KR100787873B1 - 기판 건조장치 및 건조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 건조장치 및 건조방법에 관한 것으로, 사각판형의 상부커버와, 그 중앙에 형성된 배기포트와, 상기 상부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 구비한 상부커버부와; 상기 상부커버와 대응되는 형상의 하부커버와, 그 상면에 간격을 두고 고정되며 히터가 내장된 핫플레이트와, 상기 하부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 갖는 하부커버부와; 플렉시블한 에어공급관이 연결되고 내부에는 에어공급유로가 형성된 측면커버와, 그 상하면에 일체로 연장형성되고 상기 오링홈들에 각각 대응삽입되는 오링을 구비한 밀폐판으로 이루어져 상기 상부커버부와 하부커버부 사이의 측면공간을 밀폐하여 챔버를 형성하는 측면실링부와; 대향하는 적어도 두개의 상기 측면실링부에 연결되고 이를 상하방향으로 이동시키는 리프터를 포함하여 구성된다.

본 발명은 포토레지스트 도포시 기판 위에 존재하는 잔여 레지스트, 수분, 솔벤트 등을 단시간에 균일하게 건조시켜 기판의 표면품위를 향상시키고 얼룩이나 잔사와 같은 결함을 방지함은 물론 건조후 동일 설비에서 곧바로 냉각도 가능하여 공정생략이 가능하고, 그에 따른 제조비용 절감, 생산성 향상을 도모할 수 있는 지대한 효과를 제공한다.

Description

기판 건조장치 및 건조방법{APPARATUS AND METHOD FOR DRYING SUBSTRATES}

도 1의 (a),(b)는 종래 기술에 따른 기판 건조장치를 보인 예시도,

도 2는 본 발명에 따른 기판 건조장치의 예시적인 정단면도,

도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 요부 구성을 보인 분해 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 작동상태를 평면으로 본 모식도,

도 5는 본 발명에 따른 건조방법을 도시한 플로우챠트.

♧ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♧

100....상부커버부 110....상부커버

120....배기포트 200....하부커버부

210....하부커버 220....핫플레이트

230....리프트로드 300....측면실링부

310....측면커버 320....밀폐판

330....에어공급유로 340....에어공급관

본 발명은 기판 건조장치 및 건조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도 체 혹은 LCD 제조시 포토레지스트 도포공정에서 유리 기판 위에 레지스트, 수분, 솔벤트 등의 성분을 균일하게 건조시켜 기판 표면에 얼룩과 같은 결함을 발생시키지 않도록 개선된 기판 건조장치 및 건조방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 기판상에 전기적인 회로를 구성하거나 혹은 LCD 기판상에 각종 전극들 및 컬러필터층을 형성하기 위하여 포토레지스터를 이용하여 증착층에 식각면을 표시하고 원하는 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정을 거치게 된다.

이때, 포토레지스트를 이용하여 패턴을 형성하는 공정은 기판 상에 포토레지스트막을 형성하는 단계와, 형성된 포토레지스트막 내의 솔벤트(용매)를 제거하여 균일하게 건조된 포토레지스트막을 얻기 위한 소프트 베이크 단계와, 노광 단계와, 현상 단계를 통해 이루어진다.

여기에서, 상기 포토레지스트는 폴리머, 광감응제, 솔벤트 및 다수의 첨가물로 구성되어 있기 때문에 소프트 베이크 단계, 즉 균일한 포토레지스트를 얻기 위한 건조과정이 매우 중요하다.

이를 위해, 종래에는 도 1의 (a),(b)와 같은 형태의 건조장치가 사용되고 있는데, 예컨대 (a)의 경우는 챔버(10)내 발열체를 내장한 핫플레이트(20)가 설치되고, 그 상부에 기판(30)이 거치된 상태에서 진공펌프(40)로 상기 챔버(10)를 진공시킨 후 핫플레이트(20)를 발열시켜 기판(30)위의 레지스트, 포토레지스트막 내의 솔벤트, 수분 등을 건조시키는 방식이다.

그러나, 이 경우에는 직접 접촉되는 기판(30)이 핫플레이트(20)에 의해 균일 하게 가열되지 못하여 온도편차가 발생함으로써 건조후 기판 표면에 얼룩이 남게 되는 결함이 많이 발생되는 문제를 안고 있다.

다른 방식으로, (b)의 경우에는 챔버(10')내 지지대(20')상에 기판(30)을 안착시킨 상태에서 상기 챔버(10')와 연결된 공급관(60)을 통해 발열부(50)에서 발생된 열기를 송풍팬(40')으로 공급함으로써 상기 기판(30)을 간접 가열하여 건조하고, 공급된 열풍은 챔버(10')의 측면 혹은 상면을 통해 단순 배기되는 형태가 있다.

하지만, 이 경우에는 균일한 건조를 위해 대략 80~150℃로 균일한 열풍이 공급되어야 하나 챔버(10') 내부에서 플로우(강제교반)이 일어나지 않고 단순 배기되는 형태이기 때문에 챔버(10')내 열풍의 온도편차가 커 여전히 표면 얼룩이 발생되고, 또한 휘발분 일부가 챔버(10')의 천정면에 부착되어 있다가 낙하되어 기판(30)이 표면이 재오염되는 문제, 가열된 기판(30)을 노광시키기 위해서는 상온상태로 다시 냉각하기 위한 별도의 냉각공정이 요구되는 문제 등이 해결되지 못하고 있다.

뿐만 아니라, 이들 방식은 건조시의 배기압 조건이 불균일하여 건조후에도 포토레지스트 일부가 잔존하는 문제가 있다.

따라서, 표면 결함이 유발되면 이를 다시 재처리하여 표면 결함을 최소화시키야 하므로 공정을 다수회 반복적으로 수행해야 하는데에 따른 생산성 저하, 작업시간의 증대, 실수율 하락 등 또다른 문제들이 연쇄적으로 파생되는 단점이 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술상의 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출한 것으로, 포토레지스트 도포후 이를 균일하게 유지하기 위해 80~2000℃의 핫 플레이트에서 접촉식 혹은 비접촉식으로 열을 가하여 포토레지스트 솔벤트를 제거할 때에 챔버내 공기를 플로우시켜 균일하게 건조시킴으로써 표면 얼룩 등의 결함을 제거하고, 나아가 건조후 찬공기로 냉각시켜 후속공정인 노광공정으로 이송함으로써 기판이 정상적으로 수축된 상태에서 노광공정이 수행되게 하여 유리 기판의 얼라인 저하를 막고 그에 따른 스케일을 최소화하여 보다 고품위의 기판을 제조할 수 있도록 하면서 공정단축도 가능하여 생산성 향상도 도모하도록 한 기판 건조장치 및 건조방법를 제공함에 그 주된 목적이 있다.

본 발명은 상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 사각판형의 상부커버와, 그 중앙에 형성된 배기포트와, 상기 상부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 구비한 상부커버부와; 상기 상부커버와 대응되는 형상의 하부커버와, 그 상면에 간격을 두고 고정되며 히터가 내장된 핫플레이트와, 상기 하부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 갖는 하부커버부와; 플렉시블한 에어공급관이 연결되고 내부에는 에어공급유로가 형성된 측면커버와, 그 상하면에 일체로 연장형성되고 상기 오링홈들에 각각 대응삽입되는 오링을 구비한 밀폐판으로 이루어져 상기 상부커버부와 하부커버부 사이의 측면공간을 밀폐하여 챔버를 형성하는 측면실링부와; 대향하는 적어도 두개의 상기 측면실링부에 연결되고 이를 상하방향으로 이동시키는 리프터를 포함하여 구성되는 기판 건조장치를 제공함에 그 특징이 있다.

이때, 상기 하부커버부에는 상기 하부커버 및 핫플레이트를 관통하여 설치되고, 실린더에 의해 상하유동되면서 기판의 로딩 및 언로딩을 안내하는 리프트로드가 부설되는 것에도 그 특징이 있다.

또한, 상기 측면실링부에는 상기 측면커버의 길이 중앙으로부터 그 양단을 향해 에어공급유로의 배출공 직경이 1:5~10의 비율로 크게 가공형성되고, 그 토출방향이 챔버의 천정면 혹은 안착된 기판을 향하도록 형성된 것에도 그 특징이 있다.

뿐만 아니라, 상기 측면실링부의 에어공급관을 통해 공급되는 에어는 공기, 질소, 아르곤 중에서 선택된 어느 하나 혹은 2이상이 혼합되고, 50~200℃로 가열된 것이 바람직하다.

아울러, 상기 측면실링부의 에어공급관에는 파티클, 수분, 오일을 제거하는 필터수단이 부설된 것에도 그 특징이 있다.

또한, 본 발명은 상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 반도체용 기판이나 LCD용 기판에 포토레지스트를 도포한 후 노광전 건조하는 방법에 있어서; 기판을 건조용 챔버내 핫플레이트로 로딩한 후 상기 챔버를 밀폐하는 단계와; 밀폐가 완료되면 50~200℃로 유지되는 건조용 에어를 공급대 배기의 비율이 1:1이 되도록 유지하면서 챔버 내 천정 혹은 기판쪽으로 직접 토출 공급시켜 강한 플로우를 형성할 때에 챔버의 사방면에서 동일량의 에어가 균일하게 챔버 중앙을 향해 토출되도록 함과 동시에 배기포트를 통해 배기시켜 기판을 건조하는 단계와; 건조가 완료되면 챔버의 밀폐를 해제하고 기판을 언로딩시켜 후속공정으로 이송하는 단계를 포함하 여 구성되는 기판 건조방법을 제공함에도 그 기술적 특징이 있다.

이때, 상기 챔버 밀폐 단계후 진공처리단계가 더 수행되는 것에도 그 특징이 있고, 또한 상기 건조 단계후 상온인 냉각용 에어를 공급하여 기판을 냉각하는 단계가 더 수행되는 것에도 그 특징이 있다.

나아가, 상기 에어는 필터 수단에 의해 파티클, 수분, 오일이 필터링된 것이고, 50~200℃로 가열된 공기, 질소, 아르곤 중에서 선택된 어느 하나 혹은 둘 이상의 조합으로 이루어진 것에도 그 특징이 있다.

이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 기판 건조장치의 예시적인 정단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 요부 구성을 보인 분해 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 기판 건조장치의 작동상태를 평면으로 본 모식도이고, 도 5는 본 발명에 따른 건조방법을 도시한 플로우챠트이다.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명 기판 건조장치는 상부커버부(100)와, 하부커버부(200) 및 이들 사이를 밀폐하여 챔버(Chamber)를 구성하는 측면실링부(300)로 구성된다.

상부커버부(100)는 두께를 갖는 대략 사각판상의 상부커버(110)로 구성되며, 상기 상부커버(110)의 중앙에는 배기포트(120)가 형성되고, 그 테두리 인접부위 하면에는 대략 반원형상의 오링홈(130)이 형성되며, 도시되지 않는 지지플레이트들에 의해 일정위치에 고정된 상태로 구비된다.

이때, 상기 배기포트(120)는 챔버 내부의 가열공기, 즉 열기를 배출하는 배기구로서의 역할 뿐만 아니라 상기 챔버를 진공처리하고자 할 경우에는 진공을 위해 배기포트로도 사용되며, 기판의 크기 변화(기판이 커질수록 배기포트가 많이 필요할 것임)에 따라 다수개의 배기포트(120)가 형성될 수도 있는데 이를테면, 챔버 내부이 온도를 대략 130~200℃로 균일하게 유지하기에 적당한 정도의 갯수로 구비될 수 있는 바, 이는 다수의 반복적인 실험을 통해 챔버 내부로 공급되는 공기량과 배기되는 공기량이 1:1이 되도록 한 상태에서 챔버 내부온도가 상기 온도범위로 일정하게 유지되는지를 테스트함으로써 충분히 변경가능하다.

아울러, 상기 오링홈(130)은 반드시 이에 국한되지 않고 오링(O-Ring)이 일부 노출되게 매립설치된 구조를 가질 수도 있음은 물론이다.

하부커버부(200)는 상기 상부커버(100)보다 상대적으로 작은 크기, 즉 상기 측면실링부(300)의 두께만큼 차이가 난 크기를 갖는 하부커버(210)와, 상기 하부커버(210) 상부에 위치되며 기판(G)이 안착되는 핫플레이트(Hot Plate)(220)로 구성된다.

이때, 상기 하부커버(210)도 도시되지 않는 다수의 지지플레이트에 의해 설치바닥면으로부터 일정높이 위치고정되며, 그 중앙을 관통하여 지지포스트(222)가 세워설치되고, 상기 지지포스트(222)의 상단에 상기 핫플레이트(220)가 고정되며, 상기 핫플레이트(220)에는 발열체인 히터(Heater)가 내장된다.

그리고, 상기 하부커버(210) 및 핫플레이트(220)를 관통하여 다수, 바람직하기로는 4개의 리프트로드(230)가 설치된다.

상기 리프트로드(230)는 도시되지 않은 실린더수단에 연결되어 정해진 스트로크내에서 상승과 하강을 반복 수행하도록 구성된 것으로, 기판(G)의 로딩시 상승되어 있다가 로딩이 완료되면 하강하여 로딩된 기판(G)이 안전하게 핫플레이트(220)의 상면에 안착되도록 안내함으로써 기판(G)의 배면에 스크래치와 같은 표면결함을 미연에 방지하도록 하여 준다.

또한, 상기 하부커버(210)의 테두리부에 인접한 하단면에는 상기 상부커버(110)에 형성된 오링홈(130)과 동일, 유사한 구조의 오링홈(240)이 요입형성된다.

물론, 상기 오링홈(240)도 상기 상부커버(110)에 형성된 오링홈(130)과 마찬가지로 오링 자체가 매립설치될 수도 있다.

측면실링부(300)는 두께를 갖는 대략 사각판형의 측면커버(310)와, 상기 측면커버(310)의 상면 및 하면에 일체로 고정되고 대략 'ㄱ' 형상 혹은 'ㄴ' 형상을 갖는 밀폐판(320)으로 구성된다.

이때, 상기 측면실링부(300)의 상하 길이는 상기 상부커버부(100)와 하부커버부(200)의 이격거리에 대응되게 형성됨이 바람직하다.

그리고, 상기 측면커버(310)에는 이를 대략 'ㄴ' 형상으로 관통하여 에어공급유로(330)가 형성되고, 상기 에어공급유로(330)에는 에어공급관(340)이 연결설치된다.

상기 에어공급관(340)은 플렉시블하게 배관되도록 하여 상기 측면실링부(300)의 승하강동작시 장비에 무리를 주지않도록 구성됨이 바람직하다.

여기에서, 상기 에어공급유로(330)는 토출되는 에어가 챔버의 천정면을 향하도록 하는 구조를 가질 수도 있고, 도 2에 확대도시한 바와 같이 천정면이 아닌 전방으로 곧바로 토출되는 구조를 가질 수도 있는데 이때에는 기판(G)과 거의 대응한 높이에 형성되도록 함이 바람직하다.

뿐만 아니라, 상기 에어공급유로(330)는 도 4에 도시된 바와 같이, 측면커버(310)의 길이방향을 따라 다수개 형성되는데, 상기 측면커버(310)의 길이 중앙으로부터 각 양단을 향해 점점 구경이 커지는 형태이거나 혹은 중앙은 작고 양단은 큰 형태로 형성되도록 하여 공급되어 토출되는 양이 측면커버(310)의 길이 전체에 걸쳐 고르고 균일하며 동일하게 유지되도록 함이 바람직하다.

이를 위해, 상기 에어공급유로(330)의 토출공의 직경비는 중앙대 양단부가 1:5~10의 비율로 형성됨이 바람직하다.

아울러, 상기 측면실링부(300)는 네변이 모두 맞물리면서 긴밀히 밀폐되도록 구성되어야 하며, 이중 적어도 하나, 바람직하게는 두개가 상하방향으로 유동가능하게 설치되도록 하여 기판(G)의 로딩과 언로딩을 용이하게 하도록 함이 특히 바람직하다.

즉, 서로 대향되는 한쌍의 밀폐판(320) 하단에는 연결로드(362)가 고정되고, 상기 연결로드(362)는 리프터(360)에 연결되어 상기 밀폐판(320)을 승하강시킴으로써 챔버의 일측 혹은 양측을 개폐할 수 있도록 구성된다.

이때, 상기 연결로드(362) 혹은 밀폐판(320)은 LM가이드(미도시)와 같은 안내수단에 의해 안내되도록 함으로써 동작의 원활성과 정확한 밀폐성을 유지하도록 함이 특히 바람직하다.

아울러, 상기 리프터(360)는 공지의 유,공압실린더가 사용될 수 있고, 또한 모터도 사용될 수 있으며, 연결로드(362)의 경우에도 스크류샤프트나 잘 알려지 기어수단을 통해 상기 밀폐판(320)이 승하강될 수 있도록 구성할 수 있음은 물론이다.

그리고, 상기 밀폐판(320)에는 상기 오링홈(130,240)과 대응되는 위치에 오링(352,354)이 구비되며, 상기 오링(352,354)에 의해 상기 측면실링부(300)는 상부커버부(100)와 하부커버부(200)를 긴밀하게 실링할 수 있게 된다.

한편, 상기 에어공급관(340)을 통해 공급되는 에어로는 불활성가스, 특히 질소가스, 아르곤가스를 단독사용할 수도 있고, 이들을 공기와 50:50의 비율로 혼합하여 사용할 수도 있으며, 건조시에는 대략 50~200℃로 히팅된 상태로 공급하여 건조공정을 수행함이 바람직하다.

이는 핫플레이트(220)에서 발열된 온도와 근접된 온도, 즉 온도차를 최소화시켜 온도차에 의한 결로현상을 없애 건조효율과 건조품위를 더욱 향상시키기 위함이다.

뿐만 아니라, 상기 에어공급관(340)의 일부에는 필터수단(혜파필터, 수분제거필터, 오일제거필터 등)(미도시)을 마련하도록 하여 공급되는 에어속에 파티클이나 수분, 오일 등이 함유되지 않은 깨끗한 에어가 공급되도록 하여 결함발생율을 더욱 낮추도록 함이 더욱 바람직하다.

아울러, 건조공정이 완료되면 가열되지 않은 에어, 즉 상온상태의 에어를 공 급함으로서 건조된 기판(G)을 별도 냉각설비로 이송시키지 않고도 그 자리에서 곧바로 냉각시켜 후속공정인 노광공정을 정교하면서도 원활하게 수행하게 할 수도 있어 일부 기존에 반드시 별도로 거쳐야만 했던 기판 냉각공정도 생략 가능하게 된다.

그리고, 에어 공급량과 배기량을 1:1로 유지하기 위해, 에어공급관(340)과 배기포트(120)에 가스유량계를 설치함이 더욱 바람직하며, 이들을 실시간 비교체크하여 공급유량과 배기유량이 동일하도록 조절할 수 있다.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 동작관계는 상술한 도면 및 도 5를 참고하여 설명하기로 한다.

포토레지스트 도포가 완료된 기판(G)을 노광시키기 전에 포토레지스트내 솔벤트 등을 제거하기 위한 건조공정이 수행되게 된다.

건조공정은 기판을 로딩하는 단계(S100)와 동시에 시작된다.

기판(G)이 로딩되기 위해서는 측면실링부(300)중 어느 하나가 리프터(360)에 의해 하향이동되면서 챔버를 개방시키고, 이어 로봇아암이나 기타 기판 로딩수단에 의해 상기 기판(G)이 챔버 내부로 로딩되게 된다.

이때, 상기 기판(G)이 로딩되는 과정은 핫플레이트(220)를 관통하여 상하 이동가능하게 설치된 리프트로드(230)는 상향이동되어 핫플레이트(220)의 상면 위로 돌출되어 있는 상태이고, 기판(G)이 진입된 후 상기 리프트로드(230)에 안착되면 상기 리프트로드(230)가 하향이동되어 상기 기판(G)이 안전하게 핫플레이트(220)의 상면에 안착되도록 하는 일련의 동작에 의해 이루어진다.

상기 기판(G) 로딩단계(S100)가 완료되면 챔버가 밀폐되는 단계(S110)가 수행된다.

상기 챔버 밀폐단계(S110)는 하강되었던 측면실링부(300)가 다시 상승하여 개방되었던 챔버를 밀폐함으로써 완료된다.

이때, 만약 상기 챔버를 일정 진공압으로 유지시킬 필요가 있을 경우에는 배기포트(120)에 설치된 진공펌프(미도시)를 통해 챔버 내부를 적정 진공도로 진공처리할 수 있다.

이와 같은 과정을 거쳐 챔버 밀폐단계(S110)가 완료되면 건조용 에어를 공급하고 배기하는 건조 작업단계(S120)가 수행된다.

상기 건조 작업단계(S120)는 정해진 시간동안 수행될 수 있으며, 구성 부분에서 설명하였던 바와 같이 다수의 필터 수단에 의해 필터링된 에어가 공급됨으로써 이루어진다.

특히, 공급되는 에어는 대략 50~200℃의 온도범위로 가열된 에어를 사용함이 바람직하다.

이때, 건조용 에어는 에어공급관(340)을 통해 에어공급유로(330)를 거쳐 도 4와 같은 형태로 각 측면실링부(300)로부터 챔버 중앙을 향해 균일하고 동일한 양으로 공급되게 되며, 동시에 극심한 에어플로우(Air Flow)를 일으키게 된다.

즉, 상기 챔버의 각 변, 즉 4군데의 측면실링부(300)로부터 급속 토출되는 가열된 에어가 서로 간섭, 충돌되면서 극심하게 교반되게 되고, 이는 챔버 내부를 순식간에 균일한 온도로 유지시키게 된다(순간 대류작용).

따라서, 핫플레이트(220)로부터 발생된 열기와 가열된 에어가 순식간에 혼합되면서 챔버의 모든 곳에서 단시간에 기판(G) 전체면을 고르고 균일하게 건조시키게 되어 기판(G) 표면에서의 건조 온도편차로 인한 얼룩 결함이 없어지게 된다.

뿐만 아니라, 챔버 내부에서 에어가 플로우(요동)되므로 증발된 솔벤트, 수분 등이 챔버의 천정면에 부착 내지 고착되지 못하고 곧바로 배기포트(120)를 통해 배기됨으로써 천정면에 부착된 솔벤트 등의 이물질의 낙하로 인한 기판(G) 표면의 2차 오염(재오염)도 막을 수 있게 된다.

더구나, 공급되는 에어의 양과 배기되는 에어의 양을 1:1의 비율로 조절함으로써 에어의 플로우가 저하되지 않고 항상 일정하게 유지되게 되므로 건조 효율이 급상승되게 됨은 물론 증발된 이물이 바로 배출처리되게 되어 기판(G)의 표면 품위를 더욱 향상시키게 된다.

이렇게 하여 건조가 완료되면(S140) 후속공정인 노광처리를 위해 기판(G)을 냉각할 것인지 아니면 다른 처리를 위해 냉각없이 대기시킬 것인지를 판단하게 된다(S140).

만약, 기판(G) 냉각이 필요하지 않는 경우에는 곧바로 기판(G)을 언로딩하게 되고, 냉각이 필요한 경우에는 건조완료와 동시에 냉각용 에어를 공급하고 배기하는 냉각 작업단계(S150)를 수행하게 된다.

상기 냉각 작업단계(S150)를 통해 기판(G) 냉각이 완료되면(S160) 리프트로드(230)가 상승되면서 기판(G)을 핫플레이트(220)로부터 이격시키게 되고, 이어 측면실링부(300)가 개방되게 되며, 개방된 측면실링부(300)를 통해 상기 기판(G)이 이송되는 언로딩단계(S170)가 수행되게 된다.

이와 같은 단계를 반복적으로 수행함으로써 포토레지스트가 도포된 기판(G)을 균일하고 효율적이면서 높은 표면품위를 갖게 건조시킬 수 있게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 포토레지스트 도포시 기판 위에 존재하는 잔여 레지스트, 수분, 솔벤트 등을 단시간에 균일하게 건조시켜 기판의 표면품위를 향상시키고 얼룩이나 잔사와 같은 결함을 방지함은 물론 건조후 동일 설비에서 곧바로 냉각도 가능하여 공정생략이 가능하고, 그에 따른 제조비용 절감, 생산성 향상을 도모할 수 있는 지대한 효과를 제공한다.

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3. 사각판형의 상부커버와, 그 중앙에 형성된 배기포트와, 상기 상부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 구비한 상부커버부와; 상기 상부커버와 대응되는 형상의 하부커버와, 그 상면에 간격을 두고 고정되며 히터가 내장된 핫플레이트와, 상기 하부커버의 테두리 인접 하면에 요입형성된 오링홈을 갖는 하부커버부와; 플렉시블한 에어공급관이 연결되고 내부에는 에어공급유로가 형성된 측면커버와, 그 상하면에 일체로 연장형성되고 상기 오링홈들에 각각 대응삽입되는 오링을 구비한 밀폐판으로 이루어져 상기 상부커버부와 하부커버부 사이의 측면공간을 밀폐하여 챔버를 형성하는 측면실링부와; 대향하는 적어도 두개의 상기 측면실링부에 연결되고 이를 상하방향으로 이동시키는 리프터를 포함하여 구성되는 기판 건조장치에 있어서;

   상기 측면실링부에는 상기 측면커버의 길이 중앙으로부터 그 양단을 향해 에어공급유로의 배출공 직경이 1:5~10의 비율로 크게 가공형성되고, 그 토출방향이 챔버의 천정면 혹은 안착된 기판을 향하도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
4. 청구항 3에 있어서;

   상기 측면실링부의 에어공급관을 통해 공급되는 에어는 공기, 질소, 아르곤 중에서 선택된 어느 하나 혹은 2이상이 혼합되고, 50~200℃로 가열된 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
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6. 청구항 3,4 중에서 선택된 어느 한 항에 있어서;

   상기 측면실링부의 에어공급관에는 파티클, 수분, 오일을 제거하는 필터수단이 부설된 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.
7. 반도체용 기판이나 LCD용 기판에 포토레지스트를 도포한 후 노광전 건조하는 방법에 있어서;

   기판을 건조용 챔버내 핫플레이트로 로딩한 후 상기 챔버를 밀폐하는 단계와;

   밀폐가 완료되면 50~200℃로 유지되는 건조용 에어를 공급대 배기의 비율이 1:1이 되도록 유지하면서 챔버 내 천정 혹은 기판쪽으로 직접 토출 공급시켜 강한 플로우를 형성할 때에 챔버의 사방면에서 동일량의 에어가 균일하게 챔버 중앙을 향해 토출되도록 함과 동시에 배기포트를 통해 배기시켜 기판을 건조하는 단계와;

   건조가 완료되면 챔버의 밀폐를 해제하고 기판을 언로딩시켜 후속공정으로 이송하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 건조방법.
8. 청구항 7에 있어서;

   상기 챔버 밀폐 단계후 진공처리단계가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 건조방법.
9. 청구항 7에 있어서;

   상기 건조 단계후 상온인 냉각용 에어를 공급하여 기판을 냉각하는 단계가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 건조방법.
10. 청구항 7 내지 청구항 8중 어느 한 항에 있어서;

    상기 에어는 필터 수단에 의해 파티클, 수분, 오일이 필터링된 것이고, 50~200℃로 가열된 공기, 질소, 아르곤 중에서 선택된 어느 하나 혹은 둘 이상의 조합으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 건조방법.

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