KR100770229B1 - 용적 가변식의 용적형 분배 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 양태는 물질을 기판 상에 분배하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 계량된 양의 분배 물질을 기판 상에 분배하는 분배 시스템이 제공된다. 상기 분배 시스템은 분배 펌프(100)와, 상기 분배 펌프에 연결되어 분배 전에 물질을 수용하는 용기(112) 및 분배 펌프의 작동을 제어하는 컴퓨터 제어 시스템을 포함한다. 분배 펌프는 상기 용기로부터 물질을 받는 입구(169)와, 물질이 분배되는 출구와, 챔버 내에서 이동 가능한 피스톤(170, 172, 174)이 각각 있는 복수 개의 분배 챔버와, 상기 입구와 출구에 분배 챔버를 선택적으로 연결시키도록 위치될 수 있는 밸브(134)와, 피스톤에 연결되어 챔버 내에서 피스톤의 운동을 제어함으로써 분배 물질을 챔버 내로 인입시키고 챔버로부터 분배 물질을 분배하는 구동 캠과, 컴퓨터 제어 시스템과 구동 캠에 연결되어 구동 캠을 이동시킴으로써 분배 물질이 분배 펌프로부터 분배되게 하는 모터(102)를 포함한다.

Description

용적 가변식의 용적형 분배 시스템 및 방법{VARIABLE VOLUME POSITIVE DISPLACEMENT DISPENSING SYSTEM AND METHOD}
본 발명은 전반적으로 물질을 기판 상에 분배하는 장치 및 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 용적 가변식의 용적형 분배 시스템 및 방법에 관한 것이다.
종래에, 각종 용례를 위해 계량된 양의 액체 또는 페이스트를 분배하는 여러 종류의 분배 시스템이 사용되고 있다. 그러한 용례 중 하나는 인쇄 회로 기판과 집적 회로 칩의 조립 분야이다. 이 용례에서, 분배 시스템은 집적 회로를 밀봉 물질로 밀봉하는 공정과 플립 집적 회로 칩을 밀봉제로 언더필링(underfilling)하는 공정에 사용된다. 종래의 분배 시스템은 또한 액상 에폭시 또는 솔더로 된 도트나 볼을 회로 기판 및 집적 회로 상에 분배하는 데에 사용된다. 액상 에폭시와 솔더는 구성 요소를 회로 기판이나 집적 회로에 연결시키는 데에 사용된다. 전술한 분배 시스템은 본 발명의 양수인인 스피드라인 테크놀러지 인크(Speedline Technologies, Inc)에 의해 제작되어 시판되는 것을 포함한다.
분배되는 물질의 용적을 효율적으로 제어하기 위해 분배 시스템에는 용적형 펌프를 사용하는 것이 바람직하다. 피에랫(Pierrat)에게 허여된 미국 특허 제4,907,905호와 제5,004,404호는 가변량의 물질을 분배하는 데 사용되는 용적형 펌프를 개시하고 있으며, 이 특허들은 본 명세서에 참조로서 합체된다. 피에랫에 의해 개시된 펌프는 복수 개의 피스톤과 실린더를 구동시켜 펌프의 입구에서의 압축 물질을 펌프의 출구로 연결시킴으로써 물질을 분배하는 크랭크 샤프트를 포함한다. 피에랫에 의해 개시된 펌프에는 최대 4개의 실린더가 있으며, 각 실린더에는 시분할에 기초하여 펌프의 입구와 출구에 각각 연결되어 분배를 제공하는 유입구와 배출구가 있다.
피에랫에 의해 개시된 종류의 펌프와 종래의 기타 펌프들에는 몇가지 문제점이 있다. 첫째로, 복수 개의 피스톤과 유입구의 사용으로 인해 원하는 것보다 신뢰성이 떨어질 수도 있는 복잡한 구성이 될 수 있다. 둘째로, 그러한 복잡한 구성으로 인해 펌프를 세척하는 것이 어렵게 된다. 많은 분배 용례에서는, 분배 펌프를 주기적으로 분해하여 펌프 내에 포집되어 있을 수도 있는 물질을 세척하는 것이 요구되거나 적어도 바람직하다. 또한, 종래 펌프의 복잡성으로 인해 대개 원하는 것보다 제작하는 데 비용이 많이 들게 되어, 어떤 분배 용례의 펌프는 엄청나게 값이 비쌀 수 있다.
상기에 기초하여, 종래 기술의 분배 펌프보다 구성이 간단하고 신뢰성이 있으며 값이 저렴한 용적 가변식의 용적형 펌프를 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 양태는 계량된 양의 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 시스템에 관한 것이다. 상기 분배 시스템은 분배되는 물질을 받기 위한 기판이 위에 배치되어 있는 베이스와, 물질을 기판 상에 분배하는 분배 펌프와, 분배 전에 상기 물질을 수용하는 용기와, 상기 분배 펌프에 연결되어 분배 펌프의 작동을 제어하는 컴퓨터 제어 시스템을 포함한다. 상기 분배 펌프는 상기 용기에 연결되어 용기로부터 물질을 받는 입구와, 물질이 분배되는 출구와, 챔버 내에서 이동 가능한 피스톤이 각각 있는 복수 개의 분배 챔버와, 상기 입구와 출구에 분배 챔버를 선택적으로 연결시키도록 배치 가능한 밸브와, 피스톤에 연결되어 챔버 내에서 피스톤의 운동을 제어함으로써 분배 물질을 챔버 내로 인입시키고 챔버로부터 분배 물질을 분배하는 구동 캠과, 컴퓨터 제어 시스템과 구동 캠에 연결되어 구동 캠을 이동시킴으로써 분배 물질이 분배 펌프로부터 분배되게 하는 모터를 포함한다.
상기 구동 캠은 각 피스톤을 연장된 위치로 이동시키도록 구성 및 배치되어 각 피스톤을 소정의 제1 드웰 시간 동안 연장된 위치에 유지한다. 상기 구동 캠은 각 피스톤을 수축된 위치로 이동시키도록 구성 및 배치되어 각 피스톤을 소정의 제2 드웰 시간 동안 수축된 위치에 유지할 수도 있다. 상기 밸브는 구동 캠이 밸브의 작동을 제어하도록 구동 캠에 연결된다. 각 분배 챔버에 대해서 상기 밸브는 제1 위치, 제2 위치 및 제3 위치 중에 위치될 수 있다. 상기 밸브가 제1 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 입구에 작동 가능하게 연결되어 용기로부터 물질을 받고, 밸브가 제2 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 출구에 작동 가능하게 연결되어 물질을 분배하며, 밸브가 제3 위치에 있는 경우, 밸브는 입구와 분배 챔버 사이 및 출구와 분배 챔버 사이에서 물질의 유동을 차단한다. 상기 구동 캠은, 분배 챔버 내에서 피스톤이 소정의 제1 드웰 시간과 소정의 제2 드웰 시간 중 하나의 드웰 시간 동안 있는 중에 각 분배 챔버에 대해서 밸브가 제1 위치와 제3 위치 사이 및 제2 위치와 제3 위치 사이에서 이동하도록 밸브를 제어할 수 있게 구성 및 배치된다. 상기 모터는 구동 캠에 연결되어 구동 캠의 회전 운동을 제공함으로써 물질을 분배하고, 상기 구동 캠은 밸브에 연결되어 밸브의 회전 운동을 제공한다. 상기 분배 펌프는, 컴퓨터 제어 시스템에 연결되고 구동 캠의 홈 위치를 검출하여 컴퓨터 제어 시스템에 신호를 제공하는 검출기를 포함한다. 상기 컴퓨터 제어 시스템은 모터의 작동을 제어하는 모터 제어기와, 분배 펌프에 대한 교정 인자를 얻어 이 교정 인자를 모터 제어기에 제공하는 교정 시스템을 포함한다.
본 발명의 제2 양태는 계량된 양의 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 펌프에 관한 것이다. 상기 분배 펌프는 분배 물질을 받는 입구와, 분배 물질이 분배되는 출구와, 물질을 받는 하나 이상의 개구와 물질을 분배하는 하나 이상의 개구가 각각 형성된 복수 개의 분배 챔버와, 제1 채널 및 제2 채널이 있는 원형 밸브와, 상기 원형 밸브에 작동 가능하게 연결되어 적어도 제1 회전 위치와 제2 회전 위치로 원형 밸브를 회전시킴으로써, 원형 밸브의 제1 회전 위치에서는 원형 밸브의 제1 채널이 상기 입구와 분배 챔버들 중 하나 사이에 작동 가능하게 연결되어 물질을 그 분배 챔버 중 하나에 제공하고, 원형 밸브의 제2 회전 위치에서는 원형 밸브의 제2 채널이 출구와 분배 챔버들 중 하나 사이에 작동 가능하게 연결되는 모터를 포함한다.
상기 분배 펌프는 상기 모터와 원형 밸브 사이에 작동 가능하게 연결되는 구동 캠을 포함할 수도 있다. 분배 펌프는 복수 개의 피스톤을 포함할 수도 있으며, 상기 복수 개의 피스톤은 각각 복수 개의 분배 챔버 중 대응하는 챔버에 배치되고 구동 캠에 각각 작동 가능하게 연결된다.
본 발명의 제3 양태는 분배 펌프가 있는 분배 시스템을 이용하여 기판 상에 물질을 분배하는 방법에 관한 것이며, 상기 분배 펌프는 분배 챔버 내에서 이동 가능한 피스톤이 각각 있는 복수 개의 분배 챔버를 구비함으로써, 분배 물질을 분배 챔버 내로 인입시키고 물질을 분배 챔버로부터 인출시킨다. 상기 방법은 상기 기판을 분배 시스템에 로딩하는 단계와, 상기 분배 챔버를 기판 위에 배치하는 단계와, 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤 중 하나를 제1 방향으로 수축된 위치로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나에 인입시키는 단계와, 피스톤을 소정의 제1 드웰 시간 동안 수축된 위치에 유지하는 단계와, 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 피스톤 중 하나를 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나로부터 분배하는 단계를 포함한다.
상기 분배 펌프는 물질을 받는 입구와, 물질이 분배되는 출구 및 제1 개방 위치와 제1 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능한 밸브를 포함함으로써, 상기 제1 개방 위치에서, 밸브는 상기 입구를 분배 챔버 중 하나에 작동 가능하게 연결하여 물질이 입구에서 분배 챔버 중 하나로 유동할 수 있도록 하고, 상기 제1 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 입구에서 분배 챔버 중 하나로 유동하는 것을 차단하며, 상기 방법은 소정의 제1 드웰 시간 동안 밸브를 상기 제1 개방 위치에서 제1 폐쇄 위치까지 이동시키는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 제3 양태의 방법은, 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤을 제2 방향으로 연장된 위치로 이동시켜 물질을 분배하는 단계와, 소정의 제2 드웰 시간 동안 피스톤 중 하나를 연장된 위치에 유지하는 단계와, 제1 방향으로 피스톤을 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나로 인입하는 단계를 더 포함할 수도 있다. 상기 밸브는 제2 개방 위치와 제2 폐쇄 위치 사이에 제어 가능하여, 제2 개방 위치에서, 밸브는 분배 챔버 중 하나를 출구에 작동 가능하게 연결하여 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동할 수 있게 하고, 제2 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하는 것을 방지하며, 상기 방법은 소정의 제2 드웰 시간 동안 밸브를 제2 개방 위치에서 제2 폐쇄 위치까지 이동시키는 단계를 더 포함할 수도 있다. 상기 방법은 또한 소정의 제2 드웰 시간 동안 밸브를 제1 폐쇄 위치에서 제1 개방 위치까지 이동시키는 단계와, 소정의 제1 드웰 시간 동안 밸브를 제2 폐쇄 위치에서 제2 개방 위치까지 이동시키는 단계를 포함할 수도 있다.
본 발명의 제4 양태는 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 펌프에 관한 것이다. 상기 분배 펌프는 분배 물질을 받는 입구와, 분배 물질이 분배되는 출구와, 분배 챔버 내에서 이동 가능하여 분배 물질을 분배 챔버 내로 인입하고 분배 물질을 분배 챔버로부터 분배하는 피스톤이 각각 마련된 복수 개의 분배 챔버를 구비하는 챔버 하우징과, 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤 중 하나를 제1 방향으로 수축된 위치로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나로 인입하는 수단과, 소정의 제1 드웰 시간 동안 피스톤을 수축된 위치에 유지하는 수단과, 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 피스톤 중 하나를 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나로부터 분배하는 수단을 포함한다.
상기 분배 펌프는 제1 개방 위치에서는 밸브가 입구를 분배 챔버에 작동 가 능하게 연결하여 물질이 입구로부터 분배 챔버로 유동될 수 있게 하고, 제1 폐쇄 위치에서는 밸브가 입구로부터 분배 챔버로의 물질 유동을 차단하도록 제1 개방 위치와 제1 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능한 밸브와, 소정의 제1 드웰 시간 동안 밸브를 제1 개방 위치로부터 제1 폐쇄 위치로 이동시키는 수단을 더 포함할 수도 있다.
본 발명의 제4 양태의 분배 펌프는 또한 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤 중 하나를 제2 방향으로 연장된 위치로 이동시켜 물질을 분배하는 수단과, 소정의 제2 드웰 시간 동안 피스톤 중 하나를 연장된 위치에 유지하는 수단을 포함할 수도 있다. 상기 밸브는 제2 개방 위치와 제2 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능하여, 제2 개방 위치에서, 밸브는 분배 챔버 중 하나를 출구에 작동 가능하게 연결하여 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하도록 하고, 제2 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하는 것을 차단하며, 상기 분배 펌프는 소정의 제2 드웰 시간 동안 밸브를 제2 개방 위치에서 제2 폐쇄 위치까지 이동시키는 수단을 더 포함할 수도 있다.
본 발명을 보다 잘 이해하기 위해, 본 명세서에 참조로서 합체된 도면을 참조한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 사용되는 분배 시스템의 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 분배 펌프의 사시도.
도 2a는 도 2의 분배 펌프를 분배 시스템에 연결하는 데 사용되는 브래킷의 사시도.
도 3은 도 2의 분배 펌프의 분배 블록의 분해도.
도 4는 도 2의 분배 펌프의 제1 단면도.
도 5는 도 2의 분배 펌프의 제2 단면도.
도 6은 도 2의 분배 펌프에 사용되는 구동 캠의 사시도.
도 7은 도 2의 분배 펌프의 동작을 위한 타이밍 다이어그램.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 분배 펌프의 단면도.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 사용되는 본 발명의 교정안의 플로우 차트.
본 발명의 실시예들은 분배 펌프, 분배 방법 및 본 발명의 분배 펌프를 포함하고/포함하거나 본 발명의 분배 방법을 사용하는 분배 시스템에 관한 것이다. 도 1은 점성 물질을 기판(12) 상에 분배하는 데 사용되는 분배 시스템(10)을 도시하고 있다. 분배 시스템은 분배 펌프(14)와 컴퓨터 제어 시스템(15)을 포함한다. 분배 시스템(100)은 또한 아암(15)과, 기판을 지지하는 베이스(18)가 있는 프레임(16)을 포함한다. 알려진 바와 같이, 기판의 로딩 및 언로딩을 제어하는 컨베이어 시스템이 분배 시스템에 사용될 수도 있다. 아암(15)은 분배 펌프에 이동 가능하게 연결되고 프레임에 이동 가능하게 연결된다. 아암은 컴퓨터 제어 시스템의 제어하에 모터를 사용하여 X, Y 및 Z 방향으로 이동되어 기판(12) 위의 소정 위치 및 높이에 분배 펌프를 위치시킬 수 있다.
본 발명의 실시예는 분배 시스템(10)에서 분배 펌프(14)로서 사용될 수 있는 분배 펌프를 제공하며, 본 발명은 또한 분배 시스템(10)에 사용하기 위한 분배 방법을 제공한다. 그러나, 본 발명의 실시에는 도 1에 도시한 시스템에 사용되는 것으로 제한되지 않으며 미국 매사추세츠주 하버힐에 소재하는 본 발명의 양수인인 스피드라인 테크놀러지 인크에서 시판하는 XYFLEX™ 및 CAMALOT™ 분배 시스템을 비롯하여 다른 분배 시스템에도 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예는 본 출원의 양수인에게 양도되었으며 본 명세서에 참조로서 합체되는 미국 특허 출원 제09/033,022호에 개시된 분배 시스템에 사용될 수도 있다.
이제 본 발명의 용적형 분배 펌프(100)의 일실시예를 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명하기로 한다. 후술하는 분배 시스템(100)에는 3개의 실린더 내에서 이동되어 물질을 실린더 내로 끌어당기고 물질이 실린더로부터 분배되도록 하는 3개의 피스톤이 있다. 당업자라면 이해할 수 있는 바와 같이, 본 발명은 3개의 실린더 펌프에 제한되지 않으며, 오히려 분배 펌프(100)에 대해 후술하는 특징은 3개 이상 또는 3개 미만의 피스톤 및 실린더가 있는 펌프에서 구현될 수도 있다.
용적형 분배 펌프(100)는 서보 모터(102), 인코더(104), 실린더 하우징(106), 분배 블록(108), 시린지(112; syringe), 시린지 브래킷(114), 시린지 블록(116) 및 분배 바늘(121)을 포함한다. 분배 펌프(100)는 모터(102)에 연결되는 브래킷(118; 도 2a에 도시함)을 사용하여 분배 시스템에 장착될 수 있다. 분배 펌프는 시린지(112)에 수용되어 있는 물질을 바늘(121)로부터 기판 상에 제어 분배한다.
인코더(104)는 분배 시스템의 컴퓨터 제어 시스템에 연결되어 컴퓨터 제어 시스템과 분배 펌프의 서보 모터(102) 사이의 제어 신호 전달을 조정한다. 서보 모터(102)는 공지된 많은 모터 중 하나를 사용하여 구현될 수 있다. 서보 모터는 분배 펌프(100)의 일차 구동 모터이며 실린더 하우징(106) 내에 수용된 실린더의 운동을 제어한다. 일실시예에서, 서보 모터는 미국 플로리다주 클리어워터 소재의 마이크로-모 일렉트로닉스사(Micro-Mo Electronics)에서 시판하는 모델 번호 3042를 사용하여 구현된다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 인코더는 휴렛 팩커드사(Hewlett Packard Corporation)에서 시판하는 모델 번호 HEDS-5540을 사용하여 구현된다. 이 실시예에서, 인코더는 펌프의 360도 회전 동안 630,000개의 인코더 위치를 갖는다. 인코더는 컴퓨터 제어 시스템 내에 수용된 모터 제어기로부터의 신호에 반응하여 모터를 결정된 수 많은 인코더 위치로 이동시킴으로써 모터의 위치를 제어한다.
시린지(112)는 분배 펌프에 의해 분배될 물질을 수용한다. 시린지는 시린지 브래킷(114)과 시린지 블록(116)을 사용하여 적소에 유지된다. 시린지는 시린지 내의 물질에 압력을 가하도록 압축 공기원에 연결하기 위한 압축 공기 입구(120)가 있는 캡(119)을 구비한다. 시린지 블록(116)은 시린지와 분배 블록의 입구 사이에 물질의 유동을 제공하는 물질 공급관(122)을 포함한다. 일실시예에 있어서, 시린지 블록은 분배되는 물질의 온도를 조절하기 위한 가열 요소를 포함할 수도 있다. 또한, 분배 블록은 분배하기 전에 물질을 가열하기 위한 카트리지 히터(125)를 포함할 수도 있다. 여러 용례의 경우, 분배 물질의 온도를 제어하여 일관된 점성을 제공함으로써 펌프의 분배 정밀도를 향상시키는 것이 바람직하다.
이제, 분배 블록(108)의 분해도를 도시하고 있는 도 3과 분배 펌프(100)의 단면도를 도시하고 있는 도 4를 참조하여 분배 블록(108)을 더 설명하기로 한다. 분배 블록은 바늘 정합 플레이트(124), 밸브 스페이서 플레이트(126), 실린더 베이스 플레이트(128), 하부 가스킷(130), 상부 가스킷(132), 디스크 밸브(134) 및 키이(136)를 포함한다. 바늘 정합 플레이트(124)는 니들(121)이 관통하여 장착되는 관통 구멍(138)을 포함하고, 바늘 정합 플레이트는 또한 카트리지 히터(125)를 수용하기 위한 2개의 원통형 채널(140, 142)을 포함한다.
밸브 스페이서 플레이트(126)는 바늘 정합 플레이트(124)의 상단에 장착된다. 밸브 스페이서 플레이트에는 원형 개구(143), 채널(144) 및 2개의 환형 홈(146, 148)이 있다. 환형 개구(143)는 디스크 밸브(134)를 수용하기 위한 것이다. 채널(144)은 분배 물질을 물질 공급관(122)으로부터 디스크 밸브(134)로 통과시키기 위한 것이다. 하부 가스킷(130)과 상부 가스킷(132)은 각각 환형 홈(146, 148) 내에 끼워 맞춰져 디스크 밸브와 밸브 스페이서 사이에 시일을 제공한다. 일실시예에 있어서, 하부 가스킷과 상부 가스킷은 통상 사용되는 세척액에 적합하도록 에틸렌 폴리프로필렌으로 제조된다.
디스크 밸브(134)는 중앙 원형 구멍(150), 거의 타원형의 구멍(152), 유입 구멍(154), 배출 구멍(156), 환형 홈(158), 유입 통로(160) 및 배출 통로(162)를 포함한다. 유입 통로와 배출 통로는 도 4에 도시되어 있다. 원형 구멍(150)은 디스크 밸브를 대략 절반 정도 관통하도록 연장되어 구동 캠(178)의 단부(194)를 수 용한다. 타원형 구멍(152)은 키이(136)를 수용하며, 이 키이는 구동 캠을 구멍(150) 내에 고정시켜 구동 캠과 디스크 밸브 사이에 회전 정렬을 제공함으로써 디스크 밸브가 구동 캠과 함께 회전될 수 있게 한다. 유입 구멍(154)은 환형 홈(158)과 연결되어 분배 물질이 시린지로부터 밸브 스페이서(126)의 채널(144)을 통해 환형 홈(158) 내로 그리고 유입 구멍(154)을 통해 유동하도록 한다. 배출 구멍(156)은 배출 통로(160)에 연결된다. 배출 통로에는 분배 바늘에 연결되는 개구가 디스크 밸브의 하부면 중앙에 있다. 후술하는 바와 같이, 분배 물질은 실린더로부터 배출 구멍 및 배출 통로를 통해 분배 바늘로 유동한다.
실린더 베이스 플레이트(128)는 밸브 스페이서 플레이트(126)의 상부면과 정합하는 실질적으로 매끄러운 바닥면을 갖는다. 실린더 베이스 플레이트의 상부면(163)에는 분배 펌프(100)의 각 실린더에 대해 실린더 베이스(164)를 형성하는 3개의 원형 오목부가 있다. 실린더 베이스 플레이트는 또한 구동 캠의 단부가 실린더 베이스 플레이트(128)를 통과하여 디스크 밸브(134)와 정합되도록 하는 원통형 채널(166)을 포함한다. 각 실린더 베이스에는 2개의 유입 구멍(169)과 1개의 배출 구멍(168)이 있다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 2개의 유입 구멍이 결합되어 유입 슬롯을 형성할 수도 있다. 유입 구멍(169)은 디스크 밸브의 회전 중에 디스크 밸브의 유입 구멍(154)과 정렬되어 물질이 실린더 내로 유동하도록 한다. 배출 구멍(168)은 디스크 밸브의 배출 구멍(156)과 정렬되어 물질이 실린더로부터 배출 구멍(156)을 통해 유동하도록 한다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 각 실린더 베이스 플레이트는 유입 구멍과 배출 구멍 양자의 역할을 하는 단 1개의 구멍이 있도록 구성될 수도 있다.
이제, 실린더 하우징의 단면도를 도시하고 있는 도 4 및 도 5를 참조하여 실린더 하우징을 보다 상세히 설명하기로 한다. 실린더 하우징은 실린더(176, 178, 180)에 각각 배치된 3개의 피스톤(170,172, 174)을 포함한다. 각 피스톤의 상부에는 캠 종동부가 있다. 도 4에는 2개의 캠 종동부(182, 184)만이 도시되어 있다. 실린더 하우징은 또한 구동 캠(178)과 모터 정합 플레이트(179)를 포함한다. 모터 정합 플레이트는 모터(102)가 장착되는 표면(181)을 제공하며, 모터 정합 플레이트는 모터의 구동축(186)이 연장 관통하는 개구(183)를 제공한다.
구동 캠(178)은 도 6에 보다 상세하게 도시되어 있다. 구동 캠은 나사식 원통형 채널(188), 환형 홈(190) 및 샤프트(192)를 포함한다. 원통형 채널(188)은 구동축(186)을 수용하여 모터에 의해 구동 캠(178)을 회전시킨다. 샤프트(192)는 실린더 하우징을 관통하여 디스크 밸브(134)로 연장된다. 샤프트의 단부(194)는 키이(136)와 정합하도록 구성된다. 구동 캠의 회전에 의해 디스크 밸브(134)가 회전되므로, 적절한 시기에 디스크 밸브의 유입 구멍(154) 및 배출 구멍(156)은 실린더 베이스 플레이트의 실린더 베이스(164) 중 하나의 유입 구멍(169) 및 배출 구멍(168)과 각각 정렬된다. 본 발명의 일실시예에 있어서, 구동 캠과, 이에 따른 디스크 밸브는 분배 펌프의 상부에서 아래를 보았을 때 시계 반대 방향으로 회전된다. 그러나, 다른 실시예에 있어서, 분배 펌프는 시계 방향으로 회전되도록 구성될 수도 있다.
환형 홈(190)에는 상부면(196) 및 이 상부면과 정합하는 하부면(198)이 있 다. 캠 종동부는 상부면과 하부면 사이의 환형 홈에 존재한다. 환형 홈의 상부면과 하부면은 구동 캠이 모터에 의해 회전될 때 캠 종동부가 환형 홈에서 상승 및 하강하도록 형성되어 있다. 환형 홈에서 캠 종동부의 이동으로 인해 피스톤이 상승 및 하강하게 됨으로써 물질을 펌프로 끌어당기고 펌프로부터 물질을 분배한다. 본 발명의 일실시예에 있어서, 환형 홈은 피스톤에 대해 0.250 인치의 스트로크를 제공하도록 구성되므로, 피스톤은 수축 위치에서 연장 위치까지 0.250 인치를 이동한다. 또한, 환형 홈에는 피스톤의 드웰(dwell) 주기를 발생시키는 평탄부가 있다. 드웰 주기란 밸브의 개폐 동안 피스톤의 수직 이동을 방지하기 위해 디스크 밸브의 밸브 개폐와 일치하는 시간을 말한다.
각 피스톤은 거의 동일하며 캠 종동부 중 하나에 연결된다. 일실시예에 있어서, 피스톤은 스테인레스강으로 제조되며 캠 종동부에 압입되어 있다. 일실시예에 있어서, 캠 종동부는 볼 베어링을 포함한다. 도 4에 있어서, 한 피스톤(170)은 완전히 연장된 위치에서 도시되어 있으며, 한 피스톤(172)은 완전히 수축된 위치에서 도시되어 있다. 일실시예에 있어서, 피스톤의 단부는 착탈 가능한 와셔를 사용하여 이루어지며 실린더의 본체는 유리로 제조된다. 이 실시예에서, 피스톤의 바닥과 실린더의 바닥은 분배 블록이 실린더 하우징으로부터 분리되는 경우 모두 착탈될 수 있다. 실린더의 바닥과 피스톤의 바닥은 실린더 하우징 내에서 분배 물질과 접촉하는 유일한 구성 요소들이며, 이들이 쉽게 분리될 수 있으므로 분배 펌프(100)의 세척 공정이 간단해진다.
이제, 물질을 분배하는 분배 펌프의 작동을 설명하기로 한다. 분배의 시작시, 공기 입구(120)를 통해 시린지 내의 물질에 공기압이 제공된다. 일실시예에 있어서, 공기압은 약 30psi로 설정된다. 도 7은 구동 캠의 완벽한 360도 일회전 동안 3개의 피스톤과 디스크 밸브의 상대 위치를 나타내는 타이밍 다이어그램을 제공한다. 도 7의 실린더(1, 2, 3)는 실린더(176, 178, 180)에 대응한다(도 5 참조). 도 7에 있어서, 곡선(402, 408, 414)은 구동 캠의 360도 일회전 동안 피스톤(170, 172)의 위치를 각각 나타낸다.
도 7의 타이밍 다이어그램에 있어서, 각 실린더에 대해, 배출 밸브와 유입 밸브가 "개방" 위치에 있는 시기를 보여주는 곡선이 주어져 있다. 유입 밸브와 배출 밸브는 실린더 베이스의 유입 구멍 및 배출 구멍과 디스크 밸브의 유입 구멍과 배출 구멍의 조합에 의해 형성된다. 각 실린더에 있어서, 유입 밸브는 그 유입 구멍(168)이 디스크 밸브의 유입 구멍(156)과 정렬될 때 "개방"되고, 배출 밸브는 배출 구멍(169)이 디스크 밸브의 배출 구멍(154)과 정렬될 때 "개방"된다. 곡선(404)과 곡선(406)은 실린더(176)용 배출 밸브와 유입 밸브가 "개방"되는 시기를 각각 나타내고, 곡선(410, 412)은 실린더(178)용 배출 밸브와 유입 밸브가 "개방"되는 시기를 각각 나타내며, 곡선(416, 418)은 실린더(180)용 배출 밸브와 유입 밸브가 "개방"되는 시기를 각각 나타낸다. 후술하는 본 발명의 제2 실시예에 사용되는 홈 스위치의 위치는 도 7에서 곡선(420)으로 도시되어 있다.
이제, 한번의 360도 분배 사이클 동안, 실린더[176; 도 7의 실린더(1)] 내에서 피스톤(170)의 위치 결정과 피스톤(170)용 밸브들의 개폐 타이밍을 설명하기로 한다. 전술한 바와 같이, 곡선(402)은 피스톤(170)의 위치 결정을 나타낸다. 도 7의 0도 위치에서, 피스톤(170)은 수축 스트로크의 중간 지점에 있고 실린더(176)용 밸브는 피스톤(170)이 수축됨에 따라 물질이 실린더(176) 내로 유동될 수 있도록 해주는 "개방" 위치에 있다. 0도 위치에서는, 디스크 밸브(154)에 "A"로 표시한 지점(도 3 참조)이 실린더(176)의 유입 구멍과 정렬된다.
피스톤(170)은 다음의 60도 동안 계속 수축(후퇴)하고, 이 60도 지점에서 피스톤은 완전히 수축된 위치에 도달한다. 피스톤(170)은 구동 캠의 59도 회전 동안 지속되는 제1 드웰 시간 중에 수축 위치에서 유지된다. 유입 밸브는 제1 드웰 시간 동안 100도 지점에서 "오프" 위치로 회전된다. 배출 밸브도 역시 또한 제1 드웰 시간 동안 110도 지점에서 "개방" 위치로 회전된다. 본 발명의 실시예에서, 밸브들은 항상 피스톤이 움직이지 않아 물질이 밸브를 통해 유동하지 않는 드웰 주기 동안 항상 턴온 및 턴오프된다. 이는 실린더 사이에서 보다 원활한 천이를 가능하게 하여 연속적인 분배를 제공한다.
피스톤(170)은 실린더(176)로부터 물질을 분배하는 것을 개시하는 120도 지점에서 연장 스트로크를 시작한다. 연장 스트로크는 240도 지점까지 계속된다. 240도 지점에서, 피스톤은 완전히 연장된 위치에 있으며 60도 동안 지속되는 제2 드웰 시간 중에 상기 완전히 연장된 위치에서 유지된다. 배출 밸브는 연장 스트로크 기간 동안 그리고 연장 스트로크의 완료 후 추가 10도 동안 정지 상태로 있는다. 유입 밸브는 피스톤의 제2 드웰 시간 동안 290도 지점에서 턴온한다. 300도에서, 피스톤(170)은 수축 스트로크를 개시하며, 이 스트로크는 360도 사이클의 종료까지 계속되고 다음 사이클의 초기 60도 동안 계속된다.
도 7에 도시된 바와 같이, 분배 펌프의 다른 피스톤(172, 174)은 상기 피스톤(170)에 대해 설명한 것과 동일한 분배 사이클을 사용하여 각각 작동되지만, 피스톤(172, 174)은 피스톤(170)의 위상으로부터 120도 벗어나 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 대략 1 그램의 물질이 구동 캠의 각 회전 동안 분배되며 분배 펌프는 5 내지 20 rpm의 회전 속도로 작동된다.
이제, 분배 펌프(200)의 단면도를 제공하는 도 8을 참조하여 본 발명의 분배 펌프(200)의 제2 실시예를 더 설명하기로 한다. 분배 펌프(200)는 여러 관점에서 분배 펌프(100)와 유사하며, 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하였다. 분배 펌프(200)는 홈 스위치(201)를 추가하고 구동 캠(278)을 변경시켜 감지 노치(279)를 추가한 점이 분배 펌프(100)와 상이하다. 홈 스위치는 분배 시스템의 컴퓨터 제어 시스템에 연결되도록 구성되어 예정된 구동 캠의 홈 위치를 검출하는 데 사용된다. 본 발명의 일실시예에 있어서, 홈 스위치(21)는 터크 콘트롤즈사(Turck Controls)에서 시판하는 모델 번호 BI0.8-AN6X 와 같은 홀 효과 근접 센서를 사용하여 구현되며, 구동 캠의 감지 노치(279)는 15도 동안 연장되는 구동 캠의 노치를 포함한다. 도 7의 타이밍 다이어그램은 회전 주기를 나타내는 곡선(420)을 포함하는데, 이 회전 주기 동안 홈 스위치는 구동 캠의 노치와 정렬된다. 실제 홈 위치는 노치의 선단 가장자리로서 결정되며, 그 위치는 도 7의 타이밍 다이어그램에서 22.5에 나타난다.
이제 설명하겠지만, 분배 펌프(200)의 홈 스위치는 본 발명의 교정 및 제어 방법의 일부로서 사용되어 분배 펌프(200)를 포함하는 분배 시스템으로부터 분배되는 물질의 용적 정밀도를 향상시킬 수도 있다. 이상적으로는, 본 발명의 분배 펌프로부터 분배되는 물질의 중량은 구동 캠의 위치와 상관없이 소정 각도의 모터 회전으로 인해 일정한 중량의 물질이 분배될 수 있도록 모터와 구동 캠의 회전 위치와 선형적이어야 한다. 또한, 특히 플립 칩 언더필(flip chip underfill)과 같은 분배 용례의 경우, 일정한 분배 속도로 분배하는 것이 바람직한 데, 분배 중에 플립 칩의 주변 둘레에서 일관된 물질의 비드를 분배하는 것이 바람직하다. 예컨대, 치수 공차를 비롯하여 복수 개의 인자 때문에, 본 발명의 분배 펌프는 특히 소량의 물질이 분배되는 경우 항상 이상적인 선형 방식으로 실행되지는 않는다.
분배 펌프의 비선형을 보정하기 위하여, 본 발명의 분배 시스템에 의한 교정 및 제어 방법이 사용된다. 본 발명의 교정 및 제어 방법의 일실시예에 있어서, 소정 개수의 등거리 회전 시작점에서 분배되는 물질의 중량은 구동 캠의 소정 각도 변위에 대해 결정된다. 측정된 물질의 중량에 기초하여, 교정값이 연산되고 실제 분배 중에 사용됨으로써 분배되는 물질의 중량의 정밀도를 향상시킨다.
이제, 도 9를 참조하여 교정 및 제어 방법에 사용되는 교정 인자를 결정하는 방법을 보다 상세히 설명하기로 한다. 상기 방법의 제1 단계(302)에서, 전자 중량 저울 위에 분배 펌프를 배치한다. 다음에, 단계(304 내지 310)에서, 구동 캠을 홈 위치로 이동시키고, 중량 저울을 0에 맞추며, 구동 캠을 12도 회전시켜 중량 저울 상에 물질을 분해하고, 분배된 물질의 중량을 측정하여 분배 펌프에 연결된 제어기에 저장한다. 단계(312)에서, 구동 캠이 홈 위치로 복귀했는지를 판단한다. 단계(312)의 결과가 "아니오"이면, 방법은 단계(306)로 복귀한다.
단계(312)의 결과가 "예"이면, 공정은 단계(314)로 진행하는데, 상기 결과는 30번의 측정이 행해진 후에 발생될 것이다. 단계(314)에서, 구동 캠의 18번 사이클 동안 교정 측정이 수행되었는지를 판단한다. 단계(314)의 결과가 "아니오"이면, 공정은 단계(306)로 복귀한다. 단계(314)의 결과가 "예"이면, 공정은 단계(316)로 진행한다. 단계(314) 후에, 제어기의 테이블은 구동 캠의 상이한 18 회전에 대해 30개의 상이한 회전 위치에서의 데이터를 갖고 있다. 당업자라면 알 수 있는 바와 같이, 각각 12도의 30번의 분배를 사용하는 것보다는 교정 사이클에서 다른 값이 사용될 수도 있지만, 구동 캠 둘레의 등거리 지점에서 시작점을 이용하는 것이 바람직하며, 지점 사이의 회전 거리는 인코더 지점의 정수에 대응하는 것이 바람직하다. 본 발명의 다른 실시예에서는, 18 이상 또는 미만의 상이한 구동 캠의 회전이 사용될 수도 있다.
테이블에 있는 모든 데이터를 수집한 후에, 단계(316)에서 분배 시스템의 제어기는 각 위치에서 분배된 중량을 합산하여 상기 총량을 18로 나눔으로써 30개의 시작점 각각에서 분배된 물질의 평균 중량을 결정한다. 다음에, 단계(318)에서, 각 시작점에서의 평균을 합산하여 구동축의 완전한 회전의 경우 분배된 물질의 평균 중량을 얻는다. 이어서, 단계(320)에서, 각 시작점의 경우, 완전한 1 회전에 대한 평균 전체값의 1/30을 분배하도록 모터가 이동해야 되는 인코더 위치의 수를 하기의 수학식 1을 사용하여 결정한다.
Figure 112002022333751-pct00001
여기서, Enc(I) = 위치 I에서 인코더 위치의 수(I=1 내지 30), avgall = 구동 캠의 완전한 1 회전 동안 분배된 평균 중량, avg(I) = 위치(I)에서 12도의 회전 시작 동안 분배된 평균 중량, Encoder = 360도 동안 모터의 인코더 위치의 전체 개수.
방법(300)의 단계(322)에서, 각 30개의 인코더 총수 Enc(I)를 합산하고 이 총합의 역수를 인코더 위치의 전체 개수(Encoder)로 곱하여 고정 보정 인자를 얻는다. 대부분의 경우에, 고정 보정 인자는 대략 1이며, 고정 보정 인자의 사용은 선택적으로서 본 발명의 실시예들에 필수적인 것은 아니다. 단계(324)에서, 각 인코더의 값 Enc(I)에 고정 보정 인자를 곱셈한다.
단계(326)에서, 30개 위치의 각각에 대한 최종 보정값 CV(I)가 제어기의 테이블에 저장되고/저장되거나 인쇄된다. 방법(300)에서 얻은 보정값은 교정 과정 동안 사용된 특정한 분배 펌프에 대해 유일한 값이며, 확인을 위한 분배 펌프의 식별 번호 또는 일련 번호와 함께 저장될 수도 있다.
본 발명의 분배 시스템의 일실시예에서는, 델타 타우 콘트롤즈사(Delta Tau Controls)에서 시판하는 것과 같은 PMAC 제어기가 분배 펌프(100)의 모터를 제어하기 위한 컴퓨터 시스템의 제어기로서 사용된다. PMAC 제어기는 제어기에 의해 제어되는 모터를 위한 보정 인자를 수신하여 모터의 정확한 선형 동작을 제공하는 능 력을 갖고 있다. PMAC 제어기를 사용하는 본 발명의 실시예의 경우, PMAC 제어기를 위해 공정(300)에서 얻어진 보정 인자를 포맷하는 추가 전환이 수행된다. 상기 전환은 2개의 추가 단계를 사용하여 수행된다. 추가 단계 중 제1 단계에서는, 공정(300)에서 얻은 보정값 CV(I)(I = 1 내지 30)를 하기의 수학식 2를 사용하여 상대 보정값으로 전환시킨다.
Figure 112002022333751-pct00002
여기서, CV(I)rel은 지점 I에서의 상대 보정값이고, CV(I-1)rel은 지점 I-1에서의 상대 보정값이며, CV(I)은 지점 I에서의 보정값이다.
다음에, 수학식 2에서 얻은 상대 보정값 CV(I)rel를 PMAC 제어기에 적절한 포맷 형식의 보정값으로 전환시키기 위해 수학식 3을 사용한다.
Figure 112002022333751-pct00003
여기서, CV(I)pmac는 지점 I에서의 PMAC 보정 인자이고, CV(I)rel는 수학식 2로부터의 값이며, I는 1 내지 30의 지수이고, ENCDR은 360도에서 인코더 지점의 개수이며, K는 제어기의 상수로서 PMAC 제어기의 경우는 -16이다.
수학식 3에서 보정값을 얻은 후에, 그 값을 정수값으로 변환시키고 PMAC 제어기에 저장한다. 본 발명의 일실시예에 있어서, 보정값의 절대값이 2와 같이 작 은 값보다 작은 경우, 보정값은 0으로 설정된다. PMAC 제어기는 분배 동안 보정 인자를 사용하여 선형 분배를 제공한다. 전술한 실시예에 있어서, 보정 인자는 30개의 회전 지점에서 연산된다. 본 발명의 일실시예에 있어서, 제어기는 외삽법에 의해 보정 인자를 추정하여 30개의 회전 위치 사이의 지점에서 보정 인자를 얻음으로써 구동 캠의 시작 및 정지 위치에 상관없이 선형 분배를 제공한다.
상기에 제공된 절차는 공정(300)에서 얻은 보정 인자를 PMAC 제어기에 사용하기 위해 전환시킨다. 본 발명의 실시예는 다른 제어기를 사용하여 구현될 수도 있고, 당업자라면 알 수 있는 바와 같이, 다른 단계 또는 추가 단계를 행하여 보정 인자를 다른 제어기에 사용하기 위해 전환시킬 수도 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 분배 펌프의 일련 번호 또는 식별 번호는 바코드 기법, 스마트 칩 기법 또는 유사한 기법을 비롯한 복수 개의 기법 중 하나를 사용하여 분배 시스템에 의해 전자적으로 판독될 수 있다. 분배 펌프의 식별시, 분배 시스템은 메모리로부터 적절한 보정 인자를 찾아내어 판독할 수도 있다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 보정 인자는 분배 펌프 상에 장착된 스마트 칩 또는 어떤 유사한 장치에 저장되어 분배 시스템에 의해 판독될 수도 있다.
분배 시스템에 의한 분배 동안, 상기와 같이 결정된 보정 인자는 구동 캠의 시작 위치에 기초하여 원하는 분배 물질의 중량을 얻을 수 있도록 모터가 회전되는 인코더 위치의 수를 조정하는 데 사용된다. 일실시예에 있어서, 구동 캠의 위치는 각 회전에서의 홈 위치를 검출하고 홈 위치가 검출된 시기 이후에 인코더 총수를 모니터링함으로써 제어기에 의해 모니터링된다.
전술한 분배 펌프에 있어서, 피스톤이 고정 상태로 유지되는 드웰 시간을 발생시키는 평탄면이 있는 구동 캠을 사용하면 분배 펌프의 성능이 향상된다. 드웰 시간의 사용은 실린더로부터 물질의 배출 및 실린더에 물질의 재충전시 실린더 사이에 점진적인 천이를 제공한다.
전술한 본 발명의 실시예에 있어서, 피스톤은 분배 챔버내로 분배 물질을 인입시키고 분배 챔버로부터 인출하도록 분배 챔버 내에서 사용된다. 당업자라면 알 수 있는 바와 같이, 다른 실시예에서는 피스톤 이외의 다른 장치가 분배 챔버로부터 물질을 분배하는 데 사용될 수도 있다. 이러한 다른 장치는 팽창 가능한 벨로우즈(bellows) 또는 팽창 가능한 블레이더를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에 있어서, 분배 챔버는 압력을 변화시켜 물질을 분배 챔버로 유동시키고 분배 챔버로부터 배출되도록 하는 압축 공기원 및/또는 진공 펌프에 연결될 수도 있다. 또한, 전술한 실시예에서는, 별개의 유입 구멍과 배출 구멍이 각 실린더 베이스에 마련된다. 본 발명의 다른 실시예에 있어서, 실린더에 물질을 제공하고 실린더로부터 물질을 분배하도록 동일한 구멍 또는 구멍들을 사용할 수도 있다.
본 발명의 분배 펌프는 종래의 분배 펌프보다 간단하게 제조되고 간단하게 세척될 수 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 분배 펌프의 분배 블록은 쉽게 분해되어 분배 물질과 접촉하는 모든 표면의 세척이 가능하다. 또한, 분배 물질과 접촉하는 피스톤의 일부와 실린더는 분배 블록이 분리되면 실린더 하우징의 바닥을 통해 분리되어 세척될 수 있다.
본 발명에 따른 실시예의 분배 펌프는 종래 기술의 분배 펌프에 비해 몇가지 장점이 있다. 이러한 장점은, 다른 챔버로부터 분배되는 동안 동시에 챔버를 교대로 재충전하는 능력, 오로지 입력축의 회전 도수에만 기초하여 분배되는 물질의 원하는 용적을 계량하는 능력, 펌프를 재충전하기 위해 기다리는 시간을 제거했기 때문에 빠른 사이클 속도로 정확한 용적을 분배하는 능력을 포함한다. 또한, 조립체의 단순함과 아울러 펌프를 구성하는 데 사용되는 개개의 부품이 최소로 되기 때문에 펌프 구성 요소를 쉽고 빠르게 세척할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 교정 시스템의 사용은 제조 공차가 원인이 될 수도 있는 불일치를 제거한다. 이에 의해 분배되는 물질의 용적이 매우 정확하게 된다.
본 발명에 따른 적어도 하나의 실시예를 설명하였지만, 당업자라면 다양한 변경, 변형 및 개선을 생각할 수 있을 것이다. 그러한, 변경, 변형 및 개선은 본 발명의 범위 및 사상 내에 있는 것으로 의도된다. 따라서, 전술한 설명은 일예일 뿐이며 제한적인 것이 아니다.

Claims (28)

  1. 계량된 양의 분배 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 시스템으로서,
    분배되는 물질을 받기 위한 기판이 위에 배치되는 베이스와,
    물질을 기판 상에 분배하도록 베이스 위에 배치될 수 있는 분배 펌프와,
    상기 분배 펌프에 연결되어 분배 전에 물질을 수용하는 용기와,
    상기 분배 펌프에 연결되어 분배 펌프의 작동을 제어하는 컴퓨터 제어 시스템
    을 포함하고, 상기 분배 펌프는,
    상기 용기에 연결되어 용기로부터 물질을 받는 입구와,
    물질이 분배되는 출구와,
    챔버 내에서 이동 가능한 피스톤이 각각 구비되어 있는 복수 개의 분배 챔버와,
    상기 분배 챔버를 입구와 출구에 선택적으로 연결시키도록 위치할 수 있는 밸브와,
    피스톤에 연결되어 분배 챔버 내에서 피스톤의 이동을 제어함으로써 분배 물질을 챔버 내로 인입시키고 분배 챔버로부터 분배 물질을 분배하는 구동 캠과,
    컴퓨터 제어 시스템과 구동 캠에 연결되어 구동 캠을 이동시킴으로써 분배 물질이 분배 펌프로부터 분배되게 하는 모터
    를 포함하는 것인 분배 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동 캠은 각 피스톤을 연장된 위치로 이동시키도록 구성 및 배치되어 각 피스톤을 소정의 제1 드웰 시간 동안 연장된 위치에 유지하는 것인 분배 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동 캠은 각 피스톤을 수축된 위치로 이동시키도록 구성 및 배치되어 각 피스톤을 소정의 제2 드웰 시간 동안 수축된 위치에 유지하는 것인 분배 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 밸브는 구동 캠이 밸브의 작동을 제어하도록 구동 캠에 연결되는 것인 분배 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 각 분배 챔버에 대해서 상기 밸브는 제1 위치, 제2 위치 및 제3 위치 중에 위치될 수 있으며, 각 분배 챔버에 대해 상기 밸브가 제1 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 입구에 작동 가능하게 연결되어 용기로부터 물질을 받고, 밸브가 제2 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 출구에 작동 가능하게 연결되어 물질을 분배하며, 밸브가 제3 위치에 있는 경우, 밸브는 입구와 분배 챔버 사이 및 출구와 분배 챔버 사이에서 물질의 유동을 차단하는 것인 분배 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동 캠은, 분배 챔버 내에서 피스톤에 대한 소정의 제1 드웰 시간과 소정의 제2 드웰 시간 중 하나의 시간 동안 각 분배 챔버에 대해서 밸브가 제1 위치와 제3 위치 사이 및 제2 위치와 제3 위치 사이에서 이동하도록 밸브를 제어할 수 있게 구성 및 배치되는 것인 분배 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 모터는 구동 캠에 연결되어 구동 캠의 회전 운동을 제공함으로써 물질을 분배하고, 상기 구동 캠은 밸브에 연결되어 밸브의 회전 운동을 제공하는 것인 분배 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 분배 펌프는, 컴퓨터 제어 시스템에 연결되고 구동 캠의 홈 위치를 검출하여 컴퓨터 제어 시스템에 신호를 제공하는 검출기를 포함하는 것인 분배 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 컴퓨터 제어 시스템은 모터의 작동을 제어하는 모터 제어기와, 분배 펌프를 위한 교정 인자를 얻어 이 교정 인자를 모터 제어기에 제공하는 교정 시스템을 포함하는 것인 분배 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 밸브는 구동 캠이 밸브의 작동을 제어하도록 구동 캠에 연결되는 것인 분배 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 각 분배 챔버에 대해서 상기 밸브는 제1 위치, 제2 위치 및 제3 위치 중에 위치될 수 있으며, 상기 밸브가 제1 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 입구에 작동 가능하게 연결되어 용기로부터 물질을 받고, 밸브가 제2 위치에 있는 경우, 분배 챔버는 출구에 작동 가능하게 연결되어 물질을 분배하며, 밸브가 제3 위치에 있는 경우, 밸브는 입구와 분배 챔버 사이 및 출구와 분배 챔버 사이에서 물질의 유동을 차단하는 것인 분배 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 모터는 구동 캠에 연결되어 구동 캠의 회전 운동을 제공함으로써 물질을 분배하고, 상기 구동 캠은 밸브에 연결되어 밸브의 회전 운동을 제공하는 것인 분배 시스템.
  13. 제7항에 있어서, 상기 복수 개의 분배 챔버는 3개의 분배 챔버를 포함하며, 각 분배 챔버의 피스톤은 다른 각 분배 챔버의 피스톤과 120도 벗어나 있는 것인 분배 시스템.
  14. 제1항에 있어서, 상기 분배 펌프는, 컴퓨터 제어 시스템에 연결되고 구동 캠의 홈 위치를 검출하여 컴퓨터 제어 시스템에 신호를 제공하는 검출기를 포함하는 것인 분배 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 상기 컴퓨터 제어 시스템은 모터의 작동을 제어하는 모터 제어기와, 분배 펌프를 위한 교정 인자를 얻어 이 교정 인자를 모터 제어기에 제공 하는 교정 시스템을 포함하는 것인 분배 시스템.
  16. 계량된 양의 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 펌프로서,
    분배 물질을 받는 입구와,
    분배 물질이 분배되는 출구와,
    물질을 받는 하나 이상의 개구와 물질을 분배하는 하나 이상의 개구가 각각 형성된 복수 개의 분배 챔버와,
    제1 채널 및 제2 채널이 있는 원형 밸브와,
    상기 원형 밸브에 작동 가능하게 연결되어 적어도 제1 회전 위치와 제2 회전 위치로 원형 밸브를 회전시킴으로써, 원형 밸브의 제1 회전 위치에서는 원형 밸브의 제1 채널이 상기 입구와 분배 챔버들 중 하나 사이에 작동 가능하게 연결되어 물질을 분배 챔버 중 하나에 제공하고, 원형 밸브의 제2 회전 위치에서는 원형 밸브의 제2 채널이 출구와 분배 챔버들 중 하나 사이에 작동 가능하게 연결되는 모터
    를 포함하는 분배 펌프.
  17. 제16항에 있어서, 상기 모터와 원형 밸브 사이에 작동 가능하게 연결되는 구동 캠을 더 구비하는 것인 분배 펌프.
  18. 제17항에 있어서, 복수 개의 분배 챔버 중 대응하는 분배 챔버에 각각 배치되는 복수 개의 피스톤을 더 구비하며, 상기 복수 개의 피스톤은 각각 구동 캠에 작동 가능하게 연결되는 것인 분배 펌프.
  19. 분배 펌프가 있는 분배 시스템을 이용하여 기판 상에 물질을 분배하는 방법으로서, 상기 분배 펌프는 3개 이상의 분배 챔버를 구비하고, 분배 챔버는 분배 챔버 내에서 이동 가능한 피스톤을 각각 구비하여, 분배 물질을 분배 챔버 내로 인입시키고 물질을 분배 챔버로부터 분배하는 물질 분배 방법에 있어서,
    상기 기판을 분배 시스템에 로딩하는 단계와,
    상기 분배 펌프를 기판 위에 배치하는 단계와,
    분배 챔버 중 어느 하나에 위치하는, 피스톤 중 어느 하나를 소정의 제1 이동 시간 동안 수축된 위치로 제1 방향으로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 상기 어느 하나에 인입시키는 단계와,
    피스톤 중 상기 어느 하나를 소정의 제1 드웰 시간 동안 수축된 위치에 유지하는 단계와,
    피스톤 중 상기 어느 하나를 소정의 제2 이동 시간 동안 연장된 위치로 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 상기 어느 하나로부터 분배하는 단계
    를 포함하며, 상기 소정의 제2 이동 시간은 상기 소정의 제1 이동 시간과 실질적으로 같은 것인 물질 분배 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 분배 펌프는 물질을 받는 입구와, 물질이 분배되는 출구 및 제1 개방 위치와 제1 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능한 밸브를 더 포함하여, 상기 제1 개방 위치에서, 밸브는 상기 입구를 분배 챔버 중 하나에 작동 가능하게 연결하여 물질이 입구로부터 분배 챔버 중 하나로 유동할 수 있도록 하고, 상기 제1 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 입구에서 분배 챔버 중 하나로 유동하는 것을 방지하며, 상기 방법은 소정의 제1 드웰 시간 동안 밸브를 상기 제1 개방 위치에서 제1 폐쇄 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것인 물질 분배 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤을 제2 방향으로 연장된 위치로 이동시켜 물질을 분배하는 단계와,
    소정의 제2 드웰 시간 동안 피스톤 중 하나를 연장된 위치에 유지하는 단계와,
    상기 피스톤을 제1 방향으로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 하나로 인입하는 단계
    를 더 포함하는 것인 물질 분배 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 밸브는 제2 개방 위치와 제2 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능하여, 제2 개방 위치에서, 밸브는 분배 챔버 중 하나를 출구에 작동 가능하게 연결하여 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동할 수 있게 하고, 제2 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하는 것을 방지하며, 상기 방법은 소정의 제2 드웰 시간 동안 밸브를 제2 개방 위치에서 제2 폐쇄 위치로 이동시키는 단계를 더 포함하는 것인 물질 분배 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 밸브를 소정의 제2 드웰 시간 동안 제1 폐쇄 위치에서 제1 개방 위치로 이동시키는 단계와,
    상기 밸브를 소정의 제1 드웰 시간 동안 제2 폐쇄 위치에서 제2 개방 위치로 이동시키는 단계
    를 더 포함하는 것인 물질 분배 방법.
  24. 물질을 기판 상에 분배하기 위한 분배 펌프로서,
    분배 물질을 받는 입구와,
    분배 물질이 분배되는 출구와,
    분배 챔버 내에서 이동 가능한 피스톤을 각각 구비하는 3개 이상의 분배 챔버를 구비하여, 분배 물질을 분배 챔버 내로 인입하고 분배 물질을 분배 챔버로부터 분배하는 챔버 하우징과,
    분배 챔버 중 어느 하나에 위치하는, 피스톤 중 어느 하나를 소정의 제1 이동 시간 동안 수축된 위치로 제1 방향으로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 상기 어느 하나로 인입하는 이동 수단과,
    피스톤 중 상기 어느 하나를 소정의 제1 드웰 시간 동안 수축된 위치에 유지하는 유지 수단과,
    피스톤 중 상기 어느 하나를 소정의 제2 이동 시간 동안 연장된 위치로 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 이동시켜 물질을 분배 챔버 중 상기 어느 하나로부터 분배하는 이동 수단
    을 포함하며, 상기 소정의 제2 이동 시간은 상기 소정의 제1 이동 시간과 실질적으로 같은 것인 분배 펌프.
  25. 제24항에 있어서, 제1 개방 위치에서는 밸브가 입구를 분배 챔버에 작동 가능하게 연결하여 물질이 입구로부터 분배 챔버로 유동될 수 있게 하고, 제1 폐쇄 위치에서는 밸브가 입구로부터 분배 챔버로의 물질 유동을 방지하도록 제1 개방 위치와 제1 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능한 밸브와,
    상기 밸브를 소정의 제1 드웰 시간 동안 제1 개방 위치로부터 제1 폐쇄 위치로 이동시키는 이동 수단
    을 더 포함하는 것인 분배 펌프.
  26. 제25항에 있어서, 분배 챔버 중 하나에 있는 피스톤 중 하나를 제2 방향으로 연장된 위치로 이동시켜 물질을 분배하는 이동 수단과,
    상기 피스톤 중 하나를 소정의 제2 드웰 시간 동안 연장된 위치에 유지하는 유지 수단
    을 더 포함하는 것인 분배 펌프.
  27. 제26항에 있어서, 상기 밸브는 제2 개방 위치와 제2 폐쇄 위치 사이에서 제어 가능하여, 제2 개방 위치에서, 밸브는 분배 챔버 중 하나를 출구에 작동 가능하게 연결하여 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하도록 하고, 제2 폐쇄 위치에서, 밸브는 물질이 분배 챔버 중 하나로부터 출구로 유동하는 것을 방지하며, 상기 분배 펌프는 상기 밸브를 소정의 제2 드웰 시간 동안 제2 개방 위치에서 제2 폐쇄 위치로 이동시키는 수단을 더 포함하는 것인 분배 펌프.
  28. 제27항에 있어서, 상기 밸브를 소정의 제2 드웰 시간 동안 제1 폐쇄 위치에서 제1 개방 위치로 이동시키는 이동 수단과,
    상기 밸브를 소정의 제1 드웰 시간 동안 제2 폐쇄 위치에서 제2 개방 위치로 이동시키는 이동 수단
    을 더 포함하는 것인 분배 펌프.
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TW (1) TW564284B (ko)
WO (1) WO2001051217A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200125608A (ko) * 2018-03-02 2020-11-04 아틀라스 콥코 아이에이에스 게엠베하 가공물에 점성 재료를 도포하기 위한 장치

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6511301B1 (en) 1999-11-08 2003-01-28 Jeffrey Fugere Fluid pump and cartridge
US6957783B1 (en) 1999-01-26 2005-10-25 Dl Technology Llc Dispense tip with vented outlets
US7207498B1 (en) 2000-01-26 2007-04-24 Dl Technology, Llc Fluid dispense tips
US6892959B1 (en) 2000-01-26 2005-05-17 Dl Technology Llc System and method for control of fluid dispense pump
US6981664B1 (en) 2000-01-26 2006-01-03 Dl Technology Llc Fluid dispense tips
US6850849B1 (en) 2001-06-20 2005-02-01 Curtis Roys Fluid flow monitor and control system
US6823270B1 (en) * 2001-06-20 2004-11-23 Curtis Roys Fluid flow monitoring system
US6983867B1 (en) 2002-04-29 2006-01-10 Dl Technology Llc Fluid dispense pump with drip prevention mechanism and method for controlling same
US7404861B2 (en) * 2004-04-23 2008-07-29 Speedline Technologies, Inc. Imaging and inspection system for a dispenser and method for same
US7140797B2 (en) * 2005-02-18 2006-11-28 Plas-Pak Industries, Inc. Multi-cartridge dispenser
WO2007046993A1 (en) 2005-10-17 2007-04-26 Illinois Tool Works Inc. Hot melt adhesive metering pump assembly with integral reservoir tank
DE202006021238U1 (de) * 2006-08-25 2014-01-29 Baumer Hhs Gmbh Heißleimauftragssystem
US7980197B2 (en) * 2006-11-03 2011-07-19 Illinois Tool Works, Inc. Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate
US8707559B1 (en) 2007-02-20 2014-04-29 Dl Technology, Llc Material dispense tips and methods for manufacturing the same
US20090214782A1 (en) * 2008-02-21 2009-08-27 Forrest Stephen R Organic vapor jet printing system
US8864055B2 (en) 2009-05-01 2014-10-21 Dl Technology, Llc Material dispense tips and methods for forming the same
US9725225B1 (en) 2012-02-24 2017-08-08 Dl Technology, Llc Micro-volume dispense pump systems and methods
CN102587090A (zh) * 2012-03-22 2012-07-18 无锡小天鹅股份有限公司 克服洗涤剂粘稠度变化的投放装置及其控制方法
US9089863B2 (en) * 2012-04-17 2015-07-28 Illinois Tool Works Inc. Method for cleaning a nozzle of a material deposition system
US9411779B2 (en) 2012-09-28 2016-08-09 Illinois Tool Works Inc. Method of dispensing material based on edge detection
US9475078B2 (en) 2012-10-29 2016-10-25 Illinois Tool Works Inc. Automated multiple head cleaner for a dispensing system and related method
US9057642B2 (en) 2012-12-03 2015-06-16 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for calibrating a dispenser
US9144818B2 (en) 2013-03-13 2015-09-29 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for dispensing a viscous material on a substrate
CN103223395B (zh) * 2013-04-26 2015-05-27 吉林大学 凸轮喷射式点胶装置
US10814351B2 (en) * 2013-08-12 2020-10-27 The Boeing Company High-viscosity sealant application system
US9374905B2 (en) 2013-09-30 2016-06-21 Illinois Tool Works Inc. Method and apparatus for automatically adjusting dispensing units of a dispenser
US9357686B2 (en) 2013-11-14 2016-05-31 Illinois Tool Works Inc. Dispensing apparatus having substrate inverter system and clamping system, and method for dispensing a viscous material on a substrate
FR3022959B1 (fr) * 2014-06-30 2016-07-01 Michelin & Cie Pompe volumetrique a piston et procede de controle de debit associe
US9662675B2 (en) 2014-07-31 2017-05-30 Illinois Tool Works Inc. External inverter system for variable substrate thickness and method for rotating a substrate
US9730340B1 (en) * 2014-09-30 2017-08-08 Apple Inc. Electronic device with array of rotationally mounted components
US10421108B2 (en) * 2015-01-23 2019-09-24 Mestek Machinery, Inc. Sealant system for metal seams
IT201600082108A1 (it) * 2016-08-04 2018-02-04 Forel Spa Dispositivo dosatore per la estrusione di un sigillante bicomponente o monocomponente.
JP6778426B2 (ja) * 2016-09-20 2020-11-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
US11684947B2 (en) * 2018-11-09 2023-06-27 Illinois Tool Works Inc. Modular fluid application device for varying fluid coat weight
CN109731734A (zh) * 2018-12-25 2019-05-10 广州奥松电子有限公司 高精度小面积点胶系统及方法
WO2020154242A1 (en) * 2019-01-21 2020-07-30 Nordson Corporation System and method for dispenser control
US11746656B1 (en) 2019-05-13 2023-09-05 DL Technology, LLC. Micro-volume dispense pump systems and methods
CN110578663B (zh) * 2019-07-31 2021-05-25 杭州盛维科技有限公司 一种轴向柱塞泵及往复传动机构
KR102638649B1 (ko) * 2020-07-07 2024-02-19 세메스 주식회사 반도체 소자 가압 장치 및 이를 포함하는 테스트 핸들러
CN114733729A (zh) * 2022-04-13 2022-07-12 深圳市鑫龙邦科技有限公司 双轨点胶机及其点胶方法
CN114733716A (zh) * 2022-04-26 2022-07-12 福罗泰克装备科技(苏州)有限公司 基于3d视觉和激光监测动态追踪的自动生产线组装系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3982663A (en) * 1975-02-07 1976-09-28 The Gates Rubber Company Method and apparatus for metering thixotropic battery paste

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH129795A (fr) 1928-01-11 1929-01-02 Robert Annen Pompe à piston à débit réglable.
DE515359C (de) 1929-07-05 1931-01-02 Feinmaschb G M B H Pumpe, insbesondere Spinnpumpe, fuer viskose Fluessigkeiten mit im Kreise angeordneten parallelen Kolben
US1842569A (en) 1929-10-26 1932-01-26 Jens P Nielsen Pump
US2969810A (en) 1955-12-27 1961-01-31 Edward C Dudley Wobble plate pump
US3302293A (en) 1964-01-20 1967-02-07 Research Corp Plane table plotter
US4907950A (en) 1988-08-29 1990-03-13 Pierrat Michel A Variable positive fluid displacement system
US5004404A (en) 1988-08-29 1991-04-02 Michel Pierrat Variable positive fluid displacement apparatus with movable chambers
US5718570A (en) * 1995-03-20 1998-02-17 Micropump Corporation Rotary control valve for a piston pump
WO1996029515A1 (en) 1995-03-20 1996-09-26 Micropump, Inc. Multiple piston pump
US5927560A (en) * 1997-03-31 1999-07-27 Nordson Corporation Dispensing pump for epoxy encapsulation of integrated circuits

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3982663A (en) * 1975-02-07 1976-09-28 The Gates Rubber Company Method and apparatus for metering thixotropic battery paste

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200125608A (ko) * 2018-03-02 2020-11-04 아틀라스 콥코 아이에이에스 게엠베하 가공물에 점성 재료를 도포하기 위한 장치
KR102636246B1 (ko) 2018-03-02 2024-02-13 아틀라스 콥코 아이에이에스 게엠베하 가공물에 점성 재료를 도포하기 위한 장치

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