KR100760032B1

KR100760032B1 - Apparatus for film adhesion

Info

Publication number: KR100760032B1
Application number: KR1020060102935A
Authority: KR
Inventors: 겐타로 오타니; 아키라 마츠모토; 다카오 가와노
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2006-10-23
Publication date: 2007-10-04
Also published as: KR20070044370A; JP2007112073A; CN1954997A; TWI311949B; TW200736053A

Abstract

본 발명은 원하는 길이의 필름을 기판에 부착하는 필름 부착장치에 관한 것이다. The present invention relates to a film attachment device for attaching a film of a desired length to a substrate.

본 발명에서는 필름 롤(3a, 3b)에서 풀어 낸 띠형상의 필름(12a, 12b)을 기판(1)과 함께 1쌍의 압착 롤러(17a, 17b) 사이를 양 압착 롤러로 가압하면서 이동시킴으로써 기판 위에 필름을 부착하고, 그 부착 중에 필름을 기판의 길이에 맞추어서 커터로 원하는 길이로 절단하여 원하는 길이의 필름을 기판에 부착한다. 기판에 부착하는 필름을 기판을 향하여 반송하는 쪽의 압착 롤러(17a)는 압착 롤러보다 작은 지름의 백업 롤러(18a)를 구비하고, 기판을 향하여 반송되는 필름과 백업 롤러의 사이에 필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 유지하여 기판의 길이에 맞추어서 원하는 길이로 절단하는 커터수단(22)을 설치하였다. In the present invention, the strip-shaped films 12a and 12b released from the film rolls 3a and 3b are moved together with the substrate 1 while pressing the pair of compression rollers 17a and 17b with both compression rollers. The film is attached on top, and during the attachment, the film is cut to the desired length with a cutter to match the length of the substrate and the film of the desired length is attached to the substrate. The press roller 17a of the side which conveys the film adhering to a board | substrate toward a board | substrate is provided with the backup roller 18a of diameter smaller than a press roller, and is unwound from a film roll between the film conveyed toward a board | substrate and a backup roller. The cutter means 22 which hold | maintains the strip | belt-shaped film which cut out, and cut | disconnects to desired length according to the length of a board | substrate was provided.

본 발명에 의하면 광폭의 기판이나 필름이어도 필름과 기판을 매엽식으로 부착할 수 있다. According to this invention, even if it is a wide board | substrate or a film, a film and a board | substrate can be adhere | attached in single-leaf type.

Description

Film Attachment Equipment {APPARATUS FOR FILM ADHESION}

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체 구성을 나타내는 개략도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic diagram which shows the whole structure of the film sticking apparatus which becomes 1st Embodiment of this invention,

도 2는 도 1에 나타내는 필름 부착장치의 압착롤부를 앞쪽에서 본 개략도,2 is a schematic view of the pressing roll of the film applying apparatus shown in FIG. 1 seen from the front side;

도 3은 도 1에 나타내는 필름 부착장치에서의 필름 부착상황을 설명하는 도,3 is a view for explaining a film adhesion state in the film attachment device shown in FIG.

도 4는 도 1에 나타내는 필름 부착장치에서의 필름 부착시의 가압력의 분포상황을 설명하는 도,FIG. 4 is a view for explaining a distribution state of a pressing force at the time of film sticking in the film sticking device shown in FIG. 1;

도 5는 본 발명의 제 2 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체 구성을 나타내는 개략도,5 is a schematic view showing the overall configuration of a film applying apparatus according to a second embodiment of the present invention;

도 6은 도 5에 나타내는 필름 부착장치에서의 필름 부착상황을 설명하는 도,FIG. 6 is a view for explaining a film adhesion state in the film attachment device shown in FIG. 5; FIG.

도 7은 본 발명의 제 3 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체구성을 나타내는 개략도,7 is a schematic view showing the overall configuration of a film applying apparatus according to a third embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 제 4 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체구성을 나타내는 개략도,8 is a schematic view showing the overall configuration of a film applying apparatus according to a fourth embodiment of the present invention;

도 9는 도 1에 나타내는 필름 부착장치로 기판에 필름을 부착한 상황을 나타내는 도,9 is a view showing a situation in which a film is attached to a substrate by the film applying device shown in FIG. 1;

도 10은 도 9의 I-I 절단선을 따른 횡단면도,10 is a cross-sectional view along the line II in FIG. 9;

도 11은 도 1에 나타내는 필름 부착장치로 기판에 필름을 부착한 상황을 나타내는 도,11 is a view showing a state in which a film is attached to a substrate by the film applying device shown in FIG. 1;

도 12는 도 7에 나타내는 필름 부착장치로 기판에 필름을 부착한 상황을 나타내는 도,FIG. 12 is a view showing a state in which a film is attached to a substrate by the film applying device shown in FIG. 7. FIG.

도 13은 도 8에 나타내는 필름 부착장치로 기판에 필름을 부착한 상황을 나타내는 도면이다.It is a figure which shows the situation where a film was stuck to the board | substrate with the film sticking apparatus shown in FIG.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of code for main part of drawing

1 : 기판 2 : 롤러1: substrate 2: roller

3a, 3b : 필름 롤 9a, 9b : 필름(3층)3a, 3b: film roll 9a, 9b: film (three layers)

12a, 12b : 필름(2층) 16 : 선단 가부착부재12a, 12b: film (two layers) 16: tip attachable member

17a, 17b : 압착 롤러 18a, 18b : 백업 롤러17a, 17b: crimping rollers 18a, 18b: backup roller

19a, 19b : 롤러 유닛 20 : 원반 커터 19a, 19b: Roller unit 20: Disc cutter

21 : 필름 유지부재 22 : 커터 유닛21 film holding member 22 cutter unit

23 : 대전장치 23: charging device

본 발명은 필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 기판과 함께 1쌍의 압착 롤러 사이를 양 압착 롤러로 가압하면서 이동시킴으로써, 기판 위에 필름을 부착하고, 그 부착 중에 필름을 기판의 길이에 맞추어 커터로 원하는 길이로 절단하여, 원하는 길이의 필름을 기판에 부착하는 필름 부착장치에 관한 것이다. The present invention attaches a film on a substrate by moving the strip-shaped film released from the film roll while pressing the pair of compression rollers together with the substrate with both compression rollers. The present invention relates to a film applying apparatus for cutting a desired length into a substrate and attaching a film of a desired length to a substrate.

최근, 필름 부착장치가 사용되는 표시 패널의 제조분야 등에서는 기판 유리의 치수가 커져, 길이 2200 mm, 폭 1800 mm의 제 7 세대로 제조가 실시되고 있고, 길이 2400 mm, 폭 2000 mm의 제 8 세대 기판 유리의 사용이 검토되고 있다. In recent years, in the field of manufacturing a display panel using a film attachment device, the size of substrate glass is increased, and manufacturing has been carried out in the seventh generation of 2200 mm in length and 1800 mm in width, and the eighth generation of 2400 mm in length and 2000 mm in width is performed. The use of generation substrate glass is under consideration.

필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 기판과 함께 1쌍의 압착 롤러 사이를 양 플랫한 압착 롤러로 가압하면서 이동시킴으로써 기판 위에 필름을 부착하는 경우, 띠형상의 필름이 광폭이면, 압착 롤러가 필름의 폭방향 양쪽 끝부에서 축 지지되고, 축 지지부분에서 가압력이 주어지기 때문에 압착 롤러가 필름을 기판에 가압하는 가압력은 폭방향 중앙에서 낮고, 양측에서 높아진다. When attaching a film on a board | substrate by moving the strip | belt-shaped film extracted from the film roll with a board | substrate while pressing between a pair of compression rollers with both flat compression rollers, if a strip | belt-shaped film is wide, a compression roller will be a film Since the axial support is axially supported at both ends in the width direction, and the pressing force is applied at the axial support, the pressing force for pressing the film against the substrate is low at the center in the width direction and is increased at both sides.

이와 같은 가압력의 불균일성을 해소하기 위하여 종래는 일본국 특개2000-334836호 공보(특허문헌 1)에 나타내는 바와 같이 압착 롤러에 백업 롤러를 설치하여 압착 롤러와 백업 롤러의 적어도 한쪽에 크라운 롤러를 사용하고 있다. In order to eliminate such nonuniformity of the pressing force, conventionally, as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-334836 (Patent Document 1), a backup roller is provided on the pressing roller, and a crown roller is used for at least one of the pressing roller and the backup roller. have.

또, 균일한 두께의 광폭 필름을 제작하는 것이 곤란해지고 있고, 기판도 필름을 부착한 후에 절단하고, 1매의 기판으로부터 복수의 표시 패널을 얻는 것도 행하고 있기 때문에, 일본국 특개2005-153421호 공보(특허문헌 2)에 나타내는 바와 같이 폭이 좁은 필름을 복수개 병설하여 복수의 필름을 광폭 기판에 병렬로 동시에 부착하는것도 제안되어 있다. In addition, it is difficult to produce a wide film of uniform thickness, and since the substrate is also cut after attaching the film, and a plurality of display panels are obtained from one substrate, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-153421 is disclosed. As shown in (Patent Document 2), it is also proposed to provide a plurality of narrow films in parallel and to simultaneously attach a plurality of films to a wide substrate in parallel.

이 경우, 기판에 동일한 조건으로 필름을 부착하고 싶기 때문에, 필름을 나누어도 압착 롤은 광폭 기판의 폭에 대응한 길이로 하고 있다. In this case, since it is desired to stick a film to the board | substrate on the same conditions, even if it divides a film, a crimping roll is made into the length corresponding to the width | variety of the width | variety board | substrate.

상기 양 종래기술은 일정간격을 가지고 반송되어 오는 복수의 기판을 필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 각 기판의 길이에 맞추어 커터로 원하는 길이로 절단 하지 않고 1쌍의 압착 롤러 사이를 필름과 함께 통과시키고, 이 때에 압착 롤러로 가압하여 필름을 각 기판에 부착하고, 필름으로 연결된 각 기판은 기판 사이의 필름을 절단함으로써 각 기판을 분리하는 연속식 필름 부착장치에 관한 것으로, 매엽식 필름 부착장치에 대해서는 설명되어 있지 않다. In the above prior arts, a plurality of substrates, which have been conveyed at regular intervals, are removed from a film roll with a film between a pair of pressing rollers without cutting the strip-shaped film to a desired length according to the length of each substrate. The film is attached to each substrate by pressing with a pressing roller at this time, and each substrate connected by the film relates to a continuous film applying apparatus for separating each substrate by cutting the film between the substrates. It is not described.

매엽식 필름 부착장치는 필름을 기판에 부착하는 경우, 필름은 압착 롤러를 통과하기 전에 각 기판의 길이에 맞추어 커터로 원하는 길이로 절단하는 것으로, 압착 롤러를 통과한 각 기판은 필름으로 연결되어 있지 않고 독립되어 있다. In the case of a sheet type film attachment device, when a film is attached to a substrate, the film is cut to a desired length by a cutter according to the length of each substrate before passing through the pressing roller, and each substrate passing through the pressing roller is not connected to the film. Independent.

상기한 바와 같은 거대한 기판에서는 처리 중에 기판이 파손되면 수율이 저하하고, 연속식에서는 필름의 낭비가 많기 때문에, 매엽식으로 기판을 처리하는 것이 바람직하나, 매엽식 필름 부착장치에서는 커터로 절단된 필름의 후단부를 기판에 자유 낙하시키면 필름에 주름이 생기거나 기판과 필름의 사이에 기포가 생기거나 할 염려가 있기 때문에, 커터는 압착 롤러에 근접하여 설치하고, 또한 커터로 절단하는 필름의 유지부재를 설치할 필요가 있어, 백업 롤러를 설치하면 필름의 유지부재 등을 설치하기가 곤란하였다. In the above-mentioned large substrates, if the substrate is broken during the treatment, the yield decreases, and in the continuous type, since the film is wasted, it is preferable to treat the substrate by sheet type, but in the sheet type film applying apparatus, the film cut by the cutter Free fall of the rear end of the substrate may cause wrinkles in the film or bubbles between the substrate and the film. Therefore, the cutter is installed close to the pressing roller, and the holding member of the film cut by the cutter It was necessary to install, and it was difficult to install the holding member of a film etc. when a backup roller was provided.

따라서 본 발명의 목적은, 광폭의 기판이나 필름이어도 필름과 기판을 매엽식으로 부착할 수 있는 필름 부착장치를 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a film applying apparatus capable of attaching a film and a substrate in a single sheet even with a wide substrate or film.

또한 본 발명의 목적은, 폭이 좁은 복수의 필름을 광폭의 기판에 병렬로 매엽식으로 부착할 수 있는 필름 부착장치를 제공하는 것에 있다. Moreover, the objective of this invention is providing the film attachment apparatus which can adhere | attach a plurality of narrow films in parallel with a wide board | substrate.

상기 목적을 달성하는 본 발명 필름 부착장치의 특징으로 하는 점은, 필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 기판과 함께 1쌍의 압착 롤러 사이를 양 압착 롤러로 가압하면서 이동시킴으로써 기판 위에 필름을 부착하고, 그 부착 중에 필름을 기판의 길이에 맞추어 커터로 원하는 길이로 절단하여, 원하는 길이의 필름을 기판에 부착하는 필름 부착장치에 있어서, 기판에 부착하는 필름을 기판을 향하여 반송하는 쪽의 압착 롤러는 압착 롤러보다 작은 지름의 백업 롤러를 구비하고, 기판을 향하여 반송되는 필름과 압착 롤러와 백업 롤러의 공간에 필름 롤로부터 풀어낸 띠형상의 필름을 기판의 길이에 맞추어 원하는 길이로 절단하기 위한 필름의 유지부재를 설치한 것에 있다. A feature of the film applying apparatus of the present invention which achieves the above object is that the film is attached onto the substrate by moving the band-shaped film released from the film roll while pressing the pair of pressing rollers together with the substrate while pressing with both pressing rollers. In the film sticking apparatus which cut | disconnects a film to a desired length with a cutter according to the length of a board | substrate, and attaches the film of a desired length to a board | substrate during the attachment, The press roller of the side which conveys the film adhered to a board | substrate toward a board | substrate. Has a backup roller having a diameter smaller than that of the pressing roller, and the film for cutting the film conveyed toward the substrate and the strip-shaped film released from the film roll in the space of the pressing roller and the backup roller to the desired length in accordance with the length of the substrate. It is to install a retaining member.

이하, 본 발명의 각 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다. 각 실시형태에서 설명의 중복을 피하기 위하여 동일물이나 상당물에는 동일부호를 붙이고 있다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, each embodiment of this invention is described based on drawing. In each embodiment, in order to avoid duplication of description, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing.

도 1, 도 2는 본 발명의 제 1 실시형태가 되는 필름 부착장치를 나타내고 있고, 도 1은 필름 부착장치의 전체구성을 나타내는 개략도, 도 2는 필름 부착장치의 압착 롤부를 앞쪽에서 본 개략도이다. 1 and 2 show a film applying apparatus according to the first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a schematic view showing the overall configuration of the film applying apparatus, and FIG. 2 is a schematic view of the pressing roll portion of the film applying apparatus viewed from the front. .

1은 복수의 롤러(2)를 나열하여 형성된 반송로를 도면에서 왼쪽으로부터 오른쪽 방향으로 반송되는 유리제의 기판이다. 이 기판을 반송하는 기판의 반송방향에서 기판의 길이방향에 대하여 직교하는 방향, 즉 도 1의 지면에 수직한 방향을 폭방향으로 한다. 필름 롤(3a, 3b)은 기판(1)의 폭방향으로 병렬로 배치되는 구성으로 필름 권출축(4a, 4b)에 장착되어 있고, 필름 권출축(4a, 4b)은 서보 모터(5a, 5b)에 의하여 개별로 독립하여 구동제어된다. 1 is a glass substrate which conveys the conveyance path formed by arranging the some roller 2 from the left to the right direction in the figure. In the conveyance direction of the board | substrate which conveys this board | substrate, the direction orthogonal to the longitudinal direction of a board | substrate, ie, the direction perpendicular | vertical to the paper surface of FIG. 1, is made into the width direction. The film rolls 3a and 3b are mounted on the film take-up shafts 4a and 4b in a configuration arranged in parallel in the width direction of the substrate 1, and the film take-up shafts 4a and 4b are servo motors 5a and 5b. Drive control independently and independently.

필름 롤(3a, 3b)은 레지스트 필름(7a, 7b)의 표리를 커버 필름(6a, 6b)과 베이스 필름(8a, 8b)으로 덮여 있는 3층 구조의 필름(9a, 9b)을 감은 것으로, 필름 권출축(4a, 4b)측이 커버 필름(6a, 6b)이고, 바깥 둘레측이 베이스 필름(8a, 8b)으로 되어 있다. 또한 커버 필름(6a, 6b)과 베이스 필름(8a, 8b)은 레지스트 필름(7a, 7b)의 점착력으로 일체로 되어 있다. The film rolls 3a and 3b are wound on the front and back of the resist films 7a and 7b by winding the films 9a and 9b having a three-layer structure covered with the cover films 6a and 6b and the base films 8a and 8b. The film winding shafts 4a and 4b are cover films 6a and 6b, and the outer circumferential sides are base films 8a and 8b. Moreover, the cover films 6a and 6b and the base films 8a and 8b are integrated by the adhesive force of the resist films 7a and 7b.

필름 롤(3a, 3b)에서 풀어 낸 필름(9a, 9b)은 프리롤러(10a, 10b)를 거쳐 커버필름 박리 롤러(11)에서 커버 필름(6a, 6b)을 박리하여 2층의 필름(12a, 12b)이 되고, 박리된 커버 필름(6a, 6b)은 커버필름 권취롤(13a, 13b)로 감아들이고 있다. The films 9a and 9b unwound from the film rolls 3a and 3b are peeled off the cover films 6a and 6b by the cover film peeling roller 11 via the prerollers 10a and 10b to form a two-layer film 12a. , 12b), and the peeled cover films 6a and 6b are wound around the cover film winding rolls 13a and 13b.

2층의 필름(12a, 12b)의 선단은, 기판(1)의 폭방향을 따라 연장된 선단 가부착부재(16)에 흡착된다. The tip ends of the two layers of films 12a and 12b are adsorbed by the tip temporary attaching member 16 extending along the width direction of the substrate 1.

선단 가부착부재(16)는 복수의 롤러(2)를 나열하여 형성된 기판(1)의 반송로의 방향으로 이동하고, 흡착한 필름(12a, 12b)의 선단을 반송로 위의 기판(1)에 가부착하여 흡착을 해제하고, 그후 원래의 위치로 복귀한다. 선단 가부착부재(16)의 반송로측 하단부에는 필름(12a, 12b)을 예열하여 필름(12a, 12b)의 선단을 기판(1)에 가부착하기 쉽게 하기 위한 히터를 내장하고 있다. 선단 가부착부재(16)의 이동경로는 필름(12a, 12b)의 이동경로이고, 필름(12a, 12b)의 이동경로에 면한 선단 가부착부재(16)의 표면에는 복수의 흡인구멍을 설치하고 있어, 흡인함으로써 필름(12a, 12b)을 흡착하고, 흡인을 정지함으로써 필름(12a, 12b)의 흡착을 해제하여 필름(12a, 12b)을 개방한다. The tip temporary attachment member 16 moves in the direction of the conveyance path of the board | substrate 1 formed by arranging the some roller 2, and moves the front end of the film 12a, 12b which adsorb | sucked the board | substrate 1 on a conveyance path. Is adsorbed to release the adsorbent and then returns to its original position. In the lower end part of the conveyance path side of the tip attachable member 16, the heater 12 is preheated, and the heater which makes it easy to attach and attach the front-end | tip of the film 12a, 12b to the board | substrate 1 is built-in. The movement path of the tip attachable member 16 is a movement route of the films 12a and 12b, and a plurality of suction holes are provided on the surface of the tip attachable member 16 facing the movement routes of the films 12a and 12b. The film 12a, 12b is adsorbed by suction, the adsorption of the film 12a, 12b is released by stopping the suction, and the films 12a, 12b are opened.

커버필름 박리롤러(11)와 선단 가부착부재(16)의 사이에 장력 조정용 롤러(14)를 설치하고 있고, 롤러(14)에 걸리는 필름(12a, 12b)의 장력을 압력센서(15)로 검출하고, 롤러(14)의 축위치를 조정하여 필름(12a, 12b)의 장력이 항상 일정해지도록 하고 있다. A tension adjusting roller 14 is provided between the cover film peeling roller 11 and the tip attachable member 16, and the tension of the films 12a and 12b caught by the roller 14 is transferred to the pressure sensor 15. It detects and adjusts the axial position of the roller 14 so that the tension | tensile_strength of the films 12a and 12b will always become constant.

선단 가부착부재(16)의 이동방향에 해당하는 반송로에 1쌍의 압착 롤러(17a, 17b)를 그 축방향을 기판(1)의 폭방향에 일치시켜 상하에 설치하고 있고, 1쌍의 압착 롤러(17a, 17b)의 사이를 기판(1)이 통과하여 간다. A pair of crimping rollers 17a and 17b are provided on the conveyance path corresponding to the moving direction of the tip temporary attaching member 16 so that the axial direction thereof is coincident with the width direction of the substrate 1, and a pair of The board | substrate 1 passes between the crimping rollers 17a and 17b.

각 압착 롤러(17a, 17b)는 내부에 전열 히터를 내장하고, 원통형상의 바깥 둘레면에는 수지제의 유전체막을 코팅하고 있고, 구동축은 접지하고 있다. 전열 히터는 외부로부터의 전력공급을 조정함으로써 온도제어를 할 수 있게 되어 있다. 압착 롤러(17a)는 필름(12a, 12b)을 가열하고, 압착 롤러(17b)는 기판(1)을 가열하여 필름(12a, 12b)이 기판(1)에 용이하게 부착하도록 되어 있다. Each of the pressing rollers 17a and 17b has a heat-transfer heater built therein, a cylindrical dielectric film coated with a resin dielectric film, and the drive shaft is grounded. The heat transfer heater is capable of temperature control by adjusting the power supply from the outside. The pressing roller 17a heats the films 12a and 12b, and the pressing roller 17b heats the substrate 1 so that the films 12a and 12b easily adhere to the substrate 1.

각 압착 롤러(17a, 17b)에는 백업 롤러(18a, 18b)를 설치하고 있다. 각 압착 롤러(17a, 17b)는 플랫 롤러, 각 백업 롤러(18a, 18b)는 크라운 롤러이고, 위쪽의 압착 롤러(17a)에 대한 백업 롤러(18a)의 지름은 압착 롤러(17a)보다 작은 지름이고, 백업 롤러(18a)의 최대 지름부가 압착 롤러(17a)의 지름의 약 절반으로 되어 있다. 아래쪽의 압착 롤러(17b)와 그 백업 롤러(18b)의 지름은, 대략 같은 것을 사용하였다. 각 압착 롤러(17a, 17b)와 각 백업 롤러(18a, 18b)의 축심위치는 상하로 나열되어 있고, 압착 롤러(17a)와 백업 롤러(18a)의 가압력은 기판(1) 위쪽의 표면에, 또 압착 롤러(17b)와 백업 롤러(18b)의 가압력은 기판(1)의 아래쪽 표면을 향하여 수직하게 향하도록 되어 있다. 압착 롤러(17a)와 백업 롤러(18a), 압착 롤러(17b)와 백업 롤러(18b)를 각각 롤러 유닛(19a, 19b)이라 부른다. Back-up rollers 18a and 18b are attached to each pressing roller 17a and 17b. Each press roller 17a, 17b is a flat roller, and each backup roller 18a, 18b is a crown roller, and the diameter of the backup roller 18a with respect to the press roller 17a of the upper diameter is smaller than the press roller 17a. The maximum diameter part of the backup roller 18a becomes about half of the diameter of the crimping roller 17a. The diameters of the lower compression roller 17b and the backup roller 18b used the same thing. Axial positions of the pressing rollers 17a and 17b and the backup rollers 18a and 18b are arranged up and down, and the pressing force of the pressing rollers 17a and the backup rollers 18a is placed on the surface above the substrate 1, Moreover, the pressing force of the crimping roller 17b and the backup roller 18b is made to orientate perpendicularly toward the lower surface of the board | substrate 1. As shown in FIG. The pressing roller 17a, the backup roller 18a, the pressing roller 17b, and the backup roller 18b are called roller units 19a, 19b, respectively.

위쪽의 압착 롤러(17a)와 백업 롤러(18a)와 필름(12a, 12b)의 이동경로의 사이에 공간을 형성할 수 있고, 그 공간부에 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 치수가 되도록 절단하는 원반 커터(20)와 필름(12a, 12b)을 흡착하는 필름 유지부재(21)를 설치하고 있다. 원반 커터(20)와 필름 유지부재(21)를 커터 유닛(22)이라 부른다.A space can be formed between the upper pressing roller 17a, the backup roller 18a, and the moving paths of the films 12a and 12b, and the films 12a and 12b are attached to the substrate 1 in the space. The disk cutter 20 cut | disconnects so that it may become a dimension to be made, and the film holding member 21 which adsorb | sucks the films 12a and 12b is provided. The disc cutter 20 and the film holding member 21 are called a cutter unit 22.

백업 롤러(18b)의 길이는 압착 롤러(17b)의 길이와 동일하나, 백업 롤러(18a)의 길이는 압착 롤러(17a)의 길이에 대하여 짧은 것을 사용하여 작은 지름의 백업 롤러(18a)의 강성을 높이고 있다. 백업 롤러(18a)의 양쪽 끝부에서는 압착 롤러(17a)의 상부에 공간을 생기기 때문에, 롤러 유닛(19a)의 이동기구나 커터 유닛(22)의 고정기구 등의 설치가 용이해진다. The length of the backup roller 18b is the same as that of the pressing roller 17b, but the length of the backup roller 18a is short with respect to the length of the pressing roller 17a. Is raising. At both ends of the backup roller 18a, a space is formed in the upper portion of the crimping roller 17a, so that installation of the moving mechanism of the roller unit 19a, the fixing mechanism of the cutter unit 22, and the like becomes easy.

필름 유지부재(21)는 상하로 나뉘어져 있고, 그 사이에 커터(20)가 위치한다. 필름 유지부재(21)는 2개의 필름(12a, 12b)을 동시에 흡착하고, 커터(20)는 양 필름(12a, 12b)의 폭방향으로 이동하여 필름 유지부재(21)의 흡착 유지된 양 필름(12a, 12b)을 절단한다. The film holding member 21 is divided up and down, and the cutter 20 is located between them. The film holding member 21 adsorbs two films 12a and 12b at the same time, and the cutter 20 moves in the width direction of both films 12a and 12b so as to adsorb and hold both films of the film holding member 21. 12a and 12b are cut off.

롤러 유닛(19a, 19b)은, 뒤에서 설명하는 바와 같이 기판(1)에의 필름 부착에 있어서, 선단 가부착부재(16)가 기판(1)을 향하여 이동할 때에 미리 기판 반송로로부터 멀어지고, 반대로 선단 가부착부재(16)가 기판(1)으로부터 멀어지면 근접하도록 이동하여, 그 이동에 맞추어 커터 유닛(22)도 함께 이동하도록 되어 있다. As described later, the roller units 19a and 19b move away from the substrate conveying path in advance when the tip attachable member 16 moves toward the substrate 1 in a film attached to the substrate 1, and the opposite end thereof. When the temporary attachment member 16 moves away from the board | substrate 1, it moves so that it may approach, and the cutter unit 22 will also move with it accordingly.

또한 커터 유닛(22)은, 커터(20)가 양 필름(12a, 12b)의 앞쪽(하류측)부터 뒤쪽(상류측)으로 양 필름(12a, 12b)의 두께를 칼날이 돌출하도록 이동하고 나서, 기판(1)에의 필름 부착 중에 기판(1)의 반송로상에서의 이동속도[= 압착 롤러(17a, 17b)의 회전속도]와 동일속도로 기판(1)을 향하여 이동하고, 그 사이에 커터(20)는 폭방향으로 이동하여 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 치수가 되도록 절단한다. In addition, the cutter unit 22 moves the cutter 20 so that a blade may protrude the thickness of both films 12a and 12b from the front (downstream) to the back (upstream) of both films 12a and 12b. During the adhesion of the film to the substrate 1, the substrate 1 moves toward the substrate 1 at the same speed as the movement speed (= rotational speed of the pressing rollers 17a and 17b) on the conveying path, and the cutter therebetween. 20 is cut | disconnected so that it may move to the width direction, and it will be the dimension which wants to attach the film 12a, 12b to the board | substrate 1. FIG.

또한 커터(20)는 원반 커터가 아니고, 원주의 주위에 나선형상의 톱니를 설치하고 있는 로터리 커터로 하고, 양 필름(12a, 12b)을 사이에 두고 대향하는 위치에 고정 톱니를 설치하고 있어도 좋다. 로터리 커터의 경우는 커터 유닛(22)은, 기판(1)에 대한 필름 부착 중에 기판(1)을 향하여 이동하지 않고, 원주부의 회전에 의하여 나선형상 톱니의 절단위치가 기판(1)의 반송로상에서의 이동속도[= 압착 롤러(17a, 17b)의 회전 속도]와 동일속도로 폭방향으로 이동하여 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 치수가 되도록 절단한다. 또한 커터(20)는 창칼형상의 날을 사용하여도 좋다. The cutter 20 is not a disk cutter, but may be a rotary cutter having spiral teeth formed around the circumference, and fixed teeth may be provided at opposing positions with both films 12a and 12b interposed therebetween. In the case of a rotary cutter, the cutter unit 22 does not move toward the substrate 1 while the film is attached to the substrate 1, and the cutting position of the helical tooth is conveyed by the rotation of the circumferential portion of the substrate 1. The film 12a, 12b is cut to a size to be attached to the substrate 1 by moving in the width direction at the same speed as the movement speed (= rotational speed of the pressing rollers 17a, 17b) on the furnace. In addition, the cutter 20 may use a knife blade.

위쪽의 압착 롤러(17a)의 바깥 둘레부에 압착 롤러(17a)로부터 임의의 거리를 유지하여 2개의 필름(12a, 12b)에 전하를 부여하는 대전장치(23)를 설치하고 있고, 롤러 유닛(19a)(19 b)과 커터 유닛(22)이 기판 반송로로부터 멀어지는 방향으로 이동하면 롤러 유닛(19a), 커터 유닛(22)과 대전장치(23)의 사이를 선단 가부착부재(16)가 2개의 필름(12a, 12b)의 각 선단부를 흡착하여 기판 반송로의 방향으로 이동한다. 대전장치(23)는 선단 가부착부재(16)의 이동이 방해되지 않는 위치에 설 치되어 있다. A charging unit 23 is provided on the outer periphery of the upper pressing roller 17a to charge the two films 12a and 12b at an arbitrary distance from the pressing roller 17a. When the 19a, 19b and the cutter unit 22 move away from the substrate transfer path, the tip attachable member 16 is disposed between the roller unit 19a, the cutter unit 22, and the charging device 23. Each tip of the two films 12a and 12b is adsorbed and moved in the direction of the substrate transfer path. The charging device 23 is installed at a position where the movement of the tip attachable member 16 is not hindered.

대전장치(23)는, 전원장치로부터 고전압을 받아 2개의 필름(12a, 12b)의 후단부에 전하를 부여하는 것으로, 전하부여의 타이밍은 뒤에서 설명한다. The charging device 23 receives a high voltage from the power supply device and applies charges to the rear ends of the two films 12a and 12b, and the timing of the charge application will be described later.

24는 기판 반송로상을 반송되어 오는 기판(1)의 선단을 검출하는 기판 선단 검출센서로, 광투과형 또는 광반사형의 센서를 사용하고 있다. 25는, 기판(1)을 끼워 유지하여 반송하는 닙롤러이다. 24 is a board | substrate tip detection sensor which detects the front-end | tip of the board | substrate 1 conveyed on the board | substrate conveyance path, and uses the light transmissive type or the light reflection type sensor. 25 is a nip roller which clamps and conveys the board | substrate 1. As shown in FIG.

커버필름 박리롤러(11)는, 커터(20)로부터 롤러(14)를 거쳐 커버필름 박리롤러(11)까지의 필름(12a, 12b)의 길이가 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 치수가 되도록 커버필름 박리롤러(11)의 축심위치를 필름(12a, 12b)의 이동방향으로 이동할 수 있도록 하고 있다. 이것은 커터(20)가 필름(12a, 12b)을 절단하고 있을 때에 커버필름 박리롤러(11)에서의 커버필름(6a, 6b)의 박리가 일시적으로 정지하고, 그때에 레지스트 필름(7a, 7b)에 폭방향으로 라인이 생기고, 이 라인을 포함하는 부분이 기판(1)에 부착되면 기판 생산상의 수율 저하의 원인이 되기 때문에, 줄이 간격을 가지고 반송되어 오는 각 기판 사이에 위치하도록 하는 것이다. The cover film peeling roller 11 has the lengths of the films 12a and 12b from the cutter 20 to the cover film peeling roller 11 via the rollers 14 to the substrate 1. The shaft center position of the cover film peeling roller 11 can be moved in the moving direction of the films 12a and 12b so as to have a dimension to be attached. This is because when the cutter 20 cuts the films 12a and 12b, the peeling of the cover films 6a and 6b in the cover film peeling roller 11 temporarily stops, and then the resist films 7a and 7b When a line is formed in the width direction, and a part including the line is attached to the substrate 1, it causes a decrease in yield in substrate production, so that the string is positioned between the substrates to be conveyed at intervals.

28a, 28b는 필름(9a, 9b)을 풀어 냄으로써 작은 지름화하여 가는 필름 롤(3a, 3b)의 외경까지의 거리를 계측하는 비접촉식 거리센서이고, 계측결과는 필름 롤(3a, 3b)의 잔량을 산출하는 데 이용한다. 28a and 28b are non-contact distance sensors which measure the distance to the outer diameter of the small diameter thin film rolls 3a and 3b by unwinding the films 9a and 9b, and the measurement result is the remaining amount of the film rolls 3a and 3b. It is used to calculate

이하, 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 치수가 되도록 절단하면서 부착하는 개략동작을 설명한다. Hereinafter, a schematic operation of attaching the films 12a and 12b to the substrate 1 while cutting the films 12a and 12b will be described.

도 1에서 먼저 준비로서 필름 롤(3a, 3b)로부터 필름(9a, 9b)을 풀어 내고, 프리롤러(10a, 10b)를 거쳐 커버 필름 박리롤러(11)에서 커버 필름(6a, 6b)을 박리하고, 박리한 커버 필름(6a, 6b)은 커버 필름 권취롤(13a, 13b)에 감아 들이고, 커버 필름(6a, 6b)을 박리하여 2층이 된 필름(12a, 12b)은, 장력 조정용 롤러(14), 선단 가부착부재(16)를 거쳐 커터 유닛(22)에 이르게 한다. As shown in FIG. 1, the films 9a and 9b are first released from the film rolls 3a and 3b, and the cover films 6a and 6b are peeled off from the cover film peeling roller 11 via the prerollers 10a and 10b. And the peeled cover films 6a and 6b are wound up by the cover film winding rolls 13a and 13b, and the film 12a and 12b which peeled the cover films 6a and 6b and became two layers is a roller for tension adjustment. (14) to the cutter unit 22 via the tip attachable member 16.

연속하여 반송되어 오는 복수의 기판(1)의 길이를 알고 있기 때문에, 커버 필름 박리롤러(11)로부터 원반 커터(20)에 의한 필름 절단위치까지의 길이가 기판에 부착하고 싶은 길이(또는 그 정수배의 길이)가 되도록 커버필름 박리롤러(11)의 위치를 설정한다. 그리고 2층의 필름(12a, 12b)을 선단 가부착부재(16)와 필름 유지부재(21)로 흡착 유지하고, 원반 커터(20)로 2층의 필름(12a, 12b)을 절단하고, 필름(12a, 12b)의 선단부분은 폐기한다. 그후 필름 유지부재(21)에서의 필름(12a, 12b)의 흡착유지를 해제하고, 도시 생략한 공기 분출장치로 필름(12a, 12b)의 선단부를 선단 가부착 부재(16)에 내뿜고, 선단 가부착부재(16)는 필름(12a, 12b)의 선단부를 흡착하여 유지한다. 그리고 내장하는 히터로 유지한 선단부를 예열한다. 이것으로 준비는 완료되고, 기판(1)의 반송을 기다린다. Since the lengths of the plurality of substrates 1 conveyed in succession are known, the length from the cover film peeling roller 11 to the film cutting position by the disc cutter 20 is the length (or its integral multiple) that the substrate is to be attached to. Length) of the cover film peeling roller 11 is set. Then, the two layers of films 12a and 12b are adsorbed and held by the tip temporary attaching member 16 and the film holding member 21, and the two layers of films 12a and 12b are cut by the disc cutter 20 to form a film. Discard the tips of 12a and 12b. Thereafter, the suction holding of the films 12a and 12b in the film holding member 21 is released, and the tip end portions of the films 12a and 12b are blown out to the tip attachable member 16 by an air blowing device (not shown). The attachment member 16 adsorbs and holds the front end portions of the films 12a and 12b. Then, the front end held by the built-in heater is preheated. This completes the preparation and waits for the conveyance of the substrate 1.

기판 선단 검출센서(24)가 기판(1)의 선두위치를 검출하면, 닙롤러(25)는 기판(1)의 반송을 정지하고, 롤러 유닛(19a, 19b)과 커터 유닛(22)은 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 반송로의 하류측으로 후퇴함과 동시에 반송로로부터 멀어진다. When the substrate tip detection sensor 24 detects the leading position of the substrate 1, the nip roller 25 stops the transfer of the substrate 1, and the roller units 19a and 19b and the cutter unit 22 are shown in FIG. As shown to 3 (a), it retreats to the downstream side of a conveyance path, and moves away from a conveyance path.

다음에 닙롤러(25)는 기판(1)을 필름(12a, 12b)의 부착 개시위치까지 하류측으로 약간 반송하여 기판(1)을 정지시킨다. 다음에 선단 가부착부재(16)가 필름(12a, 12b)을 유지한 채로 반송로측으로 진행하고, 필름(12a, 12b)의 선단을 기 판(1)에 가압하여 가부착을 행한다. 이때 필름(12a, 12b)의 선단부는 예열되어 기판(1)에 점착하기 쉽게 되어 있다. Next, the nip roller 25 conveys the board | substrate 1 to the downstream side to the attachment start position of the film 12a, 12b, and stops the board | substrate 1. As shown in FIG. Next, the front end temporary attaching member 16 advances to the conveyance path side holding the films 12a and 12b, and presses the front ends of the films 12a and 12b to the substrate 1 to temporarily attach them. At this time, the front end portions of the films 12a and 12b are preheated to easily adhere to the substrate 1.

선단 가부착부재(16)는 필름(12a, 12b)의 선단부를 기판(1)에 가부착을 하면 선단부의 흡착을 해제하여 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 원래의 위치로 되돌아가고, 롤러 유닛(19a, 19b)과 커터 유닛(22)은, 반송로의 상류측으로 전진함과 동시에 반송로를 향하여, 기판(1)과 필름(12a, 12b)의 선단부를 끼워 유지한다. When the front end attaching member 16 temporarily attaches the front end portions of the films 12a and 12b to the substrate 1, the end portion is released and the roller unit is returned to its original position as shown in Fig. 3 (b). 19a, 19b and the cutter unit 22 advance to the upstream of a conveyance path, and hold | maintain the front-end | tip part of the board | substrate 1 and films 12a and 12b toward a conveyance path.

그후, 도 3(c)에 나타내는 바와 같이 롤러 유닛(19a, 19b)은 회전하여, 기판(1)과 필름(12a, 12b)을 압착하면서 하류측으로 반송하고, 반송 중에 커터 유닛(22)의 커터(20)가 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 길이로 절단한다. 필름(12a, 12b)의 풀어 냄 길이는 필름 권출축(4a, 4b) 등, 설치한 인코더에 의하여 도시생략한 제어부에서 파악하고 있기 때문에, 커터(20)가 필름(12a, 12b)을 절단하는 위치는 간단하게 연산에 의하여 구할 수 있다. Thereafter, as shown in Fig. 3 (c), the roller units 19a and 19b are rotated and conveyed to the downstream side while pressing the substrate 1 and the films 12a and 12b, and the cutter of the cutter unit 22 is transported. 20 cut | disconnects the film 12a, 12b to the length which you want to attach to the board | substrate 1. As shown in FIG. Since the extraction lengths of the films 12a and 12b are grasped by the control unit not shown by the installed encoders such as the film take-up shafts 4a and 4b, the cutter 20 cuts the films 12a and 12b. The position can be obtained simply by calculation.

커터(20)가 필름(12a, 12b)을 절단하면, 절단에 의하여 원하는 길이를 가지는 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부는 롤러 유닛(19a, 19b)의 회전으로 인장되어, 필름 유지부재(21) 위를 미끄러져 간다. 한편, 절단된 필름(12a, 12b)의 커터(20)보다 상류측의 부분은 필름 롤(3a, 3b)이나 커버 필름 권취롤(13a, 13b)의 구동이 정지하고, 필름(12a, 12b)의 선단부는 다음 매엽 필름(26a, 26b)의 선단부로서, 선단 가부착부재(16)와 필름 유지부재(21)에 흡착 유지되어 있다. When the cutter 20 cuts the films 12a and 12b, the rear ends of the single-layer films 26a and 26b having the desired lengths are tensioned by the rotation of the roller units 19a and 19b by the cutting, so that the film holding member 21 ) Slide on. On the other hand, the upstream part of the cut | disconnected film 12a, 12b of the cutter 20 stops driving of the film roll 3a, 3b and the cover film winding rolls 13a, 13b, and the film 12a, 12b is carried out. The tip portion of is a tip portion of the next sheet film 26a, 26b, and is adsorbed and held by the tip temporary attaching member 16 and the film holding member 21.

그리고 도 3(d)에 나타내는 바와 같이 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부가 압착 롤러(17a)에 대향하는 위치가 되면, 대전장치(23)로부터 전하의 공급을 받아, 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부는 압착 롤러(17a)에 정전 흡착된다. 대전장치(23)가 필름(26a, 26b)의 후단부에 전하를 공급하는 타이밍은, 기판 선단 검출센서(24)에 의한 기판(1)의 선두위치를 검출이나 압착 롤러(17a) 등, 설치한 인코더에 의한 회전량 등에 의하여 도시 생략한 제어부에서 파악하고 있다. And as shown in FIG.3 (d), when the rear end part of the sheet | leaf film 26a, 26b becomes the position which opposes the crimping roller 17a, electric charge will be supplied from the charging device 23, and the sheet | leaf film 26a, 26b will be received. The rear end of the) is electrostatically attracted to the pressing roller 17a. The timing at which the charging device 23 supplies electric charges to the rear ends of the films 26a and 26b is such that the leading position of the substrate 1 is detected by the substrate front end detection sensor 24, such as the pressing roller 17a and the like. It is grasped | ascertained by the control part not shown in figure by the rotation amount with one encoder.

필름(26a, 26b)의 후단부가 압착 롤러(17a)에 정전 흡착되면, 대전장치(23)로부터의 전하공급을 정지하고, 롤러 유닛(19a, 19b)이 다시 회전하여 기판(1)에 필름(26a, 26b)을 후단부까지 부착하고, 하류로 반송하여 도 1에 나타내는 상태가 되고, 이후 이상 설명한 동작을 기판(1)의 반송이 정지할 때까지 반복한다. When the rear ends of the films 26a and 26b are electrostatically adsorbed by the pressing roller 17a, the supply of charge from the charging device 23 is stopped, and the roller units 19a and 19b are rotated again to form a film ( 26a, 26b) are attached to the rear-end part, it is conveyed downstream, and it is in the state shown in FIG. 1, and the operation demonstrated above is repeated until conveyance of the board | substrate 1 stops.

하류측으로 반송된 기판(1)은 도 9에 나타내는 바와 같이 매엽 필름(26a, 26b)이 부착된 구성으로 되어 있다. 도 10은 도 9의 I-I 절단선에 따른 횡단면을 나타내고 있다. As shown in FIG. 9, the board | substrate 1 conveyed to the downstream side has the structure with which the sheet | leaf film 26a, 26b was attached. 10 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 9.

도 9에서 필름(26a, 26b)의 길이(L)가 기판(1)에 부착하고 싶은 필름의 길이이다. 기판(1)은 도 9, 도 10에 2점 쇄선으로 나타내는 위치에서 절단되어, 개별 패널이 된다. In FIG. 9, the length L of the films 26a and 26b is the length of the film to be attached to the substrate 1. The board | substrate 1 is cut | disconnected in the position shown by the dashed-dotted line in FIG. 9, FIG. 10, and turns into an individual panel.

도 4는 도 1의 롤러 유닛(19a, 19b)이 기판(1)에 필름(12a, 12b)(26a, 26b)을 부착할 때의 가압력의 분포상황을 나타내고 있다. FIG. 4 shows the distribution of the pressing force when the roller units 19a and 19b of FIG. 1 attach the films 12a and 12b to the substrate 1.

도 4(a)는 기판(1), 필름(12a, 12b)(26a, 26b), 롤러 유닛(19a, 19b)의 배치를 상류측에서 나타낸 것으로, 말하자면 기판(1)의 폭방향의 위치를 나타내고 있고, 압착 롤러(17a, 17b)와 백업 롤러(18a, 18b)는 폭방향의 중심을 일치시키고 있다. 4 (a) shows the arrangement of the substrate 1, the films 12a, 12b (26a, 26b) and the roller units 19a, 19b from the upstream side, that is, the position of the substrate 1 in the width direction. The crimping rollers 17a and 17b and the backup rollers 18a and 18b coincide with the centers in the width direction.

도 4(b)는 백업 롤러(18a)의 가압력(P18a), 도 4(c)는 압착 롤러(17a)의 가압력(P17a)이고, 합성한 롤러 유닛(19a)의 가압력(P19a)은 도 4(d)와 같이 된다. 4 (b) is the pressing force P18a of the backup roller 18a, and FIG. 4 (c) is the pressing force P17a of the pressing roller 17a, and the pressing force P19a of the synthesized roller unit 19a is shown in FIG. It becomes like (d).

또 도 4(e)는 압착 롤러(17b)의 가압력(P17b), 도 4(f)는 백업 롤러(18b)의 가압력(P18b)이고, 합성한 롤러 유닛(19b)의 가압력(P19b)은 도 4(g)와 같이 된다. 4 (e) is the pressing force P17b of the pressing roller 17b, and FIG. 4 (f) is the pressing force P18b of the backup roller 18b, and the pressing force P19b of the synthesized roller unit 19b is shown in FIG. It becomes like 4 (g).

백업 롤러(18a, 18b)에서의 가압력(P18a, P18b)의 분포는, 백업 롤러(18a, 18b)의 폭방향의 길이, 지름, 축단부에의 가압력으로 조정이 가능하고, 압착 롤러(17a, 17b)에서의 가압력(P17a, P17b)과의 조정에 의하여 백업 롤러(18a)는 백업 롤러(18b)에 비하여 폭방향으로 짧으나, 합성 가압력(P19a, 19b)를 평탄한 것으로 할 수 있다. The distribution of the pressing force P18a, P18b in the backup rollers 18a and 18b can be adjusted by the length, diameter, and pressing force of the width direction of the backup rollers 18a and 18b, and the pressing roller 17a, Although the backup roller 18a is shorter in the width direction than the backup roller 18b by adjustment with the pressing force P17a, P17b in 17b, synthetic pressing force P19a, 19b can be made flat.

백업 롤러(18a)의 폭방향의 길이를 길게 하면, 가압력(P18a)의 변화는 완만하게 되고, 지름을 크게 하면, 가압력(P18a)의 변화는 커진다. When the length of the backup roller 18a in the width direction is lengthened, the change in the pressing force P18a becomes gentle, and when the diameter is increased, the change in the pressing force P18a becomes large.

압착 롤러(17a, 17b)를 크라운 롤러로 하고, 백업 롤러(18a, 18b)를 플랫 롤러로 하여도 그것들의 합성 가압력은 도 4(d), 도 4(g)와 같이 평탄한 것으로 할 수 있다. Even when the pressing rollers 17a and 17b are used as crown rollers and the backup rollers 18a and 18b are used as flat rollers, the combined pressing force thereof can be flat as shown in Figs. 4 (d) and 4 (g).

합성 가압력이 평탄함으로써 미리 부착하고 싶은 길이로 절단되는 필름(12a, 12b)은 선단부나 후단부에 주름이나 기포를 발생하지 않고 폭방향으로 균일한 가압력으로 기판(1)에 매엽으로 부착된다. Since the synthetic pressing force is flat, the films 12a and 12b cut to the length to be attached in advance are adhered to the substrate 1 with a uniform pressing force in the width direction without generating wrinkles or bubbles at the leading end or the rear end.

상기 실시예에서는 복수의 필름 롤로서 2개의 필름 롤(3a, 3b)을 설치하고 있으나, 3개 이상의 필름 롤을 설치하여도 좋다. In the said Example, although two film rolls 3a and 3b are provided as a some film roll, three or more film rolls may be provided.

도 5는 본 발명의 제 2 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체구성을 나타내 는 개략도이다. It is a schematic diagram which shows the whole structure of the film sticking apparatus which becomes 2nd Embodiment of this invention.

이 실시예에서는 도 1의 선단 가부착부재(16)와 필름 유지부재(21) 대신에 선단 유지부재(31)와 후단 유지부재(32)를 사용하고, 커터(33)는 기판(1)의 반송로의 상류측에 설치하고 있다. In this embodiment, the front end holding member 31 and the rear end holding member 32 are used instead of the front end attaching member 16 and the film holding member 21 of FIG. It is provided upstream of the conveyance path.

준비하는 경우, 필름(12a, 12b)을 선단 유지부재(31)와 후단 유지부재(32)로 흡착 유지하고, 후단 유지부재(32)를 받침대로 하여 커터(33)로 절단한다. 절단한 앞의 부분을 폐기하면, 필름(12a, 12b)의 선단부는 선단 유지부재(31)에서 앞의 후단 유지부재(32) 위가 된다. When preparing, the film 12a, 12b is adsorbed-held by the front end holding member 31 and the rear end holding member 32, and it cut | disconnects with the cutter 33 using the rear end holding member 32 as a base. When the front part cut off is discarded, the front end portions of the films 12a and 12b are on the front rear end holding member 32 in the front end holding member 31.

기판 선단 검출센서(24)가 기판(1)의 선두위치를 검출하면, 닙롤러(25)는 기판(1)의 반송을 정지하고, 후단 유지부재(32)는 필름(12a, 12b)의 선단부에 대한 흡착유지를 해제하여 롤러 유닛(19a, 19b)과 후단 유지부재(32)는 도 6(a)에 점선으로 나타내는 바와 같이 반송로의 하류측으로 후퇴함과 동시에 반송로로부터 멀어진다. When the substrate tip detection sensor 24 detects the leading position of the substrate 1, the nip roller 25 stops the conveyance of the substrate 1, and the rear end holding member 32 is the tip end of the films 12a and 12b. The roller units 19a and 19b and the rear end holding member 32 are retracted to the downstream side of the conveying path and away from the conveying path as indicated by the dotted lines in Fig. 6 (a).

그리고 선단 유지부재(31)는 필름(12a, 12b)을 흡착 유지한 채로 반송로측으로 전진하여 선단부가 압착 롤러(17a)에 대향하도록 한다. And the front end holding member 31 advances to the conveyance path side, holding the films 12a and 12b by adsorption | suction, so that a front end may oppose the crimping roller 17a.

그후, 롤러 유닛(19a, 19b)이 도 6(a)에 실선으로 나타내는 바와 같이 전진하여, 압착 롤러(17a)를 필름(12a, 12b)의 선단부와 대향시킨다. 필름(12a, 12b)의 선단부는 압착 롤러(17a)와 대전장치(23)의 사이에 있고, 대전장치(23)로부터 필름(12a, 12b)의 선단부에 전하를 공급하면, 필름(12a, 12b)의 선단부는 압착 롤러(17a)의 바깥 둘레면에 정전 흡착된다. 이때 압착 롤러(17a)를 회전시키고 있으 면 흡착부에 주름이나 기초가 발생하지 않는다. 한편, 닙롤러(25)는 기판(1)을 필름(12a, 12b)의 부착개시위치까지 하류측으로 약간 반송하여 기판(1)을 정지시킨다. Thereafter, the roller units 19a and 19b are advanced as shown by solid lines in Fig. 6A, and the pressing rollers 17a are opposed to the front ends of the films 12a and 12b. The front ends of the films 12a and 12b are between the pressing roller 17a and the charging device 23, and when electric charge is supplied to the front ends of the films 12a and 12b from the charging device 23, the films 12a and 12b ) Is electrostatically attracted to the outer circumferential surface of the pressing roller 17a. At this time, if the pressing roller 17a is rotated, wrinkles or foundations are not generated in the suction part. On the other hand, the nip roller 25 conveys the board | substrate 1 to the downstream side to the attachment start position of the films 12a and 12b, and stops the board | substrate 1. As shown in FIG.

다음에 도 6(b)와 같이 선단 유지부재(31)에서의 필름(12a, 12b)의 흡착유지를 해제하여 원래의 위치로 되돌아가고, 후단 유지부재(32)는 전진하여 원래의 위치로 되돌아간다. Next, as shown in Fig. 6 (b), the suction holding of the films 12a and 12b in the front end holding member 31 is released and returned to the original position, and the rear end holding member 32 is advanced and returned to the original position. Goes.

또한 압착 롤러(17a)는 회전하여 필름(12a, 12b)의 선단을 기판(1)과 접합 개시위치로 가지고 가서 기판(1)측으로 이동하여 기판(1)과 필름(12a, 12b)의 선단부를 끼워 유지하여 선단부를 기판(1)에 부착한다. Moreover, the crimping roller 17a rotates, the front end of the film 12a, 12b is brought to the joining start position with the board | substrate 1, and it moves to the board | substrate 1 side, and the front end part of the board | substrate 1 and the films 12a, 12b is moved. The tip is attached to the substrate 1 by holding it therein.

그리고 롤러 유닛(19a, 19b)은 회전하여 도 6(c)와 같이 기판(1)에 필름(12a, 12b)를 부착하여 가고, 커터(O)와 마찬가지로 커터(33)가 필름(12a, 12b)을 기판(1)에 부착하고 싶은 길이로 절단한다. 이 경우, 선단 유지부재(31)와 후단 유지부재(32)는 필름(12a, 12b)을 흡착 유지하여, 필름(12a, 12b)의 이동에 맞추어 이동한다. The roller units 19a and 19b rotate to attach the films 12a and 12b to the substrate 1 as shown in Fig. 6 (c), and the cutter 33 is formed of the films 12a and 12b similarly to the cutter O. ) Is cut to the length to be attached to the substrate 1. In this case, the front end holding member 31 and the rear end holding member 32 adsorb and hold the films 12a and 12b and move in accordance with the movement of the films 12a and 12b.

커터(33)가 필름(12a, 12b)을 절단하면, 절단에 의하여 원하는 길이를 가지는 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부는 롤러 유닛(19a, 19b)의 회전으로 인장되고, 후단 유지부재(32) 위를 미끄러져 간다. 한편, 절단된 필름(12a, 12b)의 커터(33)보다 상류측의 부분은 필름 롤(3a, 3b)이나 커버필름 권취롤(13a, 13b)의 구동이 정지하고, 필름(12a, 12b)의 선단부는 다음의 매엽 필름(26a, 26b)의 선단부로서, 선단 가부착부재(31)와 후단 유지부재(32)에 흡착 유지되어 있다. When the cutter 33 cuts the films 12a and 12b, the rear ends of the single-layer films 26a and 26b having a desired length are cut by the rotation of the roller units 19a and 19b by the cutting, and the rear end holding members 32 ) Slide on. On the other hand, the upstream part of the cut | disconnected film 12a, 12b of the cutter 33 drive | operates the film roll 3a, 3b or the cover film winding rolls 13a, 13b, and the film 12a, 12b is stopped. The tip portion of is a tip portion of the next sheet film 26a, 26b, and is adsorbed and held by the tip temporary attaching member 31 and the rear end holding member 32.

도 6(d)에 나타내는 바와 같이 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부가 압착 롤러(17a)에 대향하는 위치가 되면, 다시 대전장치(23)로부터 전하의 공급을 받아 매엽 필름(26a, 26b)의 후단부는 압착 롤러(17a)에 정전 흡착된다. As shown in FIG.6 (d), when the rear end part of the sheet | leaf film 26a, 26b becomes the position which opposes the crimping roller 17a, it will receive supply of electric charge from the charging device 23 again, and it will be the sheet | membrane film 26a, 26b. The rear end of the substrate is electrostatically attracted to the pressing roller 17a.

필름(26a, 26b)의 후단부가 압착 롤러(17a)에 정전 흡착되면 대전장치(23)로부터의 전하공급을 정지하고, 롤러 유닛(19a, 19b)이 다시 회전하여 기판(1)에 필름(26a, 26b)을 후단부까지 부착하고, 하류로 반송하여 도 5에 나타내는 상태가 되고, 이후 이상 설명한 동작을 기판(1)의 반송이 정지할 때 까지 반복한다. When the rear ends of the films 26a and 26b are electrostatically adsorbed by the pressing roller 17a, the supply of charge from the charging device 23 is stopped, and the roller units 19a and 19b are rotated again so that the film 26a is placed on the substrate 1. , 26b) is attached to the rear end, conveyed downstream to the state shown in FIG. 5, and the operation described above is repeated until the conveyance of the substrate 1 stops.

이 실시예에서는 필름의 선단과 후단을 압착 롤러(17a)로 정전 흡착하여 기판(1)에 부착하고 있기 때문에, 기판(1)에는 다른 부재로 접착을 행하는 것에 의한 단차의 발생이나 주름 또는 기포가 발생하는 일이 없다. In this embodiment, since the front end and the rear end of the film are electrostatically adsorbed by the pressing roller 17a to be attached to the substrate 1, the substrate 1 is free of the occurrence of steps, wrinkles or bubbles due to adhesion to other members. Nothing happens.

도 5의 실시예에 의해서도 도 9, 도 10과 같이 기판(1)에 매엽 필름(26a, 26b)을 부착할 수 있다. According to the embodiment of FIG. 5, the sheet films 26a and 26b may be attached to the substrate 1 as in FIGS. 9 and 10.

도 1 또는 도 5에 나타내는 실시예에서 기판(1)의 반송에 맞추어 기판(1)의 중간에서 필름(12a, 12b)의 절단을 행하여, 선단부와 후단부의 접착을 반복하면 도 11에 나타내는 바와 같이 田형으로 매엽으로 필름(26a∼26d)을 부착하고, 2점 쇄선으로 나타내는 위치에서 십(十)자로 기판(1)을 절단하면 4매의 패널을 얻을 수 있다. 또한 기판(1)의 중간에서 필름(12a, 12b)의 2회의 절단과 3회의 부착을 행하면, 6매의 패널을 얻을 수 있다. In the example shown in FIG. 1 or FIG. 5, the films 12a and 12b are cut in the middle of the substrate 1 in accordance with the conveyance of the substrate 1, and the adhesion of the front and rear ends is repeated as shown in FIG. 11. By attaching the films 26a to 26d in sheets in the shape of a sheet, and cutting the substrate 1 crosswise at the positions indicated by the two-dot chain lines, four panels can be obtained. In addition, if two cuts and three sticks of the films 12a and 12b are performed in the middle of the substrate 1, six panels can be obtained.

도 7은 본 발명의 제 3 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체구성을 나타내는 개략도이다. It is a schematic diagram which shows the whole structure of the film sticking apparatus which becomes 3rd Embodiment of this invention.

이 실시예는 도 1, 도 5에서는 2개의 필름 롤(3a, 3b)을 현가하고 있는 것에 대하여 1개의 필름(12)을 기판(1)의 전폭방향으로 부착하는 것이다. In this embodiment, one film 12 is attached in the full width direction of the substrate 1 while the two film rolls 3a and 3b are suspended in FIGS. 1 and 5.

도 5의 실시예와 동일한 것이기 때문에, 필름의 구별을 나타내는 첨자는 생략하였다. Since it is the same as the Example of FIG. 5, the subscript which shows the distinction of a film was abbreviate | omitted.

필름 부착동작은 도 6과 완전히 동일하고, 도 12에 나타내는 바와 같이 매엽 필름(26)을 부착한 기판(1)을 얻을 수 있다. The film attaching operation is exactly the same as in FIG. 6, and as shown in FIG. 12, the substrate 1 to which the sheet film 26 is attached can be obtained.

도 8은, 본 발명의 제 4 실시형태가 되는 필름 부착장치의 전체구성을 나타내는 개략도이다. It is a schematic diagram which shows the whole structure of the film sticking apparatus which becomes 4th Embodiment of this invention.

이 실시예는 도 7의 실시예와 마찬가지로 필름(12a, 12b)을 기판(1)의 상하 각 면에 전폭방향으로 부착하는 것이다. In this embodiment, as in the embodiment of Fig. 7, the films 12a and 12b are attached to the upper and lower surfaces of the substrate 1 in the full width direction.

도 1의 실시예와 동일한 것을 상하로 반전한 형으로 설치하고, 한쪽 2개의 필름의 구별을 나타내는 첨자는 생략하는 대신에, 각 부호에는 상하 각 1개의 필름을 나타내는 바와 같이 반송로보다 윗쪽의 것에는 A의 첨자, 반송로보다 아래쪽의 것에는 B의 첨자를 붙였다. The same thing as the Example of FIG. 1 is installed in the inverted form up and down, and the subscript which shows the distinction of one of two films is abbreviate | omitted, and each code | symbol is shown to the upper side of a conveyance path, as each symbol shows up and down one film. Subscript A, subscript B in the lower part of the return path.

이 실시예에서 도 1에 나타내는 것과 다른 점은, 커터 유닛(22B)을 설치하고 있고, 백업 롤러(18B)로서 압착 롤러(17B)보다 작은 지름의 것을 사용하고 있는 것에 있다. 1 differs from the one shown in FIG. 1 in that the cutter unit 22B is provided, and the backup roller 18B uses a smaller diameter than the pressing roller 17B.

이 실시예에 의하면, 도 13과 같은 기판(1)이 얻어진다. According to this embodiment, the substrate 1 as shown in Fig. 13 is obtained.

또, 기판(1)의 상하 각 측에 대하여 도 1이나 도 5에 나타내는 구성으로 하고, 상하 양면에 도 9, 도 11의 형으로 병렬로 필름을 부착하도록 하여도 좋다. Moreover, you may make it the structure shown in FIG. 1 or FIG. 5 with respect to each upper and lower side of the board | substrate 1, and to make a film adhere in parallel with the mold of FIG. 9, FIG.

이상의 각 실시예에서, 압착 롤러는 흡인에 의하여 필름(12a, 12b)을 흡착하는 것이어도 좋다. 필름의 유지부재는 흡인에 의하여 유지하는 방식의 것 대신에, 정전흡착에 의하여 유지하는 것이어도 좋다. 정전흡착에 의하여 유지하는 것은, 유지종료후에 제전을 하는 수단을 설치하여 두면 좋다. In each of the above embodiments, the pressing roller may adsorb the films 12a and 12b by suction. The holding member of the film may be held by electrostatic suction, instead of being held by suction. In the case of holding by electrostatic adsorption, a means for static elimination after completion of holding may be provided.

이상 설명한 본 발명에 의하면, 백업 롤러와 압착 롤러와 필름의 사이에 공간을 가질 수 있고, 이 공간에 필름의 유지부재를 설치하기 때문에, 광폭의 기판이나 필름이어도 균일한 가압력을 부가하여 필름과 기판을 매엽식으로 부착할 수 있다. According to the present invention described above, a space can be provided between the backup roller, the pressing roller, and the film, and the film holding member is provided in this space. Can be attached by sheet type.

백업 롤러를 폭이 좁은 것으로 하여 강성을 높게 하면, 가압력은 한층 균일화할 뿐만 아니라, 백업 롤러와 압착 롤러와 필름의 사이에 넓은 공간을 가질 수 있어 커터의 설치가 용이해진다. When the backup roller is made narrow and the rigidity is increased, the pressing force is not only uniform, but also a large space can be provided between the backup roller, the pressing roller, and the film, thereby facilitating installation of the cutter.

Claims

The film is attached onto the substrate by moving the strip-shaped film released from the film roll while pressing the pair of pressing rollers together with the substrate with both pressing rollers, and during the attachment, the film is attached to the length of the substrate to a desired length with a cutter. In the film sticking device which cut | disconnects and attaches the film of a desired length to a board | substrate,

The pressing roller on the side that conveys the film attached to the substrate toward the substrate has a backup roller having a diameter smaller than that of the pressing roller, and has a strip shape unwound from the film roll in the space of the film, the pressing roller, and the backup roller conveyed toward the substrate. And a holding member of the film for cutting the film into desired lengths in accordance with the length of the substrate.

The method of claim 1,

The length of the back-up roller in the width direction of a film is shorter than the length of a crimping roller, The film sticking apparatus characterized by the above-mentioned.

The method of claim 1,

The pressing roller is a flat roller, and the backup roller is a crown roller.

The method of claim 1,

The holding member of the film is provided with a cutter.

The method of claim 1,

The holding member of the film is to hold the rear end of the film.

The method of claim 1,

A plurality of film rolls are provided in parallel in the width direction orthogonal to the conveying direction of the substrate, and each of the strip-shaped films taken out from each film roll is cut individually and passes through a pair of compression rollers to the substrate. Film attachment device, characterized in that attached at the same time.

The method of claim 1,

And a charging device for electrostatically adsorbing at least one of the leading end portion and the rear end portion of the film to the pressing roller at the outer circumference of the pressing roller.