KR100767211B1 - Gate valve for vacuum treatment device - Google Patents

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KR100767211B1
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신호익
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Abstract

본 발명은 진공처리장치용 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve for a vacuum processing apparatus.

본 발명은 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 게이트 밸브에 있어서, 상기 밸브는 실린더 하우징의 내부에 설치된 티블록의 상부 양측으로 작동축이 서포트 블록과 밸브 몸체를 관통하여 헤드의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체와 헤드가 베어링 링크에 의하여 회동 가능하게 결합되어짐을 특징으로 한다.The present invention relates to a gate valve configured to set and maintain a vacuum degree, wherein the valve is coupled to a lower portion of the head through the support block and the valve body through the support block and the upper both sides of the tee block installed inside the cylinder housing, The valve body and the head are characterized by being rotatably coupled by a bearing link.

따라서, 본 발명은 마모로 인한 부분적인 파손을 방지함과 동시에 기밀유지가 원활하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.Therefore, the present invention is to prevent the partial damage due to wear and at the same time to ensure the airtight smoothly.

게이트 밸브, 실린더 하우징, 티블록, 작동축, 서포트 블록 Gate valve, cylinder housing, T block, working shaft, support block

Description

진공처리장치용 게이트 밸브{GATE VALVE FOR VACUUM TREATMENT DEVICE}GATE VALVE FOR VACUUM TREATMENT DEVICE

도1은 본 발명에 따른 게이트 밸브의 정면도.1 is a front view of a gate valve according to the present invention.

도2는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 배면도.2 is a rear view of the gate valve according to the present invention;

도3a,3b는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 개략적인 작동상태를 도시한 예시도.Figures 3a, 3b is an illustration showing a schematic operating state of the gate valve according to the present invention.

도4는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 다른 레벨 볼트의 종단면도.4 is a longitudinal sectional view of another level bolt of a gate valve according to the present invention;

도5는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 클로즈 레벨 볼트를 도시한 종단면도.Fig. 5 is a longitudinal sectional view showing a close level bolt of a gate valve according to the present invention.

도6,7은 본 발명에 따른 게이트 밸브를 작동시키는 작동축의 예시도.6 and 7 are exemplary views of an operating shaft for operating the gate valve according to the present invention.

도8,9는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 작동상태를 도시한 종단면도.8 and 9 are longitudinal sectional views showing an operating state of the gate valve according to the present invention;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 게이트 밸브에 있어서, A gate valve configured to set and maintain a degree of vacuum,

10:실린더 하우징 20:티블록10: cylinder housing 20: tea block

30:작동축 40:서포트 블록30: working shaft 40: support block

50:밸브 몸체 60:헤드50: valve body 60: head

70:베어링 링크70: bearing link

본 발명은 진공처리장치용 게이트 밸브에 관한 것으로서 특히 실린더의 작동축에 결합되어진 헤드가 링크 베어링에 의하여 밸브 몸체의 상부에서 전방을 향하여 소정 길이로 돌출되어 기밀이 유지되어지도록 하거나, 인입되어 기밀이 해지될 수 있도록 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gate valve for a vacuum processing apparatus, and in particular, a head coupled to an operation shaft of a cylinder protrudes from the upper portion of the valve body toward the front by a link bearing to a predetermined length so that the airtightness is maintained, or the airtightness is introduced. It is intended to be terminated.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정(etching process), 증착(vapordeposition) 공정, 스퍼터링(sputtering) 공정이나 패럴린 코팅(parylene coating)과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업은 진공의 챔버(chamber)내에서 이루어지게 된다.In general, a special coating process that requires a vacuum such as an etching process, a vapordeposition process, a sputtering process, or a parylene coating of an LCD (liquid crystal display) substrate or a semiconductor wafer This work is done in a chamber of vacuum.

챔버내에 적절한 진공도를 설정 및 유지하기 위해 사용되어지는 것이 게이트 밸브이며, 이러한 게이트 밸브는 반도체 제조설비의 필수적인 구성부재이며, 이 밸브의 본체를 개폐하기 위한 기구의 대부분이 진공 영역 내에 설치되어 있다. It is a gate valve that is used to set and maintain an appropriate degree of vacuum in the chamber, which is an essential component of semiconductor manufacturing equipment, and most of the mechanisms for opening and closing the main body of the valve are provided in the vacuum region.

예를 들면, 밸브 본체의 패킹을 밸브 시이트(seat)에 대해 눌러 이들 사이에 시일을 유지하기 위한 힘을 전달하는 기구로서는 링크를 사용하는 기구 또는 상기 두 부품 사이에 쐐기를 밀어 넣는 형식 등이 공지되어 있으며, 이들 기구들은 통상적으로 진공영역 내에 설치된다. For example, a mechanism using a link or a wedge between the two parts is known as a mechanism for pressing the packing of the valve body against the valve seat to transmit a force for holding the seal therebetween. These instruments are typically installed in a vacuum zone.

또한, 밸브 본체를 조작하기 위한 밸브로드에 그의 행정을 흡수하도록 다른 링크 기구가 설치될 수도 있으며, 이 다른 링크 기구도 진공영역 내에 설치되는 경우가 적지 않다.Further, another link mechanism may be provided on the valve rod for operating the valve body to absorb its stroke, and this other link mechanism is also often installed in the vacuum region.

또한, 이들 기구가 진공영역 내에 설치되는 경우에는 이들 기구의 동작이 전동(rolling)이거나 시프팅(shifting)이거나에 관계없이 마찰작용을 수반할 때에는 마찰의 결과로서 미세한 입자가 불가피하게 발생되어 진공환경의 고도의 청정도에 대한 요건을 훼손하기 때문에 이와 같은 기구의 사용을 금지하고 있다.In addition, when these mechanisms are installed in a vacuum region, when the operation of these mechanisms involves friction, regardless of whether they are rolling or shifting, fine particles are inevitably generated as a result of the friction and the vacuum environment. The use of such equipment is prohibited because it impairs the requirement for high cleanliness.

또한, 게이트 밸브의 동작에 마찰을 수반하는 경우에는 그 마찰 저항을 줄이기 위한 대책으로서 어떤 적당한 매체에 의해 기구들이 윤활될 필요가 있으나, 진공영역 내에는 그러한 대책을 채택하기가 매우 곤란하기 때문에 연속 운전이 고빈도로 되는 경우에는 마찰부에 지장이 생기는 경우가 종종 있다. 기계 장치에서도 기계 부분에 마찰부분을 포함시키는 경우에 곤란한 상황이 된다.In addition, when the operation of the gate valve involves friction, the mechanisms need to be lubricated by any suitable medium as a countermeasure for reducing the frictional resistance. In the case of this high frequency, the friction part often occurs. Even in a mechanical device, it is difficult to include a friction part in the machine part.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해소하기 위해 창출한 것으로서 실린더의 작동축에 결합되어진 헤드가 링크 베어링에 의하여 밸브 몸체의 상부에서 전방을 향하여 소정 길이로 돌출 또는 인입되는 가운데 마찰저항이 줄어들도록 마모로 인한 파손을 방지함과 동시에 기밀유지가 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 진공처리장치용 게이트 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a problem, and the head coupled to the working shaft of the cylinder is caused by abrasion to reduce frictional resistance while the head is protruded or drawn in a predetermined length from the top of the valve body forward by the link bearing. It is an object of the present invention to provide a gate valve for a vacuum processing apparatus that prevents damage and at the same time maintains hermeticity.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 게이트 밸브에 있어서, 상기 밸브는 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어짐을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a gate valve configured to set and maintain the degree of vacuum, the valve is supported by the operating shaft 30 to the upper both sides of the tee block 20 installed inside the cylinder housing 10 It is coupled to the lower portion of the head 60 through the block 40 and the valve body 50, the valve body 50 and the head 60 is rotatably coupled by the bearing link 70 It is done.

또한, 상기 티블록(20)은 실린더 하우징(10)의 내벽면으로 부터 소정 간격으로 이격되어지는 피스톤(21)과, 상기 피스톤(21)의 중앙에 상부로 향하도록 일체로 형성되어지는 로드(22)로 구성되어지되, 상기 피스톤(21)의 가장자리에는 바이톤링(23)과 테프론으로 이루어진 웨어링(24)이 결합되어지고, 로드(22)의 상부 중앙에는 클로즈 레벨 볼트(25)가 결합되어지고, 그 외주연부에는 가이드링(26)이 결합되어짐을 특징으로 한다.In addition, the tee block 20 is a piston 21 spaced apart from the inner wall surface of the cylinder housing 10 at a predetermined interval, and a rod integrally formed so as to face upward in the center of the piston 21 ( 22, a viton ring 23 and a wear ring 24 made of Teflon are coupled to an edge of the piston 21, and a close level bolt 25 is coupled to an upper center of the rod 22. It is characterized in that the guide ring 26 is coupled to the outer peripheral portion.

또한, 상기 클로즈 레벨 볼트(25)는 로드(22)의 중앙을 관통하도록 형성된 단턱형태의 삽입홈(22a)에 걸림턱(251)을 갖는 볼트축(252)이 결합되어지되, 상기 볼트축(252)의 상단이 로드(22)의 상부로 소정 높이로 돌출되어지도록 결합되어지고, 상기 볼트축(252)의 하단에 나사부(253)를 형성하여 너트(254)로 결합되어짐을 특징으로 한다.In addition, the close-level bolt 25 is a bolt shaft 252 having a locking jaw 251 is coupled to the stepped insertion groove 22a formed to penetrate the center of the rod 22, the bolt shaft ( The upper end of the 252 is coupled to protrude to a predetermined height to the top of the rod 22, characterized in that the screw 253 is formed on the lower end of the bolt shaft 252 is coupled to the nut 254.

또한, 상기 작동축(30)은 삽입홀(31a)이 형성된 아우터축(31)과, 상기 삽입홀(31a)에 끼워지는 인너축(32)으로 구성되어지되, 상기 아우터축(31)은 중간에 관통된 형태를 갖는 가이드홀(31b)이 형성되어지고, 상기 인너축(32)은 계단형태로 상단에 헤드고정핀(33)이 끼워지는 헤드고정구(34)가 형성되어지며 하단에 와셔(35)가 결합되어지고, 그 중간에 축삽입홈(36)을 형성하여 록킹축(37)이 끼워지도록 구성되어지고, 상기 삽입홀(31a)의 하부에 스프링 가이드(38)가 삽입되어지고, 상기 스프링 가이드(38)와 인너축(32)의 하단에 결합된 와셔(35) 사이에 스프링(39)이 개재되어지도록 구성됨을 특징으로 한다.In addition, the operating shaft 30 is composed of an outer shaft 31 having an insertion hole 31 a and an inner shaft 32 fitted into the insertion hole 31 a, wherein the outer shaft 31 is intermediate. A guide hole 31b having a penetrated shape is formed, and the inner shaft 32 has a head fixing tool 34 into which a head fixing pin 33 is fitted at an upper end in a stair shape, and a washer at a lower end thereof. 35 is coupled, and is formed so that the locking shaft 37 is fitted by forming the shaft insertion groove 36 in the middle thereof, the spring guide 38 is inserted into the lower portion of the insertion hole (31a), A spring 39 is interposed between the spring guide 38 and the washer 35 coupled to the lower end of the inner shaft 32.

또한, 상기 헤드(60)는 전면의 테두리에 근접한 곳에 소정 깊이를 갖는 삽입 가이드(61)를 형성하여 헤드 오링(62)이 결합되어지도록 구성하고, 그 후면에 결합되어지는 헤드 커버(63)에는 다수개의 커버 베어링(64)이 결합되어지고, 상기 헤드 커버(63)의 하부에 인너축(32)의 헤드고정구(34)에 결합된 헤드 고정핀(33)이 결합되어지도록 구성됨을 특징으로 한다.In addition, the head 60 is formed so that the head O-ring 62 is coupled by forming an insertion guide 61 having a predetermined depth in the vicinity of the front edge, the head cover 63 is coupled to the rear A plurality of cover bearings 64 are coupled, and the head fixing pin 33 coupled to the head fastener 34 of the inner shaft 32 is coupled to the lower portion of the head cover 63. .

또한, 상기 서포트 블록(40)은 중앙에 중공형태의 안내부(41)가 하부로 돌출되게 형성되어진 블록 몸체(42)의 양측으로 관통홀(43)이 대칭되게 형성되어지되, 상기 관통홀(43)의 하부를 계단형태로 형성하여 상부로부터 하부로 각각 부싱(44)과 스페이서(45)가 결합되어짐을 특징으로 한다.In addition, the support block 40 has a through hole 43 symmetrically formed on both sides of the block body 42 in which the hollow guide portion 41 is formed to protrude downward, and the through hole ( 43 is formed in the form of a staircase, characterized in that the bushing 44 and the spacer 45 are respectively coupled from the top to the bottom.

그리고 상기 베어링 링크(70)는 소정의 길이와 폭을 갖는 링크 몸체(71)의 양측단이 만곡형태를 갖도록 형성되어지고, 상기 링크 몸체(71)의 양측단에 베어링 삽입홈(72)을 형성하여 링크 몸체(71)의 폭 보다 더 길은 길이를 갖는 봉형태의 베어링(73)이 결합되어지되, 일측은 밸브 몸체(50)에 타측은 헤드(60)에 결합되어짐을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브를 제공함에 그 목적이 달성된다.In addition, the bearing link 70 is formed so that both ends of the link body 71 having a predetermined length and width have a curved shape, and the bearing insertion grooves 72 are formed at both ends of the link body 71. The rod-shaped bearing (73) having a length longer than the width of the link body 71 is coupled, the vacuum processing apparatus characterized in that one side is coupled to the valve body 50 and the other side to the head 60 The object is achieved by providing a gate valve.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 게이트 밸브는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 실린더 하우징(10), 티블록(20), 작동축(30), 서포트 블록(40), 밸브 몸체(50), 헤드(60) 및 베어링 링크(70) 그리고 오픈레벨 볼트(80)로 구성되어 있다.1 to 5, the gate valve according to the present invention, the cylinder housing 10, the tee block 20, the working shaft 30, the support block 40, the valve body 50, the head ( 60) and bearing link 70 and open level bolts 80.

여기에서, 상기 실린더 하우징(10)은 외부로 부터 공급되어지는 유체에 의하여 그 내부에 설치된 티블록(20)이 상하 수직으로 왕복 이동되어지도록 하는 기능을 갖는 것으로 그 상부에 서포트 블록(40)이 결합된 상태로 밸브 몸체(50)의 하부 에 고정되어지도록 구성되어 있다.Here, the cylinder housing 10 has a function to allow the tee block 20 installed therein to be reciprocated vertically and vertically by a fluid supplied from the outside. It is configured to be fixed to the lower portion of the valve body 50 in a coupled state.

상기 티블록(20)은 실린더 하우징(10)으로 공급되는 유체의 량에 따라 그 상부에 결합된 작동축(30)을 상하로 움직여 밸브 몸체(50)에 결합된 헤드(60)를 미소 간격으로 인출 또는 삽입되어지도록 구성되어 있다.The t-block 20 moves up and down the operating shaft 30 coupled to the upper portion thereof in accordance with the amount of fluid supplied to the cylinder housing 10 to move the head 60 coupled to the valve body 50 at a minute interval. It is configured to be withdrawn or inserted.

이를 위해, 상기 티블록(20)은 실린더 하우징(10)의 내벽면으로 부터 소정 간격으로 이격되어지는 형태로 그 내부에 삽입된 피스톤(21)과, 상기 피스톤(21)의 중앙에 상부로 향하도록 일체로 형성되어지는 로드(22)로 구성되어있다.To this end, the tee block 20 is a piston 21 inserted therein in a form spaced apart from the inner wall surface of the cylinder housing 10 by a predetermined interval, and directed upward in the center of the piston 21 It consists of the rod 22 which is integrally formed so that it may be.

또한, 상기 피스톤(21)의 가장자리에는 바이톤링(23)과 테프론으로 이루어진 웨어링(24)이 결합되어 피스톤(21)이 실린더 하우징(10)의 내부에서 수직되는 방향으로 정밀하게 움직이도록 구성되어 있다.In addition, a viton ring 23 and a wear ring 24 made of Teflon are coupled to an edge of the piston 21 so that the piston 21 is precisely moved in a direction perpendicular to the inside of the cylinder housing 10. .

그리고 상기 로드(22)의 상부 중앙에는 클로즈 레벨 볼트(25)가 결합되어지고, 그 외주연부에는 가이드링(26)이 결합되어 그 정밀한 움직임이 유도되어짐과 동시에 이를 제한 할 수 있도록 구성되어 있다.In addition, a close level bolt 25 is coupled to the upper center of the rod 22, and a guide ring 26 is coupled to the outer circumferential portion thereof, so that the precise movement is guided and limited.

상기 클로즈 레벨 볼트(25)는 티블록(20)의 이동을 제한하는 기능을 갖는 것으로 도5에 도시된 바와 같이, 로드(22)의 중앙을 관통하도록 형성된 단턱형태의 삽입홈(22a)에 걸림턱(251)을 갖는 볼트축(252)이 결합되어지도록 구성되어 있다.The close level bolt 25 has a function of limiting the movement of the tee block 20 and is caught in the stepped insertion groove 22a formed to penetrate the center of the rod 22, as shown in FIG. 5. The bolt shaft 252 having the jaw 251 is configured to be coupled.

또한, 상기 볼트축(252)의 상단이 로드(22)의 상부로 소정 높이로 돌출되어지도록 결합되어지고, 상기 볼트축(252)의 하단에 나사부(253)를 형성하여 너트(254)로 결합되어지도록 구성되어 있다.In addition, the upper end of the bolt shaft 252 is coupled so as to protrude to a predetermined height to the top of the rod 22, by forming a screw portion 253 at the lower end of the bolt shaft 252 is coupled to the nut 254 It is configured to be.

상기 작동축(30)은 도6,7에 도시된 바와 같이, 티블록(20)의 상부 이동에 따 라 연동되어짐과 동시에 일정량 이상으로 이동되어질 경우, 후술하는 헤드 드럼(62)의 일부를 하부로 당김에 따라 베어링 링크(70)에 의하여 헤드 드럼(62)이 밸브 몸체(50)의 전방으로 인출되어 기밀이 유지되어지도록 구성되어 있다.As shown in FIGS. 6 and 7, when the operation shaft 30 is interlocked with the upper movement of the T block 20 and moved more than a predetermined amount, a part of the head drum 62 to be described later is lowered. The head drum 62 is drawn out to the front of the valve body 50 by the bearing link 70 as it is pulled in the furnace, so that airtightness is maintained.

이를 위해, 상기 작동축(30)은 삽입홀(31a)이 형성된 아우터축(31)과, 상기 삽입홀(31a)에 끼워지는 인너축(32)으로 구성되어 있으며, 상기 아우터축(31)은 중간에 관통된 형태를 갖는 가이드홀(31b)이 형성되어지고, 상기 인너축(32)은 계단형태로 상단에 헤드고정핀(33)이 끼워지는 헤드고정구(34)가 형성되어지며 하단에 와셔(35)가 결합되어지도록 구성되어 있다.To this end, the operation shaft 30 is composed of an outer shaft 31 having an insertion hole 31a and an inner shaft 32 fitted into the insertion hole 31a, and the outer shaft 31 is A guide hole 31b having a penetrated shape is formed in the middle, and the inner shaft 32 has a head fixing tool 34 into which the head fixing pin 33 is fitted at the top in the form of a step, and a washer at the bottom. It is comprised so that 35 may be combined.

또한, 상기 인너축(32)의 중간에는 축삽입홈(36)을 형성하여 록킹축(37)이 끼워지도록 구성되어있고, 상기 삽입홀(31a)의 하부에 스프링 가이드(38)가 삽입되어지도록 구성되어 있다.In addition, a shaft insertion groove 36 is formed in the middle of the inner shaft 32 so that the locking shaft 37 is fitted, and the spring guide 38 is inserted into the lower portion of the insertion hole 31a. Consists of.

그리고 상기 스프링 가이드(38)와 인너축(32)의 하단에 결합된 와셔(35) 사이에 스프링(39)이 개재되어지도록 구성되어 있으며, 외부로 부터 이물질이 그 표면에 달라 붙는 것을 방지하기 위한 방안으로 상기 작동축(30)은 벨로우즈(B)로 커버되어지도록 구성되어 있다.And it is configured so that the spring 39 is interposed between the spring guide 38 and the washer 35 coupled to the lower end of the inner shaft 32, to prevent foreign matter from sticking to the surface from the outside In the room, the working shaft 30 is configured to be covered with a bellows (B).

상기 서포트 블록(40)은 티블록(20) 및 작동축(30)이 용이하게 움직일 수 있도록 하고, 동시에 작동축(30)을 구성하는 인너축(32)이 상부에서 하부로 또는 하부에서 상부로 안전하게 이동할 수 있는 기능이 제공되어지도록 구성되어 있다.The support block 40 allows the tee block 20 and the operation shaft 30 to be easily moved, and at the same time, the inner shaft 32 constituting the operation shaft 30 moves from the top to the bottom or from the bottom to the top. It is configured to provide the ability to move safely.

이를 위해, 상기 서포트 블록(40)은 중앙에 중공형태의 안내부(41)가 하부로 돌출되게 형성되어진 블록 몸체(42)의 양측으로 관통홀(43)이 대칭되게 형성되어지 도록 구성되어 있고, 상기 관통홀(43)의 하부를 계단형태로 형성하여 상부로부터 하부로 각각 부싱(44)과 스페이서(45)가 결합되어지도록 구성되어 있다.To this end, the support block 40 is configured such that the through-hole 43 is symmetrically formed on both sides of the block body 42 in which the hollow guide portion 41 is formed to protrude downward. The bottom of the through hole 43 is formed in a stepped shape so that the bushing 44 and the spacer 45 are coupled to each other from the top to the bottom thereof.

상기 헤드(60)는 작동축(30)의 작동에 따라 밸브 몸체(50)로 부터 인출 또는 인입되어 기밀유지와 기밀해지가 되도록 하는 것으로 그 전면에는 테두리에 근접한 곳에 소정 깊이를 갖는 삽입 가이드(61)를 형성하여 헤드 오링(62)이 결합되어지도록 구성하고, 그 후면에 결합되어지는 헤드 커버(63)에는 다수개의 커버 베어링(64)이 결합되어지도록 구성되어 있다.The head 60 is withdrawn or drawn from the valve body 50 in accordance with the operation of the operating shaft 30 to be airtight and airtight, the insertion guide 61 having a predetermined depth in the vicinity of the rim in the front The head o-ring 62 is formed to be coupled to each other, and a plurality of cover bearings 64 are coupled to the head cover 63 coupled to the rear surface thereof.

또한, 상기 헤드 커버(63)의 하부에 인너축(32)의 헤드고정구(34)에 결합된 헤드 고정핀(33)이 결합되어지도록 구성되어 있다.In addition, the head fixing pin 33 coupled to the head fixing tool 34 of the inner shaft 32 is configured to be coupled to the lower portion of the head cover 63.

상기 베어링 링크(70)는 인너축(32)의 이동에 따라 헤드(60)를 밸브 몸체(50)로 부터 인출 또는 인입되어지도록 하는 기능을 갖는 것으로 소정의 길이와 폭을 갖는 링크 몸체(71)의 양측단이 만곡형태를 갖도록 형성되어지고, 상기 링크 몸체(71)의 양측단에 베어링 삽입홈(72)을 형성하여 링크 몸체(71)의 폭 보다 더 길은 길이를 갖는 봉형태의 베어링(73)이 결합되어지도록 구성되어 있다.The bearing link 70 has a function of allowing the head 60 to be drawn out or drawn out from the valve body 50 according to the movement of the inner shaft 32. The link body 71 has a predetermined length and width. Is formed to have both ends of the curved shape, and the bearing insertion groove 72 is formed at both ends of the link body 71 to form a rod-shaped bearing 73 having a length longer than the width of the link body 71. ) Is configured to be combined.

또한, 그 일측은 밸브 몸체(50)에 타측은 헤드(60)에 결합되어지도록 구성되어 있다.In addition, one side is configured to be coupled to the valve body 50, the other side to the head 60.

상기 오픈레벨 볼트(80)는 도4에 도시된 바와 같이, 관통되는 형태를 갖는 지지몸체(81)에 암나사(83a)가 형성된 지지축(83)이 결합되어지고, 상기 암나사(83a)에 볼트부재(84)가 나사결합되어지며, 지지몸체(81)와 지지축(83) 사이에 오링(82)가 개재되어지도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, the open level bolt 80 is coupled to a support shaft 83 having a female thread 83a coupled to a support body 81 having a penetrating form, and bolted to the female screw 83a. The member 84 is screwed together, and the O-ring 82 is interposed between the support body 81 and the support shaft 83.

이와 같은 구성을 갖는 게이트 밸브는 미도시한 유체공급부로 부터 유체가 실린더 하우징(10)으로 공급됨과 동시에 도8에 도시된 바와 같이 티블록(20)이 상부로 이동하게 되면서 티블록(20)의 상부 양측에 벨로우즈(B)로 커버되어지도록 결합된 작동축(30)이 상부로 같이 이동하게 됨에 따라 헤드(60)가 밸브 몸체(50)로 부터 인출되기 시작되며, 티블록(20)의 상부에 결합된 클로즈 레벨볼트(25)가 서포트 블록(40)의 안내부(41) 상단 중앙에 접촉됨과 동시에 그 이동이 제한되며 기밀이 유지되어지게 된다.In the gate valve having the above configuration, the fluid is supplied to the cylinder housing 10 from the fluid supply unit, which is not shown, and the tee block 20 moves upward as shown in FIG. 8. As the operating shaft 30 coupled to be covered by the bellows B on both sides of the upper portion moves upward, the head 60 starts to be drawn out of the valve body 50, and the upper portion of the tee block 20 is moved. The close level bolt 25 coupled to the upper end of the guide 41 of the support block 40 is in contact with the center at the same time the movement is limited and the airtight is maintained.

이 과정은 도3a,3b에 도시된 바와 같이, 아우터축(31)이 상부로 이동함과 동시에 그 내부에 삽입된 인너축(32)이 같이 이동하게 되며, 아우터축(31)의 양측으로 노출된 록킹축(37)이 서포트 블록(40)에 결합된 스페이서(45)에 의하여 그 이동이 제한된다. 즉, 아우터축(31)은 상부로 계속 이동되어지는 반면, 인너축(32)은 록킹축(37)이 스페이서(45)에 그 양측이 걸려진 상태로 있게 됨에 따라 아우터축(31)과는 상대되는 방향으로 이동되어지게 되며, 이러한 이동에 의하여 도6,7의 단면도에 도시된 바와 같이, 헤드고정구(34)에 결합된 헤드고정핀(33)이 헤드(60)를 당김에 따라 밸브 몸체(50)로 부터 헤드(60)가 인출되게 된다.As shown in FIGS. 3A and 3B, the outer shaft 31 moves upward and the inner shaft 32 inserted therein moves together and is exposed to both sides of the outer shaft 31. The movement of the locking shaft 37 is limited by the spacer 45 coupled to the support block 40. That is, the outer shaft 31 continues to move upwards, while the inner shaft 32 is different from the outer shaft 31 as the locking shaft 37 is held at both sides of the spacer 45. As shown in the cross-sectional view of FIGS. 6 and 7, the head fixing pin 33 coupled to the head fixing tool 34 pulls the head 60 as shown in the cross-sectional views of FIGS. 6 and 7. The head 60 is withdrawn from 50.

이때 와셔(35)와 스프링 가이드(38) 사이에 개재된 스프링(39)이 압축되어지고, 역방향으로 이동할 때 이 스프링(39)의 탄성력에 의하여 록킹축(37)이 아우터축(31)에 형성된 가이드홀(31b)의 상부로 용이하게 이동 또는 복원되어질 수 있게 된다.At this time, the spring 39 interposed between the washer 35 and the spring guide 38 is compressed, and the locking shaft 37 is formed on the outer shaft 31 by the elastic force of the spring 39 when moving in the reverse direction. It can be easily moved or restored to the top of the guide hole (31b).

이와 같이 본 발명은 실린더의 작동축에 결합되어진 헤드가 링크 베어링에 의하여 밸브 몸체의 상부에서 전방을 향하여 소정 길이로 돌출되어 기밀이 유지되어지도록 하거나, 인입되어 기밀이 해지될 수 있도록 함으로써, 실린더의 작동축에 결합되어진 헤드가 링크 베어링에 의하여 밸브 몸체의 상부에서 전방을 향하여 소정 길이로 돌출 또는 인입되는 가운데 마찰저항이 줄어들도록 마모로 인한 파손을 방지함과 동시에 기밀유지가 원활하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.As described above, the present invention allows the head coupled to the working shaft of the cylinder to protrude to a predetermined length from the upper portion of the valve body toward the front by the link bearing so that the airtightness can be maintained or the airtightness can be released to release the cylinder. While the head coupled to the working shaft is protruded or drawn in a predetermined length from the upper part of the valve body toward the front by the link bearing, the frictional resistance is reduced so as to reduce the frictional resistance and to maintain the airtightness smoothly. will be.

Claims (7)

삭제delete 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 진공처리장치용 게이트 밸브에 있어서, The operating shaft 30 is coupled to the lower portion of the head 60 through the support block 40 and the valve body 50 on both sides of the upper portion of the T block 20 installed inside the cylinder housing 10, and In the gate valve for a vacuum processing apparatus, the valve body 50 and the head 60 are rotatably coupled by a bearing link 70 to set and maintain a degree of vacuum. 상기 티블록(20)은 실린더 하우징(10)의 내벽면으로 부터 소정 간격으로 이격되어지는 피스톤(21)과, 상기 피스톤(21)의 중앙에 상부로 향하도록 일체로 형성되어지는 로드(22)로 구성되어지되, 상기 피스톤(21)의 가장자리에는 바이톤링(23)과 테프론으로 이루어진 웨어링(24)이 결합되어지고, 로드(22)의 상부 중앙에는 클로즈 레벨 볼트(25)가 결합되어지고, 그 외주연부에는 가이드링(26)이 결합되어짐을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브The tee block 20 is a piston 21 spaced apart from the inner wall surface of the cylinder housing 10 by a predetermined interval, and the rod 22 is formed integrally to face upward in the center of the piston 21 Being composed of, Viton ring 23 and the wear ring 24 made of Teflon is coupled to the edge of the piston 21, Close level bolt 25 is coupled to the upper center of the rod 22, The outer periphery of the gate valve for the vacuum processing apparatus, characterized in that the guide ring 26 is coupled 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 클로즈 레벨 볼트(25)는 로드(22)의 중앙을 관통하도록 형성된 단턱형태의 삽입홈(22a)에 걸림턱(251)을 갖는 볼트축(252)이 결합되어지되, 상기 볼트축(252)의 상단이 로드(22)의 상부로 소정 높이로 돌출되어지도록 결합되어지고, 상 기 볼트축(252)의 하단에 나사부(253)를 형성하여 너트(254)로 결합되어짐을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브.The close-level bolt 25 has a bolt shaft 252 having a locking jaw 251 is coupled to the stepped insertion groove 22a formed to penetrate the center of the rod 22, but the bolt shaft 252 The upper end of the rod 22 is coupled to protrude to a predetermined height to the upper portion, and the screw portion 253 is formed on the lower end of the bolt shaft 252 is vacuum treatment, characterized in that coupled to the nut 254 Gate valve for the device. 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 진공처리장치용 게이트 밸브에 있어서, The operating shaft 30 is coupled to the lower portion of the head 60 through the support block 40 and the valve body 50 on both sides of the upper portion of the T block 20 installed inside the cylinder housing 10, and In the gate valve for a vacuum processing apparatus, the valve body 50 and the head 60 are rotatably coupled by a bearing link 70 to set and maintain a degree of vacuum. 상기 작동축(30)은 삽입홀(31a)이 형성된 아우터축(31)과, 상기 삽입홀(31a)에 끼워지는 인너축(32)으로 구성되어지되, 상기 아우터축(31)은 중간에 관통된 형태를 갖는 가이드홀(31b)이 형성되어지고, 상기 인너축(32)은 계단형태로 상단에 헤드고정핀(33)이 끼워지는 헤드고정구(34)가 형성되어지며 하단에 와셔(35)가 결합되어지고, 그 중간에 축삽입홈(36)을 형성하여 록킹축(37)이 끼워지도록 구성되어지고, 상기 삽입홀(31a)의 하부에 스프링 가이드(38)가 삽입되어지고, 상기 스프링 가이드(38)와 인너축(32)의 하단에 결합된 와셔(35) 사이에 스프링(39)이 개재되어지도록 구성됨을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브.The operating shaft 30 is composed of an outer shaft 31 having an insertion hole 31 a and an inner shaft 32 fitted into the insertion hole 31 a, wherein the outer shaft 31 penetrates in the middle. The guide hole 31b having a predetermined shape is formed, and the inner shaft 32 has a head fixing tool 34 into which the head fixing pin 33 is fitted at the top in the form of a staircase, and a washer 35 at the bottom thereof. Are coupled to each other, the shaft insertion groove 36 is formed in the middle thereof so that the locking shaft 37 is fitted, and the spring guide 38 is inserted into the lower portion of the insertion hole 31a. And a spring (39) interposed between the guide (38) and the washer (35) coupled to the lower end of the inner shaft (32). 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 진공처리장치용 게이트 밸브에 있어서, The operating shaft 30 is coupled to the lower portion of the head 60 through the support block 40 and the valve body 50 on both sides of the upper portion of the T block 20 installed inside the cylinder housing 10, and In the gate valve for a vacuum processing apparatus, the valve body 50 and the head 60 are rotatably coupled by a bearing link 70 to set and maintain a degree of vacuum. 상기 헤드(60)는 전면의 테두리에 근접한 곳에 소정 깊이를 갖는 삽입 가이드(61)를 형성하여 헤드 오링(62)이 결합되어지도록 구성하고, 그 후면에 결합되어지는 헤드 커버(63)에는 다수개의 커버 베어링(64)이 결합되어지고, 상기 헤드 커버(63)의 하부에 인너축(32)의 헤드고정구(34)에 결합된 헤드 고정핀(33)이 결합되어지도록 구성됨을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브.The head 60 is formed so that the head O-ring 62 is coupled by forming an insertion guide 61 having a predetermined depth in the vicinity of the front edge, a plurality of head cover 63 is coupled to the rear The cover bearing 64 is coupled, and the head fixing pin 33 coupled to the head fastener 34 of the inner shaft 32 is coupled to the lower portion of the head cover 63, the vacuum treatment, characterized in that Gate valve for the device. 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 진공처리장치용 게이트 밸브에 있어서, The operating shaft 30 is coupled to the lower portion of the head 60 through the support block 40 and the valve body 50 on both sides of the upper portion of the T block 20 installed inside the cylinder housing 10, and In the gate valve for a vacuum processing apparatus, the valve body 50 and the head 60 are rotatably coupled by a bearing link 70 to set and maintain a degree of vacuum. 상기 서포트 블록(40)은 중앙에 중공형태의 안내부(41)가 하부로 돌출되게 형성되어진 블록 몸체(42)의 양측으로 관통홀(43)이 대칭되게 형성되어지되, 상기 관통홀(43)의 하부를 계단형태로 형성하여 상부로부터 하부로 각각 부싱(44)과 스페이서(45)가 결합되어짐을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브.The support block 40 has a through-hole 43 symmetrically formed at both sides of the block body 42 in which the hollow guide portion 41 is formed to protrude downward, and the through-hole 43 The bottom portion of the vacuum processing apparatus gate valve characterized in that the bushing (44) and the spacer (45) is coupled to each other from the top to the bottom. 실린더 하우징(10)의 내부에 설치된 티블록(20)의 상부 양측으로 작동축(30)이 서포트 블록(40)과 밸브 몸체(50)를 관통하여 헤드(60)의 하부에 결합되어지고, 상기 밸브 몸체(50)와 헤드(60)가 베어링 링크(70)에 의하여 회동 가능하게 결합되어 진공도를 설정 및 유지하도록 구성된 진공처리장치용 게이트 밸브에 있어서, The operating shaft 30 is coupled to the lower portion of the head 60 through the support block 40 and the valve body 50 on both sides of the upper portion of the T block 20 installed inside the cylinder housing 10, and In the gate valve for a vacuum processing apparatus, the valve body 50 and the head 60 are rotatably coupled by a bearing link 70 to set and maintain a degree of vacuum. 상기 베어링 링크(70)는 소정의 길이와 폭을 갖는 링크 몸체(71)의 양측단이 만곡형태를 갖도록 형성되어지고, 상기 링크 몸체(71)의 양측단에 베어링 삽입홈(72)을 형성하여 링크 몸체(71)의 폭 보다 더 길은 길이를 갖는 봉형태의 베어링(73)이 결합되어지되, 일측은 밸브 몸체(50)에 타측은 헤드(60)에 결합되어짐을 특징으로 하는 진공처리장치용 게이트 밸브.The bearing link 70 is formed such that both ends of the link body 71 having a predetermined length and width have a curved shape, and forming bearing insertion grooves 72 at both ends of the link body 71. Rod-shaped bearing (73) having a length longer than the width of the link body 71 is coupled, one side is coupled to the valve body 50, the other side is coupled to the head 60 for the vacuum processing apparatus Gate valve.
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