KR100813202B1 - 평판 디스플레이 장치 제조용 장비 및 그 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 장치 제조용 장비 및 그 제어 방법이 제공된다. 평판 디스플레이 제조용 장비는 공정 챔버, 공정 챔버 내에 설치되며, 약액을 저장하는 약액 탱크, 약액을 약액 탱크로 공급하는 펌프, 약액 탱크와 펌프 사이에 설치되어 약액의 통로를 제공하는 다수의 배관들, 다수의 배관들을 연결시키는 다수의 연결 부재, 다수의 연결 부재들 및/또는 공정 챔버 저면에 설치된 리크 센서 및 리크 센서에서 제공된 신호에 따라 접점들이 개폐되어 펌프의 동작을 제어하는 릴레이를 포함한다.
펌프, 리크 센서, 릴레이

Description

평판 디스플레이 장치 제조용 장비 및 그 제어 방법{Apparatus for manufacturing flat panel display device and controlling method thereof}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 개략 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
10: 공정 챔버 20: 약액 탱크
30: 펌프 41, 42, 43: 배관
51, 52, 53: 연결 부재 61, 62, 63, 64: 리크 센서
70: 릴레이 80: 마그네틱 컨택터
90: 컨트롤러
본 발명은 평판 디스플레이 장치 제조용 장비 및 그 제어 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 약액 누출시 펌프의 동작을 하드웨어 및 소프트웨어를 통해 효과적으로 제어할 수 있는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display) 장치는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말한다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching), 세정(cleaning) 및 건조(drying) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.
이러한 공정들 중, 세정 공정이 진행되는 장비는 공정시 사용된 약액을 약액 탱크로 순환시키거나, 외부로부터 약액 탱크로 약액을 공급하기 위한 펌프가 구비된다. 이러한 약액 탱크와 펌프 사이에는 원활한 약액의 공급을 위한 다수의 배관들이 연결될 수 있다.
그런데, 다수의 배관들과 약액 탱크 및 펌프는 연결 부재들에 의해 연결되므로, 탱크의 균열 또는 연결 부재의 노후 등의 문제로 약액이 누출될 수 있다. 이에 따라 종래에는 이와 같이 약액이 누출되면 프로그램을 이용하여 펌프의 동작을 중단시켰으나, 프로그램의 오류 및 오동작이 발생할 경우 약액이 계속적으로 누출될 수 있다.
본 발명의 목적은 평판 디스플레이 장치 제조용 장비에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 약액 누출시 펌프의 동작을 효과적으로 제어할 수 있는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 약액 누출시 펌프의 동작을 하드웨어 및 소프트웨어를 통해 효과적으로 제어할 수 있는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비는 공정 챔버, 공정 챔버 내에 설치되며, 약액을 저장하는 약액 탱크, 약액을 약액 탱크로 공급하는 펌프, 약액 탱크와 펌프 사이에 설치되어 약액의 통로를 제공하는 다수의 배관들, 다수의 배관들을 연결시키는 다수의 연결 부재, 다수의 연결 부재들 및/또는 공정 챔버 저면에 설치된 리크 센서 및 리크 센서에서 제공된 신호에 따라 접점들이 개폐되어 펌프의 동작을 제어하는 릴레이를 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법은 펌프를 동작시켜 다수의 배관들을 통해 약액 탱크로 약액을 공급하고, 다수의 배관들을 연결시키는 다수의 연결 부재들에 설치된 리크 센서들 로부터 약액의 누출을 감지하고, 리크 센서들에 상기 약액의 누출이 미감지되면 릴레이의 접점을 폐쇄하여 펌프를 계속 동작시키고, 리크 센서들에 약액의 누출이 감지되면 릴레이의 접점을 개방하여 펌프의 동작을 중단시키는 것을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 개략 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 평판 디스플레이 장치 제조용 장비는 공정 챔버(10), 약액 탱크(20), 펌프(30), 다수의 배관들(41, 42, 43), 연결 부재들(51, 52, 53) 및 리크 센서들(61, 62, 63, 64)을 포함한다.
공정 챔버(10)는 세정 공정이 수행되는 공간으로써 기판의 반입, 세정, 건조 및 반출 과정이 연속적으로 수행될 수 있다. 공정 챔버(10) 내에는 약액 탱크(20) 구비되어 있으며, 공정 챔버(10) 및 약액 탱크(20) 주위에는 세정 공정에 필요한 필터(미도시), 히터(미도시), 펌프(30) 및 배관(41, 42, 43) 등이 설치된다.
그리고, 약액 탱크(20)와 펌프(30)는 다수의 배관들(41, 42, 43)에 의해 연결되어 있어 펌프(30)의 동작에 의해 약액이 다수의 배관들(41, 42, 43)을 통해 약액 탱크(20)로 제공된다.
약액 탱크(20)와 펌프(30)를 연결하는 배관들(41, 42, 43)은 약액 탱크(20)와 펌프(30) 간의 거리에 따라 선택적으로 연결될 수 있으며, 위치에 따라 U자형, I자형 및 L자형 등 다양한 형태의 배관들(41, 42, 43)이 연결될 수 있다. 따라서, 각 배관들(41, 42, 43)이 연결되는 부분은 너트 등과 같은 연결 부재(51, 52, 53)에 의해 연결되어 있다.
그리고, 각 연결 부재에는 배관들을 통해 흐르는 약액의 누출을 감지하기 위한 리크 센서(62, 63, 64)가 설치되어 있다. 그리고 리크 센서(61)는 공정 챔버(10)의 저면으로 누출된 약액을 감지하기 위해 공정 챔버(10)의 저면에도 설치될 수 있다.
이하, 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 리크 센서들(61, 62)은 릴레이(70)와 연결되어 있다. 릴레이(70)는 리크 센서들(61, 62)로부 터 전달받은 신호에 따라 접점이 개폐되는 소자이다. 즉, 리크 센서들(61, 62)에서 약액의 누출이 감지되면 릴레이(70)의 접점이 개방되고, 약액의 누출이 감지되지 않으면 릴레이(70)의 접점이 폐쇄되는 방식으로 릴레이(70)가 동작할 수 있다.
이러한 릴레이(70)는 마크네틱 컨택터(80; Magnetic Contactor; M/C)와 연결되어 있어, 릴레이(70)의 동작에 따라 마그네틱 컨택터(80)를 제어할 수 있다.
마그네틱 컨택터(80)는 펌프(30), 필터(미도시) 및 히터(미도시) 등과 같이 세정 공정에 이용되는 주요 장치들을 제어한다. 이러한 마그네틱 컨택터(80)는 릴레이(70) 및 펌프(30)와 연결되어 있어, 릴레이(70)의 동작에 따라 펌프(80)를 제어할 수 있다.
그리고, 평판 디스플레이 제조용 장비에 구비된 리크 센서(61, 62)들 및 펌프(30)는 각각 컨트롤러(90)와 소프트웨어적으로 연결되어 있어, 프로그램을 통해 리크 센서들(61, 62) 및 펌프(30)의 동작을 제어할 수 있다.
이하, 도 1 내지 3을 참조하여 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비에서 펌프를 제어하는 방법에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
먼저, 펌프(30)를 동작시켜 약액 탱크(20)로 약액을 공급한다(S10). 이에 따라 약액의 다수의 배관들(41, 42, 43)을 거쳐 약액 탱크(20) 내로 저장되며, 이와 동시에 배관들(41, 42, 43) 사이의 연결 부재(51, 52, 53) 및 공정 챔버(10) 저면에 설치된 리크 센서들(61,62, 63, 64)이 동작한다(S20).
계속해서, 약액이 정상적으로 약액 탱크(20)로 공급되면 리크 센서들(61, 62, 63, 64)에서는 약액의 누출이 감지되지 않는다(S30). 따라서 리크 센서들(61, 62, 63, 64)과 연결된 릴레이(70)의 접점이 폐쇄 상태에 위치된다(S40-1). 릴레이(70)의 접점 폐쇄는 마그네틱 컨택터(80)를 온(On)시키게 되며(S50-1), 이에 따라 마그네틱 컨택터(80)와 연결된 펌프(30)가 계속 동작 상태에 놓이게 된다(S60-1).
이와 달리, 약액이 약액 탱크(20)로 공급 도중, 약액이 누출되어 어느 하나의 리크 센서들(61, 62, 63, 64)에서 누출이 감지되면(S30), 릴레이(70)의 접점이 개방된다(S40-2). 이에 따라 릴레이(70)와 연결된 마그네틱 컨택터(80)로의 전류 흐름이 차단되어 마그네틱 컨택터(80)가 오프(off)된다(S50-2). 따라서, 마그네틱 컨택터(80)와 연결된 펌프(30)의 동작을 신속히 중단시킬 수 있다(S60-2).
이와 같이, 약액의 누출시 리크 센서들(61, 62, 63, 64)과 연결된 릴레이(70)가 동작하면서 펌프(30)의 동작을 신속히 중단시킬 수 있으며, 이와 동시에, 컨트롤러(90)를 통해서 작업자가 펌프(30)의 동작을 제어할 수도 있다. 그리고, 약액 누출시 컨트롤러(90)를 통해 알람을 발생시켜 작업자에게 약액 누출을 알릴 수 있다.
이처럼, 세정 장비에서 약액의 누출이 발생할 경우, 컨트롤러(90)를 통해 펌프(30)를 제어할 수 있을뿐만 아니라, 리크 센서들(61, 62, 63, 64)과 연결된 릴레이(70)를 통해 펌프(30)의 동작을 신속히 중단시킬 수 있다. 또한, 컨트롤러(90)의 프로그램 오류시에도 펌프(30)의 동작을 제어할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
본 발명에 따르면, 리크 센서들을 릴레이를 통해 마그네틱 컨택터와 연결함으로써, 약액의 누출시 소프트웨어뿐만 아니라 하드웨어로도 펌프의 동작을 제어할 수 있다. 따라서, 소프트웨어의 오류 또는 오동작시에도 약액의 누출에 따른 펌프의 동작을 제어할 수 있다.

Claims (5)

  1. 공정 챔버;
    상기 공정 챔버에 공급되는 약액을 저장하는 약액 탱크;
    상기 약액을 상기 약액 탱크로 공급하는 펌프;
    상기 약액 탱크와 상기 펌프 사이에 설치되어 상기 약액의 통로를 제공하는 다수의 배관들;
    상기 다수의 배관들을 연결시키는 다수의 연결 부재;
    상기 다수의 연결 부재들 및/또는 상기 공정 챔버 저면에 설치된 리크 센서; 및
    상기 리크 센서에서 제공된 신호에 따라 접점들이 개폐되어 상기 펌프의 동작을 제어하는 릴레이를 포함하는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 릴레이 및 상기 펌프와 연결되어, 상기 릴레이의 개폐에 따라 상기 펌프의 동작을 제어하는 마그네틱 콘택터를 더 포함하는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비.
  3. 펌프를 동작시켜 다수의 배관들을 통해 약액 탱크로 약액을 공급하고,
    상기 다수의 배관들을 연결시키는 다수의 연결 부재들에 설치된 리크 센서들로부터 약액의 누출을 감지하고,
    상기 리크 센서들에 의해 상기 약액의 누출이 미감지되면 릴레이의 접점을 폐쇄하여 상기 펌프를 계속 동작시키고,
    상기 리크 센서들에 의해 상기 약액의 누출이 감지되면 릴레이의 접점을 개방하여 상기 펌프의 동작을 중단시키는 것을 포함하는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 릴레이의 접점 폐쇄는, 마그네틱 컨택터를 온시켜 상기 펌프를 계속 동작시키는 것을 더 포함하는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 릴레이의 접점 개방은, 마그네틱 컨택터를 오프시켜 상기 펌프의 동작을 중단시키는 것을 더 포함하는 평판 디스플레이 장치 제조용 장비의 제어 방법.
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KR20040036300A (ko) * 2002-10-24 2004-04-30 삼성전자주식회사 웨이퍼 습식 식각 장치의 리크 감지 기능을 구비한 케미컬순환 시스템

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