KR100825021B1 - Inner-voltage generator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 상대적으로 낮은 전위레벨을 갖는 저전원에서도 안정적인 전위레벨을 유지하는 내부전압을 생성하는 내부전압 생성회로에 관한 것이며, 외부전원전압을 공급받아 제1기준전압 및 제2기준전압을 생성하는 기준전압 생성수단과, 펌핑전압을 생성하는 펌핑전압 생성수단과, 제1기준전압에 응답하여 상기 외부전원전압의 전위레벨을 검출하고 검출결과에 따라 상기 펌핑전압 또는 상기 외부전원전압을 공급하는 전원공급수단과, 제2기준전압에 응답하여 내부전압을 생성하며 상기 전원공급수단으로부터 제공된 전압을 전원으로서 사용하는 내부전압 생성수단, 및 내부전압을 입력받아 설정된 동작을 수행하는 내부회로를 포함한다.The present invention relates to an internal voltage generation circuit for generating an internal voltage that maintains a stable potential level even at a low power supply having a relatively low potential level, and generates a first reference voltage and a second reference voltage by receiving an external power supply voltage. A reference voltage generating means, a pumping voltage generating means for generating a pumping voltage, and a power source for detecting a potential level of the external power supply voltage in response to a first reference voltage and supplying the pumping voltage or the external power supply voltage according to a detection result And a supply means, an internal voltage generation means for generating an internal voltage in response to the second reference voltage and using the voltage provided from the power supply means as a power source, and an internal circuit for receiving the internal voltage and performing a set operation.

저전원, 내부 전원 생성기, 펌핑전압 Low Power, Internal Power Generator, Pumping Voltage

Description

내부전압 생성기{INNER-VOLTAGE GENERATOR}Internal Voltage Generator {INNER-VOLTAGE GENERATOR}

도 1은 종래의 기술에 따라 도시한 디램(DRAM)의 전원공급 블록도이다.1 is a block diagram of a power supply of a DRAM according to the related art.

도 2는 도 1에서 도시된 내부전압 생성부(20)를 상세히 도시한 회로도이다.FIG. 2 is a circuit diagram showing in detail the internal voltage generator 20 shown in FIG. 1.

도 3은 종래의 기술에 따라 노멀전원 및 저전원을 입력받아 생성된 내부전압을 내부회로에서 사용하였을 때, 변동하는 내부전압의 전위레벨을 도시한 시뮬레이션(simulation) 그래프이다.FIG. 3 is a simulation graph showing potential levels of a changing internal voltage when an internal voltage generated by receiving a normal power source and a low power source is used in an internal circuit according to the related art.

도 4는 본 발명의 실시예에 따라 도시한 디램(DRAM)의 전원공급 블록도이다.4 is a power supply block diagram of a DRAM according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예에 따라 도 4에서 도시된 내부전압 생성부(200) 및 전원공급부(400)를 상세히 도시한 회로도이다.5 is a circuit diagram illustrating in detail the internal voltage generation unit 200 and the power supply unit 400 shown in FIG. 4 according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 회로 및 종래의 기술에 따른 회로에서 저전원을 사용하여 생성된 각각의 내부전압을 내부회로에서 사용하였을 때, 변동하는 내부전압의 전위레벨을 도시한 시뮬레이션(simulation) 그래프이다.6 is a simulation showing the potential level of the internal voltage that changes when each internal voltage generated by using a low power supply in the circuit according to the embodiment of the present invention and the circuit according to the prior art is used in the internal circuit ( simulation) Graph.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.* Explanation of symbols for the main parts of the drawings.

100 : 기준전압 생성부.100: reference voltage generator.

200 : 내부전압 생성부.200: internal voltage generation unit.

300 : 내부회로부.300: internal circuit part.

400 : 전원 공급부.400: power supply.

500 : 펌핑전압 생성기.500: pumping voltage generator.

본 발명은 내부전압을 생성하여 내부회로에 사용하는 반도체 소자에 관한 것으로, 특히 상대적으로 낮은 전위레벨을 갖는 저전원에서도 안정적인 전위레벨을 유지하는 내부전압을 생성하는 내부전압 생성회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device for generating an internal voltage for use in an internal circuit, and more particularly to an internal voltage generation circuit for generating an internal voltage maintaining a stable potential level even at a low power supply having a relatively low potential level.

반도체 메모리 소자의 초고속, 고밀도, 저전력화에 따라 디램에서는 내부전압을 사용하여 왔다. 내부전압을 생성하기 위해서는 기준(Reference)전위를 갖는 기준전압을 만들고, 생성된 기준전압을 사용하여 차지 펌핑(charge pumping) 또는 다운 컨버팅(down converting)등을 이용하여 만든다. Due to the high speed, high density, and low power of semiconductor memory devices, internal voltages have been used in DRAMs. In order to generate the internal voltage, a reference voltage having a reference potential is made, and the generated reference voltage is used by charge pumping or down converting.

차지 펌핑(charge pumping)을 이용한 대표적인 내부 전원으로는 승압전압(VPP)과 백 바이어스 전압(VBB)이 있다. 또한, 다운 컨버팅(down converting) 이용한 대표적인 내부 전원으로는 코어전압(VCORE)이 있다.Typical internal power sources using charge pumping include boost voltage (VPP) and back bias voltage (VBB). In addition, a representative internal power source using down converting is a core voltage VCORE.

일반적으로 승압전압(VPP)은 셀을 액세스하기 위해 셀 트랜지스터의 게이트 (또는 워드 라인(Word line))에 셀 데이터의 손실이 없도록 외부전원전압(VDD)보다 높은 전위를 인가하기 위해 만든다.In general, the boosted voltage VPP is made to apply a potential higher than the external power supply voltage VDD so that there is no loss of cell data to the gate (or word line) of the cell transistor to access the cell.

또한, 백 바이어스 전압(VBB)은 셀에 저장되어 있는 데이터의 손실을 막기 위해서 셀 트랜지스터의 벌크에 외부접지전압(VSS)보다 낮은 전위를 인가하기 위해 만든다.In addition, the back bias voltage VBB is made to apply a potential lower than the external ground voltage VSS to the bulk of the cell transistor in order to prevent loss of data stored in the cell.

그리고, 코어전압(VCORE)은 전력손실을 줄이고 안정된 코어의 동작을 위해 외부전원전압(VDD)를 다운 컨버팅(down converting)하여 외부전원전압(VDD)보다 낮고 동작영역 내에서는 외부전원전압(VDD)의 변동에 대해 일정한 전위를 유지하도록 증폭기(op-amp)등을 사용하여 만든다.In addition, the core voltage VCORE is down converted from the external power supply voltage VDD to reduce power loss and stabilize the operation of the core. The core voltage VCORE is lower than the external power supply voltage VDD. It is made by using an op-amp to maintain a constant potential against the fluctuation of.

도 1은 종래의 기술에 따라 도시한 디램(DRAM)의 전원공급 블록도이다.1 is a block diagram of a power supply of a DRAM according to the related art.

도 1을 참조하면, 종래의 기술에서 디램(DRAM)의 전원공급과정은 다음과 같다.Referring to FIG. 1, a power supply process of a DRAM in the related art is as follows.

첫째, 기준전압 생성부(10)는 내부전압을 생성하기 위한 기준전압(VREF)을 생성한다.First, the reference voltage generator 10 generates a reference voltage VREF for generating an internal voltage.

둘째, 내부전압 생성부(20)는 생성된 기준전압(VREF)에 응답하여 승압전압(VPP), 백 바이어스 전압(VBB), 및 코어전압(VCORE) 등의 내부전압(IN_VOL)을 생성한다.Second, the internal voltage generator 20 generates an internal voltage IN_VOL such as a boosted voltage VPP, a back bias voltage VBB, and a core voltage VCORE in response to the generated reference voltage VREF.

셋째, 내부회로부(30)는 생성된 내부전압(IN_VOL)을 사용하여 반도체 소자 내부의 회로를 동작시킨다.Third, the internal circuit unit 30 operates the circuit inside the semiconductor device by using the generated internal voltage IN_VOL.

도 2는 도 1에서 도시된 내부전압 생성부(20)를 상세히 도시한 회로도이다.FIG. 2 is a circuit diagram showing in detail the internal voltage generator 20 shown in FIG. 1.

도 2를 참조하면, 내부전압 생성부(20)는 인에이블 신호(IN)가 로직'하이'(High)로 활성화되고, 기준전압(VREF)이 입력되면 내부전압(IN_VOL)을 생성하는 비교기를 포함한다.Referring to FIG. 2, the internal voltage generator 20 may include a comparator configured to generate an internal voltage IN_VOL when the enable signal IN is logic 'high' and the reference voltage VREF is input. Include.

즉, 인에이블 신호(IN)가 로직'하이'(High)로 활성화되면, PMOS트랜지스터인 P2와 P5 및 P7은 턴 오프(turn Off)되고, NMOS트랜지스터인 N3는 턴 온(turn On)되어 내부전압 생성부(20)가 동작하기 시작한다.That is, when the enable signal IN is logic 'high', the PMOS transistors P2, P5 and P7 are turned off, and the NMOS transistor N3 is turned on to be internal. The voltage generator 20 starts to operate.

내부전압 생성부(20)의 동작이 시작되면, 하프전압(HALF)의 전위레벨에 따라 두 가지 상태로 동작한다.When the operation of the internal voltage generator 20 starts, it operates in two states according to the potential level of the half voltage HALF.

여기서, 하프전압(HALF)은 내부전압 생성부(20)에서 출력되는 내부전압(IN_VOL)을 저항소자인 R1과 R2의 저항값에 따라 분배한 전압을 의미하며, 만약 R1과 R2가 같은 저항값이면 내부전압(IN_VOL)의 전위레벨을 반으로 나눈 것과 같은 전위레벨을 갖는다.Here, the half voltage HALF means a voltage obtained by dividing the internal voltage IN_VOL output from the internal voltage generator 20 according to the resistance values of R1 and R2 as resistance elements. The rear side has a potential level equal to half the potential level of the internal voltage IN_VOL.

먼저, 내부전압 생성부(20)가 초기상태이므로 하프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 낮은 경우를 설명해보면 다음과 같다. 물론, 하프전압(HALF)의 전위레벨이 NMOS트랜지스터인 N2의 문턱 전압(Vt)보다는 높은 전압이라고 가정한다. 또한, 비교기의 두 입력단이며 NMOS트랜지스터인 N1과 N2는 크기가 동일한 트랜지스터하고 가정한다.First, since the internal voltage generator 20 is in an initial state, the case where the potential level of the half voltage HALF is lower than the potential level of the reference voltage VREF will be described. Of course, it is assumed that the potential level of the half voltage HALF is higher than the threshold voltage Vt of N2 which is an NMOS transistor. In addition, it is assumed that the two input terminals of the comparator and the NMOS transistors N1 and N2 are transistors of the same size.

하프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 낮으므로 NMOS트랜지스터인 N1에 걸리는 게이트-소스전압(VGS)이 N2에 걸리는 게이트-소스전압(VGS)보다 높은 전위레벨을 갖는다. 즉, A노드의 전압하강이 C노드의 전압하강보다 크게 일어난다. A노드의 전압하강은 PMOS트랜지스터인 P1을 턴 온(turn On) 시키게 되고, P1을 통해 공급되는 외부전압(VDD)은 B노드를 거쳐서 NMOS트랜지스터인 N5를 턴 온(turn On) 시키게 된다. 마찬가지로 C노드의 전압하강도 PMOS트랜지스터인 P6를 턴 온(turn On) 시키지만, A노드의 전압하강에 의해 턴 온(turn On) 된 N5보다는 적게 턴 온(turn On) 되므로 P6의 전하공급력은 N5보다 작다.Since the potential level of the half voltage HALF is lower than that of the reference voltage VREF, the gate-source voltage VGS applied to N1 as the NMOS transistor has a potential level higher than the gate-source voltage VGS applied to N2. . That is, the voltage drop of the A node is greater than the voltage drop of the C node. The voltage drop of node A turns on the PMOS transistor P1, and the external voltage VDD supplied through P1 turns on the NMOS transistor N5 via B node. Similarly, the voltage drop of node C turns on P6, which is a PMOS transistor, but turns on less than N5, which is turned on by the voltage drop of node A. Is less than

전술한 일련의 동작으로 인해 드라이빙 노드(ON_NODE)는 로직'로우'(Low)가 되고, 이로 인해 PMOS트랜지스터인 P8이 턴 온(turn On)되어 내부전압(IN_VOL)의 전위레벨을 상승시키게 된다. 이렇게 전위레벨이 상승한 내부전압(IN_VOL)은 하프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 높아질 때까지 계속된다.Due to the above-described series of operations, the driving node ON_NODE becomes logic 'low', which causes the PMOS transistor P8 to be turned on to raise the potential level of the internal voltage IN_VOL. The internal voltage IN_VOL in which the potential level rises is continued until the potential level of the half voltage HALF becomes higher than the potential level of the reference voltage VREF.

그리고, 하프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 높은 경우를 설명해보면 다음과 같다. The case where the potential level of the half voltage HALF is higher than the potential level of the reference voltage VREF is as follows.

하프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 높으므로 NMOS트랜지스터인 N1에 걸리는 게이트-소스전압(VGS)이 N2에 걸리는 게이트-소스전압(VGS)보다 낮은 전위레벨을 갖는다. 즉, A노드의 전압하강이 C노드의 전압하강보다 작게 일어난다. C노드의 전압하강은 PMOS트랜지스터인 P6를 턴 온(turn On) 시키게 된다. 마찬가지로 A노드의 전압하강도 PMOS트랜지스터인 P1을 턴 온(turn On) 시키게 되고, P1을 통해 공급되는 외부전압(VDD)은 B노드를 거쳐서 NMOS트랜지스터인 N5를 턴 온(turn On) 시키지만, C노드의 전압하강에 의해 턴 온(turn On) 된 P6보다는 적게 턴 온(turn On) 되므로 N5의 전하공급력은 P6보다 작다.Since the potential level of the half voltage HALF is higher than the potential level of the reference voltage VREF, the gate-source voltage VGS applied to N1 as the NMOS transistor has a potential level lower than the gate-source voltage VGS applied to N2. . That is, the voltage drop of the A node occurs smaller than the voltage drop of the C node. The voltage drop of node C turns on the PMOS transistor P6. Similarly, the voltage drop of node A turns on P1, a PMOS transistor, and the external voltage (VDD) supplied through P1 turns on N5, NMOS transistor, via node B, but C The charge supply force of N5 is smaller than P6 since it is turned on less than P6 which is turned on by the voltage drop of the node.

전술한 일련의 동작으로 인해 드라이빙 노드(ON_NODE)는 로직'하이'(High)가 되고, 이로 인해 PMOS트랜지스터인 P8이 턴 오프(turn Off)되어 외부전압(VDD)를 내부전압 생성부(20)의 출력단(OUT)에 공급하지 않는다. 그리고 전술한 동작은 하 프전압(HALF)의 전위레벨이 기준전압(VREF)의 전위레벨보다 낮아질 때까지 계속된다.Due to the above-described series of operations, the driving node ON_NODE becomes logic 'high'. As a result, the PMOS transistor P8 is turned off and the external voltage VDD is turned off by the internal voltage generator 20. Do not supply to the output terminal of OUT. The above operation is continued until the potential level of the half voltage HALF is lower than the potential level of the reference voltage VREF.

도 3은 종래의 기술에 따라 노멀전원 및 저전원을 입력받아 생성된 내부전압을 내부회로에서 사용하였을 때, 변동하는 내부전압의 전위레벨을 도시한 시뮬레이션(simulation) 그래프이다.FIG. 3 is a simulation graph showing potential levels of a changing internal voltage when an internal voltage generated by receiving a normal power source and a low power source is used in an internal circuit according to the related art.

도 3을 참조하면, 종래의 기술에 따른 내부전압 생성부(20)에서 노멀전원(VDD 1.8V)을 입력받아 내부전압(IN_VOL)을 생성하는 것에 비해 저전원(VDD 1.6V 저전압)을 입력받아 내부전압(IN_VOL)을 생성하는 것에서 발생하는 문제점을 알 수 있다.Referring to FIG. 3, the internal voltage generator 20 receives a low power supply (VDD 1.6V low voltage) as compared with the normal power supply VDD 1.8V to generate the internal voltage IN_VOL. It can be seen that a problem occurs in generating the internal voltage IN_VOL.

먼저, 노멀전원(VDD 1.8V)을 입력받아 생성된 내부전압(IN_VOL)과 저전원(VDD 1.6V)을 입력받아 생성된 내부전압(IN_VOL)을 동일한 동작을 하는 내부회로(30)에서 사용하였을 때 저전원(VDD 1.6V)을 사용한 사용하여 생성된 내부전압(IN_VOL)이 노멀전원(VDD 1.8V)을 사용하여 생성된 내부전압(IN_VOL)에 비해 더 낮은 전위레벨까지 떨어진다. 이는 내부전압 생성부(20) 내부에서 내부전압을 드라이빙하는 드라이버 - 도 2에서는 PMOS트랜지스터 P8 - 에 공급되는 전하량이 저전원(VDD 1.6V)에 비해 노멀전원(VDD 1.8V)일 때 더 많기 때문이다.First, the internal voltage IN_VOL generated by receiving the normal power supply (VDD 1.8V) and the internal voltage IN_VOL generated by receiving the low power supply (VDD 1.6V) may be used in the internal circuit 30 having the same operation. When the internal voltage IN_VOL generated using the low power supply (VDD 1.6V) falls to a lower potential level than the internal voltage IN_VOL generated using the normal power supply (VDD 1.8V). This is because the amount of charge supplied to the driver for driving the internal voltage inside the internal voltage generator 20-PMOS transistor P8-in FIG. 2 is higher when the normal power supply (VDD 1.8V) is lower than the low power supply (VDD 1.6V). to be.

그리고, 노멀전원(VDD 1.8V)을 입력받아 생성된 내부전압(IN_VOL)과 저전원(VDD 1.6V)을 입력받아 생성된 내부전압(IN_VOL)을 동일한 동작을 하는 내부회로(30)에서 사용한 후에 다시 원래의 전위레벨까지 회복되는 속도가 저전원(VDD 1.6V)을 사용한 사용하여 생성된 내부전압(IN_VOL)이 노멀전원(VDD 1.8V)을 사용하 여 생성된 내부전압(IN_VOL)에 비해 더 느리다. 이 또한 내부전압 생성부(20) 내부에서 내부전압(IN_VOL)을 드라이빙하는 드라이버 - 도 2에서는 PMOS트랜지스터 P8 - 의 전하 공급능력이 부족하기 때문이다.Then, the internal voltage (IN_VOL) generated by receiving the normal power supply (VDD 1.8V) and the low power supply (VDD 1.6V) are used in the internal circuit 30 performing the same operation. The rate of recovery back to the original potential level is higher than the internal voltage (IN_VOL) generated using the low power supply (VDD 1.6V) compared to the internal voltage (IN_VOL) generated using the normal power supply (VDD 1.8V). slow. This is also because the charge supply capability of the driver for driving the internal voltage IN_VOL in the internal voltage generation unit 20-FIG. 2 is insufficient in the PMOS transistor P8.

전술한 문제로 인해 내부전압(IN_VOL)을 사용하는 내부회로(30)의 불량을 유발하게 된다.Due to the above-described problem, the internal circuit 30 using the internal voltage IN_VOL may be defective.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 상대적으로 낮은 전위레벨을 갖는 저전원에서도 안정적인 전위레벨을 유지하는 내부전압을 생성하는 내부전압 생성회로를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems of the prior art, and an object thereof is to provide an internal voltage generation circuit for generating an internal voltage maintaining a stable potential level even at a low power supply having a relatively low potential level. .

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 외부전원전압의 전위레벨을 검출하여, 검출결과에 따라 펌핑전압 또는 상기 외부전원전압을 공급하는 전원공급수단; 및 상기 전원공급수단으로부터 제공된 전압을 전원으로서 사용하는 내부전압 생성수단을 포함하는 내부전압 생성회로가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem, the power supply means for detecting the potential level of the external power supply voltage, supplying a pumping voltage or the external power supply voltage according to the detection result; And an internal voltage generation means using the voltage provided from the power supply means as a power source.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 외부전원전압을 공급받아 제1기준전압 및 제2기준전압을 생성하는 기준전압 생성수단; 펌핑전압을 생성하는 펌핑전압 생성수단; 상기 제1기준전압에 응답하여 상기 외부전원전압의 전위레벨을 검출하고, 검출결과에 따라 상기 펌핑전압 또는 상기 외부전 원전압을 공급하는 전원공급수단; 상기 제2기준전압에 응답하여 내부전압을 생성하며, 상기 전원공급수단으로부터 제공된 전압을 전원으로서 사용하는 내부전압 생성수단; 및 상기 내부전압을 입력받아 설정된 동작을 수행하는 내부회로를 포함하는 내부전압 생성회로가 제공된다.According to another aspect of the present invention for achieving the above technical problem, a reference voltage generating means for generating a first reference voltage and a second reference voltage by receiving an external power supply voltage; Pumping voltage generating means for generating a pumping voltage; Power supply means for detecting a potential level of the external power supply voltage in response to the first reference voltage and supplying the pumping voltage or the external power supply voltage according to a detection result; Internal voltage generating means for generating an internal voltage in response to the second reference voltage and using the voltage provided from the power supply means as a power source; And an internal circuit configured to receive the internal voltage and perform a set operation.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록하며 통상의 지식을 가진자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be configured in various different forms, only this embodiment is intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art the scope of the present invention It is provided to inform you completely.

도 4는 본 발명의 실시예에 따라 도시한 디램(DRAM)의 전원공급 블록도이다.4 is a power supply block diagram of a DRAM according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 디램(DRAM)의 전원공급과정은 다음과 같다.Referring to FIG. 4, a power supply process of a DRAM according to an embodiment of the present invention is as follows.

첫째, 기준전압 생성부(100)는 내부전압을 생성하기 위한 제1기준전압(VREF1)과 외부전원전압(VDDext)을 검출하기 위한 제2기준전압(VREF2)을 생성한다.First, the reference voltage generator 100 generates a first reference voltage VREF1 for generating an internal voltage and a second reference voltage VREF2 for detecting an external power supply voltage VDDext.

여기서, 제1기준전압(VREF1)과 제2기준전압(VREF2)은 같은 전위레벨을 가질 수도 있고, 같은 전위레벨이 아닐 수도 있다.Here, the first reference voltage VREF1 and the second reference voltage VREF2 may have the same potential level or may not be the same potential level.

둘째, 펌핑전압 생성부(500)은 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨보다 높은 전위레벨을 갖는 펌핑전압(VPP)를 생성한다.Second, the pumping voltage generator 500 generates a pumping voltage VPP having a potential level higher than that of the external power supply voltage VDDext.

여기서, 펌핑전압(VPP)은 셀 트랜지스터에 데이터를 읽고 쓰기 위한 전원으 로써 일반적으로 DRAM을 동작시키기 위해 공급되는 외부전압(VDDext)보다 높은 전위레벨을 갖는다.Here, the pumping voltage VPP is a power supply for reading and writing data to the cell transistor, and generally has a potential level higher than the external voltage VDDext supplied to operate the DRAM.

셋째, 전원공급부(400)는 제2기준전압(VREF2)에 응답하여 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨을 검출하고, 검출결과 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨이 노멀한 경우, 즉 노멀전원일 경우에는 외부전원전압(VDDext)을 내부전압 생성부(200)의 전원으로 공급한다. 하지만, 검출결과 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨이 낮을 경우 즉, 저전원일 경우에는 반도체 소자 내부의 펌핑전압 생성기(500)에서 생성된 펌핑전압(VPP)를 내부전압 생성부(200)의 전원으로 공급한다.Third, the power supply unit 400 detects the potential level of the external power supply voltage VDDext in response to the second reference voltage VREF2, and when the potential level of the external power supply voltage VDDext is normal, that is, the normal power supply. In one case, the external power supply voltage VDDext is supplied to the power of the internal voltage generator 200. However, as a result of detection, when the potential level of the external power supply voltage VDDext is low, that is, when the power supply is low, the pumping voltage VPP generated by the pumping voltage generator 500 inside the semiconductor device is converted into the internal voltage generator 200. Supply by power.

여기서, 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨이 노멀전원일 경우와 저전원일 경우를 결정하는 것은 반도체 소자의 종류에 따라 제2기준전압(VREF2)을 조정함으로써 변경가능하다. 즉, 설계자에 의해 미리 결정되어야 하고, 그 결과는 변동가능하다.Here, the determination of the case where the potential level of the external power supply voltage VDDext is a normal power supply or a low power supply can be changed by adjusting the second reference voltage VREF2 according to the type of semiconductor device. That is, it must be predetermined by the designer, and the result is variable.

넷째, 내부전압 생성부(200)는 제1기준전압(VREF1)에 응답하여 백 바이어스 전압(VBB), 및 코어전압(VCORE) 등의 내부전압(IN_VOL)을 생성한다.Fourth, the internal voltage generator 200 generates an internal voltage IN_VOL such as a back bias voltage VBB and a core voltage VCORE in response to the first reference voltage VREF1.

다섯째, 내부회로부(300)는 생성된 내부전압(IN_VOL)을 공급받아 설정된 동작을 수행한다. 즉, 내부전압(IN_VOL)을 사용하는 메모리 소자의 모든 회로들을 의미한다.Fifth, the internal circuit unit 300 receives the generated internal voltage IN_VOL and performs a set operation. That is, all the circuits of the memory device using the internal voltage IN_VOL.

도 5는 본 발명의 실시예에 따라 도 4에서 도시된 내부전압 생성부(200) 및 전원공급부(400)를 상세히 도시한 회로도이다.5 is a circuit diagram illustrating in detail the internal voltage generation unit 200 and the power supply unit 400 shown in FIG. 4 according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전원공급부(400)는 외부전원전 압(VDDext)의 전위레벨을 검출하여, 검출결과에 따라 펌핑전압(VPP) 또는 외부전원전압(VDDext)을 공급한다. 그리고, 내부전압 생성부(200)은 전원공급부(400)으로부터 제공된 전압 - 펌핑전압(VPP) 또는 외부전원전압(VDDext) - 을 전원으로서 사용한다.5, the power supply unit 400 according to an embodiment of the present invention detects the potential level of the external power supply voltage (VDDext), and the pumping voltage (VPP) or the external power supply voltage (VDDext) according to the detection result Supply. The internal voltage generator 200 uses a voltage provided from the power supply unit 400-a pumping voltage VPP or an external power supply voltage VDDext-as a power source.

여기서, 전원공급부(400)는, 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨이 상대적으로 낮은 전위레벨일 경우 펌핑전압(VPP)을 내부전압 생성부(200)의 전원으로 공급한다. 마찬가지로, 외부전원전압(VDDext)의 전위레벨이 상대적으로 높은 전위레벨일 경우 외부전원전압(VDDext)을 내부전압 생성부(200)의 전원으로 공급한다.Here, the power supply unit 400 supplies the pumping voltage VPP to the power of the internal voltage generator 200 when the potential level of the external power supply voltage VDDext is a relatively low potential level. Similarly, when the potential level of the external power supply voltage VDDext is a relatively high potential level, the external power supply voltage VDDext is supplied to the power of the internal voltage generator 200.

또한, 전원공급부(400)는, 외부전원전압(VDDext)과 접지전압(VSS) 사이에 직렬접속되어 분배전압(VDD_REF)을 생성하는 전압분배부(420)와, 분배전압(VDD_REF)과 제2기준전압(VREF2)을 비교하는 비교부(440), 및 비교부(440)의 출력전압에 응답하여 펌핑전압(VPP) 또는 외부전원전압(VDDext)을 드라이빙하는 드라이빙부(460)를 구비한다.In addition, the power supply unit 400 is connected in series between the external power supply voltage VDDext and the ground voltage VSS to generate a distribution voltage VDD_REF, a distribution voltage VDD_REF, and a second voltage distribution unit. A comparator 440 for comparing the reference voltage VREF2 and a driving unit 460 for driving the pumping voltage VPP or the external power supply voltage VDDext in response to the output voltage of the comparator 440.

전술한 전원공급부(400)의 구성요소 중 전압분배부(420)는, 외부전원전압(VDDext)과 접지전압(VSS) 사이에 직렬 접속된 제1저항(R1) 및 제2저항(R2)을 구비하여, 제1저항(R1)과 제2저항(R2)의 접속노드(d_node)에서 분배전압(VDD_REF)을 출력한다.Among the components of the power supply unit 400 described above, the voltage divider 420 may include the first resistor R1 and the second resistor R2 connected in series between the external power supply voltage VDDext and the ground voltage VSS. In addition, the division voltage VDD_REF is output from the connection node d_node of the first resistor R1 and the second resistor R2.

또한, 전원공급부(400)의 구성요소 중 비교부(440)는, 인에이블 신호(EN)에 응답하여 동작이 온/오프(On/Off) 제어되는 전류미러(current mirror)를 포함한다.In addition, the comparator 440 of the components of the power supply unit 400 includes a current mirror in which an operation is controlled on / off in response to the enable signal EN.

여기서, 전류미러(current mirror)는 인에이블 신호(EN)에 응답하여 전류미 러(current mirror)를 인에이블(enable)시키거나 디스에이블(disable)시키는 인에이블 제어부(442)와, 설정된 저항값을 가지며, 분배전압(VDD_REF)으로부터 자신의 저항값에 의해 하강되는 전압만큼 감소된 전압을 출력노드(out_node)에 출력하는 제1저항소자(444)와, 설정된 저항값을 가지며, 제2기준전압(VREF2)으로부터 자신의 저항값에 의해 하강되는 전압만큼 감소된 전압을 제어노드(con_node)에 출력하는 제2저항소자(446), 및 제어노드(con_node)에 걸린 전압에 응답하여 출력노드(out_node)에 걸리는 전압의 전위레벨을 조절하는 미러회로(440)를 구비한다.Here, the current mirror includes an enable control unit 442 for enabling or disabling the current mirror in response to the enable signal EN, and a set resistance value. And a first resistance element 444 for outputting a voltage reduced by a voltage lowered by its resistance value from the distribution voltage VDD_REF to the output node out_node, and having a set resistance value and a second reference voltage. The second resistor element 446 outputting a voltage reduced by the voltage lowered by its resistance value from VREF2 to the control node con_node, and an output node out_node in response to the voltage applied to the control node con_node. And a mirror circuit 440 for adjusting the potential level of the voltage across the circuit.

그리고, 전류미러(current mirror)는, 분배전압(VDD_REF)이 감소할 때, 제어노드(con_node)에 걸리는 전압이 하강하고, 출력노드(out_node)에 걸리는 전압이 상승한다.In the current mirror, when the distribution voltage VDD_REF decreases, the voltage applied to the control node con_node decreases, and the voltage applied to the output node out_node increases.

또한, 전류미러(current mirror)는, 분배전압(VDD_REF)이 증가할 때, 제어노드(con_node)에 걸리는 전압이 증가하고, 출력노드(out_node)에 걸리는 전압이 감소한다.In addition, in the current mirror, when the distribution voltage VDD_REF increases, the voltage applied to the control node con_node increases and the voltage applied to the output node out_node decreases.

여기서, 전류미러(current mirror)의 구성요소 중 인에이블 제어부(442)는, 전류미러(current mirror)의 커런트 소스(current source)로서, 인에이블 신호(EN)에 응답하여 전류미러(current mirror)가 접지전압단(VSS)과 연결되는 것을 제어하는 제1NMOS트랜지스터(NMOS1)를 포함한다.Here, the enable control unit 442 of the components of the current mirror is a current source of the current mirror, and is a current mirror in response to the enable signal EN. Includes a first NMOS transistor (NMOS1) for controlling the connection with the ground voltage terminal VSS.

또한, 전류미러(current mirror)의 구성요소 중 제1저항소자(444)는, 게이트(gate)로 입력받은 분배전압(VDD_REF)에 응답하여 드레인-소스(drain-source) 접속된 출력노드(out_node)와 커런트 소스(current source)가 연결되는 것을 제어하 는 제2NMOS트랜지스터(NMOS2)를 포함한다.In addition, among the components of the current mirror, the first resistive element 444 may be a drain-source connected output node (out_node) in response to the division voltage VDD_REF input to the gate. ) And a second NMOS transistor (NMOS2) for controlling the connection of the current source (current source).

또한, 전류미러(current mirror)의 구성요소 중 제2저항소자(446)는, 게이트(gate)로 입력받은 제2기준전압(VREF2)에 응답하여 드레인-소스(drain-source) 접속된 제어노드(con_node)와 커런트 소스(current source)가 연결되는 것을 제어하는 제3NMOS트랜지스터(NMOS3)를 포함한다.In addition, the second resistive element 446 among the components of the current mirror is a control node connected to a drain-source in response to the second reference voltage VREF2 input to the gate. and a third NMOS transistor NMOS3 for controlling the connection of the (con_node) and the current source.

전술한 전원공급부(400)의 구성요소 중 드라이빙부(460)는, 비교부(440)의 출력전압에 응답하여 로직'하이'(High) 또는 로직'로우'(Low)로 드라이빙하는 제1드라이버(462)와, 제1드라이버(462)의 출력신호에 응답하여 외부전원전압(VDDext)을 드라이빙하는 제2드라이버(464), 및 제1드라이버(462)의 출력신호를 반전한 신호에 응답하여 펌핑전압(VPP)을 드라이빙하는 제3드라이버(466)를 구비한다.Among the components of the power supply unit 400, the driving unit 460 drives the first driver to drive logic 'high' or logic 'low' in response to the output voltage of the comparator 440. 462, a second driver 464 driving the external power supply voltage VDDext in response to the output signal of the first driver 462, and a signal inverting the output signal of the first driver 462. And a third driver 466 for driving the pumping voltage VPP.

여기서, 드라이빙부(460)의 구성요소 중 제1드라이버(462)는, 체인형태를 갖는 복수 개의 인버터를 구비한다.Here, the first driver 462 of the components of the driving unit 460 includes a plurality of inverters having a chain shape.

또한, 드라이빙부(460) 구성요소 중 제2드라이버(464)는, 게이트(gate)로 입력받은 제1드라이버(462)의 출력신호에 응답하여 드레인-소스(drain-source) 접속된 외부전원전압(VDDext)과 전원입력노드(vol_input)가 연결되는 것을 제어하는 제1PMOS트랜지스터(PMOS1)를 구비한다.In addition, the second driver 464 of the components of the driving unit 460 is connected to a drain-source external power supply voltage in response to an output signal of the first driver 462 input to the gate. A first PMOS transistor PMOS1 is configured to control the connection between the VDDext and the power input node vol_input.

또한, 드라이빙부(460) 구성요소 중 제3드라이버(466)는, 제1드라이버(462)의 출력신호를 반전하여 출력하는 제1인버터(INV1), 및 게이트(gate)로 입력받은 제1인버터(INV1)의 출력신호에 응답하여 드레인-소스(drain-source) 접속된 펌핑전압(VPP)과 전원입력노드(vol_input)가 연결되는 것을 제어하는 제2PMOS트랜지스 터(PMOS2)를 구비한다.In addition, among the components of the driving unit 460, the third driver 466 may include a first inverter INV1 for inverting and outputting an output signal of the first driver 462, and a first inverter input to a gate. A second PMOS transistor PMOS2 is configured to control the connection of the drain-source connected pumping voltage VPP and the power input node vol_input in response to the output signal of INV1.

내부전압 생성부(200)는 종래기술에 대비하여 전원공급부(400)으로부터 제공된 전압 - 펌핑전압(VPP) 또는 외부전원전압(VDDext) - 을 전원으로 사용하는 점을 제외하고는 일반적으로 같은 구조를 가지므로 여기서는 설명하지 않도록 하겠다.The internal voltage generation unit 200 generally has the same structure except for using a voltage provided from the power supply unit 400, such as a pumping voltage VPP or an external power supply voltage VDDext, as a power source in preparation for the prior art. I will not explain it here.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 회로 및 종래의 기술에 따른 회로에서 저전원을 사용하여 생성된 각각의 내부전압을 내부회로에서 사용하였을 때, 변동하는 내부전압의 전위레벨을 도시한 시뮬레이션(simulation) 그래프이다.6 is a simulation showing the potential level of the internal voltage that changes when each internal voltage generated by using a low power supply in the circuit according to the embodiment of the present invention and the circuit according to the prior art is used in the internal circuit ( simulation) Graph.

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 회로 및 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 회로에서 저전원(VDD 1.6V)이 입력되어 생성된 각각의 내부전압(IN_VOL)을 내부회로(30, 300)에서 사용하였을 때 내부전압(IN_VOL)의 전위레벨이 서로 다르게 변동하는 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 6, in the circuit according to the embodiment of the present invention and the circuit according to the related art shown in FIG. 1, each internal voltage IN_VOL generated by inputting a low power source (VDD 1.6V) is inputted to an internal circuit ( It can be seen that the potential levels of the internal voltage IN_VOL fluctuate differently when used at 30 and 300).

먼저, 본 발명의 실시예에 따른 회로에 저전원(VDD 1.6V)이 입력되어 생성된 내부전압(IN_VOL)을 내부회로(300)에서 사용하면, 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 회로에 저전원(VDD 1.6V)이 입력되어 생성된 내부전압(IN_VOL)을 내부회로(30)에서 사용한 것에 비해 내부전압(IN_VOL)이 상대적으로 더 높은 전위레벨을 유지한다. First, when the internal voltage 300 generated by inputting a low power supply (VDD 1.6V) to the circuit according to an embodiment of the present invention is used in the internal circuit 300, the circuit according to the related art shown in FIG. The internal voltage IN_VOL maintains a relatively higher potential level than the internal voltage IN_VOL generated by inputting the low power supply VDD 1.6V in the internal circuit 30.

마찬가지로, 본 발명의 실시예에 따른 회로에 저전원(VDD 1.6V)이 입력되어 생성된 내부전압(IN_VOL)을 내부회로(300)에서 사용한 후에 다시 원래의 전위레벨로 회복되는 속도가, 도 1에 도시된 종래의 기술에 따른 회로에 저전원(VDD 1.6V)이 입력되어 생성된 내부전압(IN_VOL)을 내부회로(30)에서 사용한 후에 다시 원래 의 전위레벨로 회복되는 속도보다 더 빠르다. Similarly, after the low voltage (VDD 1.6V) is input to the circuit according to the embodiment of the present invention and the internal voltage IN_VOL generated in the internal circuit 300 is used, the speed of returning to the original potential level is again shown in FIG. 1. After the low voltage (VDD 1.6V) is input to the circuit according to the related art illustrated in FIG. 6, the generated internal voltage IN_VOL is used in the internal circuit 30, and is faster than the speed of returning to the original potential level.

즉, 본 발명의 실시예에 따른 회로가 도 1에 도시된 종래의 기술에 비해 더 안정적인 동작을 하게 된다.That is, the circuit according to the embodiment of the present invention is more stable operation than the prior art shown in FIG.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 실시예를 적용하면, 외부전원전압의 전위레벨이 낮아져서 저전원이 입력되어도, 내부회로에서 사용되는 내부전압의 전위레벨을 안정적으로 유지할 수 있다. 이는 반도체 소자의 안정적인 동작을 가능하게 한다.As described above, when the embodiment of the present invention is applied, the potential level of the internal voltage used in the internal circuit can be stably maintained even when a low power source is input because the potential level of the external power voltage is lowered. This enables stable operation of the semiconductor device.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 있어서 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill.

예컨대, 전술한 실시예에서 예시한 논리 게이트 및 트랜지스터는 입력되는 신호의 극성에 따라 그 위치 및 종류가 다르게 구현되어야 할 것이다.For example, the logic gate and the transistor illustrated in the above-described embodiment should be implemented differently in position and type depending on the polarity of the input signal.

전술한 본 발명은 외부전원전압의 전위레벨이 낮아져서 저전원이 입력되어도, 내부회로에서 사용되는 내부전압의 전위레벨을 안정적으로 유지할 수 있다. 이는 반도체 소자의 안정적인 동작을 가능하게 한다.According to the present invention described above, even when a low power source is input because the potential level of the external power supply voltage is lowered, the potential level of the internal voltage used in the internal circuit can be stably maintained. This enables stable operation of the semiconductor device.

Claims (19)

외부전원전압의 전위레벨을 검출하여, 검출결과에 따라 펌핑전압 또는 상기 외부전원전압을 공급하는 전원공급수단; 및Power supply means for detecting a potential level of an external power supply voltage and supplying a pumping voltage or the external power supply voltage according to a detection result; And 상기 전원공급수단으로부터 제공된 전압을 전원으로서 사용하는 내부전압 생성수단Internal voltage generating means using a voltage provided from said power supply means as a power source 을 포함하는 내부전압 생성회로.Internal voltage generation circuit comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전원공급수단은,The power supply means, 상기 외부전원전압의 전위레벨이 상대적으로 낮은 전위레벨일 경우 상기 펌핑전압을 상기 내부전압 생성수단의 전원으로 공급하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And the pumping voltage is supplied to the power of the internal voltage generating means when the potential level of the external power supply voltage is a relatively low potential level. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전원공급수단은,The power supply means, 상기 외부전원전압의 전위레벨이 상대적으로 높은 전위레벨일 경우 상기 외부전원전압을 상기 내부전압 생성수단의 전원으로 공급하는 것을 특징으로 하는 내 부전압 생성회로.And when the potential level of the external power supply voltage is a relatively high potential level, supplying the external power supply voltage to a power source of the internal voltage generation means. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전원공급수단은,The power supply means, 상기 외부전원전압과 접지전압 사이에 직렬접속되어 분배전압을 생성하는 전압분배부;A voltage distribution unit connected in series between the external power supply voltage and a ground voltage to generate a distribution voltage; 상기 분배전압과 기준전압을 비교하는 비교부; 및A comparison unit comparing the divided voltage and a reference voltage; And 상기 비교부의 출력전압에 응답하여 상기 펌핑전압 또는 상기 외부전원전압을 드라이빙하는 드라이빙부A driving unit driving the pumping voltage or the external power supply voltage in response to an output voltage of the comparator 를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.Internal voltage generation circuit comprising: a. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 전압분배부는,The voltage division unit, 상기 외부전원전압과 접지전압 사이에 직렬 접속된 제1저항 및 제2저항을 구비하여, 상기 제1저항과 제2저항의 접속노드에서 상기 분배전압을 출력하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a first resistor and a second resistor connected in series between the external power supply voltage and the ground voltage, to output the divided voltage at a connection node of the first and second resistors. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 비교부는,The comparison unit, 인에이블 신호에 응답하여 동작이 온/오프(On/Off) 제어되는 전류미러(current mirror)를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a current mirror, the operation of which is controlled on / off in response to the enable signal. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 전류미러는,The current mirror, 상기 인에이블 신호에 응답하여 상기 전류미러를 인에이블시키거나 디스에이블시키는 인에이블 제어부;An enable controller for enabling or disabling the current mirror in response to the enable signal; 설정된 저항값을 가지며, 상기 분배전압으로부터 자신의 저항값에 의해 하강되는 전압만큼 감소된 전압을 출력노드에 출력하는 제1저항소자;A first resistance element having a set resistance value and outputting a voltage reduced by a voltage lowered by its resistance value from the distribution voltage to an output node; 상기 설정된 저항값을 가지며, 상기 기준전압으로부터 자신의 저항값에 의해 하강되는 전압만큼 감소된 전압을 제어노드에 출력하는 제2저항소자; 및A second resistance element having the set resistance value and outputting a voltage reduced by a voltage lowered by its resistance value from the reference voltage to a control node; And 상기 제어노드에 걸린 전압에 응답하여 상기 출력노드에 걸리는 전압의 전위레벨을 조절하는 미러회로A mirror circuit for adjusting the potential level of the voltage applied to the output node in response to the voltage applied to the control node 를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.Internal voltage generation circuit comprising: a. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 전류미러는,The current mirror, 상기 분배전압이 감소할 때, 상기 제어노드에 걸리는 전압이 하강하고, 상기 출력노드에 걸리는 전압이 상승하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And when the distribution voltage decreases, the voltage applied to the control node drops, and the voltage applied to the output node rises. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 전류미러는,The current mirror, 상기 분배전압이 증가할 때, 상기 제어노드에 걸리는 전압이 증가하고, 상기 출력노드에 걸리는 전압이 감소하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And the voltage applied to the control node increases and the voltage applied to the output node decreases when the distribution voltage increases. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 인에이블 제어부는,The enable control unit, 상기 전류미러의 커런트 소스(current source)로서, 상기 인에이블 신호에 응답하여 상기 전류미러가 접지전압단과 연결되는 것을 제어하는 제1NMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a first NMOS transistor as a current source of the current mirror, the first NMOS transistor controlling the current mirror to be connected to a ground voltage terminal in response to the enable signal. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1저항소자는,The first resistance element, 게이트로 입력받은 상기 분배전압에 응답하여 드레인-소스 접속된 상기 출력노드와 커런트 소스(current source)가 연결되는 것을 제어하는 제2NMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a second NMOS transistor configured to control a current source connected to the output node connected to the drain source in response to the division voltage input to the gate. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제2저항소자는,The second resistance element, 게이트로 입력받은 상기 기준전압에 응답하여 드레인-소스 접속된 상기 제어노드와 커런트 소스(current source)가 연결되는 것을 제어하는 제3NMOS트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a third NMOS transistor configured to control a current source connected to the control node connected to the drain source in response to the reference voltage input to the gate. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 드라이빙부는,The driving unit, 상기 비교부의 출력전압에 응답하여 로직'하이'(High) 또는 로직'로우'(Low)로 드라이빙하는 제1드라이버;A first driver driving a logic 'high' or a logic 'low' in response to an output voltage of the comparator; 상기 제1드라이버의 출력신호에 응답하여 상기 외부전원전압을 드라이빙하는 제2드라이버;A second driver driving the external power supply voltage in response to an output signal of the first driver; 상기 제1드라이버의 출력신호를 반전한 신호에 응답하여 상기 펌핑전압을 드라이빙하는 제3드라이버A third driver driving the pumping voltage in response to a signal inverting the output signal of the first driver 를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.Internal voltage generation circuit comprising: a. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 제1드라이버는,The first driver, 체인형태를 갖는 복수 개의 인버터를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.An internal voltage generation circuit comprising a plurality of inverters having a chain shape. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 제2드라이버는,The second driver, 게이트로 입력받은 상기 제1드라이버의 출력신호에 응답하여 드레인-소스 접속된 상기 외부전원전압과 전원입력노드가 연결되는 것을 제어하는 제1PMOS트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a first PMOS transistor configured to control the connection between the drain-source connected external power voltage and a power input node in response to an output signal of the first driver input to the gate. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 제3드라이버는,The third driver, 상기 제1드라이버의 출력신호를 반전하여 출력하는 제1인버터; 및A first inverter for inverting and outputting the output signal of the first driver; And 게이트로 입력받은 상기 제1인버터의 출력신호에 응답하여 드레인-소스 접속 된 상기 펌핑전압과 전원입력노드가 연결되는 것을 제어하는 제2PMOS트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And a second PMOS transistor configured to control the connection of the drain-source connected pumping voltage and a power input node in response to the output signal of the first inverter input to the gate. 외부전원전압을 공급받아 제1기준전압 및 제2기준전압을 생성하는 기준전압 생성수단;Reference voltage generating means for receiving an external power supply voltage and generating a first reference voltage and a second reference voltage; 펌핑전압을 생성하는 펌핑전압 생성수단;Pumping voltage generating means for generating a pumping voltage; 상기 제1기준전압에 응답하여 상기 외부전원전압의 전위레벨을 검출하고, 검출결과에 따라 상기 펌핑전압 또는 상기 외부전원전압을 공급하는 전원공급수단;Power supply means for detecting a potential level of the external power supply voltage in response to the first reference voltage and supplying the pumping voltage or the external power supply voltage according to a detection result; 상기 제2기준전압에 응답하여 내부전압을 생성하며, 상기 전원공급수단으로부터 제공된 전압을 전원으로서 사용하는 내부전압 생성수단; 및Internal voltage generating means for generating an internal voltage in response to the second reference voltage and using the voltage provided from the power supply means as a power source; And 상기 내부전압을 입력받아 설정된 동작을 수행하는 내부회로An internal circuit that receives the internal voltage and performs a set operation 를 포함하는 내부전압 생성회로.Internal voltage generation circuit comprising a. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 전원공급수단은,The power supply means, 상기 외부전원전압의 전위레벨이 상대적으로 낮은 전위레벨일 경우 상기 펌핑전압을 상기 내부전압 생성수단의 전원으로 공급하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And the pumping voltage is supplied to the power of the internal voltage generating means when the potential level of the external power supply voltage is a relatively low potential level. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 전원공급수단은,The power supply means, 상기 외부전원전압의 전위레벨이 상대적으로 높은 전위레벨일 경우 상기 외부전원전압을 상기 내부전압 생성수단의 전원으로 공급하는 것을 특징으로 하는 내부전압 생성회로.And when the potential level of the external power supply voltage is a relatively high potential level, supplying the external power supply voltage to a power source of the internal voltage generation means.
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