KR100694966B1 - 계중센서 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 계중센서(10)는 간이한 구조이면서 동시에 피측정물의 하중이나 압력을 단시간에 고감도, 고정밀도로 검지하는 것으로, 스테이지(12)이 연직방향으로 회전 가능하게 지지된 제 1 회전축(14), 상기 제 1 회전축(14)에 초자왜부재(16)를 통하여 축방향, 또한 동축적으로 접속되고 피측정물(20)을 회전 가능하게 지지하는 제 2 회전축(18), 및 초자왜부재(16)의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 검출하는 픽업 코일(28)을 구비하고, 피측정물(20)의 하중이나 압력을, 초자왜부재(16)의 신축에 의한 투자율 또는 잔류 자화량의 변화로서 검지하도록 한 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 자왜부재를 사용하여 피측정물의 하중이나 압력을 검지하도록 한 계중센서에 관한 것이다.
종래, 피측정물의 하중이나 압력을 검지하는 계중센서로서 압전소자식, 정전용량식 등의 계중센서가 널리 알려져 있다(예를 들어 일본 공개특허공보 평7-5020호 참조).
도 6에 도시한 종래 공지의 계중센서(1)는 스테이지(2) 상의 베어링(3)을 통하여 연직방향으로 지지되고, 또한 모터(4)에 의해 회전 구동되는 회전축(5)과, 상기 회전축(5)의 상부에 부착된 칭량접시(scale plate)(7)에 의해 주로 구성되어 있다.
상기 계중센서(1)는 상기 칭량접시(7)에 놓이는 피측정물(6)의 하중을 상기 베어링(3)의 하부에 설치된 계중검지부(8)에 의해 검지하도록 한 것이다.
그러나, 상기 종래 공지의 계중센서(1)에서는 피측정물(6)의 하중을 베어링(3)을 통하여 계중 검지부(8)에 전달하고 있으므로, 베어링(3)의 기계적 잡음의 영향을 받기 쉽고, 피측정물(6)의 하중을 높은 정밀도로 검지하는 것이 곤란했다. 특히, 피측정물(6)이 칭량접시(7)의 중심으로부터 어긋난 상태로 놓인 경우에는 그 구조상, 수평 방향으로 발생하는 하중의 영향을 받기 쉽고, 계중오차가 커지는 문제점이 있었다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로 간이한 구조이면서, 동시에 피측정물의 하중이나 압력을 단시간에 고감도, 고정밀도로 검지할 수 있는 계중센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 발명자는 연구 결과, 피측정물을 지지하는 회전축을 축방향으로 제 1, 제 2의 2개의 회전축으로 하고, 양자 사이에 자왜부재를 설치함으로써, 피측정물의 하중이나 압력을 단시간에 고감도, 고정밀도로 검지할 수 있는 하중센서를 발견했다.
즉, 다음과 같은 본 발명에 의해 상기 목적을 달성할 수 있다.
(1) 스테이지의 연직방향으로 회전 가능하게 지지된 제 1 회전축과, 상기 제 1 회전축에, 자왜부재를 통하여 축방향, 또한 동축적으로 접속되고 피측정물을 회전 가능하게 지지하는 제 2 회전축과, 상기 자왜부재의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 검출하는 검출수단을 구비하여 이루어지고, 상기 피측정물의 하중이나 압력을 상기 자왜부재의 신축에 의한 투자율 또는 잔류 자화량의 변화로서 검지하는 것을 특징으로 하는 계중센서.
(2) 상기 검출수단은 상기 자왜부재를 둘러싸도록, 또한 상기 제 1 및 제 2 회전축과 비접촉 상태로 배치된 픽업 코일을 포함하고, 상기 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 상기 픽업 코일의 인덕턴스 변화로서 검출하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 상기 (1)에 기재된 계중센서.
(3) 상기 제 1 회전축과 상기 스테이지 사이에, 서로의 자극의 방향이 대향하는 상태로 배치된 한쌍의 래디얼 자석(radial magnet)을 설치하고, 이에 의해 상기 제 1 회전축을 회전 가능하게 지지한 것을 특징으로 하는 상기 (1) 또는 (2)에 기재된 계중센서.
(4) 상기 제 1 회전축과 상기 제 2 회전축을 스플라인 결합(spline-coupled)한 것을 특징으로 하는 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 계중센서.
(5) 상기 자왜부재를, 초자왜소자를 재료로 하는 초자왜부재에 의해 구성한 것을 특징으로 하는 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 계중센서.
도 1은 본 발명의 실시형태의 예에 관한 계중센서를 모식적으로 도시한 정면도,
도 2는 도 1에서의 초자왜부재 주변의 Ⅱ부분을 확대하여 도시한 일부 단면 정면도,
도 3은 도 2에서의 Ⅲ-Ⅲ선을 따른 단면도,
도 4는 본 발명의 실시형태의 다른 예에 관한 계중센서를 모식적으로 도시한 정면도,
도 5는 본 발명의 실시형태의 또 다른 예에 관한 계중센서를 모식적으로 도시한 정면도, 및
도 6은 종래의 계중센서를 모식적으로 도시한 정면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태의 예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1~도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시형태의 예에 관한 계중센서(10)는 도면에서 하측의 스테이지(12) 상에 연직방향으로 배치된 제 1 회전축(14)과, 상기 제 1 회전축(14)과 초자왜부재(16)를 통하여 축방향, 또한 동축적으로 접속된 제 2 회전축(18)과, 상기 제 2 회전축(18)의 상부에 설치되고 피측정물(20)을 얹을 수 있는 칭량접시(22)와, 상기 칭량접시(22)를 제 1, 제 2 회전축(14, 18)을 통하여 회전 구동하는 모터(24) 및 감속기구(26)와, 초자왜부재(16)의 외주를 둘러싸도록, 또한 제 1, 제 2 회전축(14, 18)과 비접촉 상태로 배치된 픽업 코일(검출수단)(28)에 의해 구성되어 있다.
스테이지(12) 상에 연직방향으로 배치된 제 1 회전축(14)은 그 하단에서 스테이지(12)에 설치된 베어링(30)에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 상기 제 1 회전축(14)의 축방향 도중 위치에는, 감속기구(26)의 기어(26B)가 부착되어 있다. 상기 기어(26B)는 모터(24)의 모터축에 부착된 피니온(pinion)(26A)과 맞물려 있고, 제 1 회전축(14)은 모터(24)의 회전구동에 의해 도면 중 R1 방향으로 회전 가능한 구조로 이루어져 있다.
또한, 도 2 및 도 3에 확대하여 도시한 바와 같이, 상기 제 1 회전축(14)의 상단은 원통형상의 내주에 형성된 스플라인 홈(14A)으로 되어 있다. 한편, 제 2 회전축(18)의 하단은 제 1 회전축(14)에 형성된 스플라인홈(14A)과 끼워 맞추는 스플라인통(18A)으로 되어 있다. 스플라인홈(14A)의 내측의 중공부(14B)와, 스플라 인통(18A)의 내측의 중공부(18B)는 축방향으로 연속되고 여기에 초자왜부재(16)가 수용되어 있다.
이와 같이, 제 1 회전축(14)과 제 2 회전축(18)은 초자왜부재(16)를 상하방향으로부터 끼우도록 하여 스플라인 결합되어 있음과 동시에, 그 축방향으로는 초자왜부재(16)의 축방향의 신축을 허용하는 간극(17)이 확보되어 있다. 또한, 제 2 회전축(18)의 스플라인통(18A)의 직경방향 내주면과, 초자왜부재(16)의 직경방향 외주면 사이에는 소정의 간극이 확보되어 있고 초자왜부재(16)의 직경방향의 신축을 저해하지 않도록 구성되어 있다.
상기 제 1, 제 2 회전축(14, 18) 사이에 끼워지도록 배치된 초자왜부재(16)는 초자왜소자를 재료로서 사용하고 있다. 또한, 「초자왜소자」라는 것은 희토류 원소 및/또는 특정의 천이금속 등을 주성분(예를 들어, 테르븀, 디스프로슘, 철 등)으로 하는 분말 소결 합금 또는 단결정 합금으로 만들어진 자왜소자를 말하고, 상기 초자왜소자는 외부 응력을 받아 변형되면 큰 자화율의 변화를 발생시키는 특성을 갖고 있다. 상기 픽업코일(28)은 이와 같은 초자왜부재(18)의 변형(신축)에 의해 발생하는 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를, 상기 픽업코일(28)의 인덕턴스의 변화로서 검출 가능하다.
다음에, 계중센서(10)의 작용에 대해서 설명한다.
계중센서(10)의 칭량접시(22)에 피측정물(20)의 하중이나 압력이 가해지면, 제 1, 제 2 회전축(14, 18) 사이에 배치되어 있는 초자왜부재(16)에 축방향의 하중이 가해진다. 그리고, 상기 하중에 의해 초자왜부재(16)는 반경방향으로 신장함과 동시에 축방향으로 수축하게 된다. 그 결과, 픽업코일(28)의 내측 공간에 차지하는 초자왜부재(16)의 용적이 변화됨과 동시에, 상기 초자왜부재(16)의 투자율 또는 잔류 자화량이 변화된다. 따라서, 상기 투자율 또는 잔류 자화율의 변화를 픽업코일(28)의 인덕턴스값의 변화로서 검출함으로써, 피측정물(20)의 하중이나 압력을 검지할 수 있다.
본 발명의 실시형태의 예에 관한 계중센서(10)에 의하면 피측정물(20)의 하중이나 압력을, 계중오차의 요인이 되는 베어링 등을 통하지 않고 초자왜부재(16)에 작용시킬 수 있으므로, 종래는 검지가 곤란했던 하중이나 압력의 미소한 변화를 검지할 수 있고 피측정물(20)의 하중이나 압력을 고감도, 고정밀도로 검지할 수 있다. 또한, 초자왜부재(16)는 외부 응력에 대한 응답이 빠른 초자왜소자를 재료로 하고 있으므로 하중이나 압력을 단시간에 검지할 수 있다.
또한, 계중센서(10)는 제 1, 제 2 회전축(14, 18)과 비접촉 상태로 배치된 픽업코일(검출수단)(28)을 구비하고 있으므로, 검출수단이 계중오차의 요인이 되지 않고 또한 고정밀도의 검지가 가능하다. 또한, 상기 실시형태의 예에서는 초자왜부재(16)의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를, 픽업 코일(28)의 인덕턴스 변화로서 검출했지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고 초자왜부재의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 검출할 수 있는, 다른 검출수단을 적용해도 좋다.
또한, 본 발명에 관한 계중센서는 상기 실시형태의 예에 관한 계중센서(10)에서의 구조나 형상 등에 한정되는 것이 아니고, 스테이지의 연직방향으로 회전 가능하게 지지된 제 1 회전축과, 상기 제 1 회전축에 자왜부재를 통하여 축방향, 또 한 동축적으로 접속되고, 피측정물을 회전 가능하게 지지하는 제 2 회전축과, 자왜부재의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 검출하는 검출수단을 구비한 것이면 좋다.
따라서, 예를 들어 도 4에 도시되는 계중센서(40)와 같이, 제 1 회전축(14)과 스테이지(12) 사이에, 서로의 자극의 방향이 대향하는 상태로 배치된 한쌍의 래디얼 자석(42, 44)을 설치하고, 이에 의해 제 1 회전축(14)을 회전 가능하게 지지해도 좋다. 이 경우, 피측정물(20)을 한쌍의 래디얼 자석(42, 44)의 자기반발력에 의해 지지할 수 있으므로, 베어링 등에 의한 기계적 잡음을 제거할 수 있고 피측정물의 하중이나 압력을 고정밀도 검지할 수 있다. 또한, 도 5에 도시한 계중센서(50)와 같이 상기 제 1 회전축(14)은 베이스(52)에 고정된 스테이지(12)에 매달린 상태로 지지되어 있어도 좋다.
상기 실시형태의 예에서는 계중센서(10)를 초자왜부재(16)로 구성했지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 자왜소자로 이루어진 자왜부재를 사용해도 좋다.
본 발명의 계중센서는 간이한 구조이면서 동시에 피측정물의 하중이나 압력을 단시간에 고감도, 고정밀도로 검지할 수 있는 우수한 효과를 갖는다.
Claims (7)
- 스테이지의 연직방향으로 회전 가능하게 지지된 제 1 회전축, 상기 제 1 회전축에 자왜부재를 통하여 축방향, 또한 동축적으로 접속되고 피측정물을 회전 가능하게 지지하는 제 2 회전축, 및 상기 자왜부재의 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 검출하는 검출수단을 구비하여 이루어지고, 상기 피측정물의 하중이나 압력을 상기 자왜부재의 신축에 의한 상기 투자율 또는 잔류 자화량의 변화로서 검지하는 계중센서에 있어서,상기 제 1 회전축과 상기 스테이지 사이에, 서로의 자극의 방향이 대향하는 상태로 배치된 한쌍의 래디얼 자석을 설치하고 이에 의해 상기 제 1 회전축을 회전 가능하게 지지한 것을 특징으로 하는 계중센서.
- 제 1 항에 있어서,상기 검출수단은 상기 자왜부재를 둘러싸도록, 또한 상기 제 1 및 제 2 회전축과 비접촉 상태로 배치된 픽업 코일을 포함하고, 상기 투자율 또는 잔류 자화량의 변화를 상기 픽업 코일의 인덕턴스 변화로서 검출하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 계중센서.
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- 삭제
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 회전축과 상기 제 2 회전축을 스플라인 결합한 것을 특징으로 하는 계중센서.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 자왜부재를 초자왜소자를 재료로 하는 초자왜부재로 구성한 것을 특징으로 하는 계중센서.
- 제 5 항에 있어서,상기 자왜부재를 초자왜소자를 재료로 하는 초자왜부재로 구성한 것을 특징으로 하는 계중센서.
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Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101482466B (zh) * | 2009-01-20 | 2011-01-26 | 兰州大学 | 一种直接拉伸试验装置的磁悬浮支撑体 |
| JP6503179B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2019-04-17 | Ykk株式会社 | 面ファスナーの製造方法、及び面ファスナー |
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| JP6884684B2 (ja) * | 2017-12-07 | 2021-06-09 | ヤマハ発動機株式会社 | 部品実装機、実装荷重測定方法 |
| CN109374093A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-02-22 | 深圳砺剑脑科学科技有限公司 | 微重量测量电路 |
| CN114112155B (zh) * | 2020-08-26 | 2022-10-14 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种具有大承载能力的水平二自由度测力台架 |
| FR3121987B1 (fr) * | 2021-04-16 | 2023-06-30 | Lourdinnov | Balance de précision |
| CN114383697A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-22 | 太原智林信息技术股份有限公司 | 一种基于磁致伸缩传感器的电子天平 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000321153A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-11-24 | Mitsubishi Materials Corp | トルク、スラスト力およびラジアル力の検出方法、検出装置及び研磨装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2110581A5 (ko) * | 1970-10-22 | 1972-06-02 | Habermann Helmut | |
| CN1030642A (zh) * | 1987-07-15 | 1989-01-25 | 冶金工业部第一冶金地质勘探公司探矿技术研究所 | 磁弹性扭矩传感器 |
| DE3819083A1 (de) * | 1988-06-04 | 1989-12-07 | Daimler Benz Ag | Magnetoelastische kraftmessvorrichtung |
| JPH075020A (ja) | 1993-06-15 | 1995-01-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 重量センサおよびそれを用いた重量検知方法 |
| US5541460A (en) * | 1994-02-25 | 1996-07-30 | Seagate Technology, Inc. | Passive magnetic bearings for a spindle motor |
| US5598048A (en) * | 1994-08-12 | 1997-01-28 | Seagate Technology, Inc. | Integrated passive magnetic bearing system and spindle magnet for use in an axial magnet spindle motor |
| US5905210A (en) * | 1997-01-09 | 1999-05-18 | Automotive Systems Laboratory, Inc. | Villari effect seat weight sensor |
| US6345544B1 (en) * | 1997-12-26 | 2002-02-12 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Electromagnetic load detection device |
| JP2000314421A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ラジアル／アキシャル複合軸受構造、及び同構造を持つスピンドルモータ |
| EP1113253A4 (en) * | 1999-06-21 | 2006-11-02 | Furukawa Electric Co Ltd | ROTARY SENSOR AND ASSOCIATED MEASUREMENT |
| JP3919436B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2007-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 磁気浮上回転機械 |
| US6941824B2 (en) * | 2003-04-25 | 2005-09-13 | Delphi Technologies, Inc. | Magnetic force sensor and control circuit for same |
| JP4292967B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2009-07-08 | 日立電線株式会社 | 磁歪式トルクセンサ |
| US7458276B2 (en) * | 2004-06-14 | 2008-12-02 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Magnetostrictive load sensor |
-
2003
- 2003-03-31 JP JP2003095184A patent/JP3826106B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-12 US US10/547,547 patent/US7148432B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-12 WO PCT/JP2004/003375 patent/WO2004088257A1/ja active IP Right Grant
- 2004-03-12 CN CNB200480008387XA patent/CN100335873C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-12 KR KR1020057018290A patent/KR100694966B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-03-16 TW TW093106989A patent/TWI277228B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000321153A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-11-24 | Mitsubishi Materials Corp | トルク、スラスト力およびラジアル力の検出方法、検出装置及び研磨装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 일본공개특허공보 12-321153 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20050114702A (ko) | 2005-12-06 |
| CN1768251A (zh) | 2006-05-03 |
| JP3826106B2 (ja) | 2006-09-27 |
| US7148432B2 (en) | 2006-12-12 |
| CN100335873C (zh) | 2007-09-05 |
| WO2004088257A1 (ja) | 2004-10-14 |
| TWI277228B (en) | 2007-03-21 |
| TW200425552A (en) | 2004-11-16 |
| JP2004301675A (ja) | 2004-10-28 |
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