KR100784396B1 - 평판 코일을 갖는 자기 헤드의 제조방법 - Google Patents

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마아스헨리쿠스지.알.
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

헤드면을 갖고, 이 헤드면에 평행하게 연장되는 평판 자기 코일(7)을 구비한 자기 헤드를 제조하는 간단한 방법이 제공된다. 본 발명에 따르면, 제 1 기판(1)의 제 1 면에 자기 코일이 형성된다. 그후, 자기 코일이 설치된 제 1 기판의 제 1 면이 제 2 기판(9)의 일면에 부착된 후, 자기 코일이 헤드면 가까이 배치되도록 헤드면을 형성하기 위해, 제 1 면의 반대쪽에 위치한 제 1 기판의 제 2 면으로부터 제 1 기판의 물질이 제거된다.
Figure 112002010369117-pct00001
자기 헤드, 평판 코일, 헤드면, 슬라이더, 광자기 기록

Description

평판 코일을 갖는 자기 헤드의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING A MAGNETIC HEAD HAVING A PLANAR COIL}
본 발명은, 헤드면을 갖고, 이 헤드면에 평행하게 연장되는 자기 코일을 구비한 자기 헤드의 제조방법에 관한 것이다.
이와 같은 방법은, 논문 IEEE Transactions on Magnetics, Vol. 25, No. 5, September 1989, pages 3190-3193에 공지되어 있다. 이 논문에는, 고밀도 자기기록을 위해 IC 헤드로 불리는 실리콘 상의 박막 헤드를 구현하는 제조공정이 기재되어 있다. 이 제조공정은, 복수의 홈이 에칭된 실리콘 웨이퍼에서 시작한다. 이들 홈 내부에는, 도전체의 나선 코일을 구비한 자기 헤드들이 형성된다. 이 공정의 완료시 공기 베어링 표면이 형성되며, 웨이퍼가 개별 부품들로 다이싱되기 전에 에칭에 의해 슬라이더들이 형성된다.
고밀도 기록을 구현하는 한가지 방법은 광자기(MO) 기록을 사용하는 것이다. 이와 같은 기록과정에서는, 기록층 내부의 자기 입자들을 분극화하기 위해 자기장을 이용하여, 자기매체, 예를 들면 디스크의 자기 기록층에 데이터가 기록된다. 해당 층으로부터 반사된 편광된 빛의 커 회전(Kerr rotation)을 광학적으로 검출함으로써, 이와 같은 층에서 정보를 판독할 수 있다. 대부분의 자기 매체에 있어서는, 매체의 높은 보자력으로 인해 자기 물질의 완전한 분극을 달성하기 위해서는 비교 적 강력한 자기장이 필요하다. 자기매체를 가열하면, 완전한 분극을 위해 필요한 자기장 세기의 임계값이 매우 낮아진다. 열지원 자기기록은 이와 같은 현상을 이용한다. 예를 들어, 레이저 펄스 자기장 변조(Laser Pulsed Magnetic Field Modulation: LP-MFM)를 사용한 MO 기록 방식에서는, 자기매체를 국부적으로 가열하기 위해 레이저 펄스가 사용되는 한편, 레이저 펄스의 타이밍과 동기가 맞추어진 자기장이 가열된 영역을 분극시킨다. LP-MFM 광자기 기록에 적합한 자기 헤드는, 자기장 변조(MFM) 코일을 가져야만 하며, 보통 레이저 광을 안내하는 투명 가이드를 갖는다. 레이저 빔은, 자기매체를 가열하고, 커 효과의 검출을 통해 자기매체로부터 데이터를 판독하는데 사용될 수 있다. 보통, 투명 가이드는 코일과 동축이 되도록 배치된다. 제한된 전력 소모로 충분히 높은 자기장 세기를 얻기 위해, 코일의 내경은 가능한한 작게 형성된다.
열지원 자기기록에 의해 MO 매체 상에 기록될 수 있는 데이터 비트들의 크기는, 초점이 맞추어진 레이저 빔의 스폿 크기 및 스폿의 열적 프로파일과, 매체 그 자체의 열적 특성에 의해 제한된다. 스폿의 광학 크기는, 사용된 레이저 광의 파장(λ)과 광 경로의 개구수(numerical aperture: NA)에 의존하여, 0.61 λ/NA 정도의 반경(r)을 갖는 회절 제한된 스폿을 제공하게 된다. 근접장 기록에 있어서는, 반사 광학부품의 내부 전반사 면에서 발생하는 에버네센트(evanescent) 파를 사용하여 1보다 큰 NA가 얻어질 수 있다. 이에 대한 요구조건은, 기록매체에 대해, 자기 헤드, 특히 그것의 광학부품이, 사용된 레이저 광의 파장의 몇분의 1에 해당하는 거리에 놓여야 한다는 것이다. 근접장 기록과 같은 MO 기록에서 더 높은 기록밀 도를 달성하기 위해서는, 헤드에서 매체 사이의 거리가 서브미크론 범위에 가깝게 줄어들어야 한다고 생각된다.
저장매체에 자기기록하는 시스템에 있어서는, 광학부품들이 슬라이더와 결합되고, 슬라이더는 서스펜션에 의해 지지되며 액추에이터의 대물렌즈 아래에 배치되고, MFM 코일은 슬라이더 내부에 일체화된다. 슬라이더는, 동작중에 저장매체의 표면에 있는 공기 베어링 위에서 부유하기 위한 공기 베어링 표면(Air Bearing Surface: ABS)을 구비한다.
이와 같은 슬라이더에 대해서는, 자기 헤드의 코일이 ABS의 평면 가까이에 있는 평판 코일인 것이 필수적이다. 전술한 IEEE 논문에 기재된 방법에서, 이것은 실리콘 웨이퍼 내부에 노치를 형성한 다음, 이 노치 내부에 코일을 매립하여 구현된다. 이와 같은 공지된 방법의 문제점은, 노치를 만드는 것이 어렵다는 점이다. 더구나, 이와 같은 노치는 다성분 글라스 등의 대부분의 광학재료에서는 구현하기가 곤란한데, 이것은 일반적으로 이들 재료를 에칭하기 어렵기 때문이다. 코일 구조가 포토리소그래피 기술을 이용하여 형성되기 때문에, 함몰부 내부에 코일을 형성하는 것은 관련된 토포그래피(topography)로 인해 난해한 공정이 된다. 이에 덧붙여, 연속하는 코일층들 사이의 중간에 평탄화를 하는 것은 기계적으로 불가능하다.
결국, 본 발명의 목적은, 평판 코일이 헤드면 근처에 배치된 자기 헤드를 제조하는 간단한 방법을 제공함에 있다.
상기한 목적은, 헤드면을 갖고, 이 헤드면에 평행하게 연장되는 자기 코일을 구비한 자기 헤드의 제조방법에 의해 달성되는데, 이 방법에서는, 자기 코일이 제 1 기판의 제 1 면에 형성된 후, 자기 코일이 설치된 제 1 기판의 제 1 면이 제 2 기판의 일면에 부착, 특히 접착된 다음, 제 1 면의 반대쪽에 위치한 제 1 기판의 제 2 면으로부터 제 1 기판의 물질의 제거되어 헤드면을 형성한다.
본 발명에 따른 방법은, 헤드면에 인접하여 평판 자기 코일을 구현하는데 필요한 단지 몇 개의 마스크 스텝만을 포함한다. 슬라이더에 사용하도록 의도된 자기 헤드의 경우에는, 자기 헤드가 슬라이더 내부에 일체화될 수 있으며, 헤드면이 공기 베어링 표면의 적어도 일부분을 구성한다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에 있어서, 제 1 기판은, 예를 들면 SiO2 또는 ZrO4 등의 산화물 또는 다이아몬드 등의 경질 재료와 같은 상부층이 설치된 실리콘 기판일 수 있으며, 이와 같은 상부층은 제 1 기판의 제 1 측에 인접 배치된다. 일반적으로, 상부층은 제 1 기판의 제 1 면을 구성한다. 실리콘 기판은 Si 웨이퍼일 수 있다. 제 1 기판을 제 2 기판에 부착한 후, 실리콘 기판의 적어도 일부가 제거되어 헤드면을 형성한다. 이것은, Si 및 SiO2에 대한 선택적 에쳔트인 예를 들면 가열된 KOH 에쳔트를 사용하여, 에칭에 의해, 바람직하게는 상부층에서 멈추는 선택적 에칭공정을 사용하여 달성될 수 있다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에 있어서는, 제 1 기판 상에 금속의 층을 형성하는 과정을 포함하는 스텝을 거친 후, 비도전 물질의 층을 형성하는 과정과 또 다른 금속층을 형성하는 과정과, 2개의 인접한 금속층 사이에 배선을 형성하는 과정을 포함하는 적어도 한 개의 또 다른 스텝을 수행하여, 자기 코일을 생성한다. 이들 금속층은, Cu 등의 적절한 금속의 증착, 예를 들면 전착을 사용하여 형성될 수 있다. 비도전 물질의 층은, 예를 들면, Al2O3 등의 산화물을 적층하거나, 또는 폴리머의 스핀 코팅에 의해, 또는 스핀온 글라스(spin-on-glass) 등의 임의의 적절한 방법을 사용하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 에칭에 의해 비도전 물질의 층 내부에 복수의 구멍이 형성된 후, 배선이 형성될 수 있다. 또한, 배선은 리소그래피 공정을 사용하여 형성될 수도 있다.
상기한 비도전층은, 예를 들면 화학적 기계적 연마 등의 연마공정을 사용하여 평탄화될 수 있으며, 이것은 코일의 품질을 향상시킨다.
본 발명에 따른 방법의 일 실시예에 있어서는, 글라스 물질의 기판이 제 2 기판으로서 사용된다. 이것은 투명 부분은 갖는 자기 헤드를 생성한다. 이와 같은 헤드는, MO 헤드로 사용될 수 있으며, 광 가이드(light guide)를 가질 수 있다.
추가적인 스텝에서는, 계면에서의 원치않는 반사 등과 같은 광학 문제를 피하기 위해, 글라스 기판의 굴절률과 일치하는 굴절률을 갖는 물질로 투명 가이드가 제조될 수 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 슬라이더, 특히 광자기 기록용 시스템에 적용가능한 슬라이더를 제조하며, 자기 코일, 형성된 공기 베어링 표면과 공기 베어링 표면에 대한 자기 코일의 규정된 위치가 적은 수의 스텝으로 구현될 수 있도록 하는 제조방법을 제공함에 있다.
이와 같은 또 다른 목적은, 공기 베어링 표면을 갖고, 이 공기 베어링 표면 에 평행하게 연장되는 평판 자기 코일을 구비한 슬라이더의 제조방법에 의해 달성되는데, 이 방법에서는, 제 1 기판의 제 1 면에 자기 코일이 형성된 후, 제 1 기판의 제 1 면이 제 2 기판의 일면에 부착된 다음, 표면을 형성하기 위해, 제 1 면의 반대쪽에 위치한 제 1 기판의 제 2 면으로부터 제 1 기판의 물질이 제거된 후, 이 표면을 가공하여 공기 베어링 표면을 형성한다. 본 발명에 따른 방법의 일부 스텝을 수행하기 위해 표준 기술이 사용될 수 있다. 제 1 기판의 물질의 제거와 상기한 표면의 가공은, 바람직하게는 에칭에 의해 달성된다. 실제로, 형성된 자기 코일은 얻어진 슬라이더 내부에 일체화된 자기 헤드의 일부분에 해당한다. 자기 코일이 전기 접속용 리드선을 갖는다는 것은 명백하다.
본 발명에 따른 슬라이더의 제조방법의 일 실시예에 있어서는, 실리콘 기판 상에, 절연물질의 상부층이 설치되어 제 1 기판을 형성하고, 이 상부층은 제 1 면에 인접배치되며, 글라스 기판이 제 2 기판으로 사용되고, 제 2 기판에 제 1 기판을 부착한 후, 실리콘 기판이 제거된다. 일반적으로, 상부층은 제 1 면을 구성한다. 실리콘 기판은 실리콘 웨이퍼일 수 있다. 상부층은 SiO2 등의 산화물일 수 있다.
상부층이 얻어진 슬라이더에 대해 보호층으로서의 기능을 하기 때문에, 사용중에, 예를 들면, 기록매체의 표면과의 충돌 또는 먼지 입자와의 부딪침에 기인한 슬라이더의 손상을 방지하기 위해서는, 다이아몬드와 유사한(diamond-like) 코팅이나 ZrO2 층 등의 경질 재료의 상부층이 바람직하다. 보호층이 어떤 추가적인 스텝을 필요로 하지 않으며, 제 1 기판의 상부층에 의해 간단히 형성되는 것이 유리하다.
슬라이더의 제조방법의 일 실시예는, 자기 코일을 형성하는 동안, 자기 코일 옆에 금속층이 형성되고, 이 금속층은, 공기 베어링 표면을 형성하기 위해 표면을 가공하는 동안, 적어도 부분적으로 제거되어 함몰부를 형성하는 것을 특징으로 한다. 이 금속층은, 자기 코일을 형성하는데 사용된 것과 동일한 금속재료, 예를 들면 Cu의 적층에 의해 형성하는 것이 바람직하다. 금속물질의 제거는, 예를 들면, 표준 Cu 에쳔트를 사용한 에칭에 의해 간단히 달성될 수 있다. 원하는 함몰부의 두께는 금속층의 두께에 의해 조정될 수 있다.
상기한 방법의 일 실시예는, 자기 코일을 형성하는 동안, 히트싱크층이 제조중인 자기 코일의 옆에 형성된다. 히트싱크층으로 적합한 물질은 Cu로서, 이것은 자기 코일용 물질로도 사용될 수 있다. 히트싱크층은 바람직하게는, 자기 코일의 주위에 또는 일부가 자기 코일의 주위에 배치된다. 결과적으로 얻어진 슬라이더 내부의 히트싱크층은, 자기 코일로부터 슬라이더의 한 개 또는 그 이상의 가장자리로 열을 전달하는 역할을 하는데, 이 위치에서는 슬라이더를 냉각시키기 위한 공기 냉각과 방열이 매우 효과적일 수 있다. 원하는 경우에는, 히트싱크와 확장된 영역을 갖는 냉각체, 또는 펠티에 소자 등의 능동 냉각기 사이에 실제적인 열적 접속(thermal connection)이 행해질 수 있다.
또 다른 실시예에 있어서는, 상호접속된 복수의 코일층으로 구성된 적층체가 형성되어 자기 코일을 생성한다.
이때, 특허청구된 슬라이더 제조방법은, 특허청구된 자기 헤드의 제조방법으 로 얻어진 이점 및 효과와 유사한 이점 및 효과를 갖는다는 점에 주목하기 바란다.
더구나, 본 발명은 본 발명에 따른 방법을 사용하여 제조된 슬라이더에 관한 것이다. 본 발명에 따른 슬라이더는, 공기 베어링 표면에 인접한 평판 자기 코일을 갖고, 바람직하게는, 광 빔이 코일의 중앙 영역을 축방향으로 통과할 수 있도록, 국부적으로 투명하게 형성된다. 이 슬라이더는 바람직하게는 청구항 11에 기재된 특징을 갖는다.
더구나, 본 발명은, 저장매체에 정보를 자기적으로 또는 광자기적으로 기록하는 시스템에 관한 것으로, 이 시스템은 본 발명에 따른 슬라이더를 구비한다.
청구범위를 참조하면, 청구항들의 집합에 기재된 다양한 특징부들이 조합될 수 있다는 점에 주목하기 바란다.
본 발명의 전술한 발명내용과 또 다른 발명내용은, 이하에서 설명되는 실시예를 참조하여 더욱 더 명백해질 것이다.
도면에서,
도 1 내지 8은 본 발명에 따른 방법의 일 실시예의 다수의 단계를 개략적으로 나타낸 것으로, 이중에서,
도 8은 본 발명에 따른 슬라이더의 제 1 실시예를 나타내고 있으며,
도 9a는 본 발명의 슬라이더의 제 2 실시예를 단면도로 개략적으로 나타낸 것이고,
도 9b는 도 9a의 IXB-IXB선에 따른 제 2 실시예를 단면도로 나타낸 것이며,
도 10은 본 발명에 따른 시스템의 일 실시예를 사시도로 개략적으로 나타낸 것이다.
이하, 슬라이더(10)를 제조하는 본 발명에 따른 방법의 일 실시예를 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한다. 본 실시예는 실리콘 기판(1)에서 시작하며, 이 기판(1)은 Si 웨이퍼의 일부분을 구성한다. 절연물질, 특히 SiO2 또는 Al2O3 등의 산화물이, 예를 들면 열산화, 스퍼터링 또는 증착에 의해, 기판(1)의 주표면 상에 증착되어, 예를 들어 0.5㎛의 두께를 갖는 박막 상부층(3)이 형성된다. 기판(1)과 상부층(3)은 함께, 제 1 면(5a)과 이 제 1 면(5a)에 평행한 제 2 면(5b)을 갖는 제 1 기판을 구성한다. 예를 들면, 구리 또는 다른 적절한 전기 도전성 물질의 스퍼터 증착 또는 전착에 의해, 1개 또는 그 이상의 코일 권취부가 설치된 제 1 도전층 또는 금속층(7a)이 제 1 기판의 제 1 면(5a)에 형성된다. 그후, 예를 들면, SiO2 또는 Al2O3의 증착 또는 폴리머의 스핀코팅에 의해, 제 1 도전층(7a) 위에 비도전층(7b)이 형성된다. 그후, 절연층(7b) 위에 제 2 도전층(7c)이 형성되며, 제 2 도전층(7c)이 형성되기 전에, 예를 들면 비도전층(7b)을 국부적으로 에칭함으로써, 제 1 및 제 2 도전층 사이의 배선이 이루어진다.
이들 층 7a, 7b 및 7c는 함께, 코일 축(7A)을 갖는 평판 자기 코일(7)을 구성한다. 이때, 또 다른 실시예에 있어서는, 코일(7)이 단지 한 개의 도전층을 가질 수 있다는 점에 주목하기 바란다. 코일(7)을 형성한 후, 본 실시예에 있어서는 기 술상의 공정 문제로 인해 위치를 바꾼, 제 1 기판의 제 1 면(5a)이 예를 들면 글라스로 제조된 제 2 기판(9)의 일면(9a)에 부착, 특히 접착된다. 이때, 제 2 기판(9)은 글라스 웨이퍼의 일부를 구성한다. 적절한 접착제로는, 예를 들면 아크릴산 수지 바니시, 1,6-헥산디오디아크릴산(1,6-hexanediodiacrylate)을 들 수 있다. 다음 단계에서는, 가열된 KOH로 기판(1)을 제거, 특히 에칭 제거하여, 면(13)을 생성한다. 그후, 1개 또는 그 이상의 함몰된 부분(13a)을 구비한 면(13)인 공기 베어링 표면(15)을 생성하기 위해, 예를 들면 절연물질을 국부적으로 에칭제거하여, 상부층(13)을 먼저 국부적으로 제거하고, 국부적인 에칭에 의해 제 1 도전층(7a)의 1개 또는 그 이상의 절개된 부분(7B)의 물질을 국부적으로 제거하여, 이 면(13)이 가공된다. Cu가 코일(7)에 대한 도전성 물질로 사용되는 경우에는, 공기 베어링 표면(15)을 형성하기 위해 Cu 에쳔트가 사용된다. 다중 금속층을 사용함으로써, 함몰된 부분 또는 부분들(13a)의 깊이를 조정할 수 있다.
슬라이더의 사용중에, 전술한 방법에 의해 얻어진 슬라이더의 공기 베어링 표면(15)은, 저장매체와 슬라이더의 접촉을 피하기 위해, 움직이는 저장매체의 표면과 이 표면에 인접 배치된 슬라이더(10) 사이에서 생기는 공기의 흐름을 조절하는 역할을 한다.
이때, 전술한 방법은 자기 헤드를 제조하는데에도 사용될 수 있다는 점에 주목하기 바란다. 이 경우, 도 7 및 도 8에 도시된 스텝은 생략할 수 있다. 이것은, 도 6에 도시된 제품이 자기 헤드일 수 있으며, 면(13)은 헤드면을 구성한다는 것을 의미한다. 슬라이더인 경우와 자기 헤드인 경우 모두에서, 상부층은 보호층으로서 의 역할을 한다.
더구나, 도 8에 도시된 슬라이더는, 투명한 코일 중심(7C)을 갖고, 투명한 물질의 적절한 선택에 의해 코일 축(7A)을 따라 투명하여, 슬라이더가 상기한 중심을 통과하는 광 빔에 대해 투명하게 된다는 점에 주목하기 바란다.
전술한 실시예의 변형예에 있어서는, 코일(7)의 형성중에 히트싱크층이 형성된다. 도 9a 및 도 9b는 히트싱크(17)를 구비한 본 발명에 따른 슬라이더의 일 실시예를 나타낸 것이다. 전술한 실시예의 유사한 구성요소에 대응하는 본 변형예의 구성요소는 동일한 참조부호를 갖는다. 해당 변형예에서, 히트싱크는, 자기 코일(7)과 그것의 접속면 7f1 및 7f2를 형성하기 위해 적층된 것과 동일한 금속의 적층에 의해, 코일과 동시에 형성된다. 히트싱크(17)는, 자기 코일(7)에 인접하여, 즉 적어도 부분적으로 자기 코일의 주위 및/또는 상부 또는 하부에 위치하며, 코일의 권선 또는 권선들로부터의 열을 슬라이더의 가장자리로 전달하는 역할을 하는데, 이 가장자리에서는 슬라이더를 사용하는 동안 대류와 복사가 슬라이더를 효율적으로 냉각시킨다. 특정한 실시예에 있어서는, 히트싱크와, 확장된 영역을 갖는 냉각체, 또는 펠티에 소자 등의 능동 냉각기 사이에, 열적 접속이 행해질 수 있다.
도 10에 도시된 본 발명에 따른 시스템의 일 실시예는, 광자기 정보 디스크(100)의 기록 및/또는 판독에 적합하다. 디스크(100)는, 받침대에 장착된 전기 구동가능한 스핀들에 의해 회전가능하게 지지되어 있다. 동작중에, 디스크(100)는 화살표 A로 표시한 회전방향으로 회전한다. 이 시스템은, 받침대 상에 병진운동가능하게 지지되고, 참조부호 104로 나타낸 투명체를 갖고 참조부호 110으로 표시 한 본 발명에 따른 슬라이더의 일 실시예를 지지하는 굴곡부재(102a)를 갖는 아암(102)을 구비한다. 아암(102)을 병진운동시키기 위해 전기 구동장치가 설치되며, 디스크(100) 위에서 병진운동하는 동안, 슬라이더(110)는 화살표 B로 표시된 반경방향으로 이동한다. 기록 및/또는 판독 중에, 슬라이더의 공기 베어링 표면은 디스크(100)의 주 표면에 대향하여 이 주표면으로부터 떨어져 배치된다. 아암(102)은, 슬라이더(110)의 투명 중심을 통과하는 광축(106a)을 갖는 렌즈부(106)를 지지한다. 이때, 코일을 참조부호 107로 표시하였다.
본 발명에 따른 시스템은 데이터 저장 시스템일 수 있다. 이와 달리, 이 시스템은 오디오 및/또는 비디오 시스템일 수 있다. 이때, 병진운동가능한 아암 대신에, 회전가능한 아암이 사용될 수 있다.

Claims (12)

  1. 헤드면을 갖고, 이 헤드면에 평행하게 연장되는 자기 코일을 구비한 자기 헤드의 제조방법에 있어서,
    상기 자기 코일이 제 1 기판의 제 1 면에 형성된 후, 상기 자기 코일이 설치된 상기 제 1 기판의 제 1 면이 제 2 기판의 일면에 부착된 다음, 상기 제 1 면의 반대쪽에 위치한 상기 제 1 기판의 제 2 면으로부터 상기 제 1 기판의 물질의 제거되어 헤드면을 형성하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    절연물질의 상부층이 설치된 실리콘 기판이 상기 제 1 기판으로 사용되고, 이 상부층은 상기 제 1 면에 인접한 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상에 금속의 층을 형성하는 과정을 포함하는 스텝을 거친 후, 비도전 물질의 층을 형성하는 과정과 또 다른 금속층을 형성하는 과정과, 2개의 인접한 금속층 사이에 배선을 형성하는 과정을 포함하는 적어도 한 개의 또 다른 스텝을 수행하여, 자기 코일을 생성하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    글라스 물질의 기판이 상기 제 2 기판으로 사용되는 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조방법.
  5. 공기 베어링 표면을 갖고, 이 공기 베어링 표면에 평행하게 연장되는 평판 자기 코일을 구비한 슬라이더의 제조방법에 있어서,
    제 1 기판의 제 1 면에 자기 코일이 형성된 후, 상기 제 1 기판의 제 1 면이 제 2 기판의 일면에 부착된 다음, 표면을 형성하기 위해, 상기 제 1 면의 반대쪽에 위치한 상기 제 1 기판의 제 2 면으로부터 제 1 기판의 물질이 제거된 후, 상기 표면을 가공하여 상기 공기 베어링 표면을 형성하는 것을 특징으로 하는 슬라이더의 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    실리콘 기판 상에, 절연물질의 상부층이 설치되어 상기 제 1 기판을 형성하고, 이 상부층은 상기 제 1 면에 인접배치되며, 글라스 기판이 상기 제 2 기판으로 사용되고, 제 2 기판에 제 1 기판을 부착한 후, 상기 실리콘 기판이 제거되는 것을 특징으로 하는 슬라이더의 제조방법.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 자기 코일을 형성하는 동안, 자기 코일 옆에 금속층이 형성되고, 이 금속층은, 상기 공기 베어링 표면을 형성하기 위해 표면을 가공하는 동안, 적어도 부분적으로 제거되어 함몰부를 형성하는 것을 특징으로 하는 슬라이더의 제조방법.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 자기 코일을 형성하는 동안, 히트싱크층이 제조중인 자기 코일의 옆에 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이더의 제조방법.
  9. 제 5항에 있어서,
    상호접속된 복수의 코일층으로 구성된 적층체가 형성되어 상기 자기 코일을 생성하는 것을 특징으로 하는 슬라이더의 제조방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
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