KR20080092522A - Inspection apparatus of a circuit substrate - Google Patents

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KR20080092522A
KR20080092522A KR1020070035904A KR20070035904A KR20080092522A KR 20080092522 A KR20080092522 A KR 20080092522A KR 1020070035904 A KR1020070035904 A KR 1020070035904A KR 20070035904 A KR20070035904 A KR 20070035904A KR 20080092522 A KR20080092522 A KR 20080092522A
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박종인
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Abstract

An inspection apparatus of a circuit board is provided to inspect a short-circuit of a fine pattern by applying AC power through a pin probe block at one side of the fine pattern and measuring an electrical variation through a capacitive non-contact sensor at the other side of the fine pattern. A capacitive non-contact sensor(50) measures voltage at one end of a pattern electrode(15) in a non-contact method. A plurality of pin probes(40) are in contact with the pattern electrode at the other end of the pattern electrode. A selector(30) selects the pin probes. A control unit(60) applies AC power to the pin probes selected by the selector and determines a short-circuit of the pattern electrode in contact with the selected pin probes based on output voltage of the capacitive non-contact sensor.

Description

회로기판의 검사장치{INSPECTION APPARATUS OF A CIRCUIT SUBSTRATE}Inspection device for circuit boards {INSPECTION APPARATUS OF A CIRCUIT SUBSTRATE}

도 1내지 도 2는 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치를 나타낸 도면이다. 1 to 2 are diagrams showing an inspection apparatus of a circuit board according to the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치의 사용 예시도이다. Figure 3 is an exemplary use of the inspection apparatus of the circuit board according to the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치에 의해 측정되는 파형을 나타낸 도면이다. 4 is a view showing a waveform measured by the inspection apparatus of the circuit board according to the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -   -Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

10 : 회로기판 15 : 패턴전극10: circuit board 15: pattern electrode

20 : 교류전원 30 : 셀렉터20: AC power supply 30: selector

40 : 핀 프로브 50 : 정전 용량형 비접촉센서 40: pin probe 50: capacitive non-contact sensor

60 : 제어부 70 : 표시부60: control unit 70: display unit

80 : 키입력부80: key input unit

본 발명은 회로기판의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 회로기판에 인쇄된 미세 패턴의 일측에서 핀 프로브 블록을 통해 교류전원을 인가하고 타측에서 정전 용량형 비접촉 센서를 통해 측정되는 전기적 변화값을 통해 미세 패턴의 단락을 검사할 수 있도록 한 회로기판의 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection apparatus for a circuit board, and more particularly, an electrical change value applied by an AC power supply through a pin probe block on one side of a fine pattern printed on the circuit board and measured by a capacitive non-contact sensor on the other side. The present invention relates to a circuit board inspection apparatus capable of inspecting a short circuit through a fine pattern.

현재 사용되고 있는 화상표시소자로는 음극선관(CRT)과 평판 표시소자인 액정표시소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 있다. Currently used image display devices include a cathode ray tube (CRT), a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and the like, which are flat panel display devices.

위의 화상표시소자 중 음극선관은 화질 및 밝기의 측면에서 다른 소자에 비해 월등히 우수한 성능을 갖고 있다. 그러나, 부피가 크고 무겁기 때문에 대형 스크린을 필요로 하는 용도로는 적합하지 않다는 단점이 있다. Among the image display devices, the cathode ray tube has superior performance to other devices in terms of image quality and brightness. However, there are disadvantages in that they are not suitable for applications requiring a large screen because they are bulky and heavy.

반면에, 평판 표시소자는 음극선관에 비해 부피와 무게가 매우 작다는 장점이 있어 그 용도가 점차로 확대되고 있는 추세이며, 차세대용 표시소자로서 그에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있다. On the other hand, the flat panel display device has an advantage that the volume and weight is very small compared to the cathode ray tube, and its use is gradually increasing, and research on the display device as a next generation display device is being actively conducted.

일반적으로 PDP(Plasma Display Panel)는 상판 글라스와 하판 글라스 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 말하는 것이다. In general, PDP (Plasma Display Panel) is neon by putting a gas such as Ne + Ar, Ne + Xe between the upper glass and the lower glass and the glass sealed by the partition between them It refers to an electronic display device that emits light to use as display light.

따라서, 플라즈마 디스플레이는 마주보는 상판 글라스와 하판 글라스의 세로 패턴전극과 가로 패턴전극 사이에 구성 교차점을 방전셀로 형성하여 방전을 온오프함으로써 갖가지 문자나 패턴을 표시한다. Accordingly, the plasma display displays various characters or patterns by forming a discharge intersection between the vertical pattern electrodes and the horizontal pattern electrodes of the upper glass and the lower glass that face each other by discharging cells.

따라서, PDP는 발광형으로 선명한 대형표시가 가능하기 때문에 FA(공장자동화)용으로 많이 사용되었으나 현재는 표시장치의 소형 경량화, 고성능화와 함께 퍼스널 컴퓨터 등 OA(사무자동화) 등으로 많이 활용하고 있으며 대형 표시장치 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르기 때문에 벽걸이TV로 채용되면서 수요가 급증하고 있다. Therefore, PDP has been widely used for FA (factory automation) because it is possible to display large size with clear light emission, but now it is widely used for OA (office automation) such as personal computer with small size, light weight and high performance of display device. As display panel is not only high display quality but also fast response speed, demand is increasing rapidly as it is adopted as wall-mounted TV.

또한, 액정은 취급이 용이하고 외부 전계인가 여부에 의해 결정의 배열이 변화되는 고유의 특성이 있기 때문에 액정을 이용하는 표시소자, 예를 들어 FLCD(Ferroelectric Liquid Crystal Device), TN(Twisted Nematic)-LCD, STN(Super Twisted Nematic)-LCD, TFT(Thin Film Transistor)-LCD, 플라스틱 (Plastic)-LCD, EL(Electro Luminescence ; 전계발광소자) 등에서 널리 사용되고 있다. In addition, since liquid crystals are easy to handle and have inherent characteristics in which the arrangement of crystals changes depending on whether or not an external electric field is present, display elements using liquid crystals, for example, ferroelectric liquid crystal devices (FLCDs) and twisted nematic (TN) -LCDs. , STN (Super Twisted Nematic) -LCD, Thin Film Transistor (TFT) -LCD, Plastic (LCD), Electro Luminescence (EL).

일반적으로 이러한 평판 디스플레이 패널을 구동하기 위한 구동 드라이버 IC들은 COG(Chip on Glass) 형태로 직접 장착되거나 FPC (Flexible PCB)나 TS(Tape Substrate)에 미리 조립된 TCP(Tape Carrier Package)형태로 패널에 장착되게 된다.In general, driving driver ICs for driving such flat panel display panels are directly mounted in a chip on glass (COG) form or a tape carrier package (TCP) pre-assembled in a flexible PCB (FPC) or tape substrate (TS). To be mounted.

현재, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치(pitch)가 각각 50㎛ 및 300㎛에 이르고 있고, TFT-LCD 패널의 전극패턴 피치도 70㎛ 정도에 이르고 있어 대형화에 따라 이에 대응하여 구동 IC를 탑재한 회로기판의 전극패턴들도 미세 화 되어 가고 있으며 다핀화 되어 가고 있다. In the case of 42-inch PDP, the line width and pitch of one electrode pattern are 50 μm and 300 μm, respectively, and the electrode pattern pitch of TFT-LCD panel is also about 70 μm. Electrode patterns on circuit boards with ICs are also becoming finer and more multi-pinned.

이와 같이 TS 회로기판에 형성되는 전극패턴들이 미세화, 다핀화 되어 감에 따라 접촉식 프로브를 각 패턴전극들의 양단에 가압 접촉시키기 위한 충분한 간격을 취할 수 없어 접촉식 프로브를 이용하지 패턴전극에 접촉하지 않고 비접촉식 방식에 의해 회로기판을 검사하고 있다. As the electrode patterns formed on the TS circuit board are miniaturized and multi-pinned, the contact probes cannot be sufficiently spaced to press-contact the both ends of the pattern electrodes. Circuit board is inspected by a non-contact method.

이러한 비접촉식 검사장치는 패턴전극의 한 쪽은 다수개의 핀 프로브를 접촉시키고, 패턴전극의 다른 쪽은 정전 용량형 비접촉 센서를 배치하여 다수개의 핀 프로브를 통해 선택적으로 패턴전극에 검사신호를 입력하고 정전 용량형 비접촉 센서에서 측정되는 값을 통해 단선 검사를 수행한다. In this non-contact inspection apparatus, one side of the pattern electrode contacts a plurality of pin probes, and the other side of the pattern electrode is disposed with a capacitive non-contact sensor to selectively input an inspection signal to the pattern electrode through the plurality of pin probes, and to perform electrostatic Open circuit inspection is performed using the values measured at the capacitive non-contact sensor.

그리고 단락검사는 다수개의 핀 프로브에서 인접한 핀 프로브 사이 간 저항을 측정하여 단락검사를 수행한다. The short circuit test performs a short circuit test by measuring resistance between adjacent pin probes in a plurality of pin probes.

이와 같이 패턴전극 간 저항에 의해 패턴전극의 단락을 검사할 경우 패턴 사이에 미세한 오염물에 의한 단락을 검사하기 위해서는 수 MΩ 을 측정할 수 있는 측정장비가 필요하게 되는데 이러한 장비는 가격이 높으며 비전도성 오염물에 의한 유전률 변화에 따른 AC Inductance 변화는 용이하게 검출할 수 없는 문제점이 있다. As such, when the short circuit of the pattern electrode is inspected by the resistance between the pattern electrodes, a measuring device capable of measuring a few MΩ is needed to check the short circuit caused by fine contaminants between the patterns. AC inductance change due to the change in dielectric constant due to the problem that can not be easily detected.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 회로기판에 인쇄된 미세 패턴의 일측에서 핀 프로브 블록을 통해 교류전원 을 인가하고 타측에서 정전 용량형 비접촉 센서를 통해 측정되는 전기적 변화값을 통해 미세 패턴의 단락을 검사할 수 있도록 한 회로기판의 검사장치를 제공함에 있다. The present invention was created to solve the above problems, an object of the present invention is to apply an AC power supply through the pin probe block on one side of the fine pattern printed on the circuit board and to measure through the capacitive non-contact sensor on the other side The present invention provides an inspection apparatus for a circuit board capable of inspecting a short circuit of a fine pattern through an electrical change value.

상기와 같은 목적을 이루기 위한 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치는 회로기판의 패턴전극에 대한 단락을 검사하는 회로기판의 검사장치에 있어서, 패턴전극 일측 끝단부에서 비접촉으로 전압을 측정하기 위한 정전 용량형 비접촉센서와, 패턴전극 타측 끝단부에서 패턴전극에 가압 접촉되는 다수개의 핀 프로브와, 다수개의 핀 프로브를 선택하기 위한 셀렉터와, 셀렉터를 통해 다수개의 핀 프로브를 선택하여 교류전원을 인가하면서 정전 용량형 비접촉센서에서 측정된 출력전압을 근거로 선택된 핀 프로브에 접촉된 패턴전극의 단락을 판단하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. The circuit board inspection apparatus according to the present invention for achieving the above object is a circuit board inspection apparatus for inspecting a short circuit to the pattern electrode of the circuit board, the electrostatic for measuring the voltage in a non-contact at one end of the pattern electrode The capacitive type non-contact sensor, a plurality of pin probes which are pressed in contact with the pattern electrode at the other end of the pattern electrode, a selector for selecting the plurality of pin probes, and a plurality of pin probes are selected through the selector to apply AC power. And a controller configured to determine a short circuit of the pattern electrode in contact with the selected pin probe based on the output voltage measured by the capacitive non-contact sensor.

본 발명에서, 셀렉터는 선택되지 않은 다수개의 핀 프로브를 접지시키는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the selector is characterized by grounding a plurality of unselected pin probes.

본 발명에서, 셀렉터는 선택되지 않은 다수개의 핀 프로브를 플로팅시키는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the selector is characterized by plotting a plurality of unselected pin probes.

본 발명에서, 정전 용량형 비접촉센서는 고정위치에 있는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the capacitive non-contact sensor is characterized in that it is in a fixed position.

본 발명에서, 정전 용량형 비접촉센서는 회로기판의 패턴전극 모두에 대응되 는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the capacitive non-contact sensor is characterized in that it corresponds to all of the pattern electrode of the circuit board.

본 발명에서, 제어부는 정전 용량형 비접촉센서에서 측정된 전압이 정상값보다 높게 측정될 경우 단락된 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다. In the present invention, the control unit is characterized in that it is determined that the short-circuit when the voltage measured by the capacitive contactless sensor is measured higher than the normal value.

이와 같이 이루어진 본 발명은 회로기판의 패턴전극 일측 끝단부에 정전 용량형 비접촉센서를 고정시킨 후 타측 끝단부의 패턴전극에 접촉된 다수개의 핀 프로브를 셀렉터를 통해 선택하면서 교류전원을 인가할 때 정전 용량형 비접촉센서로부터 측정되는 전압값의 변화를 판단하여 높게 측정될 경우 단락된 것으로 판단하여 단락을 검사할 수 있게 된다. According to the present invention, the capacitive type non-contact sensor is fixed to one end of the pattern electrode of the circuit board, and the capacitive electrode is applied when the AC power is applied while selecting a plurality of pin probes contacting the pattern electrode of the other end through the selector. If a high value is measured by judging the change of the voltage value measured from the type non-contact sensor, the short circuit can be checked by judging that it is a short circuit.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, and the same parts as in the prior art use the same reference numerals and names. In addition, the present embodiment is not intended to limit the scope of the present invention, but is presented by way of example only and those skilled in the art will be capable of many modifications within the technical spirit of the present invention.

도 1과 도 2는 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치를 나타낸 블록구성도이다. 1 and 2 are block diagrams showing an inspection apparatus of a circuit board according to the present invention.

여기에 도시된 바와 같이 회로기판(10)에 인쇄된 패턴전극(15) 일측 끝단부에서 비접촉으로 전압을 측정하기 위한 정전 용량형 비접촉센서(50)와, 패턴전극(15) 타측 끝단부에서 패턴전극(15)에 가압 접촉되는 다수개의 핀 프로브(40)와, 다수개의 핀 프로브(40)를 선택하기 위한 셀렉터(30)와, 셀렉터(30)를 통해 다수개의 핀 프로브(40)를 선택하여 교류전원(20)을 인가하면서 정전 용량형 비접촉센서(50)에서 측정된 출력전압을 근거로 선택된 핀 프로브(40)에 접촉된 패턴전극(15)의 단락을 판단하는 제어부(60), 제어부(70)의 작동상태 및 측정상태를 표시하기 위한 표시부(80)와, 제어부(70)에 명령을 입력하기 위한 키입력부(90)로 이루어진다. As shown here, a capacitive type non-contact sensor 50 for measuring a voltage in a non-contact manner at one end of the pattern electrode 15 printed on the circuit board 10 and a pattern at the other end of the pattern electrode 15 A plurality of pin probes 40 in pressure contact with the electrode 15, a selector 30 for selecting the plurality of pin probes 40, and a plurality of pin probes 40 are selected through the selector 30. The control unit 60 and the control unit for determining a short circuit of the pattern electrode 15 in contact with the selected pin probe 40 on the basis of the output voltage measured by the capacitive non-contact sensor 50 while applying the AC power source 20. The display unit 80 for displaying the operation state and the measurement state of the 70, and the key input unit 90 for inputting a command to the control unit 70.

위에서 단락 검사를 위해 패턴전극(15)에 접촉되도록 셀렉터(30)에서 다수개의 핀 프로브(40) 중 선택되지 않은 핀 프로브는 도 1과 같이 플로팅 상태로 유지시킬 수도 있으며, 또한 도 2와 같이 선택되지 않은 다수개의 핀 프로브(40)를 접지 상태로 유지시킬 수도 있다. An unselected pin probe among the plurality of pin probes 40 in the selector 30 may be kept in a floating state as shown in FIG. 1 to contact the pattern electrode 15 for short-circuit inspection. It is also possible to keep the plurality of pin probes 40 that are not in the ground state.

도 3은 본 발명에 의한 회로기판의 검사장치의 사용 예시도이다. Figure 3 is an exemplary use of the inspection apparatus of the circuit board according to the present invention.

여기에 도시된 회로기판(10)은 테이프 회로기판(Tape Substrate ; TS)으로써 테이프에 연속적으로 패턴전극(15)이 형성되며 중앙에는 패널을 구동하기 위한 구동IC(미도시) 가 장착된다. The circuit board 10 shown here is a tape substrate (TS), and the pattern electrode 15 is continuously formed on the tape, and a driving IC (not shown) for driving the panel is mounted at the center thereof.

이러한 회로기판(10)에서 구동IC 가 장착될 중앙의 패턴전극(15)위로 정전 용량형 비접촉센서(50)를 고정시키고 패턴전극(15)의 타측에 다수개의 핀 프로브(40)를 각각 가압 접촉시킨 상태에서 셀렉터(30)를 통해 선택적으로 패턴전극(15)에 개별적으로 교류전원(20)을 인가하게 된다. In this circuit board 10, the capacitive non-contact sensor 50 is fixed on the pattern electrode 15 in the center where the driving IC is to be mounted, and the plurality of pin probes 40 are pressed by the other side of the pattern electrode 15, respectively. In this state, the AC power source 20 is selectively applied to the pattern electrode 15 selectively through the selector 30.

이와 같은 회로기판의 검사장치에 의해 측정되는 파형을 도 4에 도시하였다. The waveform measured by the inspection apparatus of such a circuit board is shown in FIG.

이때, (가)와 같이 정상적인 패턴전극(15)에 핀 프로브(40)에 의해 교류전원(10)을 인가한 후 정전 용량형 비접촉센서(50)에서 측정되는 전압값 VPP_N 을 정상값으로 판단할 때 (나)와 같이 패턴전극(15)이 인접한 패턴전극(15)과 단락된 경우에는 핀 프로브(40)가 접촉한 패턴전극(15)과 단락된 패턴전극(15)이 하나의 패턴전극(15)으로 작용하면서 패턴전극(15)의 표면적이 증가하는 효과를 자져오게 되어 패턴전극(15)과 정전 용량형 비접촉센서(50) 사이의 정전용량에 의한 임피던스가 작아지게 되고 따라서 패턴전극(15)의 임피던스와 패턴전극(15)과 정전 용량형 비접촉센서(50) 사이의 정전용량에 의한 임피던스의 합인 전체 임피던스가 감소하게 되어 정전 용량형 비접촉센서(50)에 의해 측정되는 값은 정상값보다 큰 VPP_S 값이 측정된다. At this time, after applying the AC power supply 10 to the normal pattern electrode 15 by the pin probe 40 as shown in (a), the voltage value VPP_N measured by the capacitive contactless sensor 50 may be determined as a normal value. When the pattern electrode 15 is shorted with the adjacent pattern electrode 15 as shown in (b), the pattern electrode 15 contacted by the pin probe 40 and the shorted pattern electrode 15 are connected to one pattern electrode ( 15, the surface area of the pattern electrode 15 is increased, and the impedance due to the capacitance between the pattern electrode 15 and the capacitive type non-contact sensor 50 is reduced, and thus the pattern electrode 15 is reduced. The total impedance, which is the sum of the impedance of the impedance and the capacitance between the pattern electrode 15 and the capacitive contactless sensor 50, is reduced, so that the value measured by the capacitive contactless sensor 50 is greater than the normal value. Large VPP_S value is measured.

이렇게 패턴전극(15)의 일측에 정전 용량형 비접촉센서(50)를 다수개의 패턴전극(15)에 대응되도록 고정위치시키고 타측에서 패턴전극(15)에 접촉된 다수개의 핀 프로브(40)를 셀렉터(30)를 통해 선택적으로 교류전원(20)을 인가하여 교류전원(20)에 의한 전압을 정전 용량형 비접촉센서(50)를 통해 측정하여 정상적인 패턴전극(15)에서 측정된 전압값보다 높을 경우에는 단락된 것으로 판단하여 표시하게 된다. In this way, the capacitive non-contact sensor 50 is fixedly positioned at one side of the pattern electrode 15 to correspond to the plurality of pattern electrodes 15, and the plurality of pin probes 40 contacting the pattern electrode 15 at the other side are selectors. When the AC power source 20 is selectively applied through 30 to measure the voltage by the AC power source 20 through the capacitive type non-contact sensor 50, the voltage is higher than the voltage value measured by the normal pattern electrode 15. Is determined to be short-circuited and displayed.

또한, 키입력부(90)를 통해 제어 명령을 입력하여 제어부(70)의 처리 상태를 제어하게 된다. In addition, a control command is input through the key input unit 90 to control the processing state of the control unit 70.

상기한 바와 같이 본 발명은 회로기판에 인쇄된 미세 패턴의 일측에서 핀 프로브 블록을 통해 교류전원을 인가하고 타측에서 정전 용량형 비접촉 센서를 통해 측정되는 전기적 변화값을 통해 미세 패턴의 단락을 검사할 수 있는 이점이 있다. As described above, the present invention applies an AC power supply through a pin probe block on one side of a fine pattern printed on a circuit board, and checks a short circuit of the fine pattern through an electrical change value measured by a capacitive non-contact sensor on the other side. There is an advantage to this.

Claims (6)

회로기판의 패턴전극에 대한 단락을 검사하는 회로기판의 검사장치에 있어서, In the circuit board inspection apparatus for inspecting a short circuit to the pattern electrode of the circuit board, 상기 패턴전극 일측 끝단부에서 비접촉으로 전압을 측정하기 위한 정전 용량형 비접촉센서와, A capacitive non-contact sensor for measuring a voltage in a non-contact manner at one end of the pattern electrode; 상기 패턴전극 타측 끝단부에서 상기 패턴전극에 가압 접촉되는 다수개의 핀 프로브와, A plurality of pin probes which are in pressure contact with the pattern electrode at the other end of the pattern electrode; 상기 다수개의 핀 프로브를 선택하기 위한 셀렉터와, A selector for selecting the plurality of pin probes, 상기 셀렉터를 통해 상기 다수개의 핀 프로브를 선택하여 교류전원을 인가하면서 상기 정전 용량형 비접촉센서에서 측정된 출력전압을 근거로 선택된 상기 핀 프로브에 접촉된 상기 패턴전극의 단락을 판단하는 제어부A control unit which selects the plurality of pin probes through the selector and applies an AC power, and determines a short circuit of the pattern electrode in contact with the selected pin probe based on the output voltage measured by the capacitive contactless sensor; 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. Inspection device for a circuit board comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 셀렉터는 선택되지 않은 상기 다수개의 핀 프로브를 접지시키는 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. 2. The apparatus of claim 1, wherein the selector grounds the plurality of unselected pin probes. 제 1항에 있어서, 상기 셀렉터는 선택되지 않은 상기 다수개의 핀 프로브를 플로팅시키는 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. The apparatus of claim 1, wherein the selector floats the plurality of pin probes that are not selected. 제 1항에 있어서, 상기 정전 용량형 비접촉센서는 고정위치에 있는 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. 2. The apparatus of claim 1, wherein the capacitive non-contact sensor is in a fixed position. 제 1항에 있어서, 상기 정전 용량형 비접촉센서는 상기 회로기판의 패턴전극 다수개에 대응되는 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. The apparatus of claim 1, wherein the capacitive non-contact sensor corresponds to a plurality of pattern electrodes of the circuit board. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 정전 용량형 비접촉센서에서 측정된 전압이 정상값보다 높게 측정될 경우 단락된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 회로기판의 검사장치. The apparatus of claim 1, wherein the controller determines that the voltage is shorted when the voltage measured by the capacitive contactless sensor is measured to be higher than a normal value.
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