KR100682179B1 - Resin casting mold and method of casting resin - Google Patents
Resin casting mold and method of casting resin Download PDFInfo
- Publication number
- KR100682179B1 KR100682179B1 KR1020050123683A KR20050123683A KR100682179B1 KR 100682179 B1 KR100682179 B1 KR 100682179B1 KR 1020050123683 A KR1020050123683 A KR 1020050123683A KR 20050123683 A KR20050123683 A KR 20050123683A KR 100682179 B1 KR100682179 B1 KR 100682179B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- resin
- mold
- molded article
- block
- cavity
- Prior art date
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 155
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 155
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005266 casting Methods 0.000 title 1
- 238000010125 resin casting Methods 0.000 title 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 79
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 229910001315 Tool steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C41/00—Shaping by coating a mould, core or other substrate, i.e. by depositing material and stripping-off the shaped article; Apparatus therefor
- B29C41/34—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C41/42—Removing articles from moulds, cores or other substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/12—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor with incorporated means for positioning inserts, e.g. labels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C39/00—Shaping by casting, i.e. introducing the moulding material into a mould or between confining surfaces without significant moulding pressure; Apparatus therefor
- B29C39/22—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C39/36—Removing moulded articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/40—Removing or ejecting moulded articles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/565—Moulds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
수지 성형용 형은, 캐비티 내에 충전된 유동성 수지가 경화한 경화 수지를 포함하는 성형품을 제조하기 위해 이용되는 것으로서, 캐비티의 저면을 구성하는 블록과, 블록에 힘을 가함에 의해 블록을 저면에 따른 방향으로 이동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 또한, 구동 기구는 경화 수지가 형성된 상태에서, 블록을 이동시킴에 의해, 경화 수지를 저면으로부터 이간시킨다. 이 구성에 의하면, 성형품이 얇고 또한 그 주표면이 크더라도, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조를 복잡하고 크게 하는 일 없이, 성형품을 손상시키지 않고, 또한 높은 구동 효율로, 성형품의 캐비티면으로부터의 이간을 양호하게 행하게 하는 것이 가능해진다.The mold for molding a resin is used to manufacture a molded article containing a cured resin in which the flowable resin filled in the cavity is cured, and the block forming the bottom of the cavity and the block by applying a force to the block The drive mechanism which moves to a direction is provided. In addition, the drive mechanism separates the cured resin from the bottom by moving the block in a state where the cured resin is formed. According to this structure, even if a molded article is thin and its main surface is large, the cavity surface of a molded article is not damaged and a high drive efficiency is carried out without making the structure of the apparatus containing the resin molding die complex and large. It is possible to make good separation from the.
수지, 성형, 형, 몰드 Resin, molding, mold, mold
Description
도 1은 실시의 형태 1의 수지 성형용 형이 오픈되고, 칩이 장착된 기판이 상형에 세트된 상태를 도시한 부분 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a partial sectional view showing a state in which a mold for resin molding of
도 2는 수지 성형용 형이 클로징된 후에 경화 수지가 형성되고, 기판상의 칩 등이 수지 밀봉된 상태를 도시한 부분 단면도.Fig. 2 is a partial sectional view showing a state in which a cured resin is formed after the mold for molding a resin is closed, and a chip or the like on the substrate is resin-sealed.
도 3은 도 2에 도시한 상태로부터 블록이 이동함에 의해 경화 수지와 블록이 이간된 상태를 도시한 부분 단면도.3 is a partial cross-sectional view showing a state in which a cured resin and a block are separated by moving a block from the state shown in FIG. 2.
도 4는 수지 성형용 형이 오픈되고, 칩 등을 수지 밀봉한 경화 수지가 캐비티로부터 제거된 상태를 도시한 부분 단면도.Fig. 4 is a partial cross-sectional view showing a state in which a mold for molding a resin is opened, and a cured resin in which a resin or the like is sealed in a chip is removed from the cavity.
발명의 분야Field of invention
본 발명은, 캐비티 내에 충전된 유동성 수지를 경화시켜서 성형품을 제조하기 위한 수지 성형용 형(型) 및 수지 성형 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mold for resin molding and a resin molding method for curing a fluid resin filled in a cavity to produce a molded article.
배경 기술의 설명Description of Background Technology
종래로부터, 캐비티 내에 충전된 유동성 수지를 경화시켜서 성형품을 제조하기 위해 수지 성형용 형이 사용되고 있다. 이 수지 성형용 형에 의하면, 캐비티 내에서 경화 수지가 형성된다. 그것에 의해, 경화 수지를 포함하는 성형품이 형성된다.Background Art Conventionally, a mold for molding a resin has been used to produce a molded article by curing the fluid resin filled in the cavity. According to this mold for resin molding, cured resin is formed in a cavity. Thereby, a molded article containing cured resin is formed.
그 후, 수지 성형용 형으로부터 성형품이 제거된다. 이때, 이젝터 기구가 사용되고 있다(예를 들면, 실개평2-36039호 공보의 도 9 참조). 이젝터 기구는, 금형의 하방 및 상방중의 적어도 어느 한쪽에, 금형과는 별도로 마련된 진퇴 가능한 이젝터 플레이트와, 그 이젝터 플레이트에 부착되고, 이젝터 플레이트와 함께 이동하고, 성형품을 돌출시키는 이젝터 핀을 갖고 있다.Thereafter, the molded article is removed from the mold for resin molding. At this time, the ejector mechanism is used (for example, see FIG. 9 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2-36039). The ejector mechanism has a retractable ejector plate provided separately from the mold and an ejector pin which is attached to the ejector plate, moves together with the ejector plate, and protrudes the molded article, on at least one of the lower side and the upper side of the mold. .
또한, 이젝터 기구를 이용하지 않고도, 수지 성형용 형으로부터 성형품을 떼어낼 수 있는 금형도 존재한다. 이하, 이젝터 기구를 이용하지 않은 수지 성형용 형을 설명한다.Moreover, there exists a metal mold which can remove a molded article from the resin molding mold, without using an ejector mechanism. Hereinafter, the mold for resin molding which does not use the ejector mechanism is demonstrated.
예를 들면, 실개평2-36039호 공보의 도 1 및 도 2에는, 캐비티에 구멍부 및 밸브 핀이 마련되고, 오픈시에 밸브 핀이 벗겨져서 개방된 구멍부로부터 압축 공기 등의 고압 유체를 성형품을 향하여 분사함에 의해, 성형품을 캐비티면으로부터 제거하는 기구가 개시되어 있다.For example, in FIG. 1 and FIG. 2 of Unexamined-Japanese-Patent No. 2-36039, the cavity is provided with the hole part and the valve pin, and the high pressure fluid, such as compressed air, is formed from the hole part which peeled off at the time of opening, and opened. Disclosed is a mechanism for removing a molded article from a cavity surface by spraying toward.
또한, 특개평5-326597호 공보의 제 5 내지 6페이지, 및 도 1에는, 캐비티면에 진동을 가함에 의해 성형품을 캐비티로부터 제거하는 기구가 개시되어 있다. 또한, 이 진동은, 금형과는 별도로 마련된 진동 발생 수단에 의해 캐비티면에 가하여지고, 그 진폭이 1 내지 2㎛ 정도이다.In addition,
또한, 특개2004-223866호 공보의 제 4 내지 6페이지, 도 1 내지 도 4에는, 캐비티면을 구성하도록 금형에 부착된 압전체(壓電體)와 그 압전체를 신장 또는 수축시키도록 하여 변형시키는 구동 장치를 갖는 기구가 개시되어 있다. 또한, 압전체가 변형하는 방향은, 캐비티면에 따른 방향으로서 캐비티의 중심으로부터 외측을 향하는 방향, 또는, 캐비티면에 교차한 방향, 예를 들면, 수직한 방향이다.Further, in
그러나, 상술한 종래의 기술에 의하면, 다음과 같은 문제가 있다.However, according to the conventional technique described above, there are the following problems.
우선, 이젝터 핀을 사용하여 성형품을 돌출시키는 기구를 이용하는 경우에는, 이젝터 플레이트가 진퇴하기 위한 공간이 필요하기 때문에, 금형을 포함하는 수지 성형 장치의 소형화를 도모할 수 없다.First, when using the mechanism which protrudes a molded article using an ejector pin, since the space which an ejector plate advances and retreats is needed, the resin molding apparatus containing a metal mold | die cannot be miniaturized.
또한, 고압 유체를 성형품을 향하여 분사하는 기구를 이용하는 경우에도, 압축기, 고압 유체 탱크, 및 배관 등이 필요하기 때문에, 금형을 포함하는 수지 성형 장치의 소형화를 도모할 수 없다.Moreover, even when using the mechanism which injects a high pressure fluid toward a molded object, since a compressor, a high pressure fluid tank, piping, etc. are needed, the resin molding apparatus containing a metal mold | die cannot be miniaturized.
또한, 수지 성형용 형에 진동을 가하여 성형품을 캐비티면으로부터 제거하는 기구를 사용하는 경우에는, 캐비티면과 성형품이 고정되어 있는 부분만을 진동시키는 것이 아니라, 수지 성형용 형 전체를 진동시킬 필요가 있기 때문에, 구동 효율이 낮음과 함께 수지 성형용 형을 포함하는 수지 성형 장치의 구조가 복잡하게 되어 버린다. 또한, 유동성 수지의 특성에 의해서는, 예를 들면, 경화 수지가 캐비티면에 강하게 고착하고 있는 경우에는, 이 경화 수지를 포함하는 성형품을 캐비티면으로부터 효율적으로 이간시키지 못할 우려가 있다.In addition, when using a mechanism for applying a vibration to the mold for molding a resin to remove the molded article from the cavity surface, it is necessary not only to vibrate the part where the cavity surface and the molded article are fixed, but to vibrate the entire mold for molding the resin. Therefore, while the drive efficiency is low, the structure of the resin molding apparatus containing the mold for resin molding becomes complicated. Moreover, according to the characteristic of fluid resin, when hardening resin adheres strongly to a cavity surface, for example, there exists a possibility that the molded article containing this hardening resin may not be separated efficiently from a cavity surface.
또한, 캐비티면에 따른 방향으로서 캐비티의 중심으로부터 외측을 향한 방향 으로 압전체를 변형시키는 경우에는, 캐비티의 중심 부근에서는 캐비티면과 성형품과의 사이의 고착의 정도를 저감하는 것이 곤란하다. 또한, 캐비티면에 교차하는 방향으로 압전체를 변형시키는 경우에는, 압전체의 변형에 의해 성형품이 손상되어, 성형품의 품질이 저하될 우려가 있다.In addition, when the piezoelectric body is deformed in the direction from the center of the cavity to the outside as the direction along the cavity surface, it is difficult to reduce the degree of fixation between the cavity surface and the molded article in the vicinity of the center of the cavity. In addition, when the piezoelectric body is deformed in the direction intersecting the cavity surface, the molded product may be damaged due to the deformation of the piezoelectric body, which may lower the quality of the molded product.
또한, 프린트 기판 등(이하, 단지 「기판」이라고 한다)에 장착된 반도체 칩 등으로 이루어지는 칩상태 소자(이하, 단지 「칩」이라고 한다)를 수지 밀봉하여 전자 부품의 패키지를 제조하는 경우에는, 패키지의 박형화(나아가서는 성형품의 박형화), 비용면에서의 요청에 수반하는 기판 1장당 생성되는 장치수의 증대(나아가서는 성형품의 대형화), 패키지의 소형화에 수반하는 신뢰성 확보를 목적으로 하는 경화 수지의 밀착성의 증대 등이라는 근래의 경향에 기인하여, 다음과 같은 특유한 문제가 있다.In addition, when manufacturing the package of an electronic component by resin-sealing the chip state element (henceforth only a "chip") consisting of a semiconductor chip etc. mounted in a printed board etc. (henceforth only a "substrate"), Cured resin for the purpose of thinning the package (advanced thinning of the molded article), increasing the number of devices generated per sheet (required by the request in terms of cost), further increasing the size of the molded article, and securing reliability with the miniaturization of the package Due to the recent tendency to increase the adhesiveness, etc., there are the following unique problems.
예를 들면, 이젝터 핀을 갖는 기구를 이용하는 경우에는, 성형품(기판 및 경화 수지)이 얇으면, 성형품에 크랙이 생길 우려가 있다. 또한, 칩과 기판을 접속하는 와이어의 단선 또는 접촉 불량이 생길 우려가 있다. 이들은, 완성품인 전자 부품의 신뢰성 및 수율을 저하시킨다. 또한, 성형품의 주표면(主表面)이 크면, 다수의 이젝터 핀이 필요하기 때문에, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조가 복잡하게 된다.For example, when using the mechanism which has an ejector pin, when a molded article (board | substrate and cured resin) is thin, there exists a possibility that a crack may arise in a molded article. Moreover, there exists a possibility that the disconnection or contact failure of the wire which connects a chip | tip and a board | substrate may occur. These reduce the reliability and yield of the electronic component which is a finished product. In addition, when the main surface of a molded article is large, many ejector pins are required, and the structure of the apparatus containing the mold for resin molding becomes complicated.
또한, 고압 유체를 성형품을 향하여 분사하는 기구를 갖는 경우에는, 성형품의 주표면이 크고, 또한 경화 수지와 캐비티면 사이의 고착의 정도가 강하면, 유체의 압력을 보다 크게 할 필요가 있다. 그 때문에, 성형품이 얇은 것인 경우에는, 성형품에 크랙이 생길 우려가 있다. 또한, 고압 유체를 성형품을 향하여 분사하기 위한 구멍을 증가시키면, 이젝터 핀의 갯수를 증가시키는 경우와 마찬가지로, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조가 복잡하게 된다.In addition, when having the mechanism which injects a high pressure fluid toward a molded article, when the main surface of a molded article is large and the degree of adhesion between cured resin and a cavity surface is strong, it is necessary to make a fluid pressure larger. Therefore, when a molded article is thin, there exists a possibility that a crack may arise in a molded article. In addition, when the hole for injecting the high pressure fluid toward the molded article is increased, the structure of the apparatus including the mold for resin molding is complicated as in the case of increasing the number of ejector pins.
또한, 수지 성형용 형을 진동시키는 기구를 갖는 경우에는, 성형품의 주표면이 커지며, 또한, 경화 수지와 캐비티면 사이의 고착의 정도가 강해짐에 따라, 성형품을 캐비티면으로부터 이간시키지 못할 우려가 있다. 또한, 수지 성형용 형에 대해 외부에서 진동을 가하고 있기 때문에, 캐비티 내의 경화 수지와 수지 성형용 형이 같은 진동계에 속하게 된다. 따라서 가령, 진폭을 증대시켰다고 하여도, 캐비티면과 성형품의 고착면에 작용하는 전단력은, 진동에 의해 생기는 관성력만에 의해 생기기 때문에, 경화 수지의 이형성은 거의 향상되지 않는다.In addition, in the case of having a mechanism for vibrating the mold for molding a resin, the main surface of the molded article becomes large, and as the degree of fixation between the cured resin and the cavity surface becomes stronger, there is a possibility that the molded article cannot be separated from the cavity surface. . In addition, since the external vibration is applied to the mold for molding a resin, the cured resin in the cavity and the mold for molding a resin belong to the same vibration system. Therefore, even if the amplitude is increased, the shear force acting on the cavity surface and the fixed surface of the molded article is generated only by the inertial force generated by vibration, so that releasability of the cured resin is hardly improved.
또한, 캐비티면을 구성하는 압전체를 변형시키는 경우에는, 성형품의 주표면이 커지고, 또한, 경화 수지와 캐비티면 사이의 고착의 정도가 강해짐에 따라, 성형품을 수지 성형용 형으로부터 이간시키지 못할 우려가 있다. 또한, 캐비티면에 교차하는 방향으로 압전체를 변형시키는 경우에는, 성형품이 얇으면, 성형품에 크랙이 생겨 버린다.In addition, when the piezoelectric body constituting the cavity surface is deformed, the major surface of the molded article becomes large, and the degree of adhesion between the cured resin and the cavity surface becomes stronger, so that the molded article may not be separated from the mold for molding a resin. have. In addition, in the case where the piezoelectric body is deformed in the direction crossing the cavity surface, if the molded article is thin, cracks occur in the molded article.
본 발명은, 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적은, 성형품이 얇고 또한 그 주표면이 커도, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조를 복잡하고도 크게 하는 일 없이, 성형품을 손상시키지 않고, 또한 높은 구동 효율로, 성형품의 캐비티면으로부터의 이간을 양호하게 행하게 할 수 있는 수지 성형용 형 및 수지 성형 방법을 제공하는 것이다.This invention is made | formed in order to solve the above-mentioned subject, The objective is to damage a molded article, even if a molded article is thin and its main surface is large, without making the structure of the apparatus containing the mold for resin molding complicated or large. The present invention provides a mold for molding a resin and a method for molding a resin that can make a good separation from the cavity surface of a molded article with high driving efficiency.
또한, 본 명세서에서는, 「이간(離間)」이라는 용어는, 「경화 수지와 캐비티면이 고착하고 있는 상태로부터 고정되지 않는 상태로 되는」것을 의미한다.In addition, in this specification, the term "separation" means "it will be in the state which is not fixed from the state which the hardening resin and the cavity surface have fixed."
본 발명의 수지 성형용 형은, 캐비티 내에 충전된 유동성 수지가 경화한 경화 수지를 포함하는 성형품을 제조하기 위해 이용되는 것으로서, 캐비티의 저면을 구성하는 블록과, 블록에 힘을 가함에 의해 블록을 저면에 따른 방향으로 이동시키는 구동 기구를 구비하고 있다. 또한, 구동 기구는 경화 수지가 형성된 상태에서, 블록을 이동시킴에 의해 경화 수지를 저면으로부터 이간시킨다.The mold for molding a resin of the present invention is used to manufacture a molded article containing a cured resin in which a flowable resin filled in a cavity is cured, and the block is formed by applying a force to the block and the block constituting the bottom of the cavity. A drive mechanism for moving in the direction along the bottom is provided. In addition, the drive mechanism separates the cured resin from the bottom by moving the block in a state where the cured resin is formed.
본 발명의 수지 성형 방법은, 캐비티 내에 유동성 수지를 충전하는 스텝과, 유동성 수지를 경화시키는 스텝과, 캐비티의 저면을 구성하는 블록을 저면에 따른 방향으로 이동시켜서, 경화 수지와 저면을 이간시키는 스텝을 구비하고 있다.In the resin molding method of the present invention, a step of filling a fluid resin into a cavity, a step of curing the fluid resin, and a step of moving a block constituting the bottom of the cavity in the direction along the bottom to separate the cured resin from the bottom Equipped with.
본 발명에 의하면, 성형품을 돌출시키는 일 없이, 환언하면, 성형품의 두께 방향으로 힘을 가하는 일 없이, 수지 성형용 형으로부터 성형품이 이간된다. 따라서 다음의 효과를 얻을 수 있다. 우선, 성형품을 돌출시키는 기구가 불필요해지기 때문에, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조가 심플하게 된다. 또한, 성형품의 두께 방향으로 가해지는 응력이 저감되기 때문에, 특히 주표면이 크고 또한 얇은 성형품의 품질에 악영향이 미칠 우려가 저감된다. 또한, 경화 수지와 캐비티와의 사이의 고착면에 따라 전단 응력이 작용하기 때문에, 성형품이 수지 성형용 형으로부터 이간되기 쉽게 된다.According to the present invention, the molded article is separated from the mold for molding a resin without protruding the molded article, in other words, without applying a force in the thickness direction of the molded article. Therefore, the following effects can be obtained. First, since the mechanism which protrudes a molded article becomes unnecessary, the structure of the apparatus containing the mold for resin molding becomes simple. In addition, since the stress applied in the thickness direction of the molded article is reduced, in particular, the risk of adversely affecting the quality of the molded article having a large main surface and thinness is reduced. In addition, since the shear stress acts on the fixing surface between the cured resin and the cavity, the molded article is easily separated from the mold for resin molding.
또한, 구동 기구는, 수지 성형용 형이 오픈 동작을 행하고 있는 때에, 블록을 이동시키는 것이 바람직하다. 즉, 이간시키는 공정에서는 수지 성형용 형이 오픈 동작을 행하고 있는 때에, 블록이 이동하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that a drive mechanism moves a block, when the mold for resin molding performs an open operation. That is, it is preferable that a block moves when the mold for resin molding performs the open operation at the process of separating.
이로써, 저면과 경화 수지가 고착하고 있는 상태에서, 저면과 경화 수지와의 사이에 전단 응력 및 인장 응력이, 저면으로부터 경화 수지를 이간시키도록 작용한다. 그 때문에, 성형품이 캐비티로부터 제거하기 쉽게 된다.As a result, in the state where the bottom face and the cured resin are fixed, the shear stress and the tensile stress act between the bottom face and the cured resin to separate the cured resin from the bottom face. Therefore, the molded article is easily removed from the cavity.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징, 국면 및 이점은, 첨부한 도면과 관련하여 이해되는 본 발명에 관한 다음 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.The above and other objects, features, aspects and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of the invention which is understood in conjunction with the accompanying drawings.
한편, 도면에 있어서는, 설명의 간편화를 위해, 과장하여 모식적으로 도시하고 있다.In addition, in drawing, in order to simplify description, it is exaggerated and shows typically.
바람직한 실시의 형태의 설명Description of Preferred Embodiments
(실시의 형태 1)(Embodiment 1)
우선, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시의 형태 1의 수지 성형용 형 및 수지 성형 방법을 설명한다. 이하, 트랜스퍼 성형을 사용하여, 1장의 기판에 장착된 복수의 칩을 수지 밀봉하여 복수의 전자 부품의 패키지를 제조하기 위한 수지 성형 방법을 설명한다. 따라서 본 실시의 형태의 복수의 패키지의 집합체가 본 발명의 성형품에 상당한다.First, with reference to FIGS. 1-4, the mold for resin molding and resin molding method of
도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시의 형태의 수지 성형용 형(3)은, 하형(1)과 하형(1)에 대향하는 상형(2)을 갖고 있고, 트랜스퍼 성형을 사용하여 수지 밀봉할 때에 이용되는 것이다.As shown in Fig. 1, the resin molding die 3 of the present embodiment has a
하형(1)은, 베이스부(4)와, 베이스부(4)에 고정되어 상형(2)에 대향하는 대향부(5)와, 베이스부(4)에 마련된 오목부(6)와, 오목부(6) 내에서 수평 방향으로 활주 가능하게 마련된 블록(7)을 구비하고 있다. 블록(7)의 측면에는 로드(8)가 고정되고, 로드(8)는 베이스부(4)에 마련된 구멍부(9)를 통하여 구동 기구(10)에 고정되어 있다.The
본 실시의 형태에서는, 구동 기구(10)는 로드(8)를 도면의 좌우 방향으로 진퇴시키는 것으로서, 예를 들면, 유체 압력을 이용하는 에어 실린더 또는 유압 실린더 등을 갖는 액추에이터이다.In this embodiment, the
또한, 대향부(5)가 하형(1)에 부착된 상태에서는, 하형(1)에는 유동성 수지가 유동하는 공간인 러너(11)와, 유동성 수지가 충전되는 공간인 캐비티(12)가 형성된다. 또한, 러너(11)는 플런저(도시 생략)가 내장된 포트(도시 생략) 등으로 이루어지는 공지의 수지 공급 수단(도시 생략)에 연통하고 있다.Moreover, in the state in which the opposing
본 실시의 형태의 수지 성형용 형에서는, 블록(7)의 윗면의 일부가 캐비티(12)의 저면(13)을 구성함과 함께, 대향부(5)의 관통 구멍부의 측면의 일부가 캐비티(12)의 측면을 구성한다. 또한, 블록(7)의 윗면의 다른 일부가 러너(11)의 저면(13)을 구성하고, 대향부(5)의 오목부의 측면의 다른 일부가 러너(11)의 측면을 구성하고 있다.In the mold for resin molding of the present embodiment, a part of the upper surface of the
상형(2)에는 흡착 기구(14)가 마련되고, 흡착 기구(14)는, 수지 성형용 형(3)의 외부에 마련된 감압 탱크(도시 생략) 등에 밸브(도시 생략)를 통하여 접속되어 있다. 또한, 흡착 기구(14)에 의해 기판(15)이 상형(2)에 고정되어 있다. 기판 (15)에는, 격자형상으로 마련된 복수 영역(16)의 각각에 칩(17)이 탑재되고, 칩(17)과 기판(15)의 전극끼리(도시 생략)가 와이어(18)에 의해 접속되어 있다. 이 복수의 영역(16)의 각각 내의 부분이, 하나의 전자 부품에 상당한다. 또한, 도 1에서는, 기판(15)에는 4열의 영역(16)이 마련되어 있지만, 실제로는 상당히 다수의 열의 영역(16)이 마련되어 있는 경우도 있다.The adsorption mechanism 14 is provided in the upper mold |
전술한 바와 같은 대면적을 갖는 기판(15)을 사용하여 얇은 성형품을 형성하는 경우에는, 성형품(20)을 수지 성형용 형(3)으로부터 이간시킬 때에, 성형품(20)의 두께 방향으로 가해지는 응력을 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다.In the case where a thin molded article is formed using the substrate 15 having the large area as described above, when the molded
다음에, 본 실시의 형태의 수지 성형용 형의 동작, 즉 수지 성형 방법을 설명한다. 우선, 도 1에 도시된 바와 같이, 하형(1)과 상형(2)이 오픈된다. 다음에, 이 상태에서, 포트(도시 생략)에 수지 태블릿(도시 생략)이 투입된다. 또한, 칩(17)이 장착된 기판(15)이 캐비티(12)에 대향하도록 위치가 맞추어진다. 그 후, 기판(15)은, 흡착 기구(14)에 의해 흡착되고, 상형(2)에 고정된다.Next, the operation of the mold for molding a resin of the present embodiment, that is, the resin molding method will be described. First, as shown in Fig. 1, the
다음에, 도 2에 도시된 바와 같이, 하형(1)과 상형(2)이 클로징된다. 그 후, 수지 태블릿(도시 생략)이, 플런저(도시 생략)에 의해 위를 향하여 가압되어 용융하고, 유동성 수지가 형성된다. 계속해서, 유동성 수지가 가압되고, 그것에 의해 러너(11)를 경유하여, 캐비티(12)에 유동성 수지가 주입되고, 러너(11) 및 캐비티(12)가 유동성 수지로 주입된다. 그 후에, 유동성 수지가 경화하고, 경화 수지(19)가 형성된다. 이로써, 기판(15)와 경화 수지(19)를 갖는 성형품(20)이 형성됨과 함께, 캐비티(12) 및 러너(11)의 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면이 고착한다. 또 한, 전술한 공정에서는, 블록(7)은 정지하고 있다.Next, as shown in FIG. 2, the
다음에, 도 3에 도시된 바와 같이, 하형(1)과 상형(2)이 클로징된 상태에서, 구동 기구(10)를 사용하여, 로드(8)를 저면(13)에 따른 방향, 즉 수평 방향(도면에서는 왼쪽 방향)으로 이동시킨다. 이로써, 로드(8)에 고정되어 있는 블록(7)에 대해 수평 방향으로 외력이 가하여지고, 블록(7)도 로드(8)와 동일 방향으로 일체로 되어 이동한다. 그 때문에, 블록(7)의 윗면의 일부, 즉 캐비티(12) 및 러너(11)의 저면(13)도 로드(8)의 이동 방향과 동일 방향으로 이동한다. 따라서 저면(13)과 이것에 고착되어 있는 경화 수지(19)의 하면과의 사이에, 전단 응력이 작용하기 때문에, 미시적으로는 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면과의 사이에 간극이 생긴다, 즉, 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면이 이간한다. 즉, 경화 수지(19)와 저면(13)은 고착되어 있는 상태로부터 고착하지 않는 상태로 된다.Next, as shown in FIG. 3, with the
또한, 블록(7)을 이동시키는 방향은, 저면(13)에 따른 방향, 즉 수평 방향이면 좋고, 도면의 좌방향, 우방향, 앞쪽 방향, 및 뒷쪽 방향의 어느 쪽이라도 좋다.In addition, the direction which moves the
여기서, 블록(7)의 이동량은, 1회의 이동에 의해 경화 수지(19)와 저면(13)을 이간시킬 수 있을 정도로 충분한 이동량인 것이 바람직하다. 다만, 경화 수지(19)와 저면(13)을 이간시킬 수 있는 이동량보다도 작은 양의 블록(7)의 이동이, 같은 방향 또는 역방향으로 반복되어도 좋다.Here, it is preferable that the movement amount of the
다음에, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(15)이 흡착되어 상형(2)에 고정되어 있는 상태에서, 하형(1)과 상형(2)이 오픈된다. 여기서, 저면(13)과 경화 수지(19)가 이미 이간하고 있기 때문에, 성형품(20)은 하형(1)의 캐비티(12)로부터 용이하 게 제거되고, 상형(2)에 고정된 상태로 상승한다. 그 후, 반송 기구(도시 생략)에 의해, 성형품(20)이 다음 공정의 장치까지 반송된다. 다음에, 1개의 칩(17)이 장착되어 있는 영역(16)(도 1 참조)을 1단위로 하여 소정의 검사를 행한 후에, 절단 장치를 사용하여, 성형품(20)이 격자형상의 가상선에 따라 절단되고, 복수의 영역(16)에 대응하는 복수의 패키지로 분할된다.Next, as shown in FIG. 4, the
본 실시의 형태의 수지 성형 방법의 특징은, 구동 기구(10)를 사용하여, 성형품(20)을 구성하는 경화 수지(19)가 형성된 상태에서, 블록(7)을 이동시킴에 의해, 경화 수지(19)의 하면과 캐비티(12) 및 러너(11)의 저면(13)을 이간시키는 것이다. 이로 인해, 다음의 효과를 얻을 수 있다.A characteristic of the resin molding method of the present embodiment is that the cured resin is moved by moving the
수지 성형용 형(3)에는, 종래의 수지 성형용 형의 이젝터 기구 및 고압 유체를 분사하는 기구의 어느 것도 마련되어 있지 않다. 따라서 수지 성형용 형(3)을 포함하는 장치의 구조가 간단하게 되면서도 소형화된다.Neither the ejector mechanism of the conventional resin molding mold nor the mechanism for injecting a high pressure fluid is provided in the resin molding die 3. Therefore, the structure of the apparatus including the
또한, 성형품(20)의 두께 방향에 가해지는 응력이 저감된다. 따라서 캐비티면에 교차하는 방향으로 성형품(20)을 돌출하는 종래의 수지 성형용 형에 비교하여, 즉, 이젝터 기구 또는 고압 유체를 분사하는 기구를 갖는 종래의 수지 성형용 형에 비교하여, 성형품(20)이 얇고, 또한 그 주표면이 큰 경우라도, 성형품(20)이 손상될 우려가 저감된다. 또한, 이 효과는 칩(17)을 수지 밀봉하여 전자 부품의 패키지를 제조하는 경우에 현저하게 나타나고, 성형품(20)에 있어서, 크랙, 와이어(18)의 단선, 및 접촉 불량 등의 발생이 방지된다. 따라서 완성품인 전자 부품의 신뢰성 및 수율을 향상시킬 수 있다.In addition, the stress applied to the thickness direction of the molded
또한, 구동 기구(10)는 블록(7)만을 이동시키면 좋기 때문에, 수지 성형 형의 전체를 진동시켜서 성형품을 캐비티면으로부터 이간시키는 종래의 수지 성형용 형을 포함하는 장치에 비교하여, 효율적으로 성형품(20)을 캐비티(12)로부터 이간시킬 수 있다. 또한, 구동 기구(10)에 의한 블록(7)의 이동력은, 캐비티면에 따른 방향으로서 캐비티의 중심으로부터 외측을 향하는 방향에 압전체를 변형시키는 경우에 있어서의 압전체의 이동력에 비교하여, 매우 크게 할 수 있는 것이다. 따라서 본 발명에 의하면, 상술한 방향으로 압전체를 변형시키는 종래의 수지 성형용 형을 포함하는 장치와는 달리, 이동력이 작기 때문에 캐비티면으로부터 경화 수지가 이간되지 않는다는 부적합함도 생기지 않는다.In addition, since the
(실시의 형태 2)(Embodiment 2)
다음에, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시의 형태 2의 수지 성형용 형 및 수지 성형 방법을 설명한다. 본 실시의 형태의 수지 성형 방법은, 도 3에 도시된 공정, 즉, 구동 기구(10)를 사용하여 블록(7)을 수평 방향(도면에서는 좌방향)으로 이동시키는 공정에서, 하형(1)과 상형(2)이 오픈되는 것을 특징으로 한다.Next, with reference to FIG. 3 and FIG. 4, the mold for resin molding and the resin molding method of
성형품(20)이 얇고 또한 그 주표면이 큰 경우에는, 즉, 성형품(20)을 수지 성형용 형(3)으로부터 이간시킬 때에 성형품(20)에 가해지는 응력을 가능한 한 작게 할 필요가 있는 경우에는, 블록(7)이 이동하기 시작한 직후에, 하형(1)과 상형(2)의 오픈이 시작되는 것이 바람직하다.When the molded
전술한 본 실시의 형태의 수지 성형 방법에 의하면, 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면이 고정되어 있는 상태에서, 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면과의 사 이에 전단 응력과 인장 응력이 작용하기 때문에, 성형품(20)을 양호하게 이형시킬 수 있다. 즉, 저면(13)과 경화 수지(19)의 하면과의 사이에서, 블록(7)의 이동에 의한 전단 응력과 오픈에 의한 인장 응력이 협동함에 의해, 성형품(20)에 가해지는 응력을 작게 할 수 있다.According to the resin molding method of the present embodiment described above, the shear stress between the bottom surface 13 and the bottom surface of the cured
또한, 상술한 실시의 형태 1 및 2에서는, 기판(15)에 있어서 격자형상의 가상선에 의해 구획된 복수의 영역(16)의 각각 내에 장착된 칩(17)을 수지 밀봉하기 위한 수지 성형 방법의 설명이 되어 있다. 그러나, 본 발명의 수지 성형 방법은, 상술한 것으로 한정되지 않고, 기판(15)에 장착된 1개의 칩을 수지 밀봉할 때에도 이용될 수 있다.In addition, in
또한, 본 발명의 수지 성형용 형 및 수지 성형 방법은, 수지 밀봉 이외의 일반적인 수지 성형에도 적용될 수 있다. 또한, 본 발명의 수지 성형용 형 및 수지 성형 방법은, 트랜스퍼 성형 이외에, 사출 성형 또는 압축 성형에도 적용될 수 있다.Moreover, the mold for resin molding and the resin molding method of this invention can be applied also to general resin molding other than resin sealing. In addition, the mold for resin molding and the resin molding method of the present invention can be applied to injection molding or compression molding in addition to transfer molding.
또한, 본 실시의 형태 1 및 2에서는, 하형(1)에, 러너(11), 캐비티(12), 및 블록(7)이 마련되어 있다. 그러나, 본 발명의 수지 성형용 형은, 전술한 구성으로 한정되지 않고, 상형(2)에 러너(11), 캐비티(12), 및 블록(7)이 마련되어 있어도 좋다. 또한, 본 발명의 수지 성형용 형은, 하형(1) 및 상형(2)의 각각에, 러너(11), 캐비티(12), 및 블록(7)이 마련되어 있어도 좋다. 또한, 본 발명은, 하형(1)과 상형(2)을 갖는 구조로 한정되지 않고, 서로 대향하는 2개의 형을 갖는 수지 성형 형이라면, 어떠한 수지 성형 형에도 적용될 수 있다.In addition, in the first embodiment and the second embodiment, the runner 11, the cavity 12, and the
또한, 본 발명의 수지 성형 형은, 블록(7)이 이형성이 양호한 재료로 형성되어 있거나, 또는, 저면(13)에 이형성이 양호한 피막이 마련되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 수지 성형용 형(3)은, 공구강 등의 금속재료, 세라믹스 등의 무기 재료, 및 유기 재료 중 어느 재료를 이용하여 형성되어 있어도 좋다.In the resin molding of the present invention, it is preferable that the
또한, 대향부(5)의 하면, 즉, 블록(7)과 접촉하는 부분은 마찰 계수가 작은 물질로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의하면, 작은 힘으로 블록(7)을 원활하게 이동시킬 수 있다. 마찰 계수가 작은 물질로서는, 예를 들면, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이 고려된다.In addition, it is preferable that the lower surface of the opposing
또한, 상술한 실시의 형태 1 및 2에서는, 구동 기구(10)로서 유체 압력을 사용한 에어 실린더 또는 유압 실린더 등으로 이루어지는 액추에이터가 이용되고 있지만, 전자력에 의해 구동되는 액추에이터(푸시풀 솔레노이드 등) 또는 압전 소자 등이 이용되어도 좋다. 또한, 구동 기구(10)로서, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환하는 기구(모터 및 캠 등)가 이용되어도 좋다. 또한, 블록(7)에 외력을 가하기 위해, 블록(7)에 고정된 로드(8)가 사용되고 있지만, 이에 대신하여, 블록(7)과는 독립하여 마련된 해머형상의 부재가 사용되어도 좋다.Moreover, in
또한, 블록(7)을 이동시킬 때에, 구동 기구(10)는 순간적으로, 단속적으로, 및 일정 시간에 걸쳐서 지속적으로의 어느 양태로, 블록(7)에 외력을 가하여도 좋다. 또한, 구동 기구(10)가 블록(7)에 외력을 가하는 시간 및 회수, 및 외력의 크기 등은, 저면(13)과 경화 수지(19) 사이의 고착의 정도 및 접촉 면적 등에 따라, 최적치가 선택된다.In addition, when moving the
본 발명을 상세히 설명하였지만, 이것은 예시를 위한 것으로서, 한정적인 의미로 이해되어서는 안되며, 발명의 정신과 범위는 첨부한 청구의 범위에 의해서만 한정되는 것이 분명히 이해되어야 할 것이다.While the invention has been described in detail, it is intended to be illustrative, and not to be understood in a limiting sense, and it should be clearly understood that the spirit and scope of the invention are limited only by the appended claims.
본 발명에 의하면, 성형품을 돌출시키는 일 없이, 환언하면, 성형품의 두께 방향으로 힘을 가하는 일 없이, 수지 성형용 형으로부터 성형품이 이간된다. 따라서 다음의 효과를 얻을 수 있다. 우선, 성형품을 돌출시키는 기구가 불필요해지기 때문에, 수지 성형용 형을 포함하는 장치의 구조가 심플하게 된다. 또한, 성형품의 두께 방향으로 가해지는 응력이 저감되기 때문에, 특히 주표면이 크고 또한 얇은 성형품의 품질에 악영향이 미칠 우려가 저감된다. 또한, 경화 수지와 캐비티와의 사이의 고착면에 따라 전단 응력이 작용하기 때문에, 성형품이 수지 성형용 형으로부터 이간되기 쉽게 된다.According to the present invention, the molded article is separated from the mold for molding a resin without protruding the molded article, in other words, without applying a force in the thickness direction of the molded article. Therefore, the following effects can be obtained. First, since the mechanism which protrudes a molded article becomes unnecessary, the structure of the apparatus containing the mold for resin molding becomes simple. In addition, since the stress applied in the thickness direction of the molded article is reduced, in particular, the risk of adversely affecting the quality of the molded article having a large main surface and thinness is reduced. In addition, since the shear stress acts on the fixing surface between the cured resin and the cavity, the molded article is easily separated from the mold for resin molding.
Claims (4)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2004-00365973 | 2004-12-17 | ||
JP2004365973A JP4749707B2 (en) | 2004-12-17 | 2004-12-17 | Resin mold and resin molding method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060069286A KR20060069286A (en) | 2006-06-21 |
KR100682179B1 true KR100682179B1 (en) | 2007-02-12 |
Family
ID=36594667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050123683A KR100682179B1 (en) | 2004-12-17 | 2005-12-15 | Resin casting mold and method of casting resin |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060131780A1 (en) |
JP (1) | JP4749707B2 (en) |
KR (1) | KR100682179B1 (en) |
NL (1) | NL1030686C2 (en) |
TW (1) | TWI290092B (en) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3996138B2 (en) * | 2004-03-26 | 2007-10-24 | Towa株式会社 | Low adhesion material and resin mold |
JP4741383B2 (en) * | 2006-02-17 | 2011-08-03 | 富士通セミコンダクター株式会社 | Resin sealing method for electronic parts |
KR20090024950A (en) * | 2007-09-05 | 2009-03-10 | 삼성전자주식회사 | Molding equipment and injection molding method using the same |
CN102343652B (en) * | 2010-07-29 | 2013-09-11 | 上海飞乐汽车控制系统有限公司 | Gapless demolding apparatus for injection encapsulated workpiece with right-angled terminal |
US10227840B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-03-12 | Halliburton Energy Services, Inc. | Composite Mandrel for use in subterranean formation |
CN108839309A (en) * | 2018-07-06 | 2018-11-20 | 珠海格力精密模具有限公司 | A kind of injection mould mould unloading structure and mold and mold stripping method |
JP6655148B1 (en) | 2018-10-16 | 2020-02-26 | Towa株式会社 | Transfer device, resin molding device, transfer method, and method of manufacturing resin molded product |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970006459B1 (en) * | 1992-08-12 | 1997-04-28 | 도호꾸 무네까다 주식회사 | Plastic molding method |
KR20020082406A (en) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | 엘지전선 주식회사 | Die for injection molding of synthetic resins and method of injection molding |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56136339A (en) * | 1980-03-27 | 1981-10-24 | Bridgestone Corp | Production of instrument panel |
JPS6331908A (en) * | 1986-07-25 | 1988-02-10 | Sanki Eng Co Ltd | Carriage for stacker crane |
JPH05326597A (en) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | Toowa Kk | Sealing and molding device for electronic component with resin, and releasing method for molded item from mold |
NL9400756A (en) * | 1994-05-06 | 1995-12-01 | Boer Beheer Nijmegen Bv De | Establishment for the production of green bricks for the stone industry. |
JP2001079901A (en) * | 1999-09-14 | 2001-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | Manufacture of semiconductor sealing device and semiconductor device |
JP3368263B2 (en) * | 2000-11-20 | 2003-01-20 | 第一精工株式会社 | Resin sealing mold equipment |
FR2811934A1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-01-25 | Michelin Soc Tech | Molding cord-reinforced, treaded rubber caterpillar belt for versatile tracked vehicle employs mold halves with asymmetric mold joint line |
US20020109265A1 (en) * | 2001-02-15 | 2002-08-15 | Rudolf Braungardt | Process and apparatus for producing molded articles |
JP2003276032A (en) * | 2002-03-25 | 2003-09-30 | Sainekkusu:Kk | Resin molding apparatus |
JP4125142B2 (en) * | 2003-01-23 | 2008-07-30 | Towa株式会社 | Resin mold and resin molding method |
US7147452B2 (en) * | 2005-03-17 | 2006-12-12 | Steve Eugene Everett | Method and system for fabricating structural building blocks |
-
2004
- 2004-12-17 JP JP2004365973A patent/JP4749707B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-01 US US11/290,559 patent/US20060131780A1/en not_active Abandoned
- 2005-12-06 TW TW094142950A patent/TWI290092B/en active
- 2005-12-15 KR KR1020050123683A patent/KR100682179B1/en not_active IP Right Cessation
- 2005-12-16 NL NL1030686A patent/NL1030686C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR970006459B1 (en) * | 1992-08-12 | 1997-04-28 | 도호꾸 무네까다 주식회사 | Plastic molding method |
KR20020082406A (en) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | 엘지전선 주식회사 | Die for injection molding of synthetic resins and method of injection molding |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
NL1030686A1 (en) | 2006-06-20 |
TWI290092B (en) | 2007-11-21 |
JP2006168256A (en) | 2006-06-29 |
JP4749707B2 (en) | 2011-08-17 |
TW200626333A (en) | 2006-08-01 |
US20060131780A1 (en) | 2006-06-22 |
KR20060069286A (en) | 2006-06-21 |
NL1030686C2 (en) | 2007-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100682179B1 (en) | Resin casting mold and method of casting resin | |
KR100929054B1 (en) | Method of Resin Encapsulation, Apparatus for Resin Encapsulation, Method of Manufacturing Semiconductor Device, Semiconductor Device and Resin Material | |
KR20080019726A (en) | Plastic semiconductor package having improved control of dimensions | |
JP6580519B2 (en) | Compression molding apparatus, resin-encapsulated product manufacturing apparatus, compression molding method, and resin-encapsulated product manufacturing method | |
JP2000334782A (en) | Mold for partly exposing and encapsulating semiconductor device and method for encapsulation | |
KR20190017684A (en) | Resin molding product transportation device, resin molding device and method for preparing resin molding product | |
TW201832299A (en) | Resin sealing method and resin sealing device | |
WO2008041431A1 (en) | Method for resin seal molding, and resin seal molding apparatus for use in the method | |
JP5870385B2 (en) | Mold and resin sealing device | |
JP5771865B2 (en) | Mold | |
WO2006129343A1 (en) | Semiconductor device manufacturing apparatus and semiconductor device manufacturing method | |
TW201220553A (en) | Encapsulation material forming apparatus and method | |
JP2006073600A (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2006073600A5 (en) | ||
JP4125142B2 (en) | Resin mold and resin molding method | |
JPS60257528A (en) | Mold for semiconductor sealing | |
JP4603904B2 (en) | Resin mold and molded product removal method | |
JP2000286279A (en) | Resin-sealing device and sealing method | |
KR100456082B1 (en) | Method for manufacturing semiconductor package | |
KR100520592B1 (en) | Cleaning method of mold for manufacturing semiconductor package and frame for the same | |
JPH058102Y2 (en) | ||
JP2512284Y2 (en) | Mold structure for resin molding | |
JP2001079901A (en) | Manufacture of semiconductor sealing device and semiconductor device | |
JP6087507B2 (en) | Compressed resin sealing molding method of semiconductor chip and production method of semiconductor chip sealed with resin | |
JP2013158943A5 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20110126 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |