KR100723455B1 - 코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부 요크가 일체로 결합된 액츄에이터용 코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터에 관한 것이다. 본 발명의 한 유형에 따르면, 마그넷의 자기장과의 상호 작용에 의해 전자기력을 유도하는 내부 요크 일체형 액츄에이터용 코일 디바이스는, 기판; 상기 기판에 미세하게 형성된 적어도 하나의 코일; 및 상기 코일 내의 중심 위치에서 상기 기판을 관통하여 상기 기판 내부에 형성된 제 1 내부 요크;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터{Coil device and optical pickup actuator using the same}
도 1은 일반적인 액츄에이터용 적층형 코일 디바이스를 예시적으로 도시한다.
도 2a는 액츄에이터용 코일의 내부에 내부 요크가 없는 경우의 자기장을 도시한다.
도 2b는 액츄에이터용 코일의 내부에 내부 요크가 있는 경우의 자기장을 도시한다.
도 3은 본 발명에 따른 내부 요크가 일체로 결합된 액츄에이터용 코일 디바이스를 도시하는 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 액츄에이터용 코일 디바이스의 비어홀에 내부 요크를 결합시킨 상태를 도시한다.
도 5는 본 발명에 따른 액츄에이터용 코일 디바이스의 배면에 내부 요크를 결합시킨 상태를 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 광픽업 액츄에이터를 예시적으로 도시하는 사시도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※
30........액츄에이터용 코일 디바이스 31........기판
32........코일 33........비어홀
34,37.....내부 요크 35,38.....중간층
본 발명은 액츄에이터용 코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 내부 요크가 일체로 결합된 액츄에이터용 코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터에 관한 것이다.
광픽업 액츄에이터는 광기록/재생장치에 채용되어 기록매체인 디스크의 반경방향으로 이동하면서 비접촉식으로 턴테이블에 탑재된 디스크에 대해 정보의 기록 및/또는 재생을 수행하는 장치이다. 이러한 광픽업 액츄에이터는 광원에서 출사된 광을 집속하여 광디스크에 광스폿을 형성하는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈에 의해 형성된 광스폿이 광디스크의 정확한 위치에 놓이도록 대물렌즈를 트래킹 방향 또는 포커스 방향으로 구동하는 구동부를 포함한다. 일반적으로, 상기 광픽업 액츄에이터의 구동부는 코일과 자석 사이에서 발생하는 로렌츠 힘을 이용하기 때문에, 광픽업 액츄에이터의 감도는 주로 코일 디바이스의 구성과 배치에 좌우된다.
따라서, 액츄에이터의 성능을 향상시키기 위하여 다양한 형태의 코일 디바이스가 제작되고 있다. 예컨대, 렌즈 홀더에 직접 코일을 감은 권선형 코일 디바이스, PCB(printed circuit board) 기판 위에 미세하게 코일을 형성한 미세 패턴 코 일(fine pattern coil) 디바이스, 그리고 권선형 코일을 몰딩하여 제작되거나 세라믹 기판의 표면 위에 코일 패턴을 만든 후 소결 소성하여 제작되는 극소형 몰드 코일(very small molded coil; VSMC) 디바이스 등이 대표적이다. 특히, 미세 패턴 코일 디바이스나 극소형 몰도 코일 디바이스와 같은 적층형 코일 디바이스의 경우, 코일의 패턴을 매우 조밀하게 할 수 있어 작고 가볍게 만들 수 있으며, 적층 수를 늘려서 전체적인 권선 수를 쉽게 증가시킬 수 있다. 도 1은 이러한 미세 패턴 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일 디바이스와 같은 적층형 코일 디바이스를 예시적으로 도시하는 것으로, 얇은 기판(20) 위에 미세하게 패터닝된 코일(23)이 형성되어 있다. 코일(23)은 기판(20) 양쪽의 전극패드(21a,21b)를 통해 전류를 인가 받는다. 이러한 기판(20)을 여러 층으로 적층시키고 비어홀(24)을 통해 각각의 코일(23)들을 서로 도통시키면 권선 수를 증가시키는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 권선형 코일 디바이스의 경우, 내부 요크를 이용하여 자기효율을 향상시킴으로써 광픽업 액츄에이터의 감도를 증가시킬 수 있다. 도 2a는 코일 내부에 내부 요크가 없는 경우의 자기 플럭스(magnetic flux)를 보이고 있으며, 도 2b는 코일 내부에 내부 요크가 있는 경우의 자기 플럭스를 보이고 있다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 내부 요크가 없는 경우에는, 자석(10)에서 발생한 자기 플럭스가 분산되어 코일(11)로 흐르는 자기 플럭스가 비교적 적다. 그러나, 도 2b에 도시된 바와 같이, 내부 요크(12)가 있는 경우에는, 코일(11)의 내부와 외부에서 자기 플럭스가 발생하기 때문에, 코일(11)로 흐르는 자기 플럭스가 증가하게 된다. 그 결과, 코일(11)에 가해지는 힘이 증가하게 되어, 광픽업 액츄에이터의 감도를 증가시킬 수 있 다.
그런데, 통상적으로 자석(10)과 내부 요크(12)는 광픽업 액츄에이터의 베이스에 고정되어 있는 반면, 코일(11)은 렌즈 홀더에 권선되어 있기 때문에, 트래킹을 위하여 렌즈 홀더가 이동할 경우, 코일(11)과 내부 요크(12) 사이의 상대적인 위치가 변화하게 된다. 그러면 자기 플럭스가 코일(11)에 대해 대칭이 되지 않고 코일(11)의 한쪽에 더 많이 분포하게 되기 때문에, 액츄에이터가 선형적으로 운동하지 않고, 롤링(rolling) 운동하는 문제가 발생한다. 따라서, 코일(11)과 내부 요크(12)를 동시에 움직이게 할 필요가 있다. 이를 위해서는, 렌즈 홀더에 내부 요크(12)를 설치하여야 하는데, 이 경우 렌즈 홀더의 무게가 증가하게 되어 액츄에이터의 감도가 저하된다.
한편, 최근에는 초소형 광디스크 드라이브, 모바일(mobile) 광디스크 드라이브와 같은 소형 정보저장기기와, 수십 GB(giga byte)까지의 정보 저장이 가능한 블루-레이 디스크(BD) 및 HD-DVD와 같은 고용량 광기록매체가 개발됨에 따라, 이에 대응하여 보다 높은 감도를 갖는 광픽업 액츄에이터가 요구되고 있다. 그러나, 작고 가벼운 미세 패턴 코일 디바이스나 극소형 몰드 코일 디바이스를 사용하더라도, BD나 HD-DVD에 요구되는 감도를 만족시키는데 한계가 있으며, 고정된 내부 요크를 사용하는 경우에도 앞서 기술한 문제로 인해 감도를 증가시키기 어렵다. 또한, 미세 패턴 코일 디바이스나 극소형 몰드 코일 디바이스와 같은 적층형 코일 내에 코일과 함께 움직일 수 있는 내부 요크를 설치하는 것도 내부 요크의 크기 때문에 아직까지 불가능하였다.
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 종래의 문제점을 개선하여 초소형 광디스크 드라이브, 모바일 광디스크 드라이브와 같은 소형 정보저장기기와, 블루-레이 디스크(BD)나 HD-DVD와 같은 고용량 광기록매체에 적당한 높은 감도를 갖는 광픽업 액츄에이터를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 미세 패턴 코일 디바이스나 극소형 몰드 코일 디바이스와 같은 적층형 코일 내에 미세한 내부 요크를 설치함으로써, 내부 요크와 동시에 움직일 수 있는 내부 요크 일체형 코일 디바이스를 제공하는 것이다.
본 발명의 한 유형에 따르면, 마그넷의 자기장과의 상호 작용에 의해 전자기력을 유도하는 내부 요크 일체형 액츄에이터용 코일 디바이스는, 기판; 상기 기판에 미세하게 형성된 적어도 하나의 코일; 및 상기 코일 내의 중심 위치에서 상기 기판을 관통하여 상기 기판 내부에 형성된 제 1 내부 요크;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 상기 기판은 다수의 층으로 적층된 복층 구조이며, 상기 각각의 층마다 적어도 하나의 코일이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 코일 내의 중심 위치에서 상기 복층 구조의 기판을 관통하여 비어홀(via hole)이 형성되어 있으며, 각 층의 대응하는 코일들을 도통시키기 위한 전도층이 상기 비어홀의 내벽에 형성되어 있다.
이 경우, 상기 제 1 내부 요크는 중공의 튜브 형상 또는 내부가 채워진 원기 둥 형상으로 상기 전도층의 내벽에 형성된다.
이때, 상기 제 1 내부 요크가 상기 전도층의 표면에 용이하게 형성될 수 있도록 하는 은(Ag)을 포함하는 중간층이 상기 전도층과 제 1 내부 요크 사이에 형성될 수도 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 기판의 배면 상에 제 2 내부 요크가 더 부착될 수도 있다.
상기 코일 디바이스는 미세 패턴(fine pattern; FP) 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일(very small molded coil; VSMC) 디바이스 중 어느 하나일 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 유형에 따른 광픽업 액츄에이터는, 대물렌즈가 탑재되고, 지지부재에 의해 유동가능하게 지지된 렌즈홀더; 및 상기 렌즈홀더를 포커싱 방향 또는 트래킹 방향으로 구동시키는 자기구동부;를 구비하며, 여기서 상기 자기구동부는, 상기 렌즈홀더의 전면 및 후면과 각각 대향하도록 설치된 자석부; 및 상기 자석부와 상호작용함으로써 상기 렌즈홀더를 구동시키는 전자기력을 발생시키기 위하여 상기 렌즈홀더의 전면과 후면에 각각 설치된 상술한 구조의 코일 디바이스;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 내부 요크 일체형 액츄에이터용 코일 디바이스 및 이를 채용한 광픽업 액츄에이터의 구조에 대해 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 내부 요크가 일체로 결합된 액츄에이터용 코일 디바이스를 도시하는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 코일 디바이스(30)는, 기판(31), 상기 기판(31)에 미세하게 형성된 적어도 하나의 코일(32) 및 상기 코일(32) 내의 중심 위치에서 상기 기판(31)을 관통하는 비어홀(33) 내에 형성된 내부 요크(34)를 포함한다. 도 3에서는 3개의 코일이 도시되어 있지만, 설계에 따라 적절한 개수의 코일을 사용할 수 있다.
여기서, 상기 코일 디바이스(30)는 공지된 미세 패턴 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일 디바이스를 사용할 수 있다. 예컨대, 코일 디바이스(30)로서 FP 코일 디바이스를 사용하는 경우, 기판(31)은 PCB 이고, 코일(32)은 PCB를 미세하게 에칭하여 형성된 구리(Cu) 패턴일 수 있다. 또한, 코일 디바이스(30)로서 VSMC 디바이스를 사용하는 경우, 상기 기판(31)은 세락믹 소재의 기판이고, 코일(32)은 세라믹 기판(31)의 표면에 은(Ag)을 도금한 후 리소그래피 기술을 이용하여 미세하게 패터닝함으로써 형성될 수 있다.
비록 도 3에는 도시되어 있지 않지만, 상기 코일 디바이스(30)는 다수의 층으로 적층된 복층 구조를 가질 수 있다. 즉, 미세 패턴을 갖는 적어도 하나의 코일(32)이 각각 형성된 복수의 기판(31)을 다수의 층으로 적층함으로써 상기 코일 디바이스(30)를 구성할 수 있다. 이 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 복층 구조의 상기 기판(31)을 관통하는 비어홀(33)을 상기 코일(32)들 내의 중심 위치에 각각 형성하고, 각 기판(31) 층의 서로 대응하는 코일(32)들을 도통시키기 위한 전도층을 상기 비어홀(33)의 내벽에 형성할 수 있다.
본 발명의 양호한 실시예에 따르면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 비어홀 (33) 내에 전도층 뿐만 아니라 내부 요크(34)를 함께 형성하여 자기효율을 향상시킴으로써 광픽업 액츄에이터의 감도를 증가시킬 수 있다. 내부 요크(34)로는, 예컨대, 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co)와 같은 강자성체를 사용할 수도 있으나, 순철, 페라이트, 규소 강판과 같은 연자성체를 사용하는 것이 바람직하며, 상자성체 등도 사용할 수 있다. 이론적으로는 연자성체를 사용하는 것이 좋으나 실제 제작과 구입의 용이성, 가격, 도금 성능 등을 고려하면 실제에 있어서는 강자성체를 주로 사용하게 된다.
도 4a는 본 발명의 양호한 실시예에 따라 비어홀(33) 내에 내부 요크(34)를 형성한 상태를 보여주는 것으로, 도 3의 A-A' 단면을 도시하는 단면도이다. 도 4a에 도시된 바와 같이, 비어홀(33)의 내벽에는 각 기판(31) 층의 서로 대응하는 코일(32)들을 도통시키기 위한 전도층(36)이 먼저 형성된다. 코일 디바이스(30)로서 FP 코일 디바이스를 사용하는 경우, 상기 전도층(36)은, 예컨대, 구리(Cu)를 사용할 수 있다. 이 경우, 니켈(Ni)과 같은 내부 요크(34)가 구리(Cu)와 같은 전도층(36) 표면에 용이하게 형성될 수 있도록, 예컨대, 은(Ag)을 포함하는 중간층(35)을 상기 전도층(36) 표면에 형성한다. 그런 후, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 중간층(35)의 표면에 내부 요크(34)를 형성한다. 상기 내부 요크(34)는, 예컨대, 도금 기술을 이용하여 형성될 수 있다. 한편, 코일 디바이스(30)로서 VSMC 디바이스를 사용하는 경우, 상기 전도층(36)은, 예컨대, 은(Ag)을 사용할 수 있다. 이 경우에는, 중간층(35) 없이 상기 전도층(36)의 표면에 직접 내부 요크(34)를 형성할 수 있다.
도 4a의 경우에는, 상기 내부 요크(34)는 중공의 튜브 형상을 갖는 것으로 도시되어 있으나, 도 4b에 도시된 바와 같이, 내부가 채워진 원기둥의 형상으로 내부 요크(34)를 형성할 수도 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 코일 디바이스(30)의 배면에 내부 요크(37)를 추가적으로 형성할 수도 있다. 도 5는 이러한 코일 디바이스(30)의 단면을 도시하는 것이다. 도 5에 도시되어 있지는 않지만, 기판(31)의 전면에는 코일(32)이 형성되어 있다. 본 발명의 양호한 실시예에 따르면, 상기 기판(31)의 배면에는 강자성체나 연자성체로 이루어진 내부 요크(37)가 용이하게 도금될 수 있도록 중간층(38)을 먼저 형성한다. 그런 후, 상기 중간층(38)의 표면에, 예컨대, 니켈(Ni)을 포함하는 내부 요크(37)를 형성한다. 이렇게 코일 디바이스(30)의 배면에 내부 요크(37)를 추가적으로 형성함으로써, 광픽업 액츄에이터의 자기효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
상술한 본 발명의 양호한 실시예에 따르면, 기존의 미세 패턴 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일 디바이스와 비교하여, 크기, 두께 및 질량 등에 있어서 큰 변화 없이 내부 요크(37)를 설치하는 것이 가능하다. 따라서, 크기 및 질량의 변화 없이 코일 디바이스에 내부 요크가 추가적으로 설치되기 때문에, 코일 디바이스의 크기 및 질량의 증가로 인한 광픽업 액츄에이터의 감도 저하가 거의 없으며, 내부 요크로 인해 광픽업 액츄에이터의 감도가 크게 증가될 수 있다. 예컨대, 트래킹 구동에 있어서, 내부 요크를 사용하지 않는 경우 AC 감도는 약 20~22㎛/V 정도이고, DC 감도는 약 0.27~0.36mm/V 인데 반하여, 니켈(Ni)로 이루어진 내부 요크를 사용 하는 경우 AC 감도는 약 38.9㎛/V 정도이고, DC 감도는 0.64~0.67mm/V 인 것으로 확인되었다. 특히, 본 발명에 따른 코일 디바이스의 경우, 코일과 내부 요크가 동시에 움직이기 때문에, 자기 불평형에 의한 액츄에이터의 롤링 현상이 발생하지 않는다.
한편, 도 6은 본 발명에 따라 내부 요크가 일체로 결합된 액츄에이터용 코일 디바이스를 채용한 광픽업 액츄에이터의 구조를 예시적으로 도시하는 사시도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 광픽업 액츄에이터는, 베이스(40), 대물렌즈(46)가 탑재된 렌즈홀더(45), 상기 렌즈홀더(45)가 베이스(40)에 대해 유동 가능하도록 일단이 상기 렌즈홀더(45)에 결합되고 타단이 상기 베이스(40)에 마련된 홀더(43)에 고정되는 다수의 서스펜션 와이어(47) 및 상기 렌즈홀더(45)를 트래킹 방향 또는 포커스 방향으로 가동시키는 자기구동부를 구비한다.
여기서, 상기 자기구동부는, 상기 렌즈홀더(45)의 전면과 후면에 각각 대향하도록 상기 베이스(40) 상에 설치된 자석부(41) 및 상기 자석부(41)와 상호작용함으로써 상기 렌즈홀더(45)를 구동시키기 위한 전자기력(즉, 로렌츠의 힘; Lorentz force)을 발생시키는 코일 디바이스(30)를 포함한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 자석부(41)는 외부 요크(42)를 통해 베이스(40)에 고정되어 있으며, 상기 코일 디바이스(30)는 상기 자석부(41)와 대향하도록 상기 렌즈홀더(45)의 전면과 후면에 각각 설치되어 있다. 여기서, 상기 코일 디바이스(30)는, 예컨대, 앞서 설명한 본 발명의 양호한 실시예에 따라 내부 요크가 일체로 결합된 FP 코일 디바이스 또는 VSMC 디바이스일 수 있다.
이러한 구조에서, 상기 서스펜션 와이어(47)를 통해 상기 코일 디바이스(30)에 전압이 인가됨으로써, 상기 렌즈홀더(45)를 구동하는 전자기력이 발생하게 된다. 이때, 상기 코일 디바이스(30) 내의 내부 요크(34,37)로 인해 자석부(41)와 코일 디바이스(30) 사이의 자기 플럭스가 증가하기 때문에, 보다 강한 전자기력이 발생할 수 있다. 그 결과, 광픽업 액츄에이터의 감도가 증가하게 된다. 또한, 트래킹 도중에 상기 코일 디바이스(30)와 내부 요크(34,37)가 함께 이동하기 때문에, 렌즈홀더(45)의 롤링이 발생하지 않는다. 따라서, 블루-레이 디스크용 또는 HD-DVD용으로 사용될 경우, 약 20배속의 고배속을 실현하는 것이 가능하다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 기존의 FP 코일 디바이스 또는 VSMC 디바이스와 비교하여, 크기, 두께 및 질량 등에 있어서 큰 변화 없이 내부 요크를 설치하는 것이 가능하다. 따라서, 크기 및 질량의 변화 없이 코일 디바이스에 내부 요크가 추가적으로 설치되기 때문에, 코일 디바이스의 크기 및 질량의 증가로 인한 광픽업 액츄에이터의 감도 저하가 거의 없으며, 내부 요크로 인해 광픽업 액츄에이터의 감도가 크게 증가될 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 코일 디바이스의 경우, 코일과 내부 요크가 동시에 움직이기 때문에, 자기 불평형에 의한 액츄에이터의 롤링 현상이 발생하지 않는다는 장점이 있다.
이러한 본 발명에 따른 코일 디바이스를 사용할 경우, 예컨대, 초소형 광디스크 드라이브나 모바일 광디스크 드라이브와 같은 초소형 정보저장기기나, 블루-레이 디스크(BD)나 HD-DVD와 같은 고용량 광기록매체에 적당한 높은 감도를 갖는 고배속 광픽업 액츄에이터를 제공하는 것이 가능하다.

Claims (11)

  1. 마그넷의 자기장과의 상호 작용에 의해 전자기력을 유도하는 액츄에이터용 코일 디바이스에 있어서,
    기판;
    상기 기판에 미세하게 형성된 적어도 하나의 코일; 및
    상기 코일 내의 중심 위치에서 상기 기판을 관통하여 상기 기판 내부에 형성된 제 1 내부 요크;를 포함하며,
    상기 코일 내의 중심 위치에서 상기 기판을 관통하여 비어홀이 형성되어 있으며, 상기 비어홀의 내벽에 전도층이 형성되어 있고, 상기 제 1 내부 요크는 상기 전도층의 내벽에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 내부 요크 일체형 액츄에이터용 코일 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 코일 디바이스는 복수의 기판이 다수의 층으로 적층된 복층 구조이며, 상기 각 기판 층마다 각각 적어도 하나의 코일이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 전도층은 상기 복수의 기판에 각각 형성된 코일들을 도통시키는 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 내부 요크는 중공의 튜브 형상 또는 내부가 채워진 원기둥 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 내부 요크가 상기 전도층의 표면에 용이하게 형성될 수 있도록 하는 은을 포함하는 중간층이 상기 전도층과 제 1 내부 요크 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판의 배면 상에 제 2 내부 요크가 더 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 코일 디바이스는 미세 패턴 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일 디바이스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 코일 디바이스.
  9. 대물렌즈가 탑재되고, 지지부재에 의해 유동가능하게 지지된 렌즈홀더; 및 상기 렌즈홀더를 포커싱 방향 또는 트래킹 방향으로 구동시키는 자기구동부;를 구비한 광픽업 액츄에이터에 있어서,
    상기 자기구동부는:
    상기 렌즈홀더의 전면 및 후면과 각각 대향하도록 설치된 자석부; 및
    상기 자석부와 상호작용함으로써 상기 렌즈홀더를 구동시키는 전자기력을 발생시키기 위하여 상기 렌즈홀더의 전면과 후면에 각각 설치된 것으로, 제 1 항 내지 제 3 항, 제 5 항 또는 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 코일 디바이스;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 코일 디바이스의 배면에 제 2 내부 요크가 더 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 코일 디바이스는 미세 패턴 코일 디바이스 또는 극소형 몰드 코일 디바이스 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터.
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