KR100801654B1 - Substrate transport apparatus - Google Patents

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KR100801654B1
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박근영
이세원
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에서 기판 이송에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 기판 이송 장치는 기판이 놓여지는 핸드, 핸드가 고정되는 고정 헤드를 포함하되, 핸드는 상기 고정 헤드에 자력에 의해 고정되도록 마그네틱을 갖는다. 여기서, 핸드는 고정 헤드에 후방으로 이동 가능하게 설치되며, 핸드는 핸드의 전방으로부터 마그네틱의 자력보다 큰 충격이 가해지면 그 충격에 의해 상기 핸드가 후방으로 이동되는 구조로 이루어진다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus used for substrate transfer in a semiconductor manufacturing process. The substrate transfer apparatus of the present invention includes a hand on which a substrate is placed and a fixed head to which the hand is fixed, wherein the hand has a magnetic to be fixed by the magnetic force to the fixed head. Here, the hand is installed to be movable backward to the fixed head, the hand is made of a structure in which the hand is moved to the rear by the impact when the impact is greater than the magnetic force of the magnetic from the front of the hand.

기판, 충돌, 감지, 자력 Board, Collision, Sensing, Magnetic

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS} Substrate transfer device {SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 평면도이다.2 is a schematic plan view of a substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 측 단면도이다.3 is a schematic side cross-sectional view of a substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4는 전방 충돌로 인해 핸드가 후방으로 이동된 상태를 보여주는 도면이다. 4 is a view showing a state in which the hand is moved backward due to the front collision.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110 : 본체110: body

120 : 메인 아암부 120: main arm part

130 : 핸드부130: hand part

132 : 고정 헤드132: fixed head

140 : 핸드140: Hand

150 : 충돌 감지 부재150: collision detection member

본 발명은 반도체 제조 공정에서 기판 이송에 사용되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus used for substrate transfer in a semiconductor manufacturing process.

일반적으로, 기판은 세정, 침적, 증착, 에칭 등의 공정 단계를 거치는 과정에서 각 공정의 실행위치로 이송되어야 하며, 이를 가능케 하는 것이 기판 이송 장치이다. 기판 이송 장치는 미리 정해진 프로그램에 따라 동작되어 각 공정의 실행위치로 기판을 이송하는 자동화 설비이다.In general, the substrate should be transferred to the execution position of each process in the process of cleaning, depositing, depositing, etching, etc., and it is the substrate transfer apparatus that enables this. The substrate transfer apparatus is an automated facility that is operated according to a predetermined program and transfers the substrate to the execution position of each process.

일반적으로, 기판 이송 장치는 기판이 놓여지는 핸드를 갖는데, 이 핸드에는 기판 이송시에 기판 이탈을 방지하기 위한 지지돌기들이 형성되어 있다. 이러한 기판 이송 장치는 기판을 핸드 상에 얹혀진 상태로 이송하게 된다. In general, the substrate transfer apparatus has a hand on which the substrate is placed, which is provided with support protrusions for preventing the substrate from being separated during substrate transfer. Such a substrate transfer device transfers a substrate on a hand.

그러나, 종래의 기판 이송 장치는 장비의 오동작 또는 오조작으로 챔버의 벽면 또는 다른 구조물과 핸드가 서로 부딪히는 충돌 사고가 빈번하게 발생되고 있으며, 특히 외부에서 가해지는 충격에 대해 완충 작용을 하지 못하는 구조로 되어 있어 외부충격이 그대로 핸드와 핸드가 연결되는 아암으로 전달되면서 변형, 파손 및 기판의 손상을 유발시키게 된다. However, the conventional substrate transfer apparatus frequently causes collision accidents in which the wall of the chamber or another structure and the hand collide with each other due to malfunction or misoperation of the equipment, and in particular, a structure that does not buffer against external impacts. As the external shock is transmitted to the arm connecting the hand as it is, it causes deformation, breakage, and damage to the board.

하지만, 종래의 기판 이송 장치는 핸드의 충돌이 발생되었을 때 이를 감지할 수 있는 어떠한 구성도 마련되어 있지 않기 때문에 핸드의 충돌이 발생되더라도 이를 확인할 수 있는 방법이 없었다.However, since the conventional substrate transfer apparatus does not have any configuration for detecting a collision of the hand, there is no method for checking the collision even if the collision of the hand occurs.

본 발명의 목적은 핸드에 가해지는 충격을 감지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다. 본 발명의 목적은 외부로부터 가해지는 충격을 완충시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of sensing a shock applied to a hand. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of buffering an impact from the outside.

상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 기판 이송 장치는 기판이 놓여지는 핸드; 상기 핸드가 고정되는 고정 헤드를 포함하되, 상기 핸드는 상기 고정 헤드에 자력에 의해 고정되도록 마그네틱을 갖는다.In order to achieve the above technical problem, the substrate transfer device of the present invention is a hand on which a substrate is placed; And a fixed head to which the hand is fixed, wherein the hand has a magnetic to be fixed by magnetic force to the fixed head.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 핸드는 상기 고정 헤드에 후방으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 핸드는 상기 핸드의 전방으로부터 상기 마그네틱의 자력보다 큰 충격이 가해지면 그 충격에 의해 상기 핸드가 후방으로 이동된다.According to an embodiment of the present invention, the hand is installed to be movable rearward to the fixed head, and the hand is moved rearward by the impact when an impact greater than the magnetic force of the magnetic is applied from the front of the hand. Is moved.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 핸드가 후방으로 이동되는 것을 감지하는 감지부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate transfer apparatus further includes a sensing unit for sensing that the hand is moved backward.

상기 기술적 과제들을 이루기 위하여 본 발명의 기판 이송 장치는 구동수단이 구비된 본체에 설치되는 아암부; 상기 아암부의 선단에 연결되는 고정헤드; 상기 고정헤드에 후방 이동이 가능하게 끼워지는 슬라이드부를 갖는 핸드를 포함하되; 상기 핸드의 슬라이드부는 마그네틱을 갖으며, 상기 고정헤드는 상기 마그네틱이 자력에 의해 고정되는 고정블록을 갖는다.In order to achieve the above technical problem, the substrate transfer apparatus of the present invention includes an arm unit installed in a main body provided with a driving means; A fixed head connected to the tip of the arm portion; A hand having a slide portion fitted to the fixed head to enable rearward movement; The slide portion of the hand has a magnetic, and the fixed head has a fixed block to which the magnetic is fixed by magnetic force.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 고정헤드는 상기 슬라이드부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 더 포함한다.According to an embodiment of the invention, the fixing head further comprises a guide rail for guiding the movement of the slide portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 핸드의 슬라이드부 가 상기 고정블록으로부터 이격되는 것을 감지하는 감지부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate transfer apparatus further includes a sensing unit for detecting that the slide unit of the hand is spaced apart from the fixed block.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 감지부로부터 신호를 전달받아 그 신호에 따라 상기 아암부의 구동을 정지시키는 신호를 출력하는 제어부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate transfer apparatus further includes a controller for receiving a signal from the sensing unit and outputting a signal for stopping driving of the arm unit according to the signal.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed subject matter is thorough and complete, and that the spirit of the present invention to those skilled in the art will fully convey. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

본 실시예에서는 1개의 핸드를 갖는 기판 이송 장치에 대해 설명하고 있으나, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 상기 기판 이송 장치는 2개 또는 그 이상의 핸드를 구비할 수 있다. In the present embodiment, a substrate transfer apparatus having one hand is described, but this is only one embodiment, and the substrate transfer apparatus may include two or more hands.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 아암 구동부(미도시됨)가 설치된 본체(110), 본체(110)와 연결되어 수평면상에서 선회하는 제1아암(122)과 제2아암(124)을 갖는 메인 아암부(120), 제2아암(124)의 선단에 설치되는 핸드부(130)를 포함한다. 예컨대, 본체(110)는 회전 및 높낮이 조절이 가능하다. 1 to 4, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention includes a main body 110 provided with an arm driving unit (not shown) and a first arm 122 connected to the main body 110 and pivoting on a horizontal plane. ) And a main arm portion 120 having a second arm 124, and a hand portion 130 installed at the tip of the second arm 124. For example, the body 110 can be rotated and adjusted height.

상기 핸드부(130)는 제2아암(124)의 선단에 선회 가능하게 연결되는 고정 헤드(132)와, 고정 헤드(132)에 전후 이동 가능하게 연결되되, 평상시에는 자력에 의 해 고정 헤드(132)에 고정되는 핸드(140) 그리고, 핸드(140)가 전방에서 충돌되면 즉시 동작이 중단되도록 하는 충돌 감지 부재(150)를 포함한다.The hand portion 130 is connected to the fixed head 132 to be pivotally connected to the tip of the second arm 124, and is connected to the fixed head 132 so as to be movable back and forth, usually by a magnetic force fixed head ( The hand 140 is fixed to the 132 and the collision detection member 150 to stop the operation immediately when the hand 140 collides from the front.

고정 헤드(132)는 평평한 플레이트(134)를 갖는다. 플레이트(134)는 제2아암(124)의 선단에 선회 가능하게 설치되거나 또는 진선 이동 가능하게 설치될 수 있다. 고정 헤드(132)는 플레이트(134)의 상부에 길이방향으로 설치되는 가이드 레일(136)과, 플레이트(134) 선단에 설치되는 고정 블록(138)을 갖는다. 고정 블록(138)은 핸드(140)의 마그네틱이 자력으로 고정되도록 전체가 금속 자성체로 이루어지거나 또는 일부분만 금속 자성체로 이루어질 수 있다. 고정 블록(138)에는 2개의 삽입구(138a)가 형성되어 있다. The fixed head 132 has a flat plate 134. The plate 134 may be pivotally installed at the tip of the second arm 124 or may be installed to move forward. The fixed head 132 has a guide rail 136 installed in the longitudinal direction on the upper portion of the plate 134 and a fixing block 138 installed at the tip of the plate 134. The fixing block 138 may be made entirely of a metal magnetic body or only a portion of the magnetic metal so that the magnetic of the hand 140 is fixed by magnetic force. Two insertion holes 138a are formed in the fixing block 138.

핸드(140)는 기판(w)이 놓여지는 포켓부(142)와, 고정 헤드(132)에 자력에 의해 고정되되, 외부(전방)로부터 충격이 가해지는 경우에만 고정 헤드(132)의 후방 이동되도록 구성되어진 슬라이드부(146)로 이루어진다. 포켓부(142)는 "⊂" 형태를 갖으며, 포켓부(142)의 가장자리 네곳에는 기판 이탈을 방지하는 4개의 지지턱(144)이 형성된다. 포켓부(142)의 형상은 "⊂" 형태에 한정되는 것은 아니며 다양한 형태(블레이드 타입)로 변경 가능하다. 슬라이드부(146)는 고정 블록(138)의 삽입구(138a)에 삽입되는 2개의 지지바(147)와, 지지바(147)의 후단에 설치되는 이동 블록(148)을 갖는다. 이동 블록(148)은 고정 블록(138)과 마주하는 일면에 설치되는 마그네틱(149)을 포함하며, 핸드(140)의 슬라이드부(146)는 마그네틱(149)의 자력에 의해 고정 헤드(12)의 고정 블록(138)에 고정된다. The hand 140 is fixed by the magnetic force to the pocket portion 142 on which the substrate w is placed and the fixing head 132, and moves backward of the fixing head 132 only when an impact is applied from the outside (front). The slide unit 146 is configured to be. The pocket portion 142 has a “⊂” shape, and four support jaws 144 are formed at four edges of the pocket portion 142 to prevent separation of the substrate. The shape of the pocket part 142 is not limited to the "⊂" shape, and can be changed into various shapes (blade type). The slide portion 146 has two support bars 147 inserted into the insertion hole 138a of the fixing block 138 and a moving block 148 provided at the rear end of the support bar 147. The moving block 148 includes a magnetic 149 installed on one surface facing the fixed block 138, and the slide portion 146 of the hand 140 is fixed to the fixed head 12 by the magnetic force of the magnetic 149. Is fixed to the fixing block 138.

한편, 충돌 감지 부재(150)는 핸드(140)가 후방으로 이동되는 것을 감지하는 감지부(152)와, 감지부(152)로부터 감지 신호를 전달받아 그 신호에 따라 기판 이송 장치의 구동을 정지시키는 신호를 출력하는 제어부(154)를 포함한다. 감지부(152)는 고정 헤드(132)의 고정 블록(138)에 설치되는 것이 바람직하다. 감지부(152)는 마그네틱(149)이 설치된 이동 블록(148)의 위치를 감지하기 위한 것으로 근접센서, 광센서, 스위치 부재 등이 다양한 감지 수단이 사용될 수 있다. On the other hand, the collision detection member 150 receives the detection signal from the detection unit 152 and the detection unit 152 that detects the movement of the hand 140 backward, and stops driving the substrate transfer device according to the signal. And a controller 154 for outputting a signal. The sensing unit 152 is preferably installed in the fixed block 138 of the fixed head 132. The sensing unit 152 detects the position of the moving block 148 on which the magnetic 149 is installed. Various sensing means may be used, such as a proximity sensor, an optical sensor, a switch member, and the like.

상술한 구성으로 이루어지는 기판 이송 장치(100)는 마그네틱(149)의 자력에 의해 이동 블록(148)이 고정 헤드(132)의 고정 블록(138)에 고정된 상태(핸드가 전방으로 이동된 상태)에서 기판 이송을 위한 동작이 이루어진다. 그리고, 기판 이송을 하는 과정에서 장비의 오동작(또는 오조작)으로 챔버(도 4에 도시됨,10)의 벽면(또는 다른 구조물)과 핸드부(130)의 핸드(140)가 부딪히는 충돌 사고가 발생되면(핸드부의 전방으로부터 충격이 가해지면), 도 4에 도시된 바와 같이 핸드(140)가 마그네틱(149)과 고정 블록(138) 사이의 자력으로부터 벗어나면서(이탈되면서) 후방으로 이동된다. 즉, 핸드(140)는 마그네틱(149)의 자력으로 고정 헤드(132)에 고정되어 있다가 자력보다 큰 힘이 외부로부터 가해지면 후방으로 이동될 수 있는 것이다. 감지부(152)는 후방으로 이동된 핸드(140)를 감지하여 그 감지신호를 제어부(154)로 제공하며, 제어부(154)에서는 기판 이송 장치(100)의 구동을 정지시키는 신호를 출력하게 된다. 이처럼, 본 발명은 외부 충격이 핸드(140)로 전달되면서 발생될 수 있는 변형 및 파손 등을 방지할 수 있으며, 특히 신속하게 충돌 사고를 감지하여 더 이상의 공정 사고를 방지하게 된다. In the substrate transfer apparatus 100 having the above-described configuration, the moving block 148 is fixed to the fixing block 138 of the fixing head 132 by the magnetic force of the magnetic 149 (the state in which the hand is moved forward). In the operation for the substrate transfer is made. In addition, a collision accident in which the wall surface (or other structure) of the chamber (shown in FIG. 10) and the hand 140 of the hand unit 130 collides with a malfunction (or misoperation) of the equipment in the process of transferring the substrate. When generated (impact from the front of the hand portion), the hand 140 is moved backwards (deviating) from the magnetic force between the magnetic 149 and the fixing block 138 as shown in FIG. That is, the hand 140 is fixed to the fixed head 132 by the magnetic force of the magnetic 149, but when a force greater than the magnetic force is applied from the outside can be moved to the rear. The sensing unit 152 detects the hand 140 moved backward and provides the detection signal to the control unit 154, and the control unit 154 outputs a signal for stopping the driving of the substrate transfer device 100. . As such, the present invention can prevent deformation and damage that may occur while the external shock is delivered to the hand 140, and in particular, detects a crash accident quickly and prevents further process accidents.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 기판 이송 장치는 다양하게 변형 될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.On the other hand, the present invention can be variously modified and take a variety of forms the substrate transfer device made of the above configuration. It is to be understood that the invention is not to be limited to the specific forms referred to in the foregoing description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions that fall within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It must be understood.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely described, for example, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 갖는다. As described above, the present invention has the following effects.

첫째, 핸드에 가해지는 충격을 감지할 수 있다. 둘째, 외부로부터 가해지는 충격에 대해 핸드부를 후방으로 이동시킬 수 있기 때문에 핸드부의 손상을 방지할 수 있다. First, the impact on the hand can be detected. Second, since the hand part can be moved rearward against the impact from the outside, damage to the hand part can be prevented.

Claims (7)

기판을 이송시키는데 사용되는 기판 이송 장치에 있어서: In a substrate transfer apparatus used to transfer a substrate: 기판이 놓여지는 핸드;A hand on which the substrate is placed; 상기 핸드가 고정되는 고정 헤드를 포함하되,Including a fixed head to which the hand is fixed, 상기 핸드는 상기 고정 헤드에 자력에 의해 고정되도록 마그네틱을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.And said hand has a magnetic to be fixed to said fixed head by magnetic force. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 핸드는 상기 고정 헤드에 후방으로 이동 가능하게 설치되며,The hand is installed to be movable rearward to the fixed head, 상기 핸드는 상기 핸드의 전방으로부터 상기 마그네틱의 자력보다 큰 충격이 가해지면 그 충격에 의해 상기 핸드가 후방으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The hand is a substrate transfer device, characterized in that the hand is moved backward by the impact when an impact greater than the magnetic force of the magnetic is applied from the front of the hand. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 기판 이송 장치는The substrate transfer device 상기 핸드가 후방으로 이동되는 것을 감지하는 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.And a sensing unit for sensing that the hand is moved backward. 기판을 이송시키는데 사용되는 기판 이송 장치에 있어서: In a substrate transfer apparatus used to transfer a substrate: 구동수단이 구비된 본체에 설치되는 아암부;An arm part installed on a main body provided with a driving means; 상기 아암부의 선단에 연결되는 고정헤드;A fixed head connected to the tip of the arm portion; 상기 고정헤드에 후방 이동이 가능하게 끼워지는 슬라이드부를 갖는 핸드를 포함하되; A hand having a slide portion fitted to the fixed head to enable rearward movement; 상기 핸드의 슬라이드부는 마그네틱을 갖으며, The slide portion of the hand has a magnetic, 상기 고정헤드는 상기 마그네틱의 자력에 의해 고정되는 고정블록을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The fixed head has a fixed block which is fixed by the magnetic force of the magnetic substrate transfer apparatus. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 고정헤드는 상기 슬라이드부의 이동을 가이드하는 가이드레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The fixed head further comprises a guide rail for guiding the movement of the slide portion. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 기판 이송 장치는The substrate transfer device 상기 핸드의 슬라이드부가 상기 고정블록으로부터 이격되는 것을 감지하는 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.And a sensing unit for sensing that the slide unit of the hand is spaced apart from the fixed block. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 기판 이송 장치는 상기 감지부로부터 신호를 전달받아 그 신호에 따라 상기 아암부의 구동을 정지시키는 신호를 출력하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The substrate transfer apparatus further includes a control unit for receiving a signal from the sensing unit and outputting a signal for stopping driving of the arm unit according to the signal.
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