KR100752938B1 - Contact type probe used a ball - Google Patents

Contact type probe used a ball Download PDF

Info

Publication number
KR100752938B1
KR100752938B1 KR1020060073520A KR20060073520A KR100752938B1 KR 100752938 B1 KR100752938 B1 KR 100752938B1 KR 1020060073520 A KR1020060073520 A KR 1020060073520A KR 20060073520 A KR20060073520 A KR 20060073520A KR 100752938 B1 KR100752938 B1 KR 100752938B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support member
steel ball
ball
steel
steel balls
Prior art date
Application number
KR1020060073520A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
은탁
박종인
Original Assignee
마이크로 인스펙션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마이크로 인스펙션 주식회사 filed Critical 마이크로 인스펙션 주식회사
Priority to KR1020060073520A priority Critical patent/KR100752938B1/en
Priority to TW096125193A priority patent/TW200811452A/en
Priority to JP2007189592A priority patent/JP4584961B2/en
Priority to CN200710137691XA priority patent/CN101118271B/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100752938B1 publication Critical patent/KR100752938B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733Geometry aspects
    • G01R1/06738Geometry aspects related to tip portion
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

A contact type probe is provided to rotate easily a smaller ball contacting with a larger ball even with a small power. A third steel ball(53) is electrically connected with one out of first and second steel balls(51,52) due to a magnetic force. A first support member(41) and a second support member(42) are used for connecting electrically the first or second steel balls with each other as well as fixing the first and second steel balls. A spacing member(70) is used for spacing the first to third steel balls apart from each other by spacing the first and second support members apart from each other. A magnet(60) is used for magnetizing the first and second steel balls. The diameter of the third steel ball is larger than those of the first and second steel balls.

Description

볼을 이용한 접촉식 프로브{CONTACT TYPE PROBE USED A BALL}Contact probe with ball {CONTACT TYPE PROBE USED A BALL}

도 1은 일반적인 핀 프로브 블록을 나타낸 도면이다. 1 is a diagram illustrating a general pin probe block.

도 2는 본 발명에 의한 볼을 이용한 접촉식 프로브의 사용 상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 측면도이다. Figure 2 is a perspective view showing the state of use of the contact probe using the ball according to the present invention, Figure 3 is a side view.

도 4는 본 발명의 실시예에 의한 볼을 이용한 접촉식 프로브를 나타낸 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing a contact probe using a ball according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 의한 볼을 이용한 접촉식 프로브를 나타낸 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a touch probe using a ball according to another embodiment of the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -   -Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

10 : 회로기판 15 : 패턴전극10: circuit board 15: pattern electrode

20 : 프로브 블록 30 : 핀 프로브20: probe block 30: pin probe

40 : 볼을 이용한 접촉식 프로브40: contact probe using a ball

41 : 제 1지지부재 42 : 제 2지지부재41: first support member 42: second support member

45 : 함몰부 50 : 이송수단45: depression 50: transfer means

51 : 제 1강구 52 : 제 2강구51: first steel ball 52: second steel ball

53 : 제 3강구 60 : 자석53: third steel ball 60: magnet

70 : 이격수단70: separation means

본 발명은 볼을 이용한 접촉식 프로브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 두 개의 작은 강구 사이에서 자력에 의해 어느 일측과 붙어 있도록 한 큰 강구를 탐침자로 사용하여 작은 강구와 점접촉으로 연결되어 상하 자유변위가 가능하며 작은 힘으로도 쉽게 회전이 가능하도록 하여 패턴전극을 스캔하면서 단선 및 단락을 검사하기 위한 볼을 이용한 접촉식 프로브에 관한 것이다. The present invention relates to a contact probe using a ball, and more particularly, using a large steel ball, which is attached to one side by magnetic force between two small steel balls, as a probe, connected to a small steel ball in point contact with the vertical displacement. The present invention relates to a contact probe using a ball for inspecting disconnection and short circuit while scanning a pattern electrode by enabling a rotation with a small force.

현재 사용되고 있는 화상표시소자로는 음극선관(CRT)과 평판 표시소자인 액정표시소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 있다. Currently used image display devices include a cathode ray tube (CRT), a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and the like, which are flat panel display devices.

위의 화상표시소자 중 음극선관은 화질 및 밝기의 측면에서 다른 소자에 비해 월등히 우수한 성능을 갖고 있다. 그러나, 부피가 크고 무겁기 때문에 대형 스크린을 필요로 하는 용도로는 적합하지 않다는 단점이 있다. Among the image display devices, the cathode ray tube has superior performance to other devices in terms of image quality and brightness. However, there are disadvantages in that they are not suitable for applications requiring a large screen because they are bulky and heavy.

반면에, 평판 표시소자는 음극선관에 비해 부피와 무게가 매우 작다는 장점이 있어 그 용도가 점차로 확대되고 있는 추세이며, 차세대용 표시소자로서 그에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. On the other hand, the flat panel display device has an advantage that the volume and weight is very small compared to the cathode ray tube, and its use is gradually increasing, and research on the display device as a next generation display device is being actively conducted.

일반적으로 PDP(Plasma Display Panel)는 상판 글라스와 하판 글라스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 말하는 것이다. In general, PDP (Plasma Display Panel) is neon by putting a gas such as Ne + Ar, Ne + Xe between the upper glass and the lower glass and the glass sealed by the partition between them It refers to an electronic display device that emits light to use as display light.

따라서 플라즈마 디스플레이는 마주보는 상판 글라스와 하판 글라스의 세로 패턴전극과 가로 패턴전극 사이에 구성 교차점을 방전셀로 형성하여 방전을 온오프함으로써 갖가지 문자나 패턴을 표시한다. Accordingly, the plasma display displays various letters or patterns by forming a discharge point between discharge cells between the vertical pattern electrodes and the horizontal pattern electrodes of the upper and lower glass plates facing each other.

따라서 PDP는 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하기 때문에 FA(공장자동화)용으로 많이 사용되었으나 현재는 표시장치의 소형 경량화, 고성능화와 함께 퍼스널 컴퓨터 등 OA(사무자동화) 등으로 많이 활용하고 있으며 대형 표시장치 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르기 때문에 벽걸이TV로 채용되면서 수요가 급증하고 있다. Therefore, PDP has been widely used for FA (factory automation) because it is possible to display large size with clear light emission, but now it is widely used for OA (office automation) such as personal computer with small size, light weight and high performance of display device. As the panel is not only high in display quality but also fast in response, demand is increasing rapidly as it is adopted as a wall-mounted TV.

또한, 액정은 취급이 용이하고 외부 전계인가 여부에 의해 결정의 배열이 변화되는 고유의 특성이 있기 때문에 액정을 이용하는 표시소자, 예를 들어 FLCD(Ferroelectric Liquid Crystal Device), TN(Twisted Nematic)-LCD, STN(Super Twisted Nematic)-LCD, TFT(Thin Film Transistor)-LCD, 플라스틱 (Plastic)-LCD, EL(Electro Luminescence ; 전계발광소자) 등에서 널리 사용되고 있다. In addition, since liquid crystals are easy to handle and have inherent characteristics in which the arrangement of crystals changes depending on whether or not an external electric field is present, display elements using liquid crystals, for example, ferroelectric liquid crystal devices (FLCDs) and twisted nematic (TN) -LCDs. , STN (Super Twisted Nematic) -LCD, Thin Film Transistor (TFT) -LCD, Plastic (LCD), Electro Luminescence (EL).

일반적으로 이러한 평판 디스플레이 패널을 구동하기 위한 구동 드라이버 IC들은 COG(Chip on Glass) 형태로 직접 장착되거나 FPC (Flexible PCB)나 TS(Tape Substrate)에 미리 조립된 TCP(Tape Carrier Package)형태로 패널에 장착되게 된다.In general, driving driver ICs for driving such flat panel display panels are directly mounted in a chip on glass (COG) form or a tape carrier package (TCP) pre-assembled in a flexible PCB (FPC) or tape substrate (TS). To be mounted.

현재, 42인치 PDP의 경우 패턴전극 하나의 선폭과 피치(pitch)가 각각 50㎛ 및 300㎛에 이르고 있고, TFT-LCD 패널의 패턴전극 피치도 70㎛ 정도에 이르고 있어 대형화에 따라 이에 대응하여 구동 IC를 탑재한 회로기판의 패턴전극들도 미세화 되어 가고 있으며 다핀화 되어 가고 있다. In the case of 42-inch PDP, the line width and pitch of one pattern electrode reaches 50 µm and 300 µm, respectively, and the pattern electrode pitch of TFT-LCD panel reaches 70 µm. Pattern electrodes on circuit boards with ICs are also becoming smaller and more multi-pinned.

위와 같이 패널에 형성된 패턴전극이나 TS 회로기판에 형성된 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 다수개의 핀 프로브(30)를 배열시켜 프로브 블록(20)을 형성하여 패턴전극(15)에 가압 접촉시킨 후 신호발생기(미도시)로부터 발생시킨 신호를 패턴전극(15)의 한쪽에서 신호를 전송한 후 다른 쪽에서 측정하여 단선 및 단락을 검사한다. In order to inspect the disconnection and the short circuit of the pattern electrode formed on the panel or the pattern electrode formed on the TS circuit board as shown in FIG. 1, a plurality of pin probes 30 are arranged to form the probe block 20 to form the pattern electrode. The signal generated from the signal generator (not shown) after the pressure contact with (15) is transmitted from one side of the pattern electrode 15 and then measured from the other side to check for disconnection and short circuit.

그러나 위와 같이 핀 프로브에 의한 패턴전극의 검사방식은 다음과 같은 문제점이 있다. However, the inspection method of the pattern electrode by the pin probe as described above has the following problems.

첫째, 핀 프로브는 반복적인 접촉 작업에 의해 핀 프로브의 접촉다리가 변형을 일으켜 접촉 불량이 발생하는 문제점이 있다. First, the pin probe has a problem in that contact failure of the pin probe causes deformation due to repetitive contact operation.

둘째, 이러한 문제점을 해결하기 위해 고해상력의 협소한 전극의 접촉면에 대응하도록 핀 프로브의 직경을 현재보다 아주 작은 것을 사용할 경우 핀 프로브의 강성문제로 굽힘 모멘트에 취약하여 와이어에 굽힘 변형이 생겨 전극의 접촉면에 접촉 불량이 발생하는 문제점이 있다. Second, in order to solve this problem, if the diameter of the pin probe is smaller than the current to correspond to the contact surface of the narrow electrode of high resolution, it is vulnerable to the bending moment due to the rigidity of the pin probe, causing bending deformation in the wire. There is a problem that a poor contact occurs on the contact surface.

셋째, 핀 프로브에 의한 검사방식은 핀 프로브와 패턴전극과의 가압접촉 방식이기 때문에 고가이면서도 내구성이 없는 핀 프로브가 가압 접촉시 쉽게 손상될 뿐만 아니라 교체에 따른 많은 비용이 소요되는 문제점이 있다. Third, the inspection method by the pin probe is a pressure contact method between the pin probe and the pattern electrode, there is a problem that expensive and durable pin probe is not only easily damaged during pressure contact but also takes a lot of cost due to replacement.

넷째, 제품모델이나 설계가 변경되어 패턴전극의 위치 및 피치 등이 바뀌게 될 경우 핀 프로브의 위치 및 피치가 고정되어 있기 때문에 이와 연관된 기구부를 모두 교체해야 하는 문제점으로 모델이나 설계변경에 대한 대응성이 없어 범용적으로 사용할 수 없는 문제점이 있다. Fourth, if the position and pitch of the pattern electrode are changed due to the change in product model or design, the position and pitch of the pin probe are fixed. There is a problem that can not be used universally.

다섯째, 핀 프로브를 패턴전극에 가압 접촉시켜야 하기 때문에 접촉에 따른 스크래치(scratch)로 인하여 패턴전극의 손상으로 인한 또 다른 불량요인이 발생되는 문제점이 있다.Fifth, there is a problem that another defective factor is generated due to damage of the pattern electrode due to the scratch (scratch) caused by the contact because the pin probe must be in pressure contact with the pattern electrode.

한편, 이러한 핀 프로브의 문제점을 해결한 구름방식의 디스크 휠 타입의 프로브의 경우에도 디스크 휠을 회전시킬 때 발생되는 마찰을 감소시키기 위해 볼베어링을 사용하기 때문에 일정 크기 이하의 프로브 제작이 어려운 문제점이 있다. On the other hand, even in the case of rolling disk wheel type probe that solves the problem of the pin probe, it is difficult to produce a probe of a certain size or less because the ball bearing is used to reduce the friction generated when the disk wheel is rotated. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 두 개의 작은 강구 사이에서 자력에 의해 어느 일측과 붙어 있도록 한 큰 강구를 탐침자로 사용하여 작은 강구와 점접촉으로 연결되어 상하 자유변위가 가능하며 작은 힘으로도 쉽게 회전이 가능하도록 하여 패턴전극을 스캔하면서 단선 및 단락을 검사하기 위한 볼을 이용한 접촉식 프로브를 제공함에 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to use a large steel ball to be attached to one side by a magnetic force between two small steel balls as a probe is connected in small contact with the small ball The present invention provides a contact probe using a ball for inspecting disconnection and short circuit while scanning a pattern electrode by enabling free up and down displacement and easily rotating with a small force.

상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 제 1강구와 제 2강구 사이에서 자력에 의해 어느 한 강구와 접촉되어 전기적으로 연결되는 제 3강구와, 제 1강구와 제 2강구를 고정시킬 뿐만 아니라 제 1강구나 제 2강구를 전기적으로 연결시키기 위한 제 1지지부재 및 제 2지지부재와, 제 1내지 제 3강구의 간격이 유지될 수 있도록 제 1지지부재 및 제 2지지부재를 일정한 간격이 유지되도록 이격시키는 이격수단과, 제 1내지 제 2강구를 자화시키기 위한 자석으로 이루어지는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention not only fixes the third steel ball and the first steel ball and the second steel ball which are electrically connected to any one steel ball by magnetic force between the first steel ball and the second steel ball. The first support member and the second support member for electrically connecting the first or second steel ball, and the first support member and the second support member so that the distance between the first and third steel balls can be maintained at regular intervals. It is characterized by consisting of a separation means for spaced to be maintained, and a magnet for magnetizing the first to second steel balls.

본 발명에서 제 3강구의 직경은 제 1내지 제 2강구의 직경보다 큰 것을 특징으로 한다. In the present invention, the diameter of the third steel ball is larger than the diameter of the first to second steel ball.

본 발명에서 이격수단은 제 1지지부재 및 제 2지지부재 사이에 형성되는 것을 특징으로 한다. Spacer means in the present invention is characterized in that formed between the first support member and the second support member.

본 발명에서 제 1지지부재 및 제 2지지부재는 자성체인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the first support member and the second support member is characterized in that the magnetic body.

본 발명에서 자석은 제 1지지부재 및 제 2지지부재 사이에 형성되는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the magnet is formed between the first support member and the second support member.

본 발명에서 제 1강구 및 제 2강구는 제 1지지부재 및 제 2지지부재에 각각 매립되어 고정되는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the first steel ball and the second steel ball are characterized in that each of the first support member and the second support member is embedded and fixed.

본 발명에서 제 1내지 제 3강구의 중심선이 일직선상에 위치하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the center line of the first to the third steel ball is characterized in that located in a straight line.

본 발명은 제 1지지부재 및 제 2지지부재를 통해 전기적으로 인터페이스 되는 것을 특징으로 한다. The present invention is characterized in that it is electrically interfaced through the first support member and the second support member.

또한, 본 발명에 의한 볼을 이용한 접촉식 프로브는 하부 측면에 함몰부가 형성되어 대향되도록 설치된 제 1지지부재 및 제 2지지부재와, 함몰부에 각각 매립된 제 1강구 및 제 2강구와, 제 1강구 및 제 2강구 사이의 중심선 상에 중심선이 위치하도록 위치하며 제 1지지부재 및 제 2지지부재의 하부로 돌출되도록 위치하는 제 3강구와, 제 1지지부재 및 제 2지지부재 사이에 위치하여 자력을 인가할 뿐만 아니라 제 1내지 제 3강구의 거리를 유지시키기 위한 자석으로 이루어진 것을 특징으로 한다. In addition, the contact probe using the ball according to the present invention, the first support member and the second support member is formed so that the depression is formed on the lower side facing the opposite, the first steel ball and the second steel ball embedded in the depression, respectively, Located between the first support member and the second support member, the third steel ball is positioned so that the center line is located on the center line between the first steel ball and the second steel ball and protrudes downward from the first support member and the second support member. It is characterized by consisting of a magnet not only to apply a magnetic force but also to maintain the distance of the first to third steel balls.

본 발명에서 제 1지지부재 및 제 2지지부재는 자성체인 것을 특징으로 한다. In the present invention, the first support member and the second support member is characterized in that the magnetic body.

본 발명에서 제 3강구의 직경은 제 1내지 제 2강구의 직경보다 큰 것을 특징으로 한다. In the present invention, the diameter of the third steel ball is larger than the diameter of the first to second steel ball.

본 발명은 제 1지지부재 및 제 2지지부재를 통해 전기적으로 인터페이스 되는 것을 특징으로 한다. The present invention is characterized in that it is electrically interfaced through the first support member and the second support member.

이와 같이 이루어진 본 발명은 제 1내지 제 2강구 사이에 위치한 제 3강구가 자력에 의해 제 1 내지 제 2강구 사이를 벗어나지 않으면서 제 1내지 제 2강구 중 어느 한쪽의 강구를 기준으로 상하의 자유로운 변위 자유도를 갖을 뿐만 아니라 작은 접촉저항으로 미끄러짐 없이 패턴전극과 점접촉되어 회전할 수 있으며, 강구의 직경을 줄임으로써 미세한 피치의 패턴전극에도 대응될 수 있게 된다. According to the present invention, the third steel ball located between the first and second steel balls is freely displaced up and down with respect to any one of the first and second steel balls without departing from the first to second steel balls by magnetic force. Not only has freedom, but also a small contact resistance can be rotated in contact with the pattern electrode without slipping, and by reducing the diameter of the steel ball it can also correspond to the pattern electrode of a fine pitch.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 당 분야에서 통 상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, and the same parts as in the prior art use the same reference numerals and names. In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only and those skilled in the art will be capable of many modifications within the technical spirit of the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 볼을 이용한 접촉식 프로브의 사용 상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 측면도이다. Figure 2 is a perspective view showing the state of use of the contact probe using the ball according to the present invention, Figure 3 is a side view.

여기에 도시된 바와 같이 볼을 이용한 접촉식 프로브(40)는 패턴전극(15)의 단선 및 단락 검사장치(미도시)의 이송수단(50)과 체결되어 패턴전극(15)과 볼(53)을 접촉시켜 패턴전극(15)의 수직방향으로 이동함에 따라 볼(53)이 회전하면서 패턴전극(15)과 구름접촉되면서 단선 및 단락을 검사하게 된다. As shown here, the contact probe 40 using the ball is fastened with the transfer means 50 of the disconnection and short-circuit inspection device (not shown) of the pattern electrode 15 to form the pattern electrode 15 and the ball 53. As the ball 53 rotates in contact with the pattern electrode 15 as it moves in the vertical direction of the pattern electrode 15, the disconnection and short circuit are inspected.

도 4는 도 3에 도시된 볼을 이용한 접촉식 프로브(40)의 A-A 선 단면도이다. 4 is a cross-sectional view taken along line A-A of the contact probe 40 using the ball shown in FIG.

여기에 도시된 바와 같이 하부 측면에 함몰부(45)가 형성되어 대향되도록 설치된 자성체인 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)와, 함몰부(45)에 각각 매립된 제 1강구(51) 및 제 2강구(52)와, 제 1강구(51) 및 제 2강구(52) 사이의 중심선 상에 중심선이 위치하도록 위치하며 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)의 하부로 돌출되도록 제 1내지 제 2강구(51)(52)의 직경보다 큰 직경을 갖는 제 3강구(53)가 설치된다. As shown here, the depression 45 is formed on the lower side of the first support member 41 and the second support member 42, which are magnetic bodies installed to face each other, and the first embedded in the depression 45, respectively. The first support member 41 and the second support member are positioned such that the center line is positioned on the center line between the steel balls 51 and the second steel balls 52 and the first steel balls 51 and the second steel balls 52. A third steel ball 53 having a diameter larger than the diameter of the first to second steel balls 51 and 52 is provided to protrude downward from the 42.

또한, 제 1지지부재(41)와 제 2지지부재(42) 사이에 위치하여 제 1내지 제 3강구(51~53)의 거리를 유지시키기 위한 이격수단으로 사용될 뿐만 아니라 제 1내지 제 2강구(51)(52)를 자화시키기 위한 자석(60)이 설치된다. In addition, it is located between the first support member 41 and the second support member 42 is used as the separation means for maintaining the distance of the first to third steel balls (51 to 53) as well as the first to second steel balls Magnets 60 for magnetizing the 51 and 52 are provided.

다른 방법으로써 도 5에 도시한 바와 같이 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42) 사이에 이격수단(70)을 구비하고 제 1내지 제 2강구(51)(52)를 자화시키기 위한 자석(60)이 이격수단(70) 사이에서 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42) 내측에 접촉되어 설치할 수도 있다. Alternatively, as shown in FIG. 5, the spacer 70 is provided between the first support member 41 and the second support member 42 to magnetize the first to second steel balls 51 and 52. The magnet 60 for contact may be installed in contact with the first support member 41 and the second support member 42 between the separation means 70.

이때 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)와 자석(60)은 자력에 의해 고정되지만 외력에 의해 밀리는 것을 방지하기 위해 자석(60)과 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)를 접착제를 사용하여 고정시킬 수도 있다. At this time, the first support member 41, the second support member 42, and the magnet 60 are fixed by magnetic force, but the magnet 60, the first support member 41, and the second member are prevented from being pushed by an external force. The support member 42 may be fixed using an adhesive.

그리고, 패턴전극(15)과 접촉되는 제 3강구(53)와 단선 및 단락 검사장치를 전기적으로 인터페이스하기 위해 제 3강구(53)와 연결되는 제 1내지 제 2강구(51)(52)를 지지하는 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)를 통해 전기적으로 인터페이스 된다. The first to second steel balls 51 and 52 connected to the third steel balls 53 are electrically connected to the third steel balls 53 contacting the pattern electrodes 15 and the disconnection and short circuit inspection devices. It is electrically interfaced through the first and second supporting members 41 and 42.

이와 같이 제 1지지부재(41)와 제 2지지부재(42)에 의해 지지되는 제 1내지 제 2강구(51)(52) 사이에 위치한 제 3강구(53)가 자력선 내에서 제 1 내지 제 2강구(51)(52) 사이를 벗어나지 않으면서 제 1내지 제 2강구(51)(52) 중 어느 한쪽의 강구와 점접촉이 이루어지고 다른 한쪽의 강구와는 이격되기 때문에 점접촉이 이루어진 어느 한쪽의 강구를 기준으로 상하의 자유로운 변위 자유도를 갖게 된다. In this way, the third steel balls 53 positioned between the first to second steel balls 51 and 52 supported by the first support member 41 and the second support member 42 are formed in the magnetic lines of force. Since the point contact is made with any one of the first or second steel balls 51, 52 without being separated between the two steel balls 51, 52, and the other steel ball, the point contact is made. Based on one steel ball, it has freedom of displacement up and down.

또한, 자력에 의해서 제 3강구(53)가 제 1내지 제 2강구(51)(52)의 어느 한쪽의 강구와 점접촉으로 연결되면서 다른 한쪽의 강구와는 이격되기 때문에 작은 힘으로도 접촉점을 기준으로 쉽게 회전할 수 있게 된다. In addition, since the third steel ball 53 is in point contact with one of the steel balls of the first to second steel balls 51 and 52 by magnetic force, the third steel ball 53 is spaced apart from the other steel ball. It can be easily rotated as a reference.

따라서 패턴전극(15)의 단선 및 단락을 검사하기 위해 제 3강구(53)를 패턴전극(15)과 점접촉시켜 구름방식으로 회전시킬 경우 다양한 높이의 패턴전극(15)에 대해서도 제 3강구(53)의 상하이동으로 접촉이 이루어질 뿐만 아니라 스캔할 경우 에도 제 3강구(53)가 쉽게 회전하여 긁힘 없이 패턴전극(15)과 접촉되어 전기적 검사를 할 수 있도록 한다. Accordingly, when the third steel ball 53 is point-contacted with the pattern electrode 15 to rotate in a rolling manner to check for disconnection and short circuit of the pattern electrode 15, the third steel ball may also be used for the pattern electrode 15 having various heights. In addition to making contact with the shanghai-dong of 53), even when scanning, the third steel ball 53 is easily rotated to be in contact with the pattern electrode 15 without scratching so that electrical inspection can be performed.

이와 같이 자력에 의해 연결된 강구를 이용하여 패턴전극과 점접촉에 의해 접촉되어 구름방식으로 회전하면서 단선 및 단락을 검사할 수 있기 때문에 작은 직경의 강구를 제작할 경우 미세한 피치의 패턴전극에도 대응되어 검사할 수 있게 된다.Thus, disconnection and short-circuit can be inspected while contacting the pattern electrode and the point contact by the point contact and rotating in the rolling method by using the magnetic force. It becomes possible.

상술한 바와 같이 본 발명은 두 개의 작은 강구 사이에서 자력에 의해 어느 일측과 붙어 있도록 한 큰 강구를 탐침자로 사용하여 작은 강구와 점접촉으로 연결되어 상하 자유변위가 가능하며 작은 힘으로도 쉽게 회전이 가능한 이점이 있다. As described above, the present invention uses a large steel ball that is attached to one side by magnetic force between two small steel balls as a probe, and is connected to the small steel ball by point contact, which enables free displacement up and down, and easily rotates even with a small force. There is a possible advantage.

본 발명은 탐침자가 상하 자유변위가 가능하고 작은 힘으로도 쉽게 회전이 가능하여 패턴전극의 긁힘 없이 접촉하여 단선 및 단락을 측정할 수 있는 이점이 있다. The present invention has the advantage that the probe can be freely displaced vertically and can be easily rotated even with a small force to measure disconnection and short circuit by contacting without scratching the pattern electrode.

또한, 본 발명은 탐침자의 작은 접촉저항으로 인해 마모가 적어 프로브의 수명이 오래가는 이점이 있다. In addition, the present invention has the advantage that the wear life of the probe is long due to the small contact resistance of the probe.

또한, 본 발명은 회전마찰을 줄이기 위해 사용되는 볼베어링을 사용하지 않고 강구가 자력에 의해 점접촉으로 연결되어 회전하기 때문에 강구를 작은 직경으로 제작하여 미세 패턴의 측정에 대응할 수 있는 이점이 있다. In addition, the present invention has the advantage that can cope with the measurement of the fine pattern by producing a small diameter because the steel ball is connected to the point contact by the magnetic force to rotate without using the ball bearing used to reduce the rotational friction.

Claims (12)

제 1강구(51)와 제 2강구(52) 사이에서 자력에 의해 어느 한 강구와 접촉되어 전기적으로 연결되는 제 3강구(53)와, A third steel ball 53 which is electrically connected to one of the steel balls by magnetic force between the first steel ball 51 and the second steel ball 52; 상기 제 1강구(51)와 상기 제 2강구(52)를 고정시킬 뿐만 아니라 상기 제 1강구(51)나 상기 제 2강구(52)를 전기적으로 연결시키기 위한 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)와, The first support member 41 and the first support member 41 for fixing the first steel ball 51 and the second steel ball 52 as well as for electrically connecting the first steel ball 51 or the second steel ball 52. 2 support member 42, 상기 제 1내지 제 3강구(51~53)의 간격이 유지될 수 있도록 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)를 일정한 간격이 유지되도록 이격시키는 이격수단(70)과, Spacing means 70 to space the first support member 41 and the second support member 42 to maintain a constant interval so that the interval between the first to third steel balls (51 ~ 53) can be maintained; , 상기 제 1강구(51)와 상기 제 2강구(52)를 자화시키기 위한 자석(60)Magnet 60 for magnetizing the first steel ball 51 and the second steel ball 52 으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. Contact probe using a ball, characterized in that consisting of. 제 1항에 있어서, 상기 제 3강구(53)의 직경은 상기 제 1내지 제 2강구(51)(52)의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the diameter of the third steel balls (53) is larger than that of the first to second steel balls (51) (52). 제 1항에 있어서, 상기 이격수단(70)은 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42) 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the separation means (70) is formed between the first support member (41) and the second support member (42). 제 1항에 있어서, 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)는 자성체인 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the first support member (41) and the second support member (42) are magnetic bodies. 제 1항에 있어서, 상기 자석(60)은 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42) 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the magnet (60) is formed between the first support member (41) and the second support member (42). 제 1항에 있어서, 제 1강구(51) 및 제 2강구(52)는 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)에 각각 매립되어 고정되는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The method of claim 1, wherein the first steel ball 51 and the second steel ball 52 is embedded in the first support member 41 and the second support member 42 are fixed to each other using a ball Touch probe. 제 1항에 있어서, 상기 제 1내지 제 3강구(51~53)의 중심선이 일직선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the center line of the first to third steel balls (51 to 53) is located in a straight line. 제 1항에 있어서, 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)를 통해 전기적으로 인터페이스 되는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. The contact probe according to claim 1, wherein the first support member (41) and the second support member (42) are electrically interfaced with each other. 하부 측면에 함몰부(45)가 형성되어 대향되도록 설치된 제 1지지부재(41) 및 제 2지지부재(42)와, A first supporting member 41 and a second supporting member 42 installed to face the recess 45 at a lower side thereof, 상기 함몰부(45)에 각각 매립된 제 1강구(51) 및 제 2강구(52)와, A first steel ball 51 and a second steel ball 52 embedded in the depression 45, respectively, 상기 제 1강구(51) 및 상기 제 2강구(52) 사이의 중심선 상에 중심선이 위치하도록 위치하며 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)의 하부로 돌출되도록 위치하는 제 3강구(53)와, The center line is positioned on the center line between the first steel ball 51 and the second steel ball 52 and positioned to protrude downward from the first support member 41 and the second support member 42. The third steel ball 53, 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42) 사이에 위치하여 자력을 인가할 뿐만 아니라 상기 제 1내지 제 3강구(51)(53)의 거리를 유지시키기 위한 자석(60)A magnet 60 positioned between the first support member 41 and the second support member 42 to not only apply magnetic force but also maintain the distance between the first to third steel balls 51 and 53. 으로 이루어진 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. Contact probe using a ball, characterized in that consisting of. 제 9항에 있어서, 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)는 자성체인 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. 10. The contact probe according to claim 9, wherein the first support member (41) and the second support member (42) are magnetic bodies. 제 9항에 있어서, 상기 제 3강구(53)의 직경은 상기 제 1내지 제 2강구(51)(52)의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. 10. The contact probe according to claim 9, wherein the diameter of the third steel balls (53) is larger than the diameter of the first to second steel balls (51) (52). 제 9항에 있어서, 상기 제 1지지부재(41) 및 상기 제 2지지부재(42)를 통해 전기적으로 인터페이스 되는 것을 특징으로 하는 볼을 이용한 접촉식 프로브. 10. The contact probe according to claim 9, characterized in that it is electrically interfaced through the first support member (41) and the second support member (42).
KR1020060073520A 2006-08-03 2006-08-03 Contact type probe used a ball KR100752938B1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073520A KR100752938B1 (en) 2006-08-03 2006-08-03 Contact type probe used a ball
TW096125193A TW200811452A (en) 2006-08-03 2007-07-11 Contact-type probe using ball
JP2007189592A JP4584961B2 (en) 2006-08-03 2007-07-20 Contact probe using balls
CN200710137691XA CN101118271B (en) 2006-08-03 2007-08-02 Contact type probe used a ball

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073520A KR100752938B1 (en) 2006-08-03 2006-08-03 Contact type probe used a ball

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100752938B1 true KR100752938B1 (en) 2007-08-30

Family

ID=38615639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060073520A KR100752938B1 (en) 2006-08-03 2006-08-03 Contact type probe used a ball

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4584961B2 (en)
KR (1) KR100752938B1 (en)
CN (1) CN101118271B (en)
TW (1) TW200811452A (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101233070B1 (en) * 2011-09-30 2013-02-25 마이크로 인스펙션 주식회사 Non-contact type probe
CN109668663B (en) * 2018-12-14 2021-02-05 河南科技大学 Device and method for testing friction torque of miniature bearing

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02278161A (en) * 1989-04-19 1990-11-14 Fujitsu Ltd Measuring contact probe

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5814170U (en) * 1981-07-20 1983-01-28 株式会社ミツトヨ touch signal probe
NL8902695A (en) * 1989-11-01 1991-06-03 Philips Nv INTERCONNECTION STRUCTURE.
JP2820233B2 (en) * 1993-06-11 1998-11-05 シャープ株式会社 Display device inspection apparatus and inspection method
JP3130883B2 (en) * 1998-12-11 2001-01-31 九州日本電気株式会社 Contactor
JP2001033483A (en) * 1999-07-19 2001-02-09 Toshiba Corp Probing tester
KR100350513B1 (en) * 2000-04-03 2002-08-28 박태욱 Probe apparatus testing an electrode of Plasma Display Panel
JP3973406B2 (en) * 2001-11-12 2007-09-12 株式会社アドバンテスト IC socket
JP2004045109A (en) * 2002-07-10 2004-02-12 Ricoh Co Ltd Method and apparatus for measuring electric resistance of thin film and inspection device for fixing roller
JP2005055343A (en) * 2003-08-06 2005-03-03 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd Probe device for flat-panel display inspection

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02278161A (en) * 1989-04-19 1990-11-14 Fujitsu Ltd Measuring contact probe

Also Published As

Publication number Publication date
TWI340248B (en) 2011-04-11
JP4584961B2 (en) 2010-11-24
CN101118271B (en) 2010-09-01
JP2008039774A (en) 2008-02-21
TW200811452A (en) 2008-03-01
CN101118271A (en) 2008-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100977942B1 (en) Luminescence and color variation compensation in a flexible display
US8975905B2 (en) Display apparatus with reduced number of test lines for array test process and method of testing the same
CN105445972B (en) Probe moving device
CN101685211A (en) Liquid crystal display and fabricating method thereof
CN102129003B (en) Inspection apparatus of circuit substrate
KR100752937B1 (en) Inspection apparatus of a circuit substrate
KR20080098087A (en) Inspection apparatus of a circuit substrate
KR100752938B1 (en) Contact type probe used a ball
US20070164947A1 (en) Method for Improving Display Uniformity
KR101047519B1 (en) Contact probe with flexible wire
KR20170077604A (en) Flexible cable connector and display device having the same
KR20080092522A (en) Inspection apparatus of a circuit substrate
KR101491161B1 (en) Method of testing for connection condition between display panel and driver ic and display device using the same
KR101746860B1 (en) Liquid Crystal Display device and Inspection Method thereof
WO2020087899A1 (en) Support jig and drop ball test method
CN101692142A (en) Display panel
KR20070068889A (en) Pad assembly for robot which is transferring glass
KR101021427B1 (en) Inspection apparatus of circuit substrate
Chen et al. Reliability study of flexible display module by experiments
CN203365840U (en) Mechanical arm gravity blackspot testing device
KR100751237B1 (en) Probe block for display panel test
KR100458930B1 (en) Wheel probe module for inspecting lcd panel, apparatus and method for inspecting lcd panel used thereof
TW200419165A (en) Apparatus and method for inspecting thin film transistor active matrix substrate
KR20070071702A (en) Liquid crystal display device
JP2003228297A (en) Method of manufacturing plane display device and pressing tool for inspection

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130705

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140708

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150706

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160707

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170704

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180710

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190711

Year of fee payment: 13