KR100816365B1 - 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 - Google Patents
횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100816365B1 KR100816365B1 KR1020010087520A KR20010087520A KR100816365B1 KR 100816365 B1 KR100816365 B1 KR 100816365B1 KR 1020010087520 A KR1020010087520 A KR 1020010087520A KR 20010087520 A KR20010087520 A KR 20010087520A KR 100816365 B1 KR100816365 B1 KR 100816365B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pixel
- electrode
- gate
- data line
- liquid crystal
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 11
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 43
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- -1 neodymium (AlNd) Chemical class 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/134309—Electrodes characterised by their geometrical arrangement
- G02F1/134363—Electrodes characterised by their geometrical arrangement for applying an electric field parallel to the substrate, i.e. in-plane switching [IPS]
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/121—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode common or background
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
- G02F2201/12—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
- G02F2201/123—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Geometry (AREA)
Abstract
Description
Claims (7)
- 기판 상에 수직으로 교차하여 화소영역을 정의하는 게이트 배선과 데이터 배선과;상기 게이트 배선과 데이터배선의 교차지점에 위치하고, 게이트 전극과 액티브층과 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터와;상기 드레인 전극에서 상기 화소영역으로 연장된 연장부와, 상기 연장부에서 수직하게 연장된 다수의 화소수직부와, 상기 다수의 화소수직부를 하나로 연결하는 화소수평부로 구성된 화소전극과;상기 다수의 화소수직부와 엇갈려 평행하게 구성되며, 상기 데이터 배선과 소정면적 겹쳐 구성되는 다수의 공통수직부와, 상기 다수의 공통수직부를 하나로 연결하는 공통수평부로 구성되는 공통전극과;상기 화소수평부와 접촉하여, 상기 게이트 배선의 상부로 연장된 투명 전극 패턴을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 배선과 상기 화소수평부는 절연막을 사이에 두고 제 1 보조 용량부를 구성하고, 상기 화소수평부와 접촉하는 투명전극 패턴과 상기 게이트 배선은 절연막을 사이에 두고 제 2 보조 용량부를 구성하는 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 소스 전극은 "U"자 형상이고 드레인 전극을 소정간격 이격하여 감싸는 형상으로 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 액티브층은 상기 데이터 배선의 하부로 연장 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.
- 화소영역을 포함하는 기판 상에 게이트 배선과, 상기 게이트 배선과 연결된 게이트 전극과, 상기 화소영역 내에 서로 이격하는 다수의 공통수직부와 상기 공통수직부를 연결하는 공통수평부로 구성되는 공통전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 전극 상부에 액티브층을 형성하는 단계와;상기 액티브층 상부에 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 연결되며 상기 게이트 배선과 교차하여 상기 화소영역을 정의하고, 상기 다수의 공통수직부 중 어느 하나와 중첩하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;상기 소스 및 드레인 전극 상부로, 상기 드레인전극에서 상기 화소영역으로 연장된 화소연장부와, 상기 화소연장부에서 연장되어 상기 공통수직부와 교대로 평행하게 배열되는 다수의 화소수직부와, 상기 다수의 화소수직부를 연결하는 화소수평부로 구성된 화소전극을 형성하는 단계와;상기 화소수평부와 접촉하여 상기 게이트 배선의 상부로 연장된 투명 전극 패턴을 형성하는 단계를포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 소스 전극은 "U"자 형상이고 드레인 전극을 소정간격 이격하여 감싸는 형상으로 형성한 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 액티브층은 상기 데이터 배선의 하부로 연장 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010087520A KR100816365B1 (ko) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010087520A KR100816365B1 (ko) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030057143A KR20030057143A (ko) | 2003-07-04 |
KR100816365B1 true KR100816365B1 (ko) | 2008-03-24 |
Family
ID=32215261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010087520A KR100816365B1 (ko) | 2001-12-28 | 2001-12-28 | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100816365B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102142345B1 (ko) * | 2013-12-31 | 2020-08-07 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990009891A (ko) * | 1997-07-12 | 1999-02-05 | 구자홍 | 횡전계방식 액정표시장치 |
KR19990011210A (ko) * | 1997-07-22 | 1999-02-18 | 구자홍 | 횡전계방식 액정표시장치 |
KR19990085237A (ko) * | 1998-05-15 | 1999-12-06 | 윤종용 | 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 |
KR20000020840A (ko) * | 1998-09-24 | 2000-04-15 | 윤종용 | 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 |
KR20000023135A (ko) * | 1998-09-14 | 2000-04-25 | 가네꼬 히사시 | 액정 표시 장치 및 그 제조방법 |
KR20000060801A (ko) * | 1999-03-19 | 2000-10-16 | 윤종용 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
-
2001
- 2001-12-28 KR KR1020010087520A patent/KR100816365B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19990009891A (ko) * | 1997-07-12 | 1999-02-05 | 구자홍 | 횡전계방식 액정표시장치 |
KR19990011210A (ko) * | 1997-07-22 | 1999-02-18 | 구자홍 | 횡전계방식 액정표시장치 |
KR19990085237A (ko) * | 1998-05-15 | 1999-12-06 | 윤종용 | 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 |
KR20000023135A (ko) * | 1998-09-14 | 2000-04-25 | 가네꼬 히사시 | 액정 표시 장치 및 그 제조방법 |
KR20000020840A (ko) * | 1998-09-24 | 2000-04-15 | 윤종용 | 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 |
KR20000060801A (ko) * | 1999-03-19 | 2000-10-16 | 윤종용 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030057143A (ko) | 2003-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101269002B1 (ko) | 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR100829785B1 (ko) | 횡전계형 액정표시장치 | |
KR100620322B1 (ko) | 횡전계 방식의 액정 표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20070121122A (ko) | 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법 | |
KR100801153B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR20130054780A (ko) | 에프에프에스 방식 액정표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법 | |
KR100835974B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR100876403B1 (ko) | 횡전계방식 액정 표시 장치 및 그 제조방법 | |
KR100744955B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR100835971B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR100835975B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR20060105222A (ko) | 에프에프에스 방식 액정표시장치용 어레이 기판과 그제조방법 | |
KR100626600B1 (ko) | 액정 표시 장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법 | |
KR100844003B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
JP2007272255A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR100816365B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR20080060889A (ko) | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR101127217B1 (ko) | 에프에프에스 방식 액정표시장치용 어레이 기판과 그제조방법 | |
KR100835171B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
KR100475837B1 (ko) | 수리배선을 포함하는 액정표시장치용 어레이기판과 그제조방법 | |
KR20080051366A (ko) | 횡전계 방식 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR20060038148A (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR100835973B1 (ko) | 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법 | |
JP2005019627A (ja) | 液晶表示装置 | |
KR101888437B1 (ko) | 액정표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121228 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131227 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150227 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160226 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180213 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200219 Year of fee payment: 13 |