KR100710333B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 소성 장치 및 이를 이용한플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 소성 장치 및 이를 이용한플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치는 소성로, 마이크로파 소스 장치, 마이크로파 소스 장치에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 장치 및 소성로 내에 마이크로파 소스 장치로부터 마이크로파를 공급하기 위한 웨이브 가이드를 포함한다.
이러한 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 기판 상부에 글라스 파우더가 포함된 소정의 페이스트를 도포하는 단계, 페이스트를 노광하고 현상하여 패턴을 형성하는 단계 및 패턴이 형성된 페이스트를 마이크로파가 공급되는 소성로내에서 소성하는 단계를 포함한다.
따라서 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 생산수율을 향상시키고, 균일하게 시편을 가열할 수 있으므로 패널의 유니포머티를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
소성로, 마이크로파, 글라스

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 소성 장치 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법{Burning apparatus for plasma display panel and manufacturing method of plasma display panel using the same}
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 나타낸 도.
도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200: 소성로 210: 기판지지대
220: 히터 230: 기판
240: 웨이브 가이드 250: 마이크로파 소스 장치
260: 전원 공급 장치
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 소성온도를 낮추기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치 및 이를 이용한 플라즈 마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면기판과 후면기판 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 이러한 단위 셀에는 불활성 기체가 충진되어 있다. 이와 같은 단위 셀에 전압을 가하게 되면 전압으로 인해 방전이 되고, 방전이 될 때, 불활성 가스는 자외선을 발생하고 격벽 사이에 도포된 형광체를 여기시킴으로써 패널을 디스플레이한다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 자세히 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 전면 글라스(100) 상부에 투명전극과 버스전극으로 형성된 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102)이 쌍을 이룬 유지전극이 형성되고, 스캔 전극(101)과 서스테인 전극(102) 상부에는 방전전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전체층(103)이 형성된다. 이러한 유전체층(103) 상부에는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어진 보호층(104)이 형성되어 전면기판을 이룬다.
반면, 후면기판은 상기 전면기판의 스캔 전극(101) 및 서스테인 전극(102)과 교차되도록 후면 글라스(110)에 배열된 어드레스 전극(111)이 형성되고, 어드레스 전극(111) 상부에는 화이트백(112)이 형성된다. 이러한 화이트백(112) 상부에는 단위 방전셀을 구획하는 격벽(113)이 형성되며, 이러한 격벽(113) 사이에는 R, G, B 형광체가 도포되어 형광체층(114)이 형성된다.
이와 같은 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널은 노광공정, 현상 및 에칭 공정, 소성공정등을 거쳐 형성된다.
여기서 노광공정은 소정의 패턴을 형성하기 위한 마스크를 놓고 자외선등의 광원으로 노광하는 과정을 말한다.
이 후, 현상 및 에칭 공정을 행하여 플라즈마 디스플레이 패널의 패턴을 형성하게 된다.
이 후, 소성공정을 거치게 되면 소정의 패턴이 완성된다.
이러한 공정들을 거쳐 플라즈마 디스플레이 패널을 이루는 전극, 유전체층, 격벽, 형광체층이 형성된다. 이러한 전극, 유전체층, 격벽, 형광체층은 페이스트를 도포하여 전술한 바와 같은 공정을 거쳐 형성이 되는데, 이 중 소성공정은 대체적으로 500℃이상의 높은 소성온도로 패턴을 완성한다.
그러나 높은 소성온도에 의한 공정으로 인하여 전면기판과 후면기판의 기재가 되는 전면 글라스와 후면 글라스 및 글라스 파우더가 포함된 유전체층, 격벽, 형광체층의 패턴 변형이 일어나 패널의 유니포머티가 저하되는 현상이 발생한다.
이와 같이 패널의 유니포머티가 저하되는 것을 방지하기 위하여 높은 소성온도를 견딜 수 있는 가격이 비싼 글라스를 이용하게 되는데, 이에 따라 플라즈마 디스플레이 패널의 생산수율을 저하시키는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정 시 사용되는 소성장치를 개선하여 플라즈마 디스플레이 패널의 생산수율 및 패널의 유니포머티를 향상시킬 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치 및 그를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치는 소성로, 마이크로파 소스 장치, 상기 마이크로파 소스 장치에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 장치 및 상기 소성로 내에 상기 마이크로파 소스 장치로부터 마이크로파를 공급하기 위한 웨이브 가이드를 포함한다.
상기 소성로에는 히터를 포함하는 기판 지지대와 기판이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 마이크로파 소스 장치는 마그네트론인 것을 특징으로 한다.
상기 마이크로파의 주파수는 300MHz이상 3000MHz이하인 것을 특징으로 한다.
이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 이용하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 기판 상부에 글라스 파우더가 포함된 소정의 페이스트를 도포하는 단계, 상기 페이스트를 노광하고 현상하여 패턴을 형성하는 단계 및 상기 패턴이 형성된 페이스트를 마이크로파가 공급되는 소성로내에서 소성하는 단계를 포함한다.
상기 소정의 페이스트는 유전체, 격벽, 형광체 중 하나 이상인 것을 특징으로 한다.
상기 페이스트의 소성 온도는 400℃이상 500℃이하인 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 나타낸 도이 다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치는 소성로(200), 웨이브 가이드(240), 마이크로파 소스 장치(250), 전압 공급 장치(260)등으로 형성된다.
먼저 소성로(200)를 살펴보면, 소성로(200)에는 하부에 에너지를 공급하는 히터(220)를 포함한 기판 지지대(210)가 형성되고, 기판 지지대(210) 상부에 기판(230)이 형성된다. 이러한 소성로(200) 내부의 히터(220)를 가동시켜 일정한 소성온도로 소성공정을 행하게 된다.
웨이브 가이드(240)는 소성로(200)와 마이크로파 소스 장치(250)를 연결시켜주며, 마이크로파 소스 장치(250)로부터 소성로(200)에 마이크로파를 공급해 주는 통로가 된다.
마이크로파 소스 장치(250)는 마이크로파를 형성하기 위한 장치로써, 일종의 마그네트론이라는 발진기를 말한다. 이러한 마그네트론으로 인하여 마이크로파가 형성되는데, 형성되는 마이크로파의 주파수는 300MHz이상 3000MHz이하로 극초단파이다.
마지막으로 전원 공급 장치(260)는 마이크로파를 형성시키기 위해 전원을 공급하는 장치이다.
이와 같이 소성로(200) 내의 하부에 기판(230)을 지지하고, 소성로의 상부에서 마이크로파를 공급하면 종래에 기판 지지대(210)에 포함된 히터(220)에서 발생되는 열에너지만을 이용하여 패턴을 형성하기 위한 소성공정을 실시한 것과는 달리 본 발명에서는 히터(220)에 의해 발생되는 열에너지 뿐 아니라 마이크로파로 인하여 발생되는 열에너지를 공급해 줌으로써 플라즈마 디스플레이 패널을 제작하는 과정에서의 실질적인 소성온도를 낮출 수 있게 된다. 또한, 마이크로파 소스 장치(250)로부터 발생되는 마이크로파가 극초단파이기 때문에 빠른 시간내에 원하는 패턴을 형성하기 위한 소성공정의 시간을 단축할 수 있다.
이와 같은 소성장치를 이용하여 형성되는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 대해 살펴보면 다음과 같다.
도 3은 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도이다.
도 3에서 보는 바와 같이, 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 도 3의 좌측에 나열된 전면기판의 제조과정과, 우측에 나열된 후면기판의 제조과정 및 이러한 제조과정을 통해 형성된 전면기판과 후면기판을 합착하는 과정을 포함한다.
먼저 도 3의 좌측에 나열된 전면기판 제조과정을 설명하면, 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(300), 준비된 전면 글라스 상부에는 스캔 전극과 서스테인 전극이 형성된다(301). 이러한 스캔 전극과 서스테인 전극은 투명전극과 버스전극으로 형성되는데, 스캔 전극과 서스테인 전극을 형성하는 방법의 일례를 살펴보면, 먼저, 산화인듐과 산화주석으로 이루어진 ITO(Indium Tin Oxide) 물질로 형성된 투명전극막 상부에 드라이 필름을 라미네이팅하여 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(Photo Mask)의 패턴으로 노광한 후, 현상 및 에칭 공정을 거쳐 투명전극을 형성한다. 이와 같이 형성된 투명전극 상부에 은(Ag) 페이스트를 스크린 인쇄방식으로 인 쇄한 후, 투명전극 형성과정과 마찬가지로 노광하여 버스전극을 형성한다. 이 후, 550℃정도의 온도로 가열하여 소성을 행하게 되면 투명전극과 버스전극이 일체화되어 스캔 전극과 서스테인 전극 즉, 유지전극이 형성된다. 이러한 유지전극을 형성할 때 본 발명에 따른 소성장치를 이용할 수 없는데 그 이유는 마이크로파에 의해 버스전극을 이루고 있는 은과 같은 금속물질이 녹아 패널을 오염시킬 수 있기 때문이다.
이와 같이 유지전극쌍을 형성한 후, 유지전극쌍 상부에 유전체층이 형성되는데(302), 유전체층은 유지전극쌍을 포함한 전면 글라스 상부에 글라스 파우더를 포함한 유전체 페이스트를 도포한 후, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 이용하여 유전체층을 형성한다. 이 때, 유전체 페이스트를 소성하는 소성온도는 400℃이상 500℃이하로 종래의 소성온도보다 낮은 온도에서 소성이 가능하다.
이와 같이 형성된 유전체층 상부에 산화마그네슘(MgO)으로 이루어진 보호층이 형성되면(303) 전면기판이 완성된다.
도 3의 우측에 나열된 후면기판 제조과정을 살펴보면, 전면기판과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(310), 후면 글라스 상부에는 전면기판에 형성된 유지전극쌍과 교차하도록 배열되는 어드레스 전극이 형성된다(311). 이와 같은 어드레스 전극은 전면기판의 스캔 전극 및 서스테인 전극과 마찬가지로 투명전극과 버스전극으로 형성되며, 형성방법도 전술한 바와 같다.
이 후, 어드레스 전극 상면에는 화이트백이 형성되고(312), 화이트백 상부 에는 방전셀을 구획하기 위한 격벽이 형성된다(313). 이러한 격벽 형성과정의 일례를 살펴보면, 글라스 파우더가 포함된 격벽 페이스트를 여러번 인쇄한 후, 노광하여 샌드블라스트법 등을 이용하여 격벽의 패턴을 형성한 후, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 이용하여 소성하여 격벽을 형성한다. 이 때, 격벽 페이스트를 소성하는 소성온도는 400℃이상 500℃이하로 종래의 소성온도보다 낮은 온도에서 소성이 가능하다.
이와 같이 형성된 격벽에 의해 구획된 방전셀에는 형광체가 도포되어 형광체층이 형성된다(314). 이러한 형광체층을 형성하는 방법의 일례를 살펴보면, 글라스 파우더가 포함된 형광체 페이스트를 디스펜싱법을 이용하여 방전셀에 도포한 후, 소성하면 형광체층이 형성된다. 이 때, 형광체 페이스트를 소성하는 소성온도도 마찬가지로 종래보다 낮은 400℃이상 500℃이하이다.
이와 같이 제조된 전면기판과 후면기판을 서로 합착하면(320) 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(330)이 완성된다.
이와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 이용하여 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하면 유전체층, 격벽, 형광체층의 소성온도가 낮아짐으로 인하여 유전체층, 격벽, 형광체층 페이스트에 포함된 글라스 파우더 및 기재가 되는 전면 글라스 또는 후면 글라스의 글라스 재질을 종래보다 가격이 싼 일종의 소다라임 글라스를 사용할 수 있기 때문에 플라즈마 디스플레이 패널의 생산수율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 균일하게 시편을 가열할 수 있으므로 패널의 유니포머티(uniformity)도 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다
이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 소성로 외에 마이크로파를 공급하기 위한 마이크로파 소스 장치와 전원공급장치를 연결하여 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치를 형성함으로써 플라즈마 디스플레이 패널의 패턴을 형성하기 위한 소성공정에서의 소성온도를 낮추고 소성공정의 시간을 단축할 수 있다.
이에 따라, 플라즈마 디스플레이 패널의 생산수율을 향상시키고, 균일하게 시편을 가열할 수 있으므로 패널의 유니포머티를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 히터를 포함하는 기판 지지대와 기판이 형성된 소성로;
    마이크로파 소스 장치;
    상기 마이크로파 소스 장치에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 장치; 및
    상기 소성로 내에 상기 마이크로파 소스 장치로부터 마이크로파를 공급하기 위한 웨이브 가이드;
    를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로파 소스 장치는 마그네트론인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이크로파의 주파수는 300MHz이상 3000MHz이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 소성장치.
  5. 기판 상부에 글라스 파우더가 포함된 소정의 페이스트를 도포하는 단계;
    상기 페이스트를 노광하고 현상하여 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 패턴이 형성된 페이스트를 마이크로파가 공급되는 소성장치에 의해 소성하는 단계;를 포함하며,
    상기 소성장치는
    히터를 포함하는 기판 지지대와 기판이 형성된 소성로;
    마이크로파 소스 장치;
    상기 마이크로파 소스 장치에 전원을 공급하기 위한 전원 공급 장치; 및
    상기 소성로 내에 상기 마이크로파 소스 장치로부터 마이크로파를 공급하기 위한 웨이브 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 소정의 페이스트는 유전체, 격벽, 형광체 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 소성로내의 소성 온도는 400℃이상 500℃이하인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100914517B1 (ko) * 2007-01-18 2009-09-02 조극래 복사열 조사장치
KR100935445B1 (ko) * 2008-11-04 2010-01-06 조극래 복사열 조사장치를 이용한 건조장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950019791A (ko) * 1993-12-22 1995-07-24 양승택 감광제에 의한 광학비선형 고분자 박막에서의 광표백 시간단축방법
KR19980079281A (ko) * 1997-04-11 1998-11-25 구자홍 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법 및 그 장치
KR20020078268A (ko) * 2001-04-09 2002-10-18 정해도 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법
KR20040079201A (ko) * 2003-03-06 2004-09-14 주식회사 광성전자 유전체 세라믹 조성물의 소성장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950019791A (ko) * 1993-12-22 1995-07-24 양승택 감광제에 의한 광학비선형 고분자 박막에서의 광표백 시간단축방법
KR19980079281A (ko) * 1997-04-11 1998-11-25 구자홍 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법 및 그 장치
KR20020078268A (ko) * 2001-04-09 2002-10-18 정해도 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법
KR20040079201A (ko) * 2003-03-06 2004-09-14 주식회사 광성전자 유전체 세라믹 조성물의 소성장치

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