KR100813609B1 - 특정 영역에서 소독제의 농도를 증가시키는 장치 및 방법 - Google Patents

특정 영역에서 소독제의 농도를 증가시키는 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

규정된 영역의 오염을 제거하기 위한 증기 오염제거 장치가 제공된다. 상기 장치는 영역을 규정하는 챔버, 및 과산화수소 및 물로 된 용액으로부터 증발된 과산화수소를 발생시키는 발생기로 구성된다. 폐쇄 루프 순환 회로는 상기 증발된 과산화수소를 상기 영역으로 공급하도록 제공된다. 상기 폐쇄 루프 순환 회로 내의 분해기는 상기 증발된 과산화수소를 분해한다. 바이패스 도관은 상기 분해기를 우회하도록 제공된다. 제어기는 상기 발생기로부터 나오는 증발된 과산화수소가 소정의 작동 단계 도중 상기 분해기를 우회하도록 한다.
Figure R1020067006667
증기, 오염제거, 과산화수소, 분해기, 증발기

Description

특정 영역에서 소독제의 농도를 증가시키는 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INCREASING CONCENTRATION OF STERILANT IN REGION}
본 발명은 소독 및 오염제거 기술에 관한 것으로서, 특히, 소독 또는 오염제거 장치 내의 가스 또는 증기 상태의 소독제의 농도를 증가시키는 장치에 관한 것이다.
소독 방법들은 넓은 응용 범위 내에서 사용되며, 마찬가지로 넓은 범위의 소독제를 사용하였다. 본 명세서에 있어서, "소독"이란 용어는 모든 생물학적 오염, 특히, 무생물의 불활성화를 의미한다. "살균제"란 용어는 미생물 병원균의 불활성화를 의미한다.
가스 및 증기 소독/오염제거 장치는 목표물의 무균화 또는 오염제거 보장 수준을 달성하기 위해 특정 공정 변수들을 유지하여야 한다. 과산화수소 증기 소독/오염제거 장치에 있어서, 이들 변수들은 과산화수소 증기의 농도, 포화도, 온도, 압력 및 노출 시간을 포함한다. 이들 변수들은 제어함으로써, 증기 포화로 인한 과산화수소의 응축을 방지하면서도, 원하는 소독 보장 수준을 성공적으로 획득할 수 있다.
커다란 방 또는 격리실의 오염 제거를 위한 통상의 증발된 과산화수소(VHP) 소독 장치는 일반적으로 폐쇄-루프 회로로서, 상기 장치 내에 분해기와 건조기를 포함한다. 이러한 장치에 있어서, 소독제는 상기 방 또는 격리실을 통해 연속적으로 이송된다. 상기 격리실 또는 방을 빠져나가는 소독제는 분해기로 이동하여 증발된 과산화수소를 물 및 산소로 분해한다. 이러한 형태의 장치는 상기 장치 내의 증발된 과산화수소 농도가 공기 흐름 및 소독제에 따라 원하는 농도(일반적으로, 액체 상태에서 중량비로 35%의 과산화수소, 65%의 물)에 유지되도록 한다.
오염제거 사이클 도중, 오염제거될 상기 방 또는 격리실은 건조제나 건조기를 사용하여 낮은 습도 수준까지 먼저 건조된다. 건조 단계가 종료되면, 공조 단계가 진행되어 소독제는 상대적으로 높은 비율로 상기 방 또는 격리실로 주입되어 짧은 시간 동안 과산화수소의 농도를 원하는 농도 수준까지 높인다. 공조 단계 후에, 오염 제거 단계가 진행됨으로써 소독제 주입률이 감소하여 과산화수소 농도를 일정 농도 수준에 유지한다. 오염제거 단계 후에, 밀폐부는 소독제 주입을 멈춤으로써 공기가 유입된다. 공기 유입은 과산화수소 농도가 허용 가능한 문턱값(통상 1ppm) 이하가 될 때까지 계속된다.
이러한 장치들의 문제점, 특히, 공조 단계 도중의 문제점은, 분해기 및 건조기가 폐쇄 루프 회로의 일부이기 때문에, 증발된 과산화수소가 오염제거될 방 또는 격리실을 빠져나감에 따라 파괴된다는 것이다. 그 결과, 증발기는 새로운 소독제를 상기 방 또는 격리실로 들어가는 공기 흐름에 계속 유입시켜야 한다. 이러한 작동 방법은 소독제의 농도가 공조 단계 도중에 상기 격리실 또는 방 내에 증가될 수 있는 비율을 제한한다. 더욱 작은 밀폐부에 있어서, 공조 단계는 전체 사이클 시간에 크게 영향을 주지 않는다. 그러나, 커다란 방 또는 격리실의 경우, 즉, 5000ft3 또는 그 이상의 면적인 경우, 이는 공조 시간에 크게 영향을 미칠 수 있다.
본 발명은 이러한 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 소독제의 농도가 방 또는 격리실 내에서 증가할 수 있는 비율을 증가시키는 오염제거 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라, 규정된 영역의 오염을 제거하기 위한 증기 오염제거 장치가 제공된다. 상기 장치는 영역을 규정하는 챔버, 및 과산화수소 및 물로 된 용액으로부터 증발된 과산화수소를 발생시키는 발생기로 구성된다. 폐쇄 루프 순환 회로는 상기 증발된 과산화수소를 상기 영역으로 공급하도록 제공된다. 상기 폐쇄 루프 순환 회로 내의 분해기는 상기 증발된 과산화수소를 분해한다. 바이패스 도관은 상기 분해기를 우회하도록 제공된다. 제어기는 상기 발생기로부터 나오는 증발된 과산화수소가 소정의 작동 단계 도중 상기 분해기를 우회하도록 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따라, 특정 영역의 오염을 제거하기 위한 오염제거 장치가 제공된다. 상기 장치는 증발된 과산화수소를 발생시키기 위한 발생기, 상기 증발된 과산화수소를 상기 영역으로 공급하기 위한 폐쇄 루프 회로, 및 상기 증발된 과산화수소를 분해하기 위한 분해기를 갖는다. 바이패스 도관은 상기 폐쇄 루프 회로를 통해 흐르는 유체가 상기 분해기를 우회하도록 한다. 제어기는 유체가 상기 바이패스 도관을 통해 흐르도록 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 폐쇄 루프 유동 증기 오염제거 장치가 제공된다. 상기 장치는 입구 및 출구를 갖는 밀봉 가능한 챔버를 포함한다. 상기 폐쇄 루프 도관 회로는 상기 입구와 유체 연통하는 제 1 단부, 및 상기 출구와 유체 연통하는 제 2 단부를 갖는다. 송풍기는 캐리어 가스 유동을 상기 챔버를 통해 및 그로부터 재순환시키도록 상기 도관 회로에 연결된다. 증발된 소독제를 상기 캐리어 가스 유동 내로 이송하기 위한 공급원은 상기 입구의 상류에 제공된다. 상기 출구의 하류의 분해기는 상기 증발된 소독제를 분해한다. 바이패스 도관은 유동이 상기 폐쇄 루프 도관 회로를 통해 상기 분해기 주변을 향하도록 제공된다. 제어기는 상기 바이패스 도관을 통한 유동을 제어한다.
본 발명의 이점은 밀폐된 챔버 내에서 증발된 과산화수소의 농도를 빠르게 증가시키기 위한 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 이점은 오염제거 사이클의 공조 단계 도중 증발된 과산화수소의 농도를 증가시킬 수 있는 전술된 바와 같은 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 이점은 이전의 공지된 모든 장치보다 공조 단계 사이클 시간을 감소시키는 전술한 바와 같은 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 이점은 소독제를 덜 사용하는 공조 단계 도중 소독제 농도 수준을 정할 수 있는 전술한 바와 같은 장치를 제공하는 데 있다.
이러한 이점들은 첨부한 도면 및 청구범위와 바람직한 실시예의 상세한 설명으로부터 보다 명료해질 것이다.
본 발명은 특정 부품들 및 그들의 배열에 있어서의 물리적 형태를 취하며, 바람직한 실시예는 명세서에 상세하게 설명될 것이며, 그의 일부를 형성하는 첨부 도면에 도시될 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하는 증기 과산화수소 불활성화 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 증발된 과산화수소 오염제거 장치용 제어 장치의 개략도이다.
본 발명의 바람직한 실시예는 예시하는 목적으로 도시되었을 뿐, 본 발명을 제한하지 않는 도면을 참조하며, 도 1은 본 발명의 바람직한 실시예로서 증발된 과산화수소 소독 장치(10)를 도시한다. 상기 장치(10)는 내부 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24)을 규정하는 격리실 또는 방(22)을 포함한다. 소독 또는 오염제거될 제품들이 격리실 또는 방(22) 안에 배치될 수 있음을 알 수 있을 것이다. 증발기(32)(본 명세서에서는 발생기라 칭함)는 방 또는 격리실(22)의 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24)에 공급 도관(42)에 의해 연결된다. 공급 도관(42)은 챔버 또는 영역(24)에 대한 증발된 과산화수소(VHP) 입구를 규정한다. 증발기(32)는 공급 라인(54)을 통해 액체 소독 공급원(52)에 연결된다. 공지된 평형 장치(56)는 소독제 공급원(52)과 결합하여 증발기(32)에 공급되는 소독제의 실제 양을 측정한다.
모터(64)에 의해 구동되는 펌프(62)는 계량된 양의 액체 소독제를 증발기(32)로 이송하며, 상기 소독제는 공지된 수단에 의해 증발된다. 선택적 실시예에 있어서, 펌프(62)는 증발기(32)에 대해 계량되는 소독제의 양을 모니터링하도록 허용하는 부호기(도시하지 않음)를 구비한다. 부호기가 펌프(62)를 구비하는 경우, 평형 장치(56)는 필요하지 않다. 압력 스위치(72)는 공급 라인 내에 제공된다. 압력 스위치(72)는 일정한 정지 헤드 압력이 공급 라인(54) 내에 존재하지 않는 경우의 전기적 신호를 제공하도록 작동가능하다.
격리실 또는 방(22) 및 증발기(32)는 폐쇄 루프 회로의 일부이며, 상기 폐쇄 루프 회로는 격리실 또는 방(22)(및 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24))을 증발기에 연결하는 복귀 도관(46)을 포함한다. 복귀 도관(46)은 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24)으로의 VHP 출구(48)를 규정한다. 모터(84)에 의해 구동되는 송풍기(82)는 격리실 또는 방(22)과 증발기(32) 사이의 복귀 도관(46) 내에 배치된다. 송풍기(82)는 소독제 및 공기를 상기 폐쇄 루프 회로를 통해 순환시키도록 작동가능하다. 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)는 도 1에 도시된 바와 같이 송풍기(82)와 격리실 또는 방(22) 사이의 송풍기(82)로부터 하류에 있는 복귀 도관(46) 내에 배치된다. 촉매 분해기(92)는 공지된 바와 같이 그를 통해 흐르는 과산화수소(H2O2)를 분해한다. 촉매 분해기(92)는 상기 과산화수소(H2O2)를 물 및 산소로 분해한다. 공기 건조기(94)는 상기 폐쇄 루프 회로를 통해 송풍 되는 공기로부터 습기를 제거하도록 작동가능하다. 필터(112) 및 히터(114)는 증발기(32)로부터 상류인 복귀 라인(46) 내, 증발기(32)와 공기 건조기(94) 사이에 위치한다. 필터(112)는 복귀 도관(46)을 통해 송풍기(82)에 의해 불리는 공기를 여과하도록 작동가능하다. 히터(114)는 복귀 도관(46)을 통해 송풍기(82)에 의해 불리는 공기를 가열하도록 작동가능하다. 따라서, 공기는 증발기(32)로 들어가기 전에 가열된다.
밸브(122)는 송풍기(82)와 촉매 분해기(92) 사이의 복귀 라인(46) 내에 배치된다. 밸브(122)는 도 1에 도시된 바와 같이 촉매 분해기(92)의 상류에 배치된다. 밸브(122)는 복귀 도관(46) 및 바이패스 도관(132)을 통한 흐름을 제어하도록 3-방향 작동가능하다. 바이패스 도관(132)의 일단부는 밸브(122)에 연결되고, 타단부는 촉매 분해기(92)의 뒤, 즉, 하류 위치(142)의 복귀 도관(46)에 연결된다. 도시된 실시예에 있어서, 위치(142)도 또한 공기 건조기(94)의 뒤, 즉, 하류이다.
그에 따라, 장치(10)는 제 1 유체 유동 경로 "A" 및 제 2 유체 유동 경로 "B"를 갖는 폐쇄 루프 회로를 규정한다. 제 1 유체 유동 경로 "A"는 도 1에 실선으로 도시된 바와 같이 증발기(32)로부터 공급 도관(42), 챔버 또는 영역(24), 복귀 도관(46), 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)를 통해 규정된다. 제 2 유체 유동 경로 "B"는 증발기(32) 및 공급 도관(42), 챔버 또는 영역(24)으로부터 복귀 도관(46) 및 바이패스 밸브(132)에서 다시 위치(142)의 복귀 도관(46)을 통해 규정된다. 따라서, 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)는 제 2 유체 유동 경로 "B" 에 의해 우회된다.
도 2를 참조하면, 장치(10)의 작동을 제어하기 위한 제어 장치(200)가 개략적으로 도시된다. 제어 장치(200)는 모터(64, 84) 및 밸브(122)의 작동을 제어하도록 제공되는 제어기(210)를 포함한다. 제어기(210)는 센서(72)와, 소독제를 증발기(32)로 공급하는 평형 장치(56)를 모니터링한다. 제어기(210)는 또한 히터(114) 및 증발기(32)의 동작을 제어한다. 제어기(210)는 장치(10)의 동작을 제어하도록 프로그램된 장치 마이크로프로세서 또는 마이크로-제어기이다.
입력 유닛(214)은 제어기(210)에 제공 및 부착되어 장치(10)의 사용자가 동작 변수들을 입력할 수 있도록 한다. 입력 유닛(214)은 데이터 및 정보를 장치 사용자가 제어기(210)에 용이하게 입력할 수 있는 모든 것, 예를 들면, 키패드, 키보드, 터치스크린, 또는 스위치들일 수 있다. 출력 유닛(216)도 또한 제어기(210)에 연결된다. 출력 유닛(216)은 제어기(210)가 사용자에게 장치(10)의 동작 중에 정보를 제공할 수 있도록 한다. 출력 유닛(216)은 프린터, 디스플레이 스크린, 또는 LED 표시장치일 수 있으며, 이에 제한되지 않는다. 제어기(210)는 장치(10)가 일정한 작동 상태에서 작동하도록 프로그램된다.
이하에서는, 본 발명을 장치(10)의 동작을 참조하여 상세히 설명하고자 한다. 통상의 소독/오염제거 사이클은 건조 단계, 공조 단계, 오염제거 단계 및 공기유입 단계를 포함한다. 소독/오염제거 사이클을 수행하기 전에, 소독 용액 내의 과산화수소의 비율에 대한 데이터가 제어기(210)에 입력된다. 전술한 바와 같이, 바람직한 실시예에 있어서, 중량비로 35%의 과산화수소와 65%의 물로 된 소독 용액이 사용된다. 그러나, 다른 농도의 과산화수소 및 물도 사용가능하다.
소독/오염제거 사이클이 먼저 개시되는 경우, 제어기(210)는 송풍기 모터(84)가 송풍기(82)를 구동하도록 하여, 캐리어 가스가 장치(10)를 통해 순환하도록 한다. 건조 단계 도중, 증발기(32)는 작동하지 않는다. 밸브(122)는 유체가 제 1 유체 유동 경로 "A"를 따라 유동하도록 하는 위치에 있게 된다. 공기 건조기(94)는 제 1 유체 유동 경로 "A", 즉, 공급 도관(42), 격리실 또는 방(22)의 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24), 복귀 도관(46), 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)를 통해 순환하는 공기로부터 습기를 제거한다. 공기가 충분히 낮은 습도까지 건조된 경우, 상기 건조 단계는 종료된다.
그 후, 공조 단계가 개시된다. 제어기(210)는 밸브(122)를 제 2 유체 유동 경로 "B"를 따른 유체 유동을 허용하는 위치로 이동시켜, 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)를 우회한다. 제어기(210)는 증발기(32) 및 소독제 공급 모터(64)를 작동시켜 소독제를 증발기(32)로 공급한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 소독제는 중량비로 35%의 과산화수소와 65%의 물로 구성된 과산화수소 용액이다. 다른 비율의 과산화수소로 구성된 소독 용액 또한 가능하다. 증발기(32) 내에서, 상기 액체 소독제는 증발되어 공지된 방식으로 증발된 과산화수소 및 수증기를 생성한다. 증발된 소독제는 폐쇄 루프 도관 회로 내로 유입되고, 공급 도관(42)을 통해 캐리어 가스(공기)에 의해 격리실 또는 방(22) 내의 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24) 내로 이송된다. 공조 단계 도중, 증발된 과산화수소는 상대적으로 높은 비율로 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24) 내로 주입되어 짧은 기간 동안 과산화수소 농도를 원하는 수준까지 높인다. 공조 단계 도중, 송풍기(82)는 공기가 제 2 유체 유동 경로 "B"를 통해 연속적으로 순환하도록 하며, 증발된 과산화수소는 증발기(32)로부터 챔버 또는 영역(24)으로 들어간다. 챔버 또는 영역(24)으로부터 나오는 증발된 과산화수소는 바이패스 도관(132)을 통해 이동하여 촉매 분해기(92)를 우회한다.
제 2 유체 유동 경로 "B"를 따라가는 증발된 과산화수소(VHP)의 연속 순환의 결과, 챔버 또는 영역(24) 내의 상기 증발된 과산화수소(VHP)의 농도는 상기 증발된 과산화수소(VHP)가 챔버 또는 영역(24)을 여기 시킴에 따라 상기 증발된 과산화수소(VHP)가 촉매 분해기(92)에 의해 분해되는 경우보다 더 빠르게 증가한다. 상기 증발된 과산화수소(VHP)는 장치(10)를 통해 연속 순환하여 증발기(32)를 통해 복귀하고, 증발기에서는 추가의 증발된 과산화수소(VHP)가 생성되고, 이는 증발된 과산화수소(VHP)의 흐름에 추가된다.
공조 단계가 종료된 후, 오염제거 단계가 개시된다. 오염제거 단계 도중, 증발기(32) 및 소독/오염제거 챔버 및 영역(24)에 대한 소독제 주입률은 감소하여 증발된 과산화수소(VHP)의 농도를 일정하게 원하는 수준에서 유지한다. 제어기(210)는 밸브(122)를 제 1 유체 유동 경로 "A"를 통해 장치(10) 내의 유체 유동 위치로 이동시키며, 상기 유동은 촉매 분해기(92) 및 공기 건조기(94)를 통해 흐르게 된다. 촉매 분해기(92)는 그를 통해 흐르는 증발된 과산화수소(VHP)를 물과 산소로 분해한다. 따라서, 챔버 또는 영역(24) 내의 증발된 과산화수소(VHP)의 농도는 증발기(32)의 출력에 의해 결정된다. 오염제거 단계가 소정 시간 동안, 바람직하게는, 원하는 농도로 일정하게 상기 증발된 과산화수소(VHP)를 사용하여, 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24) 및 그 안의 제품에 대한 원하는 소독 또는 오염제거를 구현하기에 충분한 소정 시간 동안 수행한다.
오염제거 단계가 종료된 후, 제어기(210)는 증발기(32)의 작동을 중지시켜, 증발된 과산화수소(VHP)가 소독/오염제거 챔버 또는 방(24)으로 유입되지 않도록 한다.
그 후, 공기 유입 단계가 진행되어 증발된 과산화수소(VHP)의 농도가 허용 문턱값(대략 1ppm)까지 낮아지도록 한다. 따라서, 송풍기(82)는 공기 및 소독제를 폐쇄 루프 회로를 통해 계속 순환시킴으로써, 증발된 과산화수소(VHP)가 남김없이 촉매 분해기(92)에 의해 분해되도록 한다.
본 발명은 공조 단계 도중 소독/오염제거 챔버 또는 영역(24) 내의 증발된 과산화수소(VHP)의 양을 증가시키는 단순하고 효율적인 방법을 제공한다. 본 발명은 3,000ft3 또는 그 이상의 밀폐부, 바람직하게는 5,000ft3 또는 그 이상의 밀폐부와 같은 커다란 챔버 또는 영역(24)에 사용되는 것이 바람직하다.
이상의 설명은 본 발명의 특정 실시예에 대한 것이다. 본 실시예는 예시적 목적으로 설명된 것일 뿐, 본 발명의 범주 및 사상을 이탈하지 않고도 많은 변형 실시예가 가능하다는 것을 당업자라면 알 수 있을 것이다. 이러한 모든 변형 실시예들 또한 이하의 청구범위 또는 그의 균등물인 경우 본 발명의 범주에 포함될 것이다.

Claims (16)

  1. 규정된 영역의 오염을 제거하기 위한 증기 오염제거 장치에 있어서:
    영역을 규정하는 챔버;
    증발된 과산화수소를 상기 영역으로 공급하는 폐쇄 루프 회로;
    과산화수소 및 물로 된 용액으로부터 상기 증발된 과산화수소를 발생시키는 발생기를 포함하되, 상기 발생기는 상기 폐쇄 루프 회로 내에 배치되며;
    상기 증발된 과산화수소를 분해하기 위한 상기 폐쇄 루프 순환 시스템 내의 분해기;
    캐리어 가스 유동을 상기 챔버를 통해 및 그로부터 재순환시키도록 상기 폐쇄 루프 회로에 연결되는 송풍기;
    상기 발생기의 상류의 상기 폐쇄 루프 회로 내의 상기 증발된 과산화수소를 분해하는 분해기;
    상기 분해기를 우회하는 바이패스 도관; 및
    상기 발생기로부터 나오는 증발된 과산화수소가 소정의 작동 단계 도중 상기 분해기를 우회하도록 하는 제어기를 포함하는 증기 오염제거 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 분해기 하류에 공기 건조기를 더 포함하는 증기 오염제거 장치.
  5. 일정 영역의 오염을 제거하기 위한 오염제거 장치에 있어서, 상기 장치는:
    영역을 규정하는 챔버;
    증발된 과산화수소를 상기 영역으로 공급하는 폐쇄 루프 회로;
    상기 증발된 과산화수소를 발생시키는 발생기를 포함하되, 상기 발생기는 상기 폐쇄 루프 회로 내에 배치되며;
    상기 폐쇄 루프 회로 내의 상기 발생기의 상류에 배치되며 상기 증발된 과산화수소를 분해하기 위한 분해기;
    상기 분해기를 우회하는 바이패스 도관을 포함하되, 상기 바이패스 도관은 유체가 상기 폐쇄 루프 회로를 통하여 상기 분해기를 우회하도록 하며;및
    유체가 상기 바이패스 도관을 통해 흐르도록 제어하는 제어기를 갖는 오염제거 장치.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서, 유체가 상기 분해기 또는 바이패스 도관을 통해 흐르도록 제어하기 위한 밸브 수단을 더 포함하는 오염제거 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 장치의 공조 단계 동안 유체가 바이패스 도관을 통해 흐르도록 하는 오염제거 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 장치는 공기 건조기를 포함하되, 상기 공기 건조기는 상기 폐쇄 루프 회로의 일부인 오염제거 장치.
  10. 폐쇄 루프 유동 증기 오염제거 장치에 있어서,
    입구 및 출구를 갖는 밀봉 가능한 챔버;
    상기 입구와 유체 연통하는 제 1 단부 및 상기 출구와 유체 연통하는 제 2 단부를 갖는 폐쇄 루프 회로;
    캐리어 가스 유동을 상기 챔버를 통해 및 그로부터 재순환시키기 위한 상기 회로에 연결되는 송풍기;
    증발된 소독제를 상기 입구의 상류의 상기 캐리어 가스 유동 내로 이송하기 위한 공급원;
    상기 증발된 소독제를 분해하는 상기 출구의 하류의 분해기를 포함하되, 상기 송풍기, 상기 증발된 소독제를 이송하기 위한 상기 공급원 및 상기 분해기는 상기 폐쇄 루프 회로 내에 배치되며;
    유동이 상기 폐쇄 루프 회로 및 상기 바이패스 도관을 통해 상기 분해기 주변을 향하도록 하는 바이패스 도관을 포함하되, 상기 송풍기 및 상기 증발된 소독제를 이송하기 위한 상기 공급원은 상기 폐쇄 루프 회로 내에 배치되며; 및
    상기 바이패스 도관을 통한 유동을 제어하는 제어기를 포함하는 오염제거 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 소독제는 증발된 과산화수소(VHP)인 오염제거 장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제어기는 공조 단계 작동 중에 상기 바이패스 도관을 통해 유동이 되도록 하는 오염제거 장치.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 분해기의 하류에 배치되는 공기 건조기를 더 포함하는 오염제거 장치.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 송풍기는 상기 챔버의 하류, 상기 분해기와 상기 챔버 사이에 배치되는 오염제거 장치.
  15. 제 4 항에 있어서, 상기 제어기는 건조 단계의 동작, 공조 단계의 동작, 오염제거 단계의 동작, 및 공기 유입 단계의 동작을 포함하도록 프로그램되는 증기 오염제거 장치.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 증발된 과산화수소(VHP)가 상기 공조 단계 도중 상기 분해기를 우회하도록 하는 증기 오염제거 장치.
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