KR100785957B1 - Composite Sheet and Apparatus for Manufacturing The Same - Google Patents

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추우코카세이코교가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 전자기기의 제조공정 중 하나인 압착공정에 사용되는 복합시트에 있어서, 불소수지로 이루어지는 내열성을 갖는 시트(11)와, 이 시트(11)의 일면에 형성된 실리카 미립자층(12)과, 이 실리카 미립자층(12)상에 형성된 내열성을 갖는 실리콘 고무층(13)를 구비한 것을 특징으로 하는 복합시트(14)를 제공한다.In the composite sheet used in the crimping step, which is one of the manufacturing steps of the electronic device, the present invention relates to a sheet 11 having a heat resistance made of fluorine resin, and a silica fine particle layer 12 formed on one surface of the sheet 11; The composite sheet 14 provided with the silicone rubber layer 13 which has heat resistance formed on this silica fine particle layer 12 is provided.

Description

복합시트 및 그 제조장치{Composite Sheet and Apparatus for Manufacturing The Same}Composite Sheet and Apparatus for Manufacturing The Same}

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 복합시트의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a composite sheet according to Example 1 of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예 2에 관한 복합시트의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a composite sheet according to Example 2 of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예 3에 관한 복합시트의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a composite sheet according to Example 3 of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예 1, 2에 관한 복합시트의 제조에 사용되는 복합시트 제조장치의 설명도이다.4 is an explanatory diagram of a composite sheet manufacturing apparatus used for producing a composite sheet according to Examples 1 and 2 of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시예 3에 관한 복합시트의 제조에 사용되는 복합시트 제조장치의 설명도이다.5 is an explanatory view of a composite sheet manufacturing apparatus used for producing a composite sheet according to a third embodiment of the present invention.

도 6 은 종래 쿠션재의 사용예의 설명도이다.6 is an explanatory view of a use example of a conventional cushioning material.

본 발명은 전자기기, 특히 플랫 패널 디스플레이(FPD), 더욱 상세하게는 컬러TFT액정모듈이나 컬러STN액정모듈 제조공정의 하나인 압착공정에 사용되는 복합시트 및 그 제조장치에 관한 것이다.The present invention relates to an electronic device, in particular a flat panel display (FPD), more particularly a composite sheet used in the pressing process which is one of the manufacturing process of the color TFT liquid crystal module or color STN liquid crystal module and its manufacturing apparatus.

종래 전자기기의 제조 프로세스에 있어서 도 6에 나타낸 바와 같은 압착공정 이 행해지고 있다.In the manufacturing process of the conventional electronic device, the crimping process as shown in FIG. 6 is performed.

도면 중 부호 1은 단부에 단자(2)가 형성된 글래스 기판을 나타낸다. 이 글래스 기판(1)의 단부에는 플렉시블 기판(3)의 단부가 열압착에 의해 적층된다. 여기서, 플렉시블 기판(3)은 회로(4)를 형성한 필름(5)과, 회로(4)의 일부에 형성된 이방성 도전필름(6)을 갖추고 있다. 상기 글래스 기판(1)과 플렉시블 기판(3)과의 열압착 예정부 상에는 하단부에 쿠션재(스카이브드 테이프)(7)를 구비한 히터(8)가 배치되어 있다. 또한, 부호 9는 레이필름(보호필름)을 나타낸다.In the drawing, reference numeral 1 denotes a glass substrate on which an terminal 2 is formed. At the end of the glass substrate 1, the end of the flexible substrate 3 is laminated by thermocompression bonding. Here, the flexible substrate 3 is equipped with the film 5 in which the circuit 4 was formed, and the anisotropic conductive film 6 formed in a part of the circuit 4. On the thermocompression scheduled portion between the glass substrate 1 and the flexible substrate 3, a heater 8 provided with a cushioning material (scarved tape) 7 is disposed at the lower end portion. Reference numeral 9 denotes a ray film (protective film).

그런데, 상기 쿠션재로서는 종래 실리콘 고무시트(전자), 혹은 이형성을 갖는 불소수지시트(후자)가 사용되고 있다. 그러나, 전자의 쿠션재는 수회 열압착 사용이 가능하나 이형성이 그다지 좋지 못하다. 한편, 후자의 쿠션재는 이형성은 좋으나 쿠션성의 저하가 현저하고 1회용으로 되어 있다.By the way, as said cushioning material, the silicone rubber sheet (electronic) or the fluororesin sheet (the latter) which has mold release property is used conventionally. However, the former cushioning material can be used several times in thermal compression, but the release property is not so good. On the other hand, the latter cushioning material is good in releasability, but the cushioning property is remarkably deteriorated, and is intended for single use.

또, 이러한 문제점을 해소하기 위하여 종래의 불소수지(예를 들면 PTFE)를 일면화학에칭하고, 미가황 실리콘 고무시트를 라미네이트한 쿠션재가 알려져 있다. 그런데, 상기 PTFE는 전기적 에칭의 효과가 적으므로 인해 화학적 에칭이 행해지고 있다. 즉, 금속나트륨을 테트라히드로푸란에 용해시킨 에칭액으로 처리하고 표면의 불소를 수산기 등으로 치환하여 습성을 좋게 해서 사용되고 있다.In order to solve such a problem, a cushioning material is known in which a conventional fluorine resin (for example, PTFE) is chemically etched on one surface and laminated with an unvulcanized silicone rubber sheet. By the way, since the said PTFE has little effect of an electrical etching, chemical etching is performed. That is, it is used by processing the etching liquid which melt | dissolved metal sodium in tetrahydrofuran, replacing fluorine on a surface with hydroxyl groups, etc., and making it wet.

그러나, 활성화된 불소수지 표면은 시간이 경과함에 따라 불활성화되어 처리효과가 감소한다고 알려진 바 있고, 생산성에 문제가 있다. 또, 상기 에칭처리는 금속나트륨을 사용하기 때문에 뜻하지 않게 물과 접하면 발화(폭발)할 위험성이 높고, 취급이나 보관장소에 충분히 유의할 필요가 있다. 또한, 다량의 유기용매를 사 용하기 때문에 작업자가 흡입함으로써 건강을 해칠 위험성이 높다. 또한 불소수지를 일면화학에칭하고, 미가황 실리콘 고무시트를 라미네이트한 복합품에서는 작업의 연속성(장척(長尺)제조), 박물(薄物)의 제조가 곤란하다.However, the activated fluorine resin surface has been known to be inactivated with time to reduce the treatment effect, and there is a problem in productivity. In addition, since the etching treatment uses metal sodium, there is a high risk of ignition (explosion) when inadvertently contacted with water, and it is necessary to pay attention to the handling and storage place sufficiently. In addition, since a large amount of organic solvent is used, there is a high risk of injury to workers by inhalation. In addition, in a composite product in which one side of the fluororesin is chemically etched and the unvulcanized silicone rubber sheet is laminated, it is difficult to manufacture the continuity of the work and to manufacture the thin object.

본 발명의 목적은 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비한 구성으로 하므로써, 이형성 및 쿠션성이 뛰어남과 동시에 안전성, 경제성, 생산성이 뛰어나고 장척(長尺)제조와 박물(薄物)제조가 가능한 복합시트를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a sheet-shaped heat resistant substrate made of a fluorine resin containing a fluorine resin or a conductive material, a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant base material, and a heat resistant rubber layer formed on the silica fine particle layer. Accordingly, the present invention provides a composite sheet that is excellent in releasability and cushioning properties, and has excellent safety, economy, and productivity, and is capable of making long and thin articles.

본 발명의 다른 목적은 내열성 섬유직포에 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지를 배합하여 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비한 구성으로 하므로써 상기와 동일한 효과를 얻을 수 있는 복합시트를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to form a sheet-shaped heat resistant substrate formed by blending a heat resistant fibrous fabric with a fluorine resin or a fluorine resin containing a conductive material, a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant base material, and formed on the silica fine particle layer. It is to provide a composite sheet which can achieve the same effect as mentioned above by setting it as the structure provided with a heat resistant rubber layer.

본 발명의 또 다른 목적은 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재를 송출하는 송출용 롤과, 상기 내열성 기재상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤과, 고무코팅제가 도포된 상기 내열성 기재를 건조하는 제 1 로와, 이 제 1 로를 거친 상기 내열성 기재를 소성하고 복합시트를 형성하는 제 2 로와, 소성한 복합시트를 권취하는 귄취용 롤을 구비한 구성으로 하므로써, 이형성 및 구션성이 뛰어남과 동시에 안전성, 경제성, 생산성이 뛰어나고 장척(長尺)제조와 박물(薄物)제조가 가능한 복합시트를 얻을 수 있는 복합시트의 제조장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a sheet-shaped heat-resistant base material made of fluorocarbon resin, a coating roll for coating a predetermined amount of a rubber coating agent on the heat-resistant base material, and drying the heat-resistant base material coated with a rubber coating agent. The first furnace, the second furnace for calcining the heat-resistant base material passed through the first furnace to form a composite sheet, and the rolls for curling to wind the calcined composite sheet are excellent in releasability and cushionability. At the same time, the present invention provides an apparatus for manufacturing composite sheets, which is excellent in safety, economical efficiency, productivity, and obtains composite sheets capable of making long and thin articles.

본원 제 1 발명은 전자기기의 제조공정의 하나인 압착공정에서 사용되는 복합시트에 있어서, 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트이다.The first invention of the present application is a composite sheet used in a crimping step, which is one of electronic device manufacturing steps, comprising: a sheet-shaped heat resistant substrate made of a fluorine resin containing a fluorine resin or a conductive material, and silica formed on one surface of the heat resistant substrate. It is a composite sheet provided with a microparticle layer and the heat resistant rubber layer formed on this silica microparticle layer.

본원 제 2 발명은 전자기기의 제조공정의 하나인 압착공정에서 사용되는 복합시트에 있어서, 내열성 섬유직포에 불소수지 또는 도정성 재료를 포함하는 불소수지를 배합하여 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트이다.The second invention of the present application is a composite sheet used in a crimping step, which is one of the manufacturing steps of an electronic device, comprising: a sheet-shaped heat-resistant base material comprising a fluorine resin containing a fluororesin or a crystalline resin in a heat-resistant fiber woven fabric; A composite sheet comprising a silica fine particle layer formed on one surface of a heat resistant substrate and a heat resistant rubber layer formed on the silica fine particle layer.

본원 제 3 발명은 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재를 송출하는 송출 롤과, 상기 내열성 기재 상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤과, 고무코팅제가 도포된 상기 내열성 기재를 건조하는 제 1 로와, 이 제 1 로를 거친 상기 내열성 기재를 소성하고 복합시트를 형성하는 제 2 로와, 소성한 복합시트를 권취하는 권취용 롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트의 제조장치이다.The third invention of the present application is a feeding roll for sending out a sheet-shaped heat resistant substrate made of fluorine resin, a coating roll for applying a predetermined amount of a rubber coating agent on the heat resistant substrate, and a first furnace for drying the heat resistant substrate coated with a rubber coating agent. And a second furnace for firing the heat resistant substrate passed through the first furnace to form a composite sheet, and a winding roll for winding the fired composite sheet.

이하에 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, this invention is demonstrated in detail.

본 발명에 있어서, 상기 불소수지로서는 예를 들면 4불화에틸렌수지(PTFE), 4불화에틸렌-퍼플루오르알킬비닐에테르 공중합수지(PFA), 4불화에틸렌-6불화프로필 렌 공중합수지(FEP) 등을 들 수 있고 특히 PTFE가 바람직하다.In the present invention, as the fluororesin, for example, tetrafluoroethylene resin (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer resin (PFA), tetrafluoroethylene-6 fluorinated propylene copolymer resin (FEP) and the like And in particular, PTFE is preferred.

본 발명에 있어서, 상기 도전성 재료로서는 예를 들면 백색 도전성 침상단결정체(針狀單結晶體)를 예로 들면 도전성 위스커(상품명:덴톨 WK-200B, 오오쓰카 화학제조), 카본블랙, 그라파이트, 카본섬유나 금, 은 동, 알루미늄, 파라듐 등의 금속분말을 들 수 있다.In the present invention, the conductive material may be, for example, a white conductive acicular single crystal, for example, conductive whisker (trade name: Dentol WK-200B, manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd.), carbon black, graphite, carbon fiber, Metal powders, such as gold, silver copper, aluminum, and palladium, are mentioned.

본 발명에 있어서, 내열성 섬유직포는 무기섬유직포과 유기섬유직포로 구분된다. 여기서, 무기섬유직포로서는 예를 들면 글래스섬유, 탄소섬유, 알루미나 등의 세라믹 섬유, 스텐레스 등의 금속섬유 중 선택된 것으로 이루어지는 직포를 들 수 있다. 상기 유기섬유직포로서는 예를 들면 폴리아미드계 섬유, 폴리아라미드계 섬유, 폴리에스테르계 섬유, 폴리비닐 알콜계 섬유 중 어느 선택된 것으로 이루어지는 직포를 들 수 있다.In the present invention, heat-resistant fiber woven fabric is classified into inorganic fiber woven fabric and organic fiber woven fabric. Here, the inorganic fiber woven fabric includes, for example, a woven fabric made of glass fiber, carbon fiber, ceramic fiber such as alumina, or a metal fiber such as stainless steel. Examples of the organic fiber woven fabric include a woven fabric made of any one selected from polyamide fibers, polyaramid fibers, polyester fibers, and polyvinyl alcohol fibers.

본 발명에 있어서, 상기 열전도성 미립자의 재료로는 예를 들면, 알루미나, 티타니아, 산화마그네슘, 실리카, 카본블랙, 그라파이트나 금, 은, 동, 알루미늄, 파라듐 등의 금속분말을 들 수 있다.In the present invention, examples of the material of the thermally conductive fine particles include metal powders such as alumina, titania, magnesium oxide, silica, carbon black, graphite, gold, silver, copper, aluminum, and palladium.

이하 본 발명의 각 실시예에 관한 복합시트 및 그 제조장치에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 단, 하기 실시예에 있어서의 각 부재의 수치는 일예를 나타낸 것으로 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the composite sheet which concerns on each Example of this invention, and its manufacturing apparatus are demonstrated with reference to drawings. However, the numerical value of each member in the following Example showed the example and this invention is not limited to this.

(실시예 1)(Example 1)

도 1 은 실시예 1에 관한 복합시트의 단면도를 나타낸다. 도면 중 부호 11은 내열성 기재로서의 불소수지(예를 들면 PTFE)로 이루어지는 시트를 나타낸다. 이 PTFE시트(11)의 일면에는 실리카 미립자층(12)을 통해서 내열성 고무층으로서의 실리콘 고무시트(13)가 형성되어 있다.1 is a sectional view of a composite sheet according to Example 1. FIG. In the figure, reference numeral 11 denotes a sheet made of a fluororesin (for example, PTFE) as a heat resistant substrate. One surface of the PTFE sheet 11 is formed with a silicone rubber sheet 13 as a heat resistant rubber layer through the silica fine particle layer 12.

이러한 구성의 복합시트(14)는 도 4에 나타낸 장치를 이용하여 제조된다. 도 4 중의 부호 21, 22는 각각 건조를 행하는 제 1 로(건조로), 소성을 행하는 제 2 로(소성로)를 나타낸다. 상기 제 1 로(21)의 상류측에는 표면처리된(즉, 실리카 미립자층(12)이 형성된)PTFE시트(11)가 감긴 송출용 롤(23), 롤(24), 한 쌍의 백업 롤(25) 및 코팅 롤(26), 닥터블레이드(27a)를 갖춘 미터링 롤(27)이 배치되어 있다. 여기서 미터링 롤(27)은 고무코팅제를 코팅 롤에 일정량 보내는 역할을 하고 코팅 롤(26)은 상기 시트(11)의 일면에 고무코팅제를 도포하는 역할을 한다. 또, 상기 코팅 롤(26)의 근처에는 액상실리콘 고무코팅제(28a)를 수용한 용기(28)가 각각 배치되어 있다. 상기 제 2 로(22)의 하류측에는 복합시트(14)를 권취하기 위한 권취용 롤(29)이 배치되어 있다. 또, 도면 중의 부호 30a, 30b, 30c, 30d, 30e는 각각 롤을 나타낸다.The composite sheet 14 of this configuration is manufactured using the apparatus shown in FIG. Reference numerals 21 and 22 in FIG. 4 denote first furnaces (drying furnaces) for drying and second furnaces (firing furnaces) for baking, respectively. On the upstream side of the first furnace 21, a feed roll 23, a roll 24, a pair of back-up rolls wound around a surface-treated PTFE sheet 11 (that is, the silica fine particle layer 12 is formed) ( 25) and a metering roll 27 with a coating roll 26 and a doctor blade 27a are arranged. The metering roll 27 serves to send a certain amount of rubber coating agent to the coating roll and the coating roll 26 serves to apply a rubber coating agent to one surface of the sheet (11). Further, in the vicinity of the coating roll 26, containers 28 containing liquid silicone rubber coating agents 28a are disposed, respectively. On the downstream side of the second furnace 22, a winding roll 29 for winding the composite sheet 14 is disposed. In addition, the code | symbol 30a, 30b, 30c, 30d, 30e in a figure represents a roll, respectively.

우선, 초미립자상 실리카분말, 계면활성제 및 PTFE 수성분산액을 혼합하여 1시간 교반한 혼합분산액(표면처리액)을 두께 0.05mm의 PTFE시트(11)의 일면에 균일하게 도포하고 로(도시하지 않음)에 도입시켜 100℃에서 건조한 후, 360℃에서 소성을 행하므로써 표면처리를 행했다. 다음으로 액상실리콘 고무제로서의 전자부품용 방열실리콘(예를 들면 동레ㆍ다우코닝ㆍ실리콘 주식회사 제품 상품명:SE4400(일래스토머 타입))를 도포하기 쉬운 점도로 미리 유기용매(예를 들면 톨루엔, 키실렌, 헥산 중 선택)로 희석하고 진공탈포했다. 그리고, 이 코팅제(28a)를 상기 용기(28)에 수용했다.First, a mixed dispersion (surface treatment solution), which was mixed for 1 hour by mixing the ultrafine silica powder, the surfactant, and the PTFE aqueous dispersion, was uniformly applied to one surface of the PTFE sheet 11 having a thickness of 0.05 mm, and the furnace (not shown). After incorporating into a film and drying at 100 ° C, surface treatment was performed by baking at 360 ° C. Next, an organic solvent (e.g., toluene, key) in advance is easy to apply the heat-dissipating silicon (e.g., Dongle Co., Ltd., Dow Corning, Silicon Co., Ltd. product name: SE4400 (Elastomer type)) made of liquid silicone rubber. Dilution with silane, hexane) and vacuum degassing. And this coating agent 28a was accommodated in the said container 28.

다음으로 권취용 롤(23)에서 표면처리한 PTFE시트(11)를 화살표 X방향으로 보내고 상기 코팅제(28a)를 미터링 롤(27), 코팅 롤(26)을 거쳐서 상기 시트(11)의 표면처리면에 두께가 0.15mm가 되도록 균일하게 도포한다. 이어서, 시트(11)를 제 1 로(21)에 보내고, 80℃에서 건조시킨 후 시트(11)를 제 2 로(22)에 보내고 150℃에서 열경화시켜 총두께 0.2mm의 복합시트(14)를 제조했다.Next, the PTFE sheet 11 surface-treated in the winding roll 23 is sent in the arrow X direction, and the coating agent 28a is surface-treated of the sheet 11 via the metering roll 27 and the coating roll 26. Apply evenly to the surface so that the thickness is 0.15mm. Subsequently, the sheet 11 is sent to the first furnace 21, dried at 80 ° C., and the sheet 11 is sent to the second furnace 22, and thermally cured at 150 ° C. to produce a composite sheet having a total thickness of 0.2 mm 14. ).

상기 실시예 1에 관한 복합시트(14)는 PTFE시트(11)의 일면에 실리카 미립자층(12)을 통하여 실리콘 고무시트(내열성 고무층)(13)를 형성한 구성으로 되어 있으므로 이형성 및 쿠션성이 뛰어나다. 또, 종래와 같이 금속 Na에 의한 처리가 없으므로 안전성, 생산성이 뛰어나다. 또한 시트(11)와 실리콘 고무시트(13)사이에 습성을 향상시키는 실리카 미립자층(12)을 개재시키므로써 양자(11, 13)간의 박리강도가 종래 시트와 비교했을 때 크고, 장척제조와 박물제조를 실현할 수 있다.Since the composite sheet 14 according to the first embodiment has a configuration in which a silicone rubber sheet (heat resistant rubber layer) 13 is formed on one surface of the PTFE sheet 11 through the silica fine particle layer 12, it has excellent releasability and cushioning properties. . Moreover, since there is no treatment by metal Na like the conventional one, it is excellent in safety and productivity. In addition, by interposing the silica particle layer 12 which improves the wettability between the sheet 11 and the silicone rubber sheet 13, the peeling strength between the two 11 and 13 is larger than that of the conventional sheet, and the long production and the thin material Manufacturing can be realized.

또, 상기 실시예 1에 관한 복합시트의 제조장치는 PTFE시트(11)를 송출하는 송출용 롤(23)과, 상기 PTFE시트(11) 상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤(26)과, 이 코팅 롤(26)에 고무 코팅제를 일정량 보내는 미터링 롤(27)과, 고무코팅제가 도포된 상기 PTFE시트(11)를 건조하는 제 1 로(21)와, 이 제 1 로(21)를 거친 상기 PTFE시트(11)를 소성하고 복합시트(14)를 형성하는 제 2 로(22)와, 소성한 복합시트(22)를 권취하는 귄취용 롤(29)을 구비한 구성으로 되어 있다. 이에 관한 구성장치에 의해 종래의 복합시트보다 박리강도가 양호하고 안전성, 작업성, 경제성이 뛰어나고 실용성이 높은 복합시트(14)를 얻을 수 있다. In addition, the apparatus for producing a composite sheet according to the first embodiment includes a feeding roll 23 for feeding the PTFE sheet 11, a coating roll 26 for coating a predetermined amount of a rubber coating agent on the PTFE sheet 11; And a first furnace 21 for drying the PTFE sheet 11 to which the rubber coating agent is applied, a metering roll 27 for sending a predetermined amount of a rubber coating agent to the coating roll 26, and the first furnace 21. The second furnace 22 for firing the coarse PTFE sheet 11 to form the composite sheet 14 and the roll roll 29 for winding the fired composite sheet 22 are provided. By the constituent device in this regard, a composite sheet 14 having better peel strength, superior safety, workability, economy and practicality than a conventional composite sheet can be obtained.                     

사실 얻어진 복합시트에 있어서의 PTFE시트와 실리콘 고무의 층간 박리강도를 T형 박리법(JIS K 6328)으로 측정한 바에 의하면, 도중에 실리콘 고무가 파손되었기 때문에 박리강도는 10N/15mm이상인 것으로 판단되었다. 이것은 표면처리를 화학에칭에 의해 제조한 종래의 복합시트보다도 박리강도가 양호하고, 안전성, 작업성, 경제성이 뒤어나고, 실용성이 높은 것임이 확인되었다.In fact, the interlaminar peel strength of the PTFE sheet and the silicone rubber in the obtained composite sheet was measured by the T-type peeling method (JIS K 6328), and it was judged that the peel strength was 10 N / 15 mm or more because the silicone rubber was broken in the middle. It was confirmed that the peel strength was better than the conventional composite sheet produced by chemical etching of the surface treatment, and the safety, workability and economic efficiency were superior, and the practicality was high.

(실시예 2)(Example 2)

도 2를 참조한다. 단, 도 1과 동일한 부재는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략한다. 본 실시예 2는 기재를 도전성 카본블랙(도전성 재료)을 배합한 4불화에틸렌수지(PTFE)시트(31)를 사용하는 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 복합시트(32)를 제조했다. 여기서, 상기 시트(31)는 글래스 섬유직포(31a)와, 이 글래스 섬유직포(31a)에 함침, 도포된 불소수지(PTFE)(31b)로 구성되어 있다.See FIG. 2. However, the same members as in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. In Example 2, a composite sheet 32 was produced in the same manner as in Example 1, except that a tetrafluoroethylene resin (PTFE) sheet 31 containing conductive carbon black (conductive material) was used as the substrate. The sheet 31 is composed of a glass fiber woven fabric 31a and a fluorine resin (PTFE) 31b impregnated and applied to the glass fiber woven fabric 31a.

실시예 2에 관한 복합시트는 도 2에 나타낸 바와 같이 시트(31)의 일면에 실리카 미립자층(12)을 통해서 실리콘 고무층(13)을 형성한 구성으로 되어 있으므로 실시예 1과 동일한 효과가 얻어진다. 또, 상기 복합시트도 도 4의 장치에 의해 제조할 수 있다.As the composite sheet according to Example 2 has a configuration in which the silicone rubber layer 13 is formed on one surface of the sheet 31 through the silica fine particle layer 12, the same effect as in Example 1 is obtained. . Moreover, the said composite sheet can also be manufactured with the apparatus of FIG.

(실시예 3)(Example 3)

도 3을 참조한다. 본 실시예 3에 관한 복합시트(35)는 실리콘 고무시트(13)와, 이 실리콘 고무시트(13)의 양면에 PTFE시트(33, 34)를 적층한 구성으로 되어 있다. 여기서, PTFE시트(33)의 일면에는 실리카 미립자층(12a)이 형성되고, PTFE시트(34)의 일면에는 실리카 미립자층(12b)이 형성되고, 실리카 미립자층(12a, 12b) 이 서로 대향하도록 상기 시트(33, 34)는 적층되어 있다. 여기서, 상기 시트(33)는 글래스 섬유직포(33a)와, 이 글래스 섬유직포(33a)에 함침, 도포된 PTFE(33b)로 구성되어 있다. 한편, 상기 시트(34)는 글래스 섬유직포(34a)와, 이 글래스 섬유직포(34a)에 함침 도포된 PTFE(34b)로 구성되어 있다.See FIG. 3. The composite sheet 35 according to the third embodiment has a configuration in which a silicone rubber sheet 13 and PTFE sheets 33 and 34 are laminated on both surfaces of the silicone rubber sheet 13. Here, the silica particle layer 12a is formed on one surface of the PTFE sheet 33, the silica particle layer 12b is formed on one surface of the PTFE sheet 34, and the silica particle layers 12a and 12b face each other. The sheets 33 and 34 are laminated. The sheet 33 is composed of a glass fiber woven fabric 33a and PTFE 33b impregnated and applied to the glass fiber woven fabric 33a. On the other hand, the sheet 34 is composed of glass fiber woven fabric 34a and PTFE 34b impregnated and applied to the glass fiber woven fabric 34a.

이에 관한 구성의 복합시트(35)는 도 5에 나타낸 장치를 사용하여 제조한다. 단, 도 4와 동일 부재는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략한다. 도 5 중의 부호(41, 42)는 각각 PTFE시트를 송출하기 위한 송출용 롤, 부호(43a, 43b)는 한 쌍의 라미네이트용 롤을 나타낸다.The composite sheet 35 of the related structure is manufactured using the apparatus shown in FIG. However, the same member as FIG. 4 is attached | subjected with the same code | symbol, and abbreviate | omits description. Reference numerals 41 and 42 in FIG. 5 denote a delivery roll for feeding the PTFE sheet, and reference numerals 43a and 43b denote a pair of laminate rolls.

우선, 글래스크로스를 PTFE 디스퍼젼 중에 담그고, 끌어 올려서 200℃의 로(도시하지 않음)안을 약 5분간 통과시켜 수분을 건조시킨다. 다음으로, 310℃의 로(도시하지 않음)안을 약 5분간 통과시켜 계면 활성제 등의 불순물을 제거한다. 이어서, 380℃의 로(도시하지 않음)안을 5분간 통과시켜 소성시킨 기재의 일면에 혼합분산액을 도포하고, 건조시킨 후 390℃에서 소성을 행하므로써 표면처리를 실시했다. 또한, 실시예 1과 동일하게 표면처리를 실시한 기재면에 실리콘 고무용액을 도포하고 건조, 열경화시켰다.First, the glass cross is immersed in a PTFE dispersion, pulled up, and passed through a furnace (not shown) at 200 ° C. for about 5 minutes to dry moisture. Next, an impurity such as a surfactant is removed by passing through a furnace (not shown) at 310 ° C. for about 5 minutes. Subsequently, the mixed dispersion was applied to one surface of the substrate baked through a furnace (not shown) at 380 ° C. for 5 minutes, dried, and then calcined at 390 ° C. to carry out surface treatment. In addition, the silicone rubber solution was apply | coated to the surface of the base material surface-treated like Example 1, and it dried and thermoset.

실시예 3에 관한 복합시트(35)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 실리콘 고무시트(13)와, 일면에 실리카 미립자층(12a)이 형성된 PTFE시트(33)와, 일면에 실리카 미립자층(12b)이 형성된 PTFE시트(34)를 갖추고, 상기 실리콘 고무시트(13)의 양면측에 PTFE시트(33, 34)가 실리카 미립자층(12a, 12b)이 서로 대향하도록 적층된 구성으로 되어 있다. 따라서, 실시예 3에 의하면 실시예 1과 동일한 효과를 갖는 다른 실리콘 고무시트(13)의 양면에 PTFE시트(33, 34)가 형성되어 있으므로 내구성을 향상시킴과 동시에 도전성의 향상을 꾀할 수 있다.As shown in FIG. 3, the composite sheet 35 according to Example 3 includes a silicone rubber sheet 13, a PTFE sheet 33 having a silica particulate layer 12a formed on one surface thereof, and a silica particulate layer 12b formed on one surface thereof. ) Is provided with a PTFE sheet 34 formed thereon, and the PTFE sheets 33 and 34 are laminated on both surfaces of the silicone rubber sheet 13 so that the silica fine particle layers 12a and 12b face each other. Therefore, according to the third embodiment, since the PTFE sheets 33 and 34 are formed on both surfaces of the other silicone rubber sheet 13 having the same effect as the first embodiment, the durability can be improved and the conductivity can be improved.

또, 실시예 3에 관한 복합시트의 제조장치는 PTFE시트(33)를 송출하는 송출용 롤(41)과, 상기 PTFE시트(34)상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤(26)과, 이 코팅 롤(26)에 고무코팅제를 일정량 보내는 미터링 롤(27)과, 고무코팅제가 도포된 상기 PTFE시트(33, 34)의 적층체(44)를 건조하는 제 1 로(21)와, 이 제 1 로(21)을 거친 상기 적층체(44)를 소성하고 복합시트(35)를 형성하는 제 2 로(22)와, 소성한 복합시트(35)를 권취하는 귄취용 롤(29)을 구비한 구성으로 되어 있다. 이에 관한 구성의 장치에 의해 종래의 복합시트보다도 박리강도가 양호하고, 안전성, 작업성, 경제성이 뛰어나고 실용성이 높은 복합시트(35)를 얻을 수 있다.In addition, the apparatus for producing a composite sheet according to Example 3 includes a feeding roll 41 for feeding the PTFE sheet 33, a coating roll 26 for coating a predetermined amount of a rubber coating agent on the PTFE sheet 34, The metering roll 27 which sends a fixed amount of a rubber coating agent to this coating roll 26, the 1st furnace 21 which dries the laminated body 44 of the said PTFE sheet 33 and 34 to which the rubber coating agent was apply | coated, The second furnace 22 for firing the laminated body 44 passing through the first furnace 21 to form the composite sheet 35 and the roll for blowing back 29 for winding the fired composite sheet 35 It is equipped with the structure provided. By the apparatus of this structure, the composite sheet 35 which is more excellent in peeling strength than the conventional composite sheet, and is excellent in safety, workability, economy, and practicality is obtained.

또, 상기 실시예 3에서는 PTFE디스퍼젼을 사용한 경우에 대해서 서술했으나 이에 한정되지 않고 예를 들면 도전성 카본블랙을 배합한 PTFE디스퍼젼을 사용해도 된다.In addition, although the case where PTFE dispersion was used was mentioned in the said Example 3, it is not limited to this, For example, you may use PTFE dispersion which mix | blended conductive carbon black.

(실시예 4)(Example 4)

우선, 실시예 2와 동일하게 제조한 기재의 일면에 혼합분산액(초미립자상 실리카분말, 계면활성제, PTFE수성분산액)으로 표면처리를 실시하고 그 면에 실리콘고무용액을 도포했다. 다음으로 도포한 면에 미리 일면에 표면처리를 실시한 기재를 얹어 닙롤(Nip Roll)로 끼워 넣어 열경화시켰다.First, one surface of the substrate prepared in the same manner as in Example 2 was subjected to surface treatment with a mixed dispersion (ultrafine silica powder, surfactant, and PTFE aqueous acid solution), and a silicone rubber solution was applied to the surface. Next, the base material which surface-treated on one surface beforehand was put on the apply | coated surface, and it inserted into a nip roll and thermosetted.

실시예 4에 관한 복합시트는 내열성 기재의 일면에 표면처리를 실시하고 이 처리면측에 표면처리를 실시한 별도의 내열성 기재를 내열성을 갖는 실리콘 고무층 을 통하여 겹친 구성으로 되어 있다. 따라서, 실시예 1과 동일한 효과를 갖는 다른 내열성 기재의 양면에 실리콘 고무층이 형성되어 있으므로 내구성을 향상시킬 수 있음과 동시에 도전성의 향상을 꾀할 수 있다.The composite sheet according to Example 4 has a structure in which another heat-resistant base material subjected to surface treatment on one surface of the heat-resistant base material and surface-treated on the side of the heat treatment substrate is laminated through a silicone rubber layer having heat resistance. Therefore, since the silicone rubber layers are formed on both surfaces of the other heat resistant substrate having the same effect as in Example 1, the durability can be improved and the conductivity can be improved.

(실시예 5)(Example 5)

실시예 1의 실리콘 고무용액에 열전도성 미립자로서의 산화마그네슘을 배합하는 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 복합시트를 형성했다.The composite sheet was formed like Example 1 except having mix | blended magnesium oxide as thermally conductive fine particles with the silicone rubber solution of Example 1.

실시예 5에 의하면 상기 열압착에 관련되는 유지시간을 단축시킬 수 있어 생산효율이 향상되는 효과를 갖는다.According to Example 5, it is possible to shorten the holding time associated with the thermocompression, thereby improving the production efficiency.

이상 상술한 바와 같이 본 발명의 복합시트에 의하면 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층상에 형성된 내열성 고무층을 구비한 구성으로 하므로써 이형성 및 쿠션성이 뛰어남과 동시에 안전성, 경제성, 생산성이 우수하고 장척제조와 박물제조가 가능해진다.As described above, according to the composite sheet of the present invention, a sheet-shaped heat resistant substrate made of a fluorine resin containing a fluorine resin or a conductive material, a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate, and heat resistance formed on the silica fine particle layer The configuration provided with the rubber layer provides excellent releasability and cushioning properties, as well as excellent safety, economical efficiency and productivity, and enables long-length manufacturing and thin-film manufacturing.

또, 본 발명의 복합시트에 의하면 내열성 섬유직포에 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지를 배합하여 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층상에 형성된 내열성 고무층을 구비한 구성으로 하므로써 상기와 동일한 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the composite sheet of the present invention, a sheet-shaped heat resistant substrate formed by blending a fluorine resin containing a fluorine resin or a conductive material with a heat resistant fiber woven fabric, a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate, and the silica fine particle layer shape By setting it as the structure provided with the heat resistant rubber layer formed in this, the same effect as the above can be acquired.

또한 본 발명의 복합시트의 제조장치에 의하면, 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기판을 송출하는 송출용 롤과, 상기 내열성 기판상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤과, 고무코팅제가 도포된 상기 내열성 기판을 건조하는 제 1 로와, 상기 제 1 로를 거친 상기 내열성 기판을 소성하고 복합시트를 형성하는 제 2 로와, 소성한 복합시트를 권취하는 권취용 롤을 구비한 구성으로 하므로써 이형성 및 쿠션성이 뛰어남과 동시에 안전성, 경제성, 생산성이 뛰어나고 장척제조와 박물제조가 가능한 복합시트를 얻을 수 있다.In addition, according to the apparatus for producing a composite sheet of the present invention, a roll for sending out a sheet-shaped heat-resistant substrate made of fluorine resin, a coating roll for applying a predetermined amount of a rubber coating agent on the heat-resistant substrate, and the rubber coating agent is applied The first furnace for drying the heat resistant substrate, the second furnace for firing the heat resistant substrate passing through the first furnace to form a composite sheet, and the winding roll for winding the fired composite sheet are provided. At the same time, it is possible to obtain a composite sheet that is excellent in cushioning properties, has excellent safety, economy and productivity, and is capable of making long and thin articles.

Claims (11)

전자기기의 제조공정 중 하나인 압착공정에서 사용되는 복합시트에 있어서, 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트. In the composite sheet used in the pressing process which is one of the manufacturing processes of an electronic device, the sheet-like heat resistant base material which consists of a fluorine resin containing a fluororesin or a conductive material, the silica fine particle layer formed in one surface of this heat resistant base material, A composite sheet comprising a heat resistant rubber layer formed on a silica fine particle layer. 제 1항에 기재된 내열성 기재의 일면에 실리카 미립자층을 형성한 제 1 내열성 기재와, 제 1항에 기재된 내열성 기재의 일면에 실리카 미립자층을 형성한 제 2 내열성 기재를 구비하고, 상기 제 1ㆍ제 2 내열성 기재끼리를 실리카 미립자층 면측을 대향시킨 상태에서 양자 간에 내열성 고무층을 통해서 겹친 구성인 것을 특징으로 하는 복합시트.A first heat resistant substrate having a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate according to claim 1, and a second heat resistant substrate having a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate according to claim 1; A composite sheet comprising a structure in which second heat resistant substrates are laminated on both sides of a silica fine particle layer through a heat resistant rubber layer in a state of facing each other. 제 1항에 있어서, 상기 내열성 고무층은 실리콘 고무용액에 열전도성 미립자를 배합한 혼합물을 도포, 열경화시켜 얻은 것을 특징으로 하는 복합시트.The composite sheet according to claim 1, wherein the heat resistant rubber layer is obtained by applying and thermally curing a mixture of thermally conductive fine particles in a silicone rubber solution. 제 3항에 있어서, 상기 열전도성 미립자는 알루미나, 티타니아, 산화마그네슘, 실리카, 카본블랙, 그라파이트, 금, 은, 동, 알루미늄, 파라듐 중에서 선택되는 것임을 특징으로 하는 복합시트. The composite sheet of claim 3, wherein the thermally conductive fine particles are selected from alumina, titania, magnesium oxide, silica, carbon black, graphite, gold, silver, copper, aluminum, and palladium. 제 1항에 있어서, 상기 도전성 재료는 도전성 위스커, 카본블랙, 그라파이트, 카본섬유, 금, 은, 동, 알루미늄, 파라듐 중에서 선택되는 것임을 특징으로 하는 복합시트.The composite sheet of claim 1, wherein the conductive material is selected from a conductive whisker, carbon black, graphite, carbon fiber, gold, silver, copper, aluminum, and palladium. 전자기기의 제조공정 중 하나인 압착공정에서 사용되는 복합시트에 있어서, 내열성 섬유직포에 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지를 배합시켜 이루어지는 시트형상의 내열성 기재와, 이 내열성 기재의 일면에 형성된 실리카 미립자층과, 이 실리카 미립자층 상에 형성된 내열성 고무층을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트.In the composite sheet used in the crimping step, which is one of electronic device manufacturing processes, a sheet-shaped heat resistant substrate formed by blending a fluorine resin containing a fluorine resin or a conductive material with a heat resistant fiber woven fabric, and formed on one surface of the heat resistant substrate. A composite sheet comprising a silica fine particle layer and a heat resistant rubber layer formed on the silica fine particle layer. 제 6항에 기재된 내열성 기재의 일면에 실리카 미립자층을 형성한 제 1 내열성 기재와, 제 6항에 기재된 내열성 기재의 일면에 실리카 미립자층을 형성한 제 2 내열성 기재를 구비하고, 상기 제 1ㆍ제 2 내열성 기재끼리를 실리카 미립자층 면측을 대향시킨 상태에서 양자간에 내열성 고무층을 통하여 겹친 구성인 것을 특징으로 하는 복합시트.A first heat resistant substrate having a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate according to claim 6, and a second heat resistant substrate having a silica fine particle layer formed on one surface of the heat resistant substrate according to claim 6, A composite sheet comprising a structure in which the second heat resistant substrates are laminated on both sides of the silica fine particle layer through the heat resistant rubber layer therebetween. 제 6항에 있어서, 상기 내열성 고무층은 실리콘 고무용액에 열전도성 미립자를 배합한 혼합물을 도포, 열경화시켜 얻은 것을 특징으로 하는 복합시트.The composite sheet according to claim 6, wherein the heat resistant rubber layer is obtained by applying and thermally curing a mixture of thermally conductive fine particles in a silicone rubber solution. 제 8항에 있어서, 상기 열전도성 미립자는 알루미나, 티타니아, 산화마그네슘, 실리카, 카본블랙, 그라파이트, 금, 은, 동, 알루미늄, 파라듐 중에서 선택되는 것임을 특징으로 하는 복합시트. The composite sheet of claim 8, wherein the thermally conductive fine particles are selected from alumina, titania, magnesium oxide, silica, carbon black, graphite, gold, silver, copper, aluminum, and palladium. 제 6항에 있어서, 상기 내열성 섬유직포는 글래스 섬유, 탄소섬유, 알루미나 등의 세라믹 섬유, 스텐레스 등의 금속섬유, 폴리아미드계 섬유, 폴리아라미드계 섬유, 폴리에스테르계 섬유, 폴리비닐알콜계 섬유 중에서 선택되는 것임을 특징으로 하는 복합시트.The method of claim 6, wherein the heat-resistant fiber woven fabric is selected from among glass fiber, carbon fiber, ceramic fiber such as alumina, metal fiber such as stainless steel, polyamide fiber, polyaramid fiber, polyester fiber and polyvinyl alcohol fiber. Composite sheet, characterized in that selected. 불소수지 또는 도전성 재료를 포함하는 불소수지로 이루어지는 시트형상의 내열성 기재를 송출하는 송출용 롤과, 상기 내열성 기재상에 고무코팅제를 일정량 도포하는 코팅 롤과, 고무코팅제가 도포된 상기 내열성 기재를 건조하는 제 1로와, 이 제 1 로를 거친 상기 내열성 기재를 소성하고 복합시트를 형성하는 제 2 로와, 소성한 복합시트를 권취하는 권취용 롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 복합시트의 제조장치. A drying roll for sending out a sheet-shaped heat resistant substrate made of a fluorine resin or a fluorine resin containing a conductive material, a coating roll for applying a predetermined amount of a rubber coating agent on the heat resistant substrate, and the heat resistant substrate coated with a rubber coating agent And a second furnace for firing the heat-resistant base material passed through the first furnace to form a composite sheet, and a winding roll for winding the fired composite sheet. .
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