KR20070025155A - 아이디 마크가 형성된 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

아이디 마크가 형성된 액정표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

컬러필터 기판에 아이디 마크가 형성된 액정표시장치 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 본 발명은 메인 기판 상에 형성된 제 1 아이디 마크와, 컬러필터 기판 상에 형성된 제 2 아이디 마크를 포함하고, 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 각 컬러필터 기판에 형성된 블랙 매트릭스와 동일한 물질을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 액정표시장치의 컬러필터 기판의 공정 자동화를 위해 적어도 하나 이상의 아이디 마크를 더 형성하여 정량화된 공정관리를 할 수 있는 효과가 있다.
컬러필터, 아이디 마크, 검사 공정, 사진식각 기법

Description

아이디 마크가 형성된 액정표시장치 및 그 제조방법{DEVICE AND FABRICATION METHOD FOR LIQUID CRYSTALDISPLAY OF ID MARK}
도 1a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터 기판을 도시한 평면도.
도 1b는 본 발명에 따른 제 1 아이디 마크 및 제 2 아이디 마크가 형성된 것을 도시한 평면도.
도 2a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터 기판을 도시한 평면도.
도 2b는 본 발명에 따른 제 1 아이디 마크 및 제 2 아이디 마크를 도시한 평면도.
도 2c는 본 발명에 따른 제 1 아이디 마크 및 제 2 아이디 마크를 도시한 사시도.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 액정표시장치 컬러필터 기판의 제조방법 실시예를 도시한 I-I'의 도면.
도 4는 본 발명에 따른 컬러필터 기판의 제 4 아이디 마크가 형성된 다른 실시예를 도시한 I-I'의 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
100 : 기판 1 120 : 컬러필터 기판
121 : 블랙 매트릭스 130 : 제 3 아이디 마크
140, 141, 142, 143 : 제 4 아이디 마크 150 : 공통전극
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 아이디 마크를 형성하고 아이디 마크의 유실에 의한 불량을 방지하는 메인 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근에, 액정표시장치는 소비전력이 낮고, 휴대성이 양호한 기술집약적 제품으로 부가가치가 높은 차세대 첨단 디스플레이(Display)소자로 각광받고 있다.
일반적으로, 상기 액정표시장치는 박 트랜지스터(Thin Film Transistor ; TFT)를 포함하는 어레이 기판과 컬러필터(Color Filter) 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자인 박막 트랜지스터 액정표시장치를 뜻한다.
현재, 능동구동 액정표시장치(AMLCD : Active Matrix Liquid Crystal Display)가 주류를 이루고 있으며, 이는 박막 트랜지스터 하나가 화소 한 개의 액정에 걸리는 전압을 조절하여 화소의 투과도를 변화시키는 스위칭 소자로 사용되는 것으로, 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.
상기 액정표시장치의 어레이 기판에는 주사 신호 및 데이터 신호를 인가하는 다수 개의 게이트 및 데이터 배선이 서로 교차하며 형성되고, 이 교차된 영역을 하나의 서브 픽셀(Sub Pixel)로 하여, 이 서브 픽셀단위로 액정에 전압을 인가하는 한쪽 전극역할을 하는 화소전극이 형성되고, 이 화소전극과 연결되어 상기 게이트 및 데이터 배선의 교차점 근방에 박막 트랜지스터가 형성된다.
상기 액정표시장치의 컬러필터 기판에는 상기 어레이 기판의 서브 픽셀과 대응하여 특정색의 파장만을 투과시키는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 컬러필터의 서브 컬러필터가 형성되고, 상기 서브 컬러필터간 색구분 및 상기 화소전극 이외의 영역 상의 빛의 차단 및 상기 박막 트랜지스터상에 빛이 조사되는 것을 방지하는 블랙 매트릭스가 형성되며, 상기 액정에 전압을 인가하는 또 하나의 전극 역할을 하는 공통전극이 형성된다.
상기 액정표시장치에서 액정 셀(Cell)의 간략한 제조공정과 그 동작을 살펴보면 다음과 같다.
상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판의 마주보는 각 내측면에는 각각 공통전극과 화소전극을 서로 대향하도록 형성한 후 상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판 사이에 액정을 주입시키고 주입구를 봉합한다. 그리고, 상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판의 외측면에 각각 편광판을 붙임으로서, 액정 셀은 완성되게 된다.
종래의 상기 어레이 기판은 아이디 마크가 형성되어 공정 자동화에 용의하게 이용되고 있다.
본 발명은 메인 기판과, 메인 기판으로부터 분할된 컬러필터 기판에 아이디 마크를 형성하여 정량화된 공정관리를 할 수 있는 메인 기판 및 그 제조 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 메인 기판과, 컬러필터 기판에 형성된 아이디 마크의 분실시 발생되는 에러를 방지할 수 있는 메인 기판 및 그 제조 방법을 제공함에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 메인 기판은,
적어도 하나 이상의 컬러필터 기판으로 분할된 메인 기판에서 있어서,
상기 메인 기판 상에 형성된 제 1 아이디 마크;
상기 각 컬러필터 기판 상에 형성된 제 2 아이디 마크를 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 각 컬러필터 기판에 형성된 블랙 매트릭스와 동일한 물질을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 메인 기판의 제조 방법은,
메인 기판에 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판을 분할하는 단계;
상기 메인 기판 상에 제 1 아이디 마크를 형성하는 단계;
상기 각 컬러필터 기판 상에 제 2 아이디 마크를 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판상의 블랙 매트릭스와 함께 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 메인 기판은,
적어도 하나 이상의 컬러필터 기판으로 분할된 메인 기판에 있어서,
상기 메인 기판 상에 형성된 제 1 아이디 마크;
상기 각 컬러필터 기판 상에 형성된 제 2 아이디 마크;
상기 제 1 아이디 마크 상에 형성된 제 2 아이디 마크; 및
상기 제 2 아이디 마크 상에 형성된 제 4 아이디 마크를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 메인 기판의 제조 방법은,
메인 기판에 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판을 분할하는 단계;
성기 메인 기판 상에 제 1 아이디 마크를 형성하는 단계;
상기 각 컬러필터 기판 상에 제 2 아이디 마크를 형성하는 단계;
상기 제 1 아이디 마크 상에 제 3 아이디 마크를 형성하는 단계; 및
상기 제 2 아이디 마크 상에 제 4 아이디 마크를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치 전 공정의 자동화에 따른 공정의 효율을 위해 컬러필터 기판에 아이디 마크를 형성하는 타이틀링(Titling) 공정이 수반된다.
이하, 상기 액정표시장치용 컬러필터 기판의 아이디 마크에 대해서 상세히 설명한다.
도 1a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터 기판을 도시한 평면도로서, 하나의 메인 기판에 4개의 컬러필터 기판을 제작하는 경우를 일예로 하여 나타내었다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 메인 기판(10)상에는 4개의 컬러필터 기판(20) 과, 상기 메인 기판(10)의 제 1 아이디 마크(30)와, 상기 컬러필터 기판(20)의 제 2 아이디 마크(40)가 형성되어 있다.
상기 컬러필터 기판(20) 제조방법은 먼저, 상기 메인 기판(10)을 세정한 후, 유기 물질을 증착하고 마스크를 이용하여 패터닝하는 사진식각 기법으로 블랙 매트릭스(미도시)가 형성된다.
상기 블랙 매트릭스 형성 공정시에 상기 제 1 아이디 마크(30) 및 제 2 아이디 마크(40)도 함께 형성된다.
그런 다음, 색상을 구현하기 위한 적색(R) 컬러필터, 녹색(G) 컬러필터 및 청색(B) 컬러필터가 사진식각 기법으로 형성된다.
마지막으로 어레이 기판의 화소 전극과 함께 액정 셀을 동작시키기 위한 공통전극이 형성된다.
상기 사진식각 기법은 한 예로 기판상에 금속 물질 및 유기 물질을 증착하는 단계와, 상기 금속 물질 및 유기 물질 상부에 PR(Photo Resist) 물질을 도포하는 단계와, 상기 PR 물질 상부에 노광부를 가지는 마스크를 배치한 후, 마스크의 노광부를 통해 PR 물질을 노광, 현상하여 일정 패턴을 가지는 PR층을 형성하는 단계와, 상기 PR층을 마스크를 이용하여 금속물질을 식각하여 금속 물질을 패터닝하는 단계를 포함한다.
그러나, 상기와 같은 컬러필터 기판은 다음과 같은 문제점이 있다.
도 1b는 본 발명에 따른 제 1 아이디 마크 및 제 2 아이디 마크가 형성된 것을 도시한 평면도이다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 제 1 아이디 마크(30) 및 제 2 아이디 마크(40)는 컬러필터 형성공정과, 공통전극 형성공정이 진행되면서 일부분이 유실되는 불량이 빈번하게 발생한다.
상기 제 1 아이디 마크(30) 및 제 2 아이디 마크(40)는 상기 컬러필터 기판(20)의 블랙 매트릭스 공정시에 형성되는데, R, G, B 컬러필터 공정 및 공통전극 공정이 진행되면서 마찰 등에 의해 일부분이 유실되고, 최종 검사 공정시에 유실된 상기 제 1 아이디 마크(30) 및 제 2 아이디 마크(40)에 의해 아이디 인식기에서 동작이 멈추게 된다.
상기와 같은 문제를 방지하기 위해 형성된 액정표시장치용 컬러필터 기판의 아이디 마크에 대해 상세히 설명한다.
도 2a는 본 발명에 따른 액정표시장치의 컬러필터 기판을 도시한 평면도이다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 메인 기판(100)은 4개의 컬러필터 기판(120)ㅇ으로 분할된다. 상기 메인 기판(100)에는 블랙 매트릭스 물질과 동일한 제 1 아이디 마크가 형성되고, 상기 각 컬러필터 기판(120)에는 블랙 매트릭스 물질과 동일한 제 2 아이디 마크가 형성된다. 이러한 경우, 제 1 및 제 2 아이디 마크가 유실될 것에 대비하여 상기 제 1 아이디 마크 상에는 컬러필터 재질과 동일한 제 3 아이디 마크(130)가 형성되고, 상기 제 2 아이디 마크 상에는 컬러필터 재질과 동일한 제 4 아이디 마크()가 형성된다. 즉, 상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 블랙 매트릭스 공정시 형성되고, 상기 제 3 및 제 4 아이디 마크(130, 140)은 컬러필터 기판 공정 시 형성된다.
물론, 그 이후 공정에도 추가적으로 아이디 마크가 형성될 수 있다.
상기 제 3 아이디 마크(130) 및 제 4 아이디 마크(140)를 형성함에 있어서, PR층의 도포, 노광, 현상, 식각 등의 일련의 공정을 포함하는 사진식각(Photo Lithography) 기법을 진행한다.
상기 사진식각 기법은 한 예로 기판상에 금속 또는 유기 물질을 증착하는 단계와, 상기 금속 또는 유기 물질 상부에 PR(Photo Resist) 물질을 도포하는 단계와, 상기 PR 물질 상부에 노광부를 가지는 마스크를 배치한 후, 마스크의 노광부를 통해 PR 물질을 노광, 현상하여 일정 패턴을 가지는 PR층을 형성하는 단계와, 상기 PR층을 마스크로 하여 금속물질을 식각하여 금속 물질을 패터닝하는 단계를 포함한다.
상기 제 3 아이디 마크(130) 및 제 4 아이디 마크(140)는 상기 컬러필터 기판(120)의 적색 컬러필터가 형성되는 공정시에 형성될 수도 있고, 녹색 컬러필터가 형성되는 공정시에 형성될 수도 있고, 청색 컬러필터가 형성되는 공정시에 형성될 수도 있다.
상기 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터는 사진식각 기법을 통해서 형성되기 때문에 마스크의 패턴을 수정함으로서 제 3 아이디 마크(130) 및 제 4 아이디 마크(140)를 형성할 수 있다.
도 2b와 도 2c는 본 발명에 따른 제 1 아이디 마크 및 제 2 아이디 마크를 도시한 평면도와 사시도이다.
도 2b와 도 2c에 도시된 바와 같이, 제 3 아이디 마크(130)는 상기 컬러필터 기판(120)을 제외한 어떠한 영역에 유실된 영역이 없이 형성되고, 상기 제 4 아이디 마크(140)는 상기 컬러필터 기판(120)의 일측에 형성된다.
상기 컬러필터 기판(120)의 블랙 매트릭스 공정시에 형성되는 제 1 아이디 마크(도1a의 30) 및 제 2 아이디 마크(도1a의 40)는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터 형성 공정과, 공통전극 형성공정이 진행되면서 일부분이 유실된다.
상기 제 1 아이디 마크(도1a의 30) 및 제 2 아이디 마크(도1a의 40)에서 아이디가 새겨진 부분은 금속 또는, 유기 물질이 제거되고, 상기 아이디의 주변부는 금속 또는, 유기 물질로 이루어짐으로서, 추후 최종 검사 공정에서 광이 아이디가 새겨진 부분에 투과되어 아이디를 판독하게 되는데 일부분이 유실된 상기 제 1 아이디 마크(도1a의 30) 및 제 2 아이디 마크(도1a의 40)는 검사 공정의 인식기에서 아이디를 판독할 수 없게 된다.
따라서, 제 3 아이디 마크(130) 및 제 4 아이디 마크(140)는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터 형성 공정시에 적어도 하나 이상 형성되어 검사 공정의 인식기가 아이디를 판독할 수 있게 함으로서, 최종 검사 공정까지 공정 자동화의 원활한 진행이 가능하게 된다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 액정표시장치 컬러필터 기판의 제조방법 실시예를 도시한 I-I'의 도면이다.
도 3a에 도시된 바와 같이, 컬러필터 기판(120)의 세정을 실시한 후, 블랙 매트릭스(121) 재료로 사용되는 금속물질 또는, 유기물질의 감광성 수지를 증착하게 된다.
상기 블랙 매트릭스(121)를 형성하면서 동시에 제 2 아이디 마크(40)를 형성한다.
상기 블랙 매트릭스(121)와 제 2 아이디 마크(40)는 사진식각 기법을 이용하여 패터닝하여 형성된다.
상기 사진식각 기법은 PR층의 도포, 노광, 현상, 식각 등의 일련의 공정을 포함한다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 블랙 매트릭스(121)가 형성된 컬러필터 기판(120)상에 적색 컬러필터(R)를 형성한다.
상기 적색 컬러필터(R)는 사진식각 기법을 이용하여 형성되고, 상기 적색 컬러필터(R)를 형성함과 동시에 제 4 아이디 마크(141)를 형성한다.
먼저, 상기 블랙 매트릭스(121)를 포함한 전면에 상기 블랙 매트릭스(121)를 완전히 덮을 수 있도록 적색으로 착색된 컬러 리지스트를 도포하고, 다음으로 마스크를 이용하여 상기 리지스트 상부의 특정 영역만을 노출시킨 후, 부분 노광을 실시한다.
상기와 같이 노광을 실시한 후, 노광에 의해 광화학적 구조가 변경된 상기 적색 컬러필터 리지스트를 현상액에 담구어 노광되지 않은 부분을 제거한다.
상기 사진식각 기법이 완료되면, 적색 컬러필터(R) 및 제 4 아이디 마크(141)가 형성된다.
도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 블랙 매트릭스(121)가 형성된 컬러필터 기판(120)상에 녹색 컬러필터(G)를 형성한다.
상기 녹색 컬러필터(G)를 형성함과 동시에 제 4 아이디 마크(142)를 형성한다.
상기 녹색 컬러필터(G) 및 제 4 아이디 마크(142)는 상기 적색 컬러필터(R)를 형성한 것처럼 사진식각 기법을 이용하여 형성한다.
도 3d에 도시된 바와 같이, 상기 블랙 매트릭스(121)가 형성된 컬러필터 기판(120)상에 청색 컬러필터(B)를 형성한다.
상기 청색 컬러필터(B)를 형성함과 동시헤 제 4 아이디 마크(143)를 형성한다.
상기 청색 컬러필터(B) 및 제 4 아이디 마크(143)는 상기 적색 컬러필터(R) 및 녹색 컬러필터(G)를 형성한 것처럼 사진식각 기법을 이용하여 형성한다.
상기와 같이 블랙 매트릭스(121)를 형성하면서 동시에 형성된 제 2 아이디 마크(40) 상부에는 상기 적색 컬러필터(R), 녹색 컬러필터(G) 및 청색 컬러필터(B)를 형성공정시 적어도 하나 이상의 제 4 아이디 마크(141, 142, 143)가 형성된다.
상기 제 4 아이디 마크(141, 142, 143)는 제 2 아이디 마크(40)의 아이디 유실의 불량을 방지하기 위해 형성된다.
도 3e에 도시된 바와 같이, 상기 형성된 적색 컬러필터(R), 녹색 컬러필터(G) , 청색 컬러필터(B) 및 제 4 아이디 마크(141, 142, 143)상에 공통전극(150)을 형성하게 된다.
상기 공통 전극(150)은 투과성과 도전성이 좋으며 화학적, 열적 안정성이 우수한 투명 전극 재료인 ITO(Indium Tin Oxide)를 스퍼터링에 의해 증착한다. 상기 공통전극(150)은 별도의 패턴 형성을 하지 않는다.
도 4는 본 발명에 따른 컬러필터 기판의 제 4 아이디 마크가 형성된 다른 실시예를 도시한 I-I'의 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판은 컬러필터 기판(120)상에 형성된 블랙 매트릭스(121)와, 상기 블랙 매트릭스(121)를 형성함과 동시에 형성된 제 2 아이디 마크(40)와, 적색 컬러필터(R)와, 상기 적색 컬러필터(R)를 형성함과 동시에 형성된 제 4 아이디 마크(141)와, 녹색 컬러필터(G)와, 상기 녹색 컬러필터(G)를 형성함과 동시에 형성된 제 4 아이디 마크(142)와, 청색 컬러필터(B)와, 상기 청색 컬러필터(B)를 형성함과 동시에 형성된 제 4 아이디 마크(143)를 포함한다.
상기 적색 컬러필터(R), 녹색 컬러필터(G), 청색 컬러필터(B) 및 제 4 아이디 마크(141, 142, 143) 상부에는 공통전극(150)이 형성된다.
상기 제 4 아이디 마크(141, 142, 143)는 상기 적색 컬러필터(R), 녹색 컬러필터(G) 및 청색 컬러필터(B)를 형성함과 동시에 각각 형성되어 3개의 층으로 형성될 수 있다.
따라서, 상기 제 4 아이디 마크(141, 142, 143)는 검사 공정의 인식기가 아이디를 판독할 수 있게 함으로서, 최종 검사 공정까지 공정 자동화의 원활한 진행이 가능하게 한다.
도시되지는 않았지만, 제 3 아이디 마크(도2a의 130)는 상기 제 4 아이디 마 크(도2a의 140)를 형성한 것처럼 기판(100) 일면에 상기 적색 컬러필터(R), 녹색 컬러필터(G) 및 청색 컬러필터(B)를 형성함과 동시에 적어도 하나 이상을 형성되어 검사 공정의 인식기가 아이디를 판독할 수 있게 함으로서, 최종 검사 공정까지 공정 자동화의 원활한 진행이 가능하게 한다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 아이디 마크가 형성된 액정표시장치 및 그 제조방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명은 액정표시장치의 컬러필터 기판의 공정 자동화를 위해 적어도 하나 이상의 아이디 마크를 더 형성하여 정량화된 공정관리를 할 수 있는 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능할 것이다.

Claims (14)

  1. 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판으로 분할된 메인 기판에서 있어서,
    상기 메인 기판 상에 형성된 제 1 아이디 마크;
    상기 각 컬러필터 기판 상에 형성된 제 2 아이디 마크를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 각 컬러필터 기판에 형성된 블랙 매트릭스와 동일한 물질을 갖는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판을 제외한 어떠한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  3. 메인 기판에 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판을 분할하는 단계;
    상기 메인 기판 상에 제 1 아이디 마크를 형성하는 단P;
    상기 각 컬러필터 기판 상에 제 2 아이디 마크를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판상의 블랙 매트릭스와 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 블랙 매트릭스와 동일한 물질로 이루 어지는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판을 제외한 어떠한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  6. 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판으로 분할된 메인 기판에 있어서,
    상기 메인 기판 상에 형성된 제 1 아이디 마크;
    상기 각 컬러필터 기판 상에 형성된 제 2 아이디 마크;
    상기 제 1 아이디 마크 상에 형성된 제 2 아이디 마크; 및
    상기 제 2 아이디 마크 상에 형성된 제 4 아이디 마크를 포함하는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 블랙 매트릭스와 동일한 재질을 갖는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 컬러필터와 동일한 재질을 갖는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판을 제외한 어떠한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판.
  10. 메인 기판에 적어도 하나 이상의 컬러필터 기판을 분할하는 단계;
    성기 메인 기판 상에 제 1 아이디 마크를 형성하는 단계;
    상기 각 컬러필터 기판 상에 제 2 아이디 마크를 형성하는 단계;
    상기 제 1 아이디 마크 상에 제 3 아이디 마크를 형성하는 단계; 및
    상기 제 2 아이디 마크 상에 제 4 아이디 마크를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 블랙 매트릭스와 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 아이디 마크는 컬러필터와 함께 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 3 아이디 마크는 상기 컬러필터 기판을 제외한 어떠한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 내지 제 4 아이디 마크는 사진식각 기법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 메인 기판의 제조 방법.
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