KR100796621B1 - 세라믹 히터용 로드의 접합구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 세라믹 히터용 로드의 접합구조에 관한 것으로서, 하부에 복수 개의 결합공이 형성된 세라믹 히터 본체, 상단에 홈이 형성되고, 상기 홈이 형성된 상단이 상기 결합공을 통해 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합되는 복수 개의 로드를 포함하되, 상기 결합공에 접합액이 충진된 상태에서 상기 로드의 상단이 삽입되고, 상기 홈에 접합액이 충진되면서 상기 로드의 상단이 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 로드의 상단에 홈을 형성함으로써 로드와 발열체의 접합시 접합액이 로드의 홈에 충진되어 보다 강한 접합력을 갖는 효과가 있다.

세라믹, 히터, 발열체, 로드, 접합.

Description

세라믹 히터용 로드의 접합구조{Fixing Structure of Rod for Ceramics heater}

본 발명은 세라믹 히터용 로드의 접합구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로드의 상단에 홈을 형성함으로써 발열체와의 접합시 홈에 접합액이 충진되어 보다 강한 접합력을 갖는 세라믹 히터용 로드의 접합구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 가열을 위해 히터가 사용되는데, 이러한 히터는 금속재 히터 또는 세라믹 히터가 사용되고 있다.

하지만 금속재 히터는 얇은 두께로 제조되는 경우 가열시 열팽창에 의해 휨 현상이 발생하여 두꺼운 금속재가 사용되고, 이로 인해 중량 및 부피가 크고 온도 제어에 어려움이 따라 세라믹 히터가 주로 사용되고 있으며, 이와 같은 세라믹 히터의 일례가 도 1에 도시되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래기술에 따른 세라믹 히터는 복수 개의 로드(200)가 세라믹 히터 본체(100)에 형성된 결합공(110)에 결합되는 구조를 취한 다.

이때 세라믹 히터 본체(100)는 내부에 발열체(미도시)가 형성되고, 로드(200)는 결합공(110)을 통해 세라믹 히터 본체(100)의 내부의 발열체에 접합되어 발열체를 가열시키거나 반도체 제조 공정 후에 존재하는 전하들을 방전시켜 세라믹 히터 본체(100)의 표면을 보호하는 역할을 한다.

도 2는 종래기술에 따른 로드의 접합구조를 도시한 단면도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 종래에는 세라믹 히터 본체(100)의 결합공(110)에 접합액(300)이 충진된 상태에서 로드(200)의 상단을 결합공(110)에 삽입하고, 열을 가함으로써 로드(200)의 상단 면이 세라믹 히터 본체(100) 내부의 발열체에 접합되는 구조를 취한다.

하지만 이와 같은 방법은 접합액(300)을 이용하여 단순히 로드(200)의 상단 면과 발열체가 면접촉 방식으로 접합된 구조로서, 고온과 저온이 반복되는 공정에서 로드(200)와 발열체의 접합면이 산화되거나 물리적인 충격이 가해지는 경우 단선되어 재접합해야 하는 경우가 빈번히 발생하고 있다.

특히, 단선에 의해 재접합을 하는 경우 고가의 세라믹 히터의 수명이 단축되기 때문에 이러한 문제점을 해결할 수 있는 방법에 대한 필요성이 심각하게 대두되고 있는 실정이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 로드의 상단에 홈을 형성함으로써 로드와 발열체의 접합시 접합액이 로드의 홈에 충진되어 보다 강한 접합력을 갖는 세라믹 히터용 로드의 접합구조를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 하부에 복수 개의 결합공이 형성된 세라믹 히터 본체, 상단에 홈이 형성되고, 상기 홈이 형성된 상단이 상기 결합공을 통해 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합되는 복수 개의 로드를 포함하되, 상기 결합공에 접합액이 충진된 상태에서 상기 로드의 상단이 삽입되고, 상기 홈에 접합액이 충진되면서 상기 로드의 상단이 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합된다.

또한, 상기 로드는 상단을 세정하는 단계, 상기 세정된 상단을 평탄화하는 단계 및 상단에 홈을 형성하는 단계를 통하여 가공되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 로드의 상단에 홈을 형성함으로써 로드와 발열체의 접합시 접합액이 로드의 홈에 충진되어 보다 강한 접합력을 갖는 효과가 있 다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명에 따른 세라믹 히터 본체 및 로드를 도시한 사시도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 세라믹 히터는 내부에 발열체(미도시)가 형성된 세라믹 히터 본체(10)가 제공되고, 세라믹 히터 본체(10)의 일측에 복수 개의 로드(20)가 결합되는 구조를 취한다.

세라믹 히터 본체(10)는 로드(20)와의 결합을 위해 복수 개의 결합공(11)이 형성된다. 이때 결합공(11)의 내주면에는 나사홈이 형성되며, 로드(20)의 상단 일부에는 나사산이 형성되어 상호 나사 결합된다.

로드(20)는 결합공(11)을 통해 상단이 세라믹 히터 본체(10) 내부의 발열체에 접합되어 발열체를 가열시키는 2개의 전극과 반도체 제조 공정 후에 존재하는 전하들을 방전시켜 세라믹 히터 본체(10)의 표면을 보호하는 역할을 하는 1개의 접지로 구성된다.

이러한 로드(20)는 발열체와 견고하게 접합되어야 하는데, 본 발명에서는 로드(20)의 상단이 발열체와 보다 견고하게 접합되도록 로드(20)의 상단에 홈(21)을 형성한다. 이때 홈(21)은 견고한 접합을 위해 로드(20)의 상단을 세정하고, 평탄화 시킨 후에 형성하는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명에 따른 로드의 접합구조를 도시한 단면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 결합공(11)의 내부에 접합액(30)이 충진된 상태에서 로드(20)의 상단이 나사결합된다.

로드(20)는 결합되면서 상단 면에 접합액(30)이 도포되고, 홈(21) 내부 공간에 접합액(30)이 충진된다. 이후에 접합부위에 열을 가함으로써 접합액(30)이 경화되어 세라믹 히터 본체(10) 내부의 발열체 및 로드(20)의 상단이 접합된다. 이와 같이 홈(21)에 접합액(30)이 충진됨으로써 발열체와 로드(20)의 상단이 보다 견고하게 접합된다.

이때 접합액(30)은 특수용접에 의해 500℃ 이상의 고온에서 경화시킴으로써 로드(20)의 상단 및 발열체가 보다 강한 접합력을 갖도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 도시되어 있지는 않지만 고정기구(미도시)를 이용하여 세라믹 히터 본체(10) 및 로드(20)를 고정시킨 상태에서 용접함으로써 정밀하게 접합되는 것이 보다 바람직하다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

도 1은 종래기술에 따른 세라믹 히터 본체 및 로드를 도시한 사시도이다.

도 2는 종래기술에 따른 로드의 접합구조를 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 세라믹 히터 본체 및 로드를 도시한 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 로드의 접합구조를 도시한 단면도이다.

<주요도면부호에 관한 설명>

10 : 세라믹 히터 본체 11 : 결합공

20 : 로드(Rod) 21 : 홈

30 : 접합액

Claims (2)

1. 하부에 복수 개의 결합공이 형성된 세라믹 히터 본체;

   상단에 홈이 형성되고, 상기 홈이 형성된 상단이 상기 결합공을 통해 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합되는 복수 개의 로드를 포함하되,

   상기 결합공에 접합액이 충진된 상태에서 상기 로드의 상단이 삽입되고, 상기 홈에 접합액이 충진되면서 상기 로드의 상단이 상기 세라믹 히터 본체 내의 발열체에 접합되는 것을 특징으로 하는 세라믹 히터용 로드의 접합구조.
2. 삭제

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