KR100753280B1 - 락킹-플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스를 일정압력으로 강하 및 유지시켜 가스사용기기에 공급하는 가스압력조정기에 관한 것으로, 가스를 일정한 압력을 유지하여 공급하는 동시에 기타 이물질이 발생하지 않도록 미연에 방지하여 고 청정을 유지할 수 있도록 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기에 관한 것이며, 이를 위하여 중심상에 조절나사가 돌출구비되어 회전가능하게 설치되는 조절손잡이와, 상기 조절나사와 나사체결되며 몸체의 내측으로 상기 조절나사를 탄력적으로 출몰시키는 가압부재가 구비된 상측 하우징과, 상기 몸체와 나사결합되며 결합면으로 챔버 및 챔버와 연통되게 하측으로 형성되는 수직홈을 가지며 이 수직홈과 연통되는 유로를 갖는 유입구 및 상기 챔버와 연통되는 유로를 갖는 유출구가 형성되는 하측 하우징을 포함하는 가스압력조정기에 있어서, 상기 가압부재의 하부에 사이에 설치되어 압력 상태에 따라 유동되는 것으로 판형의 다이아프램과, 상기 다이아프램의 하부에 위치하는 것으로 중앙에 승강홀이 형성되고 하측으로 상기 승강홀과 연통되는 관 형상의 돌출부를 구비하되 이 돌출부의 양측으로 수평하게 안내홈이 형성된 플레이트, 상기 플레이트의 돌출부 저면에 위치되어 선택적으로 가압 받는 것으로 상기 수직홈의 상부에 구비되는 링 형상의 밸브시트, 상기 밸브시트에 수직하게 관통결합되는 승강축 및 상기 승강축의 일측에 결합되어 선택적으로 유로 개폐하는 테이퍼부로 이루어진 승강밸브, 상기 승강밸브를 탄성지지하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 제공한다.

플레이트, 가압부재, 승강부재, 가스, 가스압력조정기

Description

락킹-플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기{Gas pressure regulator using Locking-Plate Sealing manner}

도 1은 본 발명에 따른 락킹-플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 나타낸 사시도;

도 2는 도 1의 분해사시도;

도 3은 도 1의 A-A선 단면도;

도 4는 유로가 개방된 상태를 나타낸 단면도; 및

도 5는 종래의 가스압력조정기를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호 설명〉

1 : 가스압력조정기 10 : 조절손잡이

12 : 조절나사 20 : 상측 하우징

22 : 몸체 22a : 관통홀

23 : 가압부재 24 : 상부가압판

25, 35 : 테플론 오-링(Teflon O-ring) 26 : 가압스프링

28 : 하부가압판 30 : 하측 하우징

32 : 유입구 34 : 유출구

32a, 34a : 유로 36 : 챔버

38 : 수직홈 40 : 승강부재

42 : 다이아프램 44 : 플레이트

44a : 안내홈 44b: 승강홀

46 : 밸브시트 46a : 유입홈

48 : 승강밸브 48a : 테이퍼부

48b : 승강축 49 : 스프링

본 발명은 가스를 일정압력으로 강하 및 유지시켜 가스사용기기에 공급하는 가스압력조정기에 관한 것으로, 가스를 일정한 정압을 유지하여 공급하는 동시에 기타 이물질이 발생하지 않도록 미연에 방지하여 고 청정을 유지할 수 있도록 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기에 관한 것이다.

일반적으로 가스압력조정기는 공급가스를 가스사용기기에 사용하기 적합한 압력으로 유지 또는 저하시켜 공급하기 위해 사용되는 것이다.

이러한, 종래의 가스압력조정기(100)의 일례를 도면을 참조하여 간략히 설명하면 도 5에 도시된 바와 같이, 회전가능하게 설치되는 것으로 중심상에 조절나사가(112) 돌출구비되는 조절손잡이(110)와,

상기 조절나사(112)와 나사체결되며 몸체(122)의 내측으로 상기 조절나사(112)를 탄력적으로 출몰시키는 가압부재(123)가 구비된 상측 하우징(120)과,

상기 몸체(122)와 나사결합되며 결합면으로 챔버(136) 및 챔버(136)와 연통되게 하측으로 형성되는 수직홈(138)을 가지며 이 수직홈(138)과 연통되는 유로(132a)를 갖는 유입구(132) 및 상기 챔버(136)와 연통되는 유로(134a)를 갖는 유출구(134)가 형성되는 하측 하우징(130)을 포함하되,

유입되는 가스의 압력을 일정하게 조절할 수 있도록 상기 가압부재(123)의 하부에 사이에 설치되어 압력 상태에 따라 유동되는 것으로 원형 판 형상의 다이아프램(142)과 상기 수직홈(138)의 상부에 나사결합되는 것으로 중앙에 유입홈(146a)이 형성된 밸브시트(146)와, 상기 밸브시트(146)에 수직하게 관통결합되는 승강축(148b) 및 상기 승강축(148b)의 일측에 결합되어 선택적으로 유로 개폐하는 테이퍼부(148a)로 이루어진 승강밸브(148)와, 상기 승강밸브(148)를 탄성지지하는 스프링(149) 및 받침부(149')로 이루어진 승강부재(140)를 포함하여 이루어진다.

이와 같이 구성되는 종래의 가스압력조정기(100)는 하측 하우징(130)의 유입구(132)를 통해 유입되는 가스의 압력을 조절할 수 있도록 조절손잡이(110)와 연동되게 상측 하우징(120)의 몸체(122) 내에 설치된 가압부재(123)를 가압하여 승강밸브(148)를 하강시킴으로써, 밸브시트(146)의 유입홈(146a)에 끼움 결합되어 밀폐상태를 유지하던 승강밸브(148)가 하강되어 유로가 개방됨으로써 가스의 압력 및 유입량이 일정한 압력으로 조절되어 유출구(134)를 통해 토출되는 구조이다.

그러나, 이러한 구성을 갖는 종래 가스압력조정기(100)의 승강부재(140)는 밸브시트(146)를 안전하게 고정하기 위하여, 챔버(136)와 연통되게 중앙 하측으로 형성되는 수직홈(138)에 나사산을 형성하고 이 나사산을 이용하여 밸브시트(146)를 견고히 고정하였지만, 수직홈(138)에 나사산을 통해 밸브시트(146)를 결합함에 따라 발생하게 되는 나사 파티클(Particle) 등의 이물질에 의해 가스압력조정기(100)의 내부가 청정하지 못하였으며, 이에 따라 가스압력조정기(100) 내를 경유하는 가스와 혼합되어 토출됨으로써 정밀을 요하는 제품을 생산할 경우 나사 파티클(Particle) 등의 이물질이 제품의 표면에 도포되면서 제품의 불량을 가져왔다.

예를 들면, 반도체 생산공정에서 핵심장비인 CVD 등에는 순도 99.999999 이상의 불소나 염소계열의 가스를 사용하여 세정 등을 하게 되는데, 이때 초순도 가스를 일정한 압력을 유지하도록 공급하는 가스압력조정기는 고 정청을 유지하여야 하는데 전술한 종래의 가스압력조정기를 사용하게 되면, 상술한 바와 같이 나사 파티클(Particle) 등이 가스와 혼합되어 반도체에 도포됨으로서 표면에 이물질이 첨가된 불량 제품이 생산되었고, 이로 인해 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 발생하였다.

또한, 종래의 챔버(136) 상측에 위치되는 다이아프램(142)은 유입구(132)를 통해 유입되는 고압의 가스를 분산시키거나 막아주는 별도의 부재가 없기 때문에 고압의 가스에 직접적으로 영향을 받게 됨에 따라 가스의 흐름이 많으면 많을수록 다이아프램의 움직이는 횟수가 많아지게 되며 이에 따라 누적피로로 인해 쉽게 파손됨으로써 기밀을 유지하지 못하여 가스압력조정기(100) 내의 가스가 외부로 방출되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 가스 및 유체를 일정압력으로 공급할 수 있을 뿐만 아니라, 종래의 수직홈에 밸브시트를 나사 결합함에 따라 발생하였던 나사 파티클(Particle) 등의 이물질에 의해 가스압력조정기의 내부가 오염되지 않도록 함으로써 고 청정상태를 유지할 수 있도록 한 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 가스압력조정기 내부에 유동되는 가스가 외부로 노출되지 않도록 기밀을 유지하기 위해 설치되는 다이아프램이 고압의 가스에 의해 쉽게 파손되지 않도록 한 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 중심상에 조절나사가 돌출구비되어 회전가능하게 설치되는 조절손잡이와, 상기 조절나사와 나사체결되며 몸체의 내측으로 상기 조절나사를 탄력적으로 출몰시키는 가압부재가 구비된 상측 하우징과, 상기 몸체와 나사결합되며 결합면으로 챔버 및 챔버와 연통되게 하측으로 형성되는 수직홈을 가지며 이 수직홈과 연통되는 유로를 갖는 유입구 및 상기 챔버와 연통되는 유로를 갖는 유출구가 형성되는 하측 하우징을 포함하는 가스압력조정기에 있어서, 상기 가압부재의 하부에 사이에 설치되어 압력 상태에 따라 유동되는 것으로 판형의 다이아프램과, 상기 다이아프램의 하부에 위치하는 것으로 중앙에 승강홀이 형성되고 하측으로 상기 승강홀과 연통되는 관 형상의 돌출부를 구비하되 이 돌출부의 양측으로 수평하게 안내홈이 형성된 플레이트, 상기 플레이트의 돌출부 저면에 위치되어 선택적으로 가압 받는 것으로 상기 수직홈의 상부에 구비되는 링 형상 의 밸브시트, 상기 밸브시트에 수직하게 관통결합되는 승강축 및 상기 승강축의 일측에 결합되어 선택적으로 유로 개폐하는 테이퍼부로 이루어진 승강밸브, 상기 승강밸브를 탄성지지하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 제공한다.

또한 본 발명에 있어서, 밸브시트는 외체를 형성하는 케이스와, 상기 케이스의 하측으로 끼움 결합되어 승강밸브의 승ㆍ하강에 따라 선택적으로 유로를 개방 또는 폐쇄하는 테플론(teflon) 링으로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 상기 하측 하우징과 플레이트 사이에 기밀을 유지하기 위한 테플론 오-링(Teflon O-ring)이 설치되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 본 발명에 따른 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기를 나 타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 A-A선 단면도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 가스압력조정기(1)는 크게 나사조절가능하게 설치되는 조절손잡이(10)와, 상기 조절손잡이(10)와 결합되는 상측 하우징(20), 상기 상측 하우징(20)과 결합되며 유입구(32)) 및 유출구(34)를 갖는 하측 하우징(30)으로 구성된다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 조절손잡이(10)는 고무재질로 이루어지며 후술할 상측 하우징(20)의 관통홀(22a)에 나사결합되어 회전가능하게 설치되는 것으로 중심상에 조절나사(12)가 하측으로 돌출 구비된다.

상측 하우징(20)은 상기 조절손잡이(10)의 조절나사(12)와 나사결합되어 후술할 승강부재(40)에 승강력을 제공하기 위한 것으로 상면에 관통홀(22a)이 형성되고 하면이 개방된 몸체(22)와, 상기 몸체(22)의 관통홀(22a)을 통해 몸체(22)의 내측으로 삽입 결합된 조절나사(12)의 끝단에 구비되는 원형의 상부가압판(24)과, 상기 상부가압판(24)을 탄성지지하는 가압스프링(26) 및 가압스프링(26)의 하부에 위치하여 후술할 승강부재(40)를 가압하는 하부가압판(28)으로 이루어진 가압부재(23)로 구성된다.

즉, 상측 하우징(20)은 상면에 형성된 관통홀(22a)을 통해 결합되는 조절나사(12)의 상승 또는 하강에 따라 조절나사(12)의 끝단에 구비된 상부가압판(24)이 상승 또는 하강하게 되는 것이며, 이에 따라 상부가압판(24)을 탄성지지하고 있는 가압스프링(26)이 압축 또는 해제됨으로써 가압스프링(26)을 지지하고 있는 하부가압판(28)에 압력이 가해져 상승 또는 하강하게 된다.

여기서, 조절나사(12)의 하강에 따라 후술할 승강부재(40)를 가압하게 되는 하부가압판(28)의 외주면에는 결합홈(28a) 및 이 결합홈(28a)에 결합되어 몸체(22)의 내주면과의 사이 간격을 기밀하게 하기 위한 테플론 오-링(Teflon O-ring)(25)이 설치된다.

하측 하우징(30)은 상기 상측 하우징(20)의 몸체(22)와 나사결합되는 것으로, 상측 하우징(20)과 결합되는 결합면으로 챔버(36)가 형성되며 이 챔버(36)와 연통되도록 중앙 하측으로 수직홈(38)이 형성된다. 그리고, 일측으로 상기 수직홈(38)과 연통되는 유로(32a)를 갖는 유입구(32)가 형성되며 타측으로 상기 챔버(36)와 연통되는 유로(34a)를 갖는 유출구(34)가 형성된다.

즉, 하측 하우징(30) 양측으로 가스가 유입되는 유입구(32) 및 유입된 가스가 일정한 압력으로 토출되는 유출구(34)가 유로(32a, 34a)를 통해 연통되게 형성되며, 상측 하우징(20)의 몸체(22)와 나사결합되는 결합면에 소정의 공간을 갖는 챔버(36)가 형성되는 구조이다. 이때, 챔버(36)와 연결되는 유입구(32)의 유로(32a)상에는 챔버(36)와 연통 되도록 중앙 하측으로 수직홈(38)을 형성하여 후술할 승강부재(40)가 설치될 수 있도록 형성된다.

본 발명에 따른 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기(1)는 상기 챔버(36)가 형성되는 하측 하우징(30)에 설치되어 가스의 압력을 일정하게 유지하도록 하는 동시에 기타 불순물이 가스와 혼합되지 않도록 하여 고 청정을 유지할 수 있도록 한 승강부재(40)를 부가 구성하는 것에 그 특징이 있다.

승강부재(40)는 크게 기밀을 유지하기 위한 다이아프램(42)과, 상기 다이아프램(42)의 하부에 위치하며 상기 챔버(36)의 상면을 커버하는 플레이트(44)와, 상기 플레이트(44)의 저면과 접촉하며 상기 수직홈(38)의 상부에 안착되는 밸브시트(46)와, 상기 밸브시트(46)와 결합되어 가스의 압력을 조절하는 승강밸브(48)와, 상기 승강밸브(48)를 탄성지지하는 스프링(49)으로 구성된다.

다이아프램(42)은 상기 상측 하우징(20)의 몸체(22)와 결합되는 하측 하우징(30) 사이에 구비되는 것으로 유입되는 가스가 외부로 유출되지 못하도록 기밀을 유지하는 한편, 가압부재(23)에 의해 가압되는 압력상태에 따라 능동적으로 유동할 수 있는 금속판으로 이루어져 승강밸브(48)를 축방향으로 가압할 수 있도록 한다.

플레이트(44)는 다이아프램(42)의 하부에 위치하며 챔버(36)의 상면을 커버하는 것으로 상기 하측 하우징(20)의 최상단에 안착될 수 있도록 내측으로 단차지게 형성되는 단차부를 가지며 중앙 하부에 상기 밸브시트(46)를 선택적으로 가압할 수 있는 관 형상의 돌출부가 형성된다. 또한 이 돌출부의 양 측면에는 유입구(32)를 통해 유입되는 가스를 유출구(34)로 안내할 수 있는 안내홈(44a)이 형성된다. 여기서, 상기 안내홈(44a)은 필요에 따라 전ㆍ후ㆍ좌ㆍ우 사방으로 형성할 수도 있 으나, 본 발명에서는 돌출부의 좌ㆍ우 측면을 수평하게 관통하는 안내홈(44a)을 형성하기로 한다.

또한, 플레이트(44)의 중앙에는 후술할 승강밸브(48)의 승강축(48b)이 수직방향으로 이동 가능하도록 하는 승강홀(44b)이 형성되며, 플레이트(44)의 내측으로 단차지게 형성되는 단차부에는 하측 하우징(30)과 결합시 외부로 가스가 누출되지 않도록 열에 강한 테플론 오-링(Teflon O-ring)(45)이 구비된다.

밸브시트(46)는 하측 하우징(30)의 챔버(36)와 연통되게 중앙 하측으로 형성되는 수직홈(38)의 상면에 구비되어 상측의 플레이트(44)에 의해 선택적으로 가압받는 것으로 유입되는 가스가 유동될 수 있도록 중앙을 관통하는 유입홈(46a)이 형성된다.

여기서, 밸브시트(46)는 링 형상이며, 상기 밸브시트(46)가 안착되는 하측 하우징(30)의 수직홈 상부는 밸브시트(46)가 안착되었을 경우 밸브시트(46)의 상면이 챔버(36)의 저면과 동일한 면을 이루도록 하부로 단차지게 형성되는 것이 바람직하다.

이러한, 밸브시트(46)는 외체를 형성하는 케이스와, 후술할 승강밸브(48)의 테이퍼부(48a)와 끼움결합되어 유로를 개방 또는 폐쇄하는 것으로 케이스의 하측으로 끼움 결합되는 고무 재질의 링으로 이루어진다. 여기서 케이스의 하측으로 끼움결합되는 링은 열에 강하며 승강밸브(48)와 결합시 기밀하게 결합될 수 있도록 테플론(Teflon) 재질로 형성되는 바람직하다.

승강밸브(48)는 실질적으로 가스의 압력을 조절하는 것으로 밸브시트(46)의 유입홈(46a)에 끼움결합되어 유입홈(46a)을 밀봉 또는 개폐할 수 있도록 유입홈(46a)에 수직으로 관통되게 결합되는 승강축과, 승강축상의 일측에 유입홈(46a)에 대해 점차 확대되는 외경을 갖는 테이퍼부(48a)가 일체로 형성된다.

이때, 테이퍼부(48a)의 상측에 위치하는 승강축(48b)은 상기 시트(46)의 유입홈(46a)을 관통하여 플레이트(44)에 형성된 승강홀(44b)에 축방향으로 이동가능하게 결합되고, 하측에 형성되는 승강축(48b)에는 승강밸브(48)의 복원력을 제공할 수 있도록 스프링(49)이 끼움결합되는 구조이다.

따라서, 이와 같이 구성되는 승강부재(40)는 조절손잡이(10)의 회전에 따라 출몰되는 조절나사(12)가 가압부재(23)를 가압하고, 이에 따라 가압부재(23)의 하부가압판(28)이 밸브시트(46)의 유입홈(46a)에 밀착 끼움된 승강밸브(48)를 가압하여 하강시킴으로서 유로가 개방되는 것이다.

즉, 종래의 승강부재(140)는 밸브시트(146)를 안전하게 고정하기 위하여 챔버와 연통되게 중앙 하부에 나사산을 형성하고 이 나사산을 이용하여 밸브시트(146)를 고정 결합함으로써, 가스압력조정기(100) 내에 나사 파티클이 생성되었지만, 상술한 구성을 갖는 본원 발명의 승강부재(40)는 나사 파티클(Particle) 등의 이물질을 미연에 방지할 수 있도록 밸브시트(46)를 가압하여 고정하는 플레이트(44)를 상측에 설치함으로써, 나사 파티클(Particle) 등의 이물질 생성의 주된 요인을 사전에 제거하므로 고 청정을 유지할 수 있게 되고 이에 따라 고순도를 요하는 반도체 생산라인에 사용되어도 가스의 청정도와 순도에 영향을 주지 않아 제품의 신뢰도를 높일 수 있게 된다.

또한, 본원 발명은 기밀을 유지하기 위해 설치되는 다이아프램(42)이 플레이트(44)의 상측에 위치하도록 하여 가스가 유입됨에 따라 챔버(36) 내에 증가하는 압력을 일정하고 고르게 가스압력을 분산시킴으로써, 종래의 챔버 상측에 위치되어 유입되는 압력에 직접적으로 집중되게 받게 되어 발생하였던 다이아프램의 파손을 방지할 수 있게 된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

도 4는 승강부재가 하강하여 유로가 개폐되는 상태를 나타낸 단면도이다.

먼저, 가스사용기기에 가스를 공급하지 않을 때에는 조절손잡이(10)를 회전시켜 가압부재(23)에 압력을 가하지 않도록 함으로써 승강밸브(48)가 스프링(49)에 의해 상승하여 시트(46)의 유입홈(46a)에 밀착 끼움된 상태를 유지하게 된다.

이후, 가스사용기기에 가스를 공급할 경우에는 조절손잡이(10)를 회전시켜 조절나사(12)가 하강하도록 함으로써 조절나사(12)의 일측 끝단에 구비된 상부가압판(24)이 하강하여 가압스프링(26)을 압축시키게 된다.

이어서 가압스프링(26)에 일정 압력이 가해지게 되면 가압스프링(26)의 탄성력에 의해 하부가압판(28)이 하강하여 다이아프램(42)을 가압하게 되고, 이에 따라 다이아프램(42)의 저면에 접촉된 승강밸브(48)의 승강축(48b)을 누르게 된다.

따라서 밸브시트(46)에 형성된 유입홈(46a)에 끼움결합되어 밀폐상태를 유지하던 테이퍼부(48a)가 하강하게 되어 유로를 개방함으로써 가스가 일정한 압력으로 밸브시트(46)의 유입홈(46a)을 통해 플레이트(44)의 안내홈(44a)을 거쳐 유출구(34)로 토출되게 된다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조로 본 발명의 락킹 플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기에 대하여 설명하였지만 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 수정, 변경 및 다양한 변형실시예가 가능함은 당업자에게 명백하다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기는 유입구를 통해 유입되는 가스의 불규칙한 압력을 안정화시켜 공급할 수 있게 함으로써, 고압력의 가스유입을 미연에 차단시킬 수 있는 동시에 기밀성을 유지하여 사용자의 불안감을 해소하였다.

또한 밸브시트를 고정시키기 위해 나사산을 이용하여 결합하던 종래의 방법을 본원 발명은 플레이트를 이용하여 밸브시트를 가압하여 고정시킴으로써, 기존에 발생하였던 나사 파티클(Particle) 등의 이물질 발생을 미연에 방지하여 가스압력조정기 내를 고 청정상태를 유지하도록 함으로써 초정밀 부품생산시에 필요한 가스를 공급할 경우에도 가스에 불순물이 함침되지 않아 불량품을 줄임으로써 제품의 신뢰성과 안정성을 갖게 하는 등의 매우 유용한 발명이다.

아울러, 다이아프램에 직접적으로 가해지는 가스압력을 일정하고 고르게 분산시켜 주는 동시에 다이아프램의 하부에 위치한 플레이트가 고압으로 유입되는 가스의 압력을 일차적으로 막아주는 역할을 수행하기 때문에 다이아프램이 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (3)

1. 중심상에 조절나사가 돌출구비되어 회전가능하게 설치되는 조절손잡이와, 상기 조절나사와 나사체결되며 몸체의 내측으로 상기 조절나사를 탄력적으로 출몰시키는 가압부재가 구비된 상측 하우징과, 상기 몸체와 나사결합되며 결합면으로 챔버 및 챔버와 연통되게 하측으로 형성되는 수직홈을 가지며 이 수직홈과 연통되는 유로를 갖는 유입구 및 상기 챔버와 연통되는 유로를 갖는 유출구가 형성되는 하측 하우징을 포함하는 가스압력조정기에 있어서,

   상기 가압부재의 하부에 사이에 설치되어 압력 상태에 따라 유동되는 것으로 판형의 다이아프램;

   상기 다이아프램의 하부에 위치하는 것으로 중앙에 승강홀이 형성되고, 하측으로 상기 승강홀과 연통되는 관 형상의 돌출부를 구비하며 이 돌출부의 양측으로 수평하게 안내홈이 형성된 플레이트;

   상기 플레이트의 돌출부 저면에 위치되어 선택적으로 가압 받는 것으로 상기 수직홈의 상부에 구비되는 링 형상의 밸브시트;

   상기 밸브시트에 수직하게 관통결합되는 승강축 및 상기 승강축의 일측에 결합되어 선택적으로 유로 개폐하는 테이퍼부로 이루어진 승강밸브; 및

   상기 승강밸브를 탄성지지하는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기.
2. 제1항에 있어서, 상기 밸브시트는 외체를 형성하는 케이스와, 상기 케이스의 하측으로 끼움 결합되어 승강밸브의 승ㆍ하강에 따라 선택적으로 유로를 개방 또는 폐쇄하는 테플론 링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기.
3. 제1항에 있어서, 상기 하측 하우징과 플레이트 사이에 기밀을 유지하기 위한 테플론 오-링(Teflon O-ring)이 설치되는 것을 특징으로 하는 락킹플레이트 씰 방식을 이용한 가스압력조정기.

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