KR100760931B1 - Method for fabricating liquid crystal display panel - Google Patents

Method for fabricating liquid crystal display panel Download PDF

Info

Publication number
KR100760931B1
KR100760931B1 KR1020000084111A KR20000084111A KR100760931B1 KR 100760931 B1 KR100760931 B1 KR 100760931B1 KR 1020000084111 A KR1020000084111 A KR 1020000084111A KR 20000084111 A KR20000084111 A KR 20000084111A KR 100760931 B1 KR100760931 B1 KR 100760931B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
alignment layer
liquid crystal
alignment film
alignment
Prior art date
Application number
KR1020000084111A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20020054871A (en
Inventor
윤헌도
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020000084111A priority Critical patent/KR100760931B1/en
Publication of KR20020054871A publication Critical patent/KR20020054871A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100760931B1 publication Critical patent/KR100760931B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/133711Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by organic films, e.g. polymeric films
    • G02F1/133723Polyimide, polyamide-imide
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/67034Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 기판에 형성된 배향막에 불량이 발생할 때 화학물질을 이용하여 불량 배향막을 제거한 후, 새로운 배향막을 재형성함으로써 생산 효율을 증대시키는 액정패널의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 제 1 기판 또는 제 2 기판 상에 배향막을 형성하는 공정과, 상기 배향막에 불량 발생시 가온된 화학물질을 이용하여 상기 배향막을 제거하는 공정과, 상기 배향막이 제거된 기판을 세정하고 건조하는 공정과, 상기 기판에 새로운 배향막을 형성하는 공정을 포함하며,상기 화학물질로서 스트립퍼, 배향막 박리액 또는 현상액 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal panel that increases production efficiency by removing a defective alignment layer using chemicals and then reforming a new alignment layer when a defect occurs in the alignment layer formed on the substrate. Forming an alignment layer on a substrate, removing the alignment layer using a chemical substance heated when a defect occurs in the alignment layer, washing and drying the substrate from which the alignment layer has been removed, and forming a new alignment layer on the substrate. It comprises a step of forming, characterized in that any one of a stripper, an alignment film peeling solution or a developing solution as the chemical.

배향막, 박리액, 스트립퍼Alignment film, peeling liquid, stripper

Description

액정패널의 제조방법{METHOD FOR FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}Manufacturing method of liquid crystal panel {METHOD FOR FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

도 1은 액정패널의 제조방법을 설명하기 위한 일반적인 액정패널의 평면도.1 is a plan view of a general liquid crystal panel for explaining a method of manufacturing a liquid crystal panel.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 배향막 제거공정을 설명하기 위한 장치도. 2 is an apparatus diagram for explaining an alignment film removing process according to the first embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 배향막 제거공정을 설명하기 위한 장치도.3 is an apparatus diagram for explaining an alignment film removing process according to a second embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 게이트 배선 1a : 게이트 전극1: gate wiring 1a: gate electrode

2 : 데이터 배선 2a : 소스 전극2: data wiring 2a: source electrode

2b : 드레인 전극 3 : 반도체층 2b: drain electrode 3: semiconductor layer

5 : 화소전극 11 : 기판 5 pixel electrode 11 substrate

12 : 구동롤러 12: driving roller

13,14,15 : 제 1 ,제 2 ,제 3 분사수단13,14,15: first, second, third injection means

16 : 에어 나이프16: air knife

본 발명은 액정표시소자(LCD ; Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로, 특히 배향막에 불량이 발생할 때 화학물질을 이용하여 상기 배향막을 제거한 후, 새로운 배향막을 재형성함으로써 생산 효율을 증대시키는 액정패널의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device (LCD). Particularly, when a defect occurs in an alignment layer, a liquid crystal panel that increases production efficiency by removing the alignment layer using a chemical substance and then reforming a new alignment layer is formed. It relates to a manufacturing method.

최근, 계속해서 주목받고 있는 평판표시소자 중 하나인 액정표시소자는 액체의 유동성과 결정의 광학적 성질을 겸비하는 액정에 전계를 가하여 광학적 이방성을 변화시키는 소자로서, 종래 음극선관(Cathod Ray Tube)에 비해 소비전력이 낮고 부피가 작으며 대형화 및 고정세가 가능하여 널리 사용되고 있다.Recently, a liquid crystal display device, which is one of the flat panel display devices, has been continuously attracting attention. Compared with the low power consumption, small volume, large size, and high definition, it is widely used.

이러한 액정패널은 두 개의 기판을 일정 간격 이격되도록 대향 합착한 후, 상기 두 기판 사이에 액정을 주입하여 형성하는데, 그 기능은 액정분자의 배열 특성에 따라 결정되므로 액정분자의 배향을 균일하게 제어하는 기술은 매우 중요하다.The liquid crystal panel is formed by injecting liquid crystals between the two substrates after the two substrates are opposed to each other to be spaced apart from each other by a predetermined interval, and the function is determined according to the arrangement characteristics of the liquid crystal molecules, thereby uniformly controlling the alignment of the liquid crystal molecules. Technology is very important.

액정패널의 제조방법을 좀 더 자세히 살펴보면, 먼저 제 1 기판 상에 게이트 배선 및 데이터 배선을 교차 형성하여 화소 영역을 정의하고, 상기 각 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 형성한다.Looking at the manufacturing method of the liquid crystal panel in more detail, first, a pixel region is defined by crossing gate lines and data lines on a first substrate, and a thin film transistor and a pixel electrode are formed in each pixel region.

이 때, 상기 박막트래지스터는 게이트 전극, 반도체층, 소스/드레인 전극을 적층하여 형성한다.In this case, the thin film transistor is formed by stacking a gate electrode, a semiconductor layer, and a source / drain electrode.

다음, 제 2 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스 사이에 컬러필터층을 형성한 뒤, 상기 컬러필터층을 포함한 전면에 공통전극을 형성한 다.Next, a black matrix is formed on the second substrate, a color filter layer is formed between the black matrices, and a common electrode is formed on the entire surface including the color filter layer.

이와 같이, 액정패널을 구성하는 패턴들을 형성한 후, 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판 상에 액정 분자를 배향시킬 수 있는 배향막을 형성한다.As such, after forming the patterns constituting the liquid crystal panel, an alignment layer capable of orienting liquid crystal molecules is formed on the first substrate or the second substrate.

이 때, 배향막으로는 주로 폴리이미드(polyimide)와 같은 유기고분자 물질을 이용한다.At this time, an organic polymer material such as polyimide is mainly used as the alignment layer.

계속하여, 상기 배향막을 형성한 후에 그 표면을 특수 형태의 천으로 러빙하여 배향막 처리를 한다.Subsequently, after the alignment film is formed, the surface is rubbed with a special type of cloth to perform an alignment film treatment.

하지만, 배향막을 잘못 도포하여 오염되거나 홀(hole)이 생기면 액정분자를 균일하게 배향할 수 없게 되고 이로 인해 소자에 불량이 발생하므로 유의해야 한다.However, if the alignment layer is improperly coated or contaminated, or holes are formed, the liquid crystal molecules cannot be aligned uniformly, and thus a defect occurs in the device.

이어서, 상기 제 2 기판의 가장자리에 접착제 역할을 하는 실란트를 형성하고, 상기 제 1 기판에 스페이서를 골고루 산포한 뒤, 상기 제 1 ,제 2 기판을 대향하도록 합착시킨다. Subsequently, a sealant acting as an adhesive agent is formed on the edge of the second substrate, the spacer is evenly distributed on the first substrate, and the first and second substrates are bonded to face each other.

이 후, 상기에서와 같이 합착된 두 기판 사이에 액정을 주입하고 액정주입구를 봉함으로써 소정의 액정패널을 완성한다.Thereafter, the liquid crystal is injected between the two bonded substrates as described above, and the predetermined liquid crystal panel is completed by sealing the liquid crystal inlet.

그러나, 상기와 같은 종래의 액정패널의 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional manufacturing method of the liquid crystal panel as described above has the following problems.

즉, 기판 상에 배향막을 도포하거나 또는 배향막 처리할 때, 이물질에 의해 배향막이 오염되거나 배향막에 홀이 생기게 되면 액정분자를 균일하게 배향시킬 수 없을 뿐만 아니라 소자에 큰 불량을 초래하게 된다. That is, when the alignment film is applied or treated on the substrate, when the alignment film is contaminated by foreign matters or holes are formed in the alignment film, not only the liquid crystal molecules may be uniformly aligned, but also a large defect may be caused in the device.

그리고, 배향막 상태가 매우 좋지 못한 기판은 사용되지 못하고 폐기처분되므로 생산 마진이 감소하게 된다. In addition, since the substrate having a very poor alignment film state is not used and disposed of, the production margin is reduced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 배향막에 의한 불량을 조기 발견했을 때, 화학물질을 이용하여 불량 배향막을 제거하고 새로운 배향막을 재형성함으로써 생산 효율을 증대시키는 액정패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the manufacturing of the liquid crystal panel to increase the production efficiency by removing the defective alignment film using a chemical substance and re-form a new alignment film when the defect is detected early by the alignment film The purpose is to provide a method.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정패널의 제조방법은 제 1 기판 또는 제 2 기판 상에 배향막을 형성하는 공정과, 상기 배향막에 불량 발생시 가온된 화학물질을 이용하여 상기 배향막을 제거하는 공정과, 상기 배향막이 제거된 기판을 세정하고 건조하는 공정과, 상기 기판에 새로운 배향막을 형성하는 공정을 포함하며, 상기 화학물질로서 스트립퍼, 배향막 박리액 또는 현상액 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.여 이루어지는 것을 특징으로 한다.Method of manufacturing a liquid crystal panel of the present invention for achieving the above object is a step of forming an alignment film on the first substrate or the second substrate, and removing the alignment film by using a heated chemical material when the defect occurs in the alignment film And a step of cleaning and drying the substrate from which the alignment layer has been removed, and forming a new alignment layer on the substrate, wherein any one of a stripper, an alignment layer peeling solution, and a developing solution is used as the chemical. A method for producing a liquid crystal panel.

즉, 배향 상태가 좋지 못한 기판의 배향막을 화학물질을 이용하여 제거하고, 새로운 배향막을 다시 도포함으로써 생산 효율을 증대시키는 것을 특징으로 한다.That is, it is characterized in that the production efficiency is increased by removing the alignment film of the substrate having a poor alignment state by using a chemical material and applying a new alignment film again.

이 때, 상기 화학물질은 배향막 하부의 패턴을 손상시키지 않고 배향막을 제거할 수 있는 스트립퍼(stripper), 현상액, 배향막 박리액 등으로 한다. In this case, the chemical substance is a stripper, a developer, an alignment layer peeling solution, or the like that can remove the alignment layer without damaging the pattern under the alignment layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정패널의 제조방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a manufacturing method of a liquid crystal panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 액정패널의 제조방법을 설명하기 위한 일반적인 액정패널의 평면도이다.1 is a plan view of a general liquid crystal panel for explaining a method of manufacturing a liquid crystal panel.

그리고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 배향막 제거공정을 설명하기 위한 장치도이고, 도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 배향막 제거공정을 설명하기 위한 장치도이다.2 is an apparatus diagram for explaining the alignment film removing process according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an apparatus diagram for explaining the alignment film removing process according to the second embodiment of the present invention.

도 1을 참고로 하여 액정패널의 제조방법을 살펴보면, 먼저 제 1 기판 상에 복수개의 게이트 배선(1) 및 데이터 배선(2)을 교차 형성하여 화소 영역을 정의하고, 상기 각 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극(5)을 형성한다.Referring to FIG. 1, a method of manufacturing a liquid crystal panel is described. First, a plurality of gate lines 1 and data lines 2 are formed on the first substrate to define a pixel area, and a thin film transistor is formed on each pixel area. And the pixel electrode 5 is formed.

이 때, 상기 박막트랜지스터는 상기 게이트 배선(1)과 동시에 형성된 게이트 전극(1a)과, 절연물질로 형성된 게이트 절연막(도시하지 않음)과, 비정질 실리콘으로 형성되어 액티브층으로서 역할을 하는 반도체층(3)과, 상기 데이터 배선(2)과 동시에 형성된 소스/드레인 전극(2a/2b)을 적층함으로써 구비한다.In this case, the thin film transistor may include a gate electrode 1a formed simultaneously with the gate wiring 1, a gate insulating film (not shown) formed of an insulating material, and a semiconductor layer formed of amorphous silicon to serve as an active layer ( 3) and source / drain electrodes 2a / 2b formed at the same time as the data line 2, respectively.

다음, 제 2 기판 상의 소정 부위에 빛샘을 막기 위해 블랙 매트릭스를 형성하고, 상기 블랙 매트릭스 사이에 색상을 표현하기 위해 RGB의 컬러필터층을 형성하고, 상기 컬러필터층을 포함한 전면에 공통전극을 형성한다.Next, a black matrix is formed on a predetermined portion of the second substrate to prevent light leakage, a color filter layer of RGB is formed to express colors between the black matrices, and a common electrode is formed on the entire surface including the color filter layer.

그리고, 상기에서와 같은 구성요소들이 형성된 제 1 기판 또는 제 2 기판 전면에 배향막을 도포한 후, 선택적으로 러빙 처리(배향처리)한다.Then, after the alignment film is applied to the entire surface of the first substrate or the second substrate on which the above-described components are formed, a rubbing treatment (orientation treatment) is selectively performed.

이 때, 상기 배향막으로는 통상 폴리이미드(polyimide)를 사용한다.In this case, polyimide is usually used as the alignment layer.

다음, 배향막 처리된 제 1 ,제 2 기판을 대향 합착시키고 그 사이에 액정을 주입하고 봉지함으로써 액정패널을 완성한다.Next, the liquid crystal panel is completed by opposing the first and second substrates treated with the alignment film and injecting and encapsulating the liquid crystal therebetween.

하지만, 배향막을 도포하거나 또는 배향막을 러빙 처리할 때, 배향막에 불량 이 발생하거나 이물질에 의한 오염이 발생하면 상기 배향막을 제거한다. However, when applying the alignment film or rubbing the alignment film, if the defect occurs in the alignment film or contamination by foreign matter, the alignment film is removed.

이하에서 상기 배향막 제거 공정에 대해서 실시예를 나누어 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the alignment film removal process will be described below with reference to Examples.

제 1 실시예First embodiment

배향막 제거공정을 위한 장치는 도 2에 도시된 바와 같이 로딩부, 스트립퍼부, IPA부, 세정부, 건조부, 언로딩부로 구성되는데, 먼저 제거해야 할 배향막이 형성된 기판(11)을 상기 로딩부에 로딩시킨다. The apparatus for removing the alignment layer is composed of a loading part, a stripper part, an IPA part, a cleaning part, a drying part, and an unloading part, as shown in FIG. 2. Load in.

이와 같이 로딩된 기판(11)은 구동롤러(12)를 이용하여 스트립퍼부로 반송하고, 상기 스트립퍼부 상부에 설치된 제 1 분사수단(13)을 통해 스트립퍼를 분사하여 배향막을 제거한다.The substrate 11 loaded as described above is conveyed to the stripper unit using the driving roller 12, and the stripper is sprayed through the first spraying means 13 provided on the stripper unit to remove the alignment layer.

이 때, 상기 스트립퍼는 통상 포토 레지스트를 제거하는 화학물질로서, 오염되었던 이물 및 변성물까지도 동시에 제거되는 이중 효과가 있다.At this time, the stripper is a chemical that normally removes the photoresist, and has a dual effect of removing contaminants and denaturation at the same time.

상기와 같이 분사수단을 이용한 방식을 노즐분사 방식이라 하는데, 이외에 딥 방식이 있다,The method using the injection means as described above is called a nozzle injection method, in addition to the dip method,

상기 딥 방식은 로봇 암(robot arm)을 이용하여 스트립퍼가 채워진 챔버에 기판을 담궈 배향막을 제거하는 방식이다.The dip method is a method of removing an alignment layer by dipping a substrate in a chamber filled with a stripper using a robot arm.

이상의 스트립퍼부에서의 배향막 제거 공정에서는 70℃의 스트립퍼(stripper)를 이용하며, 약 10초 내지 30분간 분사하여 배향막과 스트립퍼가 반응하도록 한다.In the above-described stripper stripping process, a stripper of 70 ° C. is used and sprayed for about 10 seconds to 30 minutes to allow the alignment layer to react with the stripper.

다음, 스트립퍼로써 배향막을 제거한 기판은 IPA부로 반송되어 기판 상에 잔 류하는 배향막과 스트립퍼를 제거한다. Next, the substrate from which the alignment film is removed by the stripper is conveyed to the IPA portion to remove the alignment film and the stripper remaining on the substrate.

상기 IPA부도 딥 방식과 노즐 분사 방식을 이용할 수 있으며, 이 중 도 2에서와 같이 노즐 분사 방식을 이용한 것을 살펴보면, 제 2 분사수단(14)을 통하여 IPA(isopropyl alcohol)를 분사함으로써 잔류하는 유기성 물질 즉, 배향막과 스트립퍼 용액을 제거한다. The IPA part may also use a dip method and a nozzle injection method. Among them, as shown in FIG. 2, the organic material remaining by spraying IPA (isopropyl alcohol) through the second injection means 14 will be described. That is, the alignment film and the stripper solution are removed.

계속하여, 상기 기판은 구동롤러에 의해 세정부로 반송되며 제 3 분사수단(15)에서 분사되는 순수에 의해 잔류하는 IPA가 완전히 제거된다.Subsequently, the substrate is conveyed to the cleaning unit by the driving roller, and the remaining IPA is completely removed by the pure water injected by the third jetting means 15.

이어서, 세정된 기판을 건조부로 반송시켜 건조시킨다.Next, the washed substrate is transferred to a drying unit and dried.

건조는 도 2에서와 같이 에어 나이프(air knife)(16)를 이용한 방식을 적용하거나 또는 스핀 드라이 방식을 적용할 수 있다.Drying may apply a method using an air knife (16) or spin-drying method as shown in FIG.

이 중 에어 나이프 방식은 순수로 세정된 기판 표면에 압축공기를 분사하여 수분을 제거/건조시키는 방식이고, 스핀 드라이 방식은 스핀 드라이 장치를 고속으로 회전시켜서 원심력에 의하여 수분을 신속하게 제거시키는 방식이다.Among them, the air knife method is a method of removing / drying water by spraying compressed air onto a purely cleaned substrate surface, and the spin-drying method is a method of rapidly removing water by centrifugal force by rotating the spin drying device at a high speed. .

마지막으로, 건조까지 마친 기판을 언로딩부로 반송하면 불량 배향막이 완전히 제거된 기판을 얻게 된다.Finally, when the substrate which has been dried up is conveyed to the unloading part, a substrate in which the defective alignment film is completely removed is obtained.

불량 배향막이 완전히 제거된 기판은 다시 배향막 인쇄 장치로 이송된 후, 새로운 배향막이 재도포된다.After the bad alignment film is completely removed, the substrate is transferred back to the alignment film printing apparatus, and then a new alignment film is recoated.

이와 같이 배향막이 도포된 제 1 기판 또는 제 2 기판은 선택적으로 배향 처리된 후, 액정층을 사이에 두고 대향 합착됨으로써 액정패널이 완성된다.The first substrate or the second substrate coated with the alignment film in this manner is selectively aligned, and then the liquid crystal panel is completed by opposingly bonding the liquid crystal layer therebetween.

제 2 실시예Second embodiment

도 3을 참고로 하여 본 발명의 제 2 실시예에 의한 배향막 제거를 위한 장비를 살펴보면, 로딩부, 배향막 박리액부, 세정부, 건조부, 언로딩부로 구성되는데, 먼저 배향막이 형성된 기판(21)을 장치에 로딩시킨다. Referring to the apparatus for removing the alignment layer according to the second embodiment of the present invention with reference to Figure 3, it consists of a loading portion, alignment layer peeling liquid portion, cleaning portion, drying portion, unloading portion, the substrate 21, the alignment layer is formed first Is loaded into the device.

다음, 로딩된 기판(21)을 구동롤러(22)를 이용하여 배향막 박리액부로 반송하고, 배향막 박리액부 상부에 설치된 제 1 분사수단(23)을 통해 배향막 박리액을 분사하여 상기 배향막과 배향막 박리액 사이에 화학반응을 일으켜 배향막을 기판으로부터 떼어낸다.Next, the loaded substrate 21 is conveyed to the alignment film stripping liquid unit using the driving roller 22, and the alignment film stripping liquid is sprayed through the first spraying means 23 provided on the alignment film stripping liquid unit to peel the alignment film and the alignment film. A chemical reaction occurs between the liquids and the alignment film is separated from the substrate.

일예로, 상기 배향막 박리액 중 폴리이미드 박리액은 알칼리 빌더(Builder)인 사메틸 암모늄수산화물, 수용성 용제인 디메틸 황산화물, 금속이온 봉지제인 에틸렌디아민테트라아세트산, 계면활성제, 물로 구성된 화학물질이다. For example, the polyimide stripping solution in the alignment layer stripping solution is a chemical composition consisting of tetramethyl ammonium hydroxide as an alkali builder, dimethyl sulfur oxide as a water-soluble solvent, and ethylenediaminetetraacetic acid as a metal ion encapsulant, a surfactant, and water.

그리고, 배향막 박리는 상기의 노즐 분사 방식 외에 딥 방식으로도 가능하다.In addition to the nozzle spraying method described above, the alignment film can be peeled off using a dip method.

상기와 같은 방식을 이용한 배향막 제거 공정에서는 상온 이상의 온도 내지 230℃ 내의 가온 배향막 박리액을 이용하며, 약 10초 내지 30분간 분사한다.In the alignment film removal process using the above-described method, a heated alignment film peeling liquid within a temperature of 230 ° C. or higher at room temperature is used and sprayed for about 10 seconds to 30 minutes.

배향막 박리액으로써 배향막을 제거한 기판은 곧바로 세정부로 반송되며 제 2 분사수단(25)에서 분사되는 순수에 의해 제거되지 않고 남아있던 배향막과 배향막 박리액을 완전히 씻어낸다.The substrate from which the alignment film has been removed as the alignment film peeling liquid is immediately returned to the cleaning unit and completely washes off the alignment film and the alignment film peeling liquid remaining without being removed by the pure water injected by the second jetting means 25.

상기 배향막 박리액부에서도 노즐 분사 방식 외에 딥방식을 채용할 수 있다.In addition to the nozzle spraying method, a dip method may be employed in the alignment film peeling liquid part.

세정 공정이 끝난 기판은 건조부로 반송되어 건조된다.The board | substrate with which the washing process was completed is conveyed to a drying part, and is dried.

도 3은 에어 나이프(air knife)(26)를 이용하여 세정된 기판 표면에 압축공 기 또는 이온 바람를 분사하여 수분을 제거/건조시키는 것을 나타낸 것이다.FIG. 3 shows the removal or drying of moisture by spraying compressed air or ionic wind onto the cleaned substrate surface using an air knife 26.

즉, 세정된 기판(21)이 구동롤러(22)에 의해 반송되면서 에어 나이프(26)에서 분사되는 압축공기 또는 이온바람에 의해 기판 표면의 수분이 외곽으로 날아가 건조되는 것이다. That is, while the cleaned substrate 21 is conveyed by the drive roller 22, moisture on the surface of the substrate is blown out and dried by compressed air or ion wind injected from the air knife 26.

이 외에도 기판을 회전시키면서 수분을 제거/건조하는 스핀 드라이 방식이 있다.In addition, there is a spin-drying method of removing / drying moisture while rotating a substrate.

마지막으로, 건조까지 마친 기판을 언로딩부로 반송하면 불량 배향막이 완전히 제거된 기판을 얻게 된다.Finally, when the substrate which has been dried up is conveyed to the unloading part, a substrate in which the defective alignment film is completely removed is obtained.

이와 같이 불량 배향막이 제거된 기판은 다시 배향막 인쇄장치에 이송되어 다시 새로운 배향막이 도포된다.Thus, the board | substrate from which the bad alignment film was removed is again conveyed to the alignment film printing apparatus, and a new alignment film is apply | coated again.

배향막이 도포된 제 1 기판 또는 제 2 기판은 선택적으로 배향 처리된 후, 액정층을 사이에 두고 대향합착됨으로써 액정패널이 완성된다.After the alignment of the first substrate or the second substrate to which the alignment film is applied is selectively performed, the liquid crystal panel is completed by opposing and bonding the liquid crystal layer therebetween.

상기와 같은 본 발명의 액정패널의 제조방법은 다음과 같은 효과가 있다.The manufacturing method of the liquid crystal panel of the present invention as described above has the following effects.

첫째, 상태가 좋지 못한 배향막을 제거하고 새로운 배향막을 형성함으로써 기판의 재사용이 가능하게 되었고 이로써, 생산 효율이 증대된다. First, the substrate can be reused by removing the alignment film in a bad state and forming a new alignment film, thereby increasing production efficiency.

둘째, 기판에 형성된 배향막의 불량을 제거할 수 있게 됨으로써 소자의 신뢰성이 향상된다.Second, the defect of the alignment film formed on the substrate can be removed, thereby improving the reliability of the device.

셋째, 배향막의 불량, 오염을 제거함으로써 액정분자의 불균일한 배향을 방지하게 된다.Third, uneven alignment of liquid crystal molecules is prevented by removing defects and contamination of the alignment film.

Claims (7)

제 1 기판 또는 제 2 기판 상에 배향막을 형성하는 공정;Forming an alignment film on the first substrate or the second substrate; 상기 배향막에 불량 발생시 가온된 화학물질을 이용하여 상기 배향막을 제거하는 공정;Removing the alignment layer by using a heated chemical when the defect occurs in the alignment layer; 상기 배향막이 제거된 기판을 세정하고 건조하는 공정;Cleaning and drying the substrate from which the alignment layer is removed; 상기 기판에 새로운 배향막을 형성하는 공정을 포함하며,Forming a new alignment layer on the substrate; 상기 화학물질로서 스트립퍼, 배향막 박리액 또는 현상액 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.Method for producing a liquid crystal panel, characterized in that any one of a stripper, an alignment film peeling solution or a developing solution as the chemical. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 화학물질로 스트립퍼 사용시, 스트립퍼를 이용하여 배향막을 제거한 후, IPA(isopropyl alcohol)를 이용하여 기판에 잔류하는 배향막과 화학물질를 제거하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.The liquid crystal of claim 1, further comprising removing the alignment layer and the chemicals remaining on the substrate by using IPA (isopropyl alcohol) after removing the alignment layer using the stripper when using the stripper as the chemical. Method of manufacturing the panel. 제 1 항에 있어서, 화학물질을 이용하여 상기 배향막을 제거하는 공정은 10초 내지 30분 동안 행하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.The method of claim 1, wherein the removing of the alignment layer using a chemical is performed for 10 seconds to 30 minutes. 제 1 항에 있어서, 상기 화학물질로 스트립퍼를 사용하는 경우, 70℃로 가온된 스트립퍼를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법. The method of claim 1, wherein when the stripper is used as the chemical, a stripper heated to 70 ° C. is used. 제 1 항에 있어서, 상기 화학물질로 배향막 박리액을 사용하는 경우, 상온 내지 230℃ 범위내로 가온된 배향막 박리액을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법. The method of manufacturing a liquid crystal panel according to claim 1, wherein when the alignment film stripping solution is used as the chemical substance, the alignment film stripping solution heated in a range from room temperature to 230 ° C is used. 제 1 항에 있어서, 상기 배향막이 폴리이미드로 형성된 경우, 상기 배향막 박리액은 알칼리 빌더인 사메틸 암모늄 수산화물, 수용성 용제인 디메틸 황산화물, 금속이온 봉지제인 에틸렌디아민테트라아세트산, 계면활성제, 물로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 제조 방법. The method of claim 1, wherein when the alignment layer is formed of polyimide, the alignment layer peeling solution is composed of tetramethyl ammonium hydroxide as an alkali builder, dimethyl sulfur oxide as a water-soluble solvent, and ethylenediaminetetraacetic acid as a metal ion encapsulant, a surfactant, and water. The manufacturing method of the liquid crystal panel characterized by the above-mentioned.
KR1020000084111A 2000-12-28 2000-12-28 Method for fabricating liquid crystal display panel KR100760931B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000084111A KR100760931B1 (en) 2000-12-28 2000-12-28 Method for fabricating liquid crystal display panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020000084111A KR100760931B1 (en) 2000-12-28 2000-12-28 Method for fabricating liquid crystal display panel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020054871A KR20020054871A (en) 2002-07-08
KR100760931B1 true KR100760931B1 (en) 2007-09-21

Family

ID=27687599

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020000084111A KR100760931B1 (en) 2000-12-28 2000-12-28 Method for fabricating liquid crystal display panel

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100760931B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101010486B1 (en) * 2003-12-30 2011-01-21 엘지디스플레이 주식회사 An alignment strip device and the stripping method

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04221925A (en) * 1990-12-25 1992-08-12 Fujitsu Ltd Method and apparatus for producing substrate for liquid crystal display panel
JPH06202111A (en) * 1992-10-22 1994-07-22 Nissan Chem Ind Ltd Method for removing liquid crystal oriented film
KR19990066073A (en) * 1998-01-21 1999-08-16 윤종용 Method of forming alignment film of liquid crystal display device
KR20000038295A (en) * 1998-12-05 2000-07-05 윤종용 Method for testing back membrane of liquid display panel

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04221925A (en) * 1990-12-25 1992-08-12 Fujitsu Ltd Method and apparatus for producing substrate for liquid crystal display panel
JPH06202111A (en) * 1992-10-22 1994-07-22 Nissan Chem Ind Ltd Method for removing liquid crystal oriented film
KR19990066073A (en) * 1998-01-21 1999-08-16 윤종용 Method of forming alignment film of liquid crystal display device
KR20000038295A (en) * 1998-12-05 2000-07-05 윤종용 Method for testing back membrane of liquid display panel

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020054871A (en) 2002-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20090041883A1 (en) Apparatus for fabricating flat panel display
KR20030038912A (en) Seal Pattern for Ultra-Thin type Liquid Crystal Display Device
US7740709B2 (en) Apparatus for stripping photoresist and method thereof
KR100760931B1 (en) Method for fabricating liquid crystal display panel
KR101010476B1 (en) Method and Apparatus for Fabricating Flat Panel Display
JPH11101970A (en) Method for cleaning substrate
JP2007047353A (en) Manufacturing method for electro-optical device, and washing device for electro-optical panel
KR20020096997A (en) Method of fabricating liquid crystal display device
KR101010486B1 (en) An alignment strip device and the stripping method
JP2978806B2 (en) Substrate processing method
KR20070060713A (en) Apparatus and method for cleaning a substrate
JP4200740B2 (en) Substrate cleaning apparatus and cleaning method in liquid crystal display device
JP3272801B2 (en) Manufacturing method of substrate for liquid crystal panel
JPS5931043B2 (en) How to remove organic alignment agent
KR20010111430A (en) Unification Type Cleaning and Etch/ Strip Apparatus
KR100840678B1 (en) Apparatus for removing of photoresist and method for removing photoresist the using
KR100987674B1 (en) Apparatus And Method For Cleaning Nozzle
KR101134164B1 (en) Apparatus for Fabricating Flat Panel Display Device and Method for Fabricating the same
KR20060092554A (en) Wet cleaning equipment for liquid crystal display
JP2004235422A (en) Substrate peeling/cleaning method and manufacturing method of substrate for electro-optical apparatus
KR20060000009A (en) Cleaning equipment
KR20030071316A (en) A Method for Removing Extraneous Matters When A Glass Of Liquid Crystal Display Device Is Loading
KR20070047440A (en) System and method for manufacturing a flat panel display
JP2000214425A (en) Production of liquid crystal display device
KR20030021396A (en) Ion blower for liquid crystal display device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130619

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150818

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160816

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee