KR100782294B1 - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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주식회사 아토
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Abstract

독립 구동 방식에 의하여 웨이퍼를 2장 단위로 동시에 이송할 수 있는 웨이퍼 이송 장치에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예는 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 복수의 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된 2개의 로봇은 독립 구동되는 것으로 이루어진다.
진공 로봇, 다관절 아암, 다관절 듀얼 아암

Description

웨이퍼 이송 장치{Apparatus for wafer transfer}
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예를 도시한 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 로봇부 중 하나의 로봇의 일실시예를 도시한 것이다.
도 3은 도 2에 도시된 로봇부의 대기 상태를 참고적으로 도시한 것이다.
도 4는 도 2에 도시된 로봇부의 웨이퍼 이송 상태를 참고적으로 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 6 및 도 7은 도 5에 도시된 웨이퍼 이송 장치의 로봇부의 일실시예를 도시한 것이다.
도 8은 로봇부의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 9는 도 8에 도시된 로봇부의 웨이퍼 이송 상태를 참고적으로 도시한 것이다.
본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 독립 구동 방식에 의하여 웨이퍼를 2장 단위로 동시에 또는 순차적으로 이송할 수 있는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
일반적인 웨이퍼 이송 장치는 1장의 웨이퍼를 동시에 이송하기 위하여 EFEM(Equipment Front End Module), 로드락 모듈(Loadlock Module) 및 복수의 프로세스 모듈(Process Module)로 구성된다.
여기서, EFEM은 2개의 대기반송로봇을 구비하여 2개의 대기반송로봇이 동시에 또는 시간차를 두고 로드락 모듈로 또는 로드락 모듈로부터 웨이퍼를 이송하며, 로드락 모듈은 한번에 2장의 웨이퍼의 이송이 가능한 진공 로봇을 구비하여 프로세스 모듈과 EFEM 간에 웨이퍼를 이송하는 역할을 수행한다. 종래의 웨이퍼 이송 장치에서는, 각각 1장의 웨이퍼를 처리할 수 있는 최대 6개의 프로세스 모듈(또는 3개의 트윈 모듈)이 마련되고, 로드락 모듈에서 하나의 웨이퍼 이송용 진공 로봇에 부착된 2개의 슬롯에 동시에 2장의 웨이퍼를 로딩하여 이송하였다. 이는 1998년 8월 17일 공개된 대한민국공개특허공보 제10-1998-0042482(웨이퍼 처리 장치 및 방법)에 상세히 기재되어 있으므로, 그 설명을 생략하기로 한다.
하나의 웨이퍼 이송용 진공 로봇의 끝단에 부착된 2개의 슬롯은 항상 미리 정해진 구동경로에서 동작한다. 그런데 경우에 따라서, 프로세스 모듈의 로드 포지션 등에서 미리 정해진 포지션보다 웨이퍼의 위치가 약간 틀어질 수 있다. 이 경우, 웨이퍼가 슬롯에 로딩되지 못하고 떨어지는 경우가 발생할 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여, 틀어진 웨이퍼의 위치를 미리 정해진 포지션으로 보정하던지, 아니면 로봇의 구동경로를 약간 수정하는 등의 보정을 실시해야 한다.
그러나, 상기의 종래의 웨이퍼 이송 장치에서는 2개의 슬롯이 항상 동시에 움직이므로, 이러한 보정을 하는데 제약을 받게 된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 2대의 로봇을 독립적으로 구동하여 웨이퍼를 2장 단위로 동시에 또는 순차적으로 이송할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예는 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 복수의 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된 2개의 로봇은 독립 구동되는 것으로 이루어진다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 다른 일실시예는 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 평행하게 배열되어 있으면서 일체로 회전하는 듀얼 회전축에 결합되는 복수의 듀얼 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된 2개 의 로봇은 독립 구동되는 것으로 이루어진다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 또다른 일실시예는 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 하나의 회전축에 서로 다른 높이 및 서로 반대 방향으로 결합되어 있는 2개의 아암을 구비하고 끝단에 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부, 상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부 및 상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고, 상기 로봇부에 구비된 2개의 로봇 각각은 독립 구동되는 것으로 이루어진다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 일실시예를 도시한 것이다.
도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치(100)는 로봇부(110a,110b), 지지부(120) 및 주구동부(140)를 구비하여 이루어진다. 여기서, 로봇부(110a,110b)에 구비된 각각의 로봇은 독립 구동된다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 프로세스 모듈(Process Module)과 EFEM(Equipment Front End Module) 간에 인터페이스 역할을 하는 로드락 모듈(Load-Lock Module)에 장착될 수 있다.
도 1을 참조하면, 로봇부(110a,110b)는 지지부(120) 상에 안착되어 있다. 로봇부(110a,110b)에 구비된 각각의 로봇은 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 아암(230a,230b,230c1,230c2)이 다관절(혹은 다축)의 형태로 순차적으로 결합된 형태 의 아암부 및 상기 아암부를 구동하기 위한 아암구동부(210)를 구비한다. 아암부의 끝단, 즉 복수의 아암 중 마지막 아암(230c1,230c2)에는 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있다.
지지부(120)는 로봇부(110a,110b)를 지지하며, 하부에 주회전축(130)이 결합된다.
주구동부(140)는 주회전축(130)을 통해서 지지부(120)를 회전시켜 로봇부(110a,110b)에 구비된 로봇들이 일체로 회전되도록 한다. 이때, 지지부(120)의 회전 각도는 EFEM과 프로세스 모듈이 배치된 형태에 따라서 결정된다. 일예로, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치가 장착되는 로드락 모듈이 사각형의 형태라면, 지지부(120)는 좌측 또는 우측으로 90ㅀ나 180ㅀ의 각도만큼 회전할 수 있다.
웨이퍼 이송 장치(100)에 의하여 웨이퍼가 이송되기 전 또는 이송된 후에, 웨이퍼의 로딩/언로딩을 위하여, 경우에 따라서 로봇부(110a,110b)에 구비되는 웨이퍼 로딩용 슬롯이 미리 정해진 만큼 수직방향으로 업/다운하여야 할 필요가 있다. 이를 위해, 로봇부(110a,110b)에 구비된 제1회전축(도 2의 220a)이 수직방향으로 업/다운하거나, 주회전축(130)이 수직방향으로 업/다운할 수 있다.
2장의 웨이퍼가 로봇부(110a,110b)에 구비된 하나의 로봇(110a)에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b) 중 하나(240a), 그리고 다른 로봇(110b)에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b) 중 하나(240a)에 각각 로딩되어, 로딩된 2장의 웨이퍼(240a)가 동시에 또는 순차적으로 이송될 수 있다. 이때, 2장의 웨이퍼가 로딩되는 웨이퍼 로딩용 슬롯들(240a)의 높이는 각각의 로봇들(110a,110b) 마다 동일할 수 있다. 또한 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯들(240b)의 높이도 각각의 로봇들(110a,110b)마다 동일할 수 있다. 또한, 2장의 웨이퍼가 이송되는 도중에, 다른 2장의 웨이퍼가 하나의 로봇(110a)에 결합된 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b) 및 다른 로봇(110b)에 결합된 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)에 로딩될 수 있다.
또한, 각각의 로봇(110a,110b)의 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a)에 웨이퍼가 로딩되어 프로세스 모듈로 이송되는 중에 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)에 또다른 웨이퍼가 로딩되어 프로세스 모듈로부터 이송될 수 있다. 또한, 각각의 로봇(110a,110b)의 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a)을 프로세스 모듈로 웨이퍼를 이송하는 용도로, 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)을 프로세스 모듈로부터 웨이퍼를 이송하는 용도로 정할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 로봇부(110a,110b) 중 하나의 일실시예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 로봇부(110a,110b)에 구비된 각각의 로봇은 아암구동부(210), 제1회전축(220a), 제2회전축(220b), 제3회전축(220c), 제1아암(230a), 제2아암(230b) 및 제3아암(230c1,230c2)이 구비되어 있다.
제1아암(230a)은 한쪽 끝단이 제1회전축(220a)에 결합되며, 제1회전축(220a)의 회전에 의해 회전한다. 제2아암(230b)을 회전시키기 위한 제2회전축(220b)은 제1아암(230a)의 다른쪽 끝단에 결합된다. 제2아암(230b)은 한쪽 끝단이 제2회전축(220b)에 결합되며, 제2회전축(220b)의 회전에 의해 회전한다. 2개의 제3아암(230c1,230c2)을 회전시키기 위한 제3회전축(220c)은 제2아암(230b)의 다른쪽 끝 단에 결합된다. 제3아암(230c1,230c2) 각각은, 한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a 또는 240b)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 제3회전축(220c)에 서로 다른 높이로 결합되는 것이 바람직하며, 제3회전축(220c)의 회전에 의해 회전한다.
일예로, 2장의 웨이퍼를 로딩하기 위하여, 로봇부(110a,110b) 각각에 구비된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b) 중, 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a) 각각에 웨이퍼를 로딩한 후, 로봇부(110a,110b) 각각의 구동에 의하여 상기의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a) 각각이 결합된 제3아암(230c1)이 프로세스 모듈의 전진 방향으로 위치하여 각각의 웨이퍼를 EFEM으로부터 프로세스 모듈로 동시에 이송할 수 있다. 이때, 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)이 결합된 제3아암(230c2) 각각은 상기의 프로세스 모듈의 전진 방향에 있는 제3아암(230c1)과 반대방향으로 위치하게 된다.
다음 2장의 웨이퍼를 로딩하기 위하여, 상기의 프로세스 모듈의 후진 방향에 있는 제3아암(230c2) 각각에 결합된 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b) 각각에 웨이퍼가 로딩되고, 제3아암(230c1, 230c2)이 결합된 각각의 로봇의 제3회전축(220c)의 회전 및 주회전축(130)의 회전에 의하여 다음 프로세스 모듈의 전진 방향으로 위치하여 각각의 웨이퍼를 EFEM으로부터 프로세스 모듈로 동시에 이송할 수 있다.
로봇부(110a,110b)에 구비된 4개의 제3아암(230c1,230c2) 각각은 동시에 회전할 수 있다. 이때, 로봇부(110a,110b)에 구비된 로봇들 중 하나의 로봇에 구비된 하나의 제3아암(230c1)과 다른 로봇의 제3아암(230c2)은 반대방향으로 회전할 수 있는데, 로봇부(110a,110b) 간의 충돌을 방지하기 위하여는 도 4에 도시된 바와 같이, 모든 제3아암(230c1,230c2)들이 다른 로봇이 존재하지 않는 바깥쪽 방향으로 회전하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 도 4에서 왼쪽 로봇(110a)에 구비된 2개의 제3아암(230c1,230c2) 중에서 하나의 제3아암(230c1)은 시계 반대방향으로 180ㅀ 회전하고, 다른 제3아암(230c2)은 시계방향으로 180ㅀ 회전하면 로봇부(110a,110b) 간의 충돌을 피할 수 있다.
상기의 경우는 2개의 제3아암(230c1,230c2)이 제3회전축(220c)의 회전에 따라서 일괄적으로 회전하게 된다. 이때, 제3회전축(220c)이 하나가 아니라 제3-1회전축(220c1) 내부를 관통하여 회전축 상부의 일부만이 노출되는 다른 제3-2회전축(220c2)이 형성되어 있는 경우, 이러한 2개의 제3아암(230c1,230c2) 각각을 독립적으로 구동할 수 있다. 즉, 2개의 제3아암 중 하나의 아암(230c1)은 제3-1회전축(220c1)의 회전에 의해 회전할 수 있고, 2개의 제3아암 중 다른 아암(230c2)은 제3-2회전축(220c2)의 회전에 의해 회전할 수 있다.
2개의 제3아암(230c1,230c2)에 결합된 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b) 중 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a)은 프로세스 모듈로 웨이퍼를 이송하기 위한 슬롯이고, 다른 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)은 프로세스 모듈로부터 웨이퍼를 이송하기 위한 슬롯으로 정할 수 있다. 물론 반대의 경우도 가능하다. 이때, 로봇부(110a,110b) 각각에 구비된 슬롯들 중(240a,240b) 프로세스 모듈로 웨이퍼를 이송하기 위한 2개의 슬롯들의 높이 및 프로세스 모듈로부터 웨이퍼를 이송하기 위한 2개의 슬롯들(240b)의 높이는 동일할 수 있고, 또한 다를 수 있다. 이는 프로세스 모듈에서의 웨이퍼 로딩 포지션의 위치에 의해서 결정될 수도 있고, 전체적인 웨이퍼 이송 장치의 설계에 따라서 결정될 수도 있다.
상기와 같이 2개의 제3아암(230c1,230c2) 대신에 각각의 로봇(110a,110b)마다 하나의 제3아암을 구비하고 하나의 제3아암 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b)을 결합할 수도 있다.
도 3은 로봇부(110a,110b)의 대기 상태를, 도 4는 로봇부(110a,110b)의 웨이퍼 이송 상태를 참고적으로 도시한 것이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 로봇부(110a,110b)의 동작을 용이하게 파악할 수 있다.
아암구동부(210)에는 각각의 회전축들(220a,220b,220c)을 구동하기 위한 복수의 모터, 복수의 기어 등이 내장되어 있다. 각각의 회전축들(220a,220b,220c)은 서로 독립적으로 구동되는 것이 바람직하다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 5에 도시된 웨이퍼 이송 장치(500)는 로봇부(510), 지지부(520) 및 주구동부(540)를 구비한다.
로봇부(510)는 2개의 로봇(510a,510b)을 구비한다. 2개의 로봇(510a,510b)은 각각의 하나의 회전축(515a,515b)에 서로 다른 높이 및 서로 반대 방향으로 결합되어 있는 2개의 아암을 구비하고, 끝단에 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비한다. 여기서, 로봇부(510)에 구비된 2개의 로봇(510a,510b)은 독립 구동된다. 2개의 로봇(510a,510b)에 구비되는 상기의 회전축은 EFEM과 일직선으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 도 7을 참조하면, 하나의 로봇(510a)에 구비된 2개의 아암(610a1,610a2)과 다른 로봇에 구비된 2개의 아암(610b1,610b2)은 동시에 웨이퍼가 이송 가능하도록 길이를 서로 다르게 설계할 수 있다. 또한 각각의 로봇(510a,510b)에 구비된 2개의 아암들의 길이는 연속적인 웨이퍼 이송을 위하여 동일한 것이 바람직하다.
지지부(520)는 로봇부(510)를 지지하며, 주회전축(530)이 결합된다. 주회전축(530)은 수직방향으로 업/다운될 수 있다.
주구동부(540)는 주회전축(530)을 통하여 지지부(520)를 회전시킴으로써, 로봇부(510)에 구비된 2개의 로봇(510a,510b)을 일체로 회전시킨다.
도 6 및 도 7은 도 5에 도시된 웨이퍼 이송 장치(500)의 로봇부(510)의 일실시예를 도시한 것이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 로봇부(510)는 제1-1회전축(515a), 제1-2회전축(515b), 제3회전축들(620), 제4회전축들(640)로 구성되는 회전축들과 제1-1아암(610a1), 제1-2아암(610a2), 제2-1아암(610b1), 제2-2아암(610b2), 제3아암들(630), 제4아암들(650)로 구성되는 아암들, 그리고 제4아암들(650) 끝단에 결합되는 슬롯들(660)을 구비한다.
제1-1아암(610a1)은 한쪽 끝단이 제1-1회전축(515a)에 결합된다. 제1-2아암(610a2)은 한쪽 끝단이 제1-1회전축(515a)에 결합된다. 이때, 제1-2아암(610a2)은 상기의 제1-1아암(610a1)과 다른 높이에서, 또한 제1-1아암(610a1)이 결합된 측면의 반대 측면에 결합된다.
제2-1아암(610b1)은 한쪽 끝단이 제1-2회전축(515b)에 결합된다. 이때, 제2-1아암(610b1)은 제1-1아암(610a1)과 동일한 높이로 결합되지만, 제1-1아암(610a1)이 결합된 측면의 반대 측면에 결합된다.
제2-2아암(620b2)은 한쪽 끝단이 제1-2회전축(515b)에 결합되되, 제2-1아암(610b1)과 다른 높이에서 제2-1아암(610b1)이 결합된 측면의 반대 측면에 결합된다.
제3회전축들(620)은 각각의 아암(610a1,610a2,610b1,610b2) 각각의 다른쪽 끝단에 각각 결합된다. 제3아암들(630)은 한쪽 끝단이 제3회전축들(620) 중 대응하는 것에 각각 결합된다. 제4회전축들(640)은 각각의 제3아암들(630)의 다른쪽 끝단에 각각 결합된다. 제4아암들(650)은 한쪽 끝단이 제4회전축들(640) 중 대응하는 것에 각각 결합되고, 다른쪽 끝단에는 웨이퍼 로딩용 슬롯(660)이 결합된다.
도 6 및 도 7에 도시된 로봇부(510)는 제1-1회전축(515a) 및 제1-2회전축(515b)이 서로 반대방향으로 회전하여 동일한 높이의 제1-1아암(610a1) 및 제2-1아암(610b1)에 결합된 웨이퍼 로딩용 슬롯들(660)이 전진하는 형태를 취하는 동안, 반대로 동일한 높이의 제1-2아암(610a2) 및 제2-2아암(610b2)에 결합된 웨이퍼 로딩용 슬롯들(660)이 후진하는 형태를 취하는 것이다.
따라서, 각각의 로봇(510a,510b)은 독립적으로 구동되지만, 각각의 회전축(515a,515b)의 서로 반대방향의 회전을 통하여 동시에 동일한 높이에서 웨이퍼 2장을 이송할 수 있다.
도 8은 도 1에 도시된 웨이퍼 이송 장치(100)에 장착되는 로봇부의 다른 일실시예를 도시한 것이다.
도 8에 도시된 로봇부(800)는 서로 이격된 2개의 로봇(810a,810b)을 구비한다. 각각의 로봇(810a,810b)은 평행하게 배열되어 있으면서 일체로 회전하는 듀얼 회전축에 결합되는 복수의 듀얼 아암(830a1,830b1,830c1 등)이 순차적으로 결합되어 있으며, 끝단에 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되는 아암부 및 상기의 아암부를 구동하기 위한 아암구동부(850)를 구비한다.
도 9는 로봇부(800)의 웨이퍼 이송 상태를 참고적으로 도시한 것이다. 도 9를 참조하면, 도 8에 도시된 로봇부(800)의 동작을 용이하게 파악할 수 있다.
도 8을 참조하면, 로봇부(800)에 구비된 로봇 각각(810a,810b)은, 제1 듀얼 회전축(820a), 제2-1듀얼 회전축(820b1), 제2-2 듀얼 회전축(820b2), 제3-1 듀얼 회전축(820c1), 제3-3 듀얼 회전축(820c2), 제1-1 듀얼 아암(830a1), 제1-2 듀얼 아암(830a2), 제2-1 듀얼 아암(830b1), 제2-2 듀얼 아암(830b2), 제3-1 듀얼 아암(830c1), 제 3-2 듀얼 아암(830c2) 및 아암구동부(850)를 구비한다.
제1-1 듀얼 아암(830a1)은 한쪽 끝단이 제1 듀얼 회전축(820a)에 결합되며, 제1 듀얼 회전축(820a)의 회전에 의해 회전한다. 제2-1 듀얼 회전축(820b1)은 제1-1 듀얼 아암(830a1)의 다른쪽 끝단에 결합된다. 제2-1 듀얼 아암(830b1)은 한쪽 끝단이 제2-1 듀얼 회전축(820b1)에 결합되며, 제2-1 듀얼 회전축(820b1)의 회전에 의해 회전한다. 제3-1 듀얼 회전축(820c1)은 제2-1 듀얼 아암(830b1)의 다른쪽 끝단에 결합된다. 제3-1 듀얼 아암(830c1)은 한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(840a)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 제3-1 듀얼 회전축(820c1)에 결합되며, 제3-1 듀얼 회전축(820c1)의 회전에 의해 회전한다.
제1-2 듀얼 아암(830a2)은 한쪽 끝단이 제1 듀얼 회전축(820a)에 제1-1 듀얼 아암(830a1)과는 다른 높이로 결합되며, 제1 듀얼 회전축(820a)의 회전에 의해 회전한다. 제2-2 듀얼 회전축(820b2)은 제1-2 듀얼 아암(830a2)의 다른쪽 끝단에 결합된다. 제2-2 듀얼 아암(830b2)은 한쪽 끝단이 제2-2 듀얼 회전축(820b2)에 결합되며, 제2-2 듀얼 회전축(820b2)의 회전에 의해 회전한다. 제3-2 듀얼 회전축(820c2)은 제2-2 듀얼 아암(830b2)의 다른쪽 끝단에 결합된다. 제3-2 듀얼 아암(830c2)은 한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(840b)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 제3-2 듀얼 회전축(820c2)에 결합되며, 제3-2 듀얼 회전축(820c2)의 회전에 의해 회전한다.
아암구동부(850)에는 각각의 듀얼 회전축(820a,820b1,820b2,820c1,820c2)을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장되어 있다. 여기서, 아암구동부(850)는 로봇(810a,810b)마다 별도로 배치되지 않고, 하나로 배치될 수 있다.
로봇부(810a,810b)에 구비된 두 로봇 중 하나의 로봇(810a)의 제1-1 듀얼 아암(830a1)의 높이와 다른 로봇(810b)의 제1-1 듀얼 아암(830a1)이 높이가 서로 다를 수 있다. 이 경우, 각 로봇의 제1-1 듀얼 아암(830a1)의 회전시에 간섭을 없앨 수 있다. 물론, 각 로봇의 제1-1 듀얼 아암(830a1)의 높이가 다르더라도, 2장의 웨이퍼를 동일한 높이에서 웨이퍼를 이송할 수 있도록, 하나의 로봇의 제3-1 듀얼 아암(830c1)의 높이와 다른 로봇의 제3-1 듀얼 아암(830c1)이 높이가 서로 같고, 하나의 로봇의 제3-2 듀얼 아암(830c2)의 높이와 다른 로봇의 제3-2 듀얼 아암(830c2)의 높이가 서로 같을 수 있다. 이는 제2-1 듀얼 회전축(820b1)과 제2-2 듀얼 회전축(820b2)의 높이를 다르게 함으로써 이루어질 수 있다.
제1-1 듀얼 아암(830a1)과 제1-2 듀얼 아암(830a2)을 회전시키기 위하여 제1-1 듀얼 회전축(820a1) 내부에 제1-2 듀얼 회전축(820a2)을 더 형성하여, 제1-1 듀얼 아암(830a1)은 제1-1 듀얼 회전축(820a1)에 결합되고, 제1-2 듀얼 아암(830a2)은 상기의 제1-1 듀얼 아암(830a1)과 다른 높이로 제1-2 듀얼 회전축(820a2)에 결합되도록 할 수 있다.
이상에서 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 2대의 로봇을 이용하여 2장의 웨이퍼 단위로 동시에 또는 순차적으로 이송할 수 있으면서도, 2대의 다관절 로봇 각각을 독립적으로 구동할 수 있으므로, 웨이퍼가 이송되는 동안 웨이퍼의 위치가 미리 정해진 위치보다 약간 벗어나더라도 용이하게 이를 보정할 수 있는 장점이 있다.

Claims (24)

  1. 삭제
  2. 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하는 로봇부(110a,110b);
    상기 로봇부를 지지하며, 주회전축(130)이 결합되는 지지부(120); 및
    상기 주회전축(130)을 통해서 상기 지지부(120)를 회전시키는 주구동부(140)를 구비하고,
    상기 로봇부(110a,110b)에 구비된 로봇 각각은,
    제1회전축(220a);
    한쪽 끝단이 상기 제1회전축(220a)에 결합되며, 상기 제1회전축(220a)의 회전에 의해 회전하는 제1아암(230a);
    상기 제1아암(230a)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2회전축(220b);
    한쪽 끝단이 상기 제2회전축(220b)에 결합되며, 상기 제2회전축(220b)의 회전에 의해 회전하는 제2아암(230b);
    상기 제2아암(230b)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3회전축(220c);
    한쪽 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3회전축(220c)에 결합되며, 상기 제3회전축(220c)의 회전에 의해 회전하는 제3아암; 및
    상기 각각의 회전축들(220a,220b,220c)을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부(210)를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  3. 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하는 로봇부(110a,110b);
    상기 로봇부를 지지하며, 주회전축(130)이 결합되는 지지부(120); 및
    상기 주회전축(130)을 통해서 상기 지지부(120)를 회전시키는 주구동부(140)를 구비하고,
    상기 로봇부(110a,110b)에 구비된 로봇 각각은,
    제1회전축(220a);
    한쪽 끝단이 상기 제1회전축(220a)에 결합되며, 상기 제1회전축(220a)의 회전에 의해 회전하는 제1아암(230a);
    상기 제1아암(230a)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2회전축(220b);
    한쪽 끝단이 상기 제2회전축(220b)에 결합되며, 상기 제2회전축(220b)의 회전에 의해 회전하는 제2아암(230b);
    상기 제2아암(230b)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3회전축(220c);
    각각의 한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a,240b)이 결합되어 있으며, 각각의 다른쪽 끝단이 서로 다른 높이로 상기 제3회전축(220c)에 결합되며, 각각이 상기 제3회전축(220c)의 회전에 의해 회전하는 2개의 제3아암(230c1,230c2); 및
    상기 각각의 회전축들(220a,220b,220c)을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부(210)를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇의 2개의 제3아암 각각은 동시에 회전하고,
    상기 로봇부에 구비된 다른 로봇의 2개의 제3아암 각각은 동시에 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 하나의 로봇의 제3아암들은 서로 반대방향으로 회전하고,
    상기 다른 로봇의 제3아암들은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  6. 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하는 로봇부(110a,110b);
    상기 로봇부를 지지하며, 주회전축(130)이 결합되는 지지부(120); 및
    상기 주회전축(130)을 통해서 상기 지지부(120)를 회전시키는 주구동부(140)를 구비하고,
    상기 로봇부(110a,110b)에 구비된 로봇 각각은,
    제1회전축(220a);
    한쪽 끝단이 상기 제1회전축(220a)에 결합되며, 상기 제1회전축(220a)의 회전에 의해 회전하는 제1아암(230a);
    상기 제1아암(230a)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2회전축(220b);
    한쪽 끝단이 상기 제2회전축(220b)에 결합되며, 상기 제2회전축(220b)의 회전에 의해 회전하는 제2아암(230b);
    상기 제2아암(230b)의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3-1회전축(220c1);
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240a)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-1회전축(220c1)에 결합되며, 상기 제3-1회전축(220c1)의 회전에 의해 회전하는 제3-1아암(230c1);
    상기 제3-1회전축(220c1) 내부를 관통하여 형성되는 제3-2회전축(220c2);
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯(240b)이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-2회전축(220c2)의 상부에 상기 제3-1아암(230c1)과는 다른 높이로 결합되며, 상기 제3-2회전축(220c2)의 회전에 의해 회전하는 제3-2아암(230c2); 및
    상기 각각의 회전축들(220a,220b,220c1,220c2)을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부(210)를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇의 제3-1아암 및 제3-2아암은 동시에 회전하고,
    상기 로봇부에 구비된 다른 로봇의 제3-1아암 및 제3-2아암은 동시에 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 하나의 로봇의 제3-1아암 및 제3-2아암은 서로 반대방향으로 회전하고,
    상기 다른 로봇의 제3-1아암 및 제3-2아암은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  9. 서로 이격된 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 평행하게 배 열되어 있으면서 일체로 회전하는 듀얼 회전축에 결합되는 복수의 듀얼 아암이 순차적으로 결합되어 있으며 끝단에 서로 다른 높이로 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부;
    상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부; 및
    상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고,
    상기 로봇부에 구비된 2개의 로봇은 독립 구동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 로봇부에 구비된 로봇 각각은,
    제1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제1-1 듀얼 아암;
    상기 제1-1 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2-1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제2-1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제2-1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제2-1 듀얼 아암;
    상기 제2-1 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3-1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제3-1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제3-1아암;
    한쪽 끝단이 상기 제1 듀얼 회전축에 상기 제1-1 듀얼 아암과는 다른 높이로 결합되며, 상기 제1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제1-2 듀얼 아암;
    상기 제1-2 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2-2 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제2-2 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제2-2 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제2-2 듀얼 아암;
    상기 제2-2 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3-2 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-2 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제3-2 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제3-2 듀얼 아암; 및
    상기 각각의 듀얼 회전축을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 로봇부에 구비된 로봇 각각은,
    제1-1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제1-1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제1-1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제1-1 듀얼 아암;
    상기 제1-1 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2-1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제2-1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제2-1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제2-1 듀얼 아암;
    상기 제2-1 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3-1 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-1 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제3-1 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제3-1 듀얼 아암;
    상기 제1-1 듀얼 회전축 내부를 관통하여 형성되는 제1-2 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제1-2 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제1-2 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제1-2 듀얼 아암;
    상기 제1-2 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제2-2 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제2-2 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제2-2 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제2-2 듀얼 아암;
    상기 제2-2 듀얼 아암의 다른쪽 끝단에 결합되는 제3-2 듀얼 회전축;
    한쪽 끝단에 하나의 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있으며, 다른쪽 끝단이 상기 제3-2 듀얼 회전축에 결합되며, 상기 제3-2 듀얼 회전축의 회전에 의해 회전하는 제3-2 듀얼 아암; 및
    상기 각각의 듀얼 회전축을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇의 제1-1 듀얼 아암의 높이와 상기 로봇부에 구비된 다른 로봇의 제1-1 듀얼 아암의 높이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 하나의 로봇의 제3-1 듀얼 아암의 높이와 상기 다른 로봇의 제3-1 듀얼 아암의 높이는 서로 같고,
    상기 하나의 로봇의 제3-2 듀얼 아암의 높이와 상기 다른 로봇의 제3-2 듀얼 아암의 높이는 서로 같은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  14. 제2항, 제3항, 제6항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    2장의 웨이퍼가 상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 하나 및 상기 로봇부에 구비된 다른 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 하나에 각각 로딩되어,
    상기 로딩된 2장의 웨이퍼가 동시에 또는 순차적으로 이송되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 2장의 웨이퍼가 로딩되는 웨이퍼 로딩용 슬롯들의 높이는 동일한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 2장의 웨이퍼가 이송되는 중에, 다른 2장의 웨이퍼가 상기 하나의 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 다른 하나 및 상기 다른 로봇에 결합된 2 개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 다른 하나에 각각 로딩되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  17. 2개의 로봇을 구비하되, 상기 2개의 로봇 각각은, 하나의 회전축에 서로 다른 높이 및 서로 반대 방향으로 결합되어 있는 2개의 아암을 구비하고 끝단에 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있는 아암부 및 상기 아암부를 구동하는 아암구동부를 구비하는 로봇부;
    상기 로봇부를 지지하며, 주회전축이 결합되는 지지부; 및
    상기 주회전축을 통해서 상기 지지부를 회전시키는 주구동부를 구비하고,
    상기 로봇부에 구비된 2개의 로봇 각각은 독립 구동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇에 구비된 2개의 아암과 상기 로봇부에 구비된 다른 로봇에 구비된 2개의 아암은 길이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇에 구비된 2개의 아암 중 하나의 아암과 상기 로봇부에 구비된 다른 로봇에 구비된 2개의 아암 중 하나의 아암의 높이는 서 로 동일하고,
    상기 하나의 로봇에 구비된 2개의 아암 중 다른 아암과 상기 다른 로봇에 구비된 2개의 아암 중 다른 아암의 높이는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 동일한 높이에 있는 2개의 아암은 서로 반대 측면에서 상기 각각의 로봇에 구비된 회전축에 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 각각의 로봇에 구비된 회전축은 서로 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  22. 제17항에 있어서,
    2장의 웨이퍼가 상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 하나 및 상기 로봇부에 구비된 다른 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중 하나에 각각 로딩되어,
    상기 로딩된 2장의 웨이퍼가 동시에 또는 순차적으로 이송되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  23. 제17항에 있어서, 상기 로봇부는,
    제1-1회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제1-1회전축에 결합되는 제1-1아암;
    한쪽 끝단이 상기 제1-1회전축에 결합되되, 상기 제1-1아암과 다른 높이에서 상기 제1-1아암이 결합된 측면의 반대 측면에 결합되는 제1-2아암;
    상기 제1-1회전축과 이격되어 배치되는 제1-2회전축;
    한쪽 끝단이 상기 제1-2회전축에 결합되되, 상기 제1-1아암과 동일한 높이에서 상기 제1-1아암이 결합된 측면의 반대 측면에 결합되는 제2-1아암;
    한쪽 끝단이 상기 제1-2회전축에 결합되되, 상기 제2-1아암과 다른 높이에서 상기 제2-1아암이 결합된 측면의 반대 측면에 결합되는 제2-2아암;
    상기 제1-1아암, 제1-2아암, 제2-1아암 및 제2-2아암 각각의 다른쪽 끝단에 각각 결합되는 제3회전축들;
    각각의 한쪽 끝단이 상기 제3회전축들 각각에 결합되며, 상기 제3회전축들의 회전에 의해 회전하는 제3아암들;
    상기 제3아암들 각각의 다른쪽 끝단에 각각 결합되는 제4회전축들;
    각각의 한쪽 끝단이 상기 제4회전축들 각각에 결합되며, 각각의 다른쪽 끝단에 웨이퍼 로딩용 슬롯이 결합되어 있으며, 상기 제4회전축들의 회전에 의해 각각 회전하는 제4아암들; 및
    상기 각각의 회전축들을 구동하기 위한 복수의 모터가 내장된 아암구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  24. 제2항, 제3항, 제6항, 제9항 및 제17항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 로봇부에 구비된 하나의 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중에서 하나는 프로세스 모듈로 웨이퍼를 이송하기 위한 것이고, 다른 하나는 프로세스 모듈로부터 웨이퍼를 이송하기 위한 것이며,
    상기 로봇부에 구비된 다른 로봇에 결합된 2개의 웨이퍼 로딩용 슬롯 중에서 하나는 프로세스 모듈로 웨이퍼를 이송하기 위한 것이고, 다른 하나는 프로세스 모듈로부터 웨이퍼를 이송하기 위한 것인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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