KR100775921B1 - 노광 시스템 및 색 필터를 형성하는데 있어서의 그 응용 - Google Patents

노광 시스템 및 색 필터를 형성하는데 있어서의 그 응용 Download PDF

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Abstract

복수의 액정 디스플레이(LCD) 패널들을 형성하기 위하여 기판을 노광시키는 스텝형 노광 시스템이 개시된다. 사진인쇄 프로세스의 노광 단계동안, 사용되는 마스크의 크기는 광원에 의해 마스크상에 투영되는 조명 영역과 대략 동일한 크기가 되도록 일정 비율로 줄어든다. 패턴을 전체 기판의 표면상에 전사하기 위하여, 기판이 놓이는 스테이지는 패턴이 포토레지스트 층 위에 정확히 형성되는 방식으로 마스크 및 광원 어셈블리 아래에 천천히 이동된다.
마스크, 액정, 디스플레이, 노광, 기판, LCD, 포토레지스트, 패널, 패턴

Description

노광 시스템 및 색 필터를 형성하는데 있어서의 그 응용{An exposure system and its application in forming a color filter}
도 1 및 도 2는 LCD 패널을 형성하기 위한 종래의 노광 시스템들의 개략도들이다.
도 3은 본 발명에 의한 노광 시스템의 개략도이다.
도 4는 도 3에 도시된 노광 시스템의 단순화된 버전의 확대 개략도이다.
도 5는 도 4에 도시된 기판의 선 BB'에 따른 단면도이다.
도 6은 마스크의 소정 패턴의 개구부의 개략도이다.
본 발명은 노광 시스템에 관한 것으로, 특히 액정 디스플레이(liquid crystal display, LCD) 패널의 색 필터(color filter)를 형성하는데 이용되는 노광 시스템에 관한 것이다.
박막 트랜지스터 액정 디스플레이(thin film transistor liquid crystal display, TFT-LCD)와 같은 박막 트랜지스터 디스플레이는 훌륭한 영상을 생성하기 위하여 액정 분자를 구동하기 위한 스위치들과 같은 매트릭스로 배열된, 커패시터 들 및 본딩 패드들과 같은 다른 요소들과 공동으로 많은 박막 트랜지스터들을 이용한다. 종래의 CRT 모니터를 능가하는 상기 TFT-LCD의 이점은 더 나은 휴대가능성, 더 낮은 전력 소모 및 더 낮은 방사를 포함한다. 그러므로, 상기 TFT-LCD는 노트북 컴퓨터, 개인 휴대 단말기(personal data assistant, PDA), 전자 완구 등과 같은 다양한 휴대형 제품들에서 널리 사용된다. 점점더, 상기 TFT-LCD는 데스크톱 컴퓨터들의 CRT 모니터조차 대체하고 있다.
종래의 TFT-LCD는 박막 트랜지스터들을 구비한 투명 기판, 화소 전극들, 직각 스캔 라인들 및 데이터 라인들, 색 필터를 구비한 상부 기판 및 상기 투명 기판과 상기 상부 기판 사이의 공간을 채우는 액정 물질을 포함한다. 상기 투명 기판 및 상기 상부 기판 양자는 투명한 유리 기판들이다. 일반적으로, 색 필터의 제조 비용은 TFT-LCD 제조 비용의 약 3분의 1이다. 색 필터는 일련의 사진인쇄 프로세스들을 수행함으로써 형성된다. 상기 사진인쇄 프로세스들에서 이용되는 마스크들의 넓은 전체 영역들은 상기 마스크를 제조하는 비용을 비싸게 한다. LCD 패널들의 제조자들 간의 첨예한 경쟁 때문에, 제조자들은 LCD 패널들의 제조 비용을 감소시키려고 그들의 최선을 다하려고 한다. 그 결과, 색 필터를 형성하는데 이용되는 상기 마스크들의 전체 영역들을 감소시켜 LCD 패널의 제조 비용을 감소시킬 필요가 존재한다.
도 1 및 도 2를 참조하라. 도 1 및 도 2는 LCD 패널을 형성하기 위한 종래의 노광 시스템들의 개략도들이다. 도 1은 LCD 패널의 색 필터를 형성하기 위한 종래의 노광 시스템을 도시한 것이다. 도 2는 LCD 패널의 기판 상에 박막 트랜지스터들 을 형성하기 위한 종래의 노광 시스템을 도시한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 노광 시스템(10)은 고정 광원(12), 상기 광원(12) 아래에 배치된 마스크(14) 및 상기 마스크(14) 아래에 배치된 기판(16)을 포함한다. 상기 마스크(14)의 전체 면적은 상기 기판(16)의 전체 면적과 대략 동일하다. 상기 기판(16)은 상기 LCD의 콘트라스트를 개선하고, 박막 트랜지스터들이 누설 전류를 발생시키는 것을 방지하며 상기 LCD의 동작중 누설 광을 가리는 블랙 매트릭스(미도시)를 구비한 유리 기판이다. 더욱이, 네거티브 포토레지스트(photoresist) 층이 상기 기판(16) 상에 코팅되며 상기 블랙 매트릭스를 덮는다. 상기 네거티브 포토레지스트 층은 상기 색 필터의 R/G/B 착색제들을 형성하는데 이용된다.
노광 프로세스는 상기 마스크(14)의 소정 패턴을 상기 기판(16)상의 상기 네거티브 포토레지스트 층 위에 전사하기 위해 수행된다. 그다음 현상 프로세스가 상기 광원(12)에 의해 노광되지 않았던 상기 네거티브 포토레지스트 층의 부분들을 제거하기 위해 수행된다. 상술된 노광 프로세스 및 현상 프로세스를 여러번 반복한 후, 상기 색 필터의 R/G/B 착색제들이 상기 기판(16) 상에 형성된다. 상기 노광 프로세스 동안, 상기 마스크(14) 및 상기 기판(16)은 상기 광원(12)에서 발생된 광빔들이 상기 전체 마스크(14)상에 투영되도록 고정된다. 그 결과, 상기 마스크(14)의 소정 패턴이 상기 기판(16) 상의 상기 네거티브 포토레지스트 층 위에 완전히 전사된다. 상기 노광 프로세스는 근접 노광 기술을 이용하고 상기 마스크(14) 및 상기 기판(16) 간의 거리(g)는 약 100~200 ㎛이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 노광 시스템(20)은 고정 광원(22), 상기 광원(22) 아래에 배치된 마스크(24) 및 상기 마스크(24) 아래에 배치된 기판(26)을 포함한다. 상기 마스크(24)의 전체 면적은 상기 기판(26)의 전체 면적의 약 4분의 1이다. 광빔들을 상기 마스크(24)를 통하여 상기 기판(20)상에 투사하는데 이용되는 광학 시스템(28)은 상기 마스크(24) 및 상기 기판(26) 사이에 위치한다. 상기 기판(26)은 블랙 매트릭스(미도시)를 구비한 유리 기판이고 포토레지스트 층이 상기 기판(26) 상에 코팅된다.
노광 프로세스는 상기 기판(26)의 영역(26a)을 노광시키기 위해 수행된다. 상기 마스크(24)를 상기 기판(26)의 영역(26a)과 정렬시킨 후, 상기 마스크(24)의 소정 패턴을 상기 기판(26)의 영역(26a)상에 전사하기 위하여 상기 마스크(24)와 상기 기판(26)이 동시에 이동된다. 상기 영역(26a)에 대한 노광 프로세스가 완료된 후, 상기 기판(26)은 상기 마스크(24)와 상기 기판(26)의 영역(26b)을 정렬시키기 위하여 이동되며 그다음 상술된 노광 프로세스가 반복된다. 상기 기판(26)의 각 영역을 노광시킨 후, 상기 광원(22)에 의해 노광되지 않았던 상기 네거티브 포토레지스트 층의 부분들을 제거하기 위해 현상 프로세스가 수행된다.
TFT-LCD를 제조하는데 필요한 사진인쇄 프로세스의 해상도는 반도체 제조에서 요구되는 것만큼 높지 않기 때문에, 상술된 종래의 기술들이 색 필터를 형성하는데 널리 적용된다. 하지만, 상기 기판(16, 26)의 전체 면적은 약 620㎜ ×750㎜이다. 상기 마스크(14, 24)의 가격은 상당히 높고 그 결과 상기 마스크의 전체 면적을 감소시키는 것은 TFT-LCD의 제조 비용을 감소시킬 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 마스크의 전체 면적을 감소시켜 제조 비용을 감소시키는 노광 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 복수의 LCD 패널들을 형성하기 위하여 기판을 노광시키는 노광 시스템을 제공한다. 상기 노광 시스템은 광원, 마스크 및 스테이지를 포함한다. 상기 광원은 소정의 파장을 가진 광빔들을 발생시키고, 상기 광원 아래에 고정된 마스크는 소정의 패턴을 가지며 상기 스테이지는 상기 소정의 패턴이 상기 기판의 다른 영역들 상에 전사될 수 있도록 상기 기판을 이동시킨다. 상기 소정의 패턴이 상기 복수의 LCD 패널들 중 하나에 대응하는 상기 기판의 위치상에 전사될 때, 상기 스테이지는 상기 마스크의 소정의 패턴이 상기 기판의 LCD 패널의 위치에 대응하는 다른 영역들상에 전사되도록 상기 기판을 운반한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 소정의 파장을 가진 광빔들을 발생시키기 위한 광원을 제공하는 단계와, 상기 광원 아래에 고정되며 소정의 패턴을 가진 마스크를 제공하는 단계와, 복수의 액정 디스플레이 패널들 중 하나에 대응하는 적어도 제1 영역을 포함하는 기판을 제공하는 단계와, 상기 기판을 운반하기 위한 스테이지를 제공하는 단계 및 상기 제1 영역을 노광시키기 위한 노광 절차를 수행하는 단계를 포함하며, 상기 제1 영역을 노광시킬 때, 상기 스테이지는 상 기 마스크의 소정의 패턴이 상기 제1 영역의 다른 부분들 상에 전사되도록 상기 마스크와 관련하여 상기 기판을 이동시키는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법을 제공한다.
본 발명에서 제공되는 마스크의 크기가 상기 마스크상의 조명 면적의 크기와 동일한 것은 종래 기술에 대한 이점이다. 상기 마스크 및 고정 위치에 장착된 광원을 가지고, 상기 마스크의 소정 패턴이 상기 스테이지를 이동시킴으로써 상기 기판 상에 전사된다. 그 결과, 상기 마스크의 전체 면적과 제조 비용이 감소될 수 있다.
본 발명의 상기 목적들 및 다른 목적들은 다수의 도면들에 도시된 바람직한 실시예의 다음 상세한 설명을 읽은 후 당업자에게 확실히 명백할 것이다.
이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명을 더 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 의한 노광 시스템의 개략도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 노광 시스템(30)은 고정된 방식으로 위치한 광원(31), 상기 광원(31) 아래에 고정된 마스크(32), 상기 마스크(32) 상에 투영된 원호형 조명 영역(33) 및 상기 마스크(32) 아래에 배치된 광학 시스템(34)을 포함한다. 부가적으로, 상기 마스크(32)는 복수의 주기적으로 배열된 슬릿들(32a)을 포함한다. 상기 광학 시스템(34)은 사다리꼴 거울(34a), 오목 거울(34b) 및 상기 사다리꼴 거울(34a)과 상기 오목 거울(34b) 사이에 위치한 볼록 거울(34c)을 포함한다. 상기 노광 시스템(30)은 스테이지(35) 및 상기 스테이지(35) 위에 배치된 기판(36)을 더 포함한다. 상기 스테이지(35)는 상기 기판(36)을 운반하고 이동시키는데 사용된다. 상기 노광 시스템(30)은 상기 광원(31) 및 상기 마스크(32) 사이에 배치된 빔 형성 광학 시스템( 미도시)을 더 포함한다. 상기 빔 형성 광학 시스템은 상기 광원(31)에서 발생된 광빔들을 원호형 빔(33a)으로 전달하는데 이용되는데, 상기 원호형 빔(33a)은 원호형 조명 영역(33)을 형성하기 위하여 상기 마스크(32) 상에 투사된다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 빔 형성 광학 시스템은 상기 광원(31)에서 발생된 광빔들을 직사각형 빔으로 전달할 수 있다. 노광 프로세스를 수행할 때, 상기 광원(31) 및 상기 마스크(32)는 고정되고 상기 기판(36)은 상기 스테이지(35)에 의해 이동된다. 이러한 방식으로, 상기 마스크(32)의 소정 패턴이 서서히 상기 기판(36) 상에 전사된다. 상기 노광 프로세스의 상세는 다음과 같이 설명된다.
도 4를 참조하라. 도 4는 도 3에 도시된 상기 노광 시스템(30)의 단순화된 버전의 확대 개략도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판(36)은 유리 기판의 네 영역들(36a, 36b, 36c, 36d)을 포함하고 유리 기판의 영역들 각각은 LCD 패널에 대응한다. 블랙 매트릭스(미도시)는 상기 기판(36) 상에 위치하고 네거티브 포토레지스트가 상기 기판(36)상에 코딩된다. 노광 프로세스 동안, 우선 상기 스테이지(35)는 유리 기판의 제1 영역(36a)을 이동시키기 위하여 상기 기판(36)을 상기 마스크(32) 및 상기 원호형 조명 영역(33) 아래의 적당한 위치로 운반한다. 그다음, 상기 스테이지(35)는 상기 마스크(32)의 소정 패턴을 유리 기판의 상기 제1 영역(36a)상의 상기 네거티브 포토레지스트 층 위에 전사하기 위하여 상기 기판(36)을 화살표 A 방향을 따라 소정 속도로 운반한다. 상기 네거티브 포토레지스트 층에 형성된 이미지의 크기는 상기 마스크(32)의 소정 패턴의 크기와 동일하다. 유리 기판의 상기 제1 영역(36a)을 노광시킨 후, 상기 마스크(32)의 소정 패턴을 유리 기판의 제2 영역(36b) 상의 네거티브 포토레지스트 층 위에 전사하기 위하여 상기 기판(36)은 상기 화살표 A 방향을 따라 계속 이동된다. 유리 기판의 상기 제1 영역(36a)과 유리 기판의 제2 영역(36b)을 노광시킨 후 유리 기판의 제3 영역(36c)이 상기 마스크(32) 및 상기 조명 영역(33) 아래의 적당한 위치로 이동된다. 상기 기판(36)은 유리 기판의 상기 제3 영역(36c) 및 유리 기판의 제4 영역(36d) 상에 상기 마스크(32)의 소정 패턴을 전사하기 위하여 상기 화살표 A 방향을 따라 이동된다. 더욱이, 유리 기판의 영역들(36a, 36b, 36c, 36d)의 노광 순서는 본 발명에서 바뀔 수 있다.
본 발명에 있어서, W는 상기 마스크(32)의 폭이고 L은 상기 마스크의 길이이다. W'는 상기 원호형 조명 영역(33)의 폭이고, L'는 상기 원호형 조명 영역(33)의 길이이며 t는 상기 원호형 조명 영역(33)의 개구부의 폭이다. W''는 상기 기판(36)의 폭이고 L''는 상기 기판(36)의 길이이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, W는 150㎜이고, L은 390㎜이며, W'는 95㎜이고, L'는 330㎜이며, t는 14㎜이고, W''는 750㎜이며, L''는 620㎜이다. 그 결과, 상기 마스크(32)의 전체 면적은 상기 기판(36)의 전체 면적의 약 10분의 1이다. 종래 기술과 비교하며, 본 발명의 마스크의 전체 면적은 매우 감소된다.
상기 광원으로부터의 광에 노광되지 않았던 상기 네거티브 포토레지스트 층의 부분들을 상기 기판(36)으로부터 제거하기 위하여 현상 프로세스가 수행된다. 상술된 노광 프로세스 및 현상 프로세스를 여러번 반복한 후, 상기 색 필터의 R/G/B 착색제들이 유리 기판의 영역들(36a. 36b. 36c, 36d)상에 형성된다. 부가적 으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판(36)의 주변 영역(36e)을 노광하는 것은 바람직하지 않다. 그 결과, 상기 주변 영역(36e)상의 상기 포토레지스트 층이 노광되는 것을 방지하기 위하여 상기 마스크(32) 및 상기 기판(36) 사이에 차폐 장치(미도시)가 부가된다.
도 5를 참조하라, 도 5는 도 4에 도시된 상기 기판의 선 BB'에 따른 단면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이 상기 색 필터의 (배열 C에 의해 표시된 바와 같은) 상기 R/G/B 착색제들(37)의 양측면은 뒤따르는 박막들이 상기 R/G/B 착색제들(37)상에 용이하게 형성될 수 있도록 경사져있다. 상기 R/G/B 착색제들(37)의 경사진 측면들을 획득하기 위하여 상기 마스크(32)의 소정 패턴의 슬릿들이 도 6에 도시된 형상으로 설계될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 스테이지(35)는 움직일 수 없다. 이러한 실시예에 있어서, 상기 광원(31) 및 상기 마스크(32)를 동시에 이동시킴으로써 상기 마스크(32)의 소정 패턴이 상기 기판(36) 상에 전사된다.
종래 기술과 비교하면, 본 발명에서 제공되는 마스크의 크기는 실제로 상기 마스크상의 조명 영역의 크기와 동일하도록 일정 비율로 감소된다. 상기 마스크 및 상기 광원이 모두 고정될 때, 상기 마스크의 소정 패턴은 상기 기판을 이동시킴으로써 상기 기판상에 전사된다. 상기 기판이 고정된다면, 상기 마스크의 소정 패턴은 상기 광원과 상기 마스크를 동시에 이동시킴으로써 상기 기판상에 전사된다. 본 발명에서 상기 마스크의 전체 면적은 매우 감소되므로 TFT-LCD의 제조 비용을 감소 시킬 수 있다.
당업자는 상기 장치의 수많은 수정 및 변경이 본 발명의 교시를 유지하면서 행해질 수 있다는 것을 쉽사리 알 것이다. 따라서, 상기 개시는 첨부된 청구항들의 경계에 의해서만 제한되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (16)

  1. 소정의 파장을 가진 광빔들을 발생시키기 위한 광원;
    소정의 패턴을 가진 상기 광원 아래에 고정된 마스크; 및
    상기 마스크의 상기 소정의 패턴이 상기 기판의 다른 영역들 상에 전사될 수 있도록 상기 기판을 이동시키기 위한 스테이지를 포함하며,
    상기 소정의 패턴을 복수의 액정 디스플레이 패널들 중 하나에 대응하는 상기 기판의 일부분 상에 전사할 때, 상기 스테이지는, 상기 마스크의 소정의 패턴이 상기 액정 디스플레이 패널에 대응하는 상기 기판의 일부분의 다른 영역들상에 전사되도록 상기 마스크와 관련하여 상기 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 복수의 액정 디스플레이 패널들을 형성하기 위하여 기판을 노광시키는 스텝형 노광 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 소정의 패턴은 주기적으로 배열된 복수의 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 원호형 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 수직인 상기 원호형 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 원호형 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 평행한 상기 원호형 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 직사각형 형태의 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 수직인 상기 직사각형 형태의 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 직사각형 형태의 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 평행한 상기 직사각형 형태의 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판은 네거티브형 포토레지스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 네거티브형 포토레지스트는 R 포토레지스트, G 포토레지스트, B 포토레지스트로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템.
  9. 소정의 파장을 가진 광빔들을 발생시키기 위한 광원을 제공하는 단계;
    상기 광원 아래에 고정되며 소정의 패턴을 가진 마스크를 제공하는 단계;
    복수의 액정 디스플레이 패널들 중 하나에 대응하는 적어도 제1 영역을 포함하는 기판을 제공하는 단계;
    상기 기판을 운반하기 위한 스테이지를 제공하는 단계; 및
    상기 제1 영역을 노광시키기 위한 노광 절차를 수행하는 단계를 포함하며, 상기 제1 영역을 노광시킬 때, 상기 스테이지는 상기 마스크의 소정의 패턴이 상기 제1 영역의 다른 부분들 상에 전사되도록 상기 마스크와 관련하여 상기 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 소정의 패턴은 주기적으로 배열된 복수의 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 원호형 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 수직인 상기 원호형 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 원호형 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 평행한 상기 원호형 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 직사각형 형태의 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 수직인 상기 직사각형 형태의 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 길이와 동일한 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기 광원은 상기 마스크 상에 직사각형 형태의 조명 영역을 형성하고 상기 스테이지의 이동 방향과 평행한 상기 직사각형 형태의 조명 영역의 양단간의 거리는 실질적으로 상기 마스크의 폭과 동일한 것을 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  15. 제9항에 있어서, 상기 기판은 네거티브형 포토레지스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 네거티브형 포토레지스트는 R 포토레지스트, G 포토레지스트, B 포토레지스트로 이루어진 그룹 중에서 선택된 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스텝형 노광 시스템을 이용하여 복수의 액정 패널들의 색 필터들을 형성하는 방법.
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KR100500199B1 (ko) * 1995-05-29 2005-11-01 가부시키가이샤 니콘 마스크패턴을겹쳐서노광하는노광방법

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