KR100721426B1 - 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블 - Google Patents

레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블 Download PDF

Info

Publication number
KR100721426B1
KR100721426B1 KR1020050025998A KR20050025998A KR100721426B1 KR 100721426 B1 KR100721426 B1 KR 100721426B1 KR 1020050025998 A KR1020050025998 A KR 1020050025998A KR 20050025998 A KR20050025998 A KR 20050025998A KR 100721426 B1 KR100721426 B1 KR 100721426B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
block
working table
display panel
cutting device
suction hole
Prior art date
Application number
KR1020050025998A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060104126A (ko
Inventor
김영환
반영구
Original Assignee
주식회사 이오테크닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이오테크닉스 filed Critical 주식회사 이오테크닉스
Priority to KR1020050025998A priority Critical patent/KR100721426B1/ko
Publication of KR20060104126A publication Critical patent/KR20060104126A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100721426B1 publication Critical patent/KR100721426B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블이 개시된다. 개시된 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블은: 그 위에 전극이 형성된 디스플레이 패널이 배치되는 워킹 플레이트; 상기 워킹 플레이트 상에 설치되어 상기 디스플레이 패널과 접촉하는 상면이 형성된 지지블록; 및 상기 지지블록의 높이를 조절하는 실링 심;을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블{Working table for electrodes cutting laser}
도 1은 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극을 보여주는 개략적 사시도이다.
도 2는 도 1의 디스플레이 패널이 설치되는 워킹 테이블의 일 예를 도시한 사시도이다.
도 3 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블의 사시도이다.
도 4는 도 3의 지지블록의 일 실시예를 도시한 분리 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 지지블록의 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 지지블록의 또 다른 실시예를 도시한 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100: 워킹 테이블 120: 워킹 플레이트
130,230,330: 지지블록 132: 고정블록
134,234,334: 석션홀 136,236,336: 폴 블록
137,237,337: 흡착홀 140: 실링 심
150,250: 진공펌프라인 260: 조절밸브
본 발명은 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극들을 절단시키는 레이저 가공장치로 레이저 가공작업시 디스플레이 패널을 보호하는 수단이 구비된 워킹 테이블에 관한 것이다.
일반적으로 LCD와 같은 디스플레이 패널의 생산 과정에서 정전기에 의한 트랜지스터의 파손을 막기 위하여, 또는 에이징 등의 테스트를 간편하게 하기 위하여 제조 공정 중에 각 셀에 단락선이 연결되어 있으며, 이 단락선은 테스트 공정이 끝난 후 모듈 조립을 하기 전까지 제거되어야 한다.
도 1은 디스플레이 패널의 유리기판에 형성된 전극을 보여주는 개략적 사시도이다.
도 1을 참조하면, 디스플레이 패널에 사용되는 전면기판 및 배면기판은 유리기판으로 제조된다. 유리기판(10)에는 선택적으로 발광하는 다수의 단위 셀(cell)들이 형성되어 있다. 유리기판(10)의 네 가장자리에는 단위 셀들을 선택적으로 발광시키기 위해 전압을 인가하기 위한 전극(13)들이 소정 간격으로 다수 배치되어 있다.
이와 같은 유리기판(10)의 제조 공정 중에는 유리기판(10)의 모든 셀들이 오랜 시간 동안 제대로 작동하는지의 여부를 검사하는 에이징(aging) 공정이 포함된 다. 에이징 공정은 이를 간편하게 수행하기 위해 유리기판(10)의 전극(13)들을 모두 쇼트(short)시킨 상태에서 전압을 인가함으로써 행해진다. 이때, 상기 전극(13)들의 쇼트는 그 전극(13)들 위에 이들과 직교하도록 에이징용 전극(15)을 인쇄함으로써 이루어진다.
상기한 에이징 공정이 완료된 후에는 쇼트된 상기 전극(13)들을 쇼트되기 전 상태로, 즉 각 전극(13)들이 서로 단절된 상태로 만들어주어야 한다. 이를 위해 종래에는 상기 에이징용 전극(15)을 에칭(etching) 공정에 의해 제거함으로써 각 전극(13)들이 서로 단절되도록 하는 방법이 사용되거나 또는 기계적 방법이 사용되어 왔다. 에칭 공정에서는 알려진 바와 같이 그 공정이 비교적 복잡하여 공정 시간이 많이 소요되고, 또한 화학 약품이 사용되므로 환경친화적인 측면에서 단점이 있었다. 기계적인 글라인더에 의하여 단락선을 제거하는 경우, 기계적인 진동에 의하여 유리기판이 파손되거나 오히려 정전기를 유발시키는 문제점이 있었다.
최근에는 레이저 장치를 이용하여 각 셀들에 전압을 인가하기 위한 전극들을 절단하여 주는 방법이 주로 이용되고 있다.
도 2는 도 1의 디스플레이 패널이 설치되는 워킹 테이블의 일 예를 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 워킹 테이블(20)은 디스플레이 패널(10)이 올려지는 워킹 플레이트(22)와, 워킹 플레이트(22) 상에 형성된 다수의 홀(24)과 연결된 진공펌프라인(26)으로 이루어져 있다. 워킹 플레이트(22)의 내부는 진공공간이 형성되어서 상기 진공펌프라인(26)을 온/오프함으로써 디스플레이 패널(10)을 워킹 테이블(20) 에 고정 또는 이완시킬 수 있다.
워킹 플레이트(22) 상에 정렬된 디스플레이 패널(10)의 전극(13) 위로 레이저 빔을 조사시, 알루미늄 재질로 제조된 워킹 플레이트(22)로부터 레이저 빔이 난반사되어 디스플레이 패널(10)에 재조사되어 디스플레이 패널(10)을 손상시키는 문제가 발생된다. 또한, 상기 레이저 빔은 레이저 헤드(미도시)로 난반사 되어서 레이저 헤드를 손상시킬 수 있다.
또한, 도 2의 워킹 테이블(20)은 소형 크기, 예컨대 15 인치 이하의 디스플레이 패널(10)을 고정시에는 각 홀(24)에서의 석션 압력의 편차가 크지 않으나, 대형 디스플레이 패널(10), 예컨대 60 인치 패널에 적용시 상기 홀들(24)과 패널(10) 사이의 흡입 진공도가 크게 차이가 나서 레이저 가공작업시 패널이 고정되지 않는 문제가 발생될 수 있다. 또한, 워킹 플레이트(22)의 표면의 편평도가 다른 경우 그 위에 올려지는 패널(10)이 편평하게 배치되지 않으며, 이는 디스플레이 패널(10)의 품질을 악화시킬 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 레이저를 이용한 디스플레이 패널의 전극절단장치로 레이저 가공시 상기 디스플레이 패널을 그 위에 일정한 석션압력으로 고정하고, 그 표면의 편평도가 향상된 워킹 테이블을 제공하는 것이다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위해 본 발명의 레이저 전극 절단장치의 워 킹 테이블은:
그 위에 전극이 형성된 디스플레이 패널이 배치되는 워킹 플레이트;
상기 워킹 플레이트 상에 설치되어 상기 디스플레이 패널과 접촉하는 상면이 형성된 지지블록; 및
상기 지지블록의 높이를 조절하는 실링 심;을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시에 따르면,
상기 지지블록은, 상기 워킹 플레이트에 고정되는 고정블록; 및
상기 고정블록 상에 설치되는 폴 블록;을 구비하며,
상기 실링 심은 상기 고정블록 및 상기 폴 블록 사이에 설치되어서 상기 지지블록의 높이를 조정한다.
본 발명의 일 국면에 따르면, 상기 고정블록은,
그 측면에 진공펌프라인과 연결된 석션홀; 및
상기 석션홀과 상기 진공펌프라인 사이의 개구면적을 조절하는 조절밸브;를 더 구비하며,
상기 조절밸브로 해당 폴 블록에 가해지는 진공압력을 조절한다.
본 발명의 다른 국면에 따르면,
상기 고정블록의 하부에는 외부의 진공펌프라인과 연결되는 석션홀이 형성된 다.
본 발명의 다른 실시에 따르면,
상기 지지블록은 폴 블록을 구비하며,
상기 실링 심은 상기 폴 블록 및 상기 워킹 플레이트 사이에 설치되어서 상기 지지블록의 높이를 조정한다.
상기 폴 블록은 폴리 아세탈로 제조되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블을 상세히 설명한다.
도 3 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블의 사시도이며, 도 4는 도 3의 지지블록의 일 실시예를 도시한 분리 사시도이며, 도 1의 구성요소와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 3을 참조하면, 워킹 테이블(100)은 상면에 디스플레이 패널(10)의 하부가 접촉되는 지지블록(130)과, 상기 지지블록(130)의 하부에 설치된 워킹 플레이트(120)를 구비한다.
도 4를 참조하면, 지지블록(130)은 워킹 플레이트(120)에 나사결합되어 고정되는 고정블록(132)과, 상기 고정블록(132) 상부에 설치되어 디스플레이 패널(10)이 배치되는 폴 블록(136)과, 상기 고정블록(132) 및 폴 블록(136) 사이에 설치되어서 폴 블록(136)의 상부의 높이(위치)를 조정하게 하는 실링 심(140)을 구비한다.
상기 폴 블록(136)은 속이 빈 원기둥 형상이며, 레이저 빔이 조사되어도 레이저 빔을 재반사시키는 비율이 낮은 플라스틱, 바람직하게는 폴리 아세탈(Poly Acetal)로 제조되는 것이 바람직하다. 상기 폴 블록(136)에는 흡착홀(137)이 형성 되어 있다. 폴 블록(136)의 하부에는 나사산(138)이 형성되어 있으며, 대응되는 고정블록(132)에는 상기 나사산(138)과 결합되는 나사홈(133)이 형성되어 있다.
상기 고정블록(132)과 폴 블록(136) 사이에는 상기 폴 블록(136)의 상부면의 위치를 조절하도록 실링 심(140)이 삽입될 수 있다. 실링 심(140)은 SUS 재질이 사용될 수 있다. 고정블록(132)의 하부에는 석션홀(134)이 형성되어 있으며, 이 석션홀(134)이 상기 흡착홀(137)과 연통된다. 석션홀(134)은 워킹 플레이트(120)에 형성된 내부공간과 연결된 진공펌프라인(150)과 연통되어서 폴 블록(136) 상의 디스플레이 패널(10)을 흡착하게 된다.
도 5는 본 발명에 따른 지지블록(230)의 다른 실시예를 도시한 사시도이다. 상기 실시예와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 5를 참조하면, 폴 블록(236)은 속이 빈 원기둥 형상이며, 레이저 빔이 조사되어도 레이저 빔을 재반사시키는 비율이 낮은 플라스틱, 바람직하게는 폴리 아세탈(Poly Acetal)로 제조되는 것이 바람직하다. 상기 폴 블록(236)에는 흡착홀(237)이 형성되어 있다. 폴 블록(236)의 하부에는 나사산(도 4의 138 참조)이 형성되어 있으며, 대응되는 고정블록(232)에는 상기 나사산과 결합되는 나사홈(도 4의 133 참조)이 형성되어 있다.
상기 고정블록(232)과 폴 블록(236) 사이에는 상기 폴 블록(236)의 상부면의 위치를 조절하도록 실링 심(도 4의 140)이 삽입될 수 있다. 실링 심(140)은 SUS 재질이 사용될 수 있다. 고정블록(232)의 측면에는 석션홀(234)이 형성되어 있으며, 이 석션홀(234)이 상기 흡착홀(237)과 연통된다. 석션홀(234)은 진공펌프라인(250)과 연통되어서 폴 블록(236) 상의 디스플레이 패널(10)을 흡착하게 된다. 석션홀(234)과 진공펌프라인(250) 사이를 개폐하며, 그 개구면적을 조절하는 조절밸브(260)가 설치되어 있다. 이 조절밸브(260)의 조정으로 디스플레이 패널(10)에 가해지는 석션압력을 일정하게 조절할 수 있다. 또한, 레이저 가공대상인 디스플레이 패널(10)의 크기에 따라서 석션압력이 필요없는 지지블록(230)에 가해지는 석션압력을 차단할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 지지블록(330)의 또 다른 실시예를 도시한 사시도이다. 상기 실시예와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 6을 참조하면, 폴 블록(336)은 속이 빈 원기둥 형상이며, 레이저 빔이 조사되어도 레이저 빔을 재반사시키는 비율이 낮은 플라스틱, 바람직하게는 폴리 아세탈(Poly Acetal)로 제조되는 것이 바람직하다. 상기 폴 블록(336)에는 흡착홀(337)이 형성되어 있다. 폴 블록(336)의 하부는 사각 블록(332)으로 이루어져 있으며, 사각블록(332)은 워킹 플레이트(도 3의 120)와 나사결합된다.
상기 폴 블록(336)과 워킹 플레이트(120) 사이에는 상기 폴 블록(336)의 상부면의 위치를 조절하도록 실링 심(도 1의 140)이 삽입될 수 있다. 실링 심(140)은 SUS 재질이 사용될 수 있으며, 다양한 형상, 예컨대 홀이 형성된 사각형상으로 형성될 수 있다. 상기 폴 블록(336)과 상기 사각블록(332)은 일체형으로 제조될 수도 있다. 사각 블록(332)의 하부에는 석션홀(334)이 형성되며, 석션홀(334)은 진공펌프라인(도 3의 150)과 연통되어서 폴 블록(336) 상의 디스플레이 패널(10)을 흡착하게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블에 따르면, 레이저 작업시 디스플레이 패널이 워킹 테이블의 폴 블록 상에서 고정되며, 실링 심에 의해서 편평도가 유지된다. 또한, 알루미늄으로 만든 워킹 플레이트가 레이저 빔의 초점으로부터 벗어나므로 레이저 빔이 직접적으로 워킹 플레이트에 조사되지 않으며, 따라서 레이저 빔이 워킹 플레이트로부터 난반사되는 것이 방지되며, 따라서 디스플레이 패널을 손상시키는 것이 방지된다.
본 발명은 도면을 참조하여 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 한해서 정해져야 할 것이다.

Claims (8)

  1. 그 위에 전극이 형성된 디스플레이 패널이 배치되는 워킹 플레이트;
    상기 워킹 플레이트 상에 설치되어 상기 디스플레이 패널과 접촉하는 상면이 형성된 지지블록; 및
    상기 지지블록의 높이를 조절하는 실링 심;을 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지블록은, 상기 워킹 플레이트에 고정되는 고정블록;
    상기 고정블록 상에 설치되는 폴 블록;을 구비하며,
    상기 실링 심은 상기 고정블록 및 상기 폴 블록 사이에 설치되어서 상기 지지블록의 높이를 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정블록은,
    그 측면에 진공펌프라인과 연결된 석션홀;
    상기 석션홀과 상기 진공펌프라인 사이의 개구면적을 조절하는 조절밸브;를 더 구비하며,
    상기 조절밸브로 해당 폴 블록에 가해지는 진공압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정블록의 하부에는 외부의 진공펌프라인과 연결되는 석션홀이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지블록은 폴 블록을 구비하며,
    상기 실링 심은 상기 폴 블록 및 상기 워킹 플레이트 사이에 설치되어서 상기 지지블록의 높이를 조정하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 폴 블록은,
    그 측면에 진공펌프라인과 연결된 석션홀;
    상기 석션홀과 상기 진공펌프라인 사이의 개구면적을 조절하는 조절밸브;를
    상기 조절밸브로 해당 폴 블록에 가해지는 진공압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 고정블록의 하부에는 외부의 진공펌프라인과 연결되는 석션홀이 형성된 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
  8. 제 2 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴 블록은 폴리 아세탈로 제조된 것을 특징으로 하는 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블.
KR1020050025998A 2005-03-29 2005-03-29 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블 KR100721426B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050025998A KR100721426B1 (ko) 2005-03-29 2005-03-29 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050025998A KR100721426B1 (ko) 2005-03-29 2005-03-29 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060104126A KR20060104126A (ko) 2006-10-09
KR100721426B1 true KR100721426B1 (ko) 2007-05-23

Family

ID=37634210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050025998A KR100721426B1 (ko) 2005-03-29 2005-03-29 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100721426B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000308845A (ja) * 1999-04-27 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 粘性流体塗布方法及び装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000308845A (ja) * 1999-04-27 2000-11-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 粘性流体塗布方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060104126A (ko) 2006-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070103294A (ko) 액정표시장치
US7522642B2 (en) Method and system for laser amplification using a dual crystal Pockels cell
KR100193969B1 (ko) 전자 기기의 lcd 패널 보유 지지 구조
KR100937965B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 절단 장치
US10629164B2 (en) Array substrate, manufacturing method thereof, control method, control assembly, and display device
CN102626833A (zh) 对用于电子设备的显示部件的激光处理
CN102117588A (zh) 阵列测试装置
EP3444661A1 (en) Backlight module, display panel, and display device
KR20140141330A (ko) 유기 발광 표시 모듈 및 이를 포함한 표시 장치
KR100645694B1 (ko) 유기발광 표시장치
KR100721426B1 (ko) 레이저 전극 절단장치의 워킹 테이블
TW201923725A (zh) 子顯示器及由子顯示器製造拼接顯示器之方法
TWI425283B (zh) 用於修復顯示裝置之亮點故障的設備
US10433445B2 (en) Display device
KR20190093438A (ko) 이방성도전필름 커팅 장치
KR100672255B1 (ko) 디스펜서의 수평 조절장치
KR101032969B1 (ko) 리페어 장치 및 리페어 방법
KR100762393B1 (ko) 평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템
KR100707857B1 (ko) 레이저 가공 장치의 디스플레이 패널 정렬장치
KR20060132166A (ko) 센서 유닛의 위치조절이 가능한 카세트 맵핑 장치
KR20230033094A (ko) 마이크로 led 디스플레이 리페어 장치 및 방법
CN109733042B (zh) 用于制备压反折角结构的装置
KR102292368B1 (ko) 도포 장치
KR100370112B1 (ko) Ｔｆｔ-어레이 제조공정용 플로우팅 척
JP2005144738A (ja) スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130108

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140120

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150113

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160114

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170112

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180223

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190319

Year of fee payment: 13