KR100800523B1 - 플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝방법 - Google Patents

플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝방법 Download PDF

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Abstract

플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치는 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레에 각각 자석이 부착된 홀더(holder), 홀더(holder)에 부착되며, 제 2 둘레에 대응되는 위치에 홀더의 자석과 반대 극이 부착된 섀도우 마스크(shadow mask), 섀도우 마스크(shadow mask)와 소정의 간격을 갖고 위치하는 플렉시블 기판, 및 플렉시블 기판과 소정의 간격을 갖고 위치하며, 제 2 둘레에 대응되는 위치에 섀도우 마스크(shadow mask)의 자석과 동일한 극이 부착되고, 제 1 둘레에 대응되는 위치에 홀더(holder)의 자석과 반대 극이 부착된 홀더(holder) 덮개를 포함할 수 있다.

Description

플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝 방법{Masking Apparatus for Flexible Display and Patterning Method Using the Same}
도 1은 종래의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 종래의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 다른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4a는 도 3의 홀더 덮개의 평면도이다.
도 4b는 도 3의 섀도우 마스크의 평면도이다.
도 4c는 도 3의 홀더의 평면도이다.
도 5a는 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치가 장착되는 과정을 도시하는 개략도이다.
도 5b는 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치가 장착 완료된 것을 도시하는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
310: 홀더 320: 섀도우 마스크
330: 플렉시블 기판 340: 홀더(holder) 덮개
본 발명은 플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝 방법에 관한 것이다.
플렉시블 표시소자(Flexible Display)는 재료가 유연하여 접거나 말을 수 있는 디스플레이 장치를 말한다. TFT(thin film transistor), LCD(liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Diode)와 전기 영동(electrophoretic), LITI(Laser Induced Thermal Image) 기술 등이 이용되고 있다.
TFT-LCD나 PDP의 뒤를 이어 새롭게 연구되는 유기 EL은 정도의 차이는 있으나 평판 디스플레이의 대표적인 특성인 경박 탄소의 조건을 충족하고 있으며, 화질도 업계의 지속적인 기술개발 노력에 힘입어 CRT(cathode ray tube)에 견줄 수 있을 정도로 빠르게 개선되고 있다. 저렴하고 모든 조건을 만족시키는 매체의 새로운 개념은 바로 휘거나 접을 수 있는 플렉시블 표시소자(Flexible Display)이다. 디스플레이 분야에서 TFT-LCD 나 PDP, 유기 EL의 뒤를 이어 새로운 패러다임으로 거론되고 있다.
도 1은 종래의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법을 설명 하기 위한 도면이다.
도 1a는 기판 홀더의 평면도를 도시하고, 도 1b는 기판의 이동단계를 도시하고, 도 1c는 기판의 합착단계를 도시하고, 도 1d는 기판의 증착단계를 도시하고, 도 1e는 기판의 탈착단계를 도시한다.
도 1a, 도 1b, 도 1c, 도 1d, 및 도 1e에 도시된 바와 같이, 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법에 있어서, 기판 이동 및 합착 단계에서 홀더(110) 및 기판(130)에 섀도우 마스크(120)를 물리적으로 밀착하고, 기판 증착 단계에서 소정의 증착원(140)을 이용하여 플렉시블 기판(130)을 증착한다. 기판 탈착 단계에서 증착 후 홀더(110), 플렉시블 기판(130), 및 섀도우 마스크(120)를 탈착한다.
도 2는 종래의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 다른 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2a는 자석이 부착된 기판 홀더의 평면도를 도시하고, 도 2b는 기판의 이동단계를 도시하고, 도 2c는 기판의 합착단계를 도시하고, 도 2d는 기판의 증착단계를 도시하고, 도 2e는 기판의 탈착단계를 도시한다.
도 2a, 도 2b, 도 2c, 도 2d, 및 도 2e에 도시된 바와 같이, 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법에 있어서, 기판 이동 및 합착 단계에서 홀더(210) 및 기판(230)에 섀도우 마스크(220)를 자석(250)을 이용하여 밀착하고, 기판 증착 단계에서 소정의 증착원(240)을 이용하여 플렉시블 기판(230)을 증착한다. 기판 탈착 단계에서 증착 후 홀더(210), 플렉시블 기판(230), 및 섀도우 마스 크(220)를 탈착한다.
종래의 플렉시블 표시소자(Flexible display) 제작은 섀도우 마스크를 통해 패턴을 정의하는 것이 일반적인 방법이다. 도 1 및 도 2에서 볼 수 있듯이, 종래의 방법에서 패턴정의는 섀도우 마스크와 기판 사이의 물리적인 합/탈착 또는 자석의 인력만을 이용하여 기판과의 밀착성을 증가시킨 후 패턴을 형성하는 방법이었다. 그러나 이러한 종래의 방법은 기판과의 밀착성만을 최대한 증가시키기 때문에 이에 따른 기판과 섀도우 마스크의 합/탈착시 발생하는 스크래치(scratch)를 피할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명은 자석의 척력을 이용하여, 즉 홀더 덮개와 섀도우 마스크에 동일 자석극 부착함으로써, 기판과 섀도우 마스크 사이에 소정의 갭을 유지하면서 제작함으로써, 기판에 스크래치를 방지할 수 있고 또한, 제조 공정 시간을 줄일 수 있는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 섀도우 마스크를 통한 모든 디바이스 제작시 적용할 수 있는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치 및 그를 이용한 패터닝 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치는 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 상기 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레 에 각각 자석이 부착된 홀더(holder), 상기 홀더(holder)에 부착되며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더의 자석과 반대 극이 부착된 섀도우 마스크(shadow mask), 상기 섀도우 마스크(shadow mask)와 소정의 간격을 갖고 위치하는 플렉시블 기판, 및 상기 플렉시블 기판과 소정의 간격을 갖고 위치하며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)의 자석과 동일한 극이 부착되고, 상기 제 1 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더(holder)의 자석과 반대 극이 부착된 홀더(holder) 덮개를 포함할 수 있다.
상기 소정의 간격은 1 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다.
상기 홀더(holder)의 외곽 둘레와 홀더(holder) 덮개의 외곽 둘레는 서로 부착될 수 있다.
상기 제 1 둘레는 최외곽 둘레일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법은 상기 홀더(holder)에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 부착하고, 상기 섀도우 마스크(shadow mask) 위에 상기 플렉시블 기판을 위치시키며, 상기 플렉시블 기판 위에 상기 홀더(holder) 덮개로 덮는 기판 이동 단계, 소정의 증착원을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 증착하는 기판 증착 단계, 및 상기 증착 후 상기 홀더(holder) 덮개, 상기 플렉시블 기판, 및 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 탈착하는 기판 탈착 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 표시소자 마스킹 장치는 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 상기 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레에 각각 자석이 부착된 홀더(holder), 상기 홀더(holder)에 부착되며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더의 자석과 반대 극이 부착된 섀도우 마스크(shadow mask), 상기 섀도우 마스크(shadow mask)와 소정의 간격을 갖고 위치하는 기판, 및 상기 기판과 소정의 간격을 갖고 위치하며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)의 자석과 동일한 극이 부착되고, 상기 제 1 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더(holder)의 자석과 반대 극이 부착된 홀더(holder) 덮개를 포함할 수 있다.
상기 소정의 간격은 1 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다.
상기 홀더(holder)의 외곽 둘레와 홀더(holder) 덮개의 외곽 둘레는 서로 부착될 수 있다.
상기 제 1 둘레는 최외곽 둘레일 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법은 상기 홀더(holder)에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 부착하고, 상기 섀도우 마스크(shadow mask) 위에 상기 기판을 위치시키며, 상기 기판 위에 상기 홀더(holder) 덮개로 덮는 기판 이동 단계, 소정의 증착원을 이용하여 상기 기판을 증착하는 기판 증착 단계, 및 상기 증착 후 상기 홀더(holder) 덮개, 상기 기판, 및 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 탈착하는 기판 탈착 단계를 포함할 수 있다.
아래에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있음으로 여기에 서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다.
이하에서는 본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉시블 표시소자 마스킹 장치는 홀더(holder:310), 섀도우 마스크(shadow mask:320), 플렉시블 기판(330), 및 홀더(holder) 덮개(340)를 포함한다.
홀더(holder:310)는 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레에 각각 자석이 부착된다. 섀도우 마스크(shadow mask:320)는 홀더(holder:310)에 부착되며, 제 2 둘레에 대응되는 위치에 홀더(holder:310)의 자석과 반대 극이 부착된다. 따라서, 홀더(holder:310)와 섀도우 마스크(shadow mask:320)는 밀착된다
플렉시블 기판(330)은 섀도우 마스크(shadow mask:320)와 소정의 간격(g2)을 갖고 위치한다.
홀더(holder) 덮개(340)는 플렉시블 기판(330)과 소정의 간격(g1)을 갖고 위치하며, 홀더(holder:310)의 제 2 둘레에 대응되는 위치에 섀도우 마스크(shadow mask:320)의 자석과 동일한 극이 부착된다. 따라서, 섀도우 마스크(shadow mask:320)와 홀더(holder) 덮개(340) 사이에는 척력이 작용하게 되고, 그 사이의 플렉시블 기판(330)은 섀도우 마스크(shadow mask:320)와 소정의 간격(g2)을 갖고 위치하고, 홀더(holder) 덮개(340)와 소정의 간격(g1)을 갖고 위치한다. 한편, 홀더(holder) 덮개(340)는 홀더(holder:310)의 제 1 둘레에 대응되는 위치에 홀더(holder:310)의 자석과 반대 극이 부착되어, 홀더(holder) 덮개(340)와 홀더(holder:310)는 외곽 둘레에서 밀착된다.
소정의 간격(g1,g2)은 작을 수록 얼라인(align) 및 증착 후 퍼짐 효과 최소화에 좋음으로 1 ㎛ 내지 100 ㎛이 되도록 자석의 척력을 조절한다. 소정의 간격(g1,g2)을 유지함으로써, 플렉시블 기판(330)과 섀도우 마스크(shadow mask:320)의 합/탈착시 발생하는 스크래치(scratch)를 피할 수 있다.
홀더(holder:310)의 외곽 둘레와 홀더(holder) 덮개(340)의 외곽 둘레는 서로 반대 극으로 부착된다. 홀더(holder:310) 및 홀더(holder) 덮개(340)의 외곽 둘레인 제 1 둘레는 최외곽 둘레일 수 있다.
본 발명은 일 실시 예로 도 3에 도시된 플렉시블 기판(330)을 설명하나, 본 발명은 일반적인 기판에도 적용 가능하다.
도 4a는 도 3의 홀더 덮개(340)의 평면도이고, 동일 자석 극의 제 1 둘레 및 제2 둘레를 도시한다.
도 4b는 도 3의 섀도우 마스크(320)의 평면도이고, 제2 둘레에 홀더 덮개(340)와 동일 자석 극을 갖고 있다.
도 4c는 도 3의 홀더(310)의 평면도이고, 제1 둘레 및 제2 둘레에 홀더 덮개(340)와 반대극의 자석 극을 갖고 있다.
도 5a는 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치가 장착되는 과정을 도시하 는 개략도이다. 홀더(holder:310)에 섀도우 마스크(shadow mask:320), 플렉시블 기판(330)이 놓이고, 홀더(holder) 덮개(340)로 덮는다. 홀더와 홀더 덮개는 서로 반대극이므로 밀착되나, 홀더덮개와 섀도우 마스크는 동일 극이므로 척력이 작용하여, 기판과 홀더 덮개 및 기판과 섀도우 마스크 사이에 갭이 유지된다.
도 5b는 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치가 장착 완료된 것을 도시하는 개략도이다. 홀더의 깊이(D)는 소정의 간격(g1,g2), 섀도우 마스크(shadow mask:320)의 두께, 플렉시블 기판(330)의 두께의 합이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a는 기판의 이동단계를 도시하고, 도 6b는 기판의 증착단계를 도시하고,
도 6c는 기판의 탈착단계를 도시한다.
도 6a, 도 6b, 및 도 6c에 도시된 바와 같이, 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법에 있어서, 도 6a의 기판 이동 단계에서 홀더(holder:310)에 섀도우 마스크(shadow mask:320)를 부착하고, 섀도우 마스크(shadow mask:320) 위에 플렉시블 기판(330)을 위치시키며, 플렉시블 기판(330) 위에 홀더(holder) 덮개(340)로 덮는다.
도 6b의 기판 증착 단계에서 소정의 증착원(610)을 이용하여 플렉시블 기판(330)을 증착한다. 도 6c의 기판 탈착 단계에서 증착 후 홀더(holder) 덮개(340), 플렉시블 기판(330), 및 섀도우 마스크(shadow mask:320)를 탈착한다. 플렉시블 기판(330)과 홀더(holder) 덮개(340) 및 플렉시블 기판(330)과 섀도우 마스 크(shadow mask:320) 사이에는 소정의 간격(g1,g2)이 유지됨으로 플렉시블 기판(330)과 섀도우 마스크(shadow mask:320)의 합/탈착시 발생하는 스크래치(scratch)를 피할 수 있다.
본 발명은 일 실시 예로 도 3에 도시된 플렉시블 기판(330)을 설명하나, 본 발명은 일반적인 기판에도 적용 가능하다.
본 발명은 자석의 척력을 이용하여, 즉 홀더 덮개와 섀도우 마스크에 동일 자석극 부착함으로써, 기판의 스크래치를 방지할 수 있다.
이와 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 자석의 척력을 이용하여, 즉 홀더 덮개와 섀도우 마스크에 동일 자석극 부착함으로써, 기판과 섀도우 마스크 사이에 소정의 갭을 유지하면서 제작함으로써, 기판의 스크래치를 방지할 수 있고 또한, 제조 공정 시간을 줄일 수 있다.
본 발명은 섀도우 마스크를 통한 모든 디바이스 제작시 적용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 상기 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레에 각각 자석이 부착된 홀더(holder);
    상기 홀더(holder)에 부착되며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더의 자석과 반대 극이 부착된 섀도우 마스크(shadow mask);
    상기 섀도우 마스크(shadow mask)와 소정의 간격을 갖고 위치하는 플렉시블 기판; 및
    상기 플렉시블 기판과 소정의 간격을 갖고 위치하며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)의 자석과 동일한 극이 부착되고, 상기 제 1 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더(holder)의 자석과 반대 극이 부착된 홀더(holder) 덮개;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 소정의 간격은 1 ㎛ 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 홀더(holder)의 외곽 둘레와 홀더(holder) 덮개의 외곽 둘레는 서로 부 착되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 둘레는 최외곽 둘레인 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치.
  5. 제 1항의 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법에 있어서,
    상기 홀더(holder)에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 부착하고, 상기 섀도우 마스크(shadow mask) 위에 상기 플렉시블 기판을 위치시키며, 상기 플렉시블 기판 위에 상기 홀더(holder) 덮개로 덮는 기판 이동 단계;
    소정의 증착원을 이용하여 상기 플렉시블 기판을 증착하는 기판 증착 단계; 및
    상기 증착 후 상기 홀더(holder) 덮개, 상기 플렉시블 기판, 및 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 탈착하는 기판 탈착 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법.
  6. 외곽 둘레인 제 1 둘레 및 상기 외곽 둘레 보다 작은 제 2 둘레에 각각 자석이 부착된 홀더(holder);
    상기 홀더(holder)에 부착되며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀 더의 자석과 반대 극이 부착된 섀도우 마스크(shadow mask);
    상기 섀도우 마스크(shadow mask)와 소정의 간격을 갖고 위치하는 기판; 및
    상기 기판과 소정의 간격을 갖고 위치하며, 상기 제 2 둘레에 대응되는 위치에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)의 자석과 동일한 극이 부착되고, 상기 제 1 둘레에 대응되는 위치에 상기 홀더(holder)의 자석과 반대 극이 부착된 홀더(holder) 덮개;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자 마스킹 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 소정의 간격은 1 ㎛ 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 표시소자 마스킹 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 홀더(holder)의 외곽 둘레와 홀더(holder) 덮개의 외곽 둘레는 서로 부착되는 것을 특징으로 하는 표시소자 마스킹 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1 둘레는 최외곽 둘레인 것을 특징으로 하는 표시소자 마스킹 장치.
  10. 제 6항의 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법에 있어서,
    상기 홀더(holder)에 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 부착하고, 상기 섀도우 마스크(shadow mask) 위에 상기 기판을 위치시키며, 상기 기판 위에 상기 홀더(holder) 덮개로 덮는 기판 이동 단계;
    소정의 증착원을 이용하여 상기 기판을 증착하는 기판 증착 단계; 및
    상기 증착 후 상기 홀더(holder) 덮개, 상기 기판, 및 상기 섀도우 마스크(shadow mask)를 탈착하는 기판 탈착 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자 마스킹 장치를 이용한 패터닝 방법.
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