KR100692050B1 - Testing apparatus of electro luminescence device - Google Patents

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이현재
이희영
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 일렉트로 루미네센스 표시 소자의 검사 시간을 감소시킬 수 있도록 한 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for an electro luminescence element that can reduce the inspection time of the electro luminescence display element.

본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치는 하판과; 상기 하판 상에서 행방향 및 열방향으로 다수개가 배열되며 일렉트로 루미네센스 소자의 크기와 유사한 크기로 형성되어 상기 일렉트로 루미네센스 소자 각각을 지지하는 다수개의 지지프레임과; 상기 하판의 상부에 배치되어 전원 및 신호를 생성 제어하는 인쇄회로기판과; 상기 인쇄회로기판을 감쌈과 아울러 상기 하판을 고정시키는 상판과; 상기 인쇄회로기판으로부터의 전원 및 신호를 이용하여 상기 일렉트로 루미네센스 소자들의 불량유무를 판별하는 별개의 검사 유닛을 구비한다.An electroluminescent device inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is a lower plate; A plurality of support frames arranged on the lower plate in a row direction and a column direction and formed to have a size similar to that of an electroluminescent device to support each of the electroluminescent devices; A printed circuit board disposed on an upper portion of the lower plate to control power generation and a signal; An upper plate which wraps the printed circuit board and fixes the lower plate; And a separate inspection unit for determining whether the electro luminescence elements are defective by using a power source and a signal from the printed circuit board.

Description

일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치{TESTING APPARATUS OF ELECTRO LUMINESCENCE DEVICE} Electroluminescent device inspection device {TESTING APPARATUS OF ELECTRO LUMINESCENCE DEVICE}             

도 1은 대형 기판 상에 매트릭스 형태로 형성되는 일렉트로 루미네센스 소자를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating an electroluminescent device formed in a matrix form on a large substrate.

도 2는 종래의 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치를 나타내는 도면이다.2 is a diagram showing a conventional inspection apparatus of an electroluminescent element.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치를 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating an inspection apparatus of an electroluminescent device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 스테이지를 상세히 나타내는 도면이다.4 is a view illustrating in detail the stage shown in FIG.

도 5는 도 4에 도시된 지지프레임을 상세히 나타내는 도면이다.5 is a view showing in detail the support frame shown in FIG.

도 6은 도 3에 도시된 일렉트로 루미네센스 소자를 나타내는 도면이다.FIG. 6 is a diagram illustrating the electro luminescence device illustrated in FIG. 3.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2 : 대형 기판 3, 53 : 표시부2: large substrate 3, 53: display unit

4, 54 : 일렉트로 루미네센스 소자 5, 55 : 프로브4, 54: electroluminescent element 5, 55: probe

6, 56 : 구동부 7, 57 : 스테이지6, 56: drive unit 7, 57: stage

8, 58 : 지그 9 : 얼라인 마크8, 58: jig 9: alignment mark

10, 60 : 패드부 20 : 유리 기판10, 60: pad portion 20: glass substrate

22 : 애노드 전극 24 : 절연막22 anode electrode 24 insulating film

26 : 정공관련층 28 : 발광층26: hole related layer 28: light emitting layer

30 : 전자관련층 32 : 캐소드전극30: electron related layer 32: cathode electrode

34 : 게터 36 : 패키징판34: getter 36: packaging plate

38 : 실재 40 : 반투과막38: real 40: semi-permeable membrane

59 : 얼라인 키 82 : 하판59: alignment key 82: bottom plate

84 : 인쇄회로기판 86 : 상판84: printed circuit board 86: top plate

87 : 지지프레임 92 : 가이드 핀 87: support frame 92: guide pin

94 : 패드 96 : 조절수단 94: pad 96: adjusting means

98 : 고정수단 101, 103 : 검사 유닛98: fixing means 101, 103: inspection unit

본 발명은 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치에 관한 것으로, 특히 검사 시간을 감소시킬 수 있도록 한 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for an electro luminescence element, and more particularly to an inspection apparatus for an electro luminescence element that can reduce an inspection time.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장 치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하"PDP"라 함) 및 전계 발광 소자(Electro Luminescence Device : 이하 "EL"라 함) 등이 있다. 특히 EL 소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 EL 층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판 표시 장치로서 주목받고 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have been developed. Such flat panel displays include liquid crystal displays, field emission displays, plasma display panels (hereinafter referred to as "PDPs"), and electroluminescent devices: Hereinafter referred to as "EL"). In particular, the EL element is basically a form in which electrodes are attached to both sides of an EL layer composed of a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer, and are attracting attention as a next-generation flat panel display due to features such as wide viewing angle, high opening ratio, and high color.

이러한 EL 소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL 소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL 소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL 소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL 소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL elements are largely divided into inorganic EL elements and organic EL elements depending on the materials used. Among them, the organic EL device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired up and extinguished to emit light. There is this. In addition, the organic EL element can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10 V compared to a PDP or an inorganic EL element, and the power consumption is relatively small. , Excellent color.

이와 같은 유기 EL 소자는 도 1에 도시된 바와 같이 대형 기판(2) 상에 소정의 간격을 두고 다수개로 형성된다. 유기 EL 소자(4) 각각은 EL 층이 형성된 표시부(3)와, 표시부(3)에 접속되어 외부로부터 공급되는 구동 신호를 표시부(3)에 공급하는 패드부(10)로 구성된다. 또한, 대형 기판(2) 상에 형성된 다수의 유기 EL 소자(4) 각각은 도시하지 않은 패키징판에 의해 패키징된다. 이때, 패키징판에는 산소 및 수분으로부터 유기 EL 층을 보호하기 위한 흡습제가 부착된다. 이러한 유기 EL 소자(4)는 스크라이빙 공정을 통해 대형 기판(2)으로부터 독립적으로 분리된 다. 이때, 유기 EL 소자들(4)에는 각각 얼라인 마크(Align Mark)(9)가 형성된다.As shown in Fig. 1, a plurality of such organic EL elements are formed on the large substrate 2 at predetermined intervals. Each of the organic EL elements 4 is composed of a display portion 3 having an EL layer formed thereon and a pad portion 10 connected to the display portion 3 to supply the drive signal supplied from the outside to the display portion 3. In addition, each of the plurality of organic EL elements 4 formed on the large substrate 2 is packaged by a packaging plate (not shown). At this time, the packaging plate is attached with a moisture absorbent for protecting the organic EL layer from oxygen and moisture. This organic EL element 4 is separated from the large substrate 2 independently through a scribing process. At this time, an alignment mark 9 is formed on each of the organic EL elements 4.

이와 같이 스크라이빙 공정에 의해 대형 기판(2)으로부터 분리된 각각의 유기 EL 소자(4)는 EL 검사 장치에 의한 검사 공정을 거쳐 완성된다.Thus, each organic electroluminescent element 4 isolate | separated from the large board | substrate 2 by the scribing process is completed through the inspection process by EL inspection apparatus.

도 2는 종래의 EL 소자의 검사 장치를 나타내는 도면이다.2 is a diagram showing a conventional inspection device of an EL element.

도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 EL 소자의 검사 장치는 하나의 EL 소자(4)가 로딩되는 스테이지(7)와, 스테이지(7)에 로딩된 EL 소자(4)에 검사 신호를 공급하는 검사 유닛(101)으로 구성된다.Referring to Fig. 2, the EL device inspection apparatus according to the prior art supplies a test signal to a stage 7 on which one EL element 4 is loaded, and an EL element 4 loaded on the stage 7. It consists of an inspection unit 101.

스테이지(7)는 스크라이빙 공정에 의해 독립적으로 분리된 하나의 EL 소자(4)를 로딩하여 안착시키게 된다.The stage 7 loads and mounts one EL element 4 independently separated by a scribing process.

검사 유닛(101)은 EL 소자(4)에 검사 신호를 공급하여 EL 소자(4)의 불량 유무를 검사하게 된다. 이를 위해, 검사 유닛(101)은 검사 신호를 발생하는 구동부(6)와, 구동부(6)에 의해 EL 소자(4)에 형성된 얼라인 마크(9)와 정렬되는 지그(8)와, 검사 신호를 EL 소자(4)에 공급하는 프로브(5)를 구비한다.The inspection unit 101 supplies an inspection signal to the EL element 4 to inspect whether the EL element 4 is defective. To this end, the inspection unit 101 includes a driver 6 for generating an inspection signal, a jig 8 aligned with the alignment mark 9 formed on the EL element 4 by the driver 6, and an inspection signal. The probe 5 which supplies the to the EL element 4 is provided.

구동부(6)는 EL 소자(4)를 구동시켜 EL 소자(4)의 불량여부를 검사하기 위한 각각의 검사 신호를 공급한다. 또한, 지그(8)를 이송시켜 EL 소자(4)에 형성된 얼라인 마크(9)와 지그(8)를 정렬시키게 된다.The driver 6 drives the EL element 4 and supplies respective inspection signals for inspecting whether the EL element 4 is defective. In addition, the jig 8 is transferred to align the alignment mark 9 and the jig 8 formed on the EL element 4.

구동부(6)에 연결되는 지그(8)는 구동부(6)에 의해 스테이지(7)에 안착된 EL 소자(4)에 형성된 얼라인 마크(9)와 정렬하게 된다.The jig 8 connected to the driver 6 is aligned with the alignment mark 9 formed on the EL element 4 seated on the stage 7 by the driver 6.

프로브(5)는 스테이지(7)에 안착된 EL 소자(4)의 패드부(10)에 접촉되어 구동부(6)로부터 공급되는 검사 신호를 EL 소자(4)에 공급하게 된다.The probe 5 is in contact with the pad portion 10 of the EL element 4 seated on the stage 7 and supplies the test signal supplied from the driver 6 to the EL element 4.

이와 같은 종래 기술에 따른 EL 소자(4)의 검사 방법은 우선 스크라이빙 공정에 의해 독립적으로 분리된 하나의 EL 소자(4)가 로딩되어 스테이지(7)에 안착된다. EL 소자(4)가 안착되면 구동부(6)는 EL 소자(4)에 형성된 얼라인 마크(9)와 지그(8)를 정렬시킨 후 프로브(5)를 EL 소자(4)의 패드부(10)에 접속시키게 된다. 이어서, 구동부(6)로부터 검사 신호가 인가되면 검사 신호는 지그(8) 및 프로브(5)를 통해 스테이지(7)에 안착된 EL 소자(4)에 공급된다. 이러한 검사 신호에 의하여 EL 소자(4)의 표시부(3)는 화상을 구현하게 된다. 이때, 종래의 EL 소자(4) 검사 장치는 EL 소자(4)의 표시부(3)에 구현된 화상의 상태에 따라 EL 소자(4)의 불량 및 양품을 검사하게 된다.In the inspection method of the EL element 4 according to the related art, first, an EL element 4 separated independently by a scribing process is loaded and seated on the stage 7. When the EL element 4 is seated, the driving unit 6 aligns the alignment mark 9 and the jig 8 formed on the EL element 4 and then moves the probe 5 to the pad portion 10 of the EL element 4. ). Subsequently, when a test signal is applied from the driver 6, the test signal is supplied to the EL element 4 seated on the stage 7 through the jig 8 and the probe 5. By this inspection signal, the display portion 3 of the EL element 4 implements an image. At this time, the conventional EL element 4 inspection apparatus inspects the defect and good quality of the EL element 4 in accordance with the state of the image implemented in the display portion 3 of the EL element 4.

그러나, 이러한 종래 기술에 따른 EL 소자(4)의 검사 방법은 독립적으로 분리된 EL 소자(4)를 개별 검사하기 때문에 대형 기판(2) 상에 형성된 전체 EL 소자(4)의 검사 공정이 길어지게 되어 생산성이 감소하게 된다.However, the inspection method of the EL element 4 according to the prior art individually inspects the separated EL elements 4 individually, so that the inspection process of the entire EL element 4 formed on the large substrate 2 becomes long. This reduces productivity.

따라서, 본 발명의 목적은 검사 시간을 단축시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치를 제공하는데 있다.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an inspection apparatus for an electroluminescent element that can shorten the inspection time and improve productivity.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치는 하판과; 상기 하판 상에서 행방향 및 열방향으로 다수개가 배열되며 일렉트로 루미네센스 소자의 크기와 유사한 크기로 형성되어 상기 일렉트로 루미네센스 소자 각각을 지지하는 다수개의 지지프레임과; 상기 하판의 상부에 배치되어 전원 및 신호를 생성 제어하는 인쇄회로기판과; 상기 인쇄회로기판을 감쌈과 아울러 상기 하판을 고정시키는 상판과; 상기 인쇄회로기판으로부터의 전원 및 신호를 이용하여 상기 일렉트로 루미네센스 소자들의 불량유무를 판별하는 별개의 검사 유닛을 구비한다.In order to achieve the above object, an inspection apparatus of an electroluminescent device according to an embodiment of the present invention is a lower plate; A plurality of support frames arranged on the lower plate in a row direction and a column direction and formed to have a size similar to that of an electroluminescent device to support each of the electroluminescent devices; A printed circuit board disposed on an upper portion of the lower plate to control power generation and a signal; An upper plate which wraps the printed circuit board and fixes the lower plate; And a separate inspection unit for determining whether the electro luminescence elements are defective by using a power source and a signal from the printed circuit board.

상기 일렉트로 루미네센스 소자 각각은 유기 발광층을 포함하는 화상 표시부와, 상기 화상 표시부 위에 접속되는 패드 전극들과, 모서리 일측에 형성되는 얼라인 키를 구비한다.Each of the electroluminescent devices includes an image display unit including an organic light emitting layer, pad electrodes connected to the image display unit, and an alignment key formed at one edge thereof.

상기 지지프레임은 상부에 적재되는 일렉트로 루미네센스 소자를 상하전후좌우로 이동시키는 조절수단과, 상기 조절된 일렉트로 루미네센스 소자를 고정시키는 고정수단과, 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 배면과 접촉되는 패드와, 상기 얼라인 키와 체결되는 가이드 핀을 구비한다.The support frame includes a control means for moving the electro luminescence element loaded on the upper side, up, down, left, and right, fixing means for fixing the adjusted electro luminescence element, and contacting the back surface of the electro luminescence element. A pad and a guide pin engaged with the alignment key.

상기 조절수단은 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 상하로 이동시키는 제1 튜닝볼트와; 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 전후로 이동시키는 제2 튜닝볼트와; 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 좌우로 이동시키는 제3 튜닝볼트를 구비한다.The adjusting means includes a first tuning bolt for moving the electroluminescent element up and down; A second tuning bolt for moving the electro luminescence element back and forth; And a third tuning bolt for moving the electro luminescence element from side to side.

상기 검사 유닛은 상기 일렉트로 루미네센스 소자 패드 전극에 접속되는 프로브와, 상기 프로브가 설치되는 지그와, 상기 지그를 이송시킴과 아울러 상기 검사 신호를 상기 프로브에 공급하는 구동부를 구비한다.The inspection unit includes a probe connected to the electro luminescence element pad electrode, a jig in which the probe is installed, and a driver for transferring the jig and supplying the inspection signal to the probe.

상기 구동부는 상기 지그를 이송시켜 상기 지그와 상기 얼라인 키를 정렬한 다.The driving unit transfers the jig to align the jig and the align key.

상기 하판과 상기 인쇄회로기판 및 상기 상판 각각의 모서리에는 상기 하판과 상기 인쇄회로기판 및 상기 상판을 결합시키는 홀을 구비한다.At each corner of the lower plate, the printed circuit board, and the upper plate, a hole for coupling the lower plate, the printed circuit board, and the upper plate is provided.

상기 인쇄회로기판 및 상기 상판에는 상기 지지프레임이 노출되도록 상기 지지프레임에 대응되는 영역에 윈도우가 형성된다.A window is formed in the printed circuit board and the upper plate in an area corresponding to the support frame so that the support frame is exposed.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 6.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자의 검사 장치를 나타내는 도면이다. 3 is a diagram showing an inspection apparatus of an EL element according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자 검사 장치는 EL 소자(54)가 로딩되는 스테이지(57)와, 스테이지(57)에 로딩된 EL 소자(54)에 검사 신호를 공급하는 검사 유닛(103)으로 구성된다. Referring to FIG. 3, the EL element inspection apparatus according to the embodiment of the present invention supplies a stage 57 on which the EL element 54 is loaded, and an inspection signal to the EL element 54 loaded on the stage 57. It consists of an inspection unit 103.

EL 소자(54)는 화상을 구현하는 패널(53)과, 패널(53)에 형성된 신호라인과 접속되는 전극패드(60)들과, 가장자리 일측에 형성되는 얼라인 키(59)를 구비한다. 이러한 EL 소자(54)는 대형기판에 다수개가 제작되어 스크라이빙 공정에 의해 각각 독립적으로 분리된다.The EL element 54 includes a panel 53 for implementing an image, electrode pads 60 connected to a signal line formed on the panel 53, and an alignment key 59 formed at one side of the edge. A plurality of such EL elements 54 are fabricated on a large substrate and separated independently by a scribing process.

스테이지(57)는 도 4에 도시된 바와 같이 각 EL 소자(54)가 일정간격으로 안착되는 하판(82)과, 하판(82) 상부에 배치되어 각 EL 소자(54)에 구동신호를 공급 하는 인쇄회로기판(84)과, 인쇄회로기판(84)과 하판(82)을 고정시키는 상판(86)을 구비한다.As shown in FIG. 4, the stage 57 is provided with a lower plate 82 on which each EL element 54 is seated at a predetermined interval, and is disposed above the lower plate 82 to supply driving signals to the EL elements 54. The printed circuit board 84 and the upper board 86 which fixes the printed circuit board 84 and the lower board 82 are provided.

하판(82)에는 행방향 및 열방향으로 다수개가 배열되는 EL 소자(54) 각각과 대응되는 영역에 배치되어 EL 소자(54) 각각을 지지하는 지지프레임(87)을 구비한다. The lower plate 82 is provided with a support frame 87 disposed in a region corresponding to each of the EL elements 54 arranged in a plurality in the row direction and the column direction to support each of the EL elements 54.

지지프레임(87)은 도 5에 도시된 바와 같이 EL 소자(54)에 형성된 얼라인 키(59)에 삽입되는 가이드 핀(92)과, EL 소자(54)를 충격으로부터 보호하기 위하여 탄성재질로 형성되는 패드(94)와, EL 소자(54)의 배면과 접촉되어 EL 소자(54)를 상하좌우전후로 이동시키는 조절수단(96) 예를 들면, 제1 내지 제3 튜닝볼트(96a, 96b, 96c)와, 조절이 완료된 EL 소자(54)를 고정시키는 고정수단(98) 예를 들면, 제1 및 제2 고정볼트(98a, 98b)를 구비한다. 여기서, 조절수단(96)인 제1 내지 제3 튜닝볼트(96a, 96b, 96c)는 각각 XYZ축 방향으로 EL 소자(54)를 이동시키게된다.The support frame 87 is made of an elastic material to protect the EL element 54 from impact, and the guide pin 92 inserted into the alignment key 59 formed in the EL element 54 as shown in FIG. Adjusting means 96 for moving the EL element 54 up, down, left, and right in contact with the pad 94 to be formed and the back surface of the EL element 54. For example, the first to third tuning bolts 96a, 96b, 96c) and fixing means 98 for fixing the adjusted EL element 54, for example, first and second fixing bolts 98a and 98b. Here, the first to third tuning bolts 96a, 96b, 96c, which are the adjusting means 96, respectively move the EL element 54 in the XYZ axis direction.

인쇄회로기판(84)은 EL 소자(54)의 패널(53)에 화상을 구현하기 위한 신호 및 전원을 생성 및 제어하는 제어부(83)와, 하판(82)의 각 지지프레임(87)에 대응되는 영역에 배치된 EL 소자(54) 각각이 외부로 노출될 수 있도록 윈도우(85a)가 형성된다.The printed circuit board 84 corresponds to a control unit 83 for generating and controlling a signal and a power supply for implementing an image on the panel 53 of the EL element 54, and each support frame 87 of the lower plate 82. A window 85a is formed so that each of the EL elements 54 disposed in the region to be exposed can be exposed to the outside.

상판(86)은 인쇄회로기판(84)을 덮도록 형성되며 하판(82)과 결합되어 하판(82) 및 인쇄회로기판(84)을 고정시키게 된다. 이러한 상판(86)의 전면에는 지지프레임(87)에 대응되는 영역에 배치된 EL 소자(54) 각각이 외부로 노출될 수 있도 록 인쇄회로기판(84)에 형성된 윈도우(85a)와 유사한 윈도우(85b)가 형성된다. 여기서, 상판(86)은 인쇄회로기판(84)과 하판(82)을 고정시키는 방법으로 유압을 사용할 수 있다. 이때, 하판(82)과 인쇄회로기판(84) 및 상판(86)의 각 모서리는 서로를 결합시키기 위한 홀(89)을 구비한다.The upper plate 86 is formed to cover the printed circuit board 84 and is coupled to the lower plate 82 to fix the lower plate 82 and the printed circuit board 84. On the front surface of the upper plate 86, a window similar to the window 85a formed on the printed circuit board 84 so that each of the EL elements 54 disposed in the region corresponding to the support frame 87 may be exposed to the outside. 85b) is formed. Here, the upper plate 86 may use hydraulic pressure as a method of fixing the printed circuit board 84 and the lower plate 82. In this case, each edge of the lower plate 82, the printed circuit board 84, and the upper plate 86 includes a hole 89 for coupling with each other.

검사 유닛(103)은 EL 소자(54)에 검사 신호를 공급하여 EL 소자(54)의 불량 유무를 검사하게 된다. 이를 위해, 검사 유닛(103)은 인쇄회로기판(84)으로부터 생성된 검사 신호를 공급하는 구동부(56)와, 구동부(56)에 의해 EL 소자(54)에 형성된 얼라인 마크(59)와 정렬되는 지그(58)와, 검사 신호를 EL 소자(54)에 공급하는 프로브(55)를 구비한다.The inspection unit 103 supplies an inspection signal to the EL element 54 to inspect whether the EL element 54 is defective. To this end, the inspection unit 103 aligns with the driver 56 for supplying the inspection signal generated from the printed circuit board 84 and the alignment mark 59 formed in the EL element 54 by the driver 56. Jig 58 to be provided, and a probe 55 for supplying a test signal to the EL element 54.

구동부(56)는 EL 소자(54)의 불량여부를 검사하기 위한 검사 신호를 공급한다. 또한, 구동부(56)는 지그(58)를 이송시켜 스테이지(57)에 안착된 EL 소자들(54)에 형성된 얼라인 마크(59)와 지그(58)를 정렬시키게 된다.The driver 56 supplies an inspection signal for inspecting whether the EL element 54 is defective. In addition, the driver 56 transfers the jig 58 to align the alignment mark 59 and the jig 58 formed on the EL elements 54 seated on the stage 57.

지그(58)는 구동부(56)에 의해 스테이지(57)에 안착되는 EL 소자(54)의 모서리 일측에 형성된 얼라인 키(59)와 정렬하게 된다.The jig 58 is aligned with the alignment key 59 formed at one corner of the EL element 54 seated on the stage 57 by the driver 56.

프로브(55)는 스테이지(57)에 안착된 다수의 EL 소자들(54) 각각의 패드부(60)에 접촉되어 구동부(56)로부터 공급되는 검사 신호를 다수의 EL 소자들(54) 각각에 공급하게 된다. 여기서 프로브(55)는 스테이지(57) 상에 배치되는 다수의 EL 소자들(54)과 매치되도록 형성된다. 즉, 프로브(55)는 다열다행으로 배치되는 EL 소자들(54)에 대응되도록 다열다행으로 배치되어 각 EL 소자들(54)과 라인별로 동시접속된다.The probe 55 contacts the pad portion 60 of each of the plurality of EL elements 54 mounted on the stage 57 to supply a test signal supplied from the driver 56 to each of the plurality of EL elements 54. Will be supplied. The probe 55 here is formed to match the plurality of EL elements 54 arranged on the stage 57. That is, the probes 55 are arranged in multiple rows so as to correspond to the EL elements 54 arranged in multiple rows, and are simultaneously connected to the respective EL elements 54 and lines.

이러한 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자 검사 장치는 각각의 EL 소자를 지지하는 각 지지프레임(87)이 상하전후좌우 유동이 가능하게 된다. 이에 따라, 스테이지(57)에 배치된 EL 소자(54)들의 간격이 다르게 형성되거나 검사유닛과의 접촉 상에 불량이 발생하게 될 경우에도, 각 지지프레임(87)을 미세 조정함으로써 스테이지(57)의 재조립 없이 EL 소자(54)들의 검사가 가능하게 된다. In the EL element inspection apparatus according to the embodiment of the present invention, each support frame 87 for supporting each EL element can be moved up, down, left, and right. Accordingly, even when the spacing of the EL elements 54 arranged on the stage 57 is formed differently or a defect occurs on contact with the inspection unit, the stage 57 is finely adjusted by adjusting the respective support frames 87. Inspection of the EL elements 54 becomes possible without reassembly.

이와 같은 구조를 가지는 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자 검사 방법은 우선 스크라이빙 공정에 의해 각각 분리되어지는 다수의 EL 소자들(54)들이 하판(82)에 형성된 지지프레임(87) 상에 얼라인 키(59)를 기준으로 배열된다. 이후, 하판(82)상부에는 인쇄회로기판(84)과 상판(84)이 배치된 후, 하판(82)과 고정된다. 이때, 각 EL 소자들은 검사 유닛(103)과 접촉되게 된다. 구체적으로 설명하면, 다수의 프로브(55)를 다수의 EL 소자들(54)의 패드부(52)에 각각 접속시키고, 이어서, 구동부들(56)로부터의 검사 신호가 지그(58) 및 다수의 프로브(55)를 통해 다수의 EL 소자들(54)에 공급된다. 이로 인해 다수의 EL 소자들(54)의 표시부(53)는 공급된 검사 신호에 따라 화상을 구현하게 된다. 이와 같이 다수의 EL 소자들(54)의 표시부(53)에 구현된 화상의 상태에 따라 동시에 다수의 EL 소자들(54)의 불량 및 양품을 검사함으로써 검사시간을 단축시킴에 따라 생산성을 향상시킬 수 있다. EL device inspection method according to an embodiment of the present invention having such a structure is first on the support frame 87 formed on the lower plate 82 a plurality of EL elements 54 that are each separated by a scribing process It is arranged on the basis of the align key 59. Subsequently, after the printed circuit board 84 and the upper plate 84 are disposed on the lower plate 82, the lower plate 82 is fixed to the lower plate 82. At this time, each of the EL elements comes into contact with the inspection unit 103. Specifically, the plurality of probes 55 are respectively connected to the pad portions 52 of the plurality of EL elements 54, and then the inspection signals from the driving portions 56 are connected to the jig 58 and the plurality of pieces. The plurality of EL elements 54 are supplied through the probe 55. As a result, the display unit 53 of the plurality of EL elements 54 implements an image according to the supplied inspection signal. In this way, according to the state of the image implemented on the display portion 53 of the plurality of EL elements 54, defects and good quality of the plurality of EL elements 54 can be inspected at the same time, thereby reducing the inspection time and improving productivity. Can be.

한편, 기판 상에 형성된 EL 소자들(54)간의 간격이 일정하지 않게 형성될 경우 검사 유닛(103)과 EL 소자들(54)들이 오정렬 발생시에도 각 EL 표시소자(54)들을 지지하는 지지프레임(87)을 미세 조정함으로써 EL 소자(54) 검사를 용이하게 실시할 수 있게 된다.On the other hand, when the spacing between the EL elements 54 formed on the substrate is not constant, the support frame for supporting the respective EL display elements 54 even when the inspection unit 103 and the EL elements 54 are misaligned. By fine-tuning 87, the EL element 54 can be easily inspected.

이러한 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자 검사 장치는 EL 소자(54)에 전압 또는 전류를 인가하여 EL 소자(54)의 점등검사, 오토 프로브 테스터(Auto Probe Tester)등을 실시하는 공정이나, 전기적 특성을 검사하는 공정에 적용 될 수 있다.EL device inspection apparatus according to the embodiment of the present invention is a process for applying a voltage or current to the EL element 54 to perform the lighting test of the EL element 54, the auto probe tester (Auto Probe Tester), etc. It can be applied to the process of inspecting properties.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자(54)를 상세히 나타낸 도면이다.6 is a diagram showing in detail the EL element 54 according to the embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 EL 소자(54)는 유리기판(20) 상에 투명전극 패턴으로 애노드전극(22)을 형성하고, 그 위에 절연막(24), 정공관련층(26), 발광층(Emitting Layer : EMI)(28), 전자관련층(30)이 적층된다. 전자관련층(30) 상에는 금속전극으로 캐소드전극(32)이 형성된다. 6, in the EL element 54 according to the embodiment of the present invention, the anode electrode 22 is formed on the glass substrate 20 in a transparent electrode pattern, and the insulating film 24 and the hole related layer 26), an emission layer (EMI) 28, and an electron related layer 30 are stacked. The cathode electrode 32 is formed on the electron-related layer 30 as a metal electrode.

애노드전극(22)은 유리기판(20) 위에 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성 물질로 형성된다. 절연막(24)은 포토리소그래피(Photolithgraphy) 공정에 의해 애노드전극(22) 상에 형성된다.The anode electrode 22 is formed of a transparent conductive material such as ITO, IZO, or ITZO on the glass substrate 20. The insulating film 24 is formed on the anode electrode 22 by a photolithgraphy process.

정공관련층(26)에는 애노드전극(22) 상에 정공주입층(Hole Injection Layer : HIL), 정공수송층(Hole Transport Layer : HTL)이 순차적으로 형성된다.In the hole related layer 26, a hole injection layer (HIL) and a hole transport layer (HTL) are sequentially formed on the anode electrode 22.

발광층(28)은 빛을 내는 기능을 하지만 주로 전자 혹은 정공을 운반하는 기능도 함께 하는 것이 대부분이다.The light emitting layer 28 functions to emit light, but mostly also serves to transport electrons or holes.

전자관련층(30)에는 전자수송층(Electron Transport Layer : ETL), 전자주입층(Electron Injection Layer : EIL)이 발광층(28) 상에 순차적으로 적층된다.The electron transport layer (ETL) and the electron injection layer (EIL) are sequentially stacked on the emission layer 28 in the electron related layer 30.

정공관련층(26), 발광층(28) 및 전자관련층(30)은 저분자 화합물인 경우에는 진공증착에 의해 형성되며, 고분자 화합물의 경우에는 스핀 코팅(Spin Coating) 또는 잉크젯 프린팅 방식 등에 의해 형성된다.The hole related layer 26, the light emitting layer 28, and the electron related layer 30 are formed by vacuum deposition in the case of a low molecular weight compound, and are formed by spin coating or inkjet printing in the case of a polymer compound. .

캐소드전극(32)은 반사율이 높은 Al, Ag 등이 쓰일 수 있으나 많은 경우 알루미늄(Al)과 같은 금속이 이용된다. As the cathode electrode 32, Al, Ag, etc. having high reflectance may be used, but in many cases, a metal such as aluminum (Al) is used.

이와 같은, 유기 EL 소자(50)의 발광층(28)은 대기 중의 수분 및 산소에 쉽게 열화 되는 특성으로 인하여 인캡슐레이션(Encapsulation) 방법에 따라 에폭시 수지와 같은 실재(38)를 사이에 두고 애노드전극(22)과 패키징판(36)이 합착된다.Since the light emitting layer 28 of the organic EL device 50 is easily deteriorated by moisture and oxygen in the air, the anode electrode is interposed between a material 38 such as an epoxy resin according to an encapsulation method. The 22 and the packaging plate 36 are bonded together.

패키징판(36)은 유리, 플라스틱, 캐니스터(Canister) 등을 재료로 하여 형성된다. 이 패키징판(36)의 배면 중앙부에는 수분 및 산소를 흡수하기 위한 게터(Getter)(34)가 충진될 수 있도록 오목하게 형성되고, 이 오목한 공간에는 BaO, CaO 등의 물질이 충진된다. 또한, 흡습제인 게터(34)가 발광층(28)에 떨어지는 것을 방지하기 위하여 패키징판(36)의 배면에는 수분(H2O) 및 산소(O2) 등이 드나들도록 반투과막(40)이 부착된다. 반투과막(40)은 테프론, 폴리에스테르 및 종이 등의 재료가 이용된다.The packaging plate 36 is formed of glass, plastic, canister, or the like as a material. A central portion of the rear surface of the packaging plate 36 is recessed to fill a getter 34 for absorbing moisture and oxygen, and the concave space is filled with materials such as BaO and CaO. In addition, in order to prevent the getter 34, which is a moisture absorbent, from falling on the light emitting layer 28, the semi-permeable membrane 40 is formed on the rear surface of the packaging plate 36 so that moisture (H 2 O), oxygen (O 2 ), and the like are introduced into and out of the package plate 36. Attached. The semi-permeable membrane 40 is made of a material such as Teflon, polyester and paper.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 일렉트로 루미네센스 검사 장치는 일수평 및 일수직으로 지지프레임 상에 소정 간격으로 나란하게 배치된 일렉트로 루미네센스 소자들을 동시에 검사함으로써 검사 시간을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 일렉트로 루미네센스 소자와 검사 유닛의 오정렬시 지지프레임의 미세조정을 통하여 스테이지의 분리없이 재 정렬시킬 수 있게 된다.As described above, the electro luminescence inspection apparatus according to the embodiment of the present invention reduces the inspection time by simultaneously inspecting the electro luminescence elements arranged side by side at a predetermined interval on the support frame in one horizontal and one vertical. Can improve. In addition, through misalignment of the electroluminescent element and the inspection unit, fine adjustment of the support frame enables realignment without separation of the stage.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (8)

하판과;Lower plate; 상기 하판 상에서 행방향 및 열방향으로 다수개가 배열되며 일렉트로 루미네센스 소자의 크기와 유사한 크기로 형성되어 상기 일렉트로 루미네센스 소자 각각을 지지하는 다수개의 지지프레임과;A plurality of support frames arranged on the lower plate in a row direction and a column direction and formed to have a size similar to that of an electroluminescent device to support each of the electroluminescent devices; 상기 하판의 상부에 배치되어 전원 및 신호를 생성 제어하는 인쇄회로기판과;A printed circuit board disposed on an upper portion of the lower plate to control power generation and a signal; 상기 인쇄회로기판을 감쌈과 아울러 상기 하판을 고정시키는 상판과;An upper plate which wraps the printed circuit board and fixes the lower plate; 상기 인쇄회로기판으로부터의 전원 및 신호를 이용하여 상기 일렉트로 루미네센스 소자들의 불량유무를 판별하는 별개의 검사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a separate inspection unit for determining whether the electro luminescence elements are defective by using a power supply and a signal from the printed circuit board. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 일렉트로 루미네센스 소자 각각은,Each of the electroluminescent elements, 유기 발광층을 포함하는 화상 표시부와,An image display unit including an organic light emitting layer, 상기 화상 표시부 위에 접속되는 패드 전극들과,Pad electrodes connected on the image display unit, 모서리 일측에 형성되는 얼라인 키를 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.An inspection apparatus for an electro luminescence element, comprising an align key formed at one side of a corner. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지지프레임은The support frame 상부에 적재되는 일렉트로 루미네센스 소자를 상하전후좌우로 이동시키는 조절수단과,Adjusting means for moving the electro luminescence element to be loaded on the top, front, rear, left and right, 상기 조절된 일렉트로 루미네센스 소자를 고정시키는 고정수단과,Fixing means for fixing the adjusted electro luminescence element; 상기 일렉트로 루미네센스 소자의 배면과 접촉되는 패드와,A pad in contact with a rear surface of the electroluminescent element, 상기 얼라인 키와 체결되는 가이드 핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a guide pin coupled to the alignment key. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 조절수단은The adjusting means 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 상하로 이동시키는 제1 튜닝볼트와;A first tuning bolt for moving the electro luminescence element up and down; 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 전후로 이동시키는 제2 튜닝볼트와;A second tuning bolt for moving the electro luminescence element back and forth; 상기 일렉트로 루미네센스 소자를 좌우로 이동시키는 제3 튜닝볼트를 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a third tuning bolt for moving the electro luminescence element from side to side. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 검사 유닛은,The inspection unit, 상기 일렉트로 루미네센스 소자 패드 전극에 접속되는 프로브와,A probe connected to the electroluminescent element pad electrode; 상기 프로브가 설치되는 지그와,Jig in which the probe is installed, 상기 지그를 이송시킴과 아울러 검사 신호를 상기 프로브에 공급하는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a driving unit for feeding the jig and supplying a test signal to the probe. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 구동부는 The driving unit 상기 지그를 이송시켜 상기 지그와 상기 얼라인 키를 정렬하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And the jig and the alignment key are aligned by transferring the jig. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하판과 상기 인쇄회로기판 및 상기 상판 각각의 모서리에는 At each corner of the lower plate, the printed circuit board and the upper plate 상기 하판과 상기 인쇄회로기판 및 상기 상판을 결합시키는 홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a hole for coupling the lower plate, the printed circuit board, and the upper plate to each other. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄회로기판 및 상기 상판에는The printed circuit board and the top plate 상기 지지프레임이 노출되도록 상기 지지프레임에 대응되는 영역에 윈도우가 형성되는 것을 특징으로 하는 일렉트로 루미네센스 소자의 검사 장치.And a window is formed in an area corresponding to the support frame to expose the support frame.
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