JP2000186780A - 粘性流体の計量送り出し装置 - Google Patents

粘性流体の計量送り出し装置

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JP2000186780A
JP2000186780A JP11217908A JP21790899A JP2000186780A JP 2000186780 A JP2000186780 A JP 2000186780A JP 11217908 A JP11217908 A JP 11217908A JP 21790899 A JP21790899 A JP 21790899A JP 2000186780 A JP2000186780 A JP 2000186780A
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slide
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viscous liquid
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Christof Koster
クリストフ・コスター
Matthias Krieger
マティアス・クリーガー
Peter Schmalz
ペーター・シュマルツ
Stalder Roland
ローラント・シュタルダー
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 軽量で、かつ製造が容易かつ安価に行え、し
かも清掃に関してもより簡単に行える、改良された計量
送り出し装置を提供する。 【解決手段】 粘性液体を計量送り出し装置は、粘性液
体を取り込むための取入れチャネル２０と、前記粘性液
体を送り出すための送出しチャネル２１と、二位置に操
作可能なバルブ１７とを備えて成る。チャネル４の両端
部領域５，６はバルブ１７によって取入れチャネル２０
又は送出しチャネル２１に交互に接続可能とされてい
る。液体を計量送り出しするために、スライド２が二つ
の位置Ｅ，Ｆ間で後進・前進移動可能とされている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、本願の独立請求項
の前提部分に記載の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】かかる
装置は例えば米国特許第 4 485 387 号明細書から公知
である。この明細書には、薄膜印刷インクを基板上へ付
与するためのシステムが記載されている。このシステム
は、取入れチャネル及び吐出チャネルと、これらと直交
するように配された二重シリンダを備えたものとなって
いる。ロータリバルブを介して取入れチャネルが一方の
シリンダに一つ置きに接続され、一方、同様に他方のシ
リンダが吐出チャネルに接続されている。正反対に対向
したピストン対が設けられている。これらピストンは何
れも、モータによって常時前後に駆動される対向配置さ
れたシリンダとして配置されている。ビストンの動きに
合わせて前記バルブが同時に前後に動く。ここで、所定
量の印刷インクが一方のシリンダによって取り出され、
かつ予め計量された一定量の印刷インクが他のシリンダ
より一斉に吐出される。ピストンのストロークは調整可
能であり、ピストンが取り込みかつ突出する印刷インク
の量は所望のものに調整することができる。この装置
は、誤動作を防ぐために比較的寸法が大きく、よって重
量も大きいものとなっている。従ってこの装置は、基板
を横切るように移動する書込みヘッドまで長いチューブ
によって接続されたものとなっている。
【０００３】集積回路すなわちＩＣに電気的接続を付与
するために、いわゆるリードフレームと言われるフレー
ムによって相互接続された接続フィンガが、薄い金属シ
ートから打ち抜かれる。その後、集積回路はいわゆるダ
イボンダー (die bonder) によってそれら接続フィンガ
に接着される。そのため、その集積回路のサイズに適し
た所定パターンのエポキシ接着剤が各リードフレームに
付与される。この作業は、好ましくは上述した装置によ
ってなされる。エポキシ製の接着剤又は樹脂はその組成
によっては寿命が短いため、時間とともに該計量送り出
し装置の背部に残余物として残り、よって定期的に取り
除かなければならない。そのためこの装置は、解体し
て、ソフト石鹸に似たクリーニング用ペースト（界面活
性剤）でリンス処置をする必要があった。その後に、該
装置を注意深く組み立てるわけだが、それには、とりわ
けシール作業に関して相当の熟練が要求される。特に、
該装置の備えるスタッフィング・ボックスはトルクレン
チにて締め付けなければならない。上述した書込みヘッ
ドに続く長いチューブも清掃、場合によっては交換、が
必要となる。言うまでもなく、これらの装置はとりわけ
ピストン駆動の関係で非常に複雑であり、従って高価な
ものである。
【０００４】以上のことから本発明の目的は、上記した
タイプの装置において、軽量で、かつ製造が容易かつ安
価に行え、しかも清掃に関してもより簡単に行える、改
良された装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的は下記によっ
て達成される。粘性液体を取り込むための取入れチャネ
ルと、前記粘性液体を送り出すための送出しチャネル
と、二位置に操作可能なバルブと、一つのチャネルとを
備え、前記チャネルの両端部領域が前記バルブによって
前記取入れチャネル又は前記送出しチャネルに交互に接
続可能とされ、前記チャネル内においてスライドのカム
が二位置間で後進・前進移動可能とされて成る、粘性液
体の計量送り出し装置において、前記チャネルは窪みを
有している。
【０００６】また、粘性液体を取り込むための第一のチ
ャンバと前記粘性液体を送り出すための第二のチャンバ
とを有した本体を備えた粘性液体の計量送り出し装置に
おいて、前記二つのチャンバがドリル穴を介して接続さ
れており、かつ該ドリル穴内で二つのピストンが後進及
び前進可能とされ、これら二つのピストンの対向面間の
距離が前記後進及び前進の間に変化する。
【０００７】本発明に係る装置によれば、小型化が確実
になされ、接着剤を基板に付ける装置の可動書込みヘッ
ドさえも一体に組み立てることが可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明のさらなる優位点は従属請
求項及び以下の説明により明らかとされる。以下では、
本発明が、添付の図面に示した実施の形態に基づいてよ
り詳細に説明される。図において：図１は計量装置の平
面図、図２は計量装置の側面図、図３は、バルブを拡大
して示す計量装置の平面図、図４は、バルブを拡大する
とともに書込みヘッドに取り付けられた計量装置の平面
図、図５は他の計量装置を示す図、図６（ａ）〜（ｆ）
は他の計量装置の種々の作動状態を示す図、図７は基板
に接着剤を付与する装置を示す図である。
【０００９】図１及び図２はそれぞれ、粘性流体の計量
送り出し装置の平面図及び側面図である。該装置は、本
体１と、回転軸Ａの回りを回転するスライド２と、カバ
ープレート３と、を有する。本体１とカバープレート３
との間にはキャビティが存在しており、スライド２が挿
入されることによって環状のチャネル４が形成されてい
る。このチャネル４はその端部領域５，６が、供給チャ
ネル７，８を介して接続ニップル９に接続されている。
チャネル４の前記端部領域５の近傍には窪み (indentat
ion) １０が設けられている。チャネル４への液体の充
填はこの窪み１０からなされる。スライド２はチャネル
４内に突出したカム２ａを有しており、このカムによっ
て液体がチャネル４を介して押し込まれる。
【００１０】回転可能とされた前記スライド２はモータ
１１によってて駆動される。モータ１１とスライド１２
との間には減速ギアボックス１２が接続されている。本
体１及びカバープレート３は、例えば複数のネジ１３あ
るいはスナップ取付け部材によって互いに取り外し可能
に接続されている。本体１には、スライド２が小さい圧
力で押し込まれるようにされたドリル穴１４が形成され
ている。カバープレート３に向いたこのディスク２の表
面３には凹所が形成されており、カバープレート３とス
ライド２との接触部分が、適正なシールをするのに必要
なだけの軽い力で保持されるようになっている。従って
スライド２のエッジ部はシールリップとして形成されて
いるものである。ここで、シールは、所定の位置、すな
わち環状のスライド２のエッジ部において、かつ無論カ
ム２ａにおいても、効果的になされることとなる。スラ
イド２に複数設けられた別の凹所１６は、スライド２と
本体１との接触面積についてもそれを比較的小さくする
役目をなしている。スライド２の寸法は、該計量装置の
組み立てられた状態において、該スライド２が本体１と
カバープレート３との間に挟持はされるが好ましくは手
で回すことができるように、選択される。チャネル４が
環状に形成されている（図１）ため該計量装置はコンパ
クトな構成となっている。このため本装置では、スライ
ド２の押圧フィットによって適正なシールが得られ、こ
れにより液体の流出が生じず、その一方、凹所１５，１
６によってスライド２と本体１及びカバープレート１と
の間の摩擦が充分に小さいものとなって、これによりス
ライド２が所定の角度φだけ必要な正確さで常時回転で
きるものとなっている。言うまでもなく、凹所１５，１
６をカバープレート３に又は本体１に形成してもよい。
該計量装置１をクリーニングするためにカバープレート
３が外され、スライド２は取り出される。ギアボックス
１２及びモータ１１が付与される液体に接触することは
ない。
【００１１】本体１及びカバープレート３は例えば鋼製
のものであり、スライド２はプラスチック材より作製さ
れる。これにより、スライド２と本体１及びカバープレ
ート３との間に理想的な摺動特性が得られる。全ての部
品をプラスチックの射出成形品として作製することも考
えられる。
【００１２】図３及び図４は計量装置をバルブ１７と共
に示している。該計量装置は、このバルブ１７によっ
て、スライド２の両回転方向において連続作動が可能と
なっている。該計量装置及びバルブ１７は、図示の如く
一体ものとして形成されていることが好ましいが、別体
に構成することもできる。このバルブ１７は、例えばロ
ータリーバルブとして示してあり、このロータリーバル
ブは、対向配置された二つの接続チャネル１８，１９
と、９０°屈曲された取入れチャネル２０と、該取入れ
チャネルに対向配置された送出しチャネル２１と、を有
している。供給チャネル７，８は接続チャネル１８，１
９に直接的に推移しており、非常に短く維持することが
できる。チャネル１８〜２１は全てポケットホール２２
に開口しており、回転スライド２３は基本的に二つの位
置の間で前後に移動できる。この回転スライド２３はモ
ータ２４により駆動され、このモータ２４と回転スライ
ド２３との間には減速ギアボックス２５が接続されてい
る。この回転スライド２３の、図示した第一の位置で
は、左方の接続チャネル１８が取入れチャネル２０に接
続され、かつ右方の接続チャネル１９が送出しチャネル
２１に接続されている。回転スライド２３が、破線で示
す第二の位置まで９０°回転すると状態は反転する。作
動中、取入れチャネル２０は、粘性流体を貯留したリザ
ーバに接続される。この回転バルブ１７を備えた該計量
装置は、好ましくは可動書込みヘッド２６に取り付けら
れる。送出しチャネル２１が書込みノズルとして直接的
に形成されている。
【００１３】この計量装置への充填初期においては、回
転バルブ１７の回転スライド２３は図１に示す第一の位
置にあり、かつ該装置の回転可能なスライド２は図１に
示す位置にある。ここに図示はされていないエポキシ接
着剤等の粘性液体が、左方の接続チャネル１８を介して
前記環状チャネル４内に約５bar の圧力で押し込まれ、
かつ接続チャネル１９を介して送出しチャネル２１から
再び吐出される。スライド２が前記窪み１０内に位置し
ているので、供給チャネル７を介して圧入された液体は
容易にスライド２の周囲を流れてチャネル４内に入り込
むことができる。従って供給チャネル７内のエアーは液
体の前方に押し出され、ついには送出しチャネル２１よ
り該計量装置１から排出される。従来の技術において当
業者によって「エアー抜き (bleeding) 」として開示さ
れている計量装置の空気抜きを行うための特別な開口は
不要である。ここで、ポンプ内の空気泡は、自動的にす
なわち外部からの操作を施すことなく、消滅する。
【００１４】次に、前記カム２ａが符号Ｅで示す位置ま
で、回転可能なスライド２が時計回り方向に回転させら
れる。この状態で該計量装置には粘性液体が満たされ、
図示しない基板上に該液体を分配するための準備がなさ
れる。各分配操作によって、スライド２は所定角度φだ
け回転する。吐出される接着剤の量はこの角度φに比例
する。排出操作が所定回数ｎだけ行われると、スライド
２のカム２ａは破線で示す位置Ｆに位置となる。この状
態において、回転バルブ１７の回転スライド２３は第二
の位置まで移動され、かつスライド２の回転方向が逆転
する。従って、分配操作がさらにｎ回行われればスライ
ド２は前記位置Ｅに戻るものとなる。液体を付与するた
め、スライド２は位置Ｅと位置Ｆとの間で後方及び前方
にそれぞれｎ回のステップだけ移動され、これによって
回転バルブ１７の回転スライド２３のの位置は位置Ｅと
位置Ｆとの間で互いに変化する。基板に付与される液体
の量が最大となるのはｎ＝１のときである。
【００１５】回転バルブ１７を備えるこの計量装置は可
動書込みヘッド２６に取り付けられ、かつ、付与する液
体量を規定するスライド２と書込みノズルとの間の離間
寸法はこの構成によって非常に小さく抑えられる。この
ため、各分配作動において吐出する液体量を非常に高い
精度で再現することができる。分配チャネル２１と書込
みノズルとをつなぐチューブが、計量装置が書込みヘッ
ドに取り付けられていない従来技術による一般的な装置
の典型のように３００mm といった比較的長いものであ
った場合には、液体の性質に起因して、この液体の満た
されたチューブが「ロー・パス (low-pass) 」として機
能してしまい、分配すべき液体の量の制御はずっと難し
いものとなる。
【００１６】言うまでもないことであろうが、当業者で
あれば、上述したこの計量装置は環状チャネル４及び回
転可能なスライド２によってのみ機能するものではな
く、内部に前後に移動するスライドを有した直線状のチ
ャネルもまた考えられる。
【００１７】図５は、液体を計量分配するための計量装
置の他の実施形態を示している。この計量装置は第一の
本体３０を有している。該第一の本体３０は、水平かつ
水平に連続してあけられた三つのドリル穴３１，３２，
３３と、さらに二つの本体３４，３５とを備えている。
これら本体３４，３５には、ガイドロッド３６，３７
と、これらガイドロッドと平行とされたピストン３８，
３９とがそれぞれ取り付けられている。これら本体３
０，３４，３５は好ましくはプラスチックより構成され
ている。前記ドリル穴３２には第一のガイドロッドが設
けられ、ドリル穴３３には第二のガイドロッド３７が、
そしてドリル穴３１には二本のピストン３８，３９が設
けられている。ここで、本体３４はドリル穴３１の一方
側に位置しており、かつ本体３５はドリル穴３１の他方
側に位置している。ドリル穴３１の両端は拡径されてお
り、各ピストン３８，３９に対するシール部材４０とベ
アリング部材４１とを一つずつ収納できるようになって
いる。このドリル穴３１の中央部分は、この本体３０内
部に形成された二つのチャンバ４２，４３を接続してい
る。この構成により作動時には、第一のチャンバ４２
が、液体を含むリザーバに接続され、かつ第二のチャン
バ４３が書込みノズル４４に接続される。このため、例
えば、チューブを取り付けるためのニップル４５又は書
込みノズル４４がそれぞれ対応したチャンバ４３又は４
２に直接的に装着されている。
【００１８】本体３４，３５と、それに付随するガイド
ロッド３６，３７と、ピストン３８，３９とは、ドリル
穴３１，３２，３３の方向に移動することが可能であ
る。ガイドロッド３６，３７は二本のピストン３８，３
９の作動時のサポートとなるものである。本体３４，３
５の駆動は、一つの回転軸上に設けられて共通のモータ
により駆動される二つのカムディスク４６，４７によっ
てなされる。このため、これら本体３４，３５は、対応
するカムディスク４６又は４７に近接したカム４８を備
えている。これら二つの本体３４，３５は圧縮バネ４９
によって接続されており、このためカム４８は対応する
カムディスク４６又は４７に常時接触した状態となり、
かつピストン３８，３９の動きは、割り当てられたカム
ディスク４６又は４７波形状 (stagger) に従うものと
なる。前記モータすなわち前記カムディスク４６，４７
が３６０°回転すれば、ピストン３８，３９は前方又は
後方に一度だけ移動するものとなる。
【００１９】図６（ａ）〜図６（ｆ）は、前記カムディ
スク４６，４７が一回転する間の前記ピストン３８，３
９の相対位置を六つの異なる角度位置において概略的に
示したものである。スタート時では、ピストン３８，３
９の両対向面は第一のチャンバ４２内に位置し、かつ、
前記両対向面間には僅かなスリットが形成されている
（図６（ａ））。初めに、ピストン３８のみが動き、両
ピストン３８，３９間のスリット間隔が広がる。この広
がったスリットには直ちに液体が充填される（図６
（ｂ））。その後、両ピストン３８，３９は第一のチャ
ンバ４２から第二のチャンバ４３に移動する。このと
き、スリットの幅は不変である（図６（ｃ））。ここ
で、所定量の液体がチャンバ４２からチャンバ４３に移
送される。その後、ピストン３９は静止したまま（図６
（ｄ））、ピストン３８が、前記スリットの間隔が初期
の小さい寸法となるまで戻る（図６（ｅ））。この段階
において、前記スリット内にあった分量の液体がチャン
バ４３内に押し出される。続いて、両ピストン３８，３
９が戻る。このときスリット間隔は、モータが完全に一
回転するまでは小さいまま（図６（ｆ））保たれ、両ピ
ストンは再度初期位置となる（図６（ａ））。従って、
両ピストン３８，３９が一度後進及び前進をする間に双
方の対向面間隔が変化することとなる。その際、その離
間間隔は後進のときよりも前進のときの方が大きく、こ
れにより、第一のチャンバ４２から所定量の液体が第二
のチャンバ４３に移送される。
【００２０】本体３０をなす材質としては、真鍮のよう
に加工できる硬いプラスチックであるべスペル (Vespe
l) が適当である。ピストン３８，３９及びガイドロッ
ド３６，３７は、好ましくは、例えば射出成形技術にお
ける突き出しピン (ejector pin) の如き従来より用い
られている切抜きパンチ (clipping punch) より形成さ
れている。かかる切抜きパンチは極めてスムーズな表面
を有している。ピストン３８，３９の先端は丸めれてい
る。前記シール部材４０（図５）は例えばテフロン（登
録商標）等の比較的柔らかいプラスチック材よりなって
いる。寸法が短いため、シール部材４０の内径はピスト
ン３８，３９の径よりも僅かに小径となっている。その
ためこのシール部材４０は、対応したピストン３８，３
９に、弾性変形ができる程度にきつく外挿される。従っ
てこのシールは、該シール４０のチャンバ４２，４３に
向いた側において短い寸法で構成される。他方、ベアリ
ング部材４１はピストン３８，３９を支持するために前
記シール部材４０よりも硬いプラスチックから構成され
ており、従って、ピストン３８，３９の支持は、それが
ガイドロッド３６又は３７によってなされない限り、シ
ール部材４０ではなくこれらベアリング部材４１によっ
て有効化されることになる。
【００２１】二つの本体３４，３５との間にはバネ４９
が張設されており、その張設状態は前記スリットの幅の
最大値と最小値との差の量によってのみ変化する。本体
３４，３５とのバネ４９の係合はガイドロッド３６，３
７にできるだけ近い位置でなされており、そのため、こ
のバネ４９によってガイドロッド３６，３７が各ドリル
穴３２，３３に与えるトルクは可能な限り小さくされて
いる。さらにバネを増設してこれらのトルクを完全に消
滅させることも可能である。
【００２２】ドリル穴３１の内径と、ピストン３８，３
９の対向面間に形成されるスリットの幅の最小値−最大
値の差とは、分配すべき液体の最小体積Ｖmin に対応し
て寸法決定される。一回の分配操作で付与される液体の
体積は、モータをｎ回転させてこの液体量Ｖmin をｎ回
施すことによって増加させ得る。この装置は液体をスポ
ット的に付与するのにも同様に好適であり、その場合に
は書き込み軸は静止状態とされる。また、液体で線及び
模様を描くことにも向いており、その場合には書込み軸
は所定のラインに沿って所定の速度で移動する。モータ
の回転方向及びスピードは書込み動作によって調整・制
御され、これにより所定量の液体が所要の液体パターン
に従って基板上の所定箇所に付与される。
【００２３】この装置の顕著な優位点はバルブがなくと
も見い出すことができる。逆転運転も可能であり、その
場合液体は第二のチャンバ４３から第一のチャンバ４２
に移送されるものとなる。両ピストン３８，３９の対向
面間のスリットの幅を最小（０ではない）に維持するこ
とにより磨耗を生じない運転が保証される。
【００２４】何れの計量装置も極めてコンパクトに構成
可能である。従って、これらの計量装置は、基板に接着
剤を付与するために、例えば欧州特許出願第 901 155
号明細書に記載されている如き機器の書込みヘッドに直
接取り付けることが可能である。ここで、上記欧州特許
出願明細書の開示内容は本明細書に組み込まれるものと
する。図７は上記欧州特許出願明細書の図１に対応した
ものである。この欧州特許出願第 901 155 号明細書に
従い、液体はチューブ５１を介してヘッド５０に供給さ
れる。図示しないポンプはチューブ５１の他方の端部に
位置している。この装置により、付与すべき接着剤が定
量供給される。本発明に係るこれら計量装置の一つは、
前記分配ヘッド５０の替わりに、クレドール５２に直接
取り付けることも可能である。接着剤の量を計量するポ
ンプは書込みヘッド５３に設けられ該ヘッドとともに移
動する。ここで、ポンプの機能を働かせる該計量装置と
書込みノズル４４の先端との間の距離はより短くなる。
これにより、書込み動作及びポンプ駆動の調整、すなわ
ち書込み動作に対する時間に応じたモータの回転方向及
び回転速度の調節が、例え書込み速度が非常に速くかつ
書込みサイクルが非常に短い場合であっても単純化され
る。
【００２５】双方の計量装置は、ほとんどの場合高粘性
を有する接着剤の付与のためにも、また、例えばフリッ
プチップのためのグロブトップ (globtop) 材料又は欠
肉 (underfill) 材料として機能する低粘性の液体の付
与のためにも、共に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施形態による計量装置の平面図
である。
【図２】 図１に示した計量装置の一部断面側面図であ
る。
【図３】 バルブを拡大して示す計量装置の平面図であ
る。
【図４】 バルブを拡大するとともに書込みヘッドに取
り付けられた計量装置の平面図である。
【図５】 他の計量装置を示す部分断面側面図である。
【図６】 （ａ）〜（ｆ）は他の計量装置の種々の作動
状態を示す断面図である。
【図７】 基板に接着剤を付与する装置を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
１ 本体 ２ スライド ２ａ カム ３ カバープレート ４ チャネル ５，６ 端部領域 １０ 窪み １４ ドリル穴 １５，１６ 凹所 １７ バルブ ２０ 取入れチャネル ２１ 送出しチャネル ２６，５３ 可動書込みヘッド ３０ 本体 ３１ ドリル穴 ３８，３９ ピストン ４０ シール部材 ４１ ベアリング部材 ４２ 第一のチャンバ ４３ 第二のチャンバ Ａ 回転軸 Ｅ，Ｆ 二位置
フロントページの続き (72)発明者 ペーター・シュマルツ スイス・ＣＨ−6280・ホッホドルフ・ロー ゼンガルテンシュトラーセ・10ｂ (72)発明者 ローラント・シュタルダー スイス・ＣＨ−8050・チューリッヒ・クヴ ェーアシュトラーセ・16

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 粘性液体を取り込むための取入れチャネ
    ル（２０）と、前記粘性液体を送り出すための送出しチ
    ャネル（２１）と、二位置に操作可能なバルブ（１７）
    と、一つのチャネル（４）と、を備え、 前記チャネル（４）の両端部領域（５，６）が前記バル
    ブ（１７）によって前記取入れチャネル（２０）又は前
    記送出しチャネル（２１）に交互に接続可能とされ、 前記チャネル（４）内においてスライド（２）のカム
    （２ａ）が二位置（Ｅ，Ｆ）間で後進・前進移動可能と
    されて成る、粘性液体の計量送り出し装置において、 前記チャネル（４）が窪み（１０）を有していることを
    特徴とする粘性液体の計量送り出し装置。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の装置において、前記チャ
    ネル（４）が環状のものであり、かつ前記スライド
    （２）が回転軸（Ａ）上で回転可能であることを特徴と
    する装置。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の装置において、本
    体（１）及びカバープレート（３）を有し、かつ前記ス
    ライド（２）が前記本体（１）のドリル穴（１４）内に
    嵌入可能とされていることを特徴とする装置。
  4. 【請求項４】 請求項３記載の装置において、前記スラ
    イド（２）、前記本体（１）、及び前記カバープレート
    （３）の何れかが、前記スライド（２）と前記本体
    （１）との接触面積又は前記スライド（２）と前記カバ
    ープレート（３）との接触面積を減少させるために少な
    くとも一つの凹所（１５；１６）を有していることを特
    徴とする装置。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし５の何れかに記載の装置
    において、前記スライド（２）がプラスチックから成る
    ことを特徴とする装置。
  6. 【請求項６】 請求項３ないし５の何れかに記載の装置
    において、前記本体（１）、前記スライド（２）、及び
    前記カバープレート（３）がプラスチックから成ること
    を特徴とする装置。
  7. 【請求項７】 粘性液体を取り込むための第一のチャン
    バ（４２）と前記粘性液体を送り出すための第二のチャ
    ンバ（４３）とを有した本体（３０）を備えた粘性液体
    の計量送り出し装置において、 前記二つのチャンバ（４２，４３）がドリル穴（３１）
    を介して接続されており、かつ該ドリル穴（３１）内で
    二つのピストン（３８，３９）が後進及び前進可能とさ
    れ、これら二つのピストン（３８，３９）の対向面間の
    距離が前記後進及び前進の間に変化することを特徴とす
    る計量送り出し装置。
  8. 【請求項８】 請求項７記載の装置において、前記各ピ
    ストン（３８，３９）がベアリング部材（４１）によっ
    て前記ドリル穴（３１）内に支持されているとともに、
    シール部材（４０）によって前記ドリル穴（３１）に対
    してシールされており、前記ベアリング部材（４１）が
    前記シール部材（４０）よりも硬い材料により成ること
    を特徴とする装置。
  9. 【請求項９】 液体を可動書込みヘッド（２６；５３）
    によって基板に付与する装置において、液体計量送り出
    し装置が前記書込みヘッド（２６；５３）に取り付けら
    れていることを特徴とする装置。
JP11217908A 1998-08-05 1999-07-30 粘性流体の計量送り出し装置 Pending JP2000186780A (ja)

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EP98810752A EP0979028A1 (de) 1998-08-05 1998-08-05 Vorrichtung zur dosierten Abgabe einer hochviskosen Flüssigkeit
EP98810752.0 1998-08-05

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