KR100682742B1 - 박막증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기와, 상기 반응용기로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글과, 상기 반응용기 및/또는 가스정글의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프를 포함하며, 상기 가스정글에는, 액상소스가 수용된 적어도 하나의 소스컨테이너와, 상기 액상소스를 버블링시켜 가스화시키기 위한 캐리어가스나 상기 반응용기 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스의 유량을 제어하기 위한 다수의 유량제어기(MFC)와, 상기 반응가스나 상기 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 상기 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브가 구비되어 있는 박막증착장치에 있어서, 상기 가스정글에는, 상기 소스컨테이너를 수용하는 소스박스와, 상기 소스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 유량제어기를 수용하는 가스박스와, 상기 소스박스 및 가스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 밸브를 수용하는 밸브박스가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

박막증착장치{Apparatus for depositing thin film on a wafer}
도 1은 종래 박막증착장치의 구성을 도시한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 박막증착방치의 제1실시예의 구성을 도시한 도면,
도 3은 도 2에 있어서, 반응용기에 대한 소스박스와 가스박스와 밸브박스의 위치 관계를 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 박막증착장치의 제2실시예의 구성을 도시한 도면,
도 5는 도 4에 있어서, 반응용기에 대한 소스박스와 가스박스와 밸브박스의 위치 관계를 도시한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>
500 ... 반응용기 600 ... 가스정글
610 ... 소스박스 611 ... 제1소스컨테이너
613 ... 제2소스컨테이너 630 ... 가스박스
631, 632, 633, 634 ... 제1,2,3,4MFC
650, 670 ... 밸브박스 675 ... LDS
700 ... 배기펌프
V1,V2 ... 제1,2밸브 V3, V4 ... 제3,4밸브
V5, V6 ... 제5,6밸브 V7, V8 ... 제7,8밸브
본 발명은 반도체 기판, 예를 들어 웨이퍼에 박막을 증착하기 위한 박막증착장치에 관한 것으로, 상세하게는 퍼지효율이 향상된 박막증착장치에 관한 것이다.
도 1은 종래 박막증착장치의 구성을 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 종래의 박막증착장치는, 크게 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기(100)와, 반응용기(100)로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글(200)과, 반응용기(100) 및/또는 가스정글(200)의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프(300)를 포함한다.
가스정글(200)은, 반응용기(100)로 제1반응가스와 제2반응가스를 각각 공급하기 위한 제1,2반응가스공급부(210)(230)와, 반응용기(100)를 퍼지시키기 위한 퍼지가스를 공급하는 제1,2퍼지가스공급부(250)(260)를 포함한다.
제1반응가스공급부(210)와 제2반응가스공급부(230) 각각은 제1라인(220)과 제2라인(240)을 통하여 반응용기(100)와 연결되고, 또 제1바이패스라인(225)과 제2바이패스라인(245)을 통하여 배기펌프(300)와 연결된다. 이때, 가스정글(200)과 반응용기(100)를 연결하여주는 제1,2라인(220)(240)의 길이는 통상적으로 2 m 이상을 이룬다.
제1반응가스공급부(210)에는 유입되는 오존을 제1라인(220) 또는 제1바이패스라인(225)으로 흐르게 하기 위한 온/오프형 밸브(212a, 212b)들이 설치되어 있 다.
제1퍼지가스공급부(250)에는 MFC 에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 제1라인(220) 또는 제1바이패스라인(225)으로 흐르게 하기 위한 온/오프형 밸브(252a, 252b)들이 설치되어 있다.
제2반응가스공급부(230)에는 액상소스가 일정량 채워진 소스컨테이너(231)와, 여러개의 온/오프형 밸브(232a, 232b, 232c, 232d, 232e)들이 설치되어 있다. 이러한 밸브들의 조작에 의하여 제2반응가스가 제2라인(240) 또는 제1바이패스라인(245)으로 흐르게 된다.
제2퍼지가스공급부(260)에는 MFC 에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 제2라인(240) 또는 제2바이패스라인(245)으로 흐르게 하기 위한 온/오프형 밸브(262a, 262b)들이 설치되어 있다.
이러한 구조에 있어서, 제1반응가스를 피딩할 경우 밸브(212a)를 개방한다. 그러면, 제1반응가스는 제1라인(220)을 통하여 반응용기(100)로 피딩된다.
제1반응가스를 퍼지할 경우, 212b 밸브를 개방하고 212a 밸브를 닫으며, 252a 밸브를 개방한다. 그러면, 제1반응가스는 제1바이패스라인(225)을 거쳐 배기펌프(300)로 배기되고, 한편 제1퍼지가스공급부(250)로부터의 퍼지가스는 252a 밸브 -> 제1라인(220)을 경유하여 반응용기(100)로 공급되면서 제1라인(220) 및 반응용기(100)가 퍼지된다.
제2반응가스를 피딩할 경우, 밸브(232a, 232b, 232e)를 개방한다. 그러면, 유입되는 캐리어가스(bubble Ar)는 소스컨테이너(231)의 액상소스를 버블링시켜 제 2반응가스화시키고, 제2반응가스는 제2라인(240)을 통하여 반응용기(100)로 피딩된다.
제2반응가스를 퍼지할 경우, 232c, 232d 밸브를 개방하고, 232a, 232b, 232e 밸브를 닫으며, 262a 밸브를 개방한다. 그러면, 캐리어가스는 제2소스컨테이너(231)를 경유하지 않고 제2바이패스라인(245)을 거쳐 배기펌프(300)로 배기되고, 제2퍼지가스공급부(260)로부터의 퍼지가스는 262a 밸브 -> 제2라인(240)을 경유하여 반응용기(100)로 공급되면서 제2라인(240) 및 반응용기(100)를 퍼지하게 된다.
즉, 반응용기를 퍼지하기 위하여, 제1,2퍼지가스공급부(250)(260)의 퍼지가스는 제1라인(220) 및 제2라인(240)을 경유하면서 제1,2라인(220)(240)을 퍼지하고, 이후 반응용기(100)로 유입되어 반응용기(100)를 퍼지하게 된다.
그런데, 반응용기와 가스정글을 연결하는 제1라인 및 제2라인은 통상적으로 2m 이상의 길이를 가진다. 따라서, 반응가스나 퍼지가스가 제1라인과 제2라인을 경유하는데 많은 시간이 소요되며, 특히, 액상소스가 낮은 기화온도를 갖고 있거나 흡착력(sticky)이 클수록 피딩 및 퍼지시간은 길어진다. 피딩 및 퍼지시간이 길어짐은 장비를 효율적으로 운영하는데 장애가 된다.
또한, 피딩 및 퍼지시간이 길어짐에 따라, 제1,2라인 및 반응용기 내부가 충분히 퍼지되지 않게 되며, 이 경우 제1반응가스와 제2반응가스가 제1,2라인 내부에서 만나 반응하거나, 기판 이외의 반응용기 내부에서 반응함으로써 원하지 않는 파티클이나 파우더를 형성하게 되고, 이에 따라 박막의 품질을 저하시키게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 반응가스를 피딩 및/또는 퍼지하는데 소요되는 시간을 단축시킴과 동시에 보다 완벽한 퍼지가 가능하도록 할 수 있는 박막증착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 용이한 유지관리가 가능하도록 할 수 있는 박막증착장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막증착장치의 제1실시예는, 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기와, 상기 반응용기로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글과, 상기 반응용기 및/또는 가스정글의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프를 포함하며, 상기 가스정글에는, 액상소스가 수용된 적어도 하나의 소스컨테이너와, 상기 액상소스를 버블링시켜 가스화시키기 위한 캐리어가스나 상기 반응용기 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스의 유량을 제어하기 위한 다수의 유량제어기(MFC)와, 상기 반응가스나 상기 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 상기 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브가 구비되어 있는 박막증착장치에 있어서, 상기 가스정글에는, 상기 소스컨테이너를 수용하는 소스박스와, 상기 소스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 유량제어기를 수용하는 가스박스와, 상기 소스박스 및 가스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 밸브를 수용하는 밸브박스가 마련되어 있다.
삭제
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막증착장치의 제2실시예는, 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기와, 상기 반응용기로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글과, 상기 반응용기 및/또는 가스정글의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프를 포함하며, 상기 가스정글에는, 액상소스가 수용된 적어도 하나의 소스컨테이너와, 상기 액상소스를 이송하기 위한 캐리어가스나 상기 반응용기 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스의 유량을 제어하기 위한 다수의 유량제어기(MFC)와, 상기 소스컨테이너로부터 상기 캐리어가스에 의하여 이송되어 오는 액상소스를 반응가스로 기체화시키는 LDS(Liquid Delivery System)와, 상기 반응가스나 상기 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 상기 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브가 구비되어 있는 박막증착장치에 있어서, 상기 가스정글에는, 상기 소스컨테이너를 수용하는 소스박스와, 상기 소스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 유량제어기를 수용하는 가스박스와, 상기 소스박스 및 가스박스와 독립되게 배치되며 상기 LDS(Liquid Delivery System)와 상기 다수의 밸브를 수용하는 밸브박스가 마련되어 있다.
삭제
본 발명에 있어서, 상기 소스박스 및/또는 밸브박스는 상기 가스박스 보다 상기 반응용기에 근접되게 설치된다.
본 발명에 있어서, 상기 가스박스는, 상기 소스컨테이너로 흐르는 캐리어가스를 유량제어하는 MFC와, 상기 반응용기에서 반응가스를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 유량제어하는 MFC를 포함한다.
본 발명에 있어서, 상기 밸브박스는, 상기 반응가스를 반응용기 또는 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 제1,2밸브와, 상기 MFC 에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 제3,4밸브를 포함한다.
이하, 본 발명에 따른 퍼지효율이 향상된 박막증착장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 박막증착방치의 제1실시예의 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2에 있어서, 반응용기에 대한 소스박스와 가스박스와 밸브박스의 위치 관계를 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 박막증착장치는, 크게 웨이퍼(w)에 박막을 증착하는 반응용기(500)와, 반응용기(500)로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글(600)과, 반응용기(500) 및/또는 가스정글(600)의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프(700)를 포함한다.
가스정글(600)은, 액상소스가 수용된 적어도 하나 이상의 소스컨테이너를 구비하는 소스박스(610)와, 소스박스(610)로 액상소스를 버블링시켜 가스화시키기 위한 캐리어가스를 공급하거나 반응용기(100) 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 공급하는 가스박스(630)와, 소스박스(610)에서 공급되는 반응가스나 가스박스(630)에서 공급되는 퍼지가스를 반응용기(100) 또는 배기펌프(300)로 선택적으로 흐르도록 다수의 밸브로 구성되는 밸브박스(650)를 포함한다. 즉, 가스정글(600)은 독립적인 구성의 소스박스(610)와, 가스박스(630)와, 밸브박스(650)를 포함하는 것이며, 이들 각 구성은 여러개의 라인을 통하여 유기적으로 연결된다.
이때, 상기한 소스박스(610) 및/또는 밸브박스(650)는 가스박스(630) 보다 반응용기(100)에 근접되게 설치된다.
상기 소스박스(610)는, 그 내부에, 2개의 소스컨테이너, 즉 제1소스컨테이너(611)와 제2소스컨테이너(613)와, 제1,2소스컨테이너(611)(613) 각각에 연결되는 다수개의 밸브(V)를 수용하는 독립된 수용공간을 가진다. 제1,2소스컨테이너(611)(613)에 수용된 각각의 액상소스는, 가스박스(630)로부터 유입되는 캐리어가스에 의하여 버블링된 후 제1반응가스 또는 제2반응가스가 된다. 본 실시예에서는 2 개의 소스컨테이너를 사용하여 설명하고 있지만, 소스컨테이너를 하나만 채용하거나 3 개 이상 채용할 수도 있음은 물론이다.
상기 가스박스(630)는, 상기 소스박스(610)와는 별도로 마련되어 있으며, 그 내부에, 외부에서 유입되는 불활성가스, 예를 들면 Ar 가스를 유량제어하는 다수개의 MFC를 수용하는 독립된 수용공간을 갖고, 이들 MFC 에 의하여 유량제어된 Ar 가스는 소스박스(610)나 반응용기(500)로 공급된다. 본 실시예에서는 제1소스컨테이너로 흐르는 캐리어가스를 유량제어하는 제1MFC(631), 반응용기(500)에서 제1반응가스를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 유량제어하는 제2MFC(632), 제2소스컨테이너(613)로 흐르는 캐리어가스를 유량제어하는 제3MFC(633), 반응용기(500)로부터 제2반응가스를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 유량제어하기 위한 제4MFC(634)를 수용한다.
상기 밸브박스(650)는, 상기 소스박스(610) 및 상기 가스박스(630)와는 별도로 마련되어 있으며, 그 내부에, 소스박스(610)에서 공급되는 반응가스나 가스박스(630)에서 공급되는 퍼지가스를 반응용기(100) 또는 배기펌프(300)로 선택적으로 흐르도록 하는 다수개의 온/오프형밸브를 수용하는 독립된 수용공간을 가진다. 본 실시예에서는, 제1소스컨테이너(611)로부터 공급되는 제1반응가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제1,2밸브(V1)(V2)와, 제2MFC(632)에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제3,4밸브(V3)(V4)와, 제2소스컨테이너(613)로부터 공급되는 제2반응가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제5,6밸브(V5)(V6)와, 제4MFC(634)에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제7,8밸브(V7)(V8)를 수용한다. 이러한 밸브박스(650)는 실질적으로 소스박스(610)와 가스박스(630)를 제어하는 역할을 한다.
즉, 상기와 같이, 소스컨테이너를 포함하는 소스박스(610)를 독립적으로 구성하고, 캐리어가스나 퍼지가스를 공급하는 가스박스(630)를 독립적으로 구성하며, 반응가스나 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 공급하는 밸브박스(650)를 독립적으로 구성함으로써, 유지관리가 용이해 지도록 할 수 있다.
한편, 반응용기(500)와 유기적으로 연결되는 소스박스(610) 및 밸브박스(650)는, 그들 사이를 연결하는 라인의 길이를 짧게 하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 반응용기(500)에 근접되게 배치되도록 한다. 이때, 가스박스(630)는 유입되는 캐리어가스나 퍼지가스의 유량을 조절하는 부분이기 때문에 어떠한 위치에 배치되더라도 상관이 없으며, 따라서 소스박스(610)와 밸브박스(650)의 후방에 배치한다.
이와 같이, 소스박스(610)와 밸브박스(650)가 반응용기에 근접되게 배치됨으로써 반응가스나 퍼지가스가 이동되는 라인을 짧게 할 수 있으며, 따라서 반응가스의 피딩시간과 퍼지시간을 단축시킬 수 있다. 이렇게 피딩시간과 퍼지시간이 단축됨에 따라 공정 능력향상과 재현성을 향상시킬 수 있으며, 특히, 소스가 낮은 기화온도를 갖고 있거나 흡착력이 클수록 종래에 비하여 피딩 및 퍼지시간을 현저히 단축할 수 있다. 또, 퍼지가스에 의하여 라인 및 반응용기의 퍼지가 충분히 이루어 지므로, 라인이나 반응용기 내부에서 다른 반응가스와 반응하여 파티클이나 파우더를 형성하지 않게 되고 박막의 품질의 저하를 막을 수 있다.
다음, 본 발명에 따른 박막증착장치의 다른 실시예를 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 박막증착장치의 제2실시예의 구성을 도시한 도면이고, 도 5는 도 4에 있어서, 반응용기에 대한 소스박스와 가스박스와 밸브박스의 위치 관계를 도시한 도면이다. 여기서, 제1실시예에서와 동일한 참조 부호는 동일 기능을 하는 동일 부호이다.
박막증착장치의 제2실시예는, 크게 웨이퍼(w)에 박막을 증착하는 반응용기(500)와, 반응용기(500)로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글(600)과, 반응용기(500) 및/또는 가스정글(600)의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프(700)를 포함한다.
가스정글(600)은, 액상소스가 수용된 적어도 하나 이상의 소스컨테이너를 구비하는 소스박스(610)와, 소스박스(610)로 캐리어가스를 공급하거나 반응용기(100) 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 공급하는 가스박스(630)와, 소스박스(610)에서 캐리어가스에 의하여 이송된 액상소스를 기체화시켜 만들어진 반응가스나 가스박스(630)에서 공급되는 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브로 구성되는 밸브박스(670)를 포함한다. 이때, 밸브박스(670)에는 액상소스를 반응가스로 기체화시키는 공지의 LDS(Liquid Delivery System ; 675)이 설치된다. 이러한 LDS(675)에는 기화기등으로 구성된다.
즉, 가스정글(600)은 독립적인 구성의 소스박스(610)와, 가스박스(630)와, 밸브박스(670)를 포함하는 것이며, 이들 각 구성은 여러개의 라인을 통하여 유기적으로 연결된다. 이때, 상기한 소스박스(610) 및/또는 밸브박스(670)는 가스박스(630) 보다 반응용기(100)에 근접되게 설치된다.
소스박스(610)와 가스박스(630)는 실질적으로 제1실시예에서 설명된 것과 거의 유사하므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 설명을 위하여, 하나의 LDS(675)를 채용하여 제2소스컨테이너(613)로부터 이송되는 액상소스를 제2반응가스로 변환시키고, 제1반응가스는 버블링 방식에 의하여 만들어지는 구조를 예로들어 밸브박스(670)를 설명하고자 한다. 그러나, 제1반응가스 역시 액상소스로부터 LDS 를 이용하여 만들어질 수 있음은 물론이다.
상기 밸브박스(670)는, 상기 소스박스(610) 및 상기 가스박스(630)와는 별도로 마련되어 있으며, 그 내부에, 제1소스컨테이너(611)로부터 공급되는 제1반응가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제1,2밸브(V1)(V2)와, 제2MFC(632)에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제3,4밸브(V3)(V4)와, 제2소스컨테이너(613)로부터 이송되는 액상소스를 반응가스로 변환시키는 LDS(675)와, LDS(675)에 의하여 변환된 제2반응가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제5,6밸브(V5)(V6)와, 제4MFC(634)에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 흐르게 하는 제7,8밸브(V7)(V8)를 수용하는 독립된 수용공간을 가진다. 이러한 밸브박스(670)는 실질적으로 소스박스(610)와 가스박스(630)를 제어하는 역할을 한다.
즉, 상기와 같이, 소스컨테이너를 포함하는 소스박스(610)를 독립적으로 구성하고, 캐리어가스나 퍼지가스를 공급하는 가스박스(630)를 독립적으로 구성하며, 반응가스나 퍼지가스를 반응용기(500) 또는 배기펌프(700)로 선택적으로 공급하는 밸브박스(670)를 독립적으로 구성함으로써, 유지관리가 용이해 지도록 할 수 있는 것이다.
이때, 반응용기(500)와 유기적으로 연결되는 소스박스(610) 및 밸브박스(670)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 그들 사이를 연결하는 라인의 길이를 짧게 하기 위하여 반응용기(500)에 근접되게 배치되도록 하며, 가스박스(630)는 유입되는 캐리어가스나 퍼지가스의 유량을 조절하는 부분이기 때문에 어떠한 위치에 배치되더라도 상관이 없고 따라서 소스박스(610)와 밸브박스(670)의 후방에 배치한다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
이와 같이 본 발명에 따른 박막증착장치에 따르면, 가스정글을 독립적인 구성의 소스박스와 가스박스와 밸브박스로 이루어지게 함으로써 유지관리를 용이하게 할 수 있다.
또한, 소스박스 및 밸브박스를 가스박스에 비하여 반응용기에 근접하게 배치시킴으로써 반응가스나 퍼지가스가 이동되는 라인을 짧게 할 수 있고, 따라서 반응가스의 피딩시간과 퍼지시간을 단축시킬 수 있다. 이렇게 피딩시간과 퍼지시간을 단축시킴에 따라 공정 능력향상과 재현성을 향상시킬 수 있다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기와, 상기 반응용기로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글과, 상기 반응용기 및/또는 가스정글의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프를 포함하며, 상기 가스정글에는, 액상소스가 수용된 적어도 하나의 소스컨테이너와, 상기 액상소스를 버블링시켜 가스화시키기 위한 캐리어가스나 상기 반응용기 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스의 유량을 제어하기 위한 다수의 유량제어기(MFC)와, 상기 반응가스나 상기 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 상기 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브가 구비되어 있는 박막증착장치에 있어서,
    상기 가스정글에는, 상기 소스컨테이너를 수용하는 소스박스와, 상기 소스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 유량제어기를 수용하는 가스박스와, 상기 소스박스 및 가스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 밸브를 수용하는 밸브박스가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  2. 웨이퍼에 박막을 증착하는 반응용기와, 상기 반응용기로 반응가스 및/또는 퍼지가스를 공급하기 위한 가스정글과, 상기 반응용기 및/또는 가스정글의 반응가스 및/또는 퍼지가스를 외부로 배기시키는 배기펌프를 포함하며, 상기 가스정글에는, 액상소스가 수용된 적어도 하나의 소스컨테이너와, 상기 액상소스를 이송하기 위한 캐리어가스나 상기 반응용기 내부를 퍼지하기 위한 퍼지가스의 유량을 제어하기 위한 다수의 유량제어기(MFC)와, 상기 소스컨테이너로부터 상기 캐리어가스에 의하여 이송되어 오는 액상소스를 반응가스로 기체화시키는 LDS(Liquid Delivery System)와, 상기 반응가스나 상기 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 상기 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 다수의 밸브가 구비되어 있는 박막증착장치에 있어서,
    상기 가스정글에는, 상기 소스컨테이너를 수용하는 소스박스와, 상기 소스박스와 독립되게 배치되며 상기 다수의 유량제어기를 수용하는 가스박스와, 상기 소스박스 및 가스박스와 독립되게 배치되며 상기 LDS(Liquid Delivery System)와 상기 다수의 밸브를 수용하는 밸브박스가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 소스박스 및/또는 밸브박스는 상기 가스박스 보다 상기 반응용기에 근접되게 설치되는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 가스박스는, 상기 소스컨테이너로 흐르는 캐리어가스를 유량제어하는 MFC와, 상기 반응용기에서 반응가스를 퍼지하기 위한 퍼지가스를 유량제어하는 MFC를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 밸브박스는, 상기 반응가스를 반응용기 또는 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 제1,2밸브와, 상기 MFC 에 의하여 유량제어된 퍼지가스를 상기 반응용기 또는 배기펌프로 선택적으로 흐르게 하는 제3,4밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치.
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