KR100772449B1 - 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프 - Google Patents

파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프 Download PDF

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Abstract

여기에 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프가 게시된다. 파형 왜곡 방지 회로는 무선 주파수 파워 앰프를 구성하는 다수의 앰프들 사이에서 전류 균형이 깨지는 것을 억제하고, 자동적으로 전류 균형이 이루어지도록 하여 파형 왜곡을 방지한다. 그럼으로 무선 주파수 발생기로부터 출력되는 무선 주파수의 파형 왜곡 발생을 방지하여 플라즈마 처리 장치의 플라즈마 처리 균일도를 높이며 무선 주파수 발생기가 손상되는 것을 방지한다.
무선 주파수, 전류 균형, 파워 앰프

Description

파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프{RADIO FREQUENCY POWER AMPLIFIER HAVING A WAVEFORM DISTORTION PREVENTING CIRCUIT}
본 발명의 상세한 설명에서 사용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여, 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 일반적인 무선 주파수 발생기의 회로 구성을 보여주는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프의 회로도이다.
도 3은 도 2의 파워 앰프 회로에 제2 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프의 회로도이다.
도 5는 도 4의 파워 앰프 회로에 제3 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다.
도 6은 도 5의 파워 앰프 회로에 제4 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다.
도 7은 도 5의 제1 및 제2 균형 저항을 가변 저항을 사용한 경우의 회로도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100: 무선 주파수 발생기 110: 전원 공급원
120: 무선 주파수 발생 회로 130: 제어부
200: 제1 앰프 회로 300: 제2 앰프 회로
400: 파형 왜곡 방지 회로 500: 커플링 변압기
본 발명은 무선 주파수 발생기(radio frequency generator)에 관한 것으로, 구체적으로는 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프에 관한 것이다.
무선 주파수 발생기는 다양한 산업 분야에 사용되고 있으며, 반도체 제조 산업 분야에서도 식각, 증착, 에싱, 세정과 같은 반도체 제조 공정을 수행하는 다양한 플라즈마 처리 장치에서 무선 주파수(radio frequency: RF)를 공급하는 전원 공급원으로 사용되고 있다.
플라즈마 처리 장치에서 무선 주파수가 사용되는 이유는 직류 플라즈마로 처리할 수 없는 공정의 특성과, 직류 플라즈마에 비하여 무선 주파수 플라즈마는 높은 가스 분해 효율을 얻을 수 있기 때문이다. 사용되고 잇는 주파수 대역은 대체로 100KHz에서 100MHz 이상 까지 다양한 범위의 주파수가 사용되고 있으며, 주로 13.36MHz의 주파수가 일반적으로 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 무선 주파수 발생기의 회로 구성을 보여주는 블록도이다. 도 1을 참조하여, 일반적인 무선 주파수 발생기(100)는 전원 공급원(110)과 무선 주파수 발생 회로(120) 그리고 제어부(130)를 포함한다. 전원 공급원(110)은 상용 AC 전원을 공급받아서 내부 동작 전원을 공급한다. 무선 주파수 발생 회로(120)는 전원 공급원(110)으로부터 동작 전원을 공급 받아서 소정 주파수의 무선 주파수를 발생하여 출력단(140)으로 출력한다. 제어부(130)는 무선 주파수 발생 회로(120)가 소정 주파수의 무선 주파수를 안정적으로 발생하도록 그 동작을 제어한다.
무선 주파수 발생 회로(120)는 소정 주파수의 무선 주파수를 발생하는 발진부(121), 무선 주파수를 예비 증폭하는 프리앰프(122), 예비 증폭된 무선 주파수를 필요한 전력 수준으로 증폭하는 파워앰프(123)를 포함한다. 그리고 RF 결합기(124), 저역 필터(125) 및 VSWR 회로(126)를 포함한다.
이와 같은 무선 주파수 발생기(100)는 소정 주파수의 무선 주파수를 발생하여 플라즈마 발생위한 기전력으로서 플라즈마 처리 장치로 공급되어 플라즈마 처리 장치가 플라즈마를 발생하도록 한다. 일반적으로, 플라즈마 처리 장치에서 발생되는 플라즈마는 여러 가지 원인에 의해 임피던스가 가변적임으로 무선 주파수 발생기(100)는 VSWR 회로(126)를 통해서 진행파와 반사파를 검출하고 그 비율에 따라 제어부(130)에서는 파워앰프(123)의 전력을 제어하도록 하고 있다.
한편, 반도체 웨이퍼 기판이나 액정 디스플레이용 유리 기판의 사이즈는 더욱 대형화되고 있다. 이러한 대형 기판의 처리를 위하여 넓은 볼륨의 플라즈마를 발생할 수 있는 플라즈마 처리 장치가 요구되고 있다. 넓은 볼륨의 플라즈마를 얻 기 위해서는 무선 주파수 발생기의 전력 용량도 증가되고 있다.
일반적으로, 무선 주파수 발생기의 파워앰프의 전력 용량을 높이기 위하여 다수의 앰프가 병렬로 연결된 평형앰프(balanced amplifier) 및 푸시-풀(push-pull) 구조의 파워 앰프가 사용되고 있다. 그런데, 이러한 파워앰프 구조에서 부하의 변동이나 여러 원인에 의하여 각 앰프들 사이에 전류 균형이 깨지는 경우 출력되는 무선 주파수의 파형 왜곡이 발생된다. 이러한 파형 왜곡은 플라즈마 처리 장치의 플라즈마 처리 균일도에 악영향을 미치며 심한 경우에는 무선 주파수 발생기의 손상을 초래하기도 한다.
발명은 부하의 변동이나 여러 원인에 의하여 각 앰프들 사이에 전류 균형이 깨지려는 경우 자동적으로 전류 균형이 이루어지도록 하여 파형 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면은 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프에 관한 것이다. 본 발명의 무선 주파수 파워 앰프는: 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력 신호를 제공하는 제1 앰프 회로; 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 제2 앰프 회로; 및 제1 및 제2 앰프 회로의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 제1 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 트랜지스터; 및 제1 트랜지스터의 출력단에 연결되는 제1 변압기를 포함하고, 상기 제2 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제2 트랜지스터; 및 제2 트랜지스터의 출력단에 연결되는 제2 변압기를 포함하고, 파형 왜곡 방지 회로는: 제1 변압기의 코어에 권선되는 제1 균형 코일; 제2 변압기의 코어에 권선되며 제1 균형 코일에 직렬로 연결되는 제2 균형 코일; 및 제1 및 제2 균형 코일에 연결되는 제1 균형 저항을 포함한다.
이 실시예에 있어서, 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받는 커플링 변압기를 포함하고, 커플링 변압기의 일차측 양단에 연결되는 제2 균형 저항을 더 포함한다.
본 발명의 다른 특징에 따른 무선 주파수 파워 앰프는: 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로; 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로; 및 제1 및 제2 앰프 회로의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 파형 왜곡 방지 회로는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제1 파형 왜곡 방지 회로와 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제2 파형 왜곡 방지 회로를 포함한다.
이 실시예에 있어서, 상기 둘 이상의 제1 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 및 제2 트랜지스터; 및 제1 및 제2 트랜지스터의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제1 및 제2 변압기를 포함하고, 상기 제1 파형 왜곡 방지 회로는: 제1 변압기의 코어에 권선되는 제1 균형 코일; 제2 변압기의 코어에 권선되며 제1 균형 코일과 직렬로 연결되는 제2 균형 코일; 및 제1 및 제2 균형 코일에 연결되는 제1 균형 저항을 포함하고, 상기 둘 이상의 제2 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제3 및 제4 트랜지스터; 제3 및 제4 트랜지스터의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제3 및 제4 변압기를 포함하고, 상기 제2 파형 왜곡 방지 회로는: 제3 변압기의 코어에 권선되는 제3 균형 코일; 제4 변압기의 코어에 권선되며 제3 균형 코일과 직렬로 연결된 제4 균형 코일; 및 제3 및 제4 균형 코일에 연결되는 제2 균형 저항을 포함한다.
이 실시예에 있어서, 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받는 커플링 변압기를 포함하고, 커플링 변압기의 일차측 양단에 연결되는 제3 균형 저항을 더 포함한다.
이 실시예에 있어서, 제1 및 제2 파형 왜곡 방지 회로 사이에 연결되는 제4 균형 저항을 포함한다.
이 실시예에 있어서, 제1 및 제2 균형 저항은 가변 저항으로 구성되고, 제4 균형 저항의 양단은 제1 및 제2 균형 저항의 가변단에 연결된다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시예에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도 면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다. 각 도면을 이해함에 있어서, 동일한 부재는 가능한 한 동일한 참조부호로 도시하고자 함에 유의하여야 한다. 그리고 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
(실시예)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명의 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프를 상세히 설명한다.
본 발명의 무선 주파수 파워 앰프는 다수의 앰프가 병렬로 연결된 평형앰프(balanced amplifier) 및/또는 푸시-풀(push-pull) 구조의 파워앰프에서 부하의 변동이나 여러 원인에 의하여 각 앰프들 사이에 전류 균형이 깨지려는 경우 자동적으로 전류 균형이 이루어지도록 하여 파형 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 구비한다. 그럼으로 무선 주파수 발생기로부터 출력되는 무선 주파수의 파형 왜곡 발생을 방지하여 플라즈마 처리 장치의 플라즈마 처리 균일도를 높이며 무선 주파수 발생기가 손상되는 것을 방지한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프 회로의 회로도이다. 도 2를 참조하여, 본 발명의 무선 주파수 파워 앰프는 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력(positive output) 신호를 제공하는 제1 앰프 회로(200), 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 제2 앰프 회로(300), 그리고 제1 및 제2 앰프 회로(200, 300)의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로(400)를 포함하여 구성된다. 제1 및 제2 앰프 회로(200, 300)의 출력단에는 커플링 변압기(500)가 연결되며, 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받아 증폭된 무선 주파수 신호를 출력한다.
구체적으로, 제1 앰프 회로(200)는 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 트랜지스터(210)와 제1 트랜지스터(210)의 출력단에 연결된 제1 변압기(220)를 포함한다. 제2 앰프 회로(300)는 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제2 트랜지스터와 제2 트랜지스터의 출력단에 연결되는 제2 변압기를 포함한다.
파형 왜곡 방지 회로(400)는 제1 변압기(220)의 코어에 권선되는 제1 균형 코일(411), 제2 변압기(320)의 코어에 권선되며 제1 균형 코일(411)에 직렬로 연결되는 제2 균형 코일(412), 및 제1 및 제2 균형 코일(411, 412)에 연결되는 제1 균형 저항(413)을 포함한다. 제1 및 제2 균형 코일(412)은 동일한 권선수를 갖도록 하는 것이 바람직하다.
이상과 같은 파형 왜곡 방지 회로(400)를 갖는 무선 주파수 파워 앰프는 제1 및 제2 균형 코일(411, 412)과 제1 균형 저항(413)에 의하여 제1 및 제2 앰프 회로(200, 300) 사이에서 전류 균형이 깨지는 것을 억제한다. 즉, 제1 및 제2 변압기(220, 320) 사이에 전류 균형이 깨지는 경우에는 제1 및 제2 균형 코일(411, 412)에 의해서 상호 보완적으로 역기전력이 발생되어 전류 균형을 이루도록 동작하며 균형이 깨지는 부분에 대한 전류는 균형 저항(413)에 의해 소비된다. 제1 및 제2 균형 코일(411, 412)과 균형 저항(413)은 용량을 작게 할 수 있음으로 생산 단가를 낮게 할 수 있는 경제적 효과도 얻을 수 있다.
도 3은 도 2의 파워 앰프 회로에 제2 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다. 도 3을 참조하여, 커플링 변압기(500)의 일차측 양단에 제2 균형 저항(411)을 연결하여 이단 균형 회로(420)를 구성할 수 있다. 제2 균형 저항(411)을 구성하는 경우 더욱 안정되게 전류 균형을 얻을 수 있어서 파형 왜곡을 더욱 방지할 수 있다.
계속해서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 무선 주파수 파워 앰프에 대하여 첨부도면 도 4 내지 도 7을 참조하여 설명한다. 본 발명의 제2 실시예의 무선 주파수 파워 앰프는 기본적으로 상술한 제1 실시예와 동일한 구조의 파형 왜곡 방지 회로(400)를 구비한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프의 회로도이다. 도 4를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 무선 주파수 파워 앰프는 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로(200a, 200b), 예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로(300a, 300b), 그리고 제1 및 제2 앰프 회로(200a, 200b)(300a, 300b)의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로(400)를 포함한다. 커플링 변압기(500)는 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받아 증폭된 무선 주파수 신호를 출력한다.
파형 왜곡 방지 회로(400)는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로(200a, 200b)에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제1 파형 왜곡 방지 회로(400a)와 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로(300a, 300b)에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제2 파형 왜곡 방지 회로(400b)를 포함한다.
둘 이상의 제1 앰프 회로(200a, 200b)는 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 및 제2 트랜지스터(210a, 210b), 및 제1 및 제2 트랜지스터(210a, 210b)의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제1 및 제2 변압기(220a, 220b)를 포함한다. 제1 파형 왜곡 방지 회로(400a)는 제1 변압기(220a)의 코어에 권선되는 제1 균형 코일(411a), 제2 변압기(220b)의 코어에 권선되며 제1 균형 코일(220a)과 직렬로 연결되는 제2 균형 코일(220b), 및 제1 및 제2 균형 코일(411a, 412a)에 연결되는 제1 균형 저항(413a)을 포함한다.
둘 이상의 제2 앰프 회로(300a, 300b)는 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제3 및 제4 트랜지스터(310a, 310b), 제3 및 제4 트랜지스터(310a, 310b)의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제3 및 제4 변압기(320a, 320b)를 포함한다. 제2 파형 왜곡 방지 회로(400b)는 제3 변압기(320a)의 코어에 권선되는 제3 균형 코일(411b), 제4 변압기(320b)의 코어에 권선되며 제3 균형 코일(411b)과 직렬로 연결된 제4 균형 코일(412b), 및 제3 및 제4 균형 코일(411b, 412b)에 연결되는 제2 균형 저항(413b)을 포함한다.
이상과 같은 파형 왜곡 방지 회로(400)를 갖는 무선 주파수 파워 앰프는 제1 파형 왜곡 방지 회로(400a)를 구성하는 제1 및 제2 균형 코일(411a, 412a)과 제1 균형 저항(413a)에 의하여 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로(200a, 200b) 사이에 전류 균형이 깨지는 것을 억제한다. 즉, 제1 및 제2 변압기(220a, 220b) 사이에 전류 균형이 깨지는 경우에는 제1 및 제2 균형 코일(411a, 412a)에 의해서 상호 보완적으로 역기전력이 발생되어 전류 균형을 이루도록 동작하며 균형이 깨지는 부분에 대한 전류는 균형 저항(413a)에 의해 소비된다. 이와 동일하게 제2 파형 왜곡 방지 회로(400b)를 구성하는 제3 및 제4 균형 코일(411b, 412b)과 제2 균형 저항(413b)에 의하여 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로(200a, 200b) 사이에 전류 균형이 깨지는 것이 억제된다.
도 5는 도 4의 파워 앰프 회로에 제3 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다. 커플링 변압기(500)의 일차측 양단에 제3 균형 저항(422)을 연결하여 이단 균형 회로(420)를 구성할 수 있다. 제3 균형 저항(422)을 구성하는 경우 더욱 안정되게 전류 균형을 얻을 수 있어서 파형 왜곡을 더욱 방지할 수 있다.
도 6은 도 5의 파워 앰프 회로에 제4 균형 저항이 부가된 경우의 회로도이다. 도 6을 참조하여, 제1 및 제2 파형 왜곡 방지 회로(400a, 400b) 사이에 전류 균형을 얻기 위하여 제4 균형 저항(432)이 연결하여 다단 균형 회로(430)를 구성할 수 있다. 이러한 구조에서 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 균형 저항(413a, 413b)을 가변 저항을 사용하여 구성할 수 있으며, 제4 균형 저항은 제1 및 제2 균형 저항의 가변단에 연결되도록 할 수 있다. 이러한 다단 균형 구조는 다수의 앰프를 병렬로 다단 연결하는 구조에서 효과적으로 전류 균형을 이룰 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파 워 앰프는 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그럼으로 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
상술한 바와 같은 본 발명의 파형 왜곡 방지 회로를 구비한 무선 주파수 파워 앰프에 의하면, 파형 왜곡 방지 회로에 의하여 파워 앰프를 구성하는 다수의 앰프들 사이에서 전류 균형이 깨지는 것을 억제하고, 자동적으로 전류 균형이 이루어지도록 하여 파형 왜곡을 방지한다. 그럼으로 무선 주파수 발생기로부터 출력되는 무선 주파수의 파형 왜곡 발생을 방지하여 플라즈마 처리 장치의 플라즈마 처리 균일도를 높이며 무선 주파수 발생기가 손상되는 것을 방지한다.

Claims (9)

  1. 무선 주파수 파워 앰프에 있어서:
    예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력 신호를 제공하는 제1 앰프 회로;
    예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 제2 앰프 회로; 및
    제1 및 제2 앰프 회로의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 트랜지스터; 및 제1 트랜지스터의 출력단에 연결되는 제1 변압기를 포함하고,
    상기 제2 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제2 트랜지스터; 및 제2 트랜지스터의 출력단에 연결되는 제2 변압기를 포함하고,
    파형 왜곡 방지 회로는: 제1 변압기의 코어에 권선되는 제1 균형 코일; 제2 변압기의 코어에 권선되며 제1 균형 코일에 직렬로 연결되는 제2 균형 코일; 및 제1 및 제2 균형 코일에 연결되는 제1 균형 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  3. 제1항에 있어서, 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받는 커플링 변압기를 포함하고, 커플링 변압기의 일차측 양단에 연결되는 제2 균형 저항을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  4. 무선 주파수 파워 앰프에 있어서:
    예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 포지티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로;
    예비 증폭된 무선 주파수를 증폭하여 네거티브 출력 신호를 제공하는 병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로; 및
    제1 및 제2 앰프 회로의 전류 균형을 유지하여 무선 주파수의 출력 파형의 왜곡을 방지하는 파형 왜곡 방지 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  5. 제4항에 있어서, 상기 파형 왜곡 방지 회로는 병렬로 연결된 둘 이상의 제1 앰프 회로에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제1 파형 왜곡 방지 회로와;
    병렬로 연결된 둘 이상의 제2 앰프 회로에서 전류 균형이 유지되도록 하는 제2 파형 왜곡 방지 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  6. 제5항에 있어서, 상기 둘 이상의 제1 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제1 및 제2 트랜지스터; 및 제1 및 제2 트랜지스터의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제1 및 제2 변압기를 포함하고,
    상기 제1 파형 왜곡 방지 회로는: 제1 변압기의 코어에 권선되는 제1 균형 코일; 제2 변압기의 코어에 권선되며 제1 균형 코일과 직렬로 연결되는 제2 균형 코일; 및 제1 및 제2 균형 코일에 연결되는 제1 균형 저항을 포함하고,
    상기 둘 이상의 제2 앰프 회로는: 예비 증폭된 무선 주파수 신호를 증폭하는 제3 및 제4 트랜지스터; 제3 및 제4 트랜지스터의 출력단에 각기 연결되며 이차측이 직렬로 연결된 제3 및 제4 변압기를 포함하고,
    상기 제2 파형 왜곡 방지 회로는: 제3 변압기의 코어에 권선되는 제3 균형 코일; 제4 변압기의 코어에 권선되며 제3 균형 코일과 직렬로 연결된 제4 균형 코일; 및 제3 및 제4 균형 코일에 연결되는 제2 균형 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  7. 제6항에 있어서, 포지티브 출력 신호와 네거티브 출력 신호를 입력 받는 커플링 변압기를 포함하고, 커플링 변압기의 일차측 양단에 연결되는 제3 균형 저항을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 제1 및 제2 파형 왜곡 방지 회로 사이에 연결되는 제4 균형 저항을 포함하는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
  9. 제8항에 있어서, 제1 및 제2 균형 저항은 가변 저항으로 구성되고, 제4 균형 저항의 양단은 제1 및 제2 균형 저항의 가변단에 연결되는 것을 특징으로 하는 무선 주파수 파워 앰프.
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