KR100690321B1

KR100690321B1 - 발광셀 어레이들을 갖는 발광 다이오드 및 그것을 제조하는방법

Info

Publication number: KR100690321B1
Application number: KR1020050072828A
Authority: KR
Inventors: 이재호
Original assignee: 서울옵토디바이스주식회사
Priority date: 2005-08-09
Filing date: 2005-08-09
Publication date: 2007-03-09
Also published as: KR20070018297A

Abstract

발광셀 어레이들을 갖는 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법이 개시된다. 이 발광 다이오드는 기판 상에 정렬되고, 각각 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍을 포함한다. 제1 금속배선들이, 상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서 상기 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 상기 제1 금속배선들은, 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극에 전기적으로 연결하여, 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 이때, 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들 및 제2 전극간 연결들은 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접한다. 한편, 제2 금속배선들이 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결한다. 이에 따라, 한 쌍의 어레이들 내의 발광셀들이 지그재그(zigzag)로 발광하여, 기판 상에서 균일한 광이 방출된다.

발광 다이오드, 발광셀, 어레이, 깜박임(flicker)

Description

발광셀 어레이들을 갖는 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법{LIGHT EMITTING DIODE HAVING LIGHT EMITTING CELL ARRAYS AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 회로도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위해 도 2의 절취선 A-A'를 따라 취해진 부분 단면도이다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 부분 단면도이다.

본 발명은 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 균일한 광을 방출하도록 결선된 발광셀들의 어레이들을 갖는 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법에 관한 것이다.

발광 다이오드는 N형 반도체와 P형 반도체가 서로 접합된 구조를 가지는 광전변환 반도체 소자로서, 전자와 정공의 재결합에 의하여 빛을 발산한다. 이러한 발광 다이오드는 표시소자 및 백라이트로 널리 이용되고 있다. 또한, 발광 다이오드는 기존의 전구 또는 형광등에 비해 소모 전력이 작고 수명이 길어, 백열전구 및 형광등을 대체하여 일반 조명 용도로 그 사용 영역을 넓히고 있다.

발광 다이오드는 교류전원하에서 전류의 방향에 따라 온/오프를 반복한다. 따라서, 발광 다이오드를 교류전원에 직접 연결하여 사용할 경우, 발광 다이오드가 연속적으로 빛을 방출하지 못하며, 역방향 전류에 의해 쉽게 파손되는 문제점이 있다.

이러한 발광 다이오드의 문제점을 해결하여, 고전압 교류전원에 직접 연결하여 사용할 수 있는 발광 다이오드가 국제공개번호 WO 2004/023568(Al)호에 "발광 성분들을 갖는 발광소자"(LIGHT-EMITTING DEVICE HAVING LIGHT-EMITTING ELEMENTS)라는 제목으로 사카이 등(SAKAI et. al.)에 의해 개시된 바 있다.

상기 WO 2004/023568(Al)호에 따르면, LED들이 사파이어 기판과 같은 절연성 기판 상에서 금속배선들에 의해 2차원적으로 직렬연결된 LED 어레이들을 형성한다. 이러한 두개의 LED 어레이들이 상기 기판 상에서 역병렬로 연결된다. 그 결과, AC 파워 서플라이에 의해 상기 어레이들이 서로 교대로 온-오프를 반복하여 광을 방출한다.

그러나, 상기 WO 2004/023568(Al)호에 개시된 바에 따르면, 동일 라인의 발광셀들이 동시에 온-오프를 반복한다. 따라서, 기판 상에서 연속적으로 균일한 광 이 방출되지 못하고 깜박임(flicker)이 발생된다. 이러한 깜박임은 비록 육안으로 관찰되지 않더라도, 조명용으로 장시간 사용할 경우, 눈의 피로를 야기시킬 수 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 교류전원하에서 구동되며, 기판 상에서 균일한 광을 방출하여 깜박임을 최소화할 수 있는 발광 다이오드를 제공하는 데 있다.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 교류전원하에서 구동되며, 기판 상에서 균일한 광을 방출할 수 있는 발광 다이오드를 제조하는 방법을 제공하는 데 있다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 태양은 발광셀들의 어레이들을 갖는 발광 다이오드를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 발광 다이오드는 기판 상에 정렬되고, 각각 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍을 포함한다. 상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서 제1 금속배선들이 상기 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 상기 제1 금속배선들은, 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극에 전기적으로 연결하여, 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 이때, 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결 들 및 제2 전극간 연결들은 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접한다. 한편, 제2 금속배선들이 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결한다. 이에 따라, 한 쌍의 어레이들 내의 발광셀들이 지그재그(zigzag)로 발광하여, 기판 상에서 균일한 광을 방출한다.

한편, 상기 기판 상에 본딩패드들이 위치할 수 있다. 상기 본딩패드들은 상기 한 쌍의 어레이들의 양 단부 근처에 각각 배치된다. 이에 더하여, 제3 금속배선들이 상기 본딩패드들과 상기 어레이들의 양 끝단의 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 따라서, 상기 본딩패드들 사이에서 상기 어레이들 내의 발광셀들이 지그재그로 발광한다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 태양은 발광셀들의 어레이들을 갖는 발광 다이오드 제조방법을 제공한다. 이 방법은 기판 상에 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍을 형성하는 것을 포함한다. 상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서 상기 각 어레이의 발광셀들을 전기적으로 연결하는 제1 금속배선들이 형성된다. 상기 제1 금속배선들은 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극에 전기적으로 연결하여, 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 전기적으로 연결한다. 이때, 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결 들 및 제2 전극간 연결들이 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접하도록 연결된다. 또한, 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하는 제2 금속배선들이 형성된다. 이에 따라, 교류전원하에서 구동되면서, 기판 상에서 전체적으로 균일한 광을 방출하는 발광 다이오드를 제조할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드(10)를 설명하기 위한 회로도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드(10)를 설명하기 위한 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 발광 다이오드(10)는 기판(20) 상에 발광셀들(30)의 제1 어레이(11)와 제2 어레이(13)의 적어도 한 쌍을 갖는다. 여기서는 상기 어레이들(11, 13)의 두 쌍을 도시하였다. 이러한 한 쌍의 어레이들은 서로 인접하도록 정렬된다.

제1 금속배선들(41)이, 상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서, 상기 발광셀들(30)을 전기적으로 연결한다. 이때, 상기 제1 금속배선들(41)은 하나의 발광셀의 제1 전극(31a)을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극(31a)에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극(31b)을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극(31b)에 전기적으로 연결하여, 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 연결한다. 또한, 상기 제1 어레이(11)의 제1 전극간 연결들(41a)은 상기 제2 어레이(13)의 제2 전극간 연결들(41b)에 인접하고, 상기 제1 어레이(11)의 제2 전극간 연결들(41b)은 상기 제2 어레이(13)의 제1 전극간 연결들(41a)에 인접한다.

상기 제1 금속배선들(41)의 연결을 쉽게 하기 위해, 상기 발광셀들(30)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 동일 전극들이 서로 마주보도록 배열될 수 있다. 예컨대, 상기 하나의 발광셀(30)이 제1 어레이(11)를 따라 순서대로 형성된 제2 전극(31b) 및 제1 전극(31a)을 갖는 경우, 동일 어레이(11) 내에서 상기 하나의 발광셀에 인접한 두 개의 발광셀들은 각각 제1 어레이(11)를 따라 순서대로 형성된 제1 전극(31a) 및 제2 전극(31b)을 갖는다. 이에 따라, 상기 발광셀들(30)을 전기적으로 연결하는 제1 금속배선들(41)의 길이를 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 어레이(11)에 인접한 제2 어레이(13)의 발광셀들은 상기 제1 어레이(11)의 발광셀들과 방향을 바꾸어 배열된다. 즉, 상기 제1 어레이(11)를 따라 순서대로 제1 전극(31a) 및 제2 전극(31b)을 갖는 발광셀(30)에 인접한 제2 어레이(13)의 발광셀은 상기 제2 어레이(13)를 따라 순서대로 제2 전극(31b) 및 제1 전극(31a)을 갖도록 배치된 다.

한편, 제2 금속배선들(43a)이 상기 제1 어레이(11)의 제1 전극간 연결들(41a)을 상기 제2 어레이(13)의 인접한 제2 전극(31b)간 연결들(41b)에 각각 전기적으로 연결하고, 제2 금속배선들(43b)이 상기 제1 어레이(11)의 제2 전극간 연결들(41b)을 상기 제2 어레이(13)의 인접한 제1 전극(31a)간 연결들(41a)에 각각 전기적으로 연결한다.

상기 제2 금속배선들(43)은 제1 어레이(11)의 각 발광셀(30)의 제1 전극(31a) 및 제2 전극(31b)을 그것에 인접한 상기 제2 어레이(13)의 각 발광셀의 제2 전극(31b) 및 제1 전극(31a)에 각각 연결할 수도 있으며, 도시한 바와 같이, 제1 어레이(11)의 하나의 발광셀의 제1 전극(31a)과 그것에 인접한 제2 어레이(13)의 발광셀의 제2 전극(31b)을 연결하고, 제1 어레이(11) 내에서 상기 하나의 발광셀에 인접한 발광셀들의 제2 전극들(31b)을 각각 그것에 인접한 제2 어레이(13) 내의 발광셀들의 제1 전극들(31a)에 연결할 수도 있다. 또한, 상기 제2 금속배선들(43)은 제1 및 제2 어레이들 사이에서 상기 제1 금속배선들(41)을 서로 연결할 수도 있다.

한편, 상기 어레이들(11, 13)의 양 단부 근처의 기판(20) 상에 본딩패드들(47)이 배치될 수 있다. 상기 본딩패드들(47)은 발광 다이오드(10)를 외부전원에 연결하기 위한 패드들이다. 상기 본딩패드들(47)은 본딩와이어들(도시하지 않음)을 통해 외부전원에 연결되거나, 서브마운트에 플립칩 본딩되어 외부전원에 연결될 수 있다.

제3 금속배선들(45)이 상기 본딩패드들(47)과 상기 제1 및 제2 어레이들(11, 13)의 양 끝단의 발광셀들(30)을 연결할 수 있다. 이에 따라, 한 쌍의 어레이들(11, 13)이 서로 지그재그로 연결되어 교류전원하에서 구동된다.

본 실시예에 따르면, 제1 어레이(11) 및 제2 어레이(13)의 발광셀들이 서로 지그재그로 동작하므로, 기판 상에서 어레이 단위로 동작하는 종래기술에 비해 전체적으로 균일한 광을 방출할 수 있다.

한편, 본 실시예에 있어서, 각 어레이(11, 13) 양 끝단의 발광셀들이 제3 금속배선들(45)을 통해 본딩패드들(47)에 모두 연결되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 복수개의 어레이들이 제1 금속배선들을 통해 연결된 후, 그 양 끝단의 발광셀들이 상기 본딩패드들(47)에 연결될 수도 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드(10)를 설명하기 위해 도 2의 절취선 A-A'를 따라 취해진 부분단면도이다.

도 3을 참조하면, 기판(20) 상에 서로 이격된 발광셀들(30)이 위치한다. 상기 발광셀들(30) 각각은 제1 도전형 반도체층(25)과, 상기 제1 도전형 반도체층(25)의 일부 영역 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층(29) 및 상기 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 개재된 활성층(27)을 포함한다.

여기서, 상기 제1 도전형 반도체층(25)은 도 1의 제1 전극(31a)의 역할을 한다. 한편, 상기 제2 도전형 반도체층(29) 상에 제2 전극(31b)이 형성된다. 상기 제2 전극(31b)은 광이 투과할 수 있는 투명전극일 수 있다.

상기 발광셀들(30)은 기판(20) 상에 각 반도체층들 및 전극층을 형성한 후, 사진 및 식각 공정을 사용하여 패터닝하여 형성할 수 있다.

상기 제1 도전형 반도체층(25)의 일 영역 상에 전극패드(33a)가 형성될 수 있으며, 상기 제2 전극(31b) 상에 전극패드(33b)가 형성될 수 있다. 상기 전극패드들(33a, 33b)는 리프트오프(lift-off)법을 사용하여 원하는 위치에 형성될 수 있다.

상기 발광셀들(30)은, 도시한 바와 같이, 전극패드들(33a)이 서로 마주보도록 어레이(도 2의 11, 13)를 따라 형성될 수 있다. 즉, 발광셀들(30)의 제1 전극(31a)들이 어레이를 따라 서로 마주보고, 제2 전극들(31b)이 어레이를 따라 서로 마주보도록 형성될 수 있다.

제1 금속배선들(41)이 상기 발광셀들(30)을 전기적으로 연결한다. 예컨대, 제1 금속배선들(41a)은 상기 제1 도전형 반도체층(25) 상에 형성된 전극패드들(33a)을 서로 연결하고, 제1 금속배선들(41b)은 상기 제2 전극들(31b) 상에 형성된 전극패드들(33b)을 서로 연결한다. 한편, 제2 금속배선들(도 2의 43)에 의해, 상기 제1 금속배선들(41a)은 그것과 쌍을 이루는 어레이의 제1 금속배선들(41b)에 전기적으로 연결되고, 상기 제1 금속배선들(41b)은 그것과 쌍을 이루는 어레이의 제1 금속배선들(41a)에 전기적으로 연결된다.

상기 제1 금속배선들(41) 및 제2 금속배선들(43)은 에어브리지 공정 또는 스텝커버(step-cover) 공정을 사용하여 함께 형성될 수 있다. 또한, 상기 제3 금속배선들(도 2의 45)도 상기 제1 및 제2 금속배선들(41, 43)과 함께 형성될 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 단면도이다. 본 실시예에 따른 발광 다이오드는 대부분 도 3의 발광 다이오드(10)와 동 일하므로 차이점에 대해 설명한다.

도 4를 참조하면, 각각의 제2 전극(31b) 상에 반사금속층(51)이 형성된다. 반사금속층(51)은 단일막 또는 다층막으로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 반사금속층은 은(Ag)으로 형성될 수 있으며, 은(Ag)의 확산을 방지하기 위한 장벽금속층들이 상기 반사금속층 상하에 형성될 수 있다. 상기 반사금속층은 활성층(27)에서 발생된 광을 기판(20) 쪽으로 반사시킨다. 따라서, 상기 기판(20)은 투광성 기판인 것이 바람직하다. 전극패드(33b)는 상기 반사금속층(51) 상에 형성될 수 있으나, 생략될 수도 있다. 한편, 상기 반사금속층(51)을 형성하는 대신, 상기 제2 전극(31b)을 반사금속층으로 형성할 수도 있다.

한편, 상기 반사금속층(51) 상에 금속범퍼(53)가 형성된다. 상기 금속범퍼(53)는 서브마운트(도시하지 않음) 상에 접합되어, 발광셀에서 발생된 열을 전달한다.

본 실시예에 따르면, 서브마운트에 열접촉되는 금속범퍼들(53)을 갖는 플립칩 형 발광 다이오드를 제공할 수 있다. 이러한 플립칩 형 발광 다이오드는 열 방출 효율이 우수하여 높은 광출력을 제공할 수 있다.

본 실시예들에 따르면, 교류전원하에서 구동되며, 기판 상에서 균일한 광을 방출하여 깜박임을 최소화할 수 있는 발광 다이오드 및 그것을 제조하는 방법을 제공할 수 있다.

Claims

기판 상에 나란히 정렬되고, 각각 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍;

상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서, 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극에 전기적으로 연결하여 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 전기적으로 연결하는 제1 금속배선들; 및

상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하는 제2 금속배선들을 포함하되,

상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들 및 제2 전극간 연결들이 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접하는 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 기판 상에 상기 한 쌍의 어레이들의 양 단부 근처에 배치된 본딩패드들;

상기 본딩패드들과 상기 어레이들의 양 끝단의 발광셀들을 전기적으로 연결 하는 제3 금속배선들을 더 포함하는 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 각 발광셀은 기판 상에 형성된 제1 도전형 반도체층, 상기 제1 도전형 반도체층의 일부 영역 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 도전형 반도체층과 상기 제2 도전형 반도체층 사이에 개재된 활성층을 포함하고,

상기 제1 전극은 상기 제1 도전형 반도체층이고, 상기 제2 전극은 상기 제2 도전형 반도체층 상에 위치하는 발광 다이오드.
청구항 3에 있어서,

상기 제2 전극은 투명전극인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
청구항 4에 있어서,

상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 상에 각각 위치하는 제1 전극 패드 및 제2 전극 패드를 더 포함하고,

상기 제1 금속배선들은 상기 제1 전극패드들 및 상기 제2 전극 패드들을 연결하는 발광 다이오드.
청구항 3에 있어서,

상기 각 제2 전극 상에 위치하는 반사금속층 및 상기 각 반사금속층 상에 형 성된 금속범퍼를 더 포함하는 발광 다이오드.
청구항 6에 있어서,

상기 반사금속층은 다층막으로 형성된 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 제2 금속배선들은 상기 제1 어레이 내 발광셀의 제1 전극을 상기 제2 어레이 내 발광셀의 제2 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이 내 발광셀의 제2 전극을 상기 제2 어레이 내 발광셀의 제1 전극에 전기적으로 연결하는 발광 다이오드.
청구항 1에 있어서,

상기 제2 금속배선들은 상기 제1 어레이 내의 발광셀들을 연결하는 제1 금속배선들과 상기 제2 어레이 내의 발광셀들을 연결하는 제1 금속배선들을 각각 연결하는 발광 다이오드.
기판 상에 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍을 형성하되, 상기 제1 어레이와 제2 어레이는 나란히 정렬되고,

상기 각 어레이 끝단의 발광셀들 사이에서 상기 각 어레이의 발광셀들을 전기적으로 연결하는 제1 금속배선들을 형성하되, 상기 제1 금속배선들은 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 제1 전극에 전기적으로 연결하고, 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 제2 전극에 전기적으로 연결하여 상기 각 어레이 내의 발광셀들을 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들 및 상기 제2 전극간 연결들은 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접하고,

상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하는 제2 금속배선들을 형성하는 것을 포함하는 발광 다이오드 제조방법.
청구항 10에 있어서,

상기 제1 금속배선들 및 상기 제2 금속배선들은 동일 공정에서 형성되는 발광 다이오드 제조방법.
청구항 11에 있어서,

상기 적어도 한 쌍의 어레이들의 양 단부에 각각 인접한 본딩패드들을 형성하고,

상기 각 어레이의 양 끝단의 발광셀들과 상기 본딩패드들을 전기적으로 연결하는 제3 금속배선들을 형성하는 것을 더 포함하되,

상기 제3 금속배선들은 상기 제1 금속배선들 및 상기 제2 금속배선들과 동일 공정에서 형성되는 발광 다이오드 제조방법.
청구항 10에 있어서,

상기 각 제2 전극 상에 반사금속층을 형성하고,

상기 각 반사금속층 상에 금속범퍼를 형성하는 것을 더 포함하는 발광 다이오드 제조방법.
청구항 13에 있어서,

상기 반사금속층은 다층막으로 형성되는 발광 다이오드 제조방법.
기판 상에 나란히 정렬되고, 각각 제1 전극 및 제2 전극을 갖는 발광셀들의 제1 어레이와 제2 어레이의 적어도 한 쌍;

상기 제1 어레이의 끝단의 발광셀들 사이에서, 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 발광셀의 제1 전극에 전기적으로 연결하는 제1 전극간 연결들 및 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 발광셀의 제2 전극에 전기적으로 연결하는 제2 전극간 연결들;

상기 제2 어레이의 끝단의 발광셀들 사이에서, 하나의 발광셀의 제1 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 하나의 발광셀의 제1 전극에 전기적으로 연결하는 제1 전극간 연결들 및 상기 하나의 발광셀의 제2 전극을 그것에 인접한 두개의 발광셀들 중 다른 하나의 발광셀의 제2 전극에 전기적으로 연결하는 제2 전극간 연결들; 및

상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제2 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하고, 상기 제1 어레이의 제2 전극간 연결들을 상기 제2 어레이의 인접한 제1 전극간 연결들에 각각 전기적으로 연결하는 금속배선들을 포함하되,

상기 제1 어레이의 제1 전극간 연결들 및 제2 전극간 연결들이 상기 제2 어레이의 제2 전극간 연결들 및 제1 전극간 연결들에 각각 인접하는 발광 다이오드.