KR100736231B1 - 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법 - Google Patents

레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법 Download PDF

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KR100736231B1
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laser interferometer
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signal
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유관호
홍민석
이우람
박기헌
전재욱
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성균관대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은 적응형 보정 알고리즘을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계(Heterodyne laser interferometer)의 비선형성 오차를 보정하기 위한 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 타겟의 위치를 측정하는 레이저 간섭계; 기준값을 제공하는 기준값 발생부; 상기 기준값 발생부의 기준값을 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하기 위한 보정 파라미터를 출력하는 보정부; 상기 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 상기 측정값을 보정하여 출력하는 맵퍼로 구성된다.
본 발명은 정전용량센서의 위치 정보와 헤테로다인 레이저 간섭계의 위치 정보를 이용하여 최적의 보정 파라미터를 도출하고, 이를 바탕으로 헤테로다인 레이저 간섭계의 상황에 적응적인 보정 방식을 제공함으로써, 높은 측정 정밀도로 타겟을 측정할 수 있는 효과를 제공한다.
헤테로다인 레이저 간섭계, 보정, 정전용량센서

Description

레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법{System for Compensating Laser Interferometer And Method Thereof}
도 1은 본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 시스템을 설명하기 위한 블록도.
도 2는 본 발명의 증폭부를 설명하기 위한 블록도.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 방법을 설명하기 위한 순서도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 측정 수단 11 : 레이저시스템
12 : 정전용량센서 20 : 전처리부
21 : 고역 통과 필터 22 : 증폭부
30 : 보정부 31 : 정전용량센서 데이터 처리부
32 : 레이저시스템 데이터 처리부 33 : 파라미터 탐색부
33a : 조건 판단부 33b : 최소 자승 처리부
33c : 반복 최소 자승 처리부 40 : 맵퍼
41 : 위상 신호 처리부 42 : 위상 거리 변환부
50 : 출력부
본 발명은 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 적응형 보정 알고리즘을 이용하여 헤테로다인 레이저 간섭계(Heterodyne laser interferometer)의 비선형성 오차를 보정하기 위한 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 산업분야에서는 높은 공정 정밀도가 요구된다. 이러한 공정 정밀도는 기존의 마이크로미터 단위에서 나노미터 단위로 그 영역을 점점 확대하고 있는 실정이다. 특히 높은 집적도와 고속화를 위해 소자의 세밀화가 필요한 반도체 산업에서는 100nm의 최소 가공 선폭이 사용되고 있다.
따라서 공정 정밀도를 위해 수십 미터에서부터 수 나노미터에 이르는 넓은 측정범위와 거의 무한대의 분해능 등의 장점을 가진 헤테로다인 레이저 간섭계가 널리 사용되고 있다.
그러나 환경적인 요인과 간섭계 자체의 비선형성 오차 등으로 인해 실제 공정에서는 수 나노미터 단위의 정밀도 구현에 많은 어려움이 따른다.
환경요인에 의한 오차를 극복하기 위해 정밀 측정 센서와 에들렌 공식(Edlen formula)을 이용하여 환경요인 오차를 보상하고 있다. 그리고 비선형성에 의한 오차를 극복하기 위해 칼만 필터를 이용하여 오차를 최소화시키는 방법, 헤테로다인 레이저 간섭계의 두 출력 값의 위상천이(phase-shifting)와 곱셈기를 이용하여 위 상부호(phase encoding)를 만드는 방법 등 지금까지 많은 연구들이 진행되어 왔다.
그러나 칼만 필터를 이용하는 방법은 헤테로다인 레이저 간섭계의 경우 모델링 구축이 어렵고, 위상부호 구현 방법은 너무 복잡하고 비싸서 실제 시스템으로 구현하기 어렵다.
또한 환경오차에 대한 대응만을 하는 기존의 방법은 헤테로다인 레이저 간섭계 자체에서 필연적으로 발생할 수밖에 없는 비선형성에 대해 해답을 제시하지 못하여 정밀도의 수준을 수 나노미터 단위까지 끌어올리지 못하는 문제점을 갖는다.
본 발명의 목적은 기준 입력으로 사용하는 정전용량센서의 출력값과 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력값을 바탕으로 비선형성에 대한 정보를 수집하여, 적응형 보정 알고리즘을 통해 가장 적합한 보상 파라미터를 도출하여 헤테로다인 레이저 간섭계의 출력값을 보정함으로써 적응성이 높은 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법을 제공하는데 있다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 헤테로다인 레이저 간섭계 정밀도를 수 나노미터 단위로 구현 가능하게 해 주는 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 타겟의 위치를 측정하는 레이저 간 섭계; 기준값을 제공하는 기준값 발생부; 상기 기준값 발생부의 기준값을 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하기 위한 보정 파라미터를 출력하는 보정부; 상기 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 상기 측정값을 보정하여 출력하는 맵퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템을 제공한다.
상기 레이저 간섭계는 서로 다른 주파수를 가지고, 직교 편광되는 두 광원을 사용하는 헤테로다인 레이저시스템을 이용하는 것을 특징으로 한다.
상기 헤테로다인 레이저시스템은 타겟에 대한 위치 정보를 신호의 강도로 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 헤테로다인 레이저시스템은 기준 신호 강도와 측정 신호 강도를 출력하는 것을 특징으로 한다.
상기 기준값 발생부는 정전용량센서로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 정전용량센서는 수nm 단위의 측정 정밀도를 가지는 센서인 것을 특징으로 한다.
상기 레이저 간섭계 및 상기 기준값 발생부와 상기 보정부 사이에 연결되어 상기 레이저 간섭계의 측정값과 상기 기준값 발생부의 기준값을 전처리하는 전처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 전처리부는 미리 설정된 주파수 이상의 주파수만을 통과시키는 고대역 통과 필터, 상기 고대역 통과 필터에 출력된 신호를 증폭하여 출력하는 증폭부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 고대역 통과 필터는 DC 성분을 제거하는 필터인 것을 특징으로 한다.
상기 증폭부는 락인증폭기(Lock in amplifier)로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 증폭부는 상기 레이저시스템의 기준 신호를 위상이 미지연된 미지연 신호와 지연된 지연 신호로 출력하는 제 1위상 지연부, 상기 레이저시스템의 측정 신호를 위상 지연없이 출력하는 제 2위상 지연부, 상기 제 1위상 지연부의 미지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 1승산부, 상기 제 1위상 지연부의 지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 2승산부, 상기 제 1승산부 및 제 2승산부의 승산 처리 과정에서 발생된 고주파수 성분을 제거하는 저역 통과 필터로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 보정부는 보정 파라미터를 도출하는 파라미터 탐색부, 상기 기준값 발생부의 기준값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 1데이터 처리부, 상기 레이저시스템의 측정값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 2데이터 처리부로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 파라미터 탐색부는 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출하는 제 1보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 반복 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출하는 제 2보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부와 상기 제 1보정 파라미터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부간의 데이터 교환과 상기 제 1보정 파라미 터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부에서 산출된 보정 파라미터의 최적성을 판단하여 적합한 보정 파라미터를 출력하는 조건 판단부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 맵퍼는 상기 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 상기 레이저시스템의 측정값을 보정하여 위상차 신호를 출력하는 위상 신호 처리부, 상기 신호 처리부의 위상차 신호를 거리로 환산하여 출력하는 위상 거리 변환부로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 위상 거리 변환부의 출력을 표시하는 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 본 발명은 (a)헤테로다인 레이저 간섭계와, 정전용량센서에 의해 측정된 타겟의 위치 정보를 얻는 단계; (b) 상기 위치 정보를 보정하기 위한 보정 파라미터를 얻는 단계; (c) 상기 보정 파라미터를 이용하여 상기 위치 정보를 보정하여 위상차를 얻는 단계; (d) 상기 위상차를 거리로 환산하여 상기 레이저시스템의 측정값에 대한 보정값을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 방법을 아울러 제공한다.
상기 (b) 단계는 상기 위치 정보의 비선형성을 기준으로 적합한 보정 파라미터를 얻는 것을 특징으로 한다.
상기 보정 파라미터는 상기 레이저시스템에 의한 다수의 측정값과 상기 정전용량센서에 의한 다수의 기준값을 최소 자승 처리 및 반복 최소 자승 처리하여 얻는 것을 특징으로 한다.
(실시예)
본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 시스템 및 그 방법에 대하여 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
첨부한 도면, 도 1은 본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 시스템을 설명하기 위한 블록도, 도 2는 본 발명의 증폭부를 설명하기 위한 블록도, 도 3은 본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 시스템은 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 타겟의 변위를 측정하기 위한 측정 수단(10)과, 상기 측정 수단(10)의 출력 신호를 전처리하는 전처리부(20)와, 상기 전처리부(20)에 의해 처리된 타겟의 측정값을 보정하기 위한 보정 파라미터를 설정하는 보정부(30), 그리고 상기 보정부(30)에 의해 설정된 보정 파라미터를 이용하여 상기 전처리부(20)에 의해 전처리된 측정값을 보정하여 출력하는 맵퍼(40; mapper)로 구성된다.
그리고, 상기 맵퍼(40)에 의해 출력된 보정값은 출력부(50)를 통해 출력된다.
상기 측정 수단(10) 서로 다른 주파수를 가지고, 직교 편광되는 두 광원을 사용하는 헤테로다인 레이저시스템(11)과 수나노미터 단위의 정밀도를 가지고 정확한 위치를 측정할 수 있는 정전용량 센서(12)로 구성된다.
상기 헤테로다인 레이저시스템(11)에서는 타겟에 대한 위치 정보를 신호의 강도로 표현할 수 있는 기능이 있다.
즉, 상기 헤테로다인 레이저시스템(11)은 기준 신호(Ir)를 강도 신호로 출력하는 기준 신호 출력부(11a)와, 상기 타겟의 변위 신호인 측정 신호(Im)를 출력하는 측정 신호 출력부(11b)로 구성되며, 상기 헤테로다인 레이저시스템(11)에서 표현된 신호의 강도로 두 광원(Ir, Im)에 대한 진폭, 초기위상, 고정 경로와 타겟의 이동 경로 사이의 위상차에 대한 정보를 포함한다.
즉, 상기 기준 신호(Ir)와 상기 측정 신호(Im)는 각각 수학식 1 및 2와 같다.
Figure 112006027474453-pat00001
Figure 112006027474453-pat00002
단, 상기 수학식 1 및 2에서 A와 B는 진폭, ΦA와 ΦB는 초기 위상을 의미하며, Φ는 고정 경로와 이동 경로사이의 위상차를 나타낸다.
상기 헤테로다인 레이저시스템(11)에 대한 기준값을 제공하는 상기 정전용량센서(12)는 타겟에 대한 위치 정보를 수nm 단위의 정밀도로 측정하여 출력한다.
상기 전처리부(20)는 일정 이상의 주파수만을 통과시키는 고대역 통과 필터(21)와 증폭부(22)로 구성된다.
상기 고대역 통과 필터(21)는 상기 헤테로다인 레이저시스템(11)의 기준 신호 출력부(11a)와 상기 측정 신호 출력부(11b)의 진폭 신호에 대한 DC 및 준 DC 성분을 제거한다.
상기 증폭부(22)는 락인증폭기(Lock in amplifier)로 구성되며, 도 2에 나타낸 바와 같이, 90도 위상지연부(22a), 0도 위상지연부(22b), 제 1승산부(22c), 제 2승산부(22d), 그리고 저대역 통과 필터(22e)로 구성된다.
상기 90도 위상지연부(22a)는 신호를 두 경로로 나눠 하나는 위상변화 없이 제 1승산부(22c)로, 다른 하나는 90도의 위상 지연 후 제 2승산부(22d)로 보낸다.
상기 0도 위상 지연부(22b)는 신호를 두 경로로 나눠 상기 제 1승산부(22c) 및 제 2승산부(22d)로 보낸다.
제 1승산부(22c) 및 제 2승산부(22d)는 각각 입력된 2개의 신호를 승산 처리한다.
상기 저대역 통과 필터(22e)는 상기 과정 즉, 제 1승산부(22c) 및 제 2승산부(22d)에 의한 승산 처리 과정 등에서 발생된 고주파수 성분을 제거하여 이후의 과정에서 사용되는
Figure 112006027474453-pat00003
와
Figure 112006027474453-pat00004
신호를 출력한다.
여기서, 상기
Figure 112006027474453-pat00005
와
Figure 112006027474453-pat00006
는 각각 수학식 3 및 4와 같다.
Figure 112006027474453-pat00007
Figure 112006027474453-pat00008
단, 수학식 3 및 4에서 상기 α와 β는 비선형성을 나타내는 변수이다.
상기 보정부(30)는 상기 정전용량센서(CDS) 데이터 처리부(31)와, 레이저시스템(LS) 데이터 처리부(32), 그리고 파라미터 탐색부(33)로 구성된다.
상기 정전용량센서 데이터 처리부(31)는 상기 정전용량센서(12)로부터의 위치 정보를 수학식 5 및 6과 같이, 상기 파라미터 탐색부(33)에서 처리 가능한 데이터 포맷으로 변환한다.
Figure 112006027474453-pat00009
Figure 112006027474453-pat00010
단, λ는 ω1과 ω2의 평균 파장을 나타내고, n은 굴절률(refractive index)을 의미한다. L은 고정경로와 이동경로 사이의 차(L=L2-L2)이다.
그리고, 상기 레이저시스템 데이터 처리부(32)는 상기 전처리부(20)로부터의 입력을 수학식 7과 같이, 상기 파라미터 탐색부(33)에서 처리 가능한 데이터 포맷으로 변환한다.
Figure 112006027474453-pat00011
상기 파라미터 탐색부(33)는 조건 판단부(33a), 최소 자승 처리부(LS; 33b), 반복 최소 자승 처리부(RLS; 33c)로 구성된다.
상기 파라미터 탐색부(33)는 상기 과정으로부터의 입력을 바탕으로 최적의 보정 파라미터를 도출한다. 그리고 도출된 최적의 보정 파라미터 값과 두 신호강도(Ix, Iy)를 상기 맵퍼(40)로 전달한다.
상기 조건 판단부(33a)는 상기 정전용량센서 데이터 처리부(31)와 상기 레이저시스템 데이터 처리부(32)로부터의 입력을 데이터베이스(Database)화하고, 동작이 시작된 후 첫 N개의 데이터를 상기 최소 자승 처리부(33b)로 보내고, 이후의 데이터를 M개씩 상기 반복 최소 자승 처리부(33c)로 보내 처리시켜서, 상기 반복 최소 자승 처리부(33c)에서 도출된 보정 파라미터의 최적합 여부를 판단한다.
상기 최소 자승 처리부(33b)는 상기 조건 판단부(33a)와의 통신을 통해 입력된 N개의 데이터를 바탕으로 최소 자승법(Least square method)을 수행하여 보정 파라미터를 구해 출력한다.
상기 반복 최소 자승 처리부(33c)는 상기 조건 판단부(33a)와의 통신을 통해 입력된 M개씩의 데이터를 바탕으로 반복 최소 자승법(Recursive least square method)을 수행하여 새로운 데이터에 적합한 적응형 보정 파라미터를 구해 출력한다.
상기 맵퍼(40)는 상기 보정부(30)에 의한 보정 파라미터를 이용하여 상기 레이저시스템의 측정값을 보정하여 출력하는 위상 신호 처리부(41)와 위상 거리 변환부(42)로 구성된다.
상기 위상 신호 처리부(41)는 상기 파라미터 탐색부(33)에서 전달받은 최적 보정 파라미터를 바탕으로 타원 위의 점
Figure 112006027474453-pat00012
와
Figure 112006027474453-pat00013
신호를 원 위의 점
Figure 112006027474453-pat00014
와
Figure 112006027474453-pat00015
로 사상시킨다.
상기
Figure 112006027474453-pat00016
와
Figure 112006027474453-pat00017
는 각각 수학식 8 및 9와 같다.
Figure 112006027474453-pat00018
Figure 112006027474453-pat00019
그리고 상기 위상 거리 변환부(42)는 상기 정전용량센서 데이터 처리부(31)의 역과정을 통해 위상을 바탕으로 보정된 위치 정보를 산출한다.
상기와 같은 적응형 보정 알고리즘을 이용한 본 발명의 보정 방식은 새로운 데이터의 유입이나 상황 변화에 따라 각 경우에서 최적의 보정 파라미터를 제공함으로써, 초정밀도의 위치 측정을 높은 안정도로 제공할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 레이저 간섭계의 보정 시스템의 동작을 도 3에 나타낸 본 발명의 레이저 간섭계의 보정 방법을 통해 설명한다.
먼저, 측정 수단(10)인 상기 정전용량센서(12)가 출력한(S 10) 출력은 상기 보정부(30)의 상기 정전용량센서 데이터 처리부(31)에 의해 처리되어 출력된다(Φ=(4πnL)/λ; S 11).
그리고, 측정 수단(10)을 구성하는 상기 헤테로다인 레이저시스템(11)으로부터 위치 정보인 측정값을 입력받은(S 12) 상기 전처리부(20)는 상기 고역 통과 필터(21) 및 증폭부(22)를 통하여 상기 헤테로다인 레이저시스템(11)의 기준 신호와 측정 신호를 승산 처리하여 출력한 신호를 상기 레이저시스템 데이터 처리부(32)로 처리하여 출력한다(Φ'=(4πnL')/λ; S 13).
상기 파라미터 탐색부(33)는 상기 정전용량센서 데이터 처리부(31) 및 상기 레이저시스템 데이터 처리부(32)의 출력 신호를 주어진 바운더리 조건 내(S 16)에서 n번 동안 최소 자승 처리하고(S 14), 이어 m번 동안 반복 최소 자승 처리하여(S 15), 보정 파라미터를 얻는다.
상기 보정 파라미터를 이용하여 상기 레이저시스템의 신호를 보정하여 보정 신호를 얻고(S 17), 이를 이용하여 위상차를 거리로 환산하면(S 18), 상기 레이저시스템(11)에 의해 측정된 상기 타겟의 변위가 정확하게 보정되어 상기 출력부(50)를 통해 출력된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명은 정전용량센서의 위치 정보와 헤테로다인 레이저 간섭계의 위치 정보를 이용하여 최적의 보정 파라미터를 도출하고, 이를 바탕으로 헤테로다인 레이저 간섭계의 상황에 적응적인 보정 방식을 제공함으로써, 높은 측정 정밀도로 타겟을 측정할 수 있는 효과를 제공한다.
그리고, 본 발명은 본 발명에 따른 비선형성에 의한 오차를 줄임으로써 수 나노미터 단위의 정밀측정을 헤테로다인 레이저 간섭계로 가능하게 하는 효과를 제공한다.
아울러, 본 발명은 최소자승법과 반복최소자승법으로 이루어지는 보정의 최적화 기법을 이용함으로써, 지속적으로 들어오는 새로운 입력 자료에 적응할 수 있는 최적의 보정변수를 제공하는 효과를 제공한다.

Claims (18)

  1. 서로 다른 주파수를 가지고 직교 편광되는 두 광원을 사용하여 타겟에 대한 위치를 측정하는 헤테로다인 레이저 간섭계;
    수nm 단위의 측정 정밀도를 가지고 상기 타겟의 위치를 측정하는 정전용량센서;
    상기 레이저 간섭계와 상기 정전용량센서로부터 각각의 측정값을 수신하여 최소 자승법 또는 반복 최소 자승법을 통해 보정 파라미터를 도출하는 보정부;
    상기 보정부로부터 상기 보정 파라미터를 수신하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하고 보정된 위치 정보를 산출하는 맵퍼;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는 타겟에 대한 위치 정보를 신호의 강도로 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 레이저 간섭계는 기준 신호 강도와 측정 신호 강도를 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저 간섭계의 보정 시스템은
    상기 레이저 간섭계 및 상기 정전용량센서와 상기 보정부 사이에 연결되는 전처리부를 더 포함하고,
    상기 전처리부는
    미리 설정된 주파수 이상의 주파수만을 통과시키는 고대역 통과 필터 및
    상기 고대역 통과 필터에 출력된 신호를 증폭시켜 출력하는 증폭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  8. 삭제
  9. 제 7항에 있어서, 상기 고대역 통과 필터는 DC 성분을 제거하는 필터인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 증폭부는 락인증폭기(Lock in amplifier)로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  11. 제 7항 또는 제 10항에 있어서, 상기 증폭부는 상기 레이저 간섭계의 기준 신호를 위상이 미지연된 미지연 신호와 지연된 지연 신호로 출력하는 제 1위상 지연부, 상기 레이저 간섭계의 측정 신호를 위상 지연없이 출력하는 제 2위상 지연부, 상기 제 1위상 지연부의 미지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 1승산부, 상기 제 1위상 지연부의 지연 신호와 상기 제 2위상 지연부의 출력을 승산 처리하는 제 2승산부, 상기 제 1승산부 및 제 2승산부의 승산 처리 과정에서 발생된 고주파수 성분을 제거하는 저역 통과 필터로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  12. 제 1항에 있어서, 상기 보정부는 보정 파라미터를 도출하는 파라미터 탐색부, 상기 정전용량센서의 기준값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 1데이터 처리부, 상기 레이저 간섭계의 측정값을 상기 파라미터 탐색부에 적합한 데이터 포맷으로 변환하여 출력하는 제 2데이터 처리부로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 파라미터 탐색부는 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출하는 제 1보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부를 통해 입력된 데이터를 이용하여 반복 최소 자승법으로 보정 파라미터를 산출 하는 제 2보정 파라미터 처리부, 상기 제 1데이터 처리부 및 제 2데이터 처리부와 상기 제 1보정 파라미터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부간의 데이터 교환과 상기 제 1보정 파라미터 처리부 및 제 2보정 파라미터 처리부에서 산출된 보정 파라미터의 최적합 여부를 판단하여 적합한 보정 파라미터를 출력하는 조건 판단부로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  14. 제 1항에 있어서, 상기 맵퍼는 상기 보정부의 보정 파라미터를 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하여 위상차 신호를 출력하는 위상 신호 처리부, 상기 신호 처리부의 위상차 신호를 거리로 환산하여 출력하는 위상 거리 변환부로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 위상 거리 변환부의 출력을 표시하는 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템.
  16. 헤테로다인 레이저 간섭계, 정전용량센서, 전처리부, 보정부 및 맵퍼로 이루어지는 보정 시스템을 이용하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 헤테로다인 레이저 간섭계와 상기 정전용량센서가 타겟의 위치를 각각 측정하는 단계,
    (b)상기 전처리부 또는 상기 보정부가 상기 레이저 간섭계 또는 상기 상기 정전용량센서의 측정값을 수신하여 보정 파라미터 도출에 이용할 수 있는 데이터 포맷으로 변환하는 단계;
    (c) 상기 보정부가 변환된 상기 레이저 간섭계의 측정값과 상기 정전용량센서의 측정값에 대하여 최소 자승법 또는 반복 최소 자승법을 통해 보정 파라미터를 도출하는 단계;
    (d) 상기 맵퍼가 도출된 상기 보정 파라미터를 수신하여 상기 레이저 간섭계의 측정값을 보정하고 고정경로와 상기 타겟의 이동경로 사이의 위상차를 산출하는 단계;
    (e) 상기 맵퍼가 산출된 상기 위상차를 거리로 환산하여 보정된 위치 정보를 산출하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 방법.
  17. 삭제
  18. 제 16항에 있어서, 상기 (c) 단계는
    (c1) 변환된 상기 레이저 간섭계의 측정값과 상기 정전용량센서의 측정값을 수신하여 데이터베이스화하는 단계,
    (c2) 데이터베이스화된 데이터 중 N개의 데이터에 대해 최소 자승법을 수행하여 보정 파라미터를 도출하는 단계,
    (c3) 데이터베이스화된 데이터 중 상기 N개의 데이터 이후의 데이터에 대해 M개씩 반복 최소 자승법을 수행하여 보정 파라미터를 도출하는 단계,
    (c4) 상기 반복 최소 자승법을 통해 도출되는 보정 파라미터에 대해 상기 위치 정보의 비선형성을 기준으로 적합 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계의 보정 시스템 방법.
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