된 칼라필터 기판과, 이들 기판 사이에 충전되는 액정을 구비한다.A typical flat panel display having such a color filter is the LCD described above. The LCD includes a thin film transistor substrate on which a thin film transistor is formed, a color filter substrate on which a color filter layer is formed, and a liquid crystal filled between these substrates.
칼라필터층에는, 각각 R, G, B 패턴이 인쇄된 칼라필터층의 2 종류 구조를 도시한 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 통상적으로 R(Red), G(Green), B(Blue) 패턴의 색소를 갖는 화소가 형성된다. 각 화소는 R, G, B를 갖는 서브화소(sub-pixel)로 이루어질 수도 있지만, 일반적으로 각 화소가 하나의 색소를 갖는 것이 보통이다.In the color filter layer, as shown in Figs. 1A and 1B showing two types of color filter layers in which R, G, and B patterns are printed, respectively, R (Red), G (Green), and B (Blue) are typically used. A pixel having a pigment of the pattern is formed. Each pixel may consist of sub-pixels having R, G, and B, but in general, each pixel has one pigment.
칼라필터층을 형성함에 있어, 도 1a에 도시된 바와 같이, 동일한 열에 R, G, B 패턴이 각각 배열되도록 R, G, B 패턴을 일렬로 규칙적으로 배열할 수도 있고, 혹은 도 1b에 도시된 바와 같이, 동일한 행에 R, G, B 패턴을 반복적으로 배열할 수도 있다. R, G, B 패턴의 배열에 따라 해상도의 차이를 다양하게 구현할 수 있다.In forming the color filter layer, as shown in FIG. 1A, the R, G, and B patterns may be regularly arranged in a line such that the R, G, and B patterns are arranged in the same column, respectively, or as shown in FIG. 1B. Similarly, R, G, and B patterns may be repeatedly arranged in the same row. The difference in resolution can be realized in various ways according to the arrangement of the R, G, and B patterns.
이러한 칼라필터층은 다양한 방법, 예를 들어, 염색법, 인쇄법, 전착법, 안료분산법 등의 방법에 의해 제작될 수 있다. 종래의 수동 매트릭스 방식 중 하나인 STN(Super Twisted Nematic) 방식의 LCD에서는 주로 염색법, 인쇄법 및 점착법 등에 의해 칼라필터층을 제작했지만, 정교성이 뛰어나고 재현성이 좋으며 대면적 액정에 적용 가능한 능동 매트릭스 방식인 TFT(Thin Film Transistor) LCD에서는 주로 안료분산법이 사용된다.Such a color filter layer can be produced by various methods, for example, dyeing, printing, electrodeposition, pigment dispersion. STN (Super Twisted Nematic) LCD, which is one of the conventional passive matrix methods, mainly produces color filter layers by dyeing, printing, and adhesive methods, but it is an active matrix method that has excellent elaboration, good reproducibility, and is applicable to large-area liquid crystals. In TFT (Thin Film Transistor) LCD, pigment dispersion method is mainly used.
안료분산법에서는 감광성의 칼라레지스트를 일반적인 포토공정에 의해 패턴을 형성함으로써 칼라필터층을 제작한다. 즉, 감광성의 칼라레지스트를 기판 상에 도포하고 마스크를 이용하여 광을 조사한 후 현상액을 작용시켜 원하는 패턴을 형성함으로써 칼라필터층을 완성한다.In the pigment dispersion method, a color filter layer is produced by forming a pattern of photosensitive color resist by a general photo process. That is, the color filter layer is completed by applying a photosensitive color resist on a substrate, irradiating light using a mask, and then applying a developer to form a desired pattern.
이와 같이 안료분산법에 의해 칼라 필터를 형성하기 위해서는 포토공정이 필요하게 되는데, 이러한 포토공정은 공정이 복잡할 뿐만 아니라 제조비용이 많이 소요되는 문제점을 야기한다. 더욱이 R, G, B 패턴의 색소에 대응하는 화소를 형성하기 위해서는 포토공정을 3회 반복해야만 하기 때문에 공정이 더욱 복잡해진다.As such, a photo process is required to form a color filter by the pigment dispersion method, and this photo process causes a problem that the process is not only complicated but also expensive to manufacture. Furthermore, the process is further complicated since the photo process must be repeated three times in order to form pixels corresponding to the dyes of the R, G, and B patterns.
이러한 안료분산법의 문제점을 극복하기 위하여 최근에는 인쇄법을 TFT LCD 분야에서도 사용하는 방안이 제시되고 있다.Recently, a method of using the printing method in the TFT LCD field has been proposed to overcome the problems of the pigment dispersion method.
인쇄법은 칼라레지스트가 충진된 그라비아(Gravure)와 이에 대응하는 롤(roll)을 구비하여 해당 색소의 칼라레지스트 패턴을 롤의 작용에 의해 기판에 형성하고 이어서 또 다른 롤에 의해 다른 색의 칼라레지스트를 순차적으로 형성하는 방식이다. 이러한 인쇄법이 실용화될 수 있다면 기판에 R, G, B 패턴을 인쇄하여 칼라필터층을 제작하는 공정을 보다 빠르고 효과적으로 수행할 수 있을 것이나, 아직 이러한 인쇄법으로 칼라필터층을 제작할 수 있는 장치가 실용화되지 못한 상태이다. 따라서 이러한 장치에 대한 연구 개발이 활발히 진행중이다.The printing method includes a gravure filled gravure and a corresponding roll to form a color resist pattern of the dye on the substrate by the action of a roll, and then another color color resist by another roll. To form sequentially. If such a printing method can be put into practical use, the process of manufacturing color filter layers by printing R, G, and B patterns on a substrate can be performed more quickly and effectively. It is not. Therefore, research and development on such a device is actively in progress.
한편, 인쇄법을 이용하여 기판에 R, G, B 패턴을 형성함에 있어서는, 실질적으로 인쇄 작업이 이루어지는 장소(이를 워크 스테이지(work stage)라 함)로 기판을 이송시키거나 워크 스테이지에서 기판을 부상시키는 작업이 필요하다.On the other hand, in forming R, G, and B patterns on a substrate by using a printing method, the substrate is transferred to a place where a printing operation is substantially performed (this is called a work stage) or the substrate is floated on the work stage. I need to make it work.
따라서 워크 스테이지까지 기판을 이송시키거나 워크 스테이지에서 기판을 부상시킴에 있어 우선적으로 리프트 핀(Lift pin)을 사용하여 기판을 워크 스테이 지에 로딩(loading)하는 방안을 고려해 볼 수 있으나, 이 경우 워크 스테이지 상에 구멍(hole)을 형성해야 하는데 롤(roll)로 기판에 전이 시 구멍 주위의 기판에 문제가 발생할 수 있다. 마찬가지의 이유로 워크 스테이지에 롤러(roller)나 컨베이어(conveyor)를 설치하기가 곤란하다. 특히, 유리(glass) 재질로 형성되는 기판의 특성상, 롤러나 컨베이어를 통해서 기판을 이송시킬 경우에는 기판에 스크래치가 발생할 수도 있고 혹은 마찰 등에 의해 파티클(particle) 불량을 야기할 수도 있다.Therefore, when transferring the substrate to the work stage or floating the substrate on the work stage, a method of first loading the substrate into the work stage using a lift pin may be considered. In this case, the work stage may be considered. Holes must be formed on the substrate, which can cause problems with the substrate around the holes when the roll is transferred to the substrate. For the same reason, it is difficult to install a roller or a conveyor on the work stage. In particular, when the substrate is transferred through a roller or a conveyor due to the characteristics of the substrate formed of a glass material, scratches may occur on the substrate, or particle defects may be caused by friction.
따라서 이와 같이 예상되는 문제점을 고려하여 기판을 흡착시켜 워크 스테이지까지 기판을 이송시키거나 워크 스테이지에서 기판을 부상시키는 방안이 고려될 수 있다. 하지만, 근자에 들어 40 인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아짐에 따라 LCD를 제조하는 제조사의 경우, 보다 넓은 기판을 제작하기 위해, 가로 및 세로의 폭이 2 미터(m) 이상인 8세대까지 기판의 크기를 증가시키는 연구가 진행되고 있고, 실질적으로 곧 상용화가 예상되는 바, 이처럼 대면적의 기판을 종래기술로 흡착하여 워크 스테이지로 이송시키거나 워크 스테이지에서 부상시키기에는 여러 문제가 발생할 수 있다.Therefore, in consideration of the expected problem, a method of adsorbing the substrate to transfer the substrate to the work stage or floating the substrate on the work stage may be considered. However, with the recent increase in preference for large TVs of 40 inches or larger and large monitors of 20 inches or larger, manufacturers of LCDs have a width of 2 meters (m) in width and length to produce wider substrates. Research on increasing the size of the substrate to the above 8 generations is being conducted, and practical commercialization is expected soon. As such, a large number of problems are required to adsorb such a large-area substrate in the prior art and transport it to the work stage or to float it on the work stage. May occur.
즉, 예를 들어 워크 테이블(work table)에서 기판을 일정 높이 부상시킨 상태에서 진공흡착부재가 기판을 흡착시켜 워크 스테이지로 이송하고, 워크 스테이지에서는 기판을 부상시키기 위하여, 워크 테이블이나 워크 스테이지에 기판을 부상시키기 위한 공기를 분사하는 복수개의 공기분사공을 형성하고, 이 공기분사공들 각각으로 개별적인 공기를 공급하는 방식이 사용될 수 있으나, 이 경우, 기판을 부 상시키기 위해 많은 공기량의 소모가 필요하며 따라서 와류의 발생 소지가 증가되는 문제점이 있으며, 와류의 발생은 파티클의 문제를 야기할 수 있는 문제점이 있다.That is, for example, in a state where the substrate is raised to a certain height in a work table, the vacuum adsorption member absorbs the substrate and transfers the substrate to the work stage, and in the work stage, in order to float the substrate, the substrate is placed on the work table or the work stage. Forming a plurality of air injection holes for injecting air to float the air, and supplying individual air to each of these air injection holes may be used, in this case, a large amount of air consumption is required to injure the substrate Therefore, there is a problem that the occurrence of the vortex is increased, the generation of the vortex has a problem that can cause a problem of particles.
본 발명의 목적은, 종래보다 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판을 부상시킬 수 있음은 물론 와류의 발생 소지를 감소시켜 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 예방할 수 있는 인쇄장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a printing apparatus which can float a substrate more effectively even with a smaller amount of air than in the prior art, as well as reduce the occurrence of vortices to prevent particle problems caused by vortices.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 판면에 기판을 부상시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사공이 형성되어 있는 워크 테이블(work table); 및 상기 복수의 공기분사공에 각각 결합되어 상기 기판을 향한 공기를 통과시키는 다공성 공기안내부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a work table in which a plurality of air injection holes are formed, through which air for causing a substrate to float on a plate surface is formed; And a porous air guide member coupled to each of the plurality of air injection holes to pass air toward the substrate.
여기서, 상기 워크 테이블은 상호 접면하는 상부 및 하부 플레이트를 포함할 수 있으며, 상기 상부 플레이트의 저면에는 상기 공기분사공들을 복수의 그룹(group) 단위로 구획하는 복수의 구획부가 형성되어 있고, 상기 복수의 구획부 각각에는 공기공급라인이 배치될 수 있다.Here, the work table may include an upper and a lower plate that are in contact with each other, a plurality of partitions for partitioning the air injection holes in a plurality of groups (units) is formed on the bottom of the upper plate, the plurality of Each of the compartments of the air supply line may be disposed.
상기 구획부는 상기 상부 플레이트의 저면으로부터 상면을 향하는 방향으로 함몰된 함몰부에 의해 형성될 수 있다.The partition may be formed by a depression recessed in a direction from the bottom of the upper plate toward the upper surface.
상기 공기공급라인은 복수개로 마련될 수 있으며, 상기 공기공급라인들 각각의 일단은 상기 하부 플레이트의 외측으로 노출되고 타단은 상기 하부 플레이트를 관통하여 해당 구획부에 배치될 수 있다.The air supply line may be provided in plural, and one end of each of the air supply lines may be exposed to the outside of the lower plate, and the other end may be disposed in a corresponding compartment through the lower plate.
본 실시예의 인쇄장치는, 상기 복수의 공기공급라인으로 공기를 공급하는 공기공급부; 및 상기 복수의 공기공급라인을 통해 해당 구획부들로 제공되는 공기의 흐름을 선택적으로 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The printing apparatus of this embodiment includes an air supply unit for supplying air to the plurality of air supply lines; And a control unit for selectively controlling the flow of air provided to corresponding partitions through the plurality of air supply lines.
상기 제어부는, 상기 기판이 진입하는 쪽에 위치하는 공기분사공들이 배치된 구획부들로부터 순차적으로 공기를 공급하도록 상기 공기공급부를 제어할 수 있다.The control unit may control the air supply unit to supply air sequentially from the partitions in which the air injection holes positioned at the side where the substrate enters are arranged.
상기 다공성 공기안내부재는, 상기 공기분사공에 삽입되는 삽입축부; 및 상기 삽입축부와 연결되되, 상기 삽입축부에 비해 상대적으로 큰 횡단면 직경을 가지고 상기 함몰부 영역에 배치되는 헤드부를 포함할 수 있다.The porous air guide member, the insertion shaft portion is inserted into the air injection hole; And a head portion connected to the insertion shaft portion and having a relatively large cross-sectional diameter compared to the insertion shaft portion and disposed in the depression area.
상기 삽입축부의 상면은 상기 상부 플레이트의 상면보다 낮게 배치될 수 있다.The upper surface of the insertion shaft portion may be disposed lower than the upper surface of the upper plate.
상기 워크 테이블에는, 상기 복수의 공기분사공으로부터 상기 기판을 향해 분사된 후, 상기 기판에 부딪혀 역류하는 공기를 배기하는 적어도 하나의 공기배기공이 더 형성될 수 있다.The work table may further include at least one air exhaust hole that is ejected toward the substrate from the plurality of air injection holes and exhausts the air flowing back by hitting the substrate.
상기 공기배기공은 상기 공기분사공들 사이사이에 배치될 수 있다.The air exhaust hole may be disposed between the air injection holes.
상기 공기배기공은 상기 워크 테이블의 상면으로부터 하방으로 함몰된 그루브 내에 복수개로 마련될 수 있다.The air exhaust hole may be provided in plural in the groove recessed downward from the upper surface of the work table.
상기 상부 플레이트는 알루미늄 재질로 제작되고, 상기 하부 플레이트는 스테인리스 스틸로 제작될 수 있다.The upper plate may be made of aluminum, and the lower plate may be made of stainless steel.
상기 워크 테이블로부터 이송된 상기 기판에 대하여 실질적으로 R(Red), G(Green), B(Blue) 패턴 중 적어도 어느 하나의 패턴에 대한 인쇄 작업이 진행되는 워크 스테이지(work stage)를 더 포함할 수 있으며, 상기 워크 스테이지에는 판면에 상기 기판을 부상시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사공이 형성될 수 있으며, 상기 복수의 공기분사공에는 각각 상기 기판을 향한 공기를 통과시키는 다공성 공기안내부재가 결합될 수 있다.A work stage may further include a work stage on which at least one of R (Red), G (Green), and B (Blue) patterns is printed, on the substrate transferred from the work table. The work stage may include a plurality of air injection holes through which air for injecting the substrate onto the plate surface may be formed, and each of the plurality of air injection holes may include a porous air guide member through which air is directed toward the substrate. Can be combined.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 판면에 기판을 부상시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사공이 형성되어 있는 워크 스테이지(work stage); 및 상기 복수의 공기분사공에 각각 결합되어 상기 기판을 향한 공기를 통과시키는 다공성 공기안내부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄장치에 의해서도 달성된다.On the other hand, the object is, according to the present invention, a work stage (work stage) is formed with a plurality of air injection holes are sprayed with air for floating the substrate on the plate surface; And it is also achieved by a printing apparatus comprising a porous air guide member coupled to each of the plurality of air injection holes to pass air toward the substrate.
여기서, 상기 워크 스테이지는 석정반일 수 있다.Here, the work stage may be a stone platform.
상기 다공성 공기안내부재가 결합된 상기 복수의 공기분사공은 바둑판식 공기라인에 의해 상호 연결될 수 있다.The plurality of air injection holes to which the porous air guide member is coupled may be interconnected by a tiled air line.
상기 워크 스테이지의 저면에는 상기 공기분사공들을 복수의 그룹(group) 단위로 구획하는 복수의 구획부가 형성되어 있고, 상기 복수의 구획부 각각에는 공기공급라인이 배치될 수 있으며, 상기 구획부는 상기 워크 스테이지의 저면으로부터 상면을 향하는 방향으로 함몰된 함몰부에 의해 형성될 수 있다.A plurality of partitions may be formed on a bottom surface of the work stage to divide the air injection holes into a plurality of groups, and an air supply line may be disposed in each of the plurality of partitions, and the partition may include the workpiece. It may be formed by a depression recessed in a direction from the bottom of the stage toward the top surface.
상기 다공성 공기안내부재는, 상기 공기분사공에 삽입되는 삽입축부; 및 상기 삽입축부와 연결되되, 상기 삽입축부에 비해 상대적으로 큰 횡단면 직경을 가지고 상기 함몰부 영역에 배치되는 헤드부를 포함할 수 있다.The porous air guide member, the insertion shaft portion is inserted into the air injection hole; And a head portion connected to the insertion shaft portion and having a relatively large cross-sectional diameter compared to the insertion shaft portion and disposed in the depression area.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄장치의 개략적인 구조도이다.2 is a schematic structural diagram of a printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
이 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄장치는, 그라비아 롤(10, Gravure roll)과, 그라비아 롤(10)의 외면으로 R(Red), G(Green), B(Blue) 칼라레지스트(칼라잉크, 칼라색소)를 도포하는 디스펜서(30, Dispenser)와, 그라비아 롤(10)의 외면에 도포된 칼라레지스트 중 필요 없는 칼라레지스트를 제거하는 닥터 블레이드(20, Dr. Blade)와, 그라비아 롤(10)로부터 R, G, B 칼라레지스트를 전이 받아 칼라필터 기판(이하, 기판(G)이라 함)의 표면으로 R, G, B 패턴을 인쇄하는 블랭킷 롤(40, Blanket roll)과, 기판(G)에 대한 R, G, B 패턴 중 적어도 어느 한 패턴의 인쇄 작업이 진행되는 워크 스테이지(50, work stage)와, 워크 스테이지(50)의 상면으로 기판(G)을 이송시키는 워크 테이블(70, work table)과, 이들을 지지하는 하부베이스(60)를 구비한다.As shown in this figure, the printing apparatus according to an embodiment of the present invention, the gravure roll (10, Gravure roll), the outer surface of the gravure roll 10 R (Red), G (Green), B ( Blue)
그라비아 롤(10)은, R, G, B 칼라레지스트 중에서 선택된 어느 한 칼라레지스트를 블랭킷 롤(40)의 외면으로 전이하는 역할을 한다. 따라서 그라비아 롤(10)과 블랭킷 롤(40)은 실질적으로 거의 유사한 부피를 갖는다. 이러한 그라비아 롤(10)은 하부베이스(60)에 고정되어 기립 배치된 좌우 한 쌍의 지지부(12)에 의해 해당 위치에서 회전 가능하게 장착된다. 그라비아 롤(10)은 지지부(12)에서 어느 정도의 편심 및 수평축선이 조절될 수 있다.The
참고로, 전술한 도 1a 및 도 1b와 같이, 기판(G)에 R, G, B 패턴을 인쇄함에 있어 하나의 인쇄장치를 통해서 기판(G)에 R, G, B 패턴이 동시에 인쇄되지는 않는다. 즉, 기판(G)에 R, G, B 패턴을 인쇄하기 위해서는 최소한 3대의 인쇄장치가 갖춰지며, 3대의 인쇄장치에 의해 R, G, B 패턴들이 각각 하나씩 선택되어 기판(G)에 인쇄된다.For reference, as described above with reference to FIGS. 1A and 1B, in printing the R, G, and B patterns on the substrate G, the R, G, and B patterns may not be simultaneously printed on the substrate G through one printing apparatus. Do not. That is, in order to print the R, G, and B patterns on the substrate G, at least three printing apparatuses are provided, and each of the R, G, and B patterns is selected and printed on the substrate G by the three printing apparatuses. .
따라서 최초, 디스펜서(30)에 의해 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트를 도포하는 디스펜서(30)는, R, G, B 칼라레지스트 중에서 선택된 어느 한 칼라레지스트만을 그라비아 롤(10)의 외면으로 도포하게 된다. 쉽게 표현하여, 디스펜서(30)는, 빨간색, 녹색, 파란색 중에서 선택된 어느 한 색깔의 잉크만을 그라비아 롤(10)의 외면으로 도포한다.Therefore, the
자세하게 도시하고 있지는 않지만, 그라비아 롤(10)의 외면에는 실질적으로 칼라레지스트가 묻는(도포되는) 요철 패턴이 형성되어 있다. 이 때의 요철 패턴은 양각 혹은 음각의 형태가 모두 가능하다. 양각의 형태라면 돌출된 요철부(미도시)의 외면에 칼라레지스트가 도포되어 블랭킷 롤(40)로 전이되고, 음각의 형태라면 함몰된 요홈부(10a)의 내부에 칼라레지스트가 도포되어 블랭킷 롤(40)로 전이된다.Although not shown in detail, the outer surface of the
다만, 블랭킷 롤(40)이 그라비아 롤(10)의 외면에서 칼라레지스트를 전이 받아 이를 기판(G)에 재전이(인쇄)하여 도 1a 및 도 1b와 같은 형상의 R, G, B 패턴을 형성함에 있어, 기판(G)의 표면으로부터 R, G, B 패턴의 두께를 균일하게 유지 하기 위해서는 그라비아 롤(10)의 외면에 형성된 요철 패턴이 음각의 형태를 갖는 것이 유리할 수 있다.However, the
디스펜서(30)에 의해 그라비아 롤(10)의 외면으로 R, G, B 칼라레지스트 중에서 선택된 어느 한 칼라레지스트가 도포될 때, 도 2의 확대 부분 B에 도시된 바와 같이, 실질적으로 음각 형태의 요홈부(10a)에만 칼라레지스트가 도포되어야 한다. 하지만, 디스펜서(30)가 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트를 도포할 때, 실질적으로 음각 형태의 요홈부(10a)에만 선택적으로 칼라레지스트가 수용되도록 한번에 도포하기는 곤란하다.When any of the color resists selected from R, G, and B color resists is applied to the outer surface of the
따라서 디스펜서(30)가 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트를 도포할 때는 그라비아 롤(10)의 외면 모두에 칼라레지스트를 넓게 펼쳐서 도포하고, 도포가 완료되면 음각 형태의 요홈부(10a)를 제외한 나머지 면(10b)에 도포된, 필요 없는 칼라레지스트를 제거함으로써 최종적으로 요홈부(10a) 내부에만 칼라레지스트가 수용될 수 있도록 하고 있다. 이를 위해, 그라비아 롤(10)의 주변에는 필요 없는 칼라레지스트를 제거하기 위해 닥터 블레이드(20)가 마련된다.Therefore, when the
닥터 블레이드(20)는, 나이프 홀더(21, Knife holder)와, 나이프 홀더(21)에 결합되는 나이프(22)를 구비한다. 나이프 홀더(21)는 본 실시예에서 지지부(12)의 소정 위치에 원터치 형식으로 쉽게 착탈될 수 있는 구조를 갖는다. 나이프(22)는 그라비아 롤(10)의 길이와 거의 유사한 길이를 가지며, 그 선단이 그라비아 롤(10)의 외면에 접촉한 상태에서 그라비아 롤(10)의 외면에 대해 경사지게 배치되어 그라비아 롤(10)의 외면을 긁는 역할을 한다.The
이처럼, 나이프(22)의 선단이 그라비아 롤(10)의 외면에 접촉하고 있으므로 회전하는 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트가 도포되면, 나이프(22)에 의해 음각 형태의 요홈부(10a)를 제외한 나머지 면(10b)에 도포된 칼라레지스트가 자연스럽게 제거될 수 있다. 따라서 최종적으로는 요홈부(10a) 내부에만 칼라레지스트가 수용될 수 있게 되는 것이다(도 2의 B 참조).In this way, since the tip of the
디스펜서(30)는 앞서도 기술한 바와 같이, 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트를 도포하는 역할을 한다. 이러한 디스펜서(30)는 그라비아 롤(10)의 길이방향을 따라 이동 가능하게 마련될 뿐만 아니라 해당 위치에서 승강 혹은 일방향으로 접철 가능하게 마련된다. 따라서 칼라레지스트의 도포 효율을 높일 수 있고, 주변 구조물과의 간섭을 회피할 수 있다.As described above, the
블랭킷 롤(40)은, 그라비아 롤(10)의 외면, 보다 상세하게는 그라비아 롤(10)의 외면에 형성된 요홈부(10a) 내에 도포된 칼라레지스트를 전이 받아 회전하면서 기판(G)에 도 1a 및 도 1b와 같은 R, G, B 패턴을 인쇄하는, 실질적인 인쇄 롤의 역할을 한다.The
이러한 블랭킷 롤(40)의 외면에는 그라비아 롤(10)로부터 칼라레지스트가 전이되는 시트(sheet)가 권취되어 있다. 물론, 적절한 한도 이상의 횟수만큼 사용된 시트는 교체되어야 하므로 블랭킷 롤(40)에는 시트를 용이하게 교체하기 위한 시트교체수단(미도시)이 더 구비된다. 시트교체수단은 시트를 용이하게 교체할 수 있도록 하면서도 블랭킷 롤(40)의 외면에서 시트가 들뜨지 않고 팽팽하게 펼쳐져서 권취될 수 있도록 시트에 일정한 텐션을 부여하는 역할을 겸한다. 시트교체수단은 블 랭킷 롤(40)에서 절개된 일면(40a, 도 2 참조)에 마련된다.On the outer surface of the
블랭킷 롤(40)은 그라비아 롤(10)에 대해 접근 및 이격 가능해야 함은 물론, 워크 스테이지(50) 상에 로딩된 기판(G)의 상면에서 회전할 수 있어야 한다. 이를 위해, 블랭킷 롤(40)의 양측에는 하부베이스(60)의 측면 레일(61) 상에서 블랭킷 롤(40)을 직선 방향으로 이동시킴은 물론 해당 위치에서 블랭킷 롤(40)을 회전시키는 이동회전부(42)가 마련되어 있다. 이동회전부(42)에서 블랭킷 롤(40)을 이동시키는 구조는 예를 들어, 정밀 제어가 가능한 리니어 모션(Linear motion) 등이 적용될 수 있다.The
한편, 워크 스테이지(50)는 기판(G)에 대한 R, G, B 패턴의 인쇄 작업이 진행되는 장소이며, 워크 테이블(70)은 워크 스테이지(50)로 기판(G)을 이송시키는 역할을 담당한다.On the other hand, the
앞서도 기술한 바와 같이, 근자에 들어서는 가로 및 세로의 폭이 2 미터(m) 이상인 8세대 기판(G)을 이용한 공정 작업이 진행되기 때문에 단순한 흡착 방식에 의해 기판(G)을 이송시키기는 곤란하다. 따라서 대안으로서 기판(G)을 부상시킨 후에 기판(G)을 이송시켜야 한다.As described above, since the process operation using the 8th generation substrate G having a width and a width of 2 m or more in the roots is performed, it is difficult to transfer the substrate G by a simple adsorption method. . Thus, as an alternative, the substrate G must be transported after the substrate G is floated.
다만, 기판(G)을 이송시키는 과정에서, 앞서도 설명한 바와 같이, 많은 공기량이 소모된다거나 혹은 불필요한 파티클 문제가 야기되어서는 아니 된다. 따라서 본 실시예에서는 아래와 같은 구조를 채택함으로써 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판(G)을 부상시킬 수 있음은 물론 와류의 발생 소지를 감소시켜 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 예방할 수 있도록 하고 있는 것이다.However, in the process of transferring the substrate G, as described above, a large amount of air should not be consumed or unnecessary particle problems should be caused. Therefore, in the present embodiment, by adopting the following structure, it is possible to float the substrate G more effectively even with a small amount of air and to reduce the occurrence of vortices to prevent particle problems caused by vortices.
이하에서는 설명의 편의를 위해, 워크 테이블(70)의 구조에 대해 먼저 설명하고, 이어서 워크 스테이지(50)의 설명을 부가하기로 한다.Hereinafter, for convenience of description, the structure of the work table 70 will be described first, and then the description of the
도 3은 도 2에 도시된 워크 테이블의 사시도이고, 도 4는 도 3의 횡방향 절단 배면 사시도이며, 도 5는 도 3의 Ⅴ-Ⅴ 선에 따른 부분 단면도이고, 도 6은 도 2에 도시된 워크 스테이지의 사시도이다.3 is a perspective view of the work table shown in FIG. 2, FIG. 4 is a lateral cut back perspective view of FIG. 3, FIG. 5 is a partial cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 3, and FIG. 6 is shown in FIG. 2. Perspective view of a finished work stage.
이들 도면에 도시된 비와 같이, 워크 스테이지(50)로 기판(G)을 부상시켜 이송하는 워크 테이블(70)은 대략 사각 판상의 플레이트로 이루어져 있다. 이는 보편적으로 기판(G)이 사각 판상체로 형성되는 것에 기인한 것이므로, 워크 테이블(70)의 형상은 기판(G)의 형상에 따라 적절하게 변경될 수도 있다.As shown in these figures, the work table 70 that floats and transports the substrate G to the
이러한 워크 테이블(70)은 상호 접면하는 상부 및 하부 플레이트(71,72)를 구비한다. 상부 플레이트(71)는 알루미늄 재질로 제작될 수 있고, 하부 플레이트(72)는 스테인리스 스틸로 제작될 수 있다. 하지만 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니므로 상부 및 하부 플레이트(71,72)의 재질은 적절하게 선택 변경되어도 무방하다.This work table 70 has upper and
상부 플레이트(71)의 판면에는 기판(G)을 부상시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사공(73)이 형성되어 있다. 이러한 공기분사공(73)들은 상부 플레이트(71)의 상면에서부터 저면에 이르도록 상부 플레이트(71)를 관통하여 형성되어 있으며, 상부 플레이트(71)의 상면 전 영역에 걸쳐 고르게 배치되어 있다.On the plate surface of the
이러한 공기분사공(73)들에는 기판(G)을 향해 공기를 분산시켜 안내하는 다공성(porous) 공기안내부재(76)가 각각 결합되어 있다. 다공성 공기안내부재(76)는 그 표면에 수많은 미세 기공이 형성되어 있는 재질로 제작된 것으로서, 이러한 다공성 공기안내부재(76)는 공기분사공(73)을 통해서 기판(G) 부상을 위한 공기를 분사하기는 하되, 공기분사공(73)들이 불필요하게 뚫려서 방치되는 것을 방지하는 역할을 한다.Porous
만일, 다공성 공기안내부재(76) 없이 단순히 공기분사공(73)들을 통해 공기를 분사하게 될 경우에는 불필요하게 기판(G) 부상을 위한 공기의 소모량이 많아질 수밖에 없다. 하지만 본 실시예와 같이, 각 공기분사공(73)들에 다공성 공기안내부재(76)를 마련하게 될 경우에는 공기의 소모량을 줄일 수 있다. 뿐만 아니라 기판(G)으로 향하는 공기의 방향을 적절하게 분산시킬 수 있기 때문에 기판(G) 부상을 위한 효율을 높일 수 있게 되는 것이다.If the air is simply injected through the air injection holes 73 without the porous
이러한 다공성 공기안내부재(76)는, 도 5에 확대 도시된 바와 같이, 공기분사공(73)에 삽입되는 삽입축부(76a)와, 삽입축부(76a)와 연결되되, 삽입축부(76a)에 비해 상대적으로 큰 횡단면 직경을 가지고 후술할 구획부(74)인 함몰부(74) 영역에 배치되는 헤드부(76b)를 포함한다.The porous
따라서 상부 플레이트(71)의 배면을 사시도로 보인 도 4의 경우, 각 공기분사공(73)들의 영역에는 각 공기분사공(73)들의 면적보다 크기가 큰 다공성 공기안내부재(76)의 헤드부(76b)만이 관찰된다. 삽입축부(76a)의 상면은 상부 플레이트(71)의 상면보다 낮게 배치된다. 하지만, 삽입축부(76a)의 상면이 상부 플레이트(71)의 상면과 실질적으로 동일한 높이를 형성해도 무방하다.Therefore, in the case of FIG. 4, which shows the rear surface of the
상부 플레이트(71)의 저면에는 공기분사공(73)들을 복수의 그룹(group) 단위 로 구획하는 복수의 구획부(74)가 형성되어 있다. 복수의 구획부(74)는 상부 플레이트(71)의 저면으로부터 상면을 향하는 방향으로 함몰된 함몰부(74)에 의해 형성된다. 도면을 참조할 때, 본 실시예에서 구획부(74)는 서로 다른 크기로서 총 15개가 형성되어 있다. 하지만 구획부(74)의 크기와 개수 역시 적절하게 선택 변경될 수 있다.A plurality of
각 구획부(74)에는 해당 구획부(74) 내에 위치한 공기분사공(73)들로 개별적인 공기를 공급하는 공기공급라인(75)이 배치되어 있다. 따라서 공기공급라인(75)은 구획부(74)의 개수만큼 복수개로 마련된다. 이 때, 공기공급라인(75)들 각각의 일단은 하부 플레이트(72)의 외측으로 노출되고 타단은 하부 플레이트(72)를 관통하여 해당 구획부(74)에 배치된다.Each
본 실시예의 인쇄장치는, 복수의 공기공급라인(75)으로 공기를 공급하는 공기공급부(미도시)와, 복수의 공기공급라인(75)을 통해 해당 구획부(74)들로 제공되는 공기의 흐름을 선택적으로 제어하는 제어부(미도시)를 더 구비한다.The printing apparatus of this embodiment includes an air supply unit (not shown) for supplying air to the plurality of
이 때, 제어부는 공기공급라인(75)들 모두로 공기를 공급하여 플레이트(70) 상에서 기판(G)이 부상되도록 하여도 좋다. 하지만, 이러한 경우, 실질적으로 공기 소모량을 줄이는데 다소 미흡할 수도 있다.In this case, the controller may supply air to all of the
이에 본 실시예의 경우에는, 제어부를 통해서 기판(G)이 진입하는 쪽에 위치하는 공기분사공(73)들이 배치된 구획부(74)들로부터 순차적으로 공기를 공급하도록 공기공급부를 제어한다. 즉, 별도의 이송장치에서 워크 테이블(70)의 플레이트(70)로 기판(G)이 진입하려 할 때, 기판(G)이 진입되는 쪽의 전방에 위치한 구획 부(74)들로 공기를 공급하여 해당 구획부(74)에 위치하는 공기분사공(73)들로 공기가 분사되도록 한 후, 차츰 후방의 공기분사공(73)들로 공기가 분사되도록 함으로써 기판(G)을 부상시키는데 있어 공기의 소모량을 효과적으로 제어할 수 있다. 물론, 워크 테이블(70)에서 워크 스테이지(50)의 상면으로 기판(G)이 이송될 때에도 제어부에 의해 각 공기분사공(73)들의 공기 분사 방식은 제어될 수 있다.Accordingly, in the present embodiment, the air supply unit is controlled to sequentially supply air from the
한편, 공기분사공(73)들로 공기가 분사되어 플레이트(70)의 상면에서 기판(G)이 부상되는 과정에서 기판(G)에 부딪힌 공기는 플레이트(70)의 상면으로 역류한다. 이 때, 역류되는 공기를 적절하게 배기시키지 못하면 분사되는 공기들이 대면적 기판(G)의 중앙으로 쏠리게 되면서 중앙이 볼록해지는 등 기판(G)에 변형이 발생될 수 있다.On the other hand, the air hit the substrate (G) in the process of the air is injected into the air injection holes (73) to rise the substrate (G) on the upper surface of the
이에, 본 실시예의 인쇄장치에서 플레이트(70)에는 복수의 공기분사공(73)으로부터 기판(G)을 향해 분사된 후, 기판(G)에 부딪혀 역류하는 공기를 배기하는 복수의 공기배기공(77)이 더 형성되어 있다.Therefore, in the printing apparatus of the present embodiment, the
이 때의 공기배기공(77)들은 공기분사공(73)들 사이사이에 배치될 수 있는데, 본 실시예의 경우, 워크 테이블(70)의 상면, 다시 말해 상부 플레이트(71)의 상면으로부터 하방으로 함몰된 그루브(78) 내에 공기배기공(77)들을 형성하고 있다.At this time, the air exhaust holes 77 may be disposed between the air injection holes 73, in the present embodiment, the upper surface of the work table 70, that is, downward from the upper surface of the
한편, 도 6은 도 2에 도시된 워크 스테이지의 사시도이고, 도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 선에 따른 부분 단면도이다.6 is a perspective view of the work stage shown in FIG. 2, and FIG. 7 is a partial cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6.
위의 설명에서는, 다공성 공기안내부재(76)와 그에 따른 각종 구성들이 워크 테이블(70)에 적용된 상태를 설명하였다.In the above description, the porous
하지만, 전술한 구성들, 즉 다공성 공기안내부재(76)와 그에 따른 각종 구성들은, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(G)에 대하여 실질적인 R, G, B 패턴 중 적어도 어는 한 패턴의 인쇄 작업이 진행되는 워크 스테이지(50)에도 적용될 수 있다.However, the above-described configurations, i.e., the porous
다만, 워크 테이블(70)이 각각 금속 재질로 형성된 상부 및 하부 플레이트(71,72)로 제작되는 반면, 워크 스테이지(50)는 금속 재질이 아닌 돌 재질의 석정반으로 제작될 수 있다. 석정반으로 워크 스테이지(50)로 사용할 경우에는 엄격한 치수 관리가 가능하고 기판(G)과의 마찰에 의한 파티클 불량을 발생시키지 않는 이점이 있을 것이다. 워크 스테이지(50)의 개략적인 구조에 대해 간략하게 설명하면 다음과 같다.However, while the work table 70 is made of upper and
도 6 및 도 7을 참조할 때, 워크 스테이지(50)의 표면에는 바둑판식 공기라인(50a)이 형성되어 있다. 바둑판식 공기라인(50a)이 상호 교차하는 교차지점이나 혹은 바둑판식 공기라인(50a) 상에는 공기부상공(53)이 형성되어 있으며, 각 공기부상공(53)들에는 다공성 공기안내부재(76)가 결합되어 있다.6 and 7, a
워크 테이블(70)과 마찬가지로, 다공성 공기안내부재(76)가 결합된 워크 스테이지(50)의 저면에는 공기분사공(53)들을 복수의 그룹(group) 단위로 구획하는 복수의 구획부(54)가 형성되어 있다. 구획부(54)는 전술한 바와 같이, 워크 스테이지(50)의 저면으로부터 상면을 향하는 방향으로 함몰된 함몰부(54)에 의해 형성된다. 각 구획부(54)들에는 전술한 제어부에 의해 상호 개별적으로 제어되는 공기공 급라인(55)이 각각 배치되어 있다.Like the work table 70, a plurality of
한편, 기판(G)은 워크 테이블(70) 상에서 워크 테이블(70)의 표면(상면)에 접촉하지 않고 부상된 상태에서 워크 스테이지(50)로 이송되지만, 워크 스테이지(50)에서는 부상된 상태의 기판(G)을 전해 받기는 하되, 인쇄 작업이 진행될 때는 기판(G)이 워크 스테이지(50)의 표면으로 흡착된다. 따라서 바둑판식 공기라인(50a)을 통해서는 공기가 분사되기도 하고, 반대로 공기가 흡착되기도 한다.On the other hand, the substrate G is transferred to the
참고로, 워크 스테이지(50)의 상면으로 로딩되어 워크 스테이지(50)의 상면에 흡착된 기판(G)에 대한 얼라인(align)은 워크 스테이지(50)의 주변에 마련된 얼라인부(미도시)가 담당한다. 즉, 얼라인부가 워크 스테이지(50) 그 자체를 X축, Y축, Z축 및 θ축으로 이동시킴으로써 작업의 기준이 되는 블랭킷 롤(40)에 대한 기판(G)의 얼라인을 실행하게 된다.For reference, an alignment of the substrate G loaded onto the upper surface of the
이러한 구성을 갖는 인쇄장치의 일련의 동작에 대해 설명하면 다음과 같다.A series of operations of the printing apparatus having such a configuration will be described below.
우선, 별도의 이송장치에 의해 기판(G)이 워크 테이블(70)로 진입된다. 기판(G)이 워크 테이블(70)로 진입되려 할 때, 제어부는 공기공급부를 동작시켜 기판(G)이 진입되는 쪽의 전방에 위치한 구획부(74)들에 위치한 공기공급라인(75)으로 공기를 공급한다. 공기공급라인(75)을 통해서 해당 구획부(74)들로 유입된 공기는 함몰부(74)인 구획부(74) 내에서 넓게 퍼진 다음, 해당 구획부(74)들에 마련되어 있는 다공성 공기안내부재(76)들을 통해 공기분사공(73)들을 통해 분사된다.First, the substrate G enters the work table 70 by a separate transfer device. When the substrate G is to enter the work table 70, the control unit operates the air supply unit to the
따라서 기판(G)은 워크 테이블(70)의 상면에서 상방으로 소정 높이 부상된 채로 워크 테이블(70)로 진입된다. 이어서 제어부는 점차적으로 후방에 위치한 구 획부(74)들로 공기를 공급하여 후방에 위치한 공기분사공(73)들을 통해 공기가 분사되도록 함으로써 워크 테이블(70)의 상부로 완전히 진입한 기판(G)은 워크 테이블(70)의 상부에서 일정 높이 부상될 수 있게 된다. 설명은 생략하였지만, 워크 테이블(70)로 진입하는 기판(G)은 워크 테이블(70)의 주변에 마련된 전/후 및 좌/우 얼라인부에 의해 워크 테이블(70) 상에서 위치가 정렬될 수 있다.Therefore, the substrate G enters the work table 70 with the predetermined height floating upward from the upper surface of the work table 70. Subsequently, the control unit gradually supplies air to the
워크 테이블(70)의 상면에서 부상된 기판(G)은, 별도의 진공흡착부재에 의해 워크 스테이지(50)의 상면으로 이송된다. 진공흡착부재는 기판(G)의 상면을 흡착한 상태에서 기판(G)을 워크 스테이지(50)로 이송시키는 역할을 한다. 이러한 진공흡착부재는 워크 테이블(70)의 상방에 별도의 구조물로서 장착될 수 있다. 이 때, 워크 스테이지(50)에는 바둑판식 공기라인(50a)을 통해 공기가 분사되고 있으므로, 리프트 핀(Lift pin)의 업다운(up/down) 동작에 의해 기판(G)을 전해 받던 종래기술에 따른 문제점을 해소할 수 있다.The substrate G floating on the upper surface of the work table 70 is transferred to the upper surface of the
진공흡착부재에 의해 기판(G)이 워크 스테이지(50)의 상부로 이송되면 바둑판식 공기라인(50a)을 통해 분사되는 공기에 의해 기판(G)은 일정 높이 부상된 상태를 취하며, 이어서, 공기의 분사 과정이 중지되면 공기의 분사가 완료되어 기판(G)이 워크 스테이지(50)의 상면으로 로딩된다. 그리고는 바둑판식 공기라인(50a)을 통해서 공기가 흡착됨으로써 기판(G)은 워크 스테이지(50)의 상면에 흡착되어 위치 고정될 수 있게 된다.When the substrate G is transferred to the upper portion of the
기판(G)이 워크 스테이지(50)의 상면에서 위치 고정되어 흡착되면, 블랭킷 롤(40)에 대한 기판(G)의 상대적인 얼라인 과정이 진행된다. 즉, 워크 스테이 지(50)의 주변에 마련된 얼라인부에 의해 워크 스테이지(50)가 X축, Y축, Z축 및 θ축으로 이동되면서 기판(G)에 대한 얼라인이 진행된다.When the substrate G is fixed by being fixed on the upper surface of the
다음, 디스펜서(30)가 그라비아 롤(10)의 외면으로 R, G, B 칼라레지스트 중에서 선택된 어느 한 칼라레지스트를 도포한다. 이 때, 닥터 블레이드(20)의 나이프(22) 선단이 그라비아 롤(10)의 외면에 접촉하고 있으므로, 회전하는 그라비아 롤(10)의 외면으로 칼라레지스트가 도포되는 과정에서 나이프(22)에 의해 음각 형태의 요홈부(10a)를 제외한 나머지 면(10b)에 도포된, 필요 없는 칼라레지스트가 제거된다. 따라서 최종적으로는 요홈부(10a) 내부에만 칼라레지스트가 수용된다.Next, the
그라비아 롤(10)의 외면에 칼라레지스트가 도포되면, 이동회전부(42)에 의해 블랭킷 롤(40)이 그라비아 롤(10) 쪽으로 이동한다. 블랭킷 롤(40)이 이동하여 그라비아 롤(10)에 접촉되면, 그라비아 롤(10)과 블랭킷 롤(40) 간의 상대 회전에 의해 그라비아 롤(10)의 외면에 도포된 칼라레지스트가 그대로 블랭킷 롤(40)의 외면에 권취된 시트로 전이된다. 블랭킷 롤(40)의 외면으로 칼라레지스트가 전이되고 나면, 다시 이동회전부(42)에 의해 블랭킷 롤(40)은 워크 스테이지(50)의 초입 부분으로 이동한다.When the color resist is applied to the outer surface of the
그런 다음, 블랭킷 롤(40)은 이동회전부(42)에 의해 기판(G)의 표면으로 이동 및 회전하면서 기판(G)의 표면에 R, G, B 패턴 중에서 선택된 어느 한 패턴을 인쇄(재전이)하게 된다. 인쇄 작업이 완료되면 블랭킷 롤(40)은 원위치로 복귀되고, 인쇄 작업을 마친 기판(G)은 취출되어 R, G, B 패턴 중에서 다른 패턴의 인쇄 작업을 위해 다른 인쇄장치로 옮겨져 전술한 과정을 반복하게 된다.Then, the
이와 같이, 본 실시예에 의하면, 전술한 일련의 인쇄 작업이 진행되기 위해 기판(G)을 이송시키는 과정에서 종래보다 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판(G)을 부상시킬 수 있을 뿐만 아니라 와류의 발생을 감소시킴으로써, 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 해소할 수 있게 되는 것이다.As described above, according to the present embodiment, in the process of transporting the substrate G in order to proceed with the above-described series of printing operations, the substrate G can be lifted more effectively with less air volume than before, and the vortex is generated. By reducing this, it is possible to solve the particle problem caused by the generation of vortex.
전술한 실시예에서는 블랭킷 롤(Blanket roll)이 그라비아 롤(Gravure roll)에서 칼라레지스트를 전이 받도록 하고 있으나, 그라비아 롤 대신에 사각판 형상의 그라비아 플레이트(Gravure plate)를 마련하고, 블랭킷 롤이 그라비아 플레이트로부터 칼라레지스트를 전이 받도록 할 수도 있을 것이다.In the above-described embodiment, the blanket roll is used to transfer the color resist in the gravure roll, but instead of the gravure roll, a gravure plate having a rectangular plate shape is provided, and the blanket roll is a gravure plate. It may be possible to transfer color resist from the substrate.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 종래보다 적은 공기량으로도 보다 효과적으로 기판을 부상시킬 수 있음은 물론 와류의 발생 소지를 감소시켜 와류의 발생으로 인한 파티클 문제를 예방할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to float the substrate more effectively even with a smaller amount of air than in the related art, and to reduce the occurrence of vortices, thereby preventing particle problems due to the generation of vortices.
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