KR100697240B1 - Manufacturing method of probe pin for testing a liquid crystal display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법에 관한 것으로, 도전성 금속시트를 세척 및 건조하여 준비하는 단계, 상기 금속시트의 양면에 감광성의 포토레지스트를 도포하는 단계, 상기 포토레지스트가 도포된 금속시트 위에 프루브핀 형상이 도안된 마스크필름을 올려놓고 빛을 조사하여 노광하는 단계 상기 프루브핀 형상이 도안된 부분의 포토레지스트가 제거되어 프루브핀 형상이 금속시트 상에 노출되도록 현상하는 단계, 상기 프루브핀 형상이 제공된 금속시트를 도금용액이 들어있는 탱크에 넣어, 원하는 두께의 프루브핀을 형성할 수 있도록 전기도금을 실시하는 단계, 상기 전기도금을 실시하는 단계를 통해 상기 프루브핀 형상에 프루브핀이 형성되면, 금속시트에서 포토레지스트를 제거하는 단계 및 상기 포토레지스트가 제거된 금속시트에서 프루브핀을 분리하여 프루브유닛에 조립하는 단계를 포함한다. 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 프루브유닛에 조립되어 사용되는 프루브핀을 전기도금을 이용하여 제조함으로써, 프루브핀의 가공단면을 미려하게 하여 액정 디스플레이 패널의 검사시, 검사용 패널에 흠집이 발생되지 않게 함과 동시에 오염도를 경감시킬 수 있다.The present invention relates to a method of manufacturing a probe pin for inspection of a liquid crystal display panel, comprising the steps of preparing a conductive metal sheet by washing and drying, applying a photosensitive photoresist on both sides of the metal sheet, A step of exposing a mask film having a shape of a probe pin on a metal sheet and irradiating light to expose the photoresist of the portion where the probe pin shape is drawn to expose the probe pin shape on the metal sheet; The method comprising: electroplating a metal sheet provided with a probe pin shape in a tank containing a plating solution so as to form a probe pin having a desired thickness; The step of removing the photoresist from the metal sheet and the step of removing the photoresist And separating the probe pins from the removed metal sheet and assembling the probe pins into the probe unit. According to the present invention configured as described above, by manufacturing the probe pins assembled and used in the probe unit by using electroplating, the processed surface of the probe pins is made beautiful, and when the liquid crystal display panel is inspected, And the pollution degree can be reduced.

금속시트, 포토레지스트, 마스크필름, 노광, 현상 Metal sheet, photoresist, mask film, exposure, development

Description

액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF PROBE PIN FOR TESTING A LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method of manufacturing a probe pin for a liquid crystal display panel,

도 1은 종래의 프루브핀의 제조방법을 나타내는 순서도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a flowchart showing a conventional method of manufacturing a probe pin. FIG.

도 2는 본 발명에 따른 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법을 나타내는 순서도.2 is a flowchart showing a method of manufacturing a probe pin for inspection of a liquid crystal display panel according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 프루브핀의 제조방법 중 전기도금 공정의 공정예를 나타내는 도면.3 is a view showing a process example of an electroplating process in a method of manufacturing a probe pin according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 프루브핀의 제조방법 중 전기도금 공정을 구체적으로 나타내는 순서도.4 is a flowchart specifically showing an electroplating process in the method of manufacturing a probe pin according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*Description of the Related Art [0002]

100 : 금속시트 110 : 포토레지스트100: metal sheet 110: photoresist

120 : 마스크 필름 121 : 금속이온 방출판120: mask film 121: metal ion beam publication

123 : 프루브핀 형상 125 : 프루브핀123: Probe pin shape 125: Probe pin

130 : 탱크 132 : 도금용액130: tank 132: plating solution

본 발명은 프루브유닛에 조립되어 사용되는 프루브핀의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정 디스플레이 패널의 화소의 불량유무를 검사하는 프루브유닛에 조립되어 사용되는 프루브핀을 전기도금을 이용하여 제조함으로써, 프루브핀의 가공단면을 미려하게 하여 액정 디스플레이 패널에 흠집이 발생되지 않게 하고, 액정 디스플레이 패널의 오염도를 경감시키는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a probe pin assembled in a probe unit, and more particularly, to a method of manufacturing a probe pin assembled and used in a probe unit for inspecting a defect of a pixel of a liquid crystal display panel To a method of manufacturing a probe pin for inspection of a liquid crystal display panel, which does not cause scratches on the liquid crystal display panel by making the processed end face of the probe pin sharp and reduces the degree of contamination of the liquid crystal display panel.

일반적으로, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD) 패널의 생산공정은 크게 LCD 패널을 제작하는 셀 공정과, 드라이버, 백라이트, 도광판, 편광판을 셀공정에서 생산된 LCD 패널과 조립하여 완제품을 만드는 모듈 조립공정으로 대별된다. 이때, 상기 셀공정을 거쳐 생산된 LCD 패널은 제조 공정상 발생할 수 있는 결함의 유무를 검사하는 검사과정을 거치게 되는데, 이때 사용되는 것이 LCD 패널 검사용 프로브 유닛이다.Generally, a manufacturing process of a liquid crystal display (LCD) panel is largely divided into a cell process for manufacturing an LCD panel, a module assembly for assembling a driver, a backlight, a light guide plate, and a polarizing plate with an LCD panel produced in a cell process, Process. At this time, the LCD panel produced through the cell process is subjected to an inspection process to check whether there is a defect that may occur in the manufacturing process. At this time, the LCD panel inspection probe unit is used.

상기 프로브 유닛은 LCD 패널의 점등이 제대로 되는지 확인하기 위한 테스트 기구로서, LCD 패널의 화소의 불량여부를 검사함으로써, LCD의 반제품인 모듈 제작 이전에 LCD 패널이 제대로 제작되어 있는지를 검사하게 되는데, 상기 검사용 프루부유닛에 프루브핀을 조립하여 사용하고 있다.The probe unit is a test mechanism for checking whether the LCD panel is turned on properly. It checks whether the LCD panel is properly manufactured before manufacturing the module, which is an intermediate product of the LCD, by checking whether the pixel of the LCD panel is defective. Probe unit for inspection is assembled with a probe pin.

종래, 이러한 프루브핀을 제조하는 방법을 도 1을 참조하여 간단히 설명하면, 금속시트 상에 포토레지스트를 도포하는 도포공정(S10)과, 상기 도포공정에 의한 포토레지스트의 표면에 프루브핀 모양이 도안된 필름을 올려놓고 빛을 투사시켜 경화시키는 노광공정(S20)과, 상기 노광공정에서 미노광된 부분을 제거한 후 경막 액을 침적분사하여 노광막을 에칭에 견딜 수 있도록 강화시키는 현상공정(S30)과, 상기 현상공정에 의해 노출되는 금속시트를 염화철 등의 에칭액으로 고압분사하여 부식시키는 에칭공정(S40)과, 상기 에칭공정을 통해 프루브핀 모양의 형상이 금속시트 상에 형성되면 포토레지스트를 박리하는 제거공정(S50)을 통해 프루브핀을 제조한 후, 상기 공정들을 통해 제조된 프루브핀을 프루브 유닛에 조립(S60)하여 사용하게 된다.A method of manufacturing such a probe pin will be briefly described with reference to FIG. 1, which comprises a coating step (S10) of applying a photoresist on a metal sheet, a step of forming a probe pin shape on the surface of the photoresist by the coating step A developing step S30 in which the exposed film is cured by projecting light by irradiating light; a developing step S30 for removing the unexposed portion in the exposing step and immersing the film in a dipping solution to strengthen the exposed film to withstand etching; An etching step (S40) of etching the metal sheet exposed by the developing step by spraying the metal sheet at a high pressure with an etching solution such as iron chloride or the like, and peeling the photoresist when the shape of the probe pin is formed on the metal sheet through the etching step After the probe pins are manufactured through the removing step (S50), the probe pins manufactured through the above steps are assembled into the probe unit (S60).

그러나, 상기와 같은 제조공정을 통해 제조된 프루브핀은, 염화철 등의 에칭액으로 고압분사하여 부식시키는 공정을 사용하게 되므로, 프루브핀을 가공할 때, 그 가공단면에 흠집이 발생하여 품질이 저하될 뿐만 아니라, 액정 디스플레이 패널의 검사시에도 액정 디스플레이 패널에 흠집을 발생시킴과 동시에 오염도를 증가시키는 문제점이 있다.However, since the process pins that are manufactured through the above-described manufacturing process use a process of high-pressure spraying with an etching solution such as iron chloride or the like to corrode them, when machining a probe pin, In addition, when the liquid crystal display panel is inspected, there is a problem that the liquid crystal display panel is scratched and the degree of contamination is increased.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 액정 디스플레이 패널의 화소의 불량유무를 검사하는 프루브유닛에 조립되어 사용되는 프루브핀을 전기도금을 이용하여 제조하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and its object is to manufacture a probe pin assembled and used in a probe unit for inspecting a defect of a pixel of a liquid crystal display panel, using electroplating.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법은, (a) 도전성 금속시트(100)를 세척 및 건조하여 준비하는 단계(S210); (b) 상기 금속시트(100)의 양면에 감광성의 포토레지스트(110)를 도포하는 단계(S220); (c) 상기 포토레지스트(110)가 도포된 금속시트(100) 위에 프루 브핀 형상(123)이 도안된 마스크필름(120)을 올려놓고 빛을 조사하여 노광하는 단계(S230); (d) 상기 프루브핀 형상(123)이 도안된 부분의 포토레지스트(110)가 제거되어 프루브핀 형상(123)이 금속시트(100) 상에 노출되도록 현상하는 단계(S240); (e) 상기 프루브핀 형상(123)이 제공된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣어, 원하는 두께의 프루브핀(125)을 형성할 수 있도록 전기도금을 실시하는 단계(S250); (f) 상기 (e) 단계를 통해 상기 프루브핀 형상(123)에 프루브핀(125)이 형성되면, 금속시트(100)에서 포토레지스트(110)를 제거하는 단계(S260) 및 (g) 상기 포토레지스트(110)가 제거된 금속시트(100)에서 프루브핀(125)을 분리하여 프루브유닛에 조립하는 단계(S270)를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a probe pin for inspecting a liquid crystal display panel, comprising the steps of: (a) cleaning and drying a conductive metal sheet to prepare a conductive pin; (b) applying a photosensitive photoresist 110 on both sides of the metal sheet 100 (S220); (c) a step (S230) of placing a mask film 120 with a puff bump shape 123 on a metal sheet 100 on which the photoresist 110 is coated, and exposing the mask film 120 by irradiating light; (d) developing (S240) the photoresist 110 of the portion where the probe pin shape 123 is designed to be removed so that the probe pin shape 123 is exposed on the metal sheet 100; (e) The metal sheet 100 provided with the probe pin shape 123 is placed in a tank 130 containing the plating solution 132 to perform electroplating so as to form a probe pin 125 having a desired thickness. (S250); (f) removing (S260) the photoresist 110 from the metal sheet 100 when the probe pin 125 is formed on the probe pin shape 123 through the step (e), and (g) Separating the probe pins 125 from the metal sheet 100 from which the photoresist 110 has been removed and assembling the probe pins 125 into the probe unit S270.

또한, 상기 (e) 단계는, (e1) 상기 (d) 단계를 통해 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣은 후, 직류전원의 양극은 금속이온 방출판(121)에 접속하고, 음극은 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 접속하는 단계(S252); (e2) 상기 양극 및 음극이 접속(S252)된 후, 직류전원을 공급하여 소정시간 동안 전기도금을 실시하는 단계(S254) 및 (e3) 상기 (e2) 단계를 통해 직류전원이 공급되면, 상기 탱크(130) 내의 금속이온 방출판(121)으로부터의 금속이온이 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 부착되는 단계(S256)를 더 포함한다.The step (e) may include: (e1) placing the metal sheet 100 having the probe pin shape 123 in the tank 130 containing the plating solution 132 through the step (d) A step S252 of connecting the anode of the DC power source to the metal ion generator plate 121 and the cathode of the DC power source to the metal sheet 100 having the shape of the probe pin 123; (e2) when the DC power is supplied through the step (S254) and (e3) the step (e2) of performing the electroplating for a predetermined time by supplying the DC power after the anode and the cathode are connected (S252) The step (S256) in which the metal ions from the metal ion radiating plate 121 in the tank 130 are attached to the metal sheet 100 on which the probe pin shape 123 is drawn.

또, 상기 도금용액(132)에는, 증류수 1리터(ℓ)당 썰파민산니켈(Ni(NH2SO3)2)이 400g 내지 500g, 염화니켈(NiCl2 6H2O)이 5g 내지 15g 및 붕산(H3BO3)이 40g 내지 50g 함유된다.The plating solution 132 contains 400 g to 500 g of sodium hypophosphite (Ni (NH 2 SO 3 ) 2 ), 5 g to 15 g of nickel chloride (NiCl 2 6H 2 O) per liter of distilled water, (H 3 BO 3 ) is contained in an amount of 40 g to 50 g.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따르는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법을 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a method of manufacturing a probe pin for inspection of a liquid crystal display panel according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법을 나타낸 순서도이고, 도 3은 본 발명에 따른 프루브핀의 제조방법 중 전기도금 공정의 공정예를 나타내는 도면이며, 도 4는 본 발명에 따른 프루브핀의 제조방법 중 전기도금 공정을 구체적으로 나타낸 순서도이다.FIG. 2 is a flow chart showing a method of manufacturing a probe pin for inspection of a liquid crystal display panel according to the present invention, FIG. 3 is a view showing an example of a process of an electroplating process in a method of manufacturing a probe pin according to the present invention, FIG. 5 is a flowchart specifically showing an electroplating process in the method of manufacturing a probe pin according to the present invention.

도 2에 나타낸 바와 같이, 프루브핀의 제조방법은, 도전성 금속시트(100)를 준비하고, 세척을 통해 오염물질을 제거한 후, 습기가 없도록 건조한다(S210).As shown in FIG. 2, in the method of manufacturing a probe pin, a conductive metal sheet 100 is prepared, contaminants are removed through washing, and then dried without moisture (S210).

이때, 상기 도전성 금속시트(100)로서는 전기가 통하는 금속판이나 금속판이 부착되어 있는 플라스틱 및 PCB 기판 등을 사용할 수 있다.At this time, as the conductive metal sheet 100, it is possible to use an electrically conductive metal plate, a plastic plate having a metal plate, and a PCB substrate.

이후, 필름 코팅기계(도시생략)를 이용하여 열접착법 등을 통해 상기 금속시트(100)의 양면에 감광성의 포토레지스트(110)를 도포한다(S220).Thereafter, a photosensitive photoresist 110 is coated on both sides of the metal sheet 100 by a thermal bonding method or the like using a film coating machine (not shown) (S220).

그 다음, 포토레지스트(110)가 도포된 금속시트(100) 위에 프루브핀 형상(123)이 도안된 마스크필름(120)을 올려놓고 빛이나 자외선을 조사하여 노광한다(S230).Then, the mask film 120 having the shape of the probe pin 123 is placed on the metal sheet 100 having the photoresist 110 applied thereon, and exposed to light or ultraviolet rays (S230).

노광후, 프루브핀 형상(123)이 나타날 수 있도록 빛으로 조사된 금속시트(100)를 현상용액에 투입하면, 프루브핀 형상(123)이 도안된 부분의 포토레지스트가 제거되어, 프루브핀 형상(123)이 금속시트(100)에 노출된다(S240).When the light-irradiated metal sheet 100 is applied to the developing solution so that the probe pin shape 123 may appear after the exposure, the photoresist of the portion where the probe pin shape 123 is drawn is removed to form the probe pin shape 123 are exposed to the metal sheet 100 (S240).

즉, 노광된 금속시트(100)를 염기성 수용액 등의 현상용액에 노출시키면, 빛이 조사된 부분에는 포토레지스트(110)가 도포된 상태로 남아 있고, 빛이 조사되지 않은 부분은 현상용액에 반응하여 포토레지스트(110)가 제거된다.That is, when the exposed metal sheet 100 is exposed to a developing solution such as a basic aqueous solution, the portion where the light is irradiated remains in a state coated with the photoresist 110, The photoresist 110 is removed.

이후, 포토레지스트(110)가 제거되어 프루브핀 형상(123)이 제공된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣은 후, 원하는 두께의 프루브핀이 형성될 때까지 전기도금을 실시한다(S250).Thereafter, the photoresist 110 is removed and the metal sheet 100 provided with the probe pin shape 123 is placed in the tank 130 containing the plating solution 132, and then, until a probe pin having a desired thickness is formed Electroplating is performed (S250).

이하, 상기 전기도금을 실시하는 공정(S250)에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the step of performing the electroplating (S250) will be described in detail with reference to Figs. 3 and 4. Fig.

먼저, 상기 단계 S240을 통해 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣은 후, 직류전원의 양극은 금속이온 방출판(121)에 접속하고, 음극은 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 접속한다(S252).After the metal sheet 100 having the shape of the probe pin 123 is inserted into the tank 130 containing the plating solution 132 through the step S240, the anode of the DC power source is inserted into the metal ion generator 121, And the cathode is connected to the metal sheet 100 having the probe pin shape 123 (S252).

이때, 상기 도금용액(132)은 증류수 1리터(ℓ)당 썰파민산니켈(Ni(NH2SO3)2)이 400g 내지 500g, 염화니켈(NiCl2 6H2O)이 5g 내지 15g, 붕산(H3BO3)이 40g 내지 50g이 함유되어 조성된다.At this time, the plating solution 132 in 1 liter of distilled water (Ni (NH 2 SO 3) 2) sseolpa acid nickel per (ℓ) is 400g to 500g, nickel chloride (NiCl 2 6H 2 O) is 5g to 15g, of boric acid ( H 3 BO 3 ) in an amount of 40 g to 50 g.

본 명세서에서는, 전기도금이 가능한 금속으로서 니켈을 중심으로 설명하고 있지만, 금, 은, 구리 및 크롬 등을 전기도금에 사용할 수 있다.In the present specification, nickel is mainly described as a metal that can be electroplated, but gold, silver, copper, and chromium can be used for electroplating.

상기 양극 및 음극이 접속(S252)된 후, 면적당 2AMPS의 직류전원을 공급하여 소정시간, 예컨대 20분 동안 전기도금을 실행한다(S254).After the positive electrode and the negative electrode are connected (S252), a direct current power of 2 amps is supplied to perform electroplating for a predetermined time, for example, 20 minutes (S254).

그러면, 금속이온 방출판(121)으로부터의 금속이온이 화살표(→) 방향으로 이동하여 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 부착되어 프루브핀이 제조된다(S256).Then, the metal ions from the metal ion spinning plate 121 move in the arrow (→) direction, and the probe pin shape 123 is attached to the designed metal sheet 100 to produce a probe pin (S256).

이때, 상기 전기도금 공정 시의 작업온도는 45℃이고, 압력은 4.2PH이다.At this time, the working temperature in the electroplating process is 45 DEG C and the pressure is 4.2 PH.

한편, 상기 전기도금 공정(S250)을 통해 원하는 두께의 프루브핀(125)이 형성되면, 금속시트(100)를 탈막용액에 넣어 포토레지스트(110)를 제거한다(S260).Meanwhile, when the probe pins 125 having a desired thickness are formed through the electroplating process (S250), the metal sheet 100 is inserted into the desorption solution to remove the photoresist 110 (S260).

이후, 포토레지스트(110)가 제거된 금속시트(100)에서 프루브핀(125)을 분리하여 프루브유닛에 조립하여 액정 디스플레이 패널의 화소의 불량유무를 검사한다(S270).Then, the probe pins 125 are separated from the metal sheet 100 from which the photoresist 110 has been removed, and assembled in the probe unit to check whether the pixels of the liquid crystal display panel are defective or not (S270).

따라서, 액정 디스플레이 패널을 검사하는 프루브핀을 전기도금을 통해 제조하므로, 가공단면에 흠집이 발생하지 않게 되고, 내식성이 향상되며, 마모에 대해서 강하게 된다.Therefore, since the probe pins for inspecting the liquid crystal display panel are manufactured through electroplating, scratches are not generated on the processed end faces, the corrosion resistance is improved, and the abrasion resistance is increased.

이상에서는 본 발명의 일실시예에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, Of course.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀 의 제조방법에 따르면, 프루브유닛에 조립되어 사용되는 프루브핀을 전기도금을 이용하여 제조함으로써, 프루브핀의 가공단면을 미려하게 하여 액정 디스플레이 패널의 검사시, 검사용 패널에 흠집이 발생되지 않게 함과 동시에 오염도를 경감시킬 수 있다.As described above, according to the method of manufacturing a probe pin for inspecting a liquid crystal display panel according to the present invention, by manufacturing a probe pin assembled and used in a probe unit by electroplating, The inspection panel can be prevented from being scratched when the display panel is inspected, and the degree of contamination can be reduced.

또한, 전기도금을 이용하여 제조하므로, 전기도금이 가능한 단일금속 및 이중금속 이상의 합금금속으로도 프루브핀을 제조할 수 있다.In addition, since it is manufactured by using electroplating, it is possible to produce a probe pin using a single metal and an alloy metal more than a double metal which can be electroplated.

Claims (3)

(a) 도전성 금속시트(100)를 세척 및 건조하여 준비하는 단계(S210);(a) cleaning and drying the conductive metal sheet 100 to prepare it (S210); (b) 상기 금속시트(100)의 양면에 감광성의 포토레지스트(110)를 도포하는 단계(S220);(b) applying a photosensitive photoresist 110 on both sides of the metal sheet 100 (S220); (c) 상기 포토레지스트(110)가 도포된 금속시트(100) 위에 프루브핀 형상(123)이 도안된 마스크필름(120)을 올려놓고 빛을 조사하여 노광하는 단계(S230);(c) a step (S230) of placing a mask film 120 having a probe pin shape 123 on a metal sheet 100 coated with the photoresist 110 and exposing the mask film 120 by irradiating light; (d) 상기 프루브핀 형상(123)이 도안된 부분의 포토레지스트(110)가 제거되어 프루브핀 형상(123)이 금속시트(100) 상에 노출되도록 현상하는 단계(S240);(d) developing (S240) the photoresist 110 of the portion where the probe pin shape 123 is designed to be removed so that the probe pin shape 123 is exposed on the metal sheet 100; (e) 상기 프루브핀 형상(123)이 제공된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣어, 원하는 두께의 프루브핀(125)을 형성할 수 있도록 전기도금을 실시하는 단계(S250);(e) The metal sheet 100 provided with the probe pin shape 123 is placed in a tank 130 containing the plating solution 132 to perform electroplating so as to form a probe pin 125 having a desired thickness. (S250); (f) 상기 (e) 단계를 통해 상기 프루브핀 형상(123)에 프루브핀(125)이 형성되면, 금속시트(100)에서 포토레지스트(110)를 제거하는 단계(S260); 및(f) removing (S260) the photoresist 110 from the metal sheet 100 when the probe pin 125 is formed in the probe pin shape 123 through the step (e); And (g) 상기 포토레지스트(110)가 제거된 금속시트(100)에서 프루브핀(125)을 분리하여 프루브유닛에 조립하는 단계(S270)를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법.(g) separating the probe pin 125 from the metal sheet 100 from which the photoresist 110 has been removed and assembling the probe pin 125 into the probe unit (S270). Gt; 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 (e) 단계는,The step (e) (e1) 상기 (d) 단계를 통해 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)를 도금용액(132)이 들어있는 탱크(130)에 넣은 후, 직류전원의 양극은 금속이온 방출판(121)에 접속하고, 음극은 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 접속하는 단계(S252);(e1) After the metal sheet 100 having the probe pin shape 123 is put into the tank 130 containing the plating solution 132 through the step (d), the anode of the DC power source (S252) connecting the cathode to the metal sheet (100) having the shape of the probe pin (123); (e2) 상기 양극 및 음극이 접속(S252)된 후, 직류전원을 공급하여 20분 동안 전기도금을 실시하는 단계(S254); 및(e2) after the anode and the cathode are connected (S252), performing the electroplating for 20 minutes by supplying DC power (S254); And (e3) 상기 (e2) 단계를 통해 직류전원이 공급되면, 상기 탱크(130) 내의 금속이온 방출판(121)으로부터의 금속이온이 프루브핀 형상(123)이 도안된 금속시트(100)에 부착되는 단계(S256)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법.(e3) When DC power is supplied through the step (e2), metal ions from the metal ion radiating plate 121 in the tank 130 are adhered to the metal sheet 100 having the probe pin shape 123 (S256). ≪ Desc / Clms Page number 20 > 제 1항 또는 제 2항에 있어서,3. The method according to claim 1 or 2, 상기 도금용액(132)에는,In the plating solution 132, 증류수 1리터(ℓ)당 썰파민산니켈(Ni(NH2SO3)2)이 400g 내지 500g, 염화니켈(NiCl2 6H2O)이 5g 내지 15g 및 붕산(H3BO3)이 40g 내지 50g 함유되는 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이 패널 검사용 프루브핀의 제조방법.(Ni (NH 2 SO 3 ) 2 ) per liter of distilled water, 5 g to 15 g of nickel chloride (NiCl 2 6H 2 O) and 40 g to 50 g of boric acid (H 3 BO 3 ) Wherein the method comprises the steps of:
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