KR100773981B1 - 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 - Google Patents

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Abstract

플라즈마 증착에 의하여 노즐 플레이트에 선택적으로 발액층을 형성할 수 있고, 플라즈마 증착 시 전기장을 형성시켜 잉크 액적의 직진성을 향상시킬 수 있으며, 간략화된 공정과 고온 공정을 거친 후 안정적으로 발액처리를 할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제공한다. 또한, 노즐 벽면에 발액층이 형성되지 않아 잉크 액적의 메니스커스 형성이 최적화 되고 연속 토출이 가능하고, 퍼플루오로 화합물로 내화학성 및 내마모성이 우수한 발액층을 형성할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 및 이에 의하여 제조된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐부를 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크젯 프린터 헤드의 노즐 플레이트에 잉크 액적을 토출시키는 관통공을 형성하는 단계 및 상기 노즐 플레이트의 표면에 발액층을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 발액층은 플라즈마 증착에 의하여 발액물질을 상기 노즐 플레이트의 일면에 증착시켜 형성되고, 상기 플라즈마 증착 시 상기 노즐 플레이트에 전기장을 형성시키는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제시할 수 있다.
잉크젯 프린터 헤드, 노즐부, 발액층, 전기장

Description

잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법{Method for Manufacturing Nozzle Part of Ink-jet Printer Head}
도 1은 잉크젯 프린터 헤드의 단면을 도시한 도면;
도 2는 도 1의 Ⅱ를 확대한 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 단면을 도시한 도면;
도 3는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조장치를 도시한 도면; 및
도 4은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부를 나타내는 FE-SEM 결과이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
3 : 잉크젯 프린트 헤드 30 : 노즐 플레이트
32 : 노즐부 34 : 발액층
A : 잉크 액적의 토출방향 B : 발액물질의 증착방향
4 : 노즐부 제조장치 41 : 플라즈마 형성부
42 : 플라즈마 43 : 발액물질 투입구
44 : 테이블 46 : 전기장 형성부
47 : 전원 461 : 봉압전극
463 : 지지체 465 : 도전판
본 발명은 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 및 이에 의하여 제조된 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부에 관한 것으로, 특히 노즐 플레이트에 발액층을 포함하도록 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부를 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크는 미세한 액적 형태로 분사되어, 인쇄 품질을 높이기 위해서는 잉크가 완전한 액적 형태로 안정되게 분사되어야 한다. 이를 위하여 노즐 부위를 발수 또는 발액 처리하여 메니스커스(meniscus) 형성이 원활히 이루어지도록 해야 한다.
이와 같은 발수 또는 발액 처리여부는 노즐부의 말단에서 잉크젯 헤드에서 토출되는 잉크 액적의 크기, 잉크의 토출 성능, 잉크 토출의 안정성과 연속 토출에 중요한 영향을 미친다. 만약 노즐부를 구성하는 노즐 플레이트가 발액성을 띄지 않으면 잉크 토출이 반복됨에 따라 노즐 표면이 젖게 되는 웨팅(wetting) 현상이 발생하여, 분사되는 잉크가 노즐의 표면에 젖어있는 잉크와 뭉쳐져 완전한 액적의 형태를 가지지 못하고 흘러내리게 되거나, 잉크의 토출을 방해하는 장력이 형성되기도 한다. 그 결과 인쇄 상태가 나쁘고, 잉크의 토출 후 형성되는 메니스커스도 불 안정하게 된다.
따라서 잉크젯 헤드의 신뢰성을 확보하기 위해서는 노즐 플레이트의 표면을 발액 처리하는 것이 필수적이다. 이와 같이 노즐 플레이트의 표면을 발액층을 형성하는 종래의 방법으로 첫째, 노즐 플레이트의 표면에 발액물질을 찍어내는 방식을 이용하였다. 보다 구체적으로는 다소 부드러운 물질 위에 발액물질을 바르고, 원래 형성하려고 하였던 노즐에 열과 압력을 가하여 압착하면 발액물질이 전이되는 방법이다. 이 방법으로 발액층을 형성하면 잉크젯 프린터 헤드에 물리적인 손상이 가해질 수 있고, 헤드가 얇은 경우 휘어질 수도 있는 단점이 있다. 둘째, 스퍼터링의 직진성을 이용하여 폴리이미드 계 노즐에 접착층과 전도층 및 발수층을 형성하는 방법이 있는데, 노즐의 내부가 수직으로 형성되어 있는 경우 노즐 벽면에도 발수층이 형성될 수 있어 메니스커스의 위치가 바람직하게 형성될 수 없는 단점이 있다.
또한 발액층을 형성하는 발액물질은 대부분 고온 공정을 견디지 못하기 때문에 잉크젯 프린터 헤드의 제조단계에 있어서 발액처리는 고온 공정을 거친 후, 바람직하게는 최종 공정에서 수행하는 것이 좋다.
본 발명은 플라즈마 증착에 의하여 노즐 플레이트에 선택적으로 발액층을 형성할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 플라즈마 증착 시 전기장을 형성시켜 잉크 액적의 직진성을 향상시킬 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 간략화된 공정과 고온 공정을 거친 후 안정적으로 발액처리를 할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 노즐부 내면에 발액층이 형성되지 않아 잉크 액적의 메니스커스 형성이 최적화 되고 연속 토출이 가능한 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 및 이에 의하여 제조된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐부를 제공한다.
또한 본 발명은 퍼플루오로 화합물로 내화학성 및 내마모성이 우수한 발액층을 형성할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 및 이에 의하여 제조된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐부를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크젯 프린터 헤드의 노즐 플레이트에 잉크 액적을 토출시키는 관통공을 형성하는 단계 및 상기 노즐 플레이트의 표면에 발액층을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 발액층은 플라즈마 증착에 의하여 발액물질을 상기 노즐 플레이트의 일면에 증착시켜 형성되고, 상기 플라즈마 증착 시 상기 노즐 플레이트에 전기장을 형성시키는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제시할 수 있다.
여기서 상기 잉크 액적의 토출 방향과 상기 발액물질의 증착방향이 대향되도록 상기 전기장을 형성시킬 수 있다.
또한, 여기서 상기 발액층은 상기 관통공에 대하여 수직으로 형성될 수 있다.
또한 상기 플라즈마 증착은 유도결합 플라즈마 스퍼터링일 수 있다. 바람직한 실시예에 따르면, 상기 유도결합 플라즈마 스퍼터링의 증착시간은 10 내지 120초로 수행한다.
여기서 상기 발액물질은 퍼플루오로 화합물(perfluoro compound)일 수 있고, 바람직한 실시예에 따르면, 상기 퍼플루오로 화합물은 C4F8이다.
또한, 여기서 상기 발액층의 두께는 5 내지 100nm이다.
또한, 여기서 상기 전기장은 전원과 결합된 도전판에 의하여 형성될 수 있고,상기 전기장은 5 내지 50W일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 잉크젯 프린터 헤드의 제조방법에 의하여 제조된 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부를 제시할 수 있다.
여기서 잉크 액적을 토출시키는 노즐이 형성된 노즐 플레이트 및 상기 노즐 플레이트의 일면에 형성된 발액층을 포함할 수 있고, 또한 상기 발액층의 두께는 5 내지 100nm일 수 있다.
또한 여기서 상기 발액층은 퍼플루오로 화합물(parlor compound)로 이루어 질 수 있고, 바람직한 실시예에 따르면 상기 퍼플루오로 화합물은 C4F8이다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 상술한 노즐부를 포함하는 잉크젯 프린터 헤드를 제시할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 바람직한 실 시예들을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기에 앞서 잉크 토출 시 발액층을 포함하는 노즐의 표면상태와 잉크 액적과의 관계에 대해서 먼저 설명하기로 한다.
메니스커스(meniscus)란 노즐 안에서 형성되는 초승달 모양의 잉크 표면을 말하는 것으로 잉크 토출 시에 잉크가 노즐을 채우면 표면 장력으로 인하여 노즐 벽을 타고 올라가게 되고, 이것이 공기와 맞닿으면 표면이 오목해진다. 메니스커스가 형성되면 모양이 제대로 갖추어진 잉크 액적이 토출될 준비가 되었다는 것을 의미한다. 노즐의 말단에 이러한 안정적인 메니스커스를 형성하고, 잉크가 노즐 밖으로 번지는 것을 막아 연속 토출 시에도 안정한 액적을 만들기 위해서 노즐 플레이트를 포함한 노즐의 표면상태가 중요한 영향을 미친다.
우선 노즐의 말단에 결합하는 노즐 플레이트는 발액층을 가져야, 토출되는 잉크 액적이 잉크 자체의 장력에 의하여 노즐 내에서 안정적으로 메니스커스를 형성할 수 있다. 또한 노즐의 내면은 잉크와 같은 액성을 가져야 한다. 즉, 친수성 잉크를 사용한다면 노즐 내부는 친수성이어야 한다. 이는 잉크가 피착물에 도출되기 위한 기본적인 요건이다. 만약 노즐 내부도 발액성을 가지면 메니스커스가 제대로 형성되지 않거나 노즐의 깊은 안쪽에서 형성되면, 잉크가 토출되지 않거나 토출에 많은 압력과 시간이 소요되어 바람직하지 않다. 따라서 노즐 플레이트의 말단과 발액층을 경계로 하여 노즐 내에서 메니스커스가 형성되는 것이 가장 바람직하다.
이와 같이 노즐 플레이트의 표면만 선택적으로 발액 처리하되 노즐의 내면은 발액 처리되지 않도록 선택적 표면 처리를 위하여 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법이 제시되었다.
일반적으로, 잉크젯 프린팅은 액체 잉크를 종이에 토출하여 인쇄하는 방식으로서, 잉크젯 프린트 헤드에는 바늘 끝 정도 크기의 노즐이 배열되어 있으며, 이 노즐에서 잉크가 토출된다. 잉크젯 프린터는 잉크를 분사하는 방법에 따라 버블젯(bubble jet) 분사 방식, 써멀 젯(thermal jet) 방식, 압전(piezo) 분사 방식과 같은 종류가 있다.
도 1은 잉크젯 프린터 헤드(3)의 단면을 도시한 도면이다. 도 1을 참조하여 설명하면, 실리콘 기판(10), 노즐부의 직진부(12), 노즐부의 경사부(16), 리스트릭터(18), 글래스 기판(20), 잉크챔버(22), 잉크 유입구(24), 멤브레인(26), 압전소자(28)가 도시되어 있다. 본 발명의 잉크젯 프린터 헤드는 하부기판과, 하부기판의 상부에 접합되는 상부기판을 기본적인 구성으로 하며, 상부기판에는 압전소자(30)가 결합된다. 압전식 잉크젯 프린터 헤드에 사용되는 압전소자(28)는 전원을 인가받아 멤브레인(26)에 진동을 가함으로써 잉크젯 프린터 헤드의 구동력을 전달하는 역할을 하므로, 헤드의 구조 중 멤브레인(26) 부분에 결합된다.
본 발명은 2장의 기판만으로 용이하게 잉크젯 프린터 헤드 구조를 형성하기 위한 것으로, 잉크젯 프린터 헤드 구조 중 노즐부와 리스트릭터(restrictor)(18)를 하부기판에, 잉크챔버(22)와 잉크 유입구(24)를 상부기판에 형성하고, 상부기판과 하부기판을 접합함으로써 전체적인 헤드 구조가 형성된다. 이와 같이 상부기판과 하부기판을 접합할 때 높은 온도가 가해기기 때문에 노즐부의 노즐 플레이트에 미리 발액층을 형성하면, 잉크젯 헤드의 제작 시 발액층이 없어질 우려가 있다. 또한 잉크젯 헤드 제작 공정 중에 발액층이 손상될 수 있기 때문에 잉크젯 헤드 제조공정을 거치고 노즐 플레이트의 외층에 발액층을 형성하는 것이 바람직하다. 다만, 상부기판 및 하부기판에 각각 형성되는 헤드 구조물은 적용되는 제조공정에 따라 용이하게 제조될 수 있도록 하기 위한 것으로, 본 발명이 반드시 상부기판과 하부기판에 각각 전술한 구조물들을 형성하는 것에 한정되는 것은 아니며, 당업자에게 자명한 범위 내에서 각 기판에 다른 구조물들이 형성될 수 있음은 물론이다. 또한 이와 같은 잉크젯 헤드(3)의 구조는 예시적인 것에 불과하고, 본 발명과 같이 노즐 플레이트를 가지는 잉크젯 프린터의 헤드에는 제한 없이 사용할 수 있다.
도 2는 도 1의 Ⅱ를 확대한 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 단면을 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면, 잉크의 원활한 토출을 위하여 노즐(32)의 말단에 기판 등과 같은 노즐 플레이트(30)가 결합되는데, 이 노즐 플레이트는 일반적으로 금, 구리, 은, 스테인레스 스틸 및 알루미늄 등을 포함한다. 노즐 플레이트(30)는 토출되는 잉크가 바람직한 메니스커스(c)를 형성할 수 있도록 발액층(34)을 더 포함한다. 이 발액층(34)은 플라즈마 증착에 의하여 발액물질을 상기 노즐 플레이트(30)의 일면에 증착시켜 형성되고, 상기 플라즈마 증착 시 상기 노즐 플레이트에 전기장을 형성시켜 제조한다. 여기서 도 1의 노즐부의 직진부(12)와 노즐부의 경사부(16)를 포함하여 노즐부(32)로 도시하였다.
도 3는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조장치를 도시한 도면이다. 도 3을 참조하면, 본 발명에서 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐 플레이트(30)에 잉크 액적을 토출시키는 관통공을 형성하는 단계 및 상기 노즐 플레이트(30)의 표면에 발액층(34)을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 발액층은 플라즈마 증착에 의하여 발액물질을 상기 노즐 플레이트의 일면에 증착시켜 형성되고, 상기 플라즈마 증착 시 상기 노즐 플레이트에 전기장을 형성시켜 제조된다.
여기서 노즐 플레이트(30)에 형성된 관통공은 잉크의 유로의 일부를 구성하게 된다. 또한 노즐 플레이트를 잉크젯 헤드에 부착시키고 상기한 발액층 형성방법을 수행할 수 있고, 먼저 노즐 플레이트에 발액층을 형성한 후, 노즐 플레이트를 잉크젯 헤드에 부착시킬 수도 있다.
노즐부 제조장치(4)는 진공증착 챔버(40)와 이 진공증착 챔버에 결합되며, 발액물질이 이 진공 증착 챔버에 유입되도록 하는 발액물질 투입구(43), 이 진공증착 챔버와 결합되며, 투입된 발액물질을 이온화하기 위한 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 형성부(41) 및 이 진공증착 챔버의 하부에 결합되어 노즐 플레이트를 안착시킬 수 있는 테이블(44)을 포함한다. 또한 노즐 플레이트에 발액물질이 증착될 때, 발액물질의 직진성을 향상시키기 위하여 전기장을 형성시키기 위한 전기장 형성부(46)를 더 포함한다. 이 전기장 형성부(46)는 별도의 장치로 구성되어 노즐 플레이트에 전기장을 미칠 수도 있고, 도 3에 도시된 바와 같이 플라즈마 증착장치와 결합되어 노즐 플레이트에 전기장을 형성시킬 수도 있다.
이러한 플라즈마 증착법의 예로 플라즈마를 발생시키는 원리에 따라 유도결합 플라즈마 스퍼터링(inductive coupled plasma, ICP)이나 플라즈마 화학 증착법(RF magnetron plasma, CVD) 등을 들 수 있다. 도 3에 도시되어 있지는 않으나, 당 해 기술분야의 통상적인 범위 내에서 노즐플레이트에 발수물질을 플라즈마 증착시키는데 필요한 다른 구성요소를 부가하거나 도시된 구성요소를 생략할 수 있다.
이러한 플라즈마 증착에 사용될 수 있는 발액물질로 내마모성이나 내화학성의 측면에서 퍼플루오로 화합물이 바람직하며, 이러한 퍼플루오로 화합물의 예로는 폴리 테트라플루오로 에틸렌, 테트라플루오로 에틸렌 헥사플루오로 프로필렌, 또는 폴리 퍼플루오로 에폭시 화합물을 사용할 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 C4F8 가스를 사용하였다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따라 유도결합 플라즈마 스퍼터링에 의하여 발액물질을 증착시키는 경우 증착시간은 10 내지 120초로 수행하는 것이 바람직하다. 10초 이하로 증착하는 경우 소망하는 발액층을 얻기 어려우며 120초 이상 증착하면 노즐의 벽면에 증착되거나 또는 소망하는 부위에만 선택적으로 증착시키기 어려운 문제가 있다.
이와 같은 방법에 의하여 형성된 본 발명의 발액층의 두께는 5 내지 100nm이고, 5nm이하이면 발액층으로 잉크 액적을 밀어내는 역할을 수행하기에 부적합하고, 100nm이상이 되더라도 발액층으로서의 역할을 수행하기에는 문제없으나 효율적인 측면에서 바람직하지 않다.
이와 같은 노즐부 제조장치(4)를 이용하여 노즐 플레이트(30)에 발수물질을 플라즈마 증착시킬 수 있다. 이때 잉크 액적의 토출방향과 발액물질이 증착되는 방향이 평행을 이루며 대향되도록 발액물질을 증착시키는 것이 바람직하며, 이를 위 해 전기장이 이 발액물질의 증착방향과 일치하도록 형성시키는 것이 바람직하다. 노즐 플레이트의 관통공, 즉 노즐의 내면에는 발액물질이 증착되지 않도록 하기 위해서이다. 여기서 잉크 액적의 토출방향은 노즐 또는 관통공의 모양이 원이라 가정하였을 때, 노즐 또는 관통공의 내면을 따라 형성되는 가상의 원기둥을 상하로 잇는 방향을 말한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 전기장 형성부(46)는 노즐 플레이트의 발액물질이 증착되지 않는 타면에 형성시킬 수 있다. 도 3을 참조하면, 바람직하게는 노즐 플레이트가 놓이는 테이블(44)의 하부에 전기장 형성부(46)를 위치시키는 것이다.
또한 노즐 플레이트의 관통공이 노즐 플레이트 면에 대하여 수직으로 형성되면 발액물질이 증착되는 방향이나 전기장을 형성시키는 방향을 설정하기 용이하여, 선택적 발수처리 조건을 균일하게 제어할 수 있다.
본 발명의 또 다른 구성요소인 전기장 형성부(46)를 보다 구체적으로 살펴보면, 전원(47)과 이 전원과 결합된 도전판(465)에 의하여 형성될 수 있고, 이 도전판(465)은 노즐 플레이트가 안착되는 위치에 상응하여 전기장을 형성할 수 있도록 위치한다. 상술한 바와 같이 도 3에 따르면 이 도전판(465)은 노즐 플레이트(30)가 안착될 테이블의 하부에 위치할 수 있다. 전기장 형성부(46)는 이외에도 테이블을 지지하는 지지체(463), 테이블에 유입된 전기장이 진공증착 챔버나 다른 구성요소에 영향을 미치지 않도록 차단하는 봉압전극(461)을 더 포함할 수 있다.
이와 같은 방법에 의하여 노즐 플레이트에 부가되는 전기장은 5 내지 50W가 바람직하다. 전기장의 세기가 5W 이하이면 발액물질의 직진성에 영향을 미치지 않 아 본 발명에서 소망하는 선택적 발액 처리를 하기 곤란하고, 50W 이상이면 플라즈마 증착을 하기에 바람직하지 않다.
이러한 전기장은 전류가 흐르는 도선에 의해서 형성될 수도 있고, 서로 극을 달리하는 도전물질 사이에 형성될 수도 있으며, 본 발명에 의해서는 어떠한 방법에 의하여 전기장을 형성하던지 제한되지 않는다. 또한 전기장 형성부의 위치나 구조는 반드시 이에 한하는 것은 아니며 당해 기술분야의 통상적인 범위 내에서 전기장을 형성시킬 수 있다.
본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 보다 구체적인 실시예를 기준으로 설명하기로 한다. 유도결합 플라즈마 스퍼터링에 의하여 C4F8 기체를 이온화 하여 스테인레스 스틸의 노즐 플레이트 상에 30초 동안 증착시켰다. 이때 C4F8 기체는 80sccm으로 유입시켰고, 10W의 전기장을 걸어주었다. 이렇게 형성된 발액층의 두께는 5 내지 100nm이었고, 도 4은 이와 같은 조건에 의하여 형성된 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부를 나타내는 FE-SEM 결과이다. 도 4의 (a)를 참조하면 사진의 좌측에 요철이 있는 부분이 관통공 또는 노즐의 내면이고 우측의 최상층이 발액층이 된다. 이 발액층을 확대한 도면이 도 4의 (b)이다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법은 플라즈마 증착에 의하여 노즐 플레이트에 선택적으로 발액층을 형성할 수 있고, 플라즈마 증착 시 전기장을 형성시켜 잉크 액적의 직진성을 향상시킬 수 있다. 또한 본 발명은 간략화된 공정과 고온 공정을 거친 후 안정적으로 발액처리를 할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 노즐 벽면에 발액층이 형성되지 않아 잉크 액적의 메니스커스 형성이 최적화 되고 연속 토출이 가능하고, 퍼플루오로 화합물로 내화학성 및 내마모성이 우수한 발액층을 형성할 수 있는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법 및 이에 의하여 제조된 잉크젯 프린트 헤드의 노즐부를 제공한다.

Claims (16)

  1. 잉크젯 프린터 헤드의 노즐 플레이트에 잉크 액적을 토출시키는 관통공을 형성하는 단계; 및
    상기 노즐 플레이트의 표면에 발액층을 형성하는 단계를 포함하되,
    상기 발액층은 플라즈마 증착에 의하여 발액물질을 상기 노즐 플레이트의 일면에 증착시켜 형성되고, 상기 플라즈마 증착 시 상기 노즐 플레이트에 전기장을 형성시키는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 잉크 액적의 토출 방향과 상기 발액물질의 증착방향이 평행을 이루며, 상기 전기장을 상기 발액물질의 증착방향과 일치하도록 형성시키는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 발액층은 상기 관통공에 대하여 수직으로 형성되는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 플라즈마 증착은 유도결합 플라즈마 스퍼터링인 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 유도결합 플라즈마 스퍼터링의 증착시간은 10 내지 120초로 수행하는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 발액물질은 퍼플루오로 화합물(parlor compound)인 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 퍼플루오로 화합물은 C4F8인 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 발액층의 두께는 5 내지 100nm인 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 전기장은 전원과 결합된 도전판에 의하여 형성되는 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 전기장은 5 내지 50W인 잉크젯 프린터 헤드의 노즐부 제조방법.
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