KR100812988B1 - Linear stage robot - Google Patents

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KR100812988B1
KR100812988B1 KR1020070064946A KR20070064946A KR100812988B1 KR 100812988 B1 KR100812988 B1 KR 100812988B1 KR 1020070064946 A KR1020070064946 A KR 1020070064946A KR 20070064946 A KR20070064946 A KR 20070064946A KR 100812988 B1 KR100812988 B1 KR 100812988B1
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KR
South Korea
Prior art keywords
slider
seal belt
base
support frame
linear stage
Prior art date
Application number
KR1020070064946A
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Korean (ko)
Inventor
남일우
최상진
이현미
Original Assignee
(주)다사로봇
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00—Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B25J5/02—Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Abstract

A linear stage robot is provided to move a slider effectively and prevent inflow of impurities by installing a seal belt between an upper cover and a side cover. A linear stage robot comprises a base(2), an upper cover(3), a guide rail, a slider(10) reciprocating along the guide rail, a stopper, a roller installed at the stopper side, a seal belt, and a linear motor. The stopper installed at two ends of the base restricts movement of the slider. The seal belt elastically installed at the roller shields the inside, blocks flowing of impurities to be engaged with the slider. The linear motor consists of a permanent magnet separated at constant intervals on the upper surface of the base, and coil unit placed at the lower end of the slider to correspond to the permanent magnet. The slider includes a body part, a guide block installed along the guide rail at two lower surface of the body part, a first supporting frame integrated with the body part, and a second supporting frame. The second supporting frame attached to the first supporting frame has an object to be projected from one side. The seal belt prevents surface contact between the first supporting frame and the second supporting frame of the slider.

Description

리니어 스테이지 로봇{Linear Stage Robot}Linear Stage Robot

도 1a는 종래 발명인 리니어 스테이지 로봇의 사시도,1A is a perspective view of a linear stage robot according to the related art,

도 1b는 종래 발명인 리니어 스테이지 로봇의 내부사시도,1B is an internal perspective view of a linear stage robot according to the related art;

도 2는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇의 사시도,2 is a perspective view of a linear stage robot of the present invention,

도 3은 본 발명인 리니어 스테이지 로봇의 내부사시도,3 is an internal perspective view of the linear stage robot of the present invention;

도 4a는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇 씰 벨트결합의 제1실시예에 대한 내부측면도,Figure 4a is an internal side view of a first embodiment of the linear stage robot seal belt coupling of the present invention,

도 4b는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇 슬라이더의 단면도,4B is a cross-sectional view of the linear stage robot slider of the present invention;

도 5는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇의 작용도,5 is an operation of the linear stage robot of the present invention,

도 6은 본 발명인 리니어 스테이지 로봇 씰 벨트결합의 제2실시예에 대한 내부측면도,Figure 6 is an internal side view of a second embodiment of the present invention linear stage robot seal belt coupling;

도 7은 본 발명인 리니어 스테이지 로봇 슬라이더의 중공부를 치환하는 홈을형성하는 제3실시예 단면도이다.7 is a cross-sectional view of a third embodiment for forming a groove for replacing the hollow portion of the linear stage robot slider according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1:리니어 스테이지 로봇 2:베이스1: Linear stage robot 2: Base

3:제1측면커버 3:상부커버3: first side cover 3: top cover

5:제2측면커버 6:가이드레일5: 2nd side cover 6: guide rail

7:스토퍼 7a:완충부재7: Stopper 7a: Shock absorbing member

8:롤러 8a:롤러블럭8: Roller 8a: Roller Block

9:씰 벨트 10:슬라이더9: seal belt 10: slider

11:몸체부 12:가이드블럭11: Body 12: guide block

13:제1받침프레임 14:제2받침프레임13: first support frame 14: second support frame

15:중공부 16:홀15: hollow part 16: hall

20:리니어 모터 21:영구자석20: linear motor 21: permanent magnet

30:슬라이더 31:몸체부30: Slider 31: body part

32:가이드블럭 33:받침프레임32: guide block 33: support frame

35:씰 벨트35: seal belt

본 발명은 리니어 스테이지 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 외부의 이물질의 유입을 방지하여 슬라이더가 원활한 직선왕복운동을 할 수 있는 리니어 스테이지 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a linear stage robot, and more particularly, to a linear stage robot capable of smoothly reciprocating the slider by preventing the inflow of foreign matter.

리니어 스테이지 로봇은 주로 액정 표시 장치의 공정작업을 하기 위한 장치, 산업용 기구에 납땜작업을 하는 장치, 나사체결을 하기 위한 장치 등 직선운동을 필요로 하는 장소에서 사용된다. 리니어 스테이지 로봇은 리니어 모터를 사용하는 것으로 전동기의 원리를 직선왕복운동에 적용하여 제어부에 의해 전기적인 신 호를 인가받아 자력을 발생시킨는 코일유니트가 슬라이더의 저면에 설치된다. 코일유니트에 대응하여 베이스의 길이방향에 따라 영구자석이 설치된다. 이 때 전기적 신호가 코일유니트에 인가되면 베이스의 상면에 마련된 영구자석과의 관계에서 추력이 발생하여 슬라이더는 직선왕복운동한다. Linear stage robots are mainly used in places that require linear motion, such as devices for processing liquid crystal display devices, devices for soldering industrial equipment, and devices for screwing. The linear stage robot uses a linear motor. A coil unit that generates a magnetic force by applying an electric signal by a controller by applying the principle of the motor to a linear reciprocating motion is installed on the bottom of the slider. Permanent magnets are installed in the longitudinal direction of the base corresponding to the coil unit. At this time, when an electrical signal is applied to the coil unit, thrust is generated in relation to the permanent magnet provided on the upper surface of the base, and the slider reciprocates linearly.

도 1a 는 종래의 리니어 스테이지 로봇의 사시도 이다. 도 1b는 종래의 리니어 스테이지 로봇의 내부사시도 이다. 도면에 도시한 바와 같이, 리니어 스테이지 로봇(100)은 길이방향으로 측벽(102)이 마련된 베이스(101), 양측 측벽(102)의 상단과 이격되게 위치하며 내부공간을 형성하고 슬라이더(107)의 받침대(107a)가 작업물을 안착시켜 이동가능하도록 공간을 형성하는 상부커버(103), 측벽(102)과 연결되고 동시에 상부커버와 연결되는 측면커버(104), 베이스(101)의 양단에 위치하는 스토퍼(105), 베이스(101)의 내측에 측벽을 따라 길이방향으로 설치되는 가이드레일(106), 가이드레일(106)을 따라 직선운동하는 슬라이더(107), 영구자석(108)과 슬라이더(107)의 저면에 마련되는 코일유니트가 마련된 리니어 모터로 구성된다.1A is a perspective view of a conventional linear stage robot. 1B is an internal perspective view of a conventional linear stage robot. As shown in the drawing, the linear stage robot 100 is positioned at a distance from the base 101 having the sidewalls 102 provided in the longitudinal direction, and spaced apart from the upper ends of both sidewalls 102 to form an inner space and the slider 107. Pedestal 107a is located at both ends of the top cover 103, the side cover 104 and the base 101 are connected to the top cover and at the same time connected to the top cover to form a space to move the work to seat the workpiece The stopper 105, the guide rail 106 is installed in the longitudinal direction along the side wall inside the base 101, the slider 107, the permanent magnet 108 and the linear movement of the linear movement along the guide rail 106 ( It consists of a linear motor provided with a coil unit provided on the bottom of 107.

베이스(101)는 측벽(102)을 구비하고 구성부분과 물체를 지탱하기 위해 바닥에 밀착된다. 상부커버(103)는 양측의 측벽(102)의 상단과 일정한 간격으로 이격되게 위치하고 베이스(101)와 이격되게 위치하여 내부공간을 형성한다. 측면커버(104)는 베이스(101)의 양단에 위치하여 상부커버(103)와 측벽(102)을 지지한다.Base 101 has sidewalls 102 and is in close contact with the floor to support components and objects. The upper cover 103 is spaced apart from the upper end of the side wall 102 on both sides at regular intervals and spaced apart from the base 101 to form an inner space. Side cover 104 is located at both ends of the base 101 to support the top cover 103 and the side wall (102).

스토퍼(105)는 베이스(101)의 양단에 위치한다. 스토퍼(105)의 상면에 상부커버(103)의 양단이 안착된다. 가이드레일(106)은 베이스(101)의 상면에 양측으로 길이방향을 따라서 설치된다. 슬라이더(107)는 측벽(102)과 상부커버(103)에 의해 형성된 내부공간에서 가이드레일(106)을 따라 직선왕복운동한다. 슬라이더의 받침대(107a)가 측벽(102)의 상단과 상부커버(103)에 의해 이루어진 소정 공간에 위치하여 이동한다. 리니어 모터는 영구자석(108)과 코일유니트로 구성된다. 영구자석(108)은 베이스(101)의 상면 중앙에 길이방향을 따라 일정한 간격으로 이격되게 마련된다. 코일유니트는 슬라이더의 저면 중앙에 위치하여 영구자석과 대향된다.The stopper 105 is located at both ends of the base 101. Both ends of the upper cover 103 are seated on the top surface of the stopper 105. The guide rail 106 is provided along the longitudinal direction on both sides of the upper surface of the base 101. The slider 107 linearly reciprocates along the guide rail 106 in the inner space formed by the side wall 102 and the upper cover 103. The pedestal 107a of the slider moves in a predetermined space formed by the upper end of the side wall 102 and the upper cover 103. The linear motor is composed of a permanent magnet 108 and a coil unit. The permanent magnets 108 are provided to be spaced at regular intervals along the longitudinal direction in the center of the upper surface of the base 101. The coil unit is located in the center of the bottom of the slider and faces the permanent magnet.

상술한 리니어 스테이지 로봇의 작동을 살펴보면, 먼저 슬라이더의 받침대(107a)에 작업대상물체가 안착된다. 슬라이더(107)의 내부에 있는 센서가 작동하고 동시에 리니어 모터가 작동하여 슬라이더(107)는 가이드레일(106)을 따라 작업대상물체가 작업되기 원활한 지점으로 이동한다. Looking at the operation of the linear stage robot described above, first the object to be mounted on the base of the slider (107a). A sensor inside the slider 107 operates and a linear motor operates at the same time so that the slider 107 moves along the guide rail 106 to a point where the workpiece is smoothly worked.

상술한 종래의 기술에 따른 리니어 스테이지 로봇은 슬라이더(107)가 이동하면 상부커버(103)와 측벽(102)상단 사이에 위치하는 슬라이더의 받침대(107a)가 이동한다. In the linear stage robot according to the related art described above, when the slider 107 moves, the pedestal 107a of the slider positioned between the upper cover 103 and the upper side of the side wall 102 moves.

그러나, 받침대(107a)가 위치하는 부분이외의 나머지 부분,즉 상부커버(103)와 측면커버(102) 사이의 공간은 이물질에 대하여 노출되어 이로 인해 금속등의 이물질이 영구자석(108)에 강력하게 붙어 슬라이더(107)의 동작 성능을 방해하는 문제가 있다.However, the rest of the space other than the portion where the pedestal 107a is located, that is, the space between the upper cover 103 and the side cover 102 is exposed to the foreign matter, thereby causing foreign matter such as metal to be strongly applied to the permanent magnet 108. There is a problem that hinders the operation performance of the slider 107.

또한, 작업환경이 좋지 않은 곳에서 금속뿐만 아니라 비금속 및 각종 이물질들이 리니어 스테이지 로봇(100)의 내부에 적층이 되어 슬라이더(107)의 직선왕복 운동을 방해하여 오작동을 일으키거나 심각한 파손 등이 발생하는 경우 장비를 교체해야 하는 비용적인 문제와 장비를 구동시키지 못하는 과정에서의 손실비용이 커지는 문제가 있다.In addition, where the working environment is not good, not only metal but also non-metal and various foreign matters are stacked in the linear stage robot 100 to prevent linear reciprocation of the slider 107, causing malfunction or serious damage. In this case, there is a problem in that the cost of replacing the equipment and the loss cost in the process of not operating the equipment are increased.

따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 종래의 리니어 스테이지 로봇에 씰 벨트를 상부커버와 측면커버의 사이 공간에 설치하여 이물질들을 내측에 유입되는 것을 방지하여 슬라이더의 이동을 좀 더 원활히 하는 리니어 스테이지 로봇을 제공함을 목적으로 한다.Therefore, an object of the present invention is to solve such a conventional problem by installing a seal belt in the space between the upper cover and the side cover in a conventional linear stage robot to prevent foreign substances from entering the inside to move the slider a little The aim is to provide a linear stage robot that makes it easier.

또한, 씰 벨트를 상부커버와 측면커버 사이에 설치하여 이물질이 내측에 유입되는 것을 방지하여 작업환경이 좋지 못한 곳 뿐만아니라 리니어 스테이지 로봇 내부에 진공을 위한 썩션을 실시하면 청정도가 유지되어 클린룸내에서도 여유로운 작업을 할 수 있고 장비교체와 비용문제에서 유리한 효과가 있는 리니어 스테이지 로봇을 제공함을 목적으로 한다.In addition, the seal belt is installed between the top cover and the side cover to prevent foreign substances from entering the inside, so that not only the work environment is poor, but also the squeezing for the vacuum inside the linear stage robot maintains the cleanliness. The aim is to provide a linear stage robot that can work comfortably and is advantageous in terms of equipment replacement and cost.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명인 리니어 스테이지 로봇은 측면커버가 구비된 길이방향의 베이스, 상기 베이스에 대응되도록 이격되게 위치하고 상기 측면커버의 상단과 일영역이 형성되도록 이격되게 위치하는 상부커버, 상기 베이스의 길이 방향에 따라 설치되는 가이드레일을 포함하고 있는 리니어 스테이지 로봇에 있어서, 상기 가이드레일을 따라 왕복운동하는 슬라이더, 상기 베이스의 양단에 설치되어 상기 슬라이더의 이동을 제한하는 스토퍼, 상기 스토퍼측에 설치된 롤러, 상기 롤러에 탄성력있게 설치되고 상기 측면커버와 상기 상부커버의 사이 일영역에 위치하며 상기 슬라이더와 연동하여 이물질유입을 차단하고 내부를 차폐하는 씰 벨트를 포함하는 것을 특징으로 한다. Linear stage robot according to the present invention for achieving the above object is a longitudinal base having a side cover, an upper cover positioned to be spaced apart to correspond to the base and spaced apart so as to form an area with an upper end of the side cover, the A linear stage robot including a guide rail provided along a longitudinal direction of a base, comprising: a slider reciprocating along the guide rail, a stopper provided at both ends of the base to limit movement of the slider, and a stopper side. Installed roller, characterized in that it comprises elastically installed on the roller and is located in one region between the side cover and the upper cover and interlocked with the slider to block foreign matter inflow and shield the inside.

상기 슬라이더는 몸체부, 상기 몸체부의 저면 양측에 상기 가이드레일을 따라 이동 가능하도록 설치되는 가이드블럭, 상기 몸체부와 일체로 형성된 제1받침프레임, 상기 제1받침프레임에 탈부착가능하고 상기 소정공간으로부터 돌출되어 물체가 안착되는 제2받침프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 몸체부의 양측에 하측 씰 벨트가 이동시 씰 벨트가 통과될 수 있는 중공부를 형성하는 것을 특징으로 한다.The slider is a body portion, a guide block which is installed to move along the guide rail on both sides of the bottom of the body portion, a first support frame integrally formed with the body portion, detachable to the first support frame and from the predetermined space It characterized in that it comprises a second support frame protruding to seat the object. Characterized in that forming a hollow portion through which the seal belt can pass when the lower seal belt is moved on both sides of the body portion.

상기 슬라이더의 제1받침프레임과 제2받침프레임 사이에 상기 씰 벨트가 개재되어 연동되는 것을 특징으로 한다. 상기 슬라이더 받침프레임 양단 면에 상기 씰 벨트가 결합되어 연동되는 것을 특징으로 한다.The seal belt is interposed between the first support frame and the second support frame of the slider interlocked. The seal belt is coupled to both ends of the slider support frame.

이하, 본 발명인 리니어 스테이지 로봇에 대해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the linear stage robot of this invention is demonstrated in detail with reference to attached drawing.

도 2는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇의 사시도 이다. 도 3은 본 발명인 리니어 스테이지 로봇의 내부사시도이다. 도 4a는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇에 대한 제1실시예의 내부측면도이다. 도 4b는 본 발명인 리니어 스테이지 로봇슬라이더의 단면도이다. 도면에 도시한 바와 같이, 리니어 스테이지 로봇(1)은 구성요소와 물체를 받치기 위해 바닥에 안전하게 배치되는 베이스(2), 베이스(2)의 양측 측면에 베이스(2)의 길이방향을 따라 상향으로 설치된 제1측면커버(3), 양측 제1측면커버(3)의 상단과 일정한 간격으로 이격되게 위치하여 일영역이 형성되도록 설치된 상부커버(4), 양단에 상부커버(4)와 결합되고 제1측면커버(3)와 동시에 결합되는 제2측면커버(5), 베이스(2)의 상면에 베이스의 길이방향에 따라 설치되는 가이드레일(6), 베이스(2)의 양단에 설치되는 스토퍼(7), 스토퍼(7)의 양측에 마련되는 롤러(8), 롤러(8)에 걸려져 있는 씰 벨트(9), 씰 벨트(9)와 연동하고 가이드레일(6)을 따라 이동하는 슬라이더(10)와 리니어 모터(20)로 구성된다.2 is a perspective view of the linear stage robot of the present invention. 3 is an internal perspective view of the linear stage robot of the present invention. 4A is an internal side view of the first embodiment of the linear stage robot of the present invention. 4B is a cross-sectional view of the linear stage robot slider according to the present invention. As shown in the figure, the linear stage robot 1 is a base 2 securely placed on the floor for supporting components and objects, and upwards along the longitudinal direction of the base 2 on both sides of the base 2. The first side cover (3) is installed in the upper cover (4), the upper cover (4) is installed to be formed at one end to be spaced apart at regular intervals from the upper end of both sides of the first side cover (3) and the upper cover (4) The second side cover 5 which is coupled to the first side cover 3 at the same time, the guide rails 6 installed on the upper surface of the base 2 along the longitudinal direction of the base, and stoppers provided at both ends of the base 2. (7), a roller (8) provided on both sides of the stopper (7), a slider that is interlocked with the seal belt (9) and the seal belt (9) caught on the roller (8) and moves along the guide rail (6). 10 and the linear motor 20.

베이스(2)는 바닥에 안정적으로 고정된다. 측면커버(3)는 베이스의 양측에 길이방향으로 상향으로 설치된다. 상부커버(4)는 양측 제1측면커버(3)의 상단과 일영역이 이격되게 위치하여 후술할 슬라이더(10)의 제2받침프레임(14)이 물건을 안착시켜 이동할 수 있는 공간을 형성한다. 한편, 제2측면커버(5)는 베이스의 양단에 설치한다. 제2측면커버(5)의 상부에 상부커버(4)가 결합된다. 제2측면커버(5)의 좌우측에 제1측면커버(3)가 결합되다. 상부커버(4)는 베이스(2)와 이격되게 위치하며 제1측면커버(3)와 함께 내부공간을 형성한다.The base 2 is stably fixed to the bottom. The side cover 3 is installed upward in the longitudinal direction on both sides of the base. The upper cover 4 is spaced apart from the upper end and one region of the first side cover 3 on both sides to form a space in which the second support frame 14 of the slider 10, which will be described later, seats and moves an object. . On the other hand, the second side cover 5 is provided at both ends of the base. The upper cover 4 is coupled to the upper portion of the second side cover 5. The first side cover 3 is coupled to the left and right sides of the second side cover 5. The upper cover 4 is spaced apart from the base 2 and forms an inner space together with the first side cover 3.

가이드레일(6)은 베이스(2)의 상면 양측으로 베이스(2)의 길이방향을 따라 설치된다. 가이드레일(6)을 따라서 슬라이더(10)가 직선왕복운동한다. The guide rails 6 are provided along the longitudinal direction of the base 2 on both sides of the upper surface of the base 2. The slider 10 linearly reciprocates along the guide rail 6.

스토퍼(7)는 베이스(2)의 양측에 설치되어 슬라이더의 이동을 제한한다. 슬라이더(10)의 충격을 완화할 수 있는 탄성부재(7a)가 리니어 스테이지 로봇(1)의 내부공간을 향하여 스토퍼(7)의 중앙에 마련되어 슬라이더(10)가 스토퍼(7)와의 접촉시 충격을 완화시켜 준다. 스토퍼(7)의 양측에 롤러(8)가 구비된 롤러블럭(8a)이 마련된다.The stopper 7 is provided on both sides of the base 2 to limit the movement of the slider. An elastic member 7a capable of alleviating the impact of the slider 10 is provided in the center of the stopper 7 toward the inner space of the linear stage robot 1 so that the slider 10 is impacted upon contact with the stopper 7. It alleviates Roller blocks 8a provided with rollers 8 are provided on both sides of the stopper 7.

롤러(8)는 각각 스토퍼(7)의 양측에 마련된다. 롤러(8)는 롤러블럭에 회전가능하도록 설치된다. 씰 벨트(9)는 베이스(2)의 양측에 위치한 롤러(8)에 롤러(8)가 회전가능하도록 탄성력있게 설치된다. 씰 벨트(9)는 후술할 슬라이더의 제1받침프레임(13)과 제2받침프레임(14)사이에 개재되어 있고 체결구로 단단히 고정된다. 이에 따라 슬라이더(10)가 이동하면 씰 벨트(9)도 따라서 움직이고 롤러(8)도 회전하게 된다.The rollers 8 are provided on both sides of the stopper 7, respectively. The roller 8 is installed to be rotatable on the roller block. The seal belt 9 is elastically installed on the roller 8 located on both sides of the base 2 so that the roller 8 can rotate. The seal belt 9 is interposed between the first support frame 13 and the second support frame 14 of the slider, which will be described later, and is firmly fixed with fasteners. Accordingly, when the slider 10 moves, the seal belt 9 also moves along the roller 8.

슬라이더(10)는 중앙에 위치하는 몸체부(11), 몸체부의 저면 양측에 위치하는 가이드블럭(12), 몸체부(11)의 상면 양측에 일체로 형성된 제1받침프레임(13), 제1받침프레임(13)과 씰 벨트(9)를 고정시키며 탈부착가능한 제2받침프레임(14)으로 구성된다. 몸체부(11)의 양측에 중공부(15)가 형성된다.Slider 10 is the body portion 11 located in the center, the guide block 12 located on both sides of the bottom of the body portion, the first support frame 13, the first support frame 13 formed integrally on both sides of the upper surface of the body portion 11, the first The support frame 13 and the seal belt 9 is fixed and consists of a removable second support frame 14. Hollow portions 15 are formed on both sides of the body portion 11.

몸체부(11)는 슬라이더(10)의 중앙에 위치하고 저면에 가이드블럭(12)이 설치되고 상면에 일체로 제1받침프레임(13)이 마련된다. Body portion 11 is located in the center of the slider 10, the guide block 12 is installed on the bottom and the first supporting frame 13 is provided integrally on the upper surface.

가이드블럭(12)은 몸체부(11)의 저면 양측에 대향하며 위치한다. 가이드블럭(12)은 슬라이더(10)의 몸체부(11)로부터 돌출되어 가이드레일(6)에 감싸듯이 접촉하여 슬라이더(10)가 이동할 수 있도록 내측으로 절곡되어 있다. The guide block 12 is positioned to face both sides of the bottom of the body portion 11. The guide block 12 protrudes from the body portion 11 of the slider 10 and is bent inward so that the slider 10 can move in contact with the guide rail 6 so as to surround it.

제1받침프레임(13)은 몸체부(11)의 양측으로부터 상향으로 돌출되어 일체로 형성된다. 이 때 씰 벨트가 원활히 이동할 수 있도록 길이방향으로 몸체부(11)의 양측에 중공부(15)가 형성되고 중공부(15)로부터 상향으로 제1받침프레임이 마련된다. 제1받침프레임(13)은 몸체부(11)의 양측에 탈부착될 수 있음은 물론이다. 제1받침프레임(13)과 제2받침프레임의 사이에 씰 벨트(9)가 쓸려다니지 않게 이격되 게 결합된다. The first support frame 13 protrudes upward from both sides of the body portion 11 and is integrally formed. At this time, the hollow portion 15 is formed on both sides of the body portion 11 in the longitudinal direction so that the seal belt can move smoothly, and the first supporting frame is provided upward from the hollow portion 15. Of course, the first support frame 13 can be attached to both sides of the body portion (11). The seal belt 9 is coupled between the first support frame 13 and the second support frame so as not to be swept away from each other.

제2받침프레임(14)은 제1받침프레임(13)과 대응하며 씰 벨트의 두께보다 제1받침프레임과의 결합 폭이 두꺼워 간섭되지 않게 이격되게 설치된다. 슬라이더(10)가 이동시 씰 벨트(9)가 따라 이동할 수 있도록 제2받침프레임(14)은 체결구를 이용하여 씰 벨트(9)와 제1받침프레임(13)에 고정된다. 슬라이더(10)가 이동시 씰 벨트(9)가 동시에 연동하여 이동하므로 상부커버(4)와 측면커버(3) 사이의 공간이 씰 벨트(9)에 의해서 차폐된다. The second support frame 14 corresponds to the first support frame 13 and is installed to be spaced apart from each other because the coupling width with the first support frame is thicker than the thickness of the seal belt. When the slider 10 moves, the second support frame 14 is fixed to the seal belt 9 and the first support frame 13 using fasteners so that the seal belt 9 can move along. When the slider 10 moves, the seal belt 9 moves simultaneously with each other, so that the space between the upper cover 4 and the side cover 3 is shielded by the seal belt 9.

중공부(15)는 몸체부(11)의 양측에 길이방향으로 형성된다. 중공부(15)의 하측으로는 가이드블럭(12)이 위치하고 상측으로는 제1받침프레임(13)이 마련된다. 상측 씰 벨트(9)가 슬라이더(10)와 연동시 하측 씰 벨트(9)는 중공부(15)를 통과하게 된다. 중공부(15)에 의해서 씰 벨트(9)의 이탈이 방지된다.The hollow part 15 is formed in both directions of the body part 11 in the longitudinal direction. The guide block 12 is positioned below the hollow portion 15, and the first supporting frame 13 is provided above. When the upper seal belt 9 is interlocked with the slider 10, the lower seal belt 9 passes through the hollow part 15. The separation of the seal belt 9 is prevented by the hollow portion 15.

리니어 모터(20)는 영구자석(21)과 코일유니트로 구성된다. 영구자석(21)은 베이스(2)의 상면 중앙에 일정한 간격으로 이격되게 일렬로 설치된다. 코일유니트는 슬라이더의 몸체부(11) 저면 중앙에 마련된다. 코일유니트와 영구자석은 서로 마주보며 대응되게 위치한다. 코일유니트에 전기가 인가되면 영구자석과의 관계에서 힘이 작용이 발생하여 슬라이더(10)를 이동시킬 수 있다.The linear motor 20 is composed of a permanent magnet 21 and a coil unit. Permanent magnets 21 are installed in a line at regular intervals in the center of the upper surface of the base (2). The coil unit is provided at the center of the bottom of the body portion 11 of the slider. The coil unit and the permanent magnet face each other and are located correspondingly. When electricity is applied to the coil unit, a force may be generated in relation to the permanent magnet to move the slider 10.

지금부터는 상술한 리니어 스테이지 로봇의 작동에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.The operation of the above-described linear stage robot will now be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 리니어 스테이지 로봇의 작동상태를 도시한 작용상세도이다. 도면에 도시한 바와 같이, 작업대상물체는 리니어 스테이지 로봇(1)의 슬라이더(10), 더욱 구체적으로 슬라이더의 제2받침프레임(14)에 올려진다. 작업대상물체가 올려져 있는 슬라이더(10)는 이동시키고 싶은 위치로 리니어 모터로 빠르고 정확하게 이동된다. 5 is a detailed operation diagram showing an operating state of the linear stage robot according to the present invention. As shown in the figure, the workpiece is mounted on the slider 10 of the linear stage robot 1, more specifically, on the second support frame 14 of the slider. The slider 10 on which the workpiece is placed is quickly and accurately moved by a linear motor to a position to be moved.

슬라이더(10)가 이동할 때 제1받침프레임(13)과 제2받침프레임(14)에 개재되어 있는 씰 벨트(9)가 연동하여 이동한다. 이 경우 개재되어 있는 씰 벨트(9)의 반대측 씰 벨트(9)는 슬라이더(10)의 양측 길이방향의 중공부(15)를 원활하게 통과하게 된다. 이 때 중공부(15)는 씰 벨트(9)의 이탈을 방지한다. 또한, 씰 벨트(9)는 롤러(8)와 결합되어 있어서 씰 벨트(9)가 이동시 연동하여 롤러(8)가 회전한다. 이에 따라 상부커버(4)와 측면커버(3)의 사이에 씰 벨트(9)는 슬라이더(10)가 이동과 연동하여 자연스럽게 리니어 스테이지 로봇(1)의 내부를 차폐한다. When the slider 10 moves, the seal belt 9 interposed between the first support frame 13 and the second support frame 14 moves together. In this case, the seal belt 9 opposite to the seal belt 9 interposed smoothly passes through the hollow portions 15 in both longitudinal directions of the slider 10. At this time, the hollow portion 15 prevents the seal belt 9 from being separated. In addition, the seal belt 9 is coupled to the roller 8 so that the roller 8 rotates in conjunction with the seal belt 9 when it moves. Accordingly, the seal belt 9 between the upper cover 4 and the side cover 3 naturally shields the interior of the linear stage robot 1 in conjunction with the movement of the slider 10.

따라서 금속 또는 이물질 등이 씰 벨트에 의해서 차단되어 슬라이더(10)의 이동이 수월하여 달성하려는 작업이 효과적으로 이루어 질 수 있다.Therefore, the metal or the foreign matter is blocked by the seal belt to facilitate the movement of the slider 10 can be effectively performed.

도 6은 리니어 스테이지 로봇에 대한 제2실시예의 내부측면도를 나타낸 것이다. 제2실시예는 제1실시예와 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하고 동일한 작용을 하는 것으로 정의한다. 도면에 도시한 바와 같이, 슬라이더(30)는 몸체부(31), 몸체부의 저면에 위치하여 가이드레일을 따라 이동하는 가이드블럭(32), 몸체부의 상면에는 경사면을 형성하며 작업대상물체를 안착시키는 받침프레임(33)으로 구성된다. 씰 벨트(35)를 절단하여 일측의 씰 벨트(35)를 받침프레임(33)의 측면에 결합시키고 타측의 씰 벨트(35)는 일측의 씰 벨트(35)와 균형을 잡을 수 있도록 동일한 위치에 결합시킨다. 따라서, 슬라이더의 제1받침프레임 양단 면에 씰 벨트가 결합되어 연동하게 된다. Figure 6 shows an internal side view of a second embodiment of a linear stage robot. The second embodiment is defined to use the same reference numerals for the components having the same configuration as the first embodiment and to perform the same functions. As shown in the figure, the slider 30 has a body 31, a guide block 32 which is located on the bottom of the body portion to move along the guide rail, and forms an inclined surface on the top of the body portion to seat the object It is composed of a support frame (33). The seal belt 35 is cut to couple the seal belt 35 on one side to the side of the support frame 33, and the seal belt 35 on the other side is positioned at the same position so as to be balanced with the seal belt 35 on the one side. Combine. Therefore, the seal belt is coupled to both ends of the first support frame of the slider to be interlocked.

도 7은 리니어 스테이지 로봇의 슬라이더에 씰 벨트가 통과하는 제3실시예이다. 제 3실시예는 제1실시예와 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하고 동일한 작용을 하는 것으로 정의한다. 도면에 도시한 바와 같이, 제1받침프레임(13)은 몸체부(11)의 양측으로부터 상향으로 돌출되어 일체로 형성된다. 이 때 씰 벨트가 원활히 이동할 수 있도록 길이방향으로 홈(16)이 형성되고 홈(16)로부터 상향으로 제1받침프레임이 마련된다. 씰 벨트는 제2받침프레임(14)과 제1받침프레임(13)의 사이에 간섭되지 않게 이격되게 결합된다. 작동을 살펴보면, 결합된 씰 벨트(9)가 슬라이더(10)와 연동하는 경우 홈(16)을 따라서 씰 벨트(9)가 이동하게 된다.7 is a third embodiment in which a seal belt passes through a slider of a linear stage robot. The third embodiment is defined to use the same reference numerals for the components having the same configuration as the first embodiment and to perform the same functions. As shown in the figure, the first support frame 13 protrudes upward from both sides of the body portion 11 is formed integrally. At this time, the groove 16 is formed in the longitudinal direction so that the seal belt can move smoothly, and the first supporting frame is provided upward from the groove 16. The seal belt is coupled to be spaced apart without interference between the second support frame 14 and the first support frame 13. Looking at the operation, when the combined seal belt 9 is interlocked with the slider 10, the seal belt 9 moves along the groove 16.

본 발명의 권리범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 변형할 수 있는 범위까지 본 발명의 청구 범위 내에 있다는 것이 이해될 것이다The scope of the present invention is not limited to the above embodiments, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. It will be understood that those of ordinary skill in the art to which the invention pertains may fall within the scope of the claims without departing from the gist of the invention as claimed in the claims.

상기한 바와 같이 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 종래의 리니어 스테이지 로봇에 씰 벨트를 상부커버와 측면커버의 사이 공간에 설치하여 이물질들이 내측에 유입되는 것을 방지하여 슬라이더의 이동을 좀 더 원활히 제공하는 효과가 있다.As described above, the present invention is to solve such a conventional problem by installing a seal belt in a space between the upper cover and the side cover in a conventional linear stage robot to prevent foreign substances from entering the inside to move the slider. It has the effect of providing more smoothly.

또한, 씰 벨트를 상부커버와 측면커버 사이에 설치하여 이물질이 내측에 유입되는 것을 방지하여 작업환경이 좋지 못한 곳 뿐만 아니라 리니어 스테이지 로봇 내부에 진공을 형성하기 위한 썩션을 실시하면 청정도가 유지되어 클린룸내에서도 여유로운 작업을 할 수 있어 장비교체와 비용문제에서 유리한 효과가 있다.In addition, the seal belt is installed between the top cover and the side cover to prevent foreign matter from entering the inside, so that not only the working environment is bad, but also the slack to form a vacuum inside the linear stage robot maintains cleanliness. It can work comfortably in the room, which is advantageous in terms of equipment replacement and cost.

Claims (5)

측면커버가 구비된 길이방향의 베이스, 상기 베이스에 대응되도록 이격되게 위치하고 상기 측면커버의 상단과 일영역이 형성되도록 이격되게 위치하는 상부커버, 상기 베이스의 길이 방향에 따라 설치되는 가이드레일을 포함하고 있는 리니어 스테이지 로봇에 있어서,A base having a side cover provided in a longitudinal direction, a top cover spaced apart to correspond to the base, and an upper cover spaced to form a region with an upper end of the side cover, and a guide rail installed along the longitudinal direction of the base; In a linear stage robot, 상기 가이드레일을 따라 왕복운동하는 슬라이더와;A slider reciprocating along the guide rail; 상기 베이스의 양단에 설치되어 상기 슬라이더의 이동을 제한하는 스토퍼와;Stoppers provided at both ends of the base to limit movement of the slider; 상기 스토퍼측에 설치된 롤러와; A roller provided on the stopper side; 상기 롤러에 탄성력있게 설치되고 상기 측면커버와 상기 상부커버의 사이 일영역에 위치하며 상기 슬라이더와 연동하여 이물질유입을 차단하고 내부를 차폐하는 씰 벨트;A seal belt installed elastically on the roller and positioned in one region between the side cover and the upper cover and interlocking with the slider to block foreign substances and shield the inside; 베이스의 상면에 일정한 간격으로 이격되게 설치되는 영구자석과 상기 슬라이더의 하단에 배치되어 상기 영구자석과 대응되게 설치되는 코일유니트로 구성되는 리니어 모터; A linear motor comprising a permanent magnet disposed on the upper surface of the base at regular intervals and a coil unit disposed at a lower end of the slider to correspond to the permanent magnet; 상기 슬라이더는 몸체부, 상기 몸체부의 저면 양측에 상기 가이드레일을 따라 이동가능하도록 설치되는 가이드블럭, 상기 몸체부와 일체로 형성된 제1받침프레임, 상기 제1받침프레임에 탈부착가능하고 상기 일영역으로부터 돌출되어 물체가 안착되는 제2받침프레임을 포함하며, 상기 씰 벨트는 상기 슬라이더의 제1받침프레임과 제2받침프레임 사이에 면접촉이 방지되도록 이격되게 개재되어 연동되는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지 로봇.The slider may include a body portion, a guide block installed on both sides of the bottom of the body portion to move along the guide rail, a first support frame integrally formed with the body portion, and a detachable portion of the first support frame. And a second support frame on which the object rests, and wherein the seal belt is interposed so as to be spaced apart from each other to prevent surface contact between the first support frame and the second support frame of the slider. . 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체부의 양측에 하측 씰 벨트가 이동시 씰 벨트가 통과될 수 있는 중공부를 형성하는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지 로봇.Linear stage robot, characterized in that to form a hollow portion through which the seal belt can pass when the lower seal belt is moved on both sides of the body portion. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1받침프레임 양단의 면에 상기 씰 벨트가 결합되어 연동되는 것을 특징으로 하는 리니어 스테이지 로봇.The linear stage robot, characterized in that the seal belt is coupled to the surfaces of both ends of the first support frame.
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